CN106498488B - 同时生长多种掺杂CaF2晶体的装置及基于该装置的制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及同时生长多种掺杂CaF₂晶体的装置及基于该装置的制备方法，装置包括托盘、保温筒、感应线圈、由下而上依次设置在保温筒中的底部保温层、坩埚、生长模具单元、籽晶以及籽晶杆，籽晶固定在籽晶杆底端，并通过籽晶杆可上下移动地设置在生长模具单元的正上方，坩埚中布设有多个相互平行排列的坩埚隔板，坩埚隔板将坩埚的内腔分隔成多个相互独立且互不相通的晶体生长区间，生长模具单元包括多个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具。与现有技术相比，本发明生长成本低，生长周期短，多种掺杂浓度同时生长，适用其他多种氟化物晶体，惰性气体保护生长，无氧杂质，生长过程可见可控，晶体质量高。

Description

同时生长多种掺杂CaF2晶体的装置及基于该装置的制备方法

技术领域

本发明属于晶体材料制备技术领域，涉及一种同时生长多种掺杂CaF₂晶体的装置及基于该装置的制备方法。

背景技术

碱土氟化物晶体是一种传统的晶体材料，因其优异的光学和物化性能，以及独特的结构特征，在工业应用和科学研究两个领域一直都发挥着非常重要的作用。随着科技水平的迅猛发展，碱土氟化物晶体新的应用前景不断地展现出来。在工业应用方面，由于碱土氟化物晶体的透过波长范围较宽，可被用作真空紫外到红外波段的窗口材料。同时，低的折射率和低的色散特性也使碱土氟化物晶体成为性能优异的消色差和复消色差的透镜材料，现已被广泛应用于紫外光刻、天文观测、航测、侦查及高分辨率光学仪器中。特别地，碱土氟化物晶体具有极高的紫外透过率、高的激光损伤阈值、低的双折射率和高的折射率均匀性，是目前正在向45nm节点发展的准分子激光光刻系统的首选透镜材料。另一方面，三价稀土离子掺杂的碱土氟化物晶体是人们从事晶体结构缺陷、离子动力学性能、发光性能等基础理论研究工作的理想体系。

相对于高温氧化物晶体，碱土氟化物晶体的熔点要低得多(例如，CaF₂为 1400℃)，采用传统的熔体生长法，如提拉法(Czocharalski,Cz)、坩埚下降法 (Bridgman)、温度梯度法(Temperature gradient technique,TGT)等，很容易获得碱土氟化物单晶。随着激光二极管技术的发展，氟化钙作为一种优质的激光基质晶体，展现出了巨大的应用前景。但是，遴选出最佳浓度配比的CaF₂激光晶体需要对各种掺杂的光谱激光性能进行对比，此过程复杂漫长，成本高昂。因此，研发能够同时生长多种离子掺杂的或多种浓度配比的CaF₂晶体的生长方法尤为重要。

提拉法是目前生长高质量晶体应用最为广泛的方法之一，它的优点在于生长过程可以方便地观察晶体状况、生长速率快、晶体不与坩埚接触、生长时不会产生寄生成核而形成多晶；但是，提拉法加热方式采用中高频感应加热，其坩埚材料一般为铱金或铂金，成本高昂，不适合生长大尺寸晶体材料，也不能多组分同时生长。

坩埚下降法是目前生长大尺寸碱土氟化物晶体所采用的最为广泛的一种生长方法，该方法采用全封闭的坩埚，并适合大尺寸、多数量晶体的生长，其优点是操作工艺简单、易于实现程序化、自动化。但是，该方法籽晶接种及整个生长过程无法观测，生长过程中不能进行实时调整，且生长周期较长(2003年德国肖特公司 (Schott Lithotec)采用改进的坩埚下降法成功生长了Φ350mm×100mm的CaF₂晶体，生长周期为2个月)。

温度梯度法可以避免因不规则机械振动源的干扰而给熔体造成复杂对流和固-液界面的温度波动，因此，温度梯度法所生长的晶体质量和单晶率要优于坩埚下降法。但是，由于晶体生长过程完全依靠扩散运输，晶体生长相对缓慢，生长晶体与温场之间没有相对移动，限制了晶体的高度；同时，该方法采用全封闭的坩埚，整个生长过程不可见，生长周期较长，晶体质量不可控，且不能多组分同时生长。

不同于上述方法，导模法是从熔体人工制取单晶材料的方法之一，即“边缘限定薄膜供料生长”技术，简称EFG法，主要用于生长特定形状的晶体，实际上它是提拉法的一种变形。导模法的工作原理是将原料放入坩埚中加热融化，熔体沿一模具在毛细作用下上升至模具顶端，在模具顶部液面上接籽晶提拉熔体，使籽晶和熔体的交界面上不断进行原子或分子的重新排列，随降温逐渐凝固而生长出与模具边缘形状相同的单晶体。导模法生长晶体的优点在于生长过程可以方便地观察晶体的生长状况，生长速率快，能够通过设计模具形状定型生长，并且加热方式采用感应石墨加热，其坩埚/模具材料一般为石墨，加工简单，成本低，适合生长各种氟化物晶体材料。但目前有关采用导模法来制备掺杂CaF₂晶体的技术鲜有报道。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种操作简单，经济实用性好，可同时生长多种组分的CaF₂晶体，籽晶接种及整个生长过程可见的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的装置及基于该装置的制备方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

同时生长多种掺杂CaF₂晶体的装置，该装置包括托盘、设置在托盘上的保温筒、套设在保温筒上的感应线圈、由下而上依次设置在保温筒中的底部保温层(底部保温层的材质可以为石墨硬毡)、坩埚、生长模具单元、籽晶以及籽晶杆，所述的籽晶固定在籽晶杆底端，并通过籽晶杆可上下移动地设置在生长模具单元的正上方，所述的坩埚底部设有推杆，并通过推杆可上下移动地设置在生长模具单元的正下方，所述的坩埚中布设有多个相互平行排列的坩埚隔板，坩埚隔板将坩埚的内腔分隔成多个相互独立且互不相通的晶体生长区间，所述的生长模具单元包括多个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具。

所述的保温筒的顶部设有石墨盖板，所述的坩埚上方设有坩埚盖板，该坩埚盖板通过吊杆与石墨盖板连接。

所述的籽晶为采用<111>方向的纯CaF₂晶片，并且所述的籽晶与晶体生长模具的模具口的间距为10-30mm。坩埚初始位置保证晶体生长模具下端不接触坩埚内 CaF₂晶体干料面。

所述的坩埚盖板上均匀开设有多个与晶体生长模具一一对应的模具卡槽，所述的晶体生长模具插设固定在对应的模具卡槽中。

所述的晶体生长模具上开设有宽度为0.3-0.5mm的模具缝，并且晶体生长模具的高度比对应晶体生长区间的深度小3-5mm。

所述的晶体生长模具的材质为硬质石墨或高密度钨，由两片石墨片或钨片组合而成，中间缝隙对应晶体生长的模具缝，顶端呈V型开口。

为准确确定原料的熔化温度，在晶体生长模具的模具口料缝中放置CaF₂单晶碎料块，作为观察料，当升温过程中观察料开始熔化，说明炉内温度达到了CaF₂晶体的熔点，可以开始后续的晶体生长过程。

坩埚采用石墨材质制备而成，坩埚分不同区域，且各不连通；晶体生长模具采用石墨材质制备而成。

基于上述装置用于同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，该方法具体包括以下步骤：

步骤1)原料的预处理：

按所需不同掺杂浓度，准确称量CaF₂晶体碎晶原料和掺杂元素原料，对各组原料进行干燥处理；

步骤2)装料：在干燥洁净的环境下，将经干燥处理后的各组分分别装填入相应的晶体生长区间中，并调整好籽晶与晶体生长模具的模具口之间的距离；

步骤3)抽真空并充入惰性气体，升温，直至观察到料块熔化，然后通过推杆推动坩埚向上移动，使各晶体生长模具分别浸入相对应的晶体生长区中的熔融原料中，直至在晶体生长模具的顶缝隙中观察到原料供应位置，届时可以观察到模具缝 (即模具顶端的V型口底部的供料缝)底部中明亮的熔融液面线；

步骤4)引晶：下降籽晶，使籽晶接触各晶体生长模具的模具口上的V型供料缝，控制温度高于晶体熔点，使籽晶微熔；此过程注意称重信号变化，籽晶下端接触晶体生长模具的模具刃口后，因受到向上的支撑力，称重信号显示为负，当达到 -800g时停止下降，随着时间变化，籽晶前锋端逐渐熔融，称重信号逐渐恢复，然后重复籽晶下降操作，直至籽晶下端与各模具缝底部的熔融液面接触；这样分多次操作，直至籽晶下端接触V型供料缝底端的熔融液面，然后降低温度，提拉籽晶杆(控制提拉速率为0.1-0.2mm/min)，使原料在籽晶上凝结生长；

需要注意的是，在此过程中，在籽晶未达到模具刃口前，籽晶的下降速率控制为5-10mm/min，过快的下降速率可能造成籽晶经过大梯度温区时开裂；而当籽晶接触模具刃口后，籽晶的下降速率控制为0.05-0.1mm/min范围内，避免快速下降造成模具刃口的机械损伤或籽晶的断裂；

步骤5)放肩：在晶体引晶结束后，降低功率，进入放肩阶段，在此阶段保持低提拉速率，同时适当降低加热功率，一般降低200-500w，晶体随着向上提拉过程的进行会逐渐变厚变宽，直至晶片宽度达到相应晶体生长模具的宽度为止，然后逐渐加大提拉速率，进入等径生长阶段；

步骤6)等径生长阶段：该阶段随着籽晶杆提拉，晶片以恒定宽度即模具设计宽度生长；该阶段生长速率恒定，保持高提拉速率，直至坩埚内原料耗尽，晶片自动脱离模具，长晶结束；

步骤7)降温退火：在长晶结束后，开始降温退火。

步骤3)中所述的抽真空分为两步，首先采用机械泵抽真空，当装置内真空度 <20Pa时，采用分子泵抽高真空，当真空度达到5×10^-3Pa后停止抽真空，然后打开充气阀充入惰性气体(例如氩气)，纯度5N级，注意控制充气速率，避免充气过程中将坩埚内的原料粉末吹起，造成原料污染和组分配比的变化，直至装置内气压达到一个大气压为止；

所述的升温的处理条件为：控制升温速率为100-200℃/h。

步骤5)所述的低提拉速率为0.1-0.3mm/min。

步骤6)所述的高提拉速率为0.6-0.8mm/min。

步骤7)所述的降温退火的处理条件为：控制降温速率为50-80℃/h。

作为优选的技术方案，步骤1)中所述的干燥处理的条件为：在HF气体气氛 200-300℃下煅烧原料10-20h，原料干燥完毕真空包装存放。

与现有技术相比，本发明采用导模法同时生长多种掺杂CaF₂晶体的方法，生长成本低，生长周期短(20h)；能够实现多种组分配比掺杂的CaF₂晶体同时生长，同时也适用于其他氟化物晶体，如SrF₂,BaF₂,PbF₂等；生长过程可见可控，晶体质量高。

附图说明

图1为本发明装置整体结构示意图；

图中标记说明：

1—托盘、2—保温筒、3—感应线圈、4—底部保温层、5—坩埚、6—坩埚盖板、7—籽晶、8—籽晶杆、9—推杆、10—坩埚隔板、11—第一晶体生长区间、12 —第二晶体生长区间、13—第三晶体生长区间、14—第一晶体生长模具、15—第二晶体生长模具、16—第三晶体生长模具、17—吊杆、18—石墨盖板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。

实施例1：

如图1所示，本实施例同时生长多种掺杂CaF₂晶体的装置，包括托盘1、设置在托盘1上的保温筒2、套设在保温筒2上的感应线圈3、由下而上依次设置在保温筒2中的底部保温层4、坩埚5、生长模具单元、籽晶7以及籽晶杆8，籽晶7 固定在籽晶杆8底端，并通过籽晶杆8可上下移动地设置在生长模具单元的正上方，坩埚5底部设有推杆9，并通过推杆9可上下移动地设置在生长模具单元的正下方，坩埚5中布设有2个相互平行排列的坩埚隔板10，坩埚隔板10将坩埚5的内腔分隔成3个相互独立且互不相通的晶体生长区间(即第一晶体生长区间11、第二晶体生长区间12、第三晶体生长区间13)，生长模具单元包括3个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具(即第一晶体生长模具14、第二晶体生长模具15、第三晶体生长模具16)。

保温筒2的顶部设有石墨盖板18，坩埚5上方设有坩埚盖板6，该坩埚盖板6 通过吊杆17与石墨盖板18连接。坩埚盖板6上均匀开设有3个与晶体生长模具一一对应的模具卡槽，晶体生长模具插设固定在对应的模具卡槽中。晶体生长模具上开设有宽度为0.5mm的模具缝，并且晶体生长模具的高度比对应晶体生长区间的深度小5mm。坩埚5采用石墨材质制备而成，坩埚5分不同区域，且各不连通；晶体生长模具采用石墨材质制备而成。

其中，籽晶7为采用<111>方向的纯CaF₂晶片，并且籽晶7与晶体生长模具的模具口的间距为30mm。坩埚5初始位置保证晶体生长模具下端不接触坩埚5内 CaF₂晶体干料面。

为准确确定原料的熔化温度，在晶体生长模具的模具口料缝中放置CaF₂单晶碎料块，作为观察料，当升温过程中观察料开始熔化，说明炉内温度达到了CaF₂晶体的熔点，可以开始后续的晶体生长过程。

本实施例中以生长稀土离子(Tm³⁺,Er³⁺,Yb³⁺,Nd³⁺等)掺杂CaF₂(氟化钙)晶体为例，说明采用导模法同时生长多种掺杂氟化物晶体的方法，其余氟化物晶体和其他离子掺杂的方案与此过程相同，该方法包括如下步骤：

1.原料的预处理

原料配制过程如下：按照设计掺杂量，采用高精度的电子天平准确称量高纯 (5N)CaF₂和NdF₃粉末，称量后在混料机中混合20h以上，混合均匀后在液压机上压制成饼料块体，尺寸可根据坩埚5计算(一般为Φ60mm×20mm)；混料和压料过程均在干燥环境中完成；压成的块料进行干燥处理后可用于晶体生长。

为清除各种杂质对晶体质量的影响，尽可能采用高纯度的原料进行晶体生长；且在晶体生长之前进行原料干燥处理，一边清除原料中的水等含氧杂质(CaF₂在高温>100℃下易于发生水解反应：CaF₂+H₂O→CaO+HF)，干燥处理的方法是在HF 或H₂气体气氛200-300℃下煅烧原料10-20h，原料干燥完毕真空包装存放；

在晶体配料过程中也会加入一定数量的除氧剂，目前最常用的一种除氧剂就是PbF₂，它的除氧原理是：PbF₂+CaO→PbO↑+CaF₂，PbF₂和PbO的沸点很低，分别只有1290℃和1470℃，在1500℃左右生长CaF₂晶体过程中，它们会被完全挥发掉，不会在CaF₂晶体中引入Pb离子杂质。

2.装料及升温

1)装料过程在干燥洁净室中完成，将配制好的各种组分的原料依次装入坩埚不同分区中，并将热场组件依次安装，安装籽晶7(籽晶7采用<111>方向的纯CaF₂晶片，尺寸为60mm*30mm*3mm)，籽晶7位置距模具口30mm；

2)抽真空、充气，并升温化料。采用机械泵加分子泵的两级抽真空模式，首先采用机械泵抽真空，当炉内真空度<20Pa时，采用分子泵抽高真空，当真空度达到5×10^-3Pa后停止；打开充气阀充入惰性气体(Ar气)，纯度5N级，注意控制充气速率，避免充气过程中将坩埚5内的原料粉末吹起，造成原料污染和组分配比的变化，直至炉内气压达到一个大气压为止；

充气结束后，以200℃/h升温，直至观察到料块熔化，然后上升坩埚5使各组模具分别浸入坩埚5不同分区的熔融原料中，直至在模具顶缝隙中观察到原料供应为止，届时可以观察到模具料缝底部中明亮的熔融液面线；

3)引晶：加热功率升高500W，并以10mm/min下降籽晶7，使之接触模具口各供料缝；恒定10min后，以0.1mm/min下降籽晶7，此过程注意称重信号变化，籽晶7下端接触模具刃口后因为向上的支撑力，称重信号显示为负，在达到-800g 时停止下降，随着时间变化，籽晶7前锋端逐渐熔融，称重信号逐渐恢复，然后重复籽晶7下降操作，直至籽晶7下端与各模具缝V型口底部的熔融液面接触；

籽晶7和熔液面接触后，降低功率300W同时以0.1mm/min速率提拉籽晶杆8，使原料在籽晶7上凝结生长；

4)放肩：在晶体引晶结束后，进入放肩阶段；保持较低拉速(0.2mm/min) 不变，同时适当降低200W加热功率，晶体会随着向上的提拉过程逐渐变厚变宽，保持提拉直至达到模具宽度为止，然后逐渐提高拉速进入等径生长阶段；

5)等径生长阶段：当晶片宽度达到模具宽度后，进入等径生长阶段，该阶段随着籽晶杆提拉，晶片以恒定宽度即模具设计宽度生长；在此阶段，晶片生长速率恒定，保持提拉速率(0.8mm/min)不变，直至坩埚5内原料耗尽，晶片自动脱离模具，长晶结束；

6)降温退火：在晶体重量达到投料重量后，开始降温退火，降温退火速率为 80℃/h。

在导模法生长氟化钙等晶体过程中，引晶是决定整个晶体生长过程成败的关键，目前的导模法生长技术还未能实现自动化的引晶技术，还需要人工进行引晶接种，在引晶过程中需要不断的观察籽晶和液面的接触情况，判断引晶温点是否合适，并控制生长速度，观察引晶初期晶体生长形状及控制工艺。同时，通过独特的模具设计，此方法还可以同时生长不同组分、不同形状的晶体，如：棒状、管状等。

实施例2：

本实施例中，坩埚5中布设有4个相互平行排列的坩埚隔板10，坩埚隔板10 将坩埚5的内腔分隔成5个相互独立且互不相通的晶体生长区间，生长模具单元包括5个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具。

坩埚盖板6上均匀开设有5个与晶体生长模具一一对应的模具卡槽，晶体生长模具插设固定在对应的模具卡槽中。晶体生长模具上开设有宽度为0.3mm的模具缝，并且晶体生长模具的高度比对应晶体生长区间的深度小3mm。

籽晶7与晶体生长模具的模具口的间距为10mm。

采用本实施例装置用于同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，具体包括以下步骤：

步骤1)原料的预处理：

按所需不同掺杂浓度，准确称量CaF₂晶体碎晶原料和掺杂元素原料，对各组原料进行干燥处理；

步骤2)装料：在干燥洁净的环境下，将经干燥处理后的各组分分别装填入相应的晶体生长区间中，并调整好籽晶与晶体生长模具的模具口之间的距离；

步骤3)抽真空并充入惰性气体，升温，直至观察到料块熔化，然后通过推杆推动坩埚向上移动，使各晶体生长模具分别浸入相对应的晶体生长区中的熔融原料中，直至在晶体生长模具的顶缝隙中观察到原料供应位置；

步骤4)引晶：下降籽晶，使籽晶接触各晶体生长模具的模具口上的V型供料缝，控制温度高于晶体熔点，使籽晶微熔，分多次操作，直至籽晶下端接触V型供料缝底端的熔融液面，然后降低温度，提拉籽晶杆，使原料在籽晶上凝结生长；

步骤5)放肩：在晶体引晶结束后，降低功率，进入放肩阶段，在此阶段保持低提拉速率，晶体随着向上提拉过程的进行会逐渐变厚变宽，直至晶体达到相应晶体生长模具的宽度为止，然后逐渐加大提拉速率，进入等径生长阶段；

步骤6)等径生长阶段：该阶段生长速率恒定，保持高提拉速率，直至坩埚内原料耗尽，晶片自动脱离模具，长晶结束；

步骤7)降温退火：在长晶结束后，开始降温退火。

在实际操控过程中，步骤3)中升温的处理条件为：控制升温速率为100℃/h；步骤5)中低提拉速率为0.1mm/min；步骤6)中高提拉速率为0.6mm/min；步骤7) 降温退火的处理条件为：控制降温速率为50℃/h。

其余同实施例1。

实施例3：

本实施例中，坩埚5中布设有3个相互平行排列的坩埚隔板10，坩埚隔板10 将坩埚5的内腔分隔成4个相互独立且互不相通的晶体生长区间，生长模具单元包括4个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具。

坩埚盖板6上均匀开设有4个与晶体生长模具一一对应的模具卡槽，晶体生长模具插设固定在对应的模具卡槽中。晶体生长模具上开设有宽度为0.4mm的模具缝，并且晶体生长模具的高度比对应晶体生长区间的深度小4mm。

籽晶7与晶体生长模具的模具口的间距为20mm。

采用本实施例装置用于同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，具体包括以下步骤：

步骤1)原料的预处理：

按所需不同掺杂浓度，准确称量CaF₂晶体碎晶原料和掺杂元素原料，对各组原料进行干燥处理；

步骤2)装料：在干燥洁净的环境下，将经干燥处理后的各组分分别装填入相应的晶体生长区间中，并调整好籽晶与晶体生长模具的模具口之间的距离；

步骤3)抽真空并充入惰性气体，升温，直至观察到料块熔化，然后通过推杆推动坩埚向上移动，使各晶体生长模具分别浸入相对应的晶体生长区中的熔融原料中，直至在晶体生长模具的顶缝隙中观察到原料供应位置；

步骤4)引晶：下降籽晶，使籽晶接触各晶体生长模具的模具口上的V型供料缝，控制温度高于晶体熔点，使籽晶微熔，分多次操作，直至籽晶下端接触V型供料缝底端的熔融液面，然后降低温度，提拉籽晶杆，使原料在籽晶上凝结生长；

步骤5)放肩：在晶体引晶结束后，降低功率，进入放肩阶段，在此阶段保持低提拉速率，晶体随着向上提拉过程的进行会逐渐变厚变宽，直至晶体达到相应晶体生长模具的宽度为止，然后逐渐加大提拉速率，进入等径生长阶段；

步骤6)等径生长阶段：该阶段生长速率恒定，保持高提拉速率，直至坩埚内原料耗尽，晶片自动脱离模具，长晶结束；

步骤7)降温退火：在长晶结束后，开始降温退火。

在实际操控过程中，步骤3)中升温的处理条件为：控制升温速率为150℃/h；步骤5)中低提拉速率为0.2mm/min；步骤6)中高提拉速率为0.7mm/min；步骤7) 降温退火的处理条件为：控制降温速率为60℃/h。

其余同实施例1。

上述的对实施例的描述是为便于该技术领域的普通技术人员能理解和使用发明。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于上述实施例，本领域技术人员根据本发明的揭示，不脱离本发明范畴所做出的改进和修改都应该在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，该方法基于的装置包括托盘、设置在托盘上的保温筒、套设在保温筒上的感应线圈、由下而上依次设置在保温筒中的底部保温层、坩埚、生长模具单元、籽晶以及籽晶杆，所述的籽晶固定在籽晶杆底端，并通过籽晶杆可上下移动地设置在生长模具单元的正上方，所述的坩埚底部设有推杆，并通过推杆可上下移动地设置在生长模具单元的正下方，所述的坩埚中布设有多个相互平行排列的坩埚隔板，坩埚隔板将坩埚的内腔分隔成多个相互独立且互不相通的晶体生长区间，所述的生长模具单元包括多个分别与晶体生长区间一一对应设置的晶体生长模具；

制备方法具体包括以下步骤：

步骤1)原料的预处理：

按所需不同掺杂浓度，准确称量CaF₂晶体碎晶原料和掺杂元素原料，对各组原料进行干燥处理；

步骤2)装料：在干燥洁净的环境下，将经干燥处理后的各组分分别装填入相应的晶体生长区间中，并调整好籽晶与晶体生长模具的模具口之间的距离；

步骤3)抽真空并充入惰性气体，升温，直至观察到料块熔化，然后通过推杆推动坩埚向上移动，使各晶体生长模具分别浸入相对应的晶体生长区中的熔融原料中，直至在晶体生长模具的顶缝隙中观察到原料供应位置；

步骤4)引晶：下降籽晶，使籽晶接触各晶体生长模具的模具口上的V型供料缝，控制温度高于晶体熔点，使籽晶微熔，分多次操作，直至籽晶下端接触V型供料缝底端的熔融液面，然后降低温度，提拉籽晶杆，使原料在籽晶上凝结生长；

步骤5)放肩：在晶体引晶结束后，降低功率，进入放肩阶段，在此阶段保持低提拉速率，晶体随着向上提拉过程的进行会逐渐变厚变宽，直至晶片宽度达到相应晶体生长模具的宽度为止，然后逐渐加大提拉速率，进入等径生长阶段；

步骤6)等径生长阶段：该阶段生长速率恒定，保持高提拉速率，直至坩埚内原料耗尽，晶片自动脱离模具，长晶结束；

步骤7)降温退火：在长晶结束后，开始降温退火；

步骤5)所述的低提拉速率为0.1-0.3mm/min，步骤6)所述的高提拉速率为0.6-0.8mm/min。

2.根据权利要求1所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，所述的保温筒的顶部设有石墨盖板，所述的坩埚上方设有坩埚盖板，该坩埚盖板通过吊杆与石墨盖板连接。

3.根据权利要求2所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，所述的籽晶为采用<111>方向的纯CaF₂晶片，并且所述的籽晶与晶体生长模具的模具口的间距为10-30mm。

4.根据权利要求2所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，所述的坩埚盖板上均匀开设有多个与晶体生长模具一一对应的模具卡槽，所述的晶体生长模具插设固定在对应的模具卡槽中。

5.根据权利要求1所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，所述的晶体生长模具上开设有宽度为0.3-0.5mm的模具缝，并且晶体生长模具的高度比对应晶体生长区间的深度小3-5mm。

6.根据权利要求1所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，步骤3)中所述的抽真空分为两步，首先采用机械泵抽真空，当装置内真空度<20Pa时，采用分子泵抽高真空，当真空度达到5×10^-3Pa后停止抽真空，然后打开充气阀充入惰性气体，直至装置内气压达到一个大气压为止；

所述的升温的处理条件为：控制升温速率为100-200℃/h。

7.根据权利要求1所述的同时生长多种掺杂CaF₂晶体的制备方法，其特征在于，步骤7)所述的降温退火的处理条件为：控制降温速率为50-80℃/h。