CN106104280B - 用于电子器件的测试装置的高平面性探针卡 - Google Patents

Abstract

本发明描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端，以及与加强件(24)和中间支承件(26)关联的所述测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合在所述中间支承件(26)的相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换。合宜地，所述探针卡包括与所述中间支承件(26)结合的支承元件(28)，所述支承元件(28)由刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，由此能够实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。

Description

用于电子器件的测试装置的高平面性探针卡

技术领域

本发明涉及一种用于电子器件的测试装置的探针卡。

本发明尤其但非排他性地涉及一种高平面性探针卡，下述说明仅为了方便说明而参照了本应用领域。

背景技术

众所周知，探针卡本质上是一种器件，其适合于将微观结构尤其是集成于晶片上的电子器件的多个接触垫设置成与执行其工作测试(尤其是电测试或一般测试)的测试装置的对应通道电接触。

在集成电路上进行的测试尤其需要检测和隔离出在制造阶段已出现的故障器件。通常，探针卡在切割(singoling)晶片并将其组装在芯片封装中之前就被用于电测试晶片上的集成电路。

探针卡包括测试头，该测试头依次主要包括多个可移动接触元件或接触探针，该可移动接触元件或接触探针配置有至少一个部分或接触尖端，用于对应待测器件的多个接触垫。此处和下文中端子部分意味着术语端部或尖端，但并不必然是指它们。

因此，已知测试试验的有效性和可靠性除其它因素外还取决于器件和测试装置之间建立的良好电连接，并由此取决于优化的探针/垫的电接触的构建。

在本文所考虑的技术领域中使用的用于集成电路测试的所有类型的测试头中，所谓的具有悬臂探针的测试头被广泛使用，该测试头也被称为悬臂测试头，其探针像钓竿一样于待测器件的上方伸出。

特别地，已知类型的悬臂测试头通常承载多个具有预设的电性能和机械性能的柔软的(通常为细长的)探针。从悬臂测试头悬臂伸出的探针因为存在基本成肘部折叠(具有基本钝内角)的端部，而基本呈钩状。

悬臂测试头的探针与待测器件的接触垫之间的良好连接由测试头在器件本身上的压力来保证，探针在其上沿与器件朝测试头的运动方向相反的方向受到垂直的弯曲作用(相对于由待测器件界定的平面)。

探针的钩状使得在与待测器件的接触垫接触期间以及探针向上移动超过预设接触点(一般被称为“超程”)期间，探针接触尖端能够在接触垫上滑动一长度，这通常被称为“擦洗(scrub)”。

具有垂直探针的测试头在本领域也是已知的，其被称为“垂直探头”。垂直探头本质上包括多个由至少一对板或基本呈板状并相互平行的模板保持的接触探针。这些模板配置有特定孔，彼此之间以特定的距离放置，从而为接触探针的运动及可能的变形留有自由区域或空隙。特别地，一对模板包括上模和下模，其都配置有导向孔，接触探针在此种导向孔内轴向滑动，接触探针通常由具有良好电和机械性能的特定金属制成。

而且在这种情况下，测试探针与待测器件的接触垫之间的良好连接由测试头在器件本身上的压力来确保，在此压力接触下，在上模和下模中的导向孔内可移动的接触探针在两个模板之间的空隙内会弯曲，并且在这些导向孔内滑动。

此外，探针本身或其模板的合理配置可促进接触探针在空隙内的弯曲，特别地可使用接触预成形探针或者便于水平分隔包括接触预成形探针的板来促进接触探针在空隙内的弯曲。

通常使用具有不是牢牢固定至卡而是保持接入卡的探针的测试头，其中卡又依次连接至测试装置，这些测试头被称为具有未锁固探针的测试头。

在这种情况下，接触探针还具有朝向该卡的多个接触垫的端部或触头。通过将探针按压在卡接触垫以类似于与待测器件接触的方式来确保探针和卡之间的良好电接触。

此外，该卡通常通过加强件保持在位。组装测试头、卡及加强件形成探针卡，其在图1中一般以10示意地指示。

特别地，卡10包括测试头1，该测试头1在示例性图中为垂直探针头。此时，该测试头1依次包括至少一个上板或模2以及下板或模3，两者分别具有上导向孔和下导向孔，多个接触探针4在这些导向孔内滑动。

各接触探针4具有至少一个邻接待测器件5的接触垫上的端部或接触尖端，使所述器件和测试装置(未示出)之间产生机械和电接触，其中，此测试头1形成为端部元件。

此外，各接触探针4还具有在实际中被称为触头的另一接触尖端，其朝向卡6的多个接触垫。通过将探针按压在卡6的接触垫上以类似于与待测器件接触的方式来确保探针和卡之间的良好电接触。

如上所述，卡6通过加强件8保持在位。

因此，在垂直探针技术中，确保接触探针和测试装置之间的良好连接也很重要，特别是接触探针的触头与相应的卡之间的良好接触。

已知若干个制造测试装置的探针卡10的技术。

特别地，第一方案提供利用印刷电路板技术来制造卡10，其一般特指PCB(“印刷电路板”的首字母缩略词)。该技术能够制造具有有效面积的卡，该有效面积甚至可以为大面积，但相对于可在待测器件上的接触垫之间获得的最小距值(pitch value)具有极大的限制。

此外还已知陶瓷基技术或MLC(“多层陶瓷”的首字母缩略词)。此类技术相比PCB技术可以获得非常小的间距(pitch)以及较高的密度，然而，该技术限制了能够用于测试的信号的最大数量以及卡上能够设置的有效面积的最大尺寸。

在MLC技术中，板可由具有高平面性的刚性陶瓷材料制成。虽然这些板不能变形或受到局部作用力(这只是会产生破换它们的风险)，但它们可以设置有用作枢轴的中心螺钉和与缓冲弹簧相关的横向调节螺钉，以允许由板自身界定的平面倾斜。

最后，可使用所谓的混合技术，在该技术中，测试头连接至一般被称为插入件的中间板。该技术虽然在表面、间距及信号密度方面提供了极好的灵活性，但却限制了可管理信号的最大数量，也具有最差的电磁性能。混合技术的不可忽略的缺点在于难以自动化。

美国专利申请US2008/0157790公开了一种加强组件，其包括内部元件和待耦接至中间板的外部元件，其中，多个校准机构能够相对外部元件调节内部元件，并能够平面及/或侧面定向探针头。该内部元件由能够确保探针卡的刚度的材料制成。

应该理解的是，中间板(插入件)的厚度一般极小，介于0.5与3毫米之间，因此其具有值得注意的平面性问题。通过与加强件关联，可以使整个组件具有更大的刚性和抗性，并能够局部减少中间板的平面性缺点，然而这常常又会影响利用这种技术制得的卡的良好操作。

本发明的技术问题在于提供一种探针卡，其适合承载设置有多个用于关联于特别集成在晶片上的电子器件的测试装置的接触探针的测试头，该探针卡具有能够克服利用已知技术制得的探针卡目前所存在的限制和缺点，尤其能够保证卡组件的组合件的适当平面性。

发明内容

本发明所基于的技术方案思想在于，使用一种与利用PCB技术实现的中间板或插入件结合的支承元件，该支承元件以这样一种方式与插入件结合，即，使插入件本身进行局部微校正，由此提高其平面性，支承元件与插入件的组合件的刚性也足以保证接触探针在电子器件测试期间的接触。特别地，该支承元件通过刚度和平面性大于插入件的金属插塞提供。

基于此技术方案思想，此技术问题通过一种用于电子器件的测试装置的探针卡解决，该探针卡包括：至少一个容纳多个接触探针的测试头，各接触探针具有至少一适合于接靠在待测器件的接触垫上的接触尖端；与加强件关联的所述测试头的支承板；中间支承件，该中间支承件连接至所述支承板并适合在所述中间支承件的相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换；以及支承元件，该支承元件通过刚度大于所述中间支承件的材料制得，其特征在于，所述探针卡包括调节系统，其适合使所述加强件与所述支承元件关联，所述调节系统包括起推压作用的第一调节螺钉及起牵拉作用的第二调节螺钉，所述第一和第二调节螺钉分布在所述支承元件的平面上，所述调节系统能够相对所述加强件向所述支承元件施加推和/或拉所述支承元件的局部力，所述中间支承件以这样一种方式与所述支承元件连接，即，所述局部力被传递至所述中间支承件，从而实现所述中间支承件的局部微观校正。

更具体地，本发明包括以下补充和兼性特征，若需要，可以单独或者组合利用。

根据本发明的一方面，所述支承元件可粘结至所述中间支承件。

该支承元件可通过互锁装置、挂钩装置、或通过螺钉与中间支承件结合。

根据本发明的另一个方面，所述支承元件可为金属插塞。

特别地，该支承元件可由镍铁合金制成。

此外，所述第一调节螺钉可以这样一种方式容置在形成于所述加强件中的第一座中，即，各第一调节螺钉具有主体以及头部，所述主体容置在所述支承元件中，所述头部具有至少一个贴靠所述支承元件的底切面以及与所述底切面相背对的平面，其能够通过各自的第一座被接触到以用于调节所述第一螺钉，所述第一调节螺钉在所述支承元件上起推压作用。

第二调节螺钉可以这样一种方式容置在形成于所述加强件中的第二座中，即，各第二调节螺钉具有主体和头部，所述主体容置在所述支承元件中，所述头部具有至少一个贴靠所述加强件的底切面和与所述底切面相背对的平面，其能够通过各自的第二座被接触到以用于调节所述第二螺钉，所述第二调节螺钉对所述支承元件起牵拉作用，而在加强件上产生推压作用。

这些调节螺钉可具有截面基本成T型的形状。

特别地，这些调节螺钉可以为力倍增螺钉。

此外，这些调节螺钉可以为通用螺钉、与用作其头部的螺母关联使用的双头螺柱、螺栓或挂钩系统。

根据本发明的另一方面，这些调节螺钉基本上可具有相同的尺寸。

这些调节螺钉也可以利用基本为管状的元件实现并且可以具有直径介于2毫米和4毫米之间的主体以及直径介于4毫米和7毫米之间的头部，这些值用于所述探针卡的正常操作条件，即，探针卡不存在机械应力和/或热膨胀的情况下。

特别地，所述调节螺钉的所述座通过基本为管状的元件实现，并包括至少一个相对所述调节螺钉的所述头部具有配合和互补形状的容纳隔间以及长形通道。

所述第一座的此长形通道特别可允许与第一调节螺钉的头部的外侧平面连接。

此外，第二座的该长形通道能够允许第二调节螺钉的主体通过直至达到支承元件。

根据本发明的另一方面，所述座的容置隔间相对调节螺钉头部的尺寸形成有较大的尺寸，使得头部能够宽松地容置在其中。

特别地，根据本发明的另一方面，所述调节系统可包括沿支承元件的平面始终交替连续分布的起推压作用的第一调节螺钉及起牵拉作用的第二调节螺钉。

根据本发明的另一方面，所述调节系统号可包括基本位于支承元件28的中心和角落处的支承，其用于适当倾斜该支承元件。

最后，根据本发明的另一方面，所述探针卡还可包括与中间支承件关联的按压元件，其适合在该中间支承件上施加适当的压力。

根据本发明的探针卡的特征和优点将从以下参考附图的，通过非限制性的示例所给出的实施方式之一的描述中得到。

附图说明

在这些图中：

图1示意性地显示了适合承载根据现有技术制得的垂直探针测试头的探针卡；

图2示意性地显示了根据本发明的一实施方式的探针卡的剖视图；以及

图3示意性地显示了图2所示的探针卡的俯视图。

具体实施方式

参照这些附图，特别是图2，参考标记20总体上指示探针卡，该探针卡包括至少一个测试头，该测试头设置有多个用于测试特别集成于晶片上的电子器件的接触探针。

应该注意的是，这些附图显示了根据本发明的卡的示意图，但没有按比例绘制，相反，这些附图绘制成突出本发明的重要特性。

此外，本发明的通过附图中的示例表示的各方面可以明显地相互组合并且一个实施方式与另一个实施方式之间可以互换。

特别地，如图2所示，探针卡20包括测试头21，该测试头21容纳有多个接触探针22、一般被指示为PCB的支承板23以及加强件24。

探针卡20适合与测试装置(未示出)连接。特别地，在附图所示示例中，仅通过举例，测试头21为垂直型并包括至少一个分别具有孔的上板或模21A和下板或模21B，接触探针22在该孔内滑动。测试头21还包括探针的容纳元件21C，其设置于上模21A和下模21B之间。

在任意情况下，接触探针22均包括适合于接靠在待测器件25的相应接触垫上的端部或接触尖端22’，从而在接触垫与探针卡20之间实现所期望的接触(尤其是电接触)，并进而实现与连接到探针卡的测试装置的电接触。

探针卡20还包括中间支承件或插入件26，其通过合适的连接件27与支承板23关联。

应该理解的是，中间支承件或插入件26适合在其相对两侧上形成的接触垫之间提供距离的空间变换。特别地，插入件26可包括在其朝向测试头21的第一侧之一上形成的第一多个接触垫，该第一多个接触垫具有与待测器件25的接触垫之一相似尤其相等的密度或间距；以及在第二相对侧上制得的第二多个接触垫，该第二多个接触垫连接至为印刷电路板或PCB的支承板23。更特别地，第二多个接触垫相对第一多个接触垫具有较低的密度，从而在插入件26内提供合适的电连接，以实现在第一多个接触垫和第二多个接触垫之间寻址(addressing)。

还可以使用像所谓微型悬臂的微机械型的测试头，该测试头具有直接焊接至插入件26的探针，本发明并不仅限于一个具体类型的测试头。

有利地，根据本发明，探针卡20还包括刚度大于插入件26的支承元件28，其与插入件26结合(solidarized)。特别地，支承元件28利用金属插塞制成。该金属插塞的刚度大于由适合于PCB技术、特别通过多层有机(MLO)技术的材料制得的插入件26的刚度。此外，标准金属加工技术能够制得高平面性的金属元件，特别是在任何情况下都高于利用PCB技术插入件26所获得平面性。

应该理解的是，通过将支承元件28与插入件26结合，可对插入件进行局部微观校正，从而提高该插入件的平面性，支承元件和插入件的组合件的刚度也足以确保接触探针在测试中的电子器件上的适当接触，并且可以避免当插入件26在正常的测试条件下按压接触抵靠测试头21的接触探针22时产生所谓的“弯曲”。

特别地，由于支承元件28的存在，插入件26能够承载例如由通过与测试头21的接触探针22按压接触而引致的数十千克的载荷，而不会弯曲并由此危害测试中与探针本身的接触。

更具体地，这种支承元件28优选粘结至插入件26。可选地，可以通过互锁装置、挂钩装置或通过螺钉结合支承元件28和插入件26。

金属支承元件28优选由特别具有高镍含量的镍铁合金(例如不锈钢)制成，或者由已知合金，例如合金42、镍铬低膨胀系数ivar42或镍铁42制成，这里仅举几例。

此外，探针卡20包括与插入件26关联的按压元件29，该按压元件29适合于特别是按照支承元件28相反的方向在插入件26上施加一合适的压力。

有利地，根据本发明，探针卡20还包括至少一个调节系统30，其适合将加强件24与支承元件28关联，并能够向这种支承元件28以及因此向结合至该支承元件28的插入件26施加相对加强件24的推和/或拉支承元件28的局部力。

该调节系统30包括多个调节螺钉31、32，其分布在该支承元件28的平面上并容置在各自的形成于这种加强件24中的座33、34中。

更具体地，该调节系统30包括第一调节螺钉31，该第一调节螺钉31以这样一种方式容置在形成于加强件24中的第一座33中，即各第一调节螺钉31具有主体31D以及头部31C，该主体31D容置在支撑元件28中，头部31C具有至少一个贴靠支承元件28的底切面31B和与该底切面31B相背对的外平面31A，其能够通过各自的第一座33被接触到以用于进行精确调节。因此，该第一调节螺钉31对支承元件28起推压作用。

此外，该调节系统30包括第二调节螺钉32，该第二调节螺钉32以这样一种方式容置在形成于加强件24中的第二座34中，即各第二调节螺钉32具有主体32D以及头部32C，主体32D容置在支撑元件28中，头部32C具有至少一个贴靠加强件24的底切面32B和与所述底切面32B相背对的外平面32A，其能够通过各自的第二座34被接触到以用于进行调节。通过这种方式，第二调节螺钉32对支承元件28起牵拉作用，而在加强件24上产生推压作用。

实质上，调节螺钉31、32具有截面基本成T型的形状。

特别地，力倍增(force-multiplying)螺钉被用作调节螺钉31、32，其能够施加局部力，使通常利用具有缩减厚度的金属块制成的支承元件28变形小。

调节系统30利用了调节螺钉31、32的与加强件24的刚度形成鲜明对比的弹性。

更特别地，可以使用通用螺钉、与用作其头部的螺母关联使用的双头螺柱、螺栓或挂钩系统，这里仅举几个例子。

可以为第一和第二调节螺钉31、32提供相似的尺寸，并且在第一和第二调节螺钉31、32基本为管状元件的情况下，可以考虑各调节螺钉31、32包括直径介于2毫米和4毫米之间的主体31D、32D，以及直径介于4毫米和7毫米之间的头部31C、32C，这些值用于探针卡20的正常操作条件，即，探针卡20不存在机械应力和/或热膨胀的情况下。

还可以为调节螺钉31、32的第一和第二座33、34提供基本相同的尺寸，并且在调节螺钉31、32基本为管状元件的情况下，可以考虑各座33、34分别包括至少一个相对调节螺钉31、32的头部31C、32C分别具有配合及互补的形状的容置隔间33C、34C以及长形通道33D、34D。更特别地，第一调节螺钉31的第一座33的长形通道33D能够与第一调节螺钉31的头部31C的外平面31A的外侧连接，并因此能够对它们进行调节。对于具有已经从加强件24浮现出并因此能够接触到以进行调节的外平面32A的第二调节螺钉32，其长形通道34D允许主体32D通过直至到达支承元件28。

有利地，用于调节螺钉31、32的头部31C、32C的容置隔间33C、34C相对头部31C、32C形成有较大的尺寸，例如至少比头部31C、32C的尺寸大5％，使得能够容置具有公差的头部31C、32C，并因此允许头部31C、32C在调节系统30进行调节期间运动。

此外，座33、34的容置隔间33C、43C相对调节螺钉31、32的头部31C、32C所增加的尺寸还允许插入件26及连接至该插入件的支承元件28随探针卡20的操作温度的增加而膨胀，同时避免测试头21的任意运动，测试头21的该任意运动会使利用该测试头进行测试所得到的良好结果无效。

如上所述，各调节螺钉31、32对支承元件28的金属结构施加了推和/或拉力，该对应的局部力因此会传递至插入件26。

由此，调节系统30通过支承元件28能够对插入件26进行局部微调。

因此，调节系统30能够用来进一步局部平整与支承元件28结合的插入件26。对该平整的需求在插入件26非常薄(例如，厚度介于0.5毫米和3毫米之间)且因此极易弯曲的情况下尤其可体会到。

更特别地，如图3所示，调节系统30包括沿支承元件28始终交替连续分布的起推压作用的第一调节螺钉31及起牵拉作用的第二调节螺钉32。如上所述，调节螺钉31、32为双头螺柱，能够施加点对点使插入件26弯曲的局部力；特别地，支承元件28弹性弯曲并将此力传递至插入件26。

调节系统30还包括支承螺钉35、36，即基本位于支承元件28的中心的第一支承螺钉35以及位于基本成平行六面体形状的支承元件28的角落处的第二支承螺钉36。

特别地，支承螺钉35、36用于适当倾斜支承元件28，并由此适当倾斜结合至支撑元件28的插入件26。

在优选实施方式中，第一调节螺钉31和第二调节螺钉32均匀并交替地分布在支承螺钉35、36之外的支承元件28的部分中。此均匀分布在利用拧动螺钉调节时能够有效确保良好的推或拉载荷的分布。

各调节和支承螺钉也可以提供有间隔元件(未示出)，例如方便钻孔的小方钢或垫片，以使螺钉本身能够通过，并且适于减轻螺钉施加在支承元件28或加强件24上的局部载荷。

调节系统30的调节螺钉31、32和支承螺钉35、36共同作用因此能够使支承元件28获得所期望的平面化和倾斜效果，并由此能够使结合至支承元件28的插入件26获得所期望的平面化和倾斜效果。

应该理解的是，探针卡20与测试装置(未示出)的按压元件29接触，适用于按压插入件26的未与支承元件28接触的部分，由此增强插入件26的整体平面性。

总之，有利地，根据本发明，由于存在以这样一种方式结合至中间板或插入件，即，实现插入件本身的局部微校正从而提高其平面性的支承元件，所以可获得高平面性探针卡。

特别地，该支承元件的刚性足以保证在测试电子器件期间适当接触接触探针。支承元件通过具有较插入件大的刚度和平面性的金属插塞制成。

因此，此探针卡即使没有与测试头21的接触探针22推压接触也能够适当操作，从而在正常测试操作下能够施加多达数十千克的载荷，与插入件结合的支承元件的组合件没有弯曲以及危害与探针本身的接触的风险。

此外，根据本发明的探针卡可以进一步局部调节插入件的平面性，尤其可在插入件具有缩减厚度的情况下使用。

该调节可能性还能够缓和由插入件制造工艺尤其是PCB技术造成的制约。

而且，根据本发明的探针卡还可以在引起组成该探针卡的元件热膨胀的情况下正常操作，由此克服目前市场上的探针的缺点。

Claims (8)

1.用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端；与加强件(24)关联的所述测试头(21)的支承板(23)；中间支承件(26)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合于在所述中间支承件(26)的相对两面上制得的接触垫之间提供距离的空间变换；以及支承元件(28)，该支承元件(28)通过刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，其特征在于，所述探针卡(20)还包括调节系统(30)，其适合使所述加强件(24)与所述支承元件(28)关联，所述调节系统(30)包括在所述支承元件(28)上起推压作用的第一调节螺钉(31)及对所述支承元件(28)起牵拉作用而在所述加强件(24)上产生推压作用的第二调节螺钉(32)，所述第一调节螺钉(31)和所述第二调节螺钉(32)分布在所述支承元件(28)的平面上，所述调节系统(30)能够相对所述加强件(24)向所述支承元件(28)施加推和/或拉所述支承元件(28)的局部力，所述中间支承件(26)以这样一种方式与所述支承元件(28)连接，即，所述局部力被传递至所述中间支承件(26)，从而实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。

2.如权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，所述支承元件(28)粘结至所述中间支承件(26)。

3.如权利要求1或2所述的探针卡(20)，其特征在于，所述支承元件(28)为金属插塞。

4.如权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，所述第一调节螺钉(31)以这样一种方式容置在形成于所述加强件(24)中的第一座(33)中，即，各第一调节螺钉(31)具有主体(31D)以及头部(31C)，所述主体(31D)容置在所述支承元件(28)中，所述头部(31C)具有至少一个贴靠所述支承元件(28)的底切面(31B)以及与所述底切面(31B)相背对的平面(31A)，其能够通过各自的第一座(33)被接触到以用于调节所述第一调节螺钉(31)，所述第一调节螺钉(31)在所述支承元件(28)上起推压作用。

5.如权利要求4所述的探针卡(20)，其特征在于，所述第二调节螺钉(32)以这样一种方式容置在形成于所述加强件(24)中的第二座(34)中，即，各第二调节螺钉(32)具有主体(32D)和头部(32C)，所述主体(32D)容置在所述支承元件(28)中，所述头部(32C)带有至少一个贴靠所述加强件(24)的底切面(32B)和与所述底切面(32B)相背对的平面(32A)，其能够通过各自的第二座(34)被接触到以用于调节所述第二调节螺钉(32)，所述第二调节螺钉(32)对所述支承元件(28)起牵拉作用，而在加强件(24)上产生推压作用。

6.如权利要求5所述的探针卡(20)，其特征在于，所述第一调节螺钉(31)和所述第二调节螺钉(32)通过基本为管状的元件实现，其具有直径介于2毫米和4毫米之间的主体(31D、32D)和直径介于4毫米和7毫米之间的头部(31C、32C),这些值用于所述探针卡(20)的正常操作条件，即，探针卡20不存在机械应力和/或热膨胀的情况下。

7.如权利要求6所述的探针卡(20)，其特征在于，所述第一调节螺钉(31)的所述第一座(33)和所述第二调节螺钉(32)的所述第二座(34)通过基本为管状的元件实现，并包括至少一个相对所述第一调节螺钉(31)和所述第二调节螺钉(32)的所述头部(31C、32C)具有配合和互补形状的容纳隔间(33C、34C)以及长形通道(33D、34D)。

8.如权利要求1所述的探针卡(20)，其特征在于，所述调节系统(30)还包括基本位于所述支承元件(28)的中心和角落处的支承螺钉(35、36)，其用于适当倾斜所述支承元件(28)。