JP2011158453A - 平板ガラス表面の異物検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板ガラス30のA面に向かって、A面の法線ベクトルを基準にして第1の角度で、S偏光された第1波長のレーザー光を照射するA面レーザー光照射装置51と、平板ガラスのA面に照射される箇所を撮影するA面撮影装置11と、A面の法線ベクトルを基準にして、第1の角度よりも小さな第2の角度で前記A面に向かって照射し、照射されたレーザー光の大部分が平板ガラスの厚さ方向に透過する第2波長のレーザー光を照射するB面レーザー光照射装置53と、平板ガラスのB面に照射される箇所を撮影するB面撮影装置13と、ならびに、前記A面撮影装置とB面撮影装置とから入力された映像イメージを分析して、異物がいずれの撮影装置でより鮮やかに出力されるのかを判別することにより、異物が付着された面を判別する検出信号処理部90とを含む。
【選択図】図2
Description
13 B面撮影装置
30 平板ガラス
51 A面レーザー光照射装置
53 B面レーザー光照射装置
55 入射光
57 反射光
59 透過光
81 A面異物
91 B面異物
83 散乱光
100 平板ガラス移送方向
Claims (9)
- A面とB面とで構成された両面を有する平板ガラスの表面に付着した異物を検出する、平板ガラス表面の異物検出装置において、
前記平板ガラスのA面の上部から前記A面に向かって、A面の法線ベクトルを基準にして第1の角度で、S方向に偏光された第1波長のレーザー光を照射するA面レーザー光照射装置と、
前記A面レーザー光照射装置から照射されたレーザー光が、前記平板ガラスのA面に照射される箇所を撮影するA面撮影装置と、
前記平板ガラスのA面の上部から、A面の法線ベクトルを基準にして前記第1の角度よりも小さな第2の角度で前記A面に向かって照射し、照射されたレーザー光の大部分が平板ガラスの厚さ方向に透過する第2波長のレーザー光を照射するB面レーザー光照射装置と、
前記B面レーザー光照射装置から照射されたレーザー光が、前記平板ガラスのB面に照射される箇所を撮影するB面撮影装置と、
ならびに、
前記A面撮影装置及び前記B面撮影装置から入力された映像イメージを分析して、前記異物が付着された面の判別を行う検出信号処理部と、
を含むことを特徴とする平板ガラス表面の異物検出装置。 - 前記A面撮影装置には、前記第1の波長を選択的に透過するフィルタが設けられて、前記B面撮影装置には、前記第2の波長を選択的に透過するフィルタが設けられることを特徴とする、請求項1に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記第1の角度は、75度以上であることを特徴とする、請求項1に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記第1の角度は、80度以上であることを特徴とする、請求項3に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記B面レーザー光照射装置は、P偏光されたレーザー光を照射することを特徴とする、請求項1に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記第2の角度は、前記B面レーザー光照射装置から照射されたレーザー光が平板ガラスのA面によって反射される反射波と、前記平板ガラスの厚さ方向に屈折される屈折波とが成す角度が90度に維持されるブルースター角であることを特徴とする、請求項5に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記第2の角度は、前記A面の法線ベクトルに対して70度以下であることを特徴とする、請求項5に記載の平板ガラス表面の異物検出装置。
- 前記A面レーザー光照射装置及びB面レーザー光照射装置から照射されたレーザー光は、前記ガラス基板の厚さ方向に定義される幅φと、前記ガラス基板の幅方向に定義される厚さTとを有し、前記レーザー光は、幅φが厚さTよりも大きく形成される楕円形状であることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載のガラス表面の異物検出装置。
- 前記第2の角度は、0度以上であり、且つ40度以下の間の角度であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれかに記載のガラス表面の異物検出装置。
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