JP2007147639A - コンタクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のコンタクタ1は、シリコン基板1の一方の面全面に配列された複数の第1電極3と、これらの第1電極3に設けられたプローブ端子4と、シリコン基板2の他方の面全面に第1の電極3に対応して配列された複数の第2電極5と、これらの第2電極5とテスタ側のプリント配線基板11とを互いに導通する弾性接続部材10と、を備え、プローブ端子4は、第1電極3上に立設された導電性支持柱7と、導電性支持柱7上端で片持ち支持されたカンチレバーバネ8と、このカンチレバーバネ8の自由端部で支持されたバンプ9と、を有する。
【選択図】図2
Description
する。
Claims (7)
- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に立設された導電性支持部材と、この導電性支持部材上端で導通自在に片持ち支持された弾性支持プレートと、この弾性支持プレートの自由端部で支持されたバンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に立設された導電性支持部材と、この導電性支持部材上端で互いに先端を接近させて導通自在に片持ち支持された複数の弾性支持プレートと、各弾性支持プレートの自由端部でそれぞれ支持されたバンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 基板の一方の面全面に配列された複数の第1電極と、これらの電極にそれぞれ設けられたプローブ端子と、これらのプローブ端子及び第1電極に対応して上記基板の他方の面全面に配列された複数の第2電極と、これらの第2電極とテスタ側の配線基板とを互いに導通する弾性接続部材とを備え、上記複数のプローブ端子が被検査体と一括接触してその電気的特性検査を行うコンタクタであって、上記プローブ端子は、第1電極上に立設された導電性支持部材と、この導電性支持部材上端で支持された導電性環状プレートと、この導電性環状プレートと一体に形成された弾性架設部中央で支持されたバンプと、を有することを特徴とするコンタクタ。
- 上記バンプは、先端が平坦面で先端部から基端部に向けて徐々に太くなる接触部と、この接触部を支持する支持部とからなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記バンプは、円柱状に形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記プローブ端子は、骨格をなすコア金属と、このコア金属のバネ性を補足し且つコア金属を被覆する合金層と、この合金層とコア金属との間に介在してこれら両者を接合する接合用金属層とからなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のコンタクタ。
- 上記コア金属がニッケルであり、上記接合用金属が金であり、上記合金がニッケル−コバルト系合金であることを特徴とする請求項6に記載のコンタクタ。
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