CN104601035A - 压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置 - Google Patents

压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供压电马达。向振动体的第一电极供给第一驱动信号，向振动体的第二电极供给第二驱动信号，向振动体的共用电极供给共用驱动信号。而且，能够相对于共用驱动信号变更第一驱动信号的相位，能够相对于共用驱动信号变更第二驱动信号的相位。这样，通过使第一驱动信号或者第二驱动信号的任意的相位与共用驱动信号不同，能够切换压电马达的驱动方向。另外，仅变更相位，无需开关，而能够缩小驱动电路，并且，也不会在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达，所以也能够使用压电马达来进行敏锐的控制。

Description

压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置
技术领域
本发明涉及压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置、电子表、以及投影装置。
背景技术
已知有使包含压电材料而形成的振动体振动，来驱动对象物的压电马达。在该压电马达中，通过对振动体施加一定周期的驱动电压来使振动体振动，利用设置在振动体的端面的凸部驱动被驱动体。
另外，也提出有在压电马达中，通过在振动体的表面形成4等分电极，并切换施加驱动电压的电极，而能够切换被驱动体的驱动方向的技术(专利文献1)。
专利文献1：日本特开2000－116162号公报
但是，在上述的提出的技术中，为了切换施加驱动电压的电极需要使用开关，所以产生了如下的问题。首先，为了振动体的驱动需要流过大电流。因此，需要能够切换该大电流的开关，开关增大或者包含用于切换电流的电路部分的压电马达的结构增大。另外，即使在使用功率晶体管等开关元件的情况下，能够耐大电流的开关元件也不能够以高速动作，所以产生在切换的瞬间对任何电极都不能施加驱动电压的瞬间。因此，有在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达，而难以敏锐的控制的问题。
发明内容
本发明是为了解决以往的技术所具有的上述的课题而完成的，目的在于提供无需较大的开关，而能够使包含电路部分的压电马达小型化，也能够进一步进行压电马达的敏锐的控制的技术。
为了解决上述的课题的至少一部分，本发明的压电马达采用如下的结构。即，具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
在上述的本发明的压电马达中，只要供给至第一电极的第一驱动信号和供给至共用电极的共用驱动信号存在电压差，就能够利用该电压差使振动体振动。同样，只要供给至第二电极的第二驱动信号和供给至共用电极的共用驱动信号存在电压差，就能够利用该电压差使振动体振动。而且，驱动信号供给部能够将第一驱动信号以相对于共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将第二驱动信号以相对于共用驱动信号相位不同的方式来供给。因此，只要使第一驱动信号与共用驱动信号相位不同，就能够利用对第一电极和共用电极施加的电压差来驱动压电马达，只要使第二驱动信号与共用驱动信号相位不同，就能够利用对第二电极和共用电极施加的电压差来驱动压电马达。其结果，仅变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，就能够切换压电马达的驱动方向，所以无需开关，能够缩小还包含有电路部分的压电马达的结构。此外，只要相对于共用驱动信号变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，就能够实质上瞬间变更，所以不会在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达。其结果，使用压电马达也能够进行敏锐的控制。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以在与配置有共用电极的面相反侧的面，配置第一电极以及第二电极。
这样，成为配置有共用电极的面与配置有第一电极以及第二电极的面夹持振动体的状态。因此，若供给驱动信号则产生横穿振动体的方向的电场，所以对振动体施加的电压不会偏置，其结果，能够使振动体高效地振动。
另外，在上述的本发明的压电马达中，第一驱动信号、第二驱动信号、以及共用驱动信号也可以为相同波形的信号。
这样，使第一驱动信号和共用驱动信号成为相同相位，从而能够成为实质上未对第一电极和共用电极施加电压的状态。同样，使第二驱动信号与共用驱动信号成为相同相位，从而能够成为实质上未对第二电极和共用电极施加电压的状态。因此，第一驱动信号成为与共用驱动信号不同的相位，第二驱动信号成为与共用驱动信号相同相位，从而能够实现向正转方向驱动压电马达的状态。另外，第一驱动信号成为与共用驱动信号相同的相位，第二驱动信号成为与共用驱动信号不同的相位，从而能够实现向反转方向驱动压电马达的状态。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也能够以相同相位供给第一驱动信号、第二驱动信号、以及共用驱动信号。
这样，使第一驱动信号以及第二驱动信号成为与共用驱动信号相同相位，从而能够实现不驱动压电马达的状态。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以使第一低通滤波器电路与第一电极连接，使第二低通滤波器电路与第二电极连接。
这样，能够成为将第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号交替地切换为高电压状态和低电压状态的脉冲状的驱动信号。而且，若是脉冲状的驱动信号，则能够简单地进行电压放大，所以能够缩小用于驱动压电马达的电路部分。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也能够供给与共用驱动信号相位不同，但相互为相同的相位的第一驱动信号以及第二驱动信号。
这样，在第一电极与共用电极之间、第二电极与共用电极之间都能够施加电压。因此，想要向正转方向驱动压电马达的力、和想要向反转方向驱动的力相互抵消，而能够实现振动体振动但不向被驱动体传递驱动力的状态(压电马达的空转状态)。
另外，在上述的本发明的压电马达中，能够变更相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位，也能够变更相对于共用驱动信号的第二驱动信号的相位。另外，在变更相位时，也可以连续地变更相位，也可以以多个阶段切换相位。
这样，能够变更对第一电极和共用电极施加的电压、对第二电极和共用电极施加的电压。因此，能够更加细致地控制压电马达的动作状态。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以在与配置有共用电极的面相反侧的面，除了第一电极以及第二电极以外还设置第三电极，对该第三电极能够供给与共用驱动信号相位不同的第三驱动信号。
这样，使第三驱动信号与共用驱动信号相位不同，从而也能够在第三电极与共用电极之间施加电压，所以能够使压电马达以更加适当的条件动作。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以作为被驱动体驱动转动体。
这样，作为被旋转驱动的各种被驱动体的动力源能够应用压电马达。
另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以作为被驱动体驱动直动体。
这样，作为并进驱动的各种被驱动体的动力源能够应用压电马达。
另外本发明也能够以以下那样的机器人手的方式来掌握。即，
一种机器人手，其特征在于，是包含多个指部，把持对象物的机器人手，具备：上述指部以能够移动的方式立设的基体；以及使上述指部相对于上述基体移动的压电马达，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使机器人手小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的机器人手。
另外，本发明也能够以以下那样的机器人的方式来掌握。即，一种机器人，其特征在于，具备：
臂部，其设置有能够转动的关节部；
手部，其设置于上述臂部；以及
主体部，其设置有上述臂部，
该机器人具有设置于上述关节部而使上述关节部弯曲或者旋转驱动的压电马达，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使机器人小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的机器人。
另外，本发明也能够以以下那样的手指辅助装置的方式来掌握。即，一种手指辅助装置，其特征在于，
是佩戴于手指，多个单元以能够在上述手指的弯曲方向上旋转的方式连结，对上述手指弯曲的动作进行辅助的手指辅助装置，
上述单元具备：第一部件，其沿着上述手指配置；
第二部件，其与上述第一部件对置地配置；
连结部件，其是配置在上述第一部件与上述第二部件之间，将上述单元与上述邻接的单元连结的部件，且是以在上述手指弯曲的方向上能够旋转的方式连结上述单元和上述邻接的单元的部件；以及
压电马达，其配置在上述第一部件与上述第二部件之间使上述连结部件旋转，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号与相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使手指辅助装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的手指辅助装置。
另外，本发明也能够以以下那样的电子部件搬运装置的方式来掌握。即，一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；以及
压电马达，其驱动把持上述电子部件的上述把持部，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使电子部件搬运装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的电子部件搬运装置。
另外，本发明也能够以以下那样的电子部件检查装置的方式来掌握。即，一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；
压电马达，其驱动把持上述电子部件的上述把持部；以及
检查部，其检查上述电子部件，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使电子部件检查装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的电子部件检查装置。
另外，本发明也能够以以下那样的送液泵的方式来掌握。即，一种送液泵，其特征在于，具备：
液体能够流动的液体管；
与上述液体管的一部分抵接并封闭上述液体管的封闭部；
通过以保持上述封闭部的状态移动，来使上述液体管的封闭位置移动的移动部；以及
驱动上述移动部的压电马达，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使送液泵小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的送液泵。
另外，本发明也能够以以下那样的打印装置的方式来掌握。即，一种打印装置，其特征在于，具备：
打印头，其在介质上打印图像；以及
压电马达，其使上述打印头移动，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使打印装置小型化，并且也能够控制细致的动作，所以能够实现能够打印高画质的图像的打印装置。
另外，本发明也能够以以下那样的电子表的方式来掌握。即，一种电子表，其特征在于，具备：
旋转圆板，其以同轴状设置有齿轮，并能够转动；
齿轮系，其包含多个齿轮而构成；
指针，其与上述齿轮系连接，指示时刻；以及
压电马达，其驱动上述旋转圆板，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使电子表小型化，并且也能够控制细致的动作，所以能够实现精度较高的电子表。
另外，本发明也能够以以下那样的投影装置的方式来掌握。即，一种投影装置，其特征在于，具备：
投影部，其包含光学透镜，投影来自光源的光；
调整部，其调整通过上述光学透镜的上述光的投影状态；以及
压电马达，其驱动上述调整部，
上述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使投影装置小型化，并且也能够控制细致的动作，所以能够高精度地定位调整部，并实现能够细致地调整投影状态的投影装置。
另外，本发明也能够作为以下那样的压电马达来掌握。即，一种压电马达，其特征在于，具备振动体，其设置有共用电极、第一电极以及第二电极，并弯曲振动，
上述压电马达能够对上述第一电极供给与上述共用电极不同的相位的驱动信号，能够对上述第二电极供给与上述共用电极不同的相位的驱动信号。
即使在这样的本发明的压电马达中，也对第一电极供给与共用电极不同的相位的驱动信号，所以能够在第一电极与共用电极之间施加电压。同样，对第二电极供给与共用电极不同的相位的驱动信号，从而能够在第二电极与共用电极之间施加电压。因此，变更对第一电极或者第二电极施加的驱动信号的相位，从而能够切换压电马达的驱动方向，所以无需开关，能够缩小还包含有电路部分的压电马达的结构。此外，不会在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达，所以也能够使用压电马达来进行敏锐的控制。
另外，本发明也能够作为以下那样的压电马达来掌握。即，一种压电马达，其特征在于，具备振动体，其设置有共用电极、第一电极以及第二电极，并弯曲振动，上述压电马达能够对上述第一电极或者上述第二电极的至少一方供给与上述共用电极相同的相位的驱动信号。
这样，能够简单地切换不驱动压电马达的状态。向正转方向驱动的状态、以及向反转方向驱动的状态。
另外，本发明也能够作为以下那样的压电马达来掌握。即，一种压电马达，其特征在于，具备振动体，其设置有共用电极、第一电极以及第二电极，并弯曲振动，上述压电马达能够向上述第一电极或者上述第二电极的至少一方供给与上述共用电极不同的相位的驱动信号。
这样，能够简单地切换不产生驱动压电马达的驱动力的状态、向正转方向驱动的状态、以及向反转方向驱动的状态。
另外，本发明也能够作为以下那样的压电马达来掌握。即，一种压电马达，其特征在于，具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述第一驱动信号的相位与上述共用驱动信号的相位不同，
上述第二驱动信号的相位与上述共用驱动信号的相位不同。
这样，通过供给第一驱动信号或者第二驱动信号的任意一个，能够切换压电马达的驱动方向，所以无需开关，而能够缩小也包含有电路部分的压电马达的结构。此外，仅切换所供给的驱动信号，实质上就能够在瞬间进行切换，所以不会在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达。其结果，也能够使用压电马达来进行敏锐的控制。
另外，在上述的本发明的压电马达中，第一驱动信号的波形以及第二驱动信号的波形也可以为与共用驱动信号的波形相同。
这样，通过使第一驱动信号或者第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位不同，来对第一电极或者第二电极施加电压，而能够驱动压电马达。
另外，本发明也能够作为以下那样的压电马达来掌握。即，一种压电马达，其特征在于，具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
上述第一驱动信号的相位以及上述第二驱动信号的相位与上述共用驱动信号的相位相同。
这样，在保持供给第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号的状态下，能够成为不驱动压电马达的状态。因此，每当压电马达的驱动停止、驱动方向的反转时，无需切换开关，所以能够包括电路部分使压电马达小型化。
附图说明
图1是表示第一实施例的压电马达10的大致的结构的说明图。
图2是表示振动体100的基本动作的说明图。
图3是表示驱动信号供给部110的内部结构的框图。
图4是表示脉冲放大器118a、118b、118c的内部构造的说明图。
图5是表示停止第一实施例的压电马达10的驱动的情况的说明图。
图6是例示出向正转方向驱动第一实施例的压电马达10的情况的说明图。
图7是例示出向反转方向驱动第一实施例的压电马达10的情况的说明图。
图8是为了驱动第一实施例的压电马达10而控制部120所执行的压电马达驱动处理的流程图。
图9是第一实施例的第一变形例的压电马达10的驱动方法的说明图。
图10是表示第一实施例的第二变形例的压电马达10的大致结构的说明图。
图11是表示第一实施例的第二变形例所使用的驱动信号供给部110的内部结构的框图。
图12是第一实施例的第二变形例的压电马达10的驱动方法的说明图。
图13是第一实施例的第三变形例的压电马达10的驱动方法的说明图。
图14是例示出第二实施例的压电马达10的4个基本的驱动状态的说明图。
图15是第二实施例的压电马达10变更空转状态的保持力的方法的说明图。
图16是第二实施例的压电马达10赋予从空转状态向正转方向的驱动力的方法的说明图。
图17是表示第二实施例的压电马达10的动作状态的说明图。
图18是例示出设置有本实施例的压电马达10的机器人手400的说明图。
图19是例示出具备机器人手400(手部)的单臂机器人450的说明图。
图20是例示出具备机器人手400的多臂机器人460的说明图。
图21是例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的手指辅助装置500的说明图。
图22是表示驱动单元510的详细的构造的说明图。
图23是例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的电子部件检查装置600的立体图。
图24是内置于把持装置650的微调机构的说明图。
图25是例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的送液泵700的说明图。
图26是例示出设置有本实施例的压电马达10的打印装置800的立体图。
图27是例示出设置有本实施例的压电马达10的电子表900的内部构造的说明图。
图28是例示出设置有本实施例的压电马达10的投影装置950的说明图。
具体实施方式
A.第一实施例：
A－1.装置结构：
图1是表示第一实施例的压电马达10的大致结构的说明图。压电马达10具备主要由PZT等压电材料形成的振动体100、和供给用于驱动振动体100的驱动信号的驱动信号供给部110。另外，驱动信号供给部110被内置CPU等的控制部120控制。
如图示那样振动体100形成为剖面为大致矩形形状并且具有长边方向的形状(例如长方体形状)。在长边方向的端面安装有陶瓷制的凸部102，在一方的侧面以将侧面4等分为格子状的方式设置有4个电极104a～104d。在这些电极中，电极104a以及电极104d是第一电极，电极104b以及电极104c是第二电极。另外，在设置有4个电极104a～104d的侧面相反的一侧的侧面，遍及侧面的几乎整个面设置有电极104g。该电极104g是共用电极。而且，从驱动信号供给部110向电极104a以及电极104d(第一电极)供给第一驱动信号，从驱动信号供给部110向电极104b以及电极104c(第二电极)供给第二驱动信号，从驱动信号供给部110向电极104g(共用电极)供给共用驱动信号。通过这样，能够使压电马达10向正转方向或者反转方向动作。
这里，作为对驱动信号供给部110的内部结构、通过向振动体100供给第一驱动信号、第二驱动信号、共用驱动信号而能够使压电马达10动作的理由进行说明的准备，对振动体100的基本动作进行说明。
图2是表示振动体100的基本动作的说明图。如前述那样在振动体100设置有第一电极(电极104a以及电极104d)、第二电极(电极104b以及电极104c)、共用电极(电极104g)。另外，如公知那样，压电材料具有若施加正电压则伸长，若施加负电压则收缩的性质。
因此，例如是若将共用电极(电极104g)与地线连接的状态，对第一电极(电极104a以及电极104d)交替地施加正负的电压，则被施加电压的部分反复伸长和收缩的结果，如图2(a)所示产生振动体100的弯曲振动。另外，由于交替地施加正负的电压，所以也产生振动体100的全长交替地反复伸长和收缩的伸缩振动。因此，安装于振动体100的前端的凸部102以在附图上描绘顺时针的椭圆轨道的方式振动。在本实施例中，将该方向(在附图上顺时针方向)的振动称为正转方向。
另外，在若将共用电极(电极104g)与地线连接的状态下，对第二电极(电极104b以及电极104c)交替地施加正负的电压，则如图2(b)所示，安装于振动体100的前端的凸部102以在附图上描绘逆时针的椭圆轨道的方式振动。在本实施例中，将该方向(在附图上逆时针方向)的振动称为反转方向。
这样，若对第一电极(电极104a以及电极104d)交替地施加正负的电压则振动体100向正转方向振动，若对第二电极(电极104b以及电极104c)交替地施加正负的电压则振动体100向反转方向振动。因此，若使用弹簧等弹性部件，将振动体100的凸部102按压于未图示的被驱动体，则能够向正方向或者反方向驱动被驱动体。基于以上，对向振动体100供给第一驱动信号、第二驱动信号、共用驱动信号的驱动信号供给部110的内部结构、以及第一实施例的压电马达10的驱动原理进行说明。
图3是表示驱动信号供给部110的内部结构的框图。如图示那样驱动信号供给部110具备驱动波形产生器112、脉冲调制器114、2个相位变更器116a、116b、以及3个脉冲放大器118a、118b、118c。其中，驱动波形产生器112内置DA转换器，生成对振动体100施加的周期性的电压波形(例如正弦波)。脉冲调制器114通过对驱动波形产生器112所生成的电压波形进行脉冲宽度调制，来生成脉冲信号。
这样生成的脉冲信号分支为3个相等的脉冲信号，其中一个脉冲信号经由相位变更器116a被供给至脉冲放大器118a，另一个脉冲信号经由相位变更器116b被供给至脉冲放大器118b。另外，剩余的一个脉冲信号保持原样被供给至脉冲放大器118c。因此，被供给至脉冲放大器118a的脉冲信号能够相对于被供给至脉冲放大器118c的脉冲信号，通过相位变更器116a使相位延迟(或者提前)。同样，被供给至脉冲放大器118b的脉冲信号也能够相对于被供给至脉冲放大器118c的脉冲信号，通过相位变更器116b使相位延迟(或者提前)。脉冲放大器118a、118b、118c通过对这样变更了相位的脉冲信号的电压进行放大，来生成驱动信号。
图4是表示脉冲放大器118a、118b、118c的内部构造的说明图。如图示那样脉冲放大器118a、118b、118c具备2个晶体管Tr1、Tr2。这些晶体管Tr1、Tr2以串联的方式连接，上段侧的晶体管Tr1与高电压侧的电源电压PVDD连接，下段侧的晶体管Tr2与低电压侧的电源电压PVSS连接。并且，向各个晶体管Tr1、Tr2的栅极端子输入脉冲信号。另外，从脉冲放大器118a、118b、118c向外部输出以串联的方式连接的晶体管Tr1和晶体管Tr2之间的电压。
这样的脉冲放大器118a、118b、118c以如下的方式对脉冲信号进行电压放大。例如，假设脉冲信号成为高电平状态。在该情况下，晶体管Tr1截止，晶体管Tr2导通，所以脉冲放大器118a、118b、118c的输出电压成为低电压侧的电源电压PVSS。另外相反，假设脉冲信号成为低电平状态。在该情况下，晶体管Tr1导通，晶体管Tr2截止，所以脉冲放大器118a、118b、118c的输出电压成为高电压侧的电源电压PVDD。因此，若输入反复高电平状态和低电平状态的脉冲信号，则从脉冲放大器118a、118b、118c输出反复低电压侧的电源电压PVSS和高电压侧的电源电压PVDD的脉冲状的电压波形。另外，脉冲放大器118a、118b、118c只要通过在高电平状态和低电平状态之间切换脉冲信号，来在电源电压PVDD与电源电压PVSS之间切换输出电压就足够。因此，如图4中所例示的那样并不限于使用晶体管Tr1、Tr2的结构，也可以通过不同的电路结构来构成脉冲放大器118a、118b、118c。
如图3所示，脉冲放大器118a对从相位变更器116a接受的脉冲信号进行电压放大作为第一驱动信号并输出。另外，脉冲放大器118b对来自相位变更器116b的脉冲信号进行电压放大作为第二驱动信号并输出。并且，脉冲放大器118c对来自脉冲调制器114的脉冲信号进行电压放大作为共用驱动信号并输出。这里，相位变更器116a能够对从脉冲调制器114接受的脉冲信号的相位进行变更。因此，若相位变更器116a使脉冲信号相位延迟(或者提前)，则第一驱动信号的相位也能够相对于共用驱动信号延迟(或者提前)。同样，若相位变更器116b使脉冲信号相位延迟(或者提前)，则第二驱动信号的相位也能够相对于共用驱动信号延迟(或者提前)。
以以上那样的方式生成的第一驱动信号经由第一低通滤波器电路119a供给至振动体100的第一电极(电极104a以及电极104d)。同样，第二驱动信号经由第二低通滤波器电路119b供给至振动体100的第二电极(电极104b以及电极104c)。本实施例的第一低通滤波器电路119a以及第二低通滤波器电路119b由线圈L等感应元件以及电容器C等电容元件形成。另外，共用驱动信号被保持原样供给至振动体100的共用电极(电极104g)。
A－2.压电马达的驱动原理：
如以上那样，从驱动信号供给部110输出的第一驱动信号被供给至振动体100的第一电极(电极104a以及电极104d)，第二驱动信号被供给至第二电极(电极104b以及电极104c)，共用驱动信号被供给至共用电极(电极104g)。而且，驱动信号供给部110能够相对于共用驱动信号使相位不同来输出第一驱动信号，能够相对于共用驱动信号使相位不同来输出第二驱动信号。在第一实施例中，通过变更相对于共用驱动信号的第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，能够使压电马达10向正转方向或者反转方向驱动，或停止驱动。
图5是例示出以与共用驱动信号相同相位输出第一驱动信号以及第二驱动信号的情况的说明图。使用图3如前述那样，第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号是使在脉冲调制器114中生成的脉冲信号分支为3个，在变更了相位后，对3个脉冲信号分别进行电压放大而成的信号。因此，只要不利用相位变更器116a以及相位变更器116b变更脉冲信号的相位，第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号就能够以相同的时间切换电源电压PVDD和电源电压PVSS。
因此，例如在图5中的时刻t1，第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号都成为电源电压PVDD，所以成为对振动体100的电极104a～104g都施加电源电压PVDD的状态。该状态与不对振动体100施加电压的状态相同。另外，在图5中的时刻t2，第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号都成为电源电压PVSS，所以成为对振动体100的电极104a～104g都施加了电源电压PVSS的状态。该状态也与未对振动体100施加电压的状态相同。这样，在以与共用驱动信号相同的相位输出第一驱动信号以及第二驱动信号期间，虽然供给了第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号，但振动体100成为停止的状态。
图6是例示出使第一驱动信号的相位相对于共用驱动信号不同的情况的说明图。另外，在图6中，示有使第一驱动信号的相位延迟了90度的情况，但只要使第一驱动信号与共用驱动信号的相位不同就足够了。因此，也可以使第一驱动信号的相位相对于共用驱动信号提前，使相位不同的大小不是90度也可以。另外，关于第二驱动信号，是与共用驱动信号相同的相位。在使用图3前述的驱动信号供给部110的相位变更器116a中变更相位，但若在相位变更器116b中不变更相位，则能够输出这样的第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号。
首先，若着眼于第二驱动信号和共用驱动信号，则它们在相同的时间切换为电源电压PVDD和电源电压PVSS。因此，根据与使用图5前述的情况相同的理由，与未对第二电极(电极104b以及电极104c)施加电压的情况相同。
接下来，若着眼于第一驱动信号和共用驱动信号，则它们切换为电源电压PVDD和电源电压PVSS的时间不同。因此，第一驱动信号以及共用驱动信号根据采取电源电压PVDD或者电源电压PVSS的哪个状态，来产生4个期间。在图6所示的例子中，在期间P1，第一驱动信号为电源电压PVSS，共用驱动信号为电源电压PVDD，在期间P2，第一驱动信号和共用驱动信号都是电源电压PVDD。另外，在期间P3，第一驱动信号为电源电压PVDD，共用驱动信号为电源电压PVSS，在期间P4，第一驱动信号和共用驱动信号都为电源电压PVSS。
而且，电源电压PVDD比电源电压PVSS电压高，所以在期间P1与对第一电极(电极104a以及电极104d)施加了负的电压的状态相同，在期间P2与未对第一电极(电极104a以及电极104d)施加电压的状态相同。另外，在期间P3与施加了正的电压的状态相同，在期间P4与未施加电压的状态相同。其结果，重复期间P1至期间P4，从而对第一电极(电极104a以及电极104d)和共用电极(电极104g)之间施加的电压(以下，称为“第一施加电压”)如图6所示，为周期性地并且阶梯状地变化的电压。
另外，在期间P1以及期间P3施加的正负的电压的绝对值为电源电压PVDD与电源电压PVSS的电压差。另外，如使用图3前述的那样，第一驱动信号实际上经由第一低通滤波器电路119a被供给至第一电极(电极104a以及电极104d)。因此，将该阶梯状地变化的电压通过第一低通滤波器电路119a后的波形的电压施加给第一电极(电极104a以及电极104d)。另外，通过利用脉冲调制器114调制脉冲宽度，能够利用第一低通滤波器电路119a除去高频率的脉冲成分。
图7是例示出使第二驱动信号的相位相对于共用驱动信号不同的情况的说明图。另外，在图7中，示有使第二驱动信号的相位延迟了90度的情况，但只要使第二驱动信号与共用驱动信号的相位不同就足够了。因此，也可以使第二驱动信号的相位相对于共用驱动信号提前，使相位不同的大小也可以不是90度。另外，对于第一驱动信号，是与共用驱动信号相同的相位。在使用图3前述的驱动信号供给部110的相位变更器116a中不变更相位，若在相位变更器116b变更相位，则能够输出这样的第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号。
在图7所示的例子中，第一驱动信号和共用驱动信号在相同的时间切换为电源电压PVDD和电源电压PVSS。因此，与未对第一电极(电极104a以及电极104d)施加电压的情况相同。
另一方面，若着眼于第二驱动信号和共用驱动信号，则这些驱动信号根据采取电源电压PVDD或者电源电压PVSS的哪个状态，来产生期间P1～期间P4这4个期间。即，第二驱动信号为电源电压PVSS而共用驱动信号为电源电压PVDD的期间P1、第二驱动信号和共用驱动信号都为电源电压PVDD的期间P2、第二驱动信号为电源电压PVDD而共用驱动信号为电源电压PVSS的期间P3、以及第二驱动信号和共用驱动信号都为电源电压PVSS的期间P4。
而且，电源电压PVDD一方比电源电压PVSS电压高，所以在期间P1与对第二电极(电极104b以及电极104c)施加了负的电压的状态相同。另外，在期间P2与未对第二电极(电极104b以及电极104c)施加电压的状态相同，在期间P3与施加了正的电压的状态相同，在期间P4与未施加电压的状态相同。因此，重复期间P1至期间P4，从而对第二电极(电极104b以及电极104c)与共用电极(电极104g)之间施加的电压(以下，称为“第二施加电压”)如图7所示，为周期性地并且阶梯状地变化的电压。而且实际上，将该阶梯状地变化的电压通过第二低通滤波器电路119b后所成的波形的电压被施加给第二电极(电极104b以及电极104c)。另外，第二施加电压也能够通过利用脉冲调制器114脉冲宽度调制，利用第二低通滤波器电路119b除去高频率的脉冲成分。
A－3.压电马达的驱动方法：
图8是为了驱动第一实施例的压电马达10而控制部120所执行的压电马达驱动处理的流程图。在压电马达驱动处理中，首先，判断是否驱动压电马达10(步骤S100)。其结果，在判断为不驱动压电马达10的情况下(步骤S100：否)，使从驱动信号供给部110输出的第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致(步骤S112)，并且，也使第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致(步骤S114)。若控制驱动信号供给部110内的相位变更器116a以及相位变更器116b，不变更脉冲信号的相位，则能够使第一驱动信号以及第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致。
而且，如使用图5前述那样，若第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致，则与未对第一电极(电极104a以及电极104d)施加电压的状态相同。同样，若第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致，则与未对第二电极(电极104b以及电极104c)施加电压的状态相同。因此，成为压电马达10的振动体100不振动，而凸部102被按压到被驱动体的状态。
与此相对，在判断为驱动压电马达10的情况下(步骤S100：是)，判断驱动方向是否是正转方向(步骤S102)。其结果，在驱动方向为正转方向的情况下(步骤S102：是)，使从驱动信号供给部110输出的第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位不同(步骤S104)，并且，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致(步骤S106)。若控制驱动信号供给部110内的相位变更器116a使脉冲信号的相位延迟(或者提前)，则能够使第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位不同。另外，若控制驱动信号供给部110内的相位变更器116b，不变更脉冲信号的相位，则能够使第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致。而且，如使用图6前述的那样，若使第一驱动信号的相位与共用驱动信号不同，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号一致，则能够使压电马达10的振动体100向正转方向振动。
另一方面，在驱动方向不是正转方向的情况下(步骤S102：否)，使从驱动信号供给部110输出的第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致(步骤S108)，并且，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位不同(步骤S110)。若控制驱动信号供给部110内的相位变更器116a不变更脉冲信号的相位，则能够使第一驱动信号的相位与共用驱动信号的相位一致。另外，若控制驱动信号供给部110内的相位变更器116b，使脉冲信号的相位延迟(或者提前)，则能够使第二驱动信号的相位与共用驱动信号的相位不同。而且，如使用图7前述那样，若使第一驱动信号的相位与共用驱动信号一致，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号不同，则能够使压电马达10的振动体100向反转方向振动。
这样在第一实施例的压电马达10中，从驱动信号供给部110向振动体100持续供给第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号。而且，仅变更相对于共用驱动信号的第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，就能够切换压电马达10的停止状态和驱动状态，并且能够在驱动状态中，将驱动方向切换为正转方向和反转方向。因此，不会像以往的压电马达那样，需要用于切换向第一电极(电极104a以及电极104d)和第二电极(电极104b以及电极104c)的哪一个施加电压的开关，所以能够使驱动信号供给部110小型化。
另外，在第一实施例的压电马达10中，仅通过相对于共用驱动信号的相位变更从驱动信号供给部110持续输出的第一驱动信号以及第二驱动信号的相位，就能够切换驱动方向，所以实质上能够瞬间切换驱动方向。因此，不会像以往的压电马达那样，每当切换驱动方向就不能控制压电马达，其结果，例如能够进行细致地调整被驱动体的位置，或流畅地停止被驱动体等敏锐的控制。
A－4.第一实施例的变形例：
A－4－1.第一变形例：
在上述的第一实施例中，能够变更第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位，但作为变更量不变的例子进行了说明。例如，在图6或者图7所示的例子中，作为使第一驱动信号或者第二驱动信号的相位相对于共用驱动信号延迟90度、或不延迟，不能够缩小延迟角度的例子进行了说明。但是，也可以能够连续地或者多阶段地变更第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位。
图9是能够变更第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟的变形例(第一实施例的第一变形例)的说明图。另外，在图9中，作为使第一驱动信号的相位相对于共用驱动信号延迟的例子进行说明，但也可以使第一驱动信号的相位相对于共用驱动信号提前。另外，在图9中，对第一驱动信号和共用驱动信号的关系进行说明，但对于第二驱动信号与共用驱动信号的关系也完全相同。
图9中对于以各种方式变更了第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟的情况，示出对第一电极(电极104a以及电极104d)和共用电极(电极104g)之间施加的电压(第一施加电压)的波形。例如，图9(a)中示有使相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位稍微(22.5度)延迟的情况的第一施加电压的波形。另外，图9(b)中示有使相位的延迟稍微增大的情况(为45度的情况)的第一施加电压的波形，图9(c)中示有使相位的延迟进一步稍微增大的情况(为67.5度的情况)的第一施加电压的波形。另外，图6示有将相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位的延迟设为90度的情况下的第一施加电压的波形，图7示有使共用驱动信号和第一驱动信号的相位一致的情况下的第一施加电压的波形。
如图9所示，随着增大相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位的延迟，第一施加电压从图7所示的状态(未施加电压的状态)，接近图6所示的状态。因此，通过增大相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位的延迟，能够增大压电马达10的驱动力。第二驱动信号也完全相同。即，通过增大相对于共用驱动信号的第二驱动信号的相位的延迟，能够增大压电马达10的驱动力。这样在第一变形例中，不光在瞬间切换压电马达10的驱动方向，也能够控制驱动力的大小。因此，能够容易地实现细致地调整被驱动体的位置，或使被驱动体流畅地停止等敏锐的控制。
A－4－2.第二变形例：
在上述的第一实施例或者第一变形例中，以对振动体100的侧面四等分的方式设置有4个电极104a～104d为例进行了说明(参照图1)。但是，即使对于电极的数量、配置不同的振动体100，也能够应用上述的驱动方法。
图10是表示在振动体100的侧面除了前述的第一电极(电极104a以及电极104d)、第二电极(电极104b以及电极104c)以外还设置有第三电极(电极104e)的变形例(第一实施例的第二变形例)的压电马达10的大致结构的说明图。图10所示的第一实施例的第二变形例的压电马达10在相对于使用图1前述的第一实施例的压电马达10设置有第三电极(电极104e)的点、和从驱动信号供给部110对第三电极(电极104e)供给第三驱动信号的点不同，其他的点相同。另外，对于第一实施例的第二变形例和第一实施例相同的点，标注与第一实施例相同的编号，省略详细说明。
如图10所示，在第二变形例的振动体100在侧面的中央设置有细长的第三电极(电极104e)，在该侧方设置有电极104a以及电极104c，在相反的一侧的侧方设置有电极104b以及电极104d。
图11是表示在第一实施例的第二变形例中使用的驱动信号供给部110的内部结构的框图。图11所示的第二变形例的驱动信号供给部110相对于使用图3前述的第一实施例的驱动信号供给部110追加有用于输出第三驱动信号的相位变更器116d、脉冲放大器118d、以及第三低通滤波器电路119d。以下，以与第一实施例的驱动信号供给部110的不同点为中心，对第二变形例的驱动信号供给部110进行简单说明。
在第二变形例的驱动信号供给部110中，也设置有驱动波形产生器112和脉冲调制器114，脉冲调制器114对驱动波形产生器112所生成的电压波形进行脉冲宽度调制来生成脉冲信号。而且，在第二变形例的驱动信号供给部110中，脉冲信号分支为4个，其中3个脉冲信号被分别供给至3个相位变更器116a、116b、116d。这里，相位变更器116a以及相位变更器116b与前述的第一实施例相同，分别用于生成第一驱动信号以及第二驱动信号。另外，相位变更器116d用于生成第三驱动信号。另外，将剩余的一个脉冲信号以与前述的第一实施例相同的方式，在供给至脉冲放大器118c进行了电压放大后，作为共用驱动信号供给至共用电极(电极104g)。
供给至相位变更器116a的脉冲信号在被脉冲放大器118a电压放大后，作为第一驱动信号输出，经由第一低通滤波器电路119a供给至第一电极(电极104a以及电极104d)。同样，供给至相位变更器116b的脉冲信号在被脉冲放大器118b电压放大后，作为第二驱动信号输出，经由第二低通滤波器电路119b供给至第二电极(电极104b以及电极104c)。并且，供给至相位变更器116d的脉冲信号在被脉冲放大器118d电压放大后，作为第三驱动信号输出，经由第三低通滤波器电路119d供给至第三电极(电极104e)。第三低通滤波器电路119d由线圈L等感应元件以及电容器C等电容元件形成。
图12是例示有驱动第一实施例的第二变形例的压电马达10的情况的说明图。在图示的例子中，示有相对于共用驱动信号变更第一驱动信号以及第三驱动信号的相位的情况，但也可以相对于共用驱动信号变更第二驱动信号以及第三驱动信号的相位。另外，在图示的例子中，示有相对于共用驱动信号使相位延迟90度的情况，但也可以提前相位。并且，相位的变更量并不限于90度，也可以是90度以外的值。
在图12所示的例子中，第二驱动信号为与共用驱动信号相同的相位。因此，根据使用图5前述的理由，在第二电极(电极104b以及电极104c)与共用电极(电极104g)之间不施加电压(第二施加电压)。
与此相对，对于第一驱动信号以及第三驱动信号，相对于共用驱动信号相位不同。因此，根据使用图6前述的理由，在第一电极(电极104a以及电极104d)与共用电极(电极104g)之间施加的电压(第一施加电压)为周期性地并且阶梯状地变化的电压。同样，在第三电极(电极104e)与共用电极(电极104g)之间施加的电压(第三施加电压)也为周期性地并且阶梯状地变化的电压。另外，如使用图11前述那样，在驱动信号供给部110与第一电极(电极104a以及电极104d)之间设置有第一低通滤波器电路119a，所以实际施加的电压为使图12所示的第一施加电压通过第一低通滤波器电路119a后的电压。同样，在驱动信号供给部110与第三电极(电极104e)之间设置有第三低通滤波器电路119d，实际施加的电压为使图12所示的第三施加电压通过第三低通滤波器电路119d后的电压。
在上述的第一实施例的第二变形例中，与前述的第一实施例相同，使供给至第一电极(电极104a以及电极104d)的第一驱动信号、和供给至共用电极(电极104g)的共用驱动信号的相位不同，所以能够同时产生振动体100的弯曲振动以及伸缩振动。因此，能够使振动体100的凸部102(参照图2)向正转方向椭圆运动。然而，振动体100的伸缩振动是伴随使振动体100弯曲振动附带产生的。因此，相对于弯曲振动的大小的伸缩振动的大小未必最佳，振动体100的凸部102椭圆运动的轨道也未必最佳的轨道。
但是，在第一实施例的第二变形例设置有第三电极(电极104e)。该第三电极(电极104e)设置在振动体100的侧面中央，所以即使在第三电极(电极104e)与共用电极(电极104g)之间交替地施加正负的电压也仅产生伸缩振动也不产生弯曲振动。因此，在第一实施例的第二变形例的压电马达10中，若预先适当地设定第三电极(电极104e)的大小，则能够使振动体100的凸部102以最佳的轨道椭圆运动。或者，通过使用于生成第三驱动信号的脉冲放大器118d(参照图11)放大的电压值与其他的脉冲放大器118a、1118b的电压(电源电压PVDD以及电源电压PVSS)不同地设定为适当的电压值，也能够使振动体100的凸部102以最佳的轨道椭圆运动。
以上，对相对于共用驱动信号变更第一驱动信号以及第三驱动信号的相位情况进行了说明。与此相对，相对于共用驱动信号变更第二驱动信号以及第三驱动信号的相位的情况仅是振动体100的凸部102椭圆运动的方向相反，对于其他的点适用完全相同的说明。即，使第二驱动信号的相位相对于共用驱动信号不同，从而使振动体100产生弯曲振动以及伸缩振动，其结果，能够使振动体100的凸部102向反转方向椭圆运动。并且，使第三驱动信号的相位相对于共用驱动信号不同，从而使振动体100产生伸缩振动，其结果，能够使振动体100的凸部102以最佳的轨道椭圆运动。
A－4－3.第三变形例：
在上述的第一实施例的第二变形例中，以在相对于共用驱动信号变更第一驱动信号或者第二驱动信号的任意一个相位的情况下，与其变更量相同地变更相对于共用驱动信号的第三驱动信号的相位为例进行了说明。但是，也可以与第一驱动信号或者第二驱动信号的相位的变更量不同地变更相对于共用驱动信号的第三驱动信号的相位。
图13是例示出驱动与第一驱动信号或者第二驱动信号的相位的变更量不同地变更相对于共用驱动信号的第三驱动信号的相位的变形例(第一实施例的第三变形例)的压电马达10的情况的说明图。若与对于前述的第一实施例的第二变形例的说明图即图12进行比较，则在图12中在第一驱动信号和第三驱动信号中相对于共用驱动信号的相位的延迟量一致。与此相对，在图13中，在第一驱动信号与第三驱动信号中相对于共用驱动信号的相位的延迟不一致这一点不同。另外，在图示的例子中，示有相对于共用驱动信号变更第一驱动信号以及第三驱动信号的相位的情况，但也可以相对于共用驱动信号变更第二驱动信号以及第三驱动信号的相位。另外，在图示的例子中，示有相对于共用驱动信号延迟相位的情况，但也可以提前相位。并且，第一驱动信号或者第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的变更量并不限于90度，也可以为90度以外的值。
在图13中例示出的第一实施例的第三变形例中，与图12所例示的第一实施例的第二变形例相同，只要使第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位不同，并且，使第三驱动信号的相对于共用驱动信号的相位不同，就能够使振动体100的凸部102向正转方向椭圆运动。
此外，在第一实施例的第三变形例中，能够使第三驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的变更与第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的变更不同。例如，在图13所示的例子中，第三驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟比第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟小。而且，根据使用图9前述的理由，第三驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟越小，第三施加电压(在第三电极(电极104e)与共用电极(电极104g)之间施加的电压)越小。因此，在第一实施例的第三变形例中，能够连续地或者多个阶段地变更第三驱动信号的相对于共用驱动信号的相位，从而能够变更振动体100的伸缩振动的大小。其结果，配合想要利用压电马达10驱动的被驱动体，能够将凸部102的椭圆轨道变更为更加适当的形状。
B.第二实施例：
在上述的第一实施例以及第一实施例的各种变形例中，作为压电马达10的驱动状态，能够实现以下3个驱动状态。即，第一个驱动状态是使第一驱动信号的相位与共用驱动信号不同，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号一致的驱动状态，在该驱动状态下向正转方向驱动压电马达10。另外，第二个驱动状态是使第一驱动信号的相位与共用驱动信号一致，使第二驱动信号的相位与共用驱动信号不同的驱动状态，在该驱动状态下向反转方向驱动压电马达10。并且，第三个驱动状态是使第一驱动信号的相位和第二驱动信号的相位都与共用驱动信号一致的驱动状态，在该驱动状态下压电马达10的振动体100不振动。因此，振动体100的凸部102(参照图1)保持被按压到被驱动体，而成为压电马达10保持被驱动体使被驱动体不移动的状态。
除了以上3个驱动状态以外，还能够实现第四个驱动状态。即，该第四个驱动状态是使第一驱动信号的相位与共用驱动信号不同，使第二驱动信号的相位也与共用驱动信号不同的驱动状态。另外，此时的第一驱动信号与二驱动信号的相位也可以一致，也可以不同。详细内容后述，但在该第四个驱动状态中，能够使压电马达10成为空转状态。即，振动体100伸缩振动所以不能够以较强的力保持被驱动体，此外，能够实现在第一驱动信号与第二驱动信号为相同相位的情况下完全不产生驱动力，另外，在第一驱动信号与第二驱动信号中相位不同的情况下产生驱动力的驱动状态。
图14是例示出第二实施例的压电马达10的4个基本的驱动状态的说明图。在图14(a)所示的驱动状态下，以相同的相位将第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号输出至振动体100。如使用图5前述那样，该状态与未对振动体100施加电压的状态相同，振动体100不会振动。因此，振动体100的凸部102被按压到被驱动体，因此，成为压电马达10保持被驱动体的状态。
在图14(b)所示的驱动状态中，以不同的相位输出第一驱动信号和共用驱动信号，但以相同的相位输出第二驱动信号和共用驱动信号。如使用图6前述那样，在该状态下，向正转方向驱动压电马达10。另外，在图14(c)所示的驱动状态下，以相同的相位输出第一驱动信号和共用驱动信号，但以不同的相位输出第二驱动信号和共用驱动信号。如使用图7前述的那样，在该状态下，向反转方向驱动压电马达10。
如图14(d)所示的驱动状态是第二实施例所特有的驱动状态，以与共用驱动信号不同的相位输出第一驱动信号，也以与共用驱动信号不同的相位输出第二驱动信号。另外，第一驱动信号与第二驱动信号也可以为相同的相位，也可以为不同的相位。在为相同的相位的情况、和为不同的相位的情况下，压电马达10的动作不同，但对于相位不同的情况在后面重新进行说明，这里，作为第一驱动信号和第二驱动信号为相同的相位的情况进行说明。
在图14(d)所示的驱动状态下，相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位不同，所以在第一电极(电极104a以及电极104d)与共用电极(电极104g)之间，施加图6所示的第一施加电压。同样，相对于共用驱动信号的第二驱动信号的相位也不同，所以在第二电极(电极104b以及电极104c)与共用电极(电极104g)之间施加图7所示的第二施加电压。因此，想要使振动体100向正转方向弯曲振动的力和想要向反转方向弯曲振动的力相抵消，振动体100仅产生伸缩振动。因此，压电马达10不会驱动被驱动体。另外，振动体100的凸部102反复被按压至被驱动体的状态和与被驱动体分离的状态，压电马达10保持被驱动体的力微小。根据以上，在图14(d)所示的驱动状态下，能够实现压电马达10空转的状态。另外，在本说明书中，在振动体100仅产生伸缩振动，不使被驱动体向正转方向或者反转方向的任意方向驱动的状态称为“空转状态”。
此外，在第二实施例的压电马达10中，也能够变更空转状态下的保持力。图15中例示有利用第二实施例的压电马达10变更空转状态的保持力的情况。在图15(a)所示的驱动状态下，以与共用驱动信号相同的相位输出第一驱动信号以及第二驱动信号，所以振动体100完全不振动。因此，压电马达10的保持力最大。
在图15(b)所示的驱动状态下，以与共用驱动信号稍微不同的相位输出第一驱动信号以及第二驱动信号。另外，第一驱动信号与第二驱动信号为相同的相位。因此，振动体100向伸缩方向稍微振动，所以压电马达10的保持力比图15(a)所示的状态稍微变小。
在图15(c)所示的驱动状态下，与图15(b)的驱动状态相比，第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位差进一步增大。因此，振动体100的伸缩振动比图15(b)的情况大，所以压电马达10的保持力比图15(b)所示的状态进一步变小。
在图15(d)所示的驱动状态下，与图15(c)的驱动状态相比，第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位差进一步增大。该驱动状态与图14(d)所示的驱动状态相同，像前述那样该状态下的压电马达10的保持力微小。
像这样在第二实施例的压电马达10中，将第一驱动信号以及第二驱动信号保持为相同的相位，变更相对于共用驱动信号的相位，从而能够从压电马达10保持被驱动体的图15(a)的状态，使空转状态下的保持力降低。另外，在图15中，对将保持力切换为4个阶段的情况进行了说明，但若连续地变更第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位，则能够连续地变更空转状态下的保持力。另外，若将第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位切换为多阶段，则也能够根据切换的段数来切换保持力。
以上，对将第一驱动信号以及第二驱动信号保持为相同的相位，变更相对于共用驱动信号的相位的情况进行了说明。与此相对，也能够使第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位不同，并且，也使第一驱动信号和第二驱动信号的相位不同。
图16是使第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位不同，并且，也使第一驱动信号和第二驱动信号的相位不同的情况下的压电马达10的动作的说明图。
在图16(a)中，示有第一驱动信号以及第二驱动信号相对于共用驱动信号延迟了90度相位的状态。如使用图14(d)前述那样，在这样的驱动状态下压电马达10成为空转状态。
在图16(b)中，示有从图16(a)所示的状态稍微减小第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟的状态。在该状态下，第一施加电压(在第一电极(电极104a以及电极104d)与共用电极(电极104g)之间施加的电压)与图16(a)的情况相同。但是，对于第二施加电压(在第二电极(电极104b以及电极104c)与共用电极(电极104g)之间施加的电压)而言，第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟稍微减小，所以成为比图16(a)的情况稍微抑制的电压。因此，与向正转方向驱动振动体100的力相比，向反转方向驱动的力稍微减弱，所以振动体100主要进行伸缩振动，并且稍微向正转方向弯曲振动。其结果，压电马达10大致接近空转状态，但实现以较小的力向正转方向驱动的驱动状态。
在图16(c)中，示有从图16(b)所示的状态进一步稍微减小第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位的延迟的状态(因此，接近共用驱动信号的状态)。因此，第二施加电压成为比图16(b)的情况进一步抑制的电压，因此，振动体100的向正转方向的弯曲振动比图16(b)的情况增大。其结果，压电马达10实现以比图16(b)所示的状态较大的力向正转方向驱动的驱动状态。
在图16(d)中，示有第一驱动信号相对于共用驱动信号延迟90度相位，但第二驱动信号为与共用驱动信号相同的相位的状态。如使用图14(b)前述的那样，在这样的驱动状态下压电马达10成为正转状态。
另外，在以上的说明中，第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位保持原样，而变更第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位。当然，也可以是第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位保持原样，而变更第一驱动信号的相对于共用驱动信号的相位。另外，以上，作为将第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位切换为4个阶段的情况进行了说明，但并不限于4个阶段也可以切换为多个阶段，并且，也可以连续地变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位。另外，作为第一驱动信号或者第二驱动信号相对于共用驱动信号延迟相位的情况进行说明，但也可以相对于共用驱动信号提前相位。
如以上说明的那样，在第二实施例的压电马达10中，使第一驱动信号以及第二驱动信号保持相同的相位，变更相对于共用驱动信号的相位，从而能够使压电马达10成为空转状态。另外，此时，第一驱动信号以及第二驱动信号、与共用驱动信号的相位差越小，越能够使压电马达10保持被驱动体的保持力增加(参照图15)。
并且，若从压电马达10的空转状态(振动体100振动但未产生驱动力的状态)使第二驱动信号的相位接近共用驱动信号的相位，则能够根据接近的程度，来赋予正转方向的驱动力(参照图16)。相反，若使第一驱动信号的相位接近共用驱动信号的相位，则能够根据接近的程度，来赋予反转方向的驱动力。
图17是表示与相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位的变更量、和相对于共用驱动信号的第二驱动信号的相位的变更量的组合对应的第二实施例的压电马达10的动作状态的说明图。另外，相对于共用驱动信号的相位的变更量(相位变更量)可以是使相位延迟的方向的相位变更量，也可以是提前的方向的相位变更量。
如图示那样，在第一驱动信号的相位变更量和第二驱动信号的相位变更量相等的情况下，压电马达10成为空转状态。此时，若增大第一驱动信号以及第二驱动信号的相位变更量，则能够减小空转状态下的保持力。并且，不管在第一驱动信号以及第二驱动信号的相位变更量为什么样的值，只要从该状态变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相位变更量，就能够产生正转方向或者反转方向的驱动力。例如，若减小第二驱动信号的相位变更量(因此，若接近共用驱动信号的相位)，则能够赋予正转方向的驱动力，越减小相位变更量越能够增大该驱动力的大小。并且，这些驱动状态的变更通过变更第一驱动信号以及第二驱动信号的相对于共用驱动信号的相位来实现，所以实质上能够瞬间变更驱动状态。
图17所示的第二实施例的压电马达10的特性能够称为大幅度地扩大压电马达的应用范围的划时代的特性。因此，关于这一点，进行若干补充说明。首先，一般地，压电马达的动作原理是将振动体100的凸部102按压于被驱动体，在该状态下使振动体100产生弯曲振动和伸缩振动从而使凸部102产生椭圆运动，利用与凸部102的摩擦力来驱动被驱动体。因此，以往的压电马达的驱动方式为以与振动体100的凸部102椭圆运动的次数几乎成比例的距离驱动被驱动体的方式。因此，使用以往的压电马达来驱动被驱动体的情况下的控制原则上为控制被驱动体的驱动量的位置控制。换言之，控制相对于被驱动体的驱动力的力控制非常难。例如，在压电马达以较弱的力驱动被驱动体的状态下，在从被驱动体受到了比该驱动力大的反作用力的情况下，难以实现压电马达的凸部滑动而不对被驱动体施加较大的力的控制。
与此相对，在第二实施例的压电马达10中，能够将压电马达10设为空转状态，并能够容易地增减空转状态下的保持力。并且，也能够从空转状态稍微产生驱动力，也能够使该驱动力增加。因此，能够容易地实现控制相对于被驱动体的驱动力的力控制。并且，对于任意的驱动状态，实质上能够瞬间地变更，所以能够容易地实现例如，以较小的力驱动被驱动体，并且流畅地停止在作为目的的位置等敏锐的控制。当然，也能够以与以往的压电马达相同的方式对被驱动体进行位置控制。
另外，在上述的第二实施例中，如图1所例示那样，作为驱动具备第一电极(电极104a以及电极104d)、第二电极(电极104b以及104c)、以及共用电极(电极104g)的振动体100的情况进行了说明。当然，如图10所例示的那样，在驱动具备第一电极(电极104a以及电极104d)、第二电极(电极104b以及104c)、第三电极(电极104e)、以及共用电极(电极104g)的振动体100的情况下，能够同样适用。
C.应用例：
上述的第一实施例、第一实施例的各种变形例、或者第二实施例的压电马达10(以下，本实施例的压电马达10)能够适当地设置于以下那样的装置。
图18是例示出设置有本实施例的压电马达10的机器人手400的说明图。图示的机器人手400从基台402立设有多根指部403，经由手腕404与臂410连接。这里，指部403的根的部分能够在基台402内移动，以将凸部102按压于该指部403的根的部分的状态安装有压电马达10。因此，使压电马达10动作，从而能够使指部403移动来把持对象物。另外，在手腕404的部分以将凸部102按压于手腕404的端面状态安装有压电马达10。因此，使压电马达10动作，从而能够使基台402整体旋转。另外，在该应用例中，指部403为被压电马达10驱动的直动体，手腕404为被压电马达10驱动的转动体。
图19是例示出具备机器人手400(手部)的单臂机器人450的说明图。如图示那样的机器人450具有臂410(臂部)，该臂410具备多个连杆部412(连杆部件)、和以能够弯曲的状态连接这些连杆部412之间的关节部420。另外，机器人手400与臂410的前端连接。而且，在关节部420内置有压电马达10。因此，通过使压电马达10动作，能够使各个关节部420以任意的角度弯曲。
图20是例示出具备机器人手400的多臂机器人460的说明图。如图示那样机器人460具有多根(在图示的例子中为2根)臂410，该臂410具备多根连杆部412、和以能够弯曲的状态连接这些连杆部412之间的关节部420。臂410的前端连接有机器人手400、工具401(末端执行器)。另外，在头部462安装有多台照相机463，在主体部464的内部安装有控制整体的动作的控制部466。并且，能够通过设置于主体部464的底面的脚轮468搬运。在该机器人460也在关节部420内置有本实施例的压电马达10。因此，通过使压电马达10动作，能够使各个关节部420以任意的角度弯曲。
图21例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的手指辅助装置500的说明图。如图示那样手指辅助装置500安装于人的手的手指(在图示的例子中为食指)而使用。图21(a)示有从指腹侧观察的状态，图21(b)示有从手指的侧面侧观察的状态。
手指辅助装置500具备以串联的方式连接的多个(在图示的例子中为2个)驱动单元510、和在前端连接的指尖单元520。另外，2个驱动单元510使用相同的部件，但在需要区分它们的情况下，如图1所示，分别称为驱动单元510a、510b。另外，驱动单元510与本发明中的“单元”对应。
如图21(a)所示，驱动单元510具备设置于手指侧的第一部件511、设置于隔着该第一部件511与手指相反的一侧的第二部件512、设置于第一部件511与第二部件512之间的圆板形状的转子513、使转子513旋转的压电马达10的振动体100、与转子513一起旋转的第一平齿轮514、与第一平齿轮514嵌合的第二平齿轮515、以及与邻接第一平齿轮514的驱动单元510的第二部件512连结的连结螺钉516。因此，各个驱动单元510通过紧固或松弛连结螺钉516能够自由地拆装。另外，振动体100与供给第一驱动信号、第二驱动信号、共用驱动信号(以及第三驱动信号)的驱动信号供给部110连接。另外，本实施例的第二平齿轮515与本发明中的“连结部件”对应。
另外，在驱动单元510a的第一部件511、驱动单元510b的第一部件511、指尖单元520安装有从手指的腹侧和背侧松弛地夹持手指的安装部502、504、506。图21(c)示有在A－A的位置切断指尖单元520的剖视图。因此，如图21所示，能够利用安装部502、504、506从手指的侧面侧，将手指辅助装置500安装于各个手指。
图22是表示驱动单元510的详细的构造的说明图。另外，在图22中，安装部502、504省略图示。图22(a)是从与安装于手指的侧相反的一侧(第二部件512侧)观察的驱动单元510的主视图，图22(b)是在驱动单元510的中央位置的剖视图，图22(c)是从安装于手指的侧(第一部件511侧)观察的驱动单元510的后视图。
在第一部件511在2个位置上突出地设置有圆柱形状的凸起511b，振动体100螺合于凸起511b的顶面。另外，在第一部件511与第二部件512之间能够旋转地安装有圆板形状的转子513，与该转子513同轴地安装有第一平齿轮514，与转子513一起一体地旋转。并且，在第一平齿轮514嵌合有第二平齿轮515。因此，若驱动振动体100来使转子513旋转，则第一平齿轮514与转子513一起旋转，第二平齿轮515旋转。另外，在该应用例中，转子513与本发明中的“转动体”对应。另外，第二平齿轮515比第一平齿轮514齿数较多。因此，第一平齿轮514的旋转被减速(因此，增力)而传递至第二平齿轮515。若使用这样的手指辅助装置500，则能够利用压电马达10的动力，辅助弯曲或伸直人的手的手指的动作。
图23是例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的电子部件检查装置600的立体图。图示的电子部件检查装置600大致具备基台610、和立设于基台610的侧面的支承台630。在基台610的上表面设置有载置检查对象的电子部件3而搬运的上游侧工作台612u、载置检查完毕的电子部件3而搬运的下游侧工作台612d。另外，在上游侧工作台612u与下游侧工作台612d之间设置有用于确认电子部件3的姿势的拍摄装置614、以及为了检查电特性而设置电子部件3的检查台616(检查部)。另外，作为电子部件3的代表例列举“半导体”、“半导体晶圆”、“LCD、OLED等显示设备”、“水晶设备”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS设备”等。
另外，在支承台630以能够在与基台610的上游侧工作台612u以及下游侧工作台612d平行的方向(Y方向)上移动地设置有Y工作台632，从Y工作台632在朝向基台610的方向(X方向)延伸配置有臂部634。另外，在臂部634的侧面以能够在X方向上移动的方式设置有X工作台636。而且，在X工作台636设置有拍摄照相机638、和内置在上下方向(Z方向)上能够移动的Z工作台的把持装置650。另外，在把持装置650的前端设置有把持电子部件3的把持部652。并且，在基台610的前面侧还设置有控制电子部件检查装置600的整体的动作的控制装置618。另外，在本实施例中，设置于支承台630的Y工作台632、臂部634、X工作台636、把持装置650与本发明中的“电子部件搬运装置”对应。
具有如以上那样的结构的电子部件检查装置600以如下的方式进行电子部件3的检查。首先，检查对象的电子部件3载置于上游侧工作台612u，移动到检查台616的附近。接下来，移动Y工作台632以及X工作台636，使把持装置650移动到载置于上游侧工作台612u的电子部件3的正上方的位置。此时，能够使用拍摄照相机638来确认电子部件3的位置。而且，若使用内置在把持装置650内的Z工作台来使把持装置650下降，利用把持部652把持电子部件3，则直接使把持装置650移动到拍摄装置614上，使用拍摄装置614来确认电子部件3的姿势。接着，使用内置于把持装置650的微调机构来调整电子部件3的姿势。而且，在使把持装置650移动到检查台616上后，移动内置于把持装置650的Z工作台来将电子部件3设置在检查台616上。使用把持装置650内的微调机构来调整电子部件3的姿势，所以能够在检查台616的正确的位置设置电子部件3。而且，若使用检查台616，电子部件3的电特性的检查结束，再次，在下一次从检查台616取下电子部件3后，移动Y工作台632以及X工作台636，使把持装置650移动到下游侧工作台612d上，将电子部件3置于下游侧工作台612d。之后，移动下游侧工作台612d，将检查结束的电子部件3搬运到规定位置。
图24是内置于把持装置650的微调机构的说明图。如图示那样在把持装置650内，设置有与把持部652连接的旋转轴654、以能够旋转的方式安装有旋转轴654的微调板656等。另外，微调板656被未图示的引导机构引导，并且能够在X方向以及Y方向上移动。
这里，如在图24中标注斜线地表示那样，朝向旋转轴654的端面安装由旋转方向用的压电马达10θ，压电马达10θ的凸部(省略图示)被按压于旋转轴654的端面。因此，通过使压电马达10θ动作，能够使旋转轴654(以及把持部652)向θ方向高精度地旋转任意的角度。另外，朝向微调板656设置有X方向用的压电马达10x和Y方向用的压电马达10y，各个凸部(省略图示)被按压于微调板656的表面。因此，通过使压电马达10x动作，能够使微调板656(以及把持部652)向X方向高精度地移动任意的距离，同样，通过使压电马达10y动作，能够使微调板656(以及把持部652)向Y方向高精度地移动任意的距离。因此，图23的电子部件检查装置600通过使压电马达10θ、压电马达10x、压电马达10y动作，能够对利用把持部652把持的电子部件3的姿势进行微调。另外，在该应用例中，旋转轴654与本发明中的“转动体”对应，微调板656与本发明中的“直动体”对应。
图25是例示出设置有本实施例的压电马达10而构成的送液泵700的说明图。图25(a)示有俯视送液泵700的俯视图，图25(b)示有侧面视送液泵700的剖视图。如图示那样送液泵700在矩形形状的外壳702内以能够旋转的方式设置有圆板形状的转子704(移动部)，在外壳702与转子704之间夹持有药液等液体在内部流通的管706(液体管)。另外，管706的一部分被设置于转子704的滚珠708(封闭部)压扁而成为封闭的状态。因此若转子704旋转，则滚珠708压扁管706的位置移动，所以输送管706的液体。而且，若在将本实施例的压电马达10的凸部102被按压于转子704的侧面的状态下进行设置，则能够驱动转子704。这样，能够高精度输送微少的量，并且能够实现小型的送液泵700。另外，在该应用例中，转子704与本发明中的“转动体”对应。
图26是例示出设置有本实施例的压电马达10的打印装置800的立体图。图示的打印装置800是向打印介质2的表面喷射墨来打印图像的所谓的喷墨打印机。打印装置800为大致箱形的外观形状，在前面的几乎中央设置有排纸托盘801、排出口802、多个操作按钮805。另外，在背面侧设置有设置卷成辊状的打印介质2(卷筒纸804)的纸张支架803。若在纸张支架803设置卷筒纸804并操作操作按钮805，则吸入设置于纸张支架803的卷筒纸804，在打印装置800的内部在打印介质2的表面打印图像。另外，在卷筒纸804被安装在打印装置800的内部的后述的切断机构830切断后，从排出口802排出。
在打印装置800的内部设置有在打印介质2上在主扫描方向往复移动的打印头820、引导打印头820的朝向主扫描方向的移动的引导导轨810。另外，图示的打印头820由向打印介质2上喷射墨的印字部822、用于使打印头820在主扫描方向扫描的扫描部824等构成。在印字部822的底面侧(朝向打印介质2的一侧)设置有多个喷射喷嘴，能够从喷射喷嘴朝向打印介质2喷射墨。另外，在扫描部824安装有压电马达10m、10s。压电马达10m的凸部(省略图示)被按压到引导导轨810。因此，通过使压电马达10m动作，从而能够使打印头820向主扫描方向移动。另外，压电马达10s的凸部102被按压到印字部822。因此，通过使压电马达10s动作，从而能够使印字部822的底面侧接近打印介质2，或远离打印介质2。另外，在打印装置800还安装有用于切断卷筒纸804的切断机构830。切断机构830具备在前端安装有纸张刀具836的刀具支架834、和贯通刀具支架834向主扫描方向延伸配置的导轴832。在刀具支架834内安装有压电马达10c，压电马达10c的未图示的凸部被按压到导轴832。因此，若使压电马达10c动作则刀具支架834沿着导轴832在主扫描方向上移动，纸张刀具836切断卷筒纸804。另外，为了使打印介质2送纸也能够使用压电马达10c。另外，在该应用例中，引导导轨810、导轴832、印字部822与本发明中的“直动体”对应。
图27是例示出设置有本实施例的压电马达10的电子表900的内部构造的说明图。在图27中，示有从与电子表900的时刻显示侧相反的一侧(里盖侧)观察到的俯视图。在图27所例示的电子表900的内部，具备圆板形状的旋转圆板902、将旋转圆板902的旋转传递到显示时刻的指针(省略图示)的齿轮系904、用于驱动旋转圆板902的压电马达10、电力供给部906、水晶片908、以及IC910。另外，电力供给部906、水晶片908、IC910安装于未图示的电路基板。齿轮系904包含多个齿轮、未图示的棘轮而构成。另外，为了避免图示繁琐，在图27中，用细点划线表示连结齿轮的齿顶的线，用粗实线表示连结齿轮的齿根的线。因此，由粗实线以及细的点划线构成的二重的圆形表示齿轮。另外，表示齿顶的细的点划线不显示整个圆周上，而仅显示与其他的齿轮啮合的部分的周边。
在旋转圆板902同轴地设置有较小的齿轮902g，该齿轮902g与齿轮系904啮合。因此旋转圆板902的旋转以规定的比率减速并且通过齿轮系904传递。而且，该齿轮的旋转传递至表示时刻的指针来显示时刻。而且，若在将本实施例的压电马达10的凸部102被按压于旋转圆板902的侧面的状态下进行设置，则能够使旋转圆板902旋转。另外，在该应用例中，旋转圆板902与本发明中的“转动体”对应。
图28是例示出设置有本实施例的压电马达10的投影装置950的说明图。如图示那样投影装置950具备包含光学透镜的投影部952，通过投影来自内置的光源(省略图示)的光来显示图像。而且，也可以使用本实施例的压电马达10来驱动用于对准投影部952所包含的光学透镜的焦点的调整机构954(调整部)。若使用本实施例的压电马达10，则能够进行敏锐的焦点对准。另外，在未投影来自光源的光期间，利用镜头盖956覆盖投影部952的光学透镜，从而能够防止给光学透镜带来损伤。为了用于开闭该镜头盖956，也能够使用本实施例的压电马达10。另外，在该应用例中，调整机构954、镜头盖956与本发明中的“直动体”对应。
以上，对本实施例的压电马达10进行了说明，但本发明并不限于上述的实施例、变形例、应用例，能够在不脱离其主旨的范围内以各种方式来实施。
符号说明
10…压电马达；100…振动体；102…凸部；104a…电极；104b…电极；104c…电极；104d…电极；104e…电极；104g…电极；110…驱动信号供给部；112…驱动波形产生器；114…脉冲调制器；116a…相位变更器；116b…相位变更器；116d…相位变更器；118a…脉冲放大器；118b…脉冲放大器；118c…脉冲放大器；118d…脉冲放大器；119a…第一低通滤波器电路；119b…第二低通滤波器电路；119d…第三低通滤波器电路；120…控制部；400…机器人手；401…工具；402…基台；403…指部；404…手腕；410…臂；412…连杆部；420…关节部；450…机器人；460…机器人；462…头部；463…照相机；464…主体部；466…控制部；468…脚轮；500…手指辅助装置；502…安装部；510…驱动单元；511…第一部件；511b…凸起；12…第二部件；513…转子；514…第一平齿轮；515…第二平齿轮；516…连结螺钉；520…指尖单元；600…电子部件检查装置；610…基台；612d…下游侧工作台；612u…上游侧工作台；614…拍摄装置；616…检查台；618…控制装置；630…支承台；634…臂部；638…拍摄照相机；650…把持装置；652…把持部；654…旋转轴；656…微调板；700…送液泵；702…外壳；704…转子；706…管；708…滚珠；800…打印装置；801…排纸托盘；802…排出口；803…纸张支架；804…卷筒纸；805…操作按钮；810…引导导轨；820…打印头；822…印字部；824…扫描部；830…切断机构；832…导轴；834…刀具支架；836…纸张刀具；900…电子表；902…旋转圆板；902g…齿轮；904…齿轮系；906…电力供给部；908…水晶片；910…IC；950…投影装置；952…投影部；954…调整机构；956…镜头盖。

Claims (12)

1.一种压电马达，其特征在于，具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于所述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，它们配置于与配置有所述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向所述共用电极供给共用驱动信号，向所述第一电极供给第一驱动信号，向所述第二电极供给第二驱动信号，
其中，所述驱动信号供给部能够将所述第一驱动信号以相对于所述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将所述第二驱动信号以相对于所述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，
所述第一电极以及所述第二电极配置于与配置有所述共用电极的面相反侧的面。
3.根据权利要求1或者2所述的压电马达，其特征在于，
所述第一驱动信号的波形以及所述第二驱动信号的波形与所述共用驱动信号的波形相同。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
所述驱动信号供给部能够以相同的相位供给所述共用驱动信号、所述第一驱动信号、以及所述第二驱动信号。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
所述第一电极与第一低通滤波器电路连接，
所述第二电极与第二低通滤波器电路连接。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
所述驱动信号供给部能够供给与所述共用驱动信号相位不同，但相互为相同的相位的所述第一驱动信号以及所述第二驱动信号。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
所述驱动信号供给部能够变更所述第一驱动信号相对于所述共用驱动信号的相位，且能够变更所述第二驱动信号相对于所述共用驱动信号的相位。
8.根据权利要求1～7中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
在与配置有所述共用电极的面不同的面设置有第三电极，
所述驱动信号供给部能够向所述第三电极供给相对于所述共用驱动信号相位不同的第三驱动信号。
9.根据权利要求1～8中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
被驱动体是转动体。
10.根据权利要求1～9中任意一项所述的压电马达，其特征在于，
被驱动体是直动体。
11.一种机器人，其特征在于，具备：
臂部，其设置有能够转动的关节部；
手部，其设置于所述臂部；以及
主体部，其设置有所述臂部，
该机器人具有压电马达，该压电马达设置于所述关节部使所述关节部弯曲或者旋转驱动，
所述压电马达具备：
振动体，其包含压电材料；
共用电极，其配置于所述振动体的一方的面；
第一电极以及第二电极，它们配置于与配置有所述共用电极的面不同的面；以及
驱动信号供给部，其向所述共用电极供给共用驱动信号，向所述第一电极供给第一驱动信号，向所述第二电极供给第二驱动信号，
所述驱动信号供给部能够将所述第一驱动信号以相对于所述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将所述第二驱动信号以相对于所述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
12.一种压电马达，其特征在于，
具备振动体，该振动体设置有共用电极、第一电极以及第二电极，而弯曲振动，
所述压电马达能够向所述第一电极供给与所述共用电极不同的相位的驱动信号，能够向所述第二电极供给与所述共用电极不同的相位的驱动信号。
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