JP4490978B2 - コンタクタ - Google Patents
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- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に同一高さに立設された一対の導電性支持部材と、一対の導電性支持部材上端で両端がそれぞれ導通自在に水平に支持され且つ水平面内でコ字状形成された弾性支持プレートと、この弾性支持プレートの自由端部で支持されたバンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に同一高さに立設された一対の導電性支持部材と、一対の導電性支持部材上端の2箇所で水平に支持され且つ水平面内で環状に形成された一つの導電性環状プレートと、この導電性環状プレートの中央部横切るように上記導電性環状プレートと一体に形成され且つ互いに先端を接近させて形成された一対の弾性支持プレートと、一対の弾性支持プレートの自由端部でそれぞれ支持され且つ検査時に互いに接触して一つのバンプとして一体化する一対の分割バンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に同一高さに立設された一対の導電性支持部材と、一対の導電性支持部材上端でそれぞれ水平に支持され且つ水平面内で環状に形成された一つの導電性環状プレートと、この導電性環状プレートの中央を横切るように導電性環状プレートと一体に形成された弾性架設部と、この弾性架設部の中央で支持されたバンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 上記バンプは、先端が平坦面で先端部から基端部に向けて徐々に太くなる接触部と、この接触部を支持する支持部とからなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記バンプは、円柱状に形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記プローブ端子は、骨格をなすコア金属と、このコア金属のバネ性を補足し且つコア金属を被覆する合金層と、この合金層とコア金属との間に介在してこれら両者を接合する接合用金属層とからなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記コア金属がニッケルであり、上記接合用金属が金であり、上記合金がニッケル−コバルト系合金であることを特徴とする請求項6に記載のコンタクタ。
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