CN105572149A - 平板玻璃表面的异物检测装置 - Google Patents

平板玻璃表面的异物检测装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括：A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，该激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，该激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。本发明可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进行准确检测。

Description

平板玻璃表面的异物检测装置
本申请是申请号201010141431.1，申请日2010年03月25日，发明名称为“平板玻璃表面的异物检测装置”发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种平板玻璃(flatglassplate)表面的异物检测装置，更具体而言，涉及一种可对蒸镀着微电路(micro-circuit)的图案的面的异物进行准确检测的平板玻璃表面的异物检测装置。
背景技术
用于平板显示器(platdisplay)的平板玻璃，只在一面上蒸镀着微电路的图案，玻璃业界将该面称作“A面”，而另一面上并未蒸镀着微电路的图案，且玻璃业界将该另一面称作“B面”。
在平板玻璃的A面的表面有异物的情况下，如果将微电路的图案蒸镀在此异物之上，则容易引起微电路的图案不良。因此，必须在蒸镀微电路的图案之前，准确检查出玻璃基板(特别是应蒸镀着电路的A面)上是否有异物。
图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。现有的平板玻璃表面的异物检测装置使用激光束(laserbeam)照射部20将具有较小厚度的激光束从倾斜方向射入至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通过平板玻璃后会透过该平板玻璃而形成一种透过激光束35，而所射入的激光束31的剩余部分则被平板玻璃所反射，从而形成反射激光束33。
如图1所示，当使激光束以与平板玻璃的面形成较大角度的方式而从倾斜方向射入时，所射入的激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束35到达平板玻璃的B面的部位之间会存在δL程度的水平距离上的差异。
当在A面的上部使用A面摄像装置11来对异物进行拍摄时，能够对只存在于平面玻璃的A面上的异物进行拍摄。此时的原理中利用了如下现象，即，当A面摄像装置11进行拍摄时，仅到达平板玻璃的A面的激光束因A面的异物81而产生散射并朝向透镜(lens)射入，而到达平板玻璃的B面的激光束在偏离了δL程度的位置处到达平板玻璃的B面，因此不会射入至A面摄像装置11的透镜中。然而，图1的现有的平板玻璃表面的异物检测装置中存在如下问题：如果所使用的激光束的厚度不是非常薄，则无法只对平板玻璃的A面的异物进行检测，而根据现实中能够使用的激光束的厚度，存在于平板玻璃的B面上的一部分异物91也会一同被检测到。
因平板玻璃的A面与平板玻璃的B面上附着有异物不过是普通的现象，所以在如图1所示的现有的异物检测装置中会检测到位于平板玻璃的B面上的一部分异物，因而如果使用该检测结果，则无法获取与平板玻璃的A面上的异物相关的准确信息。此外，目前的现状为，如果平板玻璃的厚度越薄，则射入激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束35到达平板玻璃的B面部位之间的水平距离上的差异即δL减少，从而检测结果更不准确。
另一问题则为：当平板玻璃的移送装置上下振动时，准确地区分A面的异物与B面的异物将变得更加困难。因而存在如下问题，即：为了解决如上所述的问题，必须在现有的平板玻璃的异物检测装置中使用高价的精密搬送设备。
发明内容
本发明是为了解决所述问题而完成的，其目的在于提供一种平板玻璃表面的异物检测装置，其即便使用上下振动的相对廉价的搬送装备，也能够对附着于蒸镀着微电路的图案的平板玻璃的表面的A面上的异物进行准确检测。
本发明的所述目的可通过平板玻璃表面的异物检测装置而达成，所述平板玻璃表面的异物检测装置对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测，所述平板玻璃包括由A面与B面构成的两面，其特征在于包括：A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向所述A面，以A面的法线向量(normalvector)为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，所述激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波长的激光束，所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，所述激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部，对从A面摄像装置及B面摄像装置所输入的影像图像进行分析，通过对哪个摄像装置更清晰地输出异物来进行判别，而对附着异物的面进行判别。
[发明的效果]
根据本发明的平板玻璃表面的异物检测装置，即便使用发生上下振动的精度低的平板玻璃的移送装置，也可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进行准确检测，因此使用该异物检测装置，能够使生产液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)、有机电致发光(electroluminescence，EL)等的平板显示器时有可能发生的微图案的不良现象减少。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。
图2是示意地表示本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式的结构图。
图3是图2的A-A＇方向的局部剖面图。
图4是表示相对于S偏光波对玻璃的射入角的透过率(transmittance)及反射率(reflectance)的图表。
图5是说明相对于激光束的射入角的反射角及透过角的波形图。
图6是表示相对于P偏光波对玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。
图7是用于说明P偏光及S偏光的波形图。
图8是用于说明由A面激光照射装置所照射的激光束在因附着于玻璃基板上的异物而产生散射后，由A面摄像装置进行检测的过程的说明图。
图9是表示经由本发明的平板玻璃表面的异物检测装置来对附着于玻璃基板上的异物进行检测，且视觉上显示出该检测结果的实施方式。
图10是用于说明即便在玻璃基板的移送装置垂直移动的情况下，也可通过本发明的平板玻璃表面的异物检测装置来准确进行异物的检测的说明图。
图11是用于说明本发明中所使用的激光束的形状的说明图。
[符号的说明]
11：A面摄像装置
11-81、13-91：异物检测图像的画面
11-91：图像的画面
13：B面摄像装置
13-81：A面异物的拍摄图像
20：激光束照射部
30：平板玻璃
31：激光束
32：玻璃基板
33：反射激光束
35：透过激光束
50：A面摄像装置照射至玻璃基板30的上部的区域
51：A面激光束照射装置
53：B面激光束照射装置
53i、55：射入光
53r、57：反射光
53t、59：透过光
59：激光束
81：A面异物
90：检测信号处理部
91：B面异物
83：散射光
100：平板玻璃移送方向
G：A面的法线向量
S：激光束照射至平面玻璃30的A面上的区域
T：激光束59的厚度
t：玻璃基板30的厚度
w：玻璃基板30的宽度方向
x、y、z：轴
激光束59的宽度
θ1：第一角度
θ2：第二角度
θ2t、θ2r：角度
δL：水平距离上的差异
具体实施方式
以下，参考附图来对本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式进行详细说明。
图2是示意地表示本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式的结构图，图3是图2的A-A＇方向的局部剖面图。
在进行说明之前，将分别设置着A面激光束照射装置51与B面激光束照射装置53的一侧面定义为如下含义：形成为长方形的平板玻璃基板30的四个角部中的处于与平板玻璃基板30的移送方向平行位置处的角部。
参考图2及图3，本发明的平板玻璃表面的异物检测装置包括：A面激光束照射装置51，从平板玻璃基板30的上部的一侧面朝向A面，照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置11，接收因存在于A面上的异物而产生散射的激光束；B面激光束照射装置53，从平板玻璃基板30的侧面对B面照射第2波长的激光束；B面摄像装置13，接收因存在于B面上的异物而产生散射的激光束；以及检测信号处理部90，根据从A面摄像装置11及B面摄像装置13所输入的影像信号，而对该异物附着于A面或B面中的哪一面上进行检测。
玻璃基板30是用于如LCD这样的显示器装置的面板中的薄玻璃材质的基板，一般来说，由0.5mm至0.7mm的厚度构成，A面是指蒸镀形成着微电路的图案的面，B面是指未形成着微电路的图案的面。参考编号“100”表示玻璃基板30的移送方向，符号S表示将由A面的激光照射部51与B面的激光照射部53所照射的激光束照射至平面玻璃30的A面上的区域。
由激光束照射装置51、53照射至玻璃基板的A面及B面的激光束优选具有大致100mm的宽度及0.65mm至0.95mm的厚度。此时，激光束的宽度尺寸(约100mm)适合于具有大致1m宽的玻璃基板30，而如果玻璃基板大型化，则也必须随之使用宽度相应变大的激光束。例如，如果工序中的玻璃基板30是具有大于等于1m的宽度的玻璃基板30，则激光束优选具有大于等于100mm的宽度，而如果工序中的玻璃基板30具有小于等于1m的宽度，则所述激光束优选具有小于等于100mm的宽度。
A面激光束照射装置51是用于对附着于玻璃基板30的A面上的异物进行检测的装置，优选使从A面激光束照射装置51输出的激光束尽可能不透过平板玻璃基板30以便产生反射。其理由在于：当将从A面激光束照射装置51照射的激光束与平板玻璃30的A面的法线向量G所成的角度定义为“第一角度”(图3的θ1)时，第一角度θ1较佳为尽可能维持为接近90度。
图4是表示S偏光波相对于玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。如图4所示可知：当从A面激光束照射装置51照射的激光束与A面的法线向量形成75度(也就是，θ1＝75度)而射入时，射入光的约45％会被反射。在大气中，从A面激光束照射装置51照射至A面的光会在包括如下的边界面在内的两个边界面发生反射，即，所述光到达A面的边界面及已透过A面的光到达B面的边界面。因此，理论上可知，如果第一角度θ1达到75度，则射入光的约65％左右的光会被反射，本申请案的发明人发现：当可达成此种程度的反射率时，便可适用于实际的A面的异物检测。更优选为，若将第一角度θ1维持为大于等于80度且小于等于90度之间，则可将反射率维持为大于等于85％，因此能够更有效地进行A面的异物检测。
B面激光束照射装置53是用于对附着于玻璃基板30的B面上的异物进行检测而照射激光束的装置。如图5所示，从B面激光束照射装置53照射的激光束，如果作为射入光53i而以θ2的角度射入，则射入光53i中的一部分会以θ2t的角度而形成透过光53t，其剩余部分会以θ2r的角度形成反射光53r。更严格来说，还存在被玻璃基板30吸收的光，但由于该光量非常少所以可忽视。与图2相同，当从A面的上部的侧面使用B面激光束照射装置53进行照射时，优选从B面激光束照射装置53输出的激光束尽可能在平板玻璃基板30的厚度方向上透过。根据所述理由，在将从B面激光束照射装置53照射的激光束与平板玻璃30的A面的法线向量G所成的角度定义为“第二角度”(图3的θ2)的情况下，优选将第二角度θ2尽可能维持为接近0度。当并未使用偏光的光来作为B面激光束时，根据实验，第二角度θ2尽可能小于等于40度较佳，更优选小于等于10度。当将未偏光的激光束照射至玻璃时，相对于射入角的透过率及反射率表示在与图4相同的图表中，从而可知：当第二角度θ2为40度时，射入光中的85％左右得以透过，而当第二角度θ2为10度时，射入光中的97％左右得以透过。
图6是表示相对于P偏光波相对于玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。如图6所示可知：在使用P偏光波来作为从B面激光束照射装置53照射的激光束的情况下，如果与A面的法线向量形成70度(也就是，θ2＝70度)而射入，则射入光的约90％得以透过。因此，理论上说，在使用P偏光的激光束来作为B面激光的情况下，如果将第二角度θ2维持为小于等于70度，则可使射入光的约大于等于90％的光透过，本申请案的发明人发现：当可达成此种程度的透过率时，便可适用于实际的B面的异物检测。
更优选为，使从B面激光束照射装置53射出的激光束作为已向P方向偏光的第2波长的激光束而形成，且优选使该激光束以布儒斯特角(Brewsterangle)射入。如果已向P方向偏光的光在玻璃基板30上形成布儒斯特角而射入，则不会产生反射波，而是能够100％透过，参考图6，可知布儒斯特角在约55度附近成立。
此外，优选A面摄像装置11与B面摄像装置13分别包括仅使第1波长通过的滤光片(filter)、及仅使第2波长透过的滤光片。
另外，对P偏光方向与S偏光方向进行如下说明。前进的光在与前进方向垂直的方向上形成着具有正弦波形状的电场及磁场，但一般来说，将形成着电场的方向规定为偏光方向。以下参考图7来对偏光方向进行说明。具有固定宽度及厚度的激光束朝向进入地面的方向前进，当将与地面接触的面设为S面时，如果所述激光束在y轴方向上形成电场，则将该现象称作P偏光，而如果在x轴方向上形成电场，则将该现象称作S偏光。参考图2进行说明，如果从A面激光束照射装置51所照射的激光束在与照射至平板玻璃30的A面上的区域S平行的面上形成着电场，则将该现象称作P偏光，而如果在垂直的面上形成电场，则将该现象称作S偏光。
图8是用于说明由A面激光照射装置所照射的激光束在因附着于玻璃基板上的异物而产生散射后，由A面摄像装置进行检测的过程的说明图。图9是表示经由本发明的平板玻璃表面的异物检测装置来对附着于玻璃基板上的异物进行检测，且视觉上显示出该检测结果的实施方式。在进行说明之前，假设在玻璃基板30的A面与B面上分别附着有A面异物81与B面异物91，对本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的作用进行说明。由A面激光束而照射至玻璃基板30的A面的射入光55在到达A面之后，大部分被反射而形成反射光57，而少量的剩余部分则形成可透过该玻璃基板30的透过光59。
以下参考图8及图9，对存在于玻璃基板上的异物的检测、及用于掌握所检测的异物存在于玻璃基板中的哪一面上的具体方法进行说明。当将由A面激光束的照射装置所照射的激光束照射至A面异物81上时，A面激光束的射入光55或反射光57中的一部分会因A面异物81而以任意的角度产生散射，且被配设于玻璃基板30的上部的A面摄像装置11所接收。图9的“11-81”表示异物检测图像的画面，该画面是在A面摄像装置11对因所述玻璃基板30的A面异物81而被散射反射的A面激光束进行感知后所显示者。如图8及图9所示，被散射反射的光越多，则所检测到的图像得以更清晰地显示，从而将玻璃基板30的A面上存在异物81的情况显示给作业人员看。
即便一部分被透过的A面激光束到达B面异物91，也会因A面激光束的大部分已被A面所反射，而到达B面异物91上的A面激光束的量相对较少，因此其影响(也就是，散射及反射)较少。因此，根据由A面摄像装置11所检测到的影像信号生成而提供的图像的画面(图9的“11-91”)整体显示为较暗的空白状态，或者被检测到的异物的影像的分辨率被显示成非常低且不清晰的图像形态。实际上，A面摄像装置11拍摄出一张影像图像，该影像的图像中同时显示出清晰拍摄到的A面异物、及以相对较少的光量进行拍摄而模糊拍摄到的B面异物。
另一方面，对附着于玻璃基板30的B面上的B面异物91进行以下说明。当由B面激光束照射装置53所照射的B面激光束到达A面异物81时，会相对于所射入的所有光产生散射及反射，因此由B面摄像装置13拍摄到的A面异物的拍摄图像(图9的“13-81”)以清晰的图像形态来显示。另一方面，当附着于玻璃基板30的B面上的B面异物91被照射了由B面激光束的照射装置53所照射的激光束时，B面激光束的大部分会因B面异物91而以任意的角度产生散射，且被配设于玻璃基板30的上部的B面摄像装置13所接收。图9的“13-91”表示异物检测图像的画面，该画面是B面检测装置13对因附着于玻璃基板30的B面上的异物91而被散射反射的B面激光束进行感知后所显示者。实际上，B面摄像装置13拍摄出一张影像图像，因而该影像图像中显示了清晰拍摄到的A面异物与清晰拍摄到的B面异物。
本发明的检测信号处理部可利用由A面摄像装置所拍摄的影像图像及由B面摄像装置所拍摄的影像图像中所表示的各异物的清晰度，而检测出该异物附着于哪个面上。
以下，假设如下情况，即，利用A面激光束照射装置51使S方向偏光的第一频率激光束维持为与A面的法线向量成80度而射入，且利用B面激光束照射装置53使P方向偏光的第二频率激光束维持为与A面的法线向量成布儒斯特角而射入，从而对本发明的A面异物81与B面异物91的检测方法进行定量说明。此时，假设为如下情况：A面激光束及B面激光束具有100程度的射入量，A面激光束在大气中被反射的反射率为85％，且B面激光束可100％透过，而且，照射至异物的光产生100％的散射。
表1
此时，如表1所示，利用由A面激光束照射装置所照射的A面激光束，A面异物产生了100程度的散射，而另一方面，对于B面异物而言只产生了15程度的散射。与其相比，如果假设B面摄像装置的焦点在A面与B面被同等识别出，则由B面激光束照射装置所照射的B面激光束在照射至A面后会100％透过B面，因此对于A面异物与B面异物双方均产生了100程度的散射。因此，由A面摄像装置及B面摄像装置所检测到的、相对于A面异物而散射的光量总计为200，与此相对，由A面摄像装置及B面摄像装置所检测到的、相对于B面异物而散射的整体的光量为115。如果检测信号处理部对由A面摄像装置所拍摄到的影像图像、与由B面摄像装置所拍摄到的影像图像加以比较，则能够检测出各自的异物是存在于A面上的异物、还是存在于B面上的异物。
根据表1的比较，当难以进行异物的检测时，如果将A面激光束的强度设定为比B面激光束的强度大2倍，则能够更容易地进行检测。如果假设为如下情况则所述表1的数值变为如表2所示：A面激光束具有射入量200，B面激光束具有射入量100，A面激光束在大气中被反射的反射率为85％，B面激光束100％透过，此外，照射至异物的光产生100％的散射。
表2
如以上的表2所示，在使A面激光束照射装置与B面激光束照射装置的输出不同的情况下，更可靠地示出由异物的位置所引起的光量的差，因此检测信号处理部可使用从A面摄像装置及B面摄像装置接收到的该异物的合计散射光量，而更容易地检测出该异物附着于哪个面上。
图10是用于说明即便在玻璃基板30的移送装置垂直移动的情况下，也可通过本发明的平板玻璃表面的异物检测装置来准确进行异物的检测的说明图。图10(a)表示移送中的玻璃基板30水平地在正常位置进行移送的过程的图，图10(b)所示的玻璃基板32是因移送装置的垂直偏差而其平坦度(flatness)发生改变的玻璃基板32，且表示了在从正常的位置30向上部侧平坦度改变了“Δ”的状态下进行移送的过程。图10中，将A面摄像装置照射至玻璃基板30的上部的区域表示为参考编号“50”。
以前，玻璃表面的异物检测装置如所述般，无法适当应对移送中所产生的玻璃基板30的平坦度改变，从而存在附着于玻璃基板30上的异物的检测精度降低的问题。然而，本发明的平板玻璃表面的异物检测装置即便在玻璃基板30的平坦度发生改变的情况下，也能够利用从与玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射而来的激光束，而将由基板30的平坦度改变所引起的影响最小化。
如果参考图10(a)及(b)来对A面异物的检测过程进行讨论，则即便已到达被照射着A面激光束59的区域的玻璃基板30从完全的平面位置(也就是，玻璃基板“30”的位置)向上部方向移动“Δ”而位于更高的地点(也就是，玻璃基板“32”的位置)，玻璃基板32的上表面也可维持成依然包含于上部激光束59的内部的状态。因此，能够产生由附着于玻璃基板30的A面的异物所引起的散射反射，从而能够可靠进行异物的检测。
其原因在于：本发明的平板玻璃表面的异物检测装置通过以如下方式而构成：从与玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射A面激光束59，同时将上部激光束59从玻璃基板30的上表面以形成规定的倾斜角而从斜方向射入，从而即便在处于移送中的玻璃基板30上发生平坦度改变了“Δ”的情况下，玻璃基板32的上表面也总是能够包含在所述激光束的宽度方向的内表面。
图11是用于说明本发明中所使用的激光束的形状的图。图11(a)是表示从移送中的玻璃基板30的A面的侧面照射激光束59至纸面的近前侧的图，图11(b)是表示图11(a)的B-B＇剖面的图。如图11(b)所示，激光束59具有如下的椭圆形状：在玻璃基板30的宽度方向w上具有较小的厚度T，在玻璃基板30的厚度t方向上具有较宽的宽度Φ。通过使用此种激光形状，即便在使用了平坦度不固定且相对廉价的移送装置的情况下也能够准确检测出玻璃基板30上的异物。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质来对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种平板玻璃表面的异物检测装置，对存在于透明的平板玻璃的A面以及B面上的异物进行检测，并且检测所述异物是否存在于所述A面以及所述B面，其中所述平板玻璃被移送以及因附着的所述异物而散射激光束，所述异物检测装置的特征在于包括：
A面激光束照射装置，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射具有第1波长的S偏光的激光束至所述平板玻璃的所述A面上的区域S；
A面摄像装置，对所述区域S进行拍摄；
B面激光束照射装置，以所述平板玻璃的所述A面的法线向量为基准且以比所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面上的所述区域S而照射第2波长的激光束，被照射在所述区域S上的所述激光束的大部分在所述平板玻璃的厚度方向上透过，所述第2波长不同于所述第1波长；
B面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的B面上的所述区域S部位进行拍摄，所述激光束是从所述B面激光束照射装置透过至所述平板玻璃的B面；以及
检测信号处理部，对从所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所输入的影像图像进行分析，利用所述异物的清晰度而对附着所述异物的面进行判别，其中所述异物的清晰度基于所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所拍摄已检测的所述异物的影像的分辨率，
其中，所述A面激光束照射装置以及所述B面激光束照射装置皆设置于所述A面的上方，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置接收散射的激光束，所述散射的激光束是被附着在所述A面与所述B面的异物所散射，
其中，所述A面激光束照射装置位于第一侧并从所述第一侧照射，其中第一侧与所述平板玻璃的移送方向垂直，所述B面激光束照射装置位于第二侧并从所述第二侧照射，以所述A面的法线向量为基准，所述第二侧为所述第一侧的相对侧，
其中，所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置皆垂直设置于所述区域S的上方，
所述A面摄像装置设置在：来自所述A面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外，
所述B面摄像装置设置在：来自所述B面激光束照射装置的激光束的反射光的光路之外。
2.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述A面摄像装置中设置着可选择性地透过所述第一波长的滤光片，在所述B面摄像装置中设置着可选择性地透过所述第二波长的滤光片。
3.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述第一角度大于等于75度。
4.根据权利要求3所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述第一角度大于等于80度。
5.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述B面激光束照射装置照射具有第二波长的P偏光的激光束。
6.根据权利要求5所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述第二角度是角度维持为90度的布儒斯特角，所述角度是由所述B面激光束照射装置照射的激光束被平板玻璃的A面所反射的反射波、与在所述平板玻璃的厚度方向上折射的折射波而成的角度。
7.根据权利要求5所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述第二角度相对于所述A面的法线向量而小于等于70度。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
从所述A面激光束照射装置及B面激光束照射装置照射的激光束具有由所述玻璃基板的厚度方向而定义的宽度及由所述玻璃基板的宽度方向而定义的厚度T，所述激光束为宽度形成得比厚度T更大的椭圆形状。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述第二角度为大于等于0度且小于等于40度之间的角度。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于：
所述A面摄像装置以及所述B面摄像装置是设置于：由所述A面激光束照射装置照射的所述A面的垂直上方位置。
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