CN101158700B - 探针卡 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种探针卡，包括下固定板，位于下固定板上方的上固定板，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件，通过陶瓷圈和开口槽相连接的印刷电路板，在上下固定板和陶瓷圈之间起固定作用的弹性固件，连接印刷电路板和探针装置的固件，探针，所述探针的底部和探针本体成一角度。本发明探针卡的探针的尾部和探针本体成一角度，通过调整该角度和探针的方向同一探针可以扎到不同位置的焊垫，并且可以针对焊垫的多少而决定所用的探针数量并能方便的替换，从而可以从而节约生产成本，提高生产效率。

Description

探针卡
技术领域
本发明涉及集成电路工艺领域，尤其是一种集成电路测试领域中的探针卡。
背景技术
探针卡是集成电路工艺领域重要器件，应用在集成电路尚未封装之前，针对晶圆以探针做功能测试，选出不合格产品再进行后续的封装工程，避免不良产品继续加工而造成浪费。它负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接。探针卡上有很多探针，在测试时，探针卡上的探针与晶圆上的焊垫接触，对晶圆输出信号或者测试晶圆信号输出值。
如图1所示，现有的探针卡包括下固定板1，位于下固定板上方的上固定板3，位于上下固定板之间并在其之间留有空间的支撑件2，通过陶瓷圈4和开口槽7相连接的印刷电路板8，在上下固定板和陶瓷圈4之间起固定作用的弹性固件5，连接印刷电路板8和探针装置的的支柱6，探针9。现有的探针卡中探针9为垂直的。
现有的集成电路设计中产品多样、并且同一个产品也会进行多次改版，由于现有的探针卡中的探针时垂直的，探针的位置是固定的，因此每一次焊垫的变更都需要再做一次探针卡，这样既增加测试的时间成本同时也增加了测试的材料和人工成本，降低了生产率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种探针卡，能够克服集成电路测试中垂直探针造成的每次更换焊垫都需要重新做一个探针卡的不足，使每次焊垫变更都可以用同一张探针卡稍做修改即可进行测试，从而节约生产成本，提高生产效率。
为解决上述技术问题，本发明探针卡所采用的技术方案是，包括下固定板、上固定板、支撑件、陶瓷圈、印刷电路板、开口槽和探针；所述上固定板位于所述下固定板上方，所述支撑件位于所述上固定板和所述下固定板之间并使所述上固定板和所述下固定板之间留有空间；所述陶瓷圈位于所述上固定板上，在所述下固定板和所述陶瓷圈之间包括有弹性固件，通过所述弹性固件将所述上固定板、所述下固定板以及所述支撑件作为一个整体固定连接于所述陶瓷圈底部；所述印刷电路板固定连接于所述开口槽的底部，所述陶瓷圈位于所述印刷电路板底部并穿过所述印刷电路板固定连接于所述开口槽的底部，在所述陶瓷圈和所述印刷电路板间的连接处包括有固件；所述探针的本体为垂直结构，其特征在于，所述探针的底部和探针本体成一角度。
本发明探针卡的探针底部和探针本体成一角度，同一个探针在焊垫上扎针的直径和位置可以调整，可以使探针针对不规则的焊垫进行扎针。本发明可使集成电路设计时焊垫位置选择不再受局限。并且可以针对焊垫的多少而决定所用的探针数量并能方便的替换。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1为现有探针卡结构示意图；
图2为本发明探针卡结构示意图；
图3为本发明探针卡中探针与焊垫接触时探针方向和角度示意图；
图4为本发明探针卡中探针与焊垫接触示时探针方向和角度意图；
图5为利用本发明测试的焊垫图。
具体实施方式
如图2所示，本发明的探针卡包括下固定板10，位于下固定板上方的上固定板30，位于上固定板30和下固定板10之间并在其之间留有空间的支撑件20，通过陶瓷圈40和开口槽70相连接的印刷电路板80，在上固定板30、下固定板10和陶瓷圈40之间起固定作用的弹性固件50，连接印刷电路板80和探针装置的支柱60，其中探针装置即为探针卡的下部装置，包括了由陶瓷圈40、上固定板30、下固定板10和支撑件20等固定在一起组成的装置，支柱60为本发明实施例采用的固件。支柱60中间有螺纹，探针90，其中的探针90的底部和探针本体成一可调整的角度，该角度为锐角。
如图3、图4所示，本发明探针卡的斜探针500、510在分别和焊垫600、610接触示时不是垂直接触，而是成一个角度α，α为斜探针弯曲的角度，斜探针的方向360度变换。探针的弯曲程度与图3、图4中的α角的大小有关，因为α角的不一样，可以做一个系列的不同α角度的斜探针，在图3、图4中的圆可有不同的直径。如图5所示，利用本发明的斜探针可以扎到不同位置的焊垫。
本发明探针卡的探针的尾部和探针本体成一角度，通过调整该角度和探针的方向同一探针可以扎到不同位置的焊垫，可使集成电路设计时焊垫位置选择不再受局限，并且可以针对焊垫的多少而决定所用的探针数量并能方便的替换，从而可以从而节约生产成本，提高生产效率。

Claims (4)

1.一种探针卡，包括下固定板、上固定板、支撑件、陶瓷圈、印刷电路板、开口槽和探针；所述上固定板位于所述下固定板上方，所述支撑件位于所述上固定板和所述下固定板之间并使所述上固定板和所述下固定板之间留有空间；所述陶瓷圈位于所述上固定板上，在所述下固定板和所述陶瓷圈之间包括有弹性固件，通过所述弹性固件将所述上固定板、所述下固定板以及所述支撑件作为一个整体固定连接于所述陶瓷圈底部；所述印刷电路板固定连接于所述开口槽的底部，所述陶瓷圈位于所述印刷电路板底部并穿过所述印刷电路板固定连接于所述开口槽的底部，在所述陶瓷圈和所述印刷电路板间的连接处包括有固件；所述探针的本体为垂直结构，其特征在于，所述探针的底部和探针本体成一角度。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针底部和探针本体之间的角度可调整。
3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针底部和探针本体之间的角度为锐角。
4.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述固件中间有螺纹。
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