CN105607265A - 光学设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种光学设备，包括：载置部，其上载置物体；观察部，其包括用于形成载置于载置部上的物体的图像的成像光学系统；轴部，其在第一方向和与第一方向相反的第二方向上能够转动；驱动部，其根据轴部在第一方向上的转动使观察部和载置部之一在与重力方向相反的第三方向上移动，以及根据轴部在第二方向上的转动使观察部和载置部之一在与第三方向相反的第四方向上移动；以及扭矩控制部，其包括：离合器部，其容许轴部在第一方向上的转动，阻止轴部在第二方向上的转动，以及在第二方向上的转动力输入至轴部的情况下与轴部一起在第二方向上转动，以及限制部，其限制离合器部的转动。

Description

光学设备

技术领域

本发明涉及一种基于工件图像来进行观察和测量的光学设备。

背景技术

以往，已知有如下的光学设备，该光学设备通过各自具有物镜和成像透镜的光学系统来形成工件的图像并且基于该工件图像来进行观察和测量。例如，在测量投影设备中，利用投影部来对工件的图像进行投影，并且对所投影的工件以视觉方式进行测量。此外，在图像测量设备中，利用数字照相机等来对工件的图像进行投影，并且基于数字图像来进行测量等。在如上所述的光学设备中，对工件图像进行高精度地调焦是重要的。

例如，通过使载置工件的载物台和安装有成像光学系统的测量头在垂直方向上相对移动来进行调焦。典型地，通过使转动杆转动来使载物台和测量头中的一个向上或向下移动。由于载物台或测量头的重量，因此可能导致上升所需的转动扭矩和下降所需的转动扭矩之间的差异。向上和向下移动所需的转动扭矩之间的差异的增大导致光学设备的可操作性下降。

尽管属于完全不同的领域，但日本特开平06-6159(以下称为专利文献1)公开了通过将摩擦式制动器和单向离合器组合所获取的制动单元。通过使用该制动单元，能够平衡使载置有机动车等的升降板下降和上升时所需的转动扭矩(例如，参考专利文献1的第3页的左栏)。

发明内容

此外，在该光学设备中，期望提供抑制载物台或测量头上升和下降所需的转动扭矩之间的差异并且使得能够以高的可操作性进行调焦的技术。

基于上述情况，存在对能够以高的可操作性进行调焦的光学设备的需求。

根据本发明的实施例，提供了一种光学设备，包括：载置部，其上载置物体；观察部，其包括用于形成载置于所述载置部上的所述物体的图像的成像光学系统；轴部，其在第一方向和与所述第一方向相反的第二方向上能够转动；驱动部，其根据所述轴部在所述第一方向上的转动使所述观察部和所述载置部之一在与重力方向相反的第三方向上移动，以及根据所述轴部在所述第二方向上的转动使所述观察部和所述载置部之一在与所述第三方向相反的第四方向上移动；以及扭矩控制部，其包括：离合器部，其容许所述轴部在所述第一方向上的转动，阻止所述轴部在所述第二方向上的转动，以及在所述第二方向上的转动力输入至所述轴部的情况下与所述轴部一起在所述第二方向上转动，以及限制部，其限制所述离合器部的转动。

在该光学设备中，离合器部容许轴部在第一方向上的转动。因此，能够在不增大所需扭矩的情况下使观察部或载置部在与重力方向相反的第三方向上移动。另一方面，在将第二方向上的转动力输入至轴部的情况下，轴部和离合器部两者均转动，并且利用限制部来限制离合器部的转动。因此，能够控制由于观察部或载置部的重量而作用于轴部的扭矩。结果，能够以高的可操作性进行调焦。

所述离合器部包括设置在所述轴部的单向离合器和形成于所述单向离合器的周围部的板状部，并且所述离合器部与所述轴部一起在所述第二方向上转动。在这种情况下，所述限制部包括一个或多个按压构件，所述按压构件被向着所述板状部按压以限制所述板状部的转动。

利用该结构，能够利用简单的结构来进行扭矩控制。

所述板状部具有被所述一个或多个按压构件按压的至少一个面。

利用该结构，能够充分限制板状部的转动。

所述板状部可以具有在所述轴部的延伸方向上彼此相对的第一面和第二面。在这种情况下，所述限制部可以包括按压所述板状部的所述第一面的第一按压构件和按压所述板状部的所述第二面的第二按压构件。

通过利用第一按压构件和第二按压构件来夹持板状部，能够确保限制板状部的转动。

所述限制部可以具有第一支撑面和第二支撑面，所述第一支撑面向所述第一面支撑所述第一按压构件，所述第二支撑面被设置为在所述轴部的延伸方向上与所述第一支撑面的距离是能够改变的，并且所述第二支撑面向所述第二面支撑所述第二按压构件。

通过改变第一支撑面和第二支撑面之间的距离，能够改变第一按压构件和第二按压构件按压板状部的力。因此，能够高精度地执行扭矩控制。

所述限制部可以包括具有所述第一支撑面的第一支撑部、具有所述第二支撑面的第二支撑部、以及固定部，其中，在所述轴部的延伸方向上，所述第二支撑部相对于所述第一支撑部的位置是能够改变的，以及所述固定部将所述第二支撑部相对于所述第一支撑部的位置固定。

通过分开地设置具有第一支撑面的第一支撑部和具有第二支撑面的第二支撑部，能够容易地改变第一支撑面和第二支撑面之间的距离。

所述固定部可以包括形成在所述第一支撑部上的固定孔、形成在所述第二支撑部上的贯通孔、以及贯穿所述贯通孔以插入至所述固定孔的固定构件。

由于固定构件贯穿第二支撑部中所形成贯通孔以插入第一支撑部的固定孔中，因此能够充分防止第二支撑部的位置的变动。

所述板状部可以围绕所述轴部呈环状地形成。在这种情况下，所述第一按压构件和所述第二按压构件各自可以包括一个或多个垫圈构件。

通过使用垫圈，能够利用简单结构来实现扭矩控制部。

所述一个或多个垫圈构件可以包括波形垫圈。

通过使用波形垫圈，能够控制对板状部的按压力。结果，能够高精度地进行扭矩控制。

如上所述，根据本发明的实施例，能够以高的可操作性进行调焦。应当注意，上述效果不是必要性的限制，并且可以是本发明中所说明的任何效果。

如附图中所说明的，根据最佳实施例的以下详细说明，本发明的这些和其它目的、特征、优点将变得明显。

附图说明

图1A和1B是各自示意性地示出作为根据本发明的实施例的光学设备的投影设备的外观的图。

图2是用于说明观察部的向上和向下移动的图。

图3A和图3B是示出升降机构的结构示例的示意图。

图4是示出扭矩控制部的结构示例的示意图。

具体实施方式

以下将参考附图来说明本发明的实施例。

图1(图1A和1B)是各自示意性地示出作为根据本发明的实施例的光学设备的投影设备的外观的图。图1A是投影设备100的前视图(Y方向上)，而图1B是投影设备100的侧视图(X方向上)。

投影设备100具备基体部10、观察部20、载物台(载置部)40和照明部45。基体部10是载置于桌子等上的部分并且在本实施例中为大致长方体形状。

在大致占从基体部10的上面11的前侧(图1B中的左侧)到后侧(图1B中的右侧)的区域的3/4的区域中，设置有载置工件(物体)W的载物台40。载物台40连接至x轴移动机构和y轴移动机构(均未示出)。当移动机构被用户操作或被自动驱动时，载物台40变得在x和y方向上可移动。不限定移动机构的具体结构。

观察部20具备头部21和支柱部22。如图1(图1A和1B)所示，支柱部22设置在基体部10的上面11的后侧、与载物台40相邻的位置。支柱部22具有大致长方体形状并且在z方向上延伸。

头部21耦接至支柱部22的上面部。头部21具备形成载物台40上载置的工件W的图像的成像光学系统25和对所形成的工件W的图像进行投影的投影光学系统26。

如图1(图1A和1B)所示，成像光学系统25具备设置在头部21的下面27与载物台40相对的位置处的物镜28。成像光学系统25还具备设置在头部21中的诸如成像透镜等的各种光学构件(未示出)。不限定成像光学系统25的结构，并且可以采用任意结构。典型地，使用能够在放大工件W的图像的同时形成图像的成像光学系统，并且利用投影光学系统对所形成的放大图像进行投影。

投影光学系统26具备设置在头部21的前面29上的显示部30。显示部30例如是圆形的，并且例如工件W的放大图像被投影至显示部30上。用户以视觉的方式检查所投影的工件W的图像，以进行形状检查等。

投影光学系统26还具备设置在头部21中的诸如反射镜等的各种光学构件(未示出)。不限定投影光学系统26的结构，并且可以采用任意结构。例如，可以采用其中成像光学系统25的一部分还用作投影光学系统26的结构。

照明部45具备透过照明部46和反射照明部47。透过照明部46设置在基体部10内的载物台40下方的位置。从透过照明部46出射的光经由形成在基体部10的上面11和载物台40上的出射口(未示出)照射到工件W上。透过工件W的光进入物镜28，从而将工件W的图像投影至显示部30上。

反射照明部47设置在支柱部22的前面23的上侧。从反射照明部47出射的光从倾斜方向照射到工件W上。被工件W反射的光进入物镜28，从而将工件W的图像投影至显示部30上。

光可以从反射照明部47向着物镜28照射，并且被反射镜等向着工件W反射。因此，可以从工件W的上方以垂直的方式照射光，以使得可以观察基于反射光的工件W的图像。

作为透过照明部46和反射照明部47，使用LED光源、灯具等。

如图1(图1A和1B)所示，在基体部10的侧面31的后侧，设置用户能够操作的手柄51和耦接至手柄51的轴部52。在用户向右(图1B中的箭头R)转动手柄51的情况下，轴部52也向右转动。在用户向左(图1B中的箭头L)转动手柄51的情况下，轴部52也向左转动。手柄51还是用于向轴部52输入转动力的输入部。

图2是用于说明观察部20的向上和向下移动的图。在本实施例中，头部21和支柱部22根据用户对手柄51的操作(向轴部52的转动力的输入)沿着z方向以垂直方向一体移动。如图2所示，支柱部22具有双重结构，并且内侧的支柱部32固定至基体部10。外侧的支柱部22沿着内侧的支柱部32在垂直方向上移动。

在本实施例中，观察部20根据手柄51和轴部52向右的转动(箭头R)向上移动。另外，观察部20根据手柄51和轴部52向左的转动(箭头L)向下移动。在本实施例中，向右和向左的转动分别与第一方向和与第一方向相反的第二方向相对应。另外，观察部20向上移动的方向与和重力相反的第三方向相对应，而向下移动的方向与和第三方向相反的第四方向相对应。

以下将详细说明用于使观察部20向上和向下移动的升降机构。通过利用升降机构来使观察部20移动，能够调节具备物镜28的成像光学系统25的焦点。结果，可以将焦点设置在工件W的图像上。因此，还将升降机构称为调焦机构。应当注意，在以下说明中，内侧的支柱部32为引导部32，两者利用相同的附图标记来表示。

图3(图3A和3B)是示出本实施例的升降机构的结构示例的示意图。在图3(图3A和3B)中，省略了载物台40的图示。另外，图3(图3A和3B)所示的基体部10示意性地示出设置轴部52的区域(基体部10的后侧的位置)的截面。实际上，可转动地支撑轴部52等的支撑结构例如被构成在基体部10的内部。

升降机构50包括手柄51、轴部52、扭矩控制部53、涡轮齿轮(wormwheelgear)54、滚珠螺杆机构55和线性引导件56。涡轮齿轮54根据轴部52的转动而绕z方向转动。滚珠螺杆机构55包括连接至涡轮齿轮54的螺杆轴57和附接至螺杆轴57的滚珠螺杆螺母58。螺杆轴57在z方向上延伸，而滚珠螺杆螺母58根据螺杆轴57的转动在垂直方向上移动。

如图3(图3A和3B)所示，螺杆轴57从引导部32的底面33起向上延伸。滚珠螺杆螺母58连接至观察部20的支柱部22，并且支柱部22随着滚珠螺杆螺母58的移动而移动。不限定用于连接滚珠螺杆螺母58和支柱部22的结构。

应当注意，通过适当地设置涡轮齿轮54的减速比和滚珠螺杆机构55的导程等，可以确定观察部20相对于手柄51的转动量的进给量。另外，在本实施例中，涡轮齿轮54和滚珠螺杆机构55用作驱动部。

线性引导件56包括设置在引导部32内部的导轨59和可移动地附接至导轨59的滑动器60。导轨59从引导部32的底面33起在z方向上延伸。滑动器60连接至观察部20的支柱部22并且可随支柱部22移动。通过设置线性引导件56，能够使观察部20的上升和下降稳定。

在本实施例中，设置两个导轨59，并且将两个滑动器60分别附接至这两个导轨59。然而，该结构不限于此，并且可以使用任意数量的导轨59和滑动器60。也不限定使得滑动器60和支柱部22能够一体移动的结构，而可以采用任意的结构。

在用户转动手柄51并且将向右的转动力输入至轴部52的情况下，连接至涡轮齿轮54的螺杆轴57转动，并且滚珠螺杆螺母58向上移动。因此，支柱部22向上移动，并且观察部20整体向上移动(图3A到图3B)。在将向左的转动力输入至轴部52的情况下，滚珠螺杆螺母58向下移动，并且观察部20整体向下移动(图3B到图3A)。

扭矩控制部53容许轴部52的向右转动，并且限制轴部52的向左转动。因此，输入到轴部52的向右的转动力在不存在限制的情况下传递至滚珠螺杆机构55。结果，能够在不增大所需扭矩的情况下利用小扭矩来使观察部20向上移动。

另一方面，通过限制轴部52的向左转动，能够控制由于观察部20的重量而作用于轴部52的向左的扭矩。换句话说，扭矩在由于观察部20的重量而导致滚珠螺杆螺母58下降的方向上作用于螺杆轴57。该扭矩经由涡轮齿轮54作为向左的扭矩作用于轴部52。本实施例的扭矩控制部53能够限制向左的扭矩。

因此，能够抑制使观察部20上升和下降所需的扭矩之间的差，并且以高的可操作性进行调焦。并且，还能够在使观察部20下降时发挥一定程度的驱动重量和细微的停止能力，从而进行高精度调焦。另外，能够防止由于观察部20的重量而导致的观察部20逐渐下降、以及防止观察部20的下降大于用户所期限的移动量而最终使调焦变得繁杂。结果，可以提高投影设备100的可操作性。

图4是示出扭矩控制部53的结构示例的示意图。扭矩控制部53包括离合器部65和限制部66。离合器部65容许轴部52的向右转动。离合器部65阻止轴部52的向左转动，并且在向左的转动力输入至轴部52的情况下与轴部52一起向左转动。通过利用限制部66限制离合器部65的转动来进行扭矩控制。

如图4所示，离合器部65包括设置于轴部52上单向离合器67和连接至单向离合器67的周围部68的摩擦部69。将轴部52插入单向离合器67，以使得仅容许轴部52的向右转动。不限定单向离合器67的具体结构，并且例如使用滚筒式单向离合器等。

摩擦部69与单向离合器67一体地构成，并且在单向离合器67转动的情况下，摩擦部69也和单向离合器67一起转动。摩擦部69包括在与轴部52相同的方向上延伸的筒状部70和从筒状部70起向外侧垂直延伸的板状部71。各板状部71具有从筒状部70观看时的法兰形状，并且在与轴部52垂直的方向上延伸。

应当注意，还能够分开地形成摩擦部69与单向离合器67，并且使用粘着剂等来连接摩擦部69与单向离合器67，或者使摩擦部69与单向离合器67彼此装配而连接。还可以采用各种其它结构来作为在单向离合器67的周围部68中设置板状部71的结构。

如图4所示，板状部71大致形成在筒状部70的x方向上的中心，并且各自具有与x方向垂直的第一面73和第二面74。在从x方向看的情况下，第一面73和第二面74具有大致相同的环状。

通过向板状部71按压一个或多个按压构件，限制部66对板状部71的转动进行限制。因此，限制了离合器部65的向左转动。如图4所示，限制部66包括第一支撑部75、第二支撑部76、作为第一按压构件的第一垫圈部77和作为第二按压构件的第二垫圈部78。

第一支撑部75是筒状的，并且轴部52插入至第一支撑部75的内周侧。第一支撑部75具有与离合器部65的板状部71的第一面73相对的第一支撑面79。从x方向上看，第一支撑面79的形状为与第一面73的形状大致相同的环状。

第一支撑面79向第一面73支撑配置在第一支撑面79和第一面73之间的第一垫圈部77。利用该结构，向第一面73按压第一垫圈部77，并且限制板状部71的转动。

第二支撑部76也是筒状的，并且轴部52插入至第二支撑部76的内周侧。第二支撑部76具有与板状部71的第二面74相对的第二支撑面80。通过第二支撑面80，向第二面74支撑第二垫圈部78。利用该结构，向第二面74按压第二垫圈部78，并且限制板状部71的转动。通过利用第一垫圈部77和第二垫圈部78夹持板状部71，能够确保限制板状部71的转动。另外，通过调节作用于各面上的按压力，能够进行细微的扭矩调节。

第一垫圈部77和第二垫圈部78各自包括波形垫圈81和夹持波形垫圈81的两个树脂垫圈82。通过使用波形垫圈81，能够在第一面73和第二面74中各自产生表面压力。结果，通过第一面73和第二面74各自与树脂垫圈82之间的摩擦阻抗，能够确保限制板状部71的转动。并且，通过适当选择不同类型的波形垫圈(例如具有不同的波高等)，能够控制对板状部71的按压力。

应当注意，作为树脂垫圈82，可以使用诸如氟树脂等的任意树脂材料形成的垫圈。还能够通过改变树脂垫圈82的材料，来控制对板状部71的按压力。也不限定波形垫圈81的材料，并且例如可以使用不锈钢形成的垫圈。可选地，可以使用弹簧垫圈作为按压构件。

例如，通过对波形垫圈81与树脂垫圈82相接触的部分的局部按压进行调整，能够抑制树脂垫圈82的变形，并且能够实现对板状部71的均匀按压。通过增大树脂垫圈82的厚度或数量，能够增强针对树脂垫圈82的变形和均匀按压的效果。通过抑制树脂垫圈82的变形并使得能够进行均匀的按压，能够抑制树脂垫圈82的局部磨损，并且提高构件的耐用性。

通过使用单向离合器、垫圈构件等，能够利用简单结构来实现扭矩控制部53。在这种情况下，也可以将扭矩控制部53称为单向离合器部。

此外，在本实施例中，第一支撑面79和第二支撑面80之间的距离t是可变的。具体地，在本实施例中，在x方向上，第二支撑部76相对于第一支撑部75的位置是可变的，并且通过改变第二支撑部76的位置，能够改变第一支撑面79和第二支撑面80之间的距离t。

尽管省略了图示，但通过删去第一支撑部75的外周面和第二支撑部76的内周面上的螺杆以使第二支撑部76转动，第二支撑部76变得在z方向上可移动。代替该结构，可以形成可移动地彼此装配的凹部和凸部，以使得第一支撑部75和二支撑部76能够相对地移动。

在第一支撑面79和第二支撑面80之间的距离t变小的情况下，第一垫圈部77和第二垫圈部78对板状部71的按压力变大，并且能够增大限制板状部71的转动的力。另一方面，在距离t增大的情况下，第一垫圈部77和第二垫圈部78对板状部71的按压力变小，并且能够减小限制板状部71的转动的力。通过如上所述的改变第一支撑面79和第二支撑面80之间的距离t，能够改变作用于板状部71的按压力。结果，能够高精度地执行扭矩控制。

在确定了第一支撑面79和第二支撑面80之间的距离t的情况下，通过固定部85来固定第二支撑部76相对于第一支撑部75的位置。固定部85包括形成在第一支撑部75上的固定孔86、形成在第二支撑部76上的贯通孔87以及贯穿贯通孔87以插入至固定孔86的螺栓(固定构件)88。

例如，在第一支撑部75的预定位置形成一个固定孔86。相对地，在第二支撑部76的外周形成多个贯通孔87。根据第二支撑部76的转动位置，将螺栓88插入位于固定孔86上方的一个贯通孔87中。

例如，通过控制多个贯通孔87的数量和间隔等，还能够精细地控制第二支撑部76的转动位置。由于固定孔86形成在预定位置，因此螺栓88的固定任务变得容易，并且检查螺栓88是否被固定也变得容易。然而，该结构不限于此，并且可以在第一支撑面75上形成多个固定孔86。

例如，可以采用如下结构来代替：不在第一支撑面75上形成孔，并且将保持螺杆插入至形成在第二支撑部76上的贯通孔，以固定第二支撑部76。然而，利用该结构，在由于振荡等导致保持螺杆变得松动的情况下，存在第二支撑部76随着板状部71的转动而转动的担心。结果，可能无法适当地限制板状部71的转动。相反，在本实施例中，由于使用螺栓88能够充分固定第二支撑部76，因此能够充分防止第二支撑部76的位置变动。

在如上所述的本实施例的投影设备100中，通过设置扭矩控制部53，能够利用小扭矩并且与使观察部20上升和下降时大致相同的扭矩来执行调焦。另外，能够防止由于观察部20的重量而导致的移动量的变化，并且在相当长的时间段内维持高的可操作性。

其它实施例

本发明不限于上述实施例，并且还能够实现各种其它实施例。

在上述说明中，通过升降机构50来使观察部20上升和下降。然而，可以使载置工件W的载物台40上升和下降。通过在这种情况下应用本发明，能够以高的可操作性使载物台40移动。

另外，观察部20或载物台40(以下称为移动对象部)的移动方向不限于长度方向(垂直方向)。本发明还适用于在相对于垂直方向形成预定角度的倾斜方向上移动移动对象部的情况。在这种情况下，向上倾斜的方向与和重力方向相反的第三方向相对应，并且与向上倾斜的方向相反的方向与第四方向相对应。

在上述说明中，通过第一垫圈部77和第二垫圈部78来按压板状部71的第一面73和第二面74，以夹持板状部71。然而，用于向板状部71按压按压构件的结构和方法不限于此。例如，可以通过仅按压设置在板状部上的一个面来执行扭矩控制。另一方面，可以在板状部上设置并按压三个以上的面。

在上述说明中，将具有第一面的第一支撑部和具有第二面的第二支撑部构成为分开的构件。因此，通过改变这些构件的相对位置，能够容易地改变第一支撑面和第二支撑面之间的距离。然而，还能够将第一支撑面和第二支撑面构成为使得该距离在单个构件内可变。另外，可以对轴部进行硬化处理，以提高耐磨损性和疲劳强度。

在上述说明中，将投影设备例示为根据本发明的光学设备。然而，本发明还能够应用至使用所形成的物体的图像进行观察和测量的各种光学设备。这样的设备的示例包括数字显微镜和各种图像测量设备。

在上述说明中，例示了用户手动操作手柄的情况。然而，本发明不限于此。本发明还适用于将马达连接至轴部并通过驱动马达来使移动对象部移动的情况。利用该结构，能够实现使用马达的高精度调焦，并且能够减少由于移动对象部的重量而导致的马达的负荷。并且，由于上升和下降所需要的马达扭矩能够在上升时和下降时将一定量的负荷施加至移动对象部，从而能够以稳定的速度进行驱动。

能够组合如上所述的实施例的至少两个特征部分。另外，如上所述的各种效果仅是示例，并且能够在没有限制的情况下发挥其它效果。

相关申请的交叉引用

本申请要求2014年11月13日提交的日本申请2014-230627的优先权，在此通过引用包含其全部内容。

Claims (9)

1.一种光学设备，包括：

载置部，其上载置物体；

观察部，其包括用于形成载置于所述载置部上的所述物体的图像的成像光学系统；

轴部，其在第一方向和与所述第一方向相反的第二方向上能够转动；

驱动部，其根据所述轴部在所述第一方向上的转动使所述观察部和所述载置部之一在与重力方向相反的第三方向上移动，以及根据所述轴部在所述第二方向上的转动使所述观察部和所述载置部之一在与所述第三方向相反的第四方向上移动；以及

扭矩控制部，其包括：

离合器部，其容许所述轴部在所述第一方向上的转动，阻止所述轴部在所述第二方向上的转动，以及在所述第二方向上的转动力输入至所述轴部的情况下与所述轴部一起在所述第二方向上转动，以及

限制部，其限制所述离合器部的转动。

2.根据权利要求1所述的光学设备，

其中，所述离合器部包括设置在所述轴部的单向离合器和形成于所述单向离合器的周围部的板状部，并且所述离合器部与所述轴部一起在所述第二方向上转动，以及

其中，所述限制部包括一个或多个按压构件，所述按压构件被向着所述板状部按压以限制所述板状部的转动。

3.根据权利要求2所述的光学设备，

其中，所述板状部具有被所述一个或多个按压构件按压的至少一个面。

4.根据权利要求3所述的光学设备，

其中，所述板状部具有在所述轴部的延伸方向上彼此相对的第一面和第二面，并且

其中，所述限制部包括按压所述板状部的所述第一面的第一按压构件和按压所述板状部的所述第二面的第二按压构件。

5.根据权利要求4所述的光学设备，

其中，所述限制部具有第一支撑面和第二支撑面，所述第一支撑面向所述第一面支撑所述第一按压构件，所述第二支撑面被设置为在所述轴部的延伸方向上与所述第一支撑面的距离是能够改变的，并且所述第二支撑面向所述第二面支撑所述第二按压构件。

6.根据权利要求5所述的光学设备，

其中，所述限制部包括具有所述第一支撑面的第一支撑部、具有所述第二支撑面的第二支撑部、以及固定部，其中，在所述轴部的延伸方向上，所述第二支撑部相对于所述第一支撑部的位置是能够改变的，以及所述固定部将所述第二支撑部相对于所述第一支撑部的位置固定。

7.根据权利要求6所述的光学设备，

其中，所述固定部包括形成在所述第一支撑部上的固定孔、形成在所述第二支撑部上的贯通孔、以及贯穿所述贯通孔以插入至所述固定孔的固定构件。

8.根据权利要求2-7中任一项所述的光学设备，

其中，所述板状部围绕所述轴部呈环状地形成，

其中，所述第一按压构件和所述第二按压构件各自包括一个或多个垫圈构件。

9.根据权利要求8所述的光学设备，

其中，所述一个或多个垫圈构件包括波形垫圈。