TW201534926A - 用於電子裝置測試器之高平坦度探針卡 - Google Patents

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Abstract

一種用於電子裝置測試器的探針卡被描述，包括內置複數個接觸探針的至少一測試頭，每一個接觸探針具有適合緊靠在一待測裝置的接觸墊片上的至少一接觸尖端，以及該測試頭的一支撐板，聯結著一加固物和連接至該支撐且適合提供於其相對側上所製接觸墊片之間的距離的空間轉換的一中間支撐件。合宜地，該探針卡包括一結合至該中間支撐件的支撐構件，本支撐構件係利用一具有較該中間支撐件更大硬性的材料製成，因此能夠提供該中間支撐件的局部微調整。

Description

用於電子裝置測試器之高平坦度探針卡
本發明係關於一種用於電子裝置測試器的探針卡。
本發明特別地關於一種高平坦度探針卡，但非獨有的，且下列說明已配合簡化該呈現的唯一目的而參考至本申請書領域來進行之。
如眾所周知地，一探針卡主要係一裝置，適用於置放一微結構，特別是整合在一晶圓上的電子裝置的複數個接觸墊片來與執行其操作測試，尤指電性測試或一般性地測試的一測試器的相對應通道進行電性接觸。
在積體電路上所實施的測試特別需要偵測並隔離先前在該製造階段中的瑕疵裝置；大體上，探針卡係使用在切割(單粒化)及將它們安裝在一晶片封裝內之前，對晶圓上的積體電路進行電性測試。
一探針卡包括一測試頭，依次主要包含複數個可移動接觸構件或接觸探針，其係配備有用於一待測裝置的相對應複數個接觸墊片的至少一部分或接觸尖端；該末端或尖端術語在此及之後係意謂著一末端部分，其未必會被指明。
因此，除了別的因素外，還知道一度量測試的有效性及可靠性也視在一裝置及一測試器之間產生一良好電性連接並因此建立一理想探針/墊片電性接觸而定。
在此考慮用於該積體電路測試的技術部分所使用的測試頭類型中，所謂具有懸臂探針的測試頭，其也被稱為懸臂測試頭，係藉由讓探針像一釣竿般地突出於一待測裝置上而廣泛地使用。
特別地，一已知類型的懸臂測試頭通常支撐大體上絲狀並具有預設電性與機械特性的複數個彈性探針；來自該懸臂測試頭的懸臂式探針具有一實質掛鉤外形，以呈現實質上具有一大體上鈍內角的肘狀折疊末段。
一懸臂測試頭的探針及一待測裝置的接觸墊片間之良好連接係藉由推動該裝置它本身上的測試頭，其上該些探針以與該裝置移往該測試頭的相反方向進行一垂直彎曲(相對於該待測裝置所定義平面)來確保之。
該些探針的掛鉤外形係使得在與該待測裝置接觸墊片接觸期間及在該些探針上行超過一通常稱為〝針測行程〞的預設接觸點期間，該些探針接觸尖端在該些接觸墊片上滑動超過一通常稱為〝抓痕〞的長度。
命名為〝垂直探針頭〞的具有垂直探針的測試頭也是習知技術；一垂直探針頭主要包括由實質上面板狀且彼此間互相平行的至少一對面板或晶粒所持有的複數個接觸探針，這些晶粒係配備有特定洞孔且彼此間以某一距離配置以例如保留一自由區域或空隙來提供該些接觸探針移動及可能變形；該晶粒對特別包括一上晶粒及一下晶粒，兩者配備有導孔，其中，大體上由具有良好電性及機械特性的特定合金線構成的接觸探針軸向地滑動。
同時在本例中，該些測試探針及該待測裝置接觸墊片間之良好連接係藉由將該裝置它本身上的測試頭下壓，引起可在提供於該上及下晶粒中的導孔內移動的接觸探針在該二晶粒間之空隙內彎曲並依據本下壓接觸在這些導孔內滑動來確保之。
甚至，可經由適合架構該些探針它們本身或其晶粒來幫助該空隙內的接觸探針彎曲，尤指不是使用預先塑形接觸探針就是合宜地水平分隔包括它們的面板。
一般使用具有未固定地扣緊並保持介接至一卡的探針的測試頭，該卡接著係連接至該測試器：這些稱為具有未固定探針的測試頭。
在本例中，該些接觸探針也具有一末端或接觸頭朝向那個卡的複數個接觸墊片，在該些探針及該卡間之良好電性連接安全類似於與該待測裝置之接觸係藉由下壓該些探針至該卡接觸墊片上而得。
甚至，該卡一般係利用一加固物來持於原位，該測試頭、該卡及該加固物組合構成一探針卡，其大體上示意地指定為圖1中的10。
特別地，該卡10包括一測試頭1，其在該圖形範例中係一垂直探針頭；在本例中，這類測試頭1依序包括至少一上板或晶粒2及一下板或晶粒3，各自具有上及下導孔，其內有複數個接觸探針4滑動。
每一個接觸探針4具有至少一末端或接觸尖端，靠在一待測裝置5的接觸墊片上，藉此提供該裝置及一測試器(圖未示)間之機械和電性接觸，其中，本測試頭1構成一終端構件。
甚至，每一個接觸探針4具有朝向該卡6的複數個接觸墊片的另一接觸尖端，其實務上係指定為該接觸頭，在該些探針及該卡間之良好電性接觸類似於與該待測裝置之接觸係藉由將該些探針推至該卡6的接觸墊片上來確保之。
如上所述地，該卡6係利用一加固物8來持於原位。
在該垂直探針技術中，因此確保該些接觸探針及該測試器間之良好連接也是重要的，尤指在其接觸頭所在處及對應地該卡所在處。
用以製造該測試器的探針卡10的一些技術係已知。
特別地，一第一解決方案提供使用印刷板技術來製造該卡10，其通常也被命名為PCB(〝印刷電路板〞的縮寫)；本技術允許製造具有動作區域的卡片，該區域甚至是大尺寸但對該待測裝置上的接觸墊片間可得之最小間距值具有龐大限制。
該陶瓷為主技術或MLC(〝多層陶瓷〞的縮寫)也是已知，這類技術允相較於PCB技術可取得到非常精細間距及更高密度，然而它在可使用於該測試的最大訊號數量及可置放於該卡上的最大動作區域尺寸上具有限制。
使用MLC技術，面板可由具有一高平坦度等級的硬式陶瓷材料製成；這些面板雖無法承受變形或局部施力，其只冒著損壞它們的風險，但它們也配備有一充當樞軸的中央螺絲及聯結著緩衝彈簧以允許該面板它本身所定義平面傾斜的側調整螺絲。
最後，一所謂混合技術可被使用，其中，該測試頭係介接至一通常命名為中介層的中間板，本技術在表面、間距及訊號密度方面提供很大彈性，但在該最大可管理訊號數量上受到限制，也具有最糟電磁執行效率，該混合技術的一不可忽略缺陷為它係難以自動化。
應強調該中間板(中介層)厚度大體上係非常小，介於0.5至3mm之間的範圍，因而具有顯著平坦度問題；藉由聯結該加固物，它使得該整個組件更硬且更具抗性，而允許該中間板中的平坦度缺陷部分降低，然而其結果時常是影響到利用本技術所製卡片的良好操作。
本發明技術問題係提供一探針卡，其係適合支援一配備有複數個接觸探針的測試頭以連接一特別是整合在晶圓上的電子裝置測試器，具有可克服利用已知技術所製探針卡目前所遭遇的限制及缺陷，尤指可保證該卡元件組件的正確平坦度。
在本發明基礎下的解決方案理念係使用與利用PCB技術所實現與一中間板或中介層結合的一支撐構件，本支撐構件與它係以提供該中介層它本身局部微調整的這類方式來結合，藉此改進其平坦度，該支撐構件和該中介層組件也是硬的，足以保證在電子裝置測試期間之接觸探針的正確接觸；特別地，本支撐構件係利用一具有較該中介層更大硬性及平坦度的金屬插頭來提供之。
依據這類解決方案理念，該技術問題係利用一種用於電子裝置設備的探針卡來解決，包括內置複數個接觸探針的至少一測試頭，每一個接觸探針具有適合緊靠在一待測裝置的接觸墊片上的至少一接觸尖端，以及該測試頭的一支撐板，聯結著一加固物和連接至該支撐板且適合提供於它相對側上所製接觸墊片之間的距離的空間轉換的一中間支撐件，特徵包括一結合著該中間支撐件的支撐構件，該中間支撐件係利用一具有較該中間支撐件更大硬性的材料來實現，藉此能夠實現該中間支撐件的局部微調整。
更特別地，本發明包括下列額外及選擇性特性，若有需要，不是個別就是結合運用之。
根據本發明的一觀念，該支撐構件可黏接至該中間支撐件。
本支撐構件可利用利用互鎖機構、掛鉤機構或利用螺絲來結合該中間支撐件。
根據本發明另一觀念，該支撐構件可為一金屬插頭。
特別地，本支撐構件可由一鎳鐵合金製成。
根據本發明另一觀念，該探針卡可進一步包括一調整系統，適合聯結該加固物與該支撐構件並能夠藉由推動及/或拉動相對於該加固物的本支撐構件來施加局部力量至該支撐構件，這些局部力量係傳送至與該支撐構件聯結的中間支撐件。
特別地，本調整系統可包括複數個調整螺絲，散佈於該支撐構件的一平面上並安置在本加固物中所形成的各自座位內。
更進一步，本調整系統可包括第一調整螺絲，以每一個第一調整螺絲具有內置於本支撐構件的一本體及具有依靠在該支撐構件上之至少一下切面和相對於該下切面之可進入至各自第一座位來調整本第一螺絲之一平面的一頭部之這類方式來安置在該加固物中所形成的第一座位內，該些第一調整螺絲起推動該支撐構件作用。
本調整系統可更包括第二調整螺絲，以每一個第二調整螺絲具有內置於本支撐構件的一本體及具有依靠在該加固物上之至少一下切面和相對於該下切面之可進入至各自第二座位來調整本第二螺絲之一平面的一頭部之這類方式來安置在該加固物中所形成的第二座位內，對比於推至該加固物上，該些第二調整螺絲起拉動該支撐構件作用。
這些調整螺絲可具有一實質上類T剖面外形。
特別地，這些調整螺絲可為倍力螺絲。
此外，這些調整螺絲可為一般螺絲、聯結著螺帽做為其頭部的螺絲釘、螺栓或掛鉤系統。
根據本發明另一觀念，這些調整螺絲可實質上具有相等尺寸。
這些調整螺絲也可利用實質上管狀構件來實現並可具有一內含直徑介於2mm至4mm之間的本體和一內含直徑介於4mm至7mm之間的頭部，這些值係針對該探針卡處於正常操作條件下，也就是該探針卡的機械應力及/或熱膨脹不存在的條件下。
特別地，該些調整螺絲的座位可利用實質上管狀構件來實現並可包括相對於該些調整螺絲頭部具有一相配且互補外形的至少一安置隔間和一細長通道。
該些第一座位的本細長通道可特別允許與該些第一調整螺絲頭部的外部平面的連接。
更進一步，該些第二座位的本瘦長通道可特別允許該些第二調整螺絲本體的通行，直到它到達該支撐構件為止。
根據本發明另一觀念，該些座位的安置隔間相對於該些調整螺絲頭部尺寸可形成具有用以允許該些頭部寬鬆地容納於其中之這類方式的增大尺寸。
特別地，根據本發明另一觀念，該調整系統可包括藉由推動操作的第一調整螺絲和藉由拉動操作的第二調整螺絲的一替換串，全部沿著該支撐構件的平面散佈。
根據本發明另一觀念，該調整系統也可更包括支撐螺絲，實質地定位在該支撐構件的中央和角落並用於適當地傾斜本支撐構件。
最後，根據本發明又一觀念，該探針卡可更包括下壓構件，聯結著該中間支撐件並適合施加一適當壓力在該中間支撐件上。
根據本發明探針卡的特徵及優點，由下述提供之說明實施例中應是顯而易見的，參照附圖及實施例中所提供的非限制性的例子。
參考至這類圖形，尤指圖2，一探針卡包括至少一具有複數個接觸探針之測試頭用以測試電子裝置，尤其是整合在一晶圓上，以整體標號20表示。
應注意該些圖形代表根據本發明探針卡之示意圖且未按比例繪製，反之，它們係繪製來例如強調本發明重要特徵。
甚至，在該些圖形中舉例說明所代表之本發明各觀念彼此間可明確地互相結合且可在一實施例和另一者之間互換。
特別地，如圖2所示，該探針卡20包括一內置複數個接觸探針22的測試頭21，一通常指示為PCB的支撐板23及一加固物24。
該探針卡20係適合連接著一測試器(圖未示)，特別地，在該圖形中只是舉例說明之示範例中，該測試頭21係為一垂直類型並包括至少一上板或晶粒21A及一下板或晶粒21B，具有使該些接觸探針22滑動於其內的各自洞孔，該測試頭21也包括該些探針的一內含構件21C，安排於該上晶粒21A及下晶粒21B之間。
在任何例子中，該些接觸探針22包括末端或接觸尖端22’，適合緊靠在一待測裝置25的相對應接觸墊片上，用以實現所求接觸，尤指該待測裝置及該探針卡20之間的電性接觸，及接著連接至其上的測試器。
該探針卡20也包括一中間支撐件或中介層26，利用一適合連接器27來聯結著該支撐板23。
應了解到該中間支撐件或中介層26係適合提供其相對側上所形成接觸墊片之間的距離的空間轉換，特別地，該中介層26可包括形成於其面對該測試頭21的第一側之一上並具有一類似密度或間距，尤指等於該待測裝置25的接觸墊片之該者的一第一複數個接觸墊片，以及在一第二對側上製造並連接至其為一印刷電路板或PCB之支撐板23的一第二複數個接觸墊片；更特別地，在提供適合電性連接以實現該第一複數個和該第二複數個接觸墊片間之定址的中介層內，該第二複數個接觸墊片相對於該第一複數個接觸墊片具有一較低密度。
也可以使用一像所謂微懸臂的微機械類型測試頭，具有直接焊接至該中介層26的探針，本發明並未限定於一特定類型測試頭。
根據本發明所具優勢地，該探針卡20也包括一支撐構件28，具有較該中介層26更大硬性且結合著該中介層26；特別地，本支撐構件28係利用一金屬插頭製成。本金屬插頭具有較該中介層26更大硬性，該中介層係由相容於該PCB技術，較佳地利用該多層有機(MLO)技術的材料製成；甚至，允許一般金屬製程技術來實現高平坦度金屬構件，尤指在較使用該PCB技術的中介層26可得到之平坦度更大的任何例子中。
應了解到藉由結合該支撐構件28與該中介層26，該中介層局部微調整可被提供以改進其平坦度，該支撐構件和該中介層組件也夠硬，足以確保測試中電子裝置上的接觸探針之正確接觸並在它一般測試條件下對著該測試頭21的接觸探針22進行下壓接觸時，避免所謂〝彎曲〞該中介層26。
特別地，因為該支撐構件28的存在，使該中介層26能夠支撐數十公斤負載而不彎曲，例如由與該測試頭21的接觸探針22之推動接觸所引起的那些，並因此協調該測試期間與該些探針它們本身的接觸。
更特別地，本支撐構件28較佳地係黏接至該中介層26；另外，可以利用互鎖機構、掛鉤機構或利用螺絲來結合該支撐構件28與該中介層26。
該支撐構件28較佳地係利用由一例如不鏽鋼的鎳鐵合金製成，尤指具有一高鎳含量或已知為合金42、nilo® 42、ivar 42或NiFe 42的合金，上述只是列舉幾個。
更進一步，該探針卡20包括下壓構件29，聯結著該中介層26並適合施加一適當壓力於其上，尤指以相對於該支撐構件28之相反方向施力。
根據本發明所具優勢地，該探針卡20也包括至少一調整系統30，適合聯結該加固物24與該支撐構件28並能夠施加推動及/或拉動相對於該加固物的本支撐構件的局部力量至本支撐構件28，且因而至結合該支撐構件的中介層26。
該調整系統30包括複數個調整螺絲31、32，散佈於本支撐構件28的一平面上並安置在本加固物24中所形成的各自座位33、34內。
更特別地，該調整系統30包括第一調整螺絲31，以每一個第一調整螺絲31具有內置於該支撐構件28的一本體31D，及具有依靠在該支撐構件28上之至少一下切面31B和相對於該下切面31B之可完全地進入至各自第一座位33，以調整該第一螺絲之一外部平面31A的一頭部31C之這類方式來安置在該加固物中所實現的第一座位33內。藉此，該些第一調整螺絲31起推動該支撐構件之作用。
更進一步，該調整系統30包括第二調整螺絲32，以每一個第二調整螺絲32具有完全地內置於該支撐構件28的一本體32D，及具有依靠在該加固物24上之至少一下切面32B和相對於該下切面32B之可進入至各自第二座位34，以調整該第二螺絲之一外部平面32A的一頭部32C之這類方式來安置在該加固物24中所實現的第二座位34內。在本方式中，對比於推至該加固物24上，該些第二調整螺絲起拉動該支撐構件28作用。
實質地，這些調整螺絲31、32具有一實質上類T剖面外形。
特別地，倍力螺絲係充當調整螺絲31、32，其能夠施加局部力量並因此所產生該支撐構件28的小變形，通常利用一具有減少厚度的金屬塞來實現之。
相對於該加固物24的硬性，該調整系統30利用該些調整鑼絲31、32的彈性。
更特別地，使用一般螺絲、聯結著螺帽做為其頭部的螺絲釘、螺栓或掛鉤系統係可行的，上述只是列舉幾個。
提供類似尺寸的第一和第二調整螺絲31、32係可行的，且如果是實質上管狀構件時，可以考慮每一個調整螺絲包括一具有直徑介於2mm至4mm之間的本體31D、32D和一具有直徑介於4mm至7mm之間的頭部31C、32C，這些值係針對該針卡20處於正常操作條件下，也就是該探針卡的機械應力及/或熱膨脹不存在的條件下。
提供實質上相等尺寸給該些調整螺絲31、32的第一和第二座位33、34也是可行的，且如果是實質上管狀構件時，可以考慮每一個座位33、34分別包括具有各自相對於該些調整螺絲31、32的頭部31C、32C之相配且互補外形的至少一安置隔間33C、34C和一細長通道33D、34D。更特別地，對於該些第一調整螺絲31的第一座位33而言，該細長通道33D允許與該些第一調整螺絲31之頭部31C的外部平面31A之外部連接，因而進行它們的調整。對於已具有一自該加固物24中露面之外部平面32A並因此可達成該調整的第二調整螺絲32而言，該細長通道34D允許該本體32D的通行，直到它到達該支撐構件28為止
具優勢地，針於該些調整螺絲31、32的頭部31C、32C而言，該些安置隔間33C、34C係以允許該些頭部31C、32C之安置具有空隙並因此允許它們在該調整系統30執行該調整期間之移動的這類方式來形成相對於該些頭部31C、32C的尺寸，具有例如數量至少為5%的較大尺寸。
更進一步，相對於該些調整螺絲31、32之頭部31C、32C，該些座位33、34之安置隔間33C、34C的增大尺寸也可隨著該探針卡20之操作溫度增加來擴大該中介層26及它所連接之支撐構件28，同時避免該測試頭21的任何移動，其會使利用它來執行之測試無法有良好結果。
如前所述地，每一個調整螺絲31、32施加一推力及/或一拉力至該支撐構件28的金屬結構，該相對局部力量因此係傳送至該中介層26。
藉此，該調整系統30能夠透過該支撐構件28來施加局部微調整至該中介層26。
因此，該調整系統30可被使用於進一步局部平坦化結合至該支撐構件28的中介層26，如果是非常薄的中介層26時，例如，具有一厚度介於0.5mm至3mm，因而非常易於彎曲時，對本平坦化需求特別地有感覺。
更特別地，如圖3所示，該調整系統30包括藉由推動作用的第一調整螺絲31和藉由拉動作用的第二調整螺絲的一替換串，全沿著該支撐構件28來散佈；如所述地，該些調整螺絲31、32係螺絲釘，可施加使該中介層26之兩點間變形的局部力量；特別地，該支撐構件28係具彈性地變形，且該力量係傳送至該中介層26。
該調整系統也包括支撐螺絲35，亦即實質地定位在該支撐構件28的中央的第一支撐螺絲35和定位在該支撐構件28的角落之具有一實質上導管外形的第二支撐螺絲36。
特別地，該些支撐螺絲35、36係使用於適當地傾斜該支撐構件28，因而使該中介層26與其結合。
在一較佳實施例中，該些第一調整螺絲31和該些第二調整螺絲32係均勻地散佈且為部分該支撐構件28無支撐螺絲35、36的另一方式；當利用旋轉螺絲來調整時，這類均勻散佈有效地確保一良好推動或拉動負載散佈。
每一個調整及支撐螺絲也可配備一例如小方形物或墊圈的間隔子構件(圖未示)，合宜地鑽孔以允許該些螺絲它們本身通行並適當放鬆在該支撐件28或加固物24上的螺絲所施加的局部負載。
因此，該調整系統30的調整螺絲31、32和支撐螺絲35、36的聯合動作可得到該支撐構件28及因此與其結合的中介層26所要求的平坦化和傾斜效應。
應了解到該探針卡20係接觸到適合將該中介層26推至未接觸到該支撐構件28之部分中的測試器(圖未示)之下壓構件29中，因而增加其整體平坦度。
總之，根據本發明所具優勢地，因為以實現該中介層它本身局部微調整之這類方式來結合至該中間板或中介層的支撐構件的存在，故可得到一高平坦度探針卡以改進它的平坦度。
特別地，該支撐構件係硬的，足以保證在電子裝置測試期間之接觸探針的正確接觸，該支撐構件係利用一具有較該中介層更大硬性及平坦度的金屬插頭來實現之。
這類探針卡因此產生能夠正確地操作的結果，甚至對抗與該測試頭21的接觸探針22的推動接觸，其在正常測試操作期間能夠施加高達數十公斤的負載，該支撐構件組件係結合著該中介層，其未冒著彎曲風險並因此協調與該些探針它們本身的接觸。
進一步，根據本發明之探針卡具有進一步局部調整該中介層平坦度的可能性，如果是具有一減少厚度的中介層時特別有用。
本調整可能性允許進一步放鬆源自該中介層製程的限制，尤指該PCB技術。
甚至，根據本發明之探針卡同樣在引起它組成構件熱膨賬的操作溫度存在中正確地操作，因而克服目前市售探針的缺陷。
應了解到針對上述探針卡，為了滿足特定需求和說明書之目的，那些熟知此項技術之人士可實行許多修改及變化，其係全部包含於下列申請專利範圍所定義之本發明保護範圍內。
1‧‧‧測試頭
2‧‧‧上板或晶粒
3‧‧‧下板或晶粒
4‧‧‧接觸探針
5‧‧‧待測裝置
6‧‧‧卡
8‧‧‧加固物
10‧‧‧探針卡
20‧‧‧探針卡
21‧‧‧測試頭
21A‧‧‧上板或晶粒
21B‧‧‧下板或晶粒
21C‧‧‧內含構件
22‧‧‧接觸探針
22’‧‧‧接觸尖端
23‧‧‧支撐板
24‧‧‧加固物
25‧‧‧待測裝置
26‧‧‧中介層
27‧‧‧連接器
28‧‧‧支撐件
29‧‧‧下壓構件
30‧‧‧調整系統
31‧‧‧第一調整螺絲
32‧‧‧第二調整螺絲
31A,32A‧‧‧外部平面
31B,32B‧‧‧下切面
31C,32C‧‧‧頭部
31D,31D‧‧‧本體
33‧‧‧第一座位
34‧‧‧第二座位
33C,34C‧‧‧安置隔間
33D,34D‧‧‧細長通道
35‧‧‧第一支撐螺絲
36‧‧‧第二支撐螺絲
圖1示意地顯示根據該習知技術所製適合支撐一垂直探針測試頭之探針卡。 圖2 示意地顯示根據本發明實施例之一探針卡剖面圖。 圖3 示意地顯示圖2之探針卡仰視圖。
20‧‧‧探針卡
21‧‧‧測試頭
21A‧‧‧上板或晶粒
21B‧‧‧下板或晶粒
21C‧‧‧內含構件
22‧‧‧接觸探針
22’‧‧‧接觸尖端
23‧‧‧支撐板
24‧‧‧加固物
25‧‧‧待測裝置
26‧‧‧中介層
27‧‧‧連接器
28‧‧‧支撐件
29‧‧‧下壓構件
30‧‧‧調整系統
31‧‧‧第一調整螺絲
32‧‧‧第二調整螺絲
31A,32A‧‧‧外部平面
31B,32B‧‧‧下切面
31C,32C‧‧‧頭部
31D,31D‧‧‧本體
33‧‧‧第一座位
34‧‧‧第二座位
33C,34C‧‧‧安置隔間
33D,34D‧‧‧細長通道

Claims (10)

  1. 一種用於電子裝置測試器的探針卡，包括內置複數個接觸探針的至少一測試頭，每一個接觸探針具有適合緊靠在一待測裝置的接觸墊片上的至少一接觸尖端，以及該測試頭的一支撐板，聯結著一加固物和連接至該支撐板且適合提供於它相對側上所製造接觸墊片之間的距離的空間轉換的一中間支撐件，特徵在於它包括一結合著該中間支撐件的支撐構件，該中間支撐構件係利用一具有較該中間支撐件更大硬性的材料來實現，該結合能夠實現該中間支撐件的局部微調整。
  2. 如申請專利範圍第1項之探針卡，特徵在於該支撐構件係黏接至該中間支撐件。
  3. 如申請專利範圍前述項中任一項之探針卡，特徵在於該支撐構件係一金屬插頭。
  4. 如申請專利範圍前述項中任一項之探針卡，特徵在於它更包括一調整系統，適合聯結該加固物與該支撐構件並能夠施加推動及/或拉動相對於該加固物的該支撐構件之局部力量至該支撐構件，這些局部力量係傳送至與該支撐構件結合的中間支撐件。
  5. 如申請專利範圍第4項之探針卡，特徵在於該控制系統包括複數個調整螺絲，散佈於該支撐構件的一平面上且安置在該加固物中形成的各自座位內。
  6. 如申請專利範圍第5項之探針卡，特徵在於該控制系統包括第一調整螺絲，以每一個第一調整螺絲具有內置於該支撐構件的一本體及具有依靠在該支撐構件上之至少一下切面和相對於該下切面之可進入至各自第一座位來調整該第一螺絲之一平面的一頭部之這類方式來安置在該加固物中所形成的第一座位內，該些第一調整螺絲藉由推至該支撐構件上來作用。
  7. 如申請專利範圍第6項之探針卡，特徵在於該控制系統更包括第二調整螺絲，以每一個第二調整螺絲具有內置於該支撐構件的一本體及具有依靠在該加固物上之至少一下切面和相對於該下切面之可進入至各自第二座位來調整該第二螺絲之一平面的一頭部之這類方式來安置在該加固物中所形成的第二座位內，對比於推至該加固物上，該些第二調整螺絲藉由拉動該支撐構件來作用。
  8. 如申請專利範圍第4至7項中任一項之探針卡，特徵在於這些調整螺絲係利用實質上管狀構件來實現並具有一內含直徑介於2mm至4mm之間的本體和一內含直徑介於4mm至7mm之間的頭部，這些值係意欲針對該探針卡處於正常操作條件下，也就是該探針卡的機械應力及/或熱膨脹不存在的條件下。
  9. 如申請專利範圍第8項之探針卡，特徵在於該些調整螺絲的該些座位係利用實質上管狀構件來實現並包括相對於該些調整螺絲的頭部具有一相配且互補外形的至少一安置隔間和一細長通道。
  10. 如申請專利範圍第4至9項中任一項之探針卡，特徵在於該控制系統更包括支撐螺絲，實質地定位在該支撐構件的中央和角落並用於適當地傾斜本支撐構件。
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