JP7055323B2 - 質量分析装置及び質量分析方法 - Google Patents
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- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 title claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 101
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 79
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 38
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 31
- -1 phthalate ester Chemical class 0.000 claims description 14
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 96
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 15
- 125000005498 phthalate group Chemical class 0.000 description 15
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 11
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 7
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 5
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical class N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000065 atmospheric pressure chemical ionisation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
- G01N27/626—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using heat to ionise a gas
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N5/00—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
- G01N5/04—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by removing a component, e.g. by evaporation, and weighing the remainder
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
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- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
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Description
又、熱重量測定により発生したガスを質量分析する技術も開発されている(特許文献1)。この技術では、熱重量測定の分解能を向上させるため、試料の重量変化速度に応じて加熱温度の変化速度を連続的に変化させている。
一方、加熱時間を速くし過ぎると、フタル酸類と臭素系難燃剤化合物が混在してガス化してしまい、両者を分離して分析することが困難となる。
そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、それぞれガス化温度が異なる2以上の物質を短時間で質量分析することが可能な質量分析装置及び質量分析方法の提供を目的とする。
このようにして、予め求めておいた加熱パターンに従って、それぞれガス化温度が異なる2以上の物質を短時間で質量分析することができる。
又、第1温度以下のガス発生温度を持ち、第1物質及び第2物質と異なる夾雑物が試料に含まれている場合は、この夾雑物を第1温度にて除去し、その後の第2物質の測定精度を向上させることができる。夾雑物としては試料が樹脂の場合はマトリクスとなる樹脂が挙げられる。
質量分析装置200は、筐体となる本体部202と、本体部202の正面に取り付けられた箱型のガス発生部取付け部204と、全体を制御するコンピュータ(制御部)210と、質量分析計110とを備える。コンピュータ210は、データ処理を行うCPUと、コンピュータプログラムやデータを記憶するハードディスク等の記憶部215と、モニタと、キーボード等の入力部等を有する。
なお、例えばコンピュータ210で制御されるステッピングモータ等により、移動レール204L(後述)上で試料ホルダ20を移動させれば、試料ホルダ20を加熱炉10の内外に移動させる機能を自動化できる。
まず、加熱炉10は、ガス発生部取付け部204の取付板204aに軸心Oを水平にして取り付けられ、軸心Oを中心に開口する略円筒状をなす加熱室12と、加熱ブロック14と、保温ジャケット16とを有する。
加熱室12の外周に加熱ブロック14が配置され、加熱ブロック14の外周に保温ジャケット16が配置されている。加熱ブロック14はアルミニウムからなり、軸心Oに沿って加熱炉10の外部に延びる一対のヒータ電極14a(図4参照)により通電加熱される。
なお、取付板204aは、軸心Oに垂直な方向に延びており、スプリッタ40及びイオン化部50は、加熱炉10に取り付けられている。さらに、イオン化部50は、ガス発生部取付け部204の上下に延びる支柱204bに支持されている。
そして、詳しくは後述するが、加熱室12のうち開口側と反対側(図3の右側)の端面に混合ガス流路41が連通し、加熱炉10(加熱室12)で生成したガス成分Gと、キャリアガスCとの混合ガスMが混合ガス流路41を流れるようになっている。
ここで、移動レール204Lは軸心O方向(図3の左右方向)に延び、試料ホルダ20はステージ22ごと、軸心O方向に進退するようになっている。又、開閉ハンドル22Hは、軸心O方向に垂直な方向に延びつつステージ22に取り付けられている。
ブラケット24cは加熱室12よりやや大径をなして加熱室12を気密に閉塞し、試料保持部24aが加熱室12の内部に収容される。
そして、加熱室12の内部の試料皿28に載置された試料が加熱炉10内で加熱され、ガス成分Gが生成する。
そして、試料ホルダ20が移動レール204L上を軸心O方向に図3の左側に移動して加熱炉10の外に排出されると、ブラケット24cの接触面24fが冷却ブロック32の凹部32rに収容されつつ接触し、冷却ブロック32を介してブラケット24cの熱が奪われ、試料ホルダ20(特に試料保持部24a)を冷却するようになっている。
さらに、本例では、分岐路42とマスフローコントローラ42aとの間に、混合ガス中の夾雑物等を除去するフィルタ42b、流量計42cが配置されている。マスフローコントローラ42a等の背圧を調整する弁等を設けず、分岐路42の端部が剥き出しの配管のままであってもよい。
混合ガス流路41は、加熱室12と連通して軸心O方向に延びて終端部41eに至る直線状であってもよく、加熱室12やイオン化部50の位置関係に応じて、種々の曲線や軸心Oと角度を有する線状等であってもよい。
そして、終端部41eから小孔53c付近の合流部45に導入された混合ガスMに対し、不活性ガス流路19fから不活性ガスTが混合されて総合ガスM+Tとなって放電針56側に流れ、総合ガスM+Tのうち、ガス成分Gが放電針56によってイオン化される。
イオン化部50でイオン化されたガス成分Gは、キャリアガスC及び不活性ガスTと共に質量分析計110に導入されて分析される。
なお、イオン化部50は、保温部54の内部に収容されている。
試料Sは加熱炉10の加熱室12内で加熱され、ガス成分Gが生成する。加熱炉10の加熱状態(昇温速度、最高到達温度等)は、コンピュータ210の加熱制御部212によって制御される。
ガス成分Gは、加熱室12に導入されたキャリアガスCと混合されて混合ガスMとなり、スプリッタ40に導入され、混合ガスMの一部が分岐路42から外部に排出される。
イオン化部50には、混合ガスMの残部と、不活性ガス流路19fからの不活性ガスTが総合ガスM+Tとして導入され、ガス成分Gがイオン化される。
流量制御部216は、検出信号判定部214から受信した検出信号のピーク強度が閾値の範囲外か否かを判定する。そして、範囲外の場合、流量制御部216は、バルブ19vの開度を制御することにより、スプリッタ40内で分岐路42から外部へ排出される混合ガスMの流量、ひいては混合ガス流路41からイオン化部50へ導入される混合ガスMの流量を調整し、質量分析計110の検出精度を最適に保つ。
四重極マスフィルター116は、印加する高周波電圧を変化させることにより、質量走査可能であり、四重極電場を生成し、この電場内でイオンを振動運動させることによりイオンを検出する。四重極マスフィルター116は、特定の質量範囲にあるガス成分Gだけを透過させる質量分離器をなすので、検出器118でガス成分Gの同定および定量を行うことができる。
これにより、ガス成分が多量に発生してガス濃度が高くなり過ぎたときには、分岐路から外部へ排出される混合ガスの流量を増やし、検出手段の検出範囲を超えて検出信号がオーバースケールして測定が不正確になることを抑制している。
図7は、加熱部の加熱パターン及び分析制御部の動作のタイミングチャートを示す図である。
まず、予め、フタル酸エステル類及び臭素系難燃剤化合物を既知量含む塩化ビニルの標準試料を準備し、図7の加熱パターンC1を求めておく。具体的には、フタル酸エステル類のガスが発生し臭素系難燃剤化合物のガスが発生しない第1温度T1、及び第1温度T1を維持する第1時間t1を質量分析して求める。ここで、第1温度T1を維持する時間txが短く、第2温度T2まで急加熱する加熱パターンC2の場合、時間tx以降にフタル酸エステル類と臭素系難燃剤化合物が混在してガス化してしまい、両者を分離して分析することが困難となる。又、臭素系難燃剤化合物のガスが発生する第2温度T2も求める。
そして、この加熱パターン(第1温度T1、第1時間t1)C1は記憶部215に記憶される。
分析制御部219は、加熱制御部212の制御に基づき、第1温度T1で加熱された時間区間(つまり、加熱開始から第1温度T1に達した時間t0から第1時間t1になるまでの区間)で、第1測定条件で質量分析を行うよう制御する。
この第1測定条件及び後述する第2測定条件は質量分析の各種測定条件であり、例えばイオン化部50のイオン化電圧、流量制御部216によるバルブ19vの開度の情報(つまり、イオン化部50へ導入される混合ガスMの流量)等が含まれ、フタル酸エステル類及び臭素系難燃剤化合物でそれぞれ異なる測定パラメータである。つまり、第1測定条件、第2測定条件はそれぞれフタル酸エステル類、臭素系難燃剤化合物に割り当てられた測定パラメータである。
又、第1測定条件、第2測定条件は記憶部215に記憶されている。
分析制御部219は、加熱制御部212の制御に基づき、第2温度T2になった時間t2から、第2測定条件で質量分析を行うよう制御する。その後、所定の時間t3が経過したら加熱制御部212は加熱を停止し、分析制御部219は質量分析を停止するよう制御する。
このようにして、予め求めておいた加熱パターンに従って、それぞれガス化温度が異なる2以上の物質を短時間で質量分析することができる。
例えば、測定条件の変動等により、予め求めた第1時間t1を超えてもフタル酸エステル類のガスが出切らない可能性がある。そこで、分析制御部219は、質量分析中のフタル酸エステル類に由来する特定のピーク強度をモニタし、ピーク強度が閾値以下になったか否かを判定し、閾値を超えている場合は、閾値以下になるまで第1時間t1を延長し、質量分析を続行するよう制御しても良い。この場合、第1温度以下のガス発生温度を持ち、第1物質及び第2物質と異なる夾雑物が試料に含まれている場合は、この夾雑物を第1温度にてより確実に除去することができる。
逆に、ピーク強度が閾値以下になるまでの時間が第1時間t1より短ければ、測定時間の短縮を図ることができる。
第1物質、第2物質は上記実施形態に限定されないし、第1物質、第2物質はそれぞれ複数の物質であってもよい。例えば、第1物質が2つあり、第2物質が1つでもよい。
第1測定条件、第2測定条件も上記実施形態に限定されない。測定条件が3以上でもよい。
200 質量分析装置
212 加熱制御部
219 分析制御部
T1 第1温度
T2 第2温度
t1 第1時間
Claims (3)
- 第1物質と該第1物質よりも高温でガス化する第2物質とを含む試料を加熱してガス成分を発生させる加熱部を備え、該加熱部で生成した前記ガス成分を検出する質量分析装置であって、
予め求めた前記第1物質のガスが発生し前記第2物質のガスが発生しない温度及び時間条件である第1温度で第1時間になるまで前記加熱部を加熱し、前記第1時間を超えたときに前記第2物質のガスが発生する第2温度になるまで前記加熱部を加熱する加熱制御部と、
前記第1温度にて前記第1時間になるまで前記第1物質に割り当てられた第1測定条件で質量分析を行い、前記第2温度にて前記第2物質に割り当てられた第2測定条件で質量分析を行う分析制御部と、
を備え、
前記分析制御部は、前記第1測定条件で前記第1物質の質量分析を行った際、前記第1時間が経過しても、該第1物質のピーク強度が所定の閾値を超えていた場合に、該第1物質のピーク強度が所定の閾値以下になるまでの時間に前記第1時間を延長する質量分析装置。 - 前記第1物質はフタル酸エステルであり、前記第2物質は臭化物である請求項1記載の質量分析装置。
- 第1物質と該第1物質よりも高温でガス化する第2物質とを含む試料を加熱してガス成分を発生させる加熱部を備え、該加熱部で生成した前記ガス成分を検出する質量分析方法であって、
予め求めた前記第1物質のガスが発生し前記第2物質のガスが発生しない温度及び時間条件である第1温度で第1時間になるまで前記加熱部を加熱し、前記第1時間を超えたときに前記第2物質のガスが発生する第2温度になるまで前記加熱部を加熱する加熱制御過程と、
前記第1温度にて前記第1時間になるまで前記第1物質に割り当てられた第1測定条件で質量分析を行い、前記第2温度にて前記第2物質に割り当てられた第2測定条件で質量分析を行う分析制御過程と、
を有し、
前記分析制御過程において、前記第1測定条件で前記第1物質の質量分析を行った際、前記第1時間が経過しても、該第1物質のピーク強度が所定の閾値を超えていた場合に、該第1物質のピーク強度が所定の閾値以下になるまでの時間に前記第1時間を延長することを特徴とする質量分析方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017142236A JP7055323B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
TW107119598A TWI770191B (zh) | 2017-07-21 | 2018-06-07 | 質量分析裝置以及質量分析方法 |
KR1020180070839A KR102494495B1 (ko) | 2017-07-21 | 2018-06-20 | 질량 분석 장치 및 질량 분석 방법 |
CN201810788044.3A CN109283220A (zh) | 2017-07-21 | 2018-07-18 | 质量分析装置和质量分析方法 |
US16/041,623 US10969319B2 (en) | 2017-07-21 | 2018-07-20 | Apparatus for and method of mass analysis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017142236A JP7055323B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019023572A JP2019023572A (ja) | 2019-02-14 |
JP7055323B2 true JP7055323B2 (ja) | 2022-04-18 |
Family
ID=65018779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017142236A Active JP7055323B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-07-21 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10969319B2 (ja) |
JP (1) | JP7055323B2 (ja) |
KR (1) | KR102494495B1 (ja) |
CN (1) | CN109283220A (ja) |
TW (1) | TWI770191B (ja) |
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-
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- 2018-06-07 TW TW107119598A patent/TWI770191B/zh active
- 2018-06-20 KR KR1020180070839A patent/KR102494495B1/ko active IP Right Grant
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- 2018-07-20 US US16/041,623 patent/US10969319B2/en active Active
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---|---|
JP2019023572A (ja) | 2019-02-14 |
US10969319B2 (en) | 2021-04-06 |
US20190025173A1 (en) | 2019-01-24 |
TW201908710A (zh) | 2019-03-01 |
TWI770191B (zh) | 2022-07-11 |
CN109283220A (zh) | 2019-01-29 |
KR102494495B1 (ko) | 2023-02-01 |
KR20190010428A (ko) | 2019-01-30 |
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