CN103490663A - 移动机构、电子部件输送装置、电子部件检查装置 - Google Patents

移动机构、电子部件输送装置、电子部件检查装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供移动机构、电子部件输送装置、电子部件检查装置。移动机构具备：支承体；移动体，配置为能够相面对于支承体沿规定的移动方向移动；第一槽，设置于支承体并形成为与移动方向平行；第二槽，设置于移动体，形成为与移动方向平行，并形成于与第一槽对置的位置；以及振动体，其配置于支承体并被施力而能够对移动体进行按压、或者配置于移动体并被施力而能够对支承体进行按压，第一槽和第二槽对置的方向与支承体和移动体对置的方向相交叉，振动体所被施力的施力方向与第一槽和第二槽对置的方向以及支承体和移动体对置的方向相交叉。由此，能够抑制移动体相面对于支承体的晃动。

Description

移动机构、电子部件输送装置、电子部件检查装置
技术领域
本发明涉及移动机构、机器人手、电子部件输送装置、电子部件检查装置、供液泵、打印装置、投影装置、输送装置。
背景技术
公知有多种搭载了使工作台等移动体支承体沿规定方向移动的移动机构的机器。例如，在专利文献1的机器人中，在与移动方向平行地设置的轨道和从两侧夹着轨道供轨道嵌合的轨道座之间插入有多个滚动体(滚珠)，从而形成两列与移动方向平行的滚珠引导件。这样在利用两列滚珠引导件支承移动体的移动机构中，通过滚珠滚动，能够使移动体顺畅地移动。
另外，近年来，作为移动机构的驱动部，公知有采用了压电马达的驱动部(例如，专利文献2)。对于压电马达而言，若对含有压电材料的振动体施加电压，则振动体产生伸缩方向的振动和弯曲方向的振动。因此，若成为振动体的伸缩方向的端部被朝移动体施力的状态，则能够通过弯曲方向的振动来摩擦驱动移动体。
专利文献1：日本实开平5-16172号公报
专利文献2：日本特开平11-271480号公报
但是，若如专利文献1那样在利用两列滚珠引导件支承移动体的移动机构中采用专利文献2的结构，成为振动体被朝移动体施力的状态，则存在在移动体产生晃动的问题。
发明内容
本发明是为了解决现有技术所具有的上述的课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供一种能够抑制使用振动体驱动的移动体的晃动的移动机构。
为了解决上述的课题的至少一部分，本发明的第一移动机构采用如下结构。即，本发明的第一移动机构的特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
此处，所谓“移动面倾斜的方向”不包含与移动面平行的方向以及与移动面垂直的方向。
在上述的本发明的第一移动机构中，若将振动体支承于支承体侧，则移动体承受振动体的作用力，若将振动体支承于移动体侧，则移动体承受与振动体的施力方向相反的方向的反作用力。另外，由于振动体的施力方向移动面倾斜，所以在移动体所承受的作用力或者反作用力中包含有与移动面平行的分量和与移动面垂直的分量。移动体承受与移动面平行的力，从而在两列移动轴中的一列移动轴中，第一槽与第二槽的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，且滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一列移动轴中，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是移动体承受与移动面垂直的力，从而产生以一列移动轴为旋转轴使移动体旋转的力矩，因此滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制移动体的晃动。
另外，本发明的第一移动机构也能够通过以下的方式充分理解。即，作为其他实施方式的本发明的第一移动机构的特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述圆环状的移动轴的移动面倾斜。
在上述的移动机构中，移动体承受与移动面平行的力，从而在圆环状的移动轴的中心对称的两个位置中的一个位置，第一槽与第二槽的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一个位置，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是移动体承受与移动面垂直的力，从而产生以一个位置为轴使移动体旋转的力矩，从而滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制移动体的晃动。
另外，为了解决上述的课题的至少一部分，本发明的第二移动机构采用如下的结构。即，本发明的第二移动机构的特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的第二移动机构中，若将振动体支承于支承体侧，则移动体承受振动体的作用力，若将振动体支承于移动体侧，则移动体承受与振动体的施力方向相反的方向的反作用力。且通过与移动面平行地对振动体施力，在两列移动轴中的一列移动轴中，第一槽与第二槽之间的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一列移动轴中，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是移动体在与移动面分离的位置承受与移动面平行的力，从而产生以一列移动轴为旋转轴使移动体旋转的力矩，因此滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制移动体的晃动。
另外，本发明的第二移动机构也能够通过如下的方式充分理解。即，作为其他方式的本发明的第二移动机构的特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体旋转移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体在与包含上述圆环状的移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体的任一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的移动机构中，通过与移动面平行地对振动体施力，在圆环状的移动轴的中心对称的两个位置中的一个位置，第一槽与第二槽之间的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一个位置，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是移动体在从移动面分离的位置承受与移动面平行的力，从而产生以一个位置为轴使移动体旋转的力矩，滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制移动体的晃动。
另外，在上述的本发明的移动机构中，也可以将形成为大致长方体形状的受压体以振动体所被施力的面与施力方向垂直的姿势埋入支承体或者移动体中的任意一方的振动体所被施力的部分。
这样一来，即使振动体被支承体或者移动体倾斜地施力，也不会因作用力而使受压体退避(受压体的位置朝与移动面平行的方向偏移)，从而能够将振动体的驱动力适当地传递至受压体而使移动体支承体高精度地移动。
另外，在上述的本发明的移动机构中，也可以利用硬度高于支承体或者移动体中的埋入有受压体一侧的材料形成受压体。
这样一来，能够抑制因在振动体与受压体之间作用的摩擦力而导致受压体磨损。其结果，即使长时间使用也能够抑制移动体的移动精度降低。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为机器人手充分理解，其特征在于，具备：
多个指部；
基体，上述指部以能够移动的方式立设于该基体；以及
移动机构，其使上述指部上述基体移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的机器人手中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高利用指部把持对象物的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够通过机器人手充分理解，其特征在于，具备：
多个指部；
基体，上述指部以能够移动的方式立设于该基体；以及
移动机构，其使上述指部上述基体移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的机器人手中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高利用指部把持对象物的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件输送装置充分理解，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；以及
移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的电子部件输送装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高输送电子部件的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件输送装置充分理解，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；以及
移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的电子部件输送装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高输送电子部件的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件检查装置充分理解，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；
移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动；以及
检查部，其对上述电子部件进行检查，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的电子部件检查装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高检查电子部件的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件检查装置充分理解，其特征在于，具备：
把持部，其把持电子部件；
移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动；以及
检查部，其对上述电子部件进行检查，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在于上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的电子部件检查装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高检查电子部件的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为供液泵充分理解，其特征在于，具备：
管，其能够供液体流动；
闭塞部，其与上述管抵接而对上述管进行闭塞；以及
移动机构，其使上述闭塞部移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的供液泵中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高对管内的液体进行输液的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为供液泵充分理解，其特征在于，具备：
管，其能够供液体流动；
闭塞部，其与上述管抵接而对上述管进行闭塞；以及
移动机构，其使上述闭塞部移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的供液泵中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高对管内的液体进行输液的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为打印装置充分理解，其特征在于，具备：
打印头，其向介质打印图像；以及
移动机构，其使上述打印头移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的打印装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高打印图像的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为打印装置充分理解，其特征在于，具备：
打印头，其向介质打印图像；以及
移动机构，其使上述打印头移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的打印装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高打印图像的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为投影装置充分理解，其特征在于，具备：
光源，其产生光；
投影部，其包含光学透镜，并投影上述光；以及
移动机构，其使上述光学透镜移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的投影装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高对基于光学透镜的光的投影状态进行调整的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为投影装置充分理解，其特征在于，具备：
光源，其产生光；
投影部，其包含光学透镜，并投影上述光；以及
移动机构，其使上述光学透镜移动，
上述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的投影装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高对基于光学透镜光的投影状态进行调整的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为输送装置充分理解，其特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承输送装置；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述两列移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的输送装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高输送对象物的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为输送装置充分理解，其特征在于，具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承输送装置；
移动体，其上述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在上述支承体侧设置有一对，并形成为与上述移动方向平行；
第二槽，其在上述移动体侧设置有一对，并形成为与上述第一槽相面对；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体，并与上述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述移动轴在与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
上述第一槽和上述第二槽相面对的方向，与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，且上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和另一方相反，
上述振动体在与包含上述两列移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的输送装置中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高输送对象物的精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为机器人充分理解，其特征在于，具备：
臂部，其设置有能够转动的关节部；
手部，其设置于上述臂部；
主体部，其设置有上述臂部；以及
转动机构，其设置于上述关节部，并使上述关节部转动，
上述转动机构具备：
支承体，其设于规定的位置，并支承上述转动机构；
移动体，其上述支承体旋转移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述圆环状的移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的机器人中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高机器人的动作精度。其中，能够将手部设为例如进行把持对象物的动作、进行螺纹紧固等的螺纹紧固动作、涂装动作、焊接动作等的手部。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为机器人充分理解，其特征在于，具备：
臂部，其设置有能够转动的关节部；
手部，其设置于上述臂部；
主体部，其设置有上述臂部；以及
转动机构，其设置于上述关节部，并使上述关节部转动，
上述转动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述转动机构；
移动体，其上述支承体旋转移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体在与包含上述圆环状的移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的机器人中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高机器人的动作精度。其中，能够将手部设为例如进行把持对象物的动作、进行螺纹紧固等的螺纹紧固动作、涂装动作、焊接动作等的手部。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子表充分理解，其特征在于，具备：
旋转圆板，其同轴地设置有齿轮，并能够转动；
齿轮系，其构成为包含多个齿轮；
指针，其与上述齿轮系连接，并指示时刻；以及
转动机构，其使上述旋转圆板转动，
上述转动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述转动机构；
移动体，其上述支承体旋转移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体所被施力的施力方向包含上述圆环状的移动轴的移动面倾斜。
在上述的本发明的电子表中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高电子表的动作精度。
另外，本发明也能够通过如下的方式充分理解。即，也能够作为电子表充分理解，其特征在于，具备：
旋转圆板，其同轴地设置有齿轮，并能够转动；
齿轮系，其构成为包含多个齿轮；
指针，其与上述齿轮系连接，并指示时刻；以及
转动机构，其使上述旋转圆板转动，
上述转动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承上述转动机构；
移动体，其上述支承体旋转移动；
第一槽，其设置于上述支承体侧，并形成为圆环状；
第二槽，其设置于上述移动体侧，并以与上述第一槽相面对的方式形成为圆环状；
多个滚动体，上述多个滚动体设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述移动体的移动而滚动；
圆环状的移动轴，其包含在上述第一槽与上述第二槽之间滚动的上述滚动体；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
上述第一槽以及上述第二槽的另一方的圆环位于一方的圆环的内侧，并且上述第一槽和上述第二槽相面对的方向与上述支承体和上述移动体相面对的方向相交叉，
上述振动体在与包含上述圆环状的移动轴的移动面分离的位置被朝上述支承体或者上述移动体中的任意一方施力，
上述振动体所被施力的施力方向与上述移动面平行且与上述移动方向相交叉。
在上述的本发明的电子表中，因为能够抑制移动体的晃动，所以能够提高电子表的动作精度。
附图说明
图1是示出本实施例的移动机构的结构的立体图。
图2是示出压电马达的内部构造的剖视图。
图3是示出压电马达的动作原理的说明图。
图4是以与移动方向垂直的平面进行剖切而得到的本实施例的移动机构的剖视图。
图5是示意性地示出利用本实施例的移动机构抑制工作台的晃动的说明图。
图6是示出第一变形例的移动机构的结构的剖视图。
图7是示出第二变形例的移动机构的结构的剖视图。
图8是示出第三变形例的移动机构的结构的剖视图。
图9是示出第四变形例的移动机构的结构的剖视图。
图10是示出第五变形例的移动机构的结构的说明图。
图11是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构的机器人手的说明图。
图12是例示了具备机器人手的单臂机器人的说明图。
图13是例示了具备机器人手的多臂机器人的说明图。
图14是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构而构成的电子部件检查装置的立体图。
图15是对内置于把持装置的微调机构进行说明的说明图。
图16是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构的供液泵的说明图。
图17是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构的打印装置的立体图。
图18是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构的电子表的说明图。
图19是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构的投影装置的立体图。
图20是示出设置两组导轨以及轨道座的例子的说明图。
具体实施方式
图1是示出本实施例的移动机构10的结构的立体图。图1(a)示出了本实施例的移动机构10的整体图，图1(b)示出了分解图。如图1(a)所示的那样，本实施例的移动机构10由支承体20、相面对于支承体20沿规定的移动方向移动的工作台30、驱动工作台30的压电马达100等构成。在本实施例中，在支承体20的上方设置有工作台30，在工作台30侧安装有压电马达100。另外，图中的粗线箭头表示工作台30的移动方向，工作台30能够从图中的近前侧朝向里侧，或者是从里侧朝向近前侧移动。另外，本实施例的工作台30相当于本发明的“移动体”。
如图1(b)所示，工作台30为大致矩形的平板形状，并从其下表面(与支承体20相面对的面)垂设有导轨40。导轨40设置为与移动方向平行，并在该导轨40的两侧面形成有截面为V字型的内槽42。另外，本实施例的内槽42相当于本发明的“第二槽”。
支承体20形成为大致矩形的平板形状，并在其上表面(与工作台30相面对的面)立设有一对轨道座46，该对轨道座46从两侧夹着导轨40。在轨道座46的内壁面形成有与导轨40的内槽42相面对的截面为V字型的外槽48。另外，在支承体20的上表面与轨道座46平行地埋入有大致长方体形状的受压体50。另外，本实施例的外槽48相当于本发明的“第一槽”。
在导轨40的内槽42与轨道座46的外槽48之间插入有多个滚珠44。这些多个滚珠44在支承体20与工作台30之间形成两列滚珠引导件，滚珠44沿内槽42以及外槽48滚动，从而工作台30相面对于支承体20顺畅地移动。另外，本实施例的滚珠44相当于本发明的“滚动体”。
在压电马达100内置有包含压电材料而形成的振动体110。振动体110形成为立方体形状，并在长边方向的端面设置有圆柱形状的凸部112。
图2是示出压电马达100的内部构造的剖视图。如图所示，振动体110以使凸部112突出的状态保持于振动体壳体102内，该振动体壳体102以能够朝向凸部112突出的方向(X方向)移动的方式收纳于收纳壳体104。在振动体壳体102的侧面(朝向与X方向正交的方向(Y方向)的面)的一侧与收纳壳体104之间设置有向Y方向对振动体壳体102进行施力的侧压弹簧106。另外，在振动体壳体102的侧面的另一侧(与设置有侧压弹簧106的一侧相反的一侧)与收纳壳体104之间设置有沿X方向滚动的滚子108。因此，振动体壳体102能够一边被限制朝向Y方向的移动，一边沿X方向顺畅地移动。且在与设置有滚子108的一侧相同的一侧设置有施力弹簧120，该施力弹簧120将振动体壳体102朝X方向(设置有凸部112的一侧)施力。而且，如图1所示的那样，在将移动机构10组装起来的状态下，振动体110的凸部112被朝支承体20的受压体50施力，通过对压电马达100的振动体110施加电压，能够驱动工作台30。
图3是示出压电马达100的动作原理的说明图。如图3(a)所示的那样，在内置于压电马达100的振动体110的表面侧的侧面，以将其侧面纵横两分割(合计四分割)的方式形成有四个矩形形状的表面电极114a～114d。另外，在不需要区别四个表面电极114a～114d的情况下，有时仅将上述表面电极114a～114d称为表面电极114。另外，虽省略图示，但在振动体110的背面侧的侧面，以遍及该侧面的几乎整个面的方式形成有背面电极。在以恒定周期对振动体110的表面电极114施加电压时，振动体110的凸部112做椭圆运动，从而压电马达100进行动作。振动体110的凸部112做椭圆运动依据以下的理由。
首先，如公知的那样，包含压电材料的振动体110具有若施加正电压则伸长的性质。因此，如图3(a)所示，若反复进行在对四个表面电极114全部施加正电压后解除施加电压的操作，则振动体110反复进行沿长边方向伸缩的动作。将这样振动体110反复沿长边方向伸缩的动作称为“伸缩振动”。以下，将振动体110伸缩的方向(图中的±X方向)称为“伸缩方向”。另外，若使施加正电压的频率变化，则在成为某一特定的频率时伸缩量急剧增大，从而产生一种共振现象。通过伸缩振动产生共振的频率(共振频率)由振动体110的物性、振动体110的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)来决定。
另外，如图3(b)或者是图3(c)所示，将相互位于对角线的位置的两个表面电极114设为一组(表面电极114a以及表面电极114d为一组，或者是表面电极114b以及表面电极114c为一组)，并以恒定周期对其施加正电压。于是，振动体110的长边方向的前端部(设置有凸部112的部分)反复进行朝在附图上为左右方向摇头的动作。例如，如图3(b)所示的那样，若对表面电极114a以及表面电极114d这一组以恒定周期施加正电压，则振动体110的长边方向的前端部反复进行朝右方向移动的动作。另外，如图3(c)所示的那样，若对表面电极114b以及表面电极114c这一组以恒定周期施加正电压，则振动体110的长边方向的前端部反复进行朝左方向移动的动作。将这样的振动体110的动作称为“弯曲振动”。以下，将振动体110弯曲振动的方向(图中的±Y方向)称为“弯曲方向”。对于这样的弯曲振动而言，也存在由振动体110的物性与振动体110的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)决定的共振频率。因此，若对相互位于对角线的位置的两个表面电极114以上述的共振频率施加正电压，则振动体110朝弯曲方向大幅度地摇头而进行振动。
此处，图3(a)所示的伸缩振动的共振频率、图3(b)或者是图3(c)所示的弯曲振动的共振频率均由振动体110的物性、振动体110的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)决定。因此，若适当地选择振动体110的尺寸(宽度W、长度L、厚度T)，则能够使两个共振频率一致。而且，若对上述的振动体110以共振频率施加图3(b)或者是图3(c)所示的弯曲振动的形态的电压，则产生图3(b)或者是图3(c)所示的弯曲振动的同时，也因共振而引起图3(a)的伸缩振动。其结果，在以图3(b)所示的方式对表面电极114a以及表面电极114d这一组施加电压的情况下，振动体110的前端部(设置有凸部112的部分)进行如在附图上绕顺时针方向描绘椭圆的动作(椭圆运动)。另外，在以图3(c)所示的方式对表面电极114b以及表面电极114c这一组施加电压的情况下，振动体110的前端部进行如在附图上绕逆时针方向的椭圆运动。另外，在以上的说明中，说明了对振动体110施加正电压的情况。但是，如公知的那样，压电材料也因施加负电压而变形。因此，可以通过对振动体110施加负电压来产生弯曲振动(以及伸缩振动)，也可以通过施加使正电压与负电压交替的交变电压来产生弯曲振动(以及伸缩振动)。另外，在上述的说明中，对施加共振频率的电压进行了说明。但是，只要施加包含了共振频率的波形的电压就足够，例如也可以是脉冲状的电压。
压电马达100利用上述的椭圆运动来驱动工作台30。即，如图1所示的那样，压电马达100以使振动体110的短边方向(弯曲方向)与移动方向一致的方式固定于工作台30侧，并在将振动体110的凸部112朝支承体20的受压体50施力的状态下产生椭圆运动。于是，凸部112反复进行在振动体110伸长时以朝受压体50施力的状态朝向弯曲方向中的任意一方移动，并在振动体110收缩时以从与受压体50分离的状态返回至原来的位置的动作。其结果，工作台30通过在受压体50与凸部112之间作用的摩擦力而相面对于支承体20朝向弯曲方向(移动方向)的任意另一方移动。
如从以上说明的压电马达100的动作原理明确的那样，固定于工作台30侧的压电马达100需要预先成为将振动体110的凸部112朝支承体20侧(受压体50)施力的状态。因此，工作台30承受凸部112施力于受压体50的力(作用力)的反作用力，存在承受上述的反作用力而在工作台30产生晃动的情况。因此，在本实施例的移动机构10中，如以下那样通过对振动体110的凸部112进行施力，来抑制工作台30的晃动。
图4是示出以与移动方向垂直的平面进行剖切而得到的本实施例的移动机构10的剖视图。如上所述，在形成于工作台30侧的导轨40的内槽42与形成于支承体20侧的轨道座46的外槽48之间插入有多个滚珠44，通过这些多个滚珠44，在支承体20与工作台30之间形成有两列与移动方向平行的滚珠引导件。多个滚珠44沿着两列滚珠引导件滚动，从而工作台30相面对于支承体20顺畅地移动。以下，将包含两列滚珠引导件的平面称为“移动面”。另外，为了使滚珠44顺畅地滚动，在滚珠44与内槽42、外槽48之间设置有少许游隙(间隙)。
另外，安装于工作台30的侧面的压电马达100以使内置的振动体110的短边方向(弯曲方向)与移动方向一致，并且使上端侧(与设置有凸部112的一侧相反的一侧)向工作台30侧倾斜的方式进行固定。且振动体110被施力弹簧120朝长边方向(伸缩方向)施力，并成为将凸部112朝支承体20的受压体50施力的状态。因此，将振动体110的凸部112朝受压体50施力的方向(施力方向)与移动方向正交，且相面对于移动面以规定的角度(在图示的例子中为75度)倾斜。
另外，本实施例的受压体50形成为大致长方体形状，并以上表面(供振动体110的凸部112抵接的面)与施力方向正交的状态埋入支承体20。由此，受压体50的位置不会偏移，且能够在凸部112与受压体50之间高效地产生摩擦力。此外，在本实施例的移动机构10中，支承体20由塑料材料形成，与此相面对，受压体50由陶瓷材料、金属材料等的硬度高于塑料材料的材料形成。因此，能够抑制因在凸部112与受压体50之间作用的摩擦力而导致受压体50磨损。
此处，振动体110的凸部112被朝受压体50施力，从而工作台30承受与施力方向相反方向的反作用力。在该反作用力中包含有与移动面平行的图中左方向的分量和与移动面垂直的图中上方向的分量。而且，工作台30承受与移动面平行的反作用力，从而在两列滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件中，滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙(间隙)堵塞，成为由内槽42以及外槽48夹持滚珠44的状态。
另一方面，在距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中，虽然内槽42与外槽48之间的间隔宽广，但是工作台30承受与移动面垂直的反作用力，从而产生以图中左侧的游隙堵塞的滚珠引导件为轴使工作台30朝向上方旋转的力矩，成为由内槽42的下端侧与外槽48的上端侧夹持滚珠44的状态。
如以上那样，在本实施例的移动机构10中，通过将振动体110的凸部112相面对于移动面倾斜地施力，能够将两列滚珠引导件中的一方的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，并且以该一方的滚珠引导件为轴产生旋转力矩，从而即便在另一方的滚珠引导件中也能够由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
另外，在本实施例的移动机构10中，工作台30承受反作用力的位置为与成为旋转的轴的图中左侧的滚珠引导件(滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞的一侧的滚珠引导件)相比距图中右侧的滚珠引导件(内槽42与外槽48之间的间隔扩大的一侧的滚珠引导件)远的位置，从而产生较大的旋转力矩。因此，即使对工作台30施加重量等外力，工作台30也难以产生晃动。
图5是示意性地示出利用本实施例的移动机构10抑制工作台30的晃动的说明图。首先，使工作台30相面对于支承体20移动，并以在规定位置(距起点200μm的位置)将工作台30定位的方式对压电马达100进行控制。此时，在工作台30通过了规定位置的情况下，使工作台30朝相反方向移动，对到与规定位置之间的误差在规定范围(±3μm)内所需的移动时间进行测量。反复进行上述的工作台30的移动动作，在图5的图表中示出将移动时间和需要该移动时间的移动次数(频率)的关系。图中的实线表示由本实施例的移动机构10进行了移动动作的情况，图中的点划线作为比较例，表示由施力方向(将振动体110的凸部112朝受压体50施力的方向)与移动面垂直的移动机构10进行了移动动作的情况。在施力方向相面对于移动面倾斜的本实施例的移动机构10中，通过抑制工作台30的晃动，工作台30的定位所需的移动时间的差异(偏差)与比较例相比变小。
以下，对上述的本实施例的移动机构10的变形例进行说明。此外，在对变形例进行说明时，对与上述的实施例相同的构成部分标注与之前说明的实施例相同的附图标记，并省略对其详细的说明。
图6是示出第一变形例的移动机构10的结构的剖视图。在第一变形例的移动机构10中，从支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)立设有导轨40，并从工作台30的下表面(与支承体20相面对的面)垂设有从两侧夹着导轨40的一对轨道座46。而且，在形成于导轨40的两侧面的内槽42与形成于轨道座46的内壁面的外槽48之间插入有多个滚珠44，从而形成两列滚珠引导件。此外，第一变形例的内槽42相当于本发明的“第一槽”，第一变形例的外槽48相当于本发明的“第二槽”。
另外，安装于工作台30的侧面的压电马达100以使上端侧(与设置有凸部112一侧相反的一侧)朝与工作台30相反的一侧倾斜的方式进行固定，从而将振动体110的凸部112朝受压体50施力的方向(施力方向)相面对于包含两列滚珠引导件的移动面倾斜。此外，受压体50以上表面与施力方向正交的方式埋入支承体20。
工作台30承受与振动体110的凸部112的施力方向相反方向的反作用力，在该反作用力中包含有与移动面平行的图中右方向的分量和与移动面垂直的图中上方向的分量。而且，通过与移动面平行的反作用力，两列滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，并且通过与移动面垂直的反作用力，产生以图中左侧的滚珠引导件为轴使工作台30朝向上方旋转的力矩，从而即便在距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中也由内槽42的上端侧与外槽48的下端侧夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
另外，第一变形例的工作台30的上表面(与和支承体20相面对的面相反的一侧的面)以在工作台30通过旋转力矩旋转后的状态下与支承体20成为平行的方式，使工作台30的上表面相面对于工作台30的下表面倾斜其所旋转的量。由此，能够保持载置于工作台30的上表面的载置物的水平。
图7是示出第二变形例的移动机构10的结构的剖视图。在前述的实施例中，将压电马达100固定于工作台30侧，并将振动体110的凸部112朝支承体20侧施力，与此相面对，在第二变形例的移动机构10中，构成为将压电马达100固定于支承体20侧，并将振动体110的凸部112朝工作台30侧施力。
如图7所示，第二变形例的压电马达100安装于从支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)立设的支柱22，并将上端侧(与设置有凸部112的一侧相反的一侧)倾斜地固定于与工作台30相反的一侧。而且，内置于压电马达100的振动体110通过施力弹簧120的作用力，而将凸部112朝工作台30的上表面(与和支承体20相面对的面相反的一侧的面)施力，该施力的方向(施力方向)相面对于移动面倾斜。此外，在工作台30的上表面的凸部112所被施力的位置形成有与施力方向正交的受压面32。
这样，第二变形例的工作台30直接承受振动体110的凸部112的作用力。在该作用力中包含有与移动面平行的图中左方向的分量和与移动面垂直的图中下方向的分量。而且，通过与移动面平行的力，两列滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，通过与移动面垂直的力产生以图中左侧的滚珠引导件为轴使工作台30向下方旋转的力矩，即便在距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中，也由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
图8是示出第三变形例的移动机构10的结构的剖视图。在前述的实施例中，在支承体20的上方设置工作台30，与此相面对，在第三变形例的移动机构10中，构成为在支承体20的下方设置工作台30。
图8(a)中示出了使实施例的移动机构10(参照图4)的上下反转，并将工作台30吊挂于支承体20的状态。安装于工作台30的侧面的压电马达100以使下端侧(与设置有凸部112一侧相反的一侧)朝工作台30侧倾斜的方式进行固定，从而将振动体110的凸部112朝受压体50施力的方向(施力方向)相面对于包含两列滚珠引导件的移动面倾斜。工作台30承受与振动体110的凸部112的施力方向相反方向的反作用力，在该反作用力中包含有与移动面平行的图中左方向的分量和与移动面垂直的图中下方向的分量。而且，通过与移动面平行的力，两列滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，并且通过与移动面垂直的力产生以图中左侧的滚珠引导件为轴使工作台30朝向下方旋转的力矩，即便在距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中，也由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
另外，如图8(a)那样，在将工作台30吊挂于支承体20的结构中，因为将工作台30的负载附加于旋转力矩，并作用于由内槽42与外槽48强力夹持滚珠44的方向，所以在抑制工作台30的晃动的方面优选。
图8(b)示出了作为图8(a)的其他例，将压电马达100固定于支承体20侧，并将振动体110的凸部112朝工作台30侧施力的结构。安装于支承体20的侧面的压电马达100以使上端侧(与设置有凸部112的一侧相反的一侧)朝向与支承体20相反的一侧倾斜的方式进行固定，从而振动体110的凸部朝埋入工作台30的上表面(与支承体20相面对的面)的受压体50施力的方向(施力方向)相面对于移动面倾斜。工作台30承受振动体110的凸部112的作用力，在该作用力中包含有与移动面平行的图中左方向的分量和与移动面垂直的图中下方向的分量。而且，通过与移动面平行的力，两列滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，并且通过与移动面垂直的力产生以图中左侧的滚珠引导件为轴使工作台30向下方旋转的力矩，即便在距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中，也由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
图9是示出第四变形例的移动机构10的结构的剖视图。在前述的实施例中，将振动体110的凸部112相面对于移动面倾斜地施力，与此相面对，在第四变形例的移动机构10中，构成为将振动体110的凸部112与移动面平行地对该移动面施力。
图9(a)示出了将压电马达100固定于支承体20侧，并将振动体110的凸部112朝工作台30侧施力的结构。压电马达100安装于从支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)立设的支柱22，并以使振动体110的长边方向(伸缩方向)与移动面平行的方式进行固定。振动体110通过施力弹簧120的作用力而凸部112被朝工作台30的侧面施力，该施力的方向(施力方向)与移动面平行。
工作台30直接承受振动体110的凸部112的作用力，该作用力不包含与移动面垂直的分量，仅为与移动面平行的图中左方向的分量。工作台30承受与移动面平行的作用力，从而两列滚珠引导件中的、距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件中，滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞。另外，工作台30虽然不承受与移动面垂直的作用力，但是在与移动面分离的上方的位置承受与移动面平行的作用力，从而产生以图中右侧的滚珠引导件为轴使工作台30向下方旋转的力矩，从而即便在距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件中，也由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
图9(b)示出了作为图9(a)的其他例，在将工作台30吊挂于支承体20的状态下，将压电马达100固定于工作台30侧，并将振动体110的凸部112朝支承体20侧施力的结构。压电马达100安装于工作台30的下表面(与和支承体20相面对的面相反的一侧的面)。另外，从支承体20的下表面(与工作台30相面对的面)垂设有纵壁24，振动体110通过施力弹簧120的作用力而凸部112被朝纵壁24施力。工作台30在与移动面分离的下方的位置，承受与移动面平行的图中左方向的反作用力。由此，两列滚珠引导件中的、距压电马达100较近的一侧(图中右侧)的滚珠引导件的滚珠44与内槽42以及外槽48之间的游隙堵塞，并且产生以图中右侧的滚珠引导件为轴使工作台30向上方旋转的力矩，从而即便在距压电马达100较远的一侧(图中左侧)的滚珠引导件中，也由内槽42与外槽48夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
图10是示出第五变形例的移动机构10的结构的说明图。图10(a)利用立体图示出了外观形状，图10(b)利用剖视图示出了内部构造。在前述的实施例中，使工作台30相面对于支承体20直线移动(移动方向为直线方向)，与此相面对，在第五变形例的移动机构10中，构成为使工作台30相面对于支承体20旋转移动。
如图10(a)所示那样，第五变形例的工作台30形成为圆板形状，并设置于支承体20的上方。另外，压电马达100安装于从支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)立设的支柱22，内置于压电马达100的振动体110通过施力弹簧120的作用力而凸部112被朝工作台30的上表面(与和支承体20相面对的面相反的一侧的面)施力。
如图10(b)所示那样，从工作台30的下表面(与支承体20相面对的面)垂设有圆柱形状的导轴60，在导轴60的外周面形成有截面为V字型的内槽62(第二槽)。另一方面，在支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)立设有供导轴60插通的圆筒形状的轴承66，在轴承66的内周面形成有与导轴60的内槽62相面对的截面为V字型的外槽68(第一槽)。在导轴60的内槽62与轴承66的外槽68之间插入有多个滚珠44，这些多个滚珠44在支承体20与工作台30之间形成环状的滚珠引导件。滚珠44沿内槽62以及外槽68滚动，从而工作台30相面对于支承体20顺畅地旋转移动。
安装于支承体20侧的支柱22的压电马达100以使上端侧(与设定有凸部112一侧相反的一侧)朝与工作台30相反的一侧倾斜的方式进行固定，从而将振动体110的凸部112朝工作台30的上表面施力的方向(施力方向)相面对于包含环状的滚珠引导件的移动面倾斜。此外，在工作台30的上表面的凸部112所被施力的位置形成有与施力方向正交的受压面34。
工作台30直接承受振动体110的凸部112的作用力，在该作用力中包含有与移动面平行的图中右方向的分量和与移动面垂直的图中下方向的分量。在环状的滚珠引导件中的、距压电马达100较远的一侧(图中右侧)的部分中，通过与移动面平行的力，滚珠44与内槽62以及外槽68之间的游隙堵塞。另外，在环状的滚珠引导件中的距压电马达100较近的一侧(图中左侧)的部分中，虽然内槽62与外槽68之间的间隔宽广，但是通过与移动面垂直的力，产生以滚珠引导件的图中右侧的部分为轴使工作台30向下方旋转的力矩，由内槽62的上端侧与外槽68的下端侧夹持滚珠44。其结果，能够抑制工作台30的晃动。
上述的本实施例的移动机构10或者变形例的移动机构10，因为能够抑制工作台30的晃动并使工作台30高精度地移动，所以能够作为以下那样的装置的移动机构而适当地组入。
图11是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构10的机器人手200的说明图。图示的机器人手200从基体202立设有多个指部203，并经由手腕204与手臂210连接。此处，指部203的根部的部分在基体202内能够移动，并在该指部203的根部的部分以固定工作台30的状态搭载有直线式的移动机构10。因此，通过使移动机构10动作(使工作台30移动)，能够使指部203移动来把持对象物。另外，在手腕204的部分搭载有第五变形例的旋转式的移动机构。因此，通过使移动机构10动作，能够使基体202整体旋转。
图12是例示了具备机器人手200(手部)的单臂机器人250的说明图。如图所示，机器人250具有手臂210(臂部)，该手臂210(臂部)具备多个连杆部212(连杆部件)和以能够在上述连杆部212之间弯曲的状态连接的关节部220。另外，机器人手200与手臂210的前端连接。而且，在关节部220内置有第五变形例的旋转式的移动机构10。因此，通过使移动机构10动作，能够使各自的关节部220弯曲(转动)任意的角度。
图13是例示了具备机器人手200的多臂机器人260的说明图。如图所示，机器人260具有多个(在图示的例中为两个)手臂210，该手臂210具备多个连杆部212和以能够在上述连杆部212之间弯曲的状态连接的关节部220。在手臂210的前端连接有机器人手200、工具201(手部)。另外，在头部262搭载有多台照相机263，在主体部264的内部搭载有对整体的动作进行控制的控制部266。且能够通过设置于主体部264的底面的脚轮268进行输送。对于该机器人260而言，也在关节部220内置有第五变形例的旋转式的移动机构10。因此，通过使移动机构10动作，能够使各自的关节部220弯曲(转动)任意的角度。
图14是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构10而构成的电子部件检查装置300的立体图。图示的电子部件检查装置300大致具备基体310和立设于基体310的侧面的支承体330。在基体310的上表面设置有载置并输送检查对象的电子部件1的上游侧载台312u和载置并输送检查完毕的电子部件1的下游侧载台312d。另外，在上游侧载台312u与下游侧载台312d之间设置有用于确认电子部件1的姿势的摄像装置314和为了检查电气特性而供电子部件1放置的检查体316(检查部)。另外，作为电子部件1的代表性部件，能够例举有“半导体”、“半导体晶片”、“CLD、OLED(Organic Light-Emitting Diode：有机发光二极管)等显示元件”、“水晶元件”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems：微机电系统)元件”等。
另外，在支承体330以能够沿与基体310的上游侧载台312u以及下游侧载台312d平行的方向(Y方向)移动的方式设置有Y载台332，从Y载台332沿朝向基体310的方向(X方向)延伸配置有臂部334。另外，在臂部334的侧面以能够沿X方向移动的方式设置有X载台336。而且，在X载台336设置有摄像照相机338、和内置了能够沿上下方向(Z方向)移动的Z载台的把持装置350。另外，在把持装置350的前端设置有把持电子部件1的把持部352。且在基体310的前面侧也设置有对电子部件检查装置300的整体的动作进行控制的控制装置318。另外，在本实施例中，设置于支承体330的Y载台332、臂部334、X载台336、把持装置350与本发明的“电子部件输送装置”对应。
具有以上那样的结构的电子部件检查装置300以如下方式对电子部件1进行检查。首先，将作为检查对象的电子部件1载置于上游侧载台312u，并使上游侧载台312u移动至检查体316的附近。接下来，使Y载台332以及X载台336移动，使把持装置350移动至载置于上游侧载台312u的电子部件1的正上方的位置。此时，能够使用摄像照相机338确认电子部件1的位置。然后，若使用内置于把持装置350内的Z载台使把持装置350下降，并利用把持部352把持电子部件1，则使把持装置350保持原样地移动至拍摄装置314的上方，使用拍摄装置314确认电子部件1的姿势。接着，使用内置于把持装置350的微调机构调整电子部件1的姿势。然后，在使把持装置350移动至检查体316的上方后，使内置于把持装置350的Z载台移动从而将电子部件1放置在检查体316的上方。因为使用把持装置350内的微调机构来调整电子部件1的姿势，所以能够将电子部件1放置在检查体316的正确的位置。然后，若使用检查体316对电子部件1的电气特性的检查结束，则再次在这次从检查体316提起电子部件1后，使Y载台332以及X载台336移动，并使把持装置350移动至下游侧载台312d的上方，从而将电子部件1载置于下游侧载台312d。然后，使下游侧载台312d移动，将检查结束的电子部件1输送至规定位置。
图15是对内置于把持装置350的微调机构进行说明的说明图。如图所示，在把持装置350内设置有与把持部352连接的旋转轴354、供旋转轴354以能够旋转的方式进行安装的微调板356等。另外，微调板356能够一边由未图示的引导机构引导一边沿X方向以及Y方向移动。
此处，如图15中带斜线所示的那样，在旋转轴354搭载有第五变形例的旋转式的移动机构10θ。因此，通过使移动机构10θ动作，能够使旋转轴354(以及把持部352)朝θ方向高精度地旋转任意的角度。另外，在微调板356设置有X方向用的直线式的移动机构10x和Y方向用的直线式的移动机构10y，并将各自的工作台30固定于微调板356的表面。因此，通过使移动机构10x动作，能够使微调板356(以及把持部352)沿X方向高精度地移动任意的距离，同样地，通过使移动机构10y动作，能够使微调板356(以及把持部352)沿Y方向高精度地移动任意的距离。因此，图14的电子部件检查装置300通过使移动机构10θ、移动机构10x、移动机构10y动作，能够对利用把持部352把持的电子部件1的姿势进行微调。
图16是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构10而构成的供液泵400的说明图。图16(a)示出了俯视观察供液泵400的俯视图，图16(b)示出了侧视观察供液泵400的剖视图。如图所示，供液泵400在矩形形状的壳体402内以能够旋转的方式设置有圆板形状的转子404，在壳体402与转子404之间夹持有供药液等液体在内部流通的管406。另外，管406的一部分被设置于转子404的滚珠408(闭塞部)压扁而成为闭塞的状态。因此若转子404旋转，则因为滚珠408压扁管406的位置移动，所以输送管406的液体。而且，若在转子404以同轴固定工作台30的状态设置第五变形例的旋转式的移动机构10，则通过使移动机构10动作，能够使转子404旋转。这样一来，能够高精度地输送极少的量的液体。
图17是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构10的打印装置500的立体图。图示的打印装置500是向打印介质2的表面喷射墨水来打印图像的所谓的喷墨打印机。另外，打印装置500所打印的“图像”包含文字、图形、绘画、花样、照片映像等。打印装置500为大致箱形的外观形状，并在前表面的大致中央设置有排纸托盘501、排出口502、多个操作按钮505。另外，在背面侧设置有供给托盘503。若将打印介质2放置在供给托盘503并操作操作按钮505，则打印介质2被从供给托盘503吸入，在打印装置500的内部向打印介质2的表面打印图像后，被从排出口502排出。
在打印装置500的内部设置有在打印介质2上沿主扫描方向往复移动的打印头520、和对打印头520朝主扫描方向的移动进行引导的导轨510。另外，图示的打印头520由向打印介质2上喷射墨水的印字部522、用于使打印头520沿主扫描方向扫描的扫描部524等构成。在印字部522的底面侧(朝向打印介质2的一侧)设置有多个喷射喷嘴，从而能够从喷射喷嘴向打印介质2喷射墨水。另外，在扫描部524搭载有直线式的移动机构10m、10s。因此，通过使移动机构10m动作，能够使打印头520沿主扫描方向移动。另外，通过使移动机构10s动作，能够使印字部522的底面侧靠近打印介质2或者远离打印介质2。另外，在打印装置500也搭载有用于切断卷纸504的切断机构530。切断机构530具备在前端搭载了用纸刀具536的刀具支架534，和贯通刀具支架534并沿主扫描方向延伸配置的导轴532。在刀具支架534内搭载有直线式的移动机构10c，若使移动机构10c动作则刀具支架534沿导轴532在主扫描方向上移动，从而用纸刀具536切断卷纸504。另外，为了输送打印介质2，也能够使用移动机构10。
图18是例示了组入本实施例的移动机构10的电子表600的内部构造的说明图。图18示出了从电子表600的与时刻显示侧相反的一侧(里盖侧)观察电子表600的俯视图。在图18例示的电子表600的内部具备：圆板形状的旋转圆板602；将旋转圆板602的旋转传递至显示时刻的指针(省略图示)的齿轮系604；使旋转圆板602旋转移动的移动机构10；电力供给部606；水晶芯片608；以及IC(集成电路)610。另外，电力供给部606、水晶芯片608、IC610搭载于未图示的电路基板。齿轮系604由多个包含未图示的棘爪的齿轮构成，并排列为使邻接的齿轮彼此的齿啮合，从而依次传递旋转。另外，为了避免图示变得繁琐，在图18中，利用细点划线示出连结齿轮的齿顶的线，利用粗实线示出连结齿轮的齿根的线。因此，粗实线以及细点划线的双重的圆形表示齿轮。另外，表示齿顶的细点划线部未显示整周，而仅显示与其他的齿轮啮合的部分的周边。
在旋转圆板602同轴地设置有较小的齿轮602g，该齿轮602g与齿轮系604啮合。因此旋转圆板602的旋转以规定的比率被减速并且传递至齿轮系604。而且，该齿轮的旋转传递至显示时刻的指针而显示时刻。而且，若在旋转圆板602以同轴固定工作台30的状态设置第五变形例的旋转式的移动机构10，则通过使移动机构10动作，能够使旋转圆板602旋转。
图19是例示了组入本实施例或者是变形例的移动机构10的投影装置700的说明图。如图所示，投影装置700具备包含光学透镜的投影部702，通过投影来自内置的光源(省略图示)的光来显示图像。而且，也可以在用于使投影部702所包含的光学透镜的焦点一致的调整机构704使用本实施例或者是变形例的移动机构10。因为移动机构10的定位的分辨率高，所以能够使光学透镜移动来进行微细的对焦。另外，在不投影来自光源的光的期间，通过利用透镜罩706覆盖投影部702的光学透镜，能够防止损伤光学透镜。为了对该透镜罩706进行开闭也能够使用本实施例或者是变形例的移动机构10。
以上，虽对本发明的移动机构、搭载了移动机构的各种装置进行了说明，但是本发明并不限定于上述的实施例、变形例、应用例，在不脱离其主旨的范围内能够以各种的方式进行实施。
例如，在前述的实施例中，内槽42以及外槽48的剖面形状形成为V字型。但是，内槽42以及外槽48的剖面形状并不限定于此，只要是以能够滚动的方式夹持有滚珠44等滚动体的形状即可。例如，也可以为半圆形状。在使用相同大小的滚珠44的情况下，若是半圆形状的槽，则与V字型的槽相比槽的深度可以很浅，因此能够抑制形成槽的加工成本，另外，即便在形成的槽的深度有制约的情况下(例如，在难以确保导轨40的厚度的情况下)，也能够形成承接滚珠44的槽。
另外，在前述的实施例中，在内槽42外槽48之间插入有多个滚珠44作为滚动体。但是，只要是能够在内槽42与外槽48之间滚动而使工作台30顺畅地移动的滚动体即可，并不限定于滚珠44。例如，也可以为沿内槽42以及外槽48使圆筒形的滚子交替地正交排列的相交叉辊。相交叉辊的滚子与槽线接触，从而与使用滚珠44(与槽点接触)的情况相比，能够承受高负载，因此若使用相交叉辊，则能够提高移动机构10的刚性。
另外，在前述的实施例以及变形例中，支承体20与工作台30的配置关系成为上下方向(铅垂方向)，但是并不限定于此，例如，也可以是左右方向(水平方向)。这样，通过改变支承体20与工作台30的配置关系，移动机构10的布局的自由度增加，因此即便在移动机构10的配置空间有制约的情况下、组合多个移动机构10的情况下也容易应对。
另外，在前述的实施例中，在支承体20与工作台30之间设置有一组导轨40以及轨道座46，如图20所示那样，也可以设置两组以上的导轨40以及轨道座46。在图20所示的例中，在工作台30的下表面(与支承体20相面对的面)与移动方向平行地设置有两个导轨40，输送两个导轨40以在与移动方向正交的方向上分离的方式进行配置。另外，在支承体20的上表面(与工作台30相面对的面)与移动方向平行地设置有两个轨道座46，上述两个轨道座46与工作台30侧的两个引导轨道40对应。通过如上设置多组导轨40以及轨道座46，能够减少施加于各组的负载，并且能够提高移动机构10的刚性。
附图标记说明：
1...电子部件；2...打印介质；10...移动机构；20...支承体；22...支柱；24...纵壁；30...工作台；32...受压面；34...受压面；40...导轨；42...内槽；44...滚珠；46...轨道座；48...外槽；50...受压体；60...导轴；62...内槽；66...轴承；68...外槽；100...压电马达；110...振动体；112...凸部；114...表面电极；120...施力弹簧；200...机器人手；201...工具；202...基体；203...指部；204...手腕；210...手臂；212...连杆部；220...关节部；250...机器人；260...机器人；262...头部；263...照相机；264...主体部；266...控制部；268...脚轮；300...电子部件检查装置；310...基体；312d...下游侧载台；312u...上游侧载台；314...摄像装置；316...检查体；318...控制装置；330...支承体；334...臂部；338...摄像照相机；350...把持装置；352...把持部；354...旋转轴；356...微调板；400...供液泵；402...壳体；404...转子；406...管；408...滚珠；500...打印装置；501...排纸托盘；502...排出口；503...供给托盘；505...操作按钮；510...导轨；520...打印头；522...印字部；524...扫描部；600...电子表；602...旋转圆板；602g...齿轮；604...齿轮系；606...电池；608...水晶芯片；610...IC；700...投影装置；702...投影部；704...调整机构；706...透镜罩。

Claims (26)

1.一种移动机构，其特征在于，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
2.一种移动机构，其特征在于，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
3.根据权利要求1或2所述的移动机构，其特征在于，
在所述支承体或者所述移动体中的任意一方的所述振动体所被施力的部分，以供所述振动体抵接的面与所述施力方向垂直的姿势埋入有形成为大致长方体形状的受压体。
4.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于，
所述受压体由硬度高于所述支承体或者所述移动体中的埋入有所述受压体一侧的材料形成。
5.一种机器人手，其特征在于，
所述机器人手具备：
多个指部；
基体，所述指部以能够移动的方式立设于该基体；以及
移动机构，其使所述指部所述基体移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
6.一种机器人手，其特征在于，
所述机器人手具备：
多个指部；
基体，所述指部以能够移动的方式立设于该基体；以及
移动机构，其使所述指部所述基体移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
7.一种电子部件输送装置，其特征在于，
所述电子部件输送装置具备：
把持部，其把持电子部件；以及
移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
8.一种电子部件输送装置，其特征在于，
所述电子部件输送装置具备：
把持部，其把持电子部件；以及
移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
9.一种电子部件检查装置，其特征在于，
所述电子部件检查装置具备：
把持部，其把持电子部件；
移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动；以及
检查部，其对所述电子部件进行检查，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
10.一种电子部件检查装置，其特征在于，
所述电子部件检查装置具备：
把持部，其把持电子部件；
移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动；以及
检查部，其对所述电子部件进行检查，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在于所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
11.一种供液泵，其特征在于，
所述供液泵具备：
管，其能够供液体流动；
闭塞部，其与所述管抵接而对所述管进行闭塞；以及
移动机构，其使所述闭塞部移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
12.一种供液泵，其特征在于，
所述供液泵具备：
管，其能够供液体流动；
闭塞部，其与所述管抵接而对所述管进行闭塞；以及
移动机构，其使所述闭塞部移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
13.一种打印装置，其特征在于，
所述打印装置具备：
打印头，其向介质打印图像；以及
移动机构，其使所述打印头移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
14.一种打印装置，其特征在于，
所述打印装置具备：
打印头，其向介质打印图像；以及
移动机构，其使所述打印头移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
15.一种投影装置，其特征在于，
所述投影装置具备：
光源，其产生光；
投影部，其包含光学透镜，并投影所述光；以及
移动机构，其使所述光学透镜移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
16.一种投影装置，其特征在于，
所述投影装置具备：
光源，其产生光；
投影部，其包含光学透镜，并投影所述光；以及
移动机构，其使所述光学透镜移动，
所述移动机构具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
17.一种输送装置，其特征在于，
所述输送装置具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承输送装置；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体所被施力的施力方向包含所述两列移动轴的移动面倾斜。
18.一种输送装置，其特征在于，
所述输送装置具备：
支承体，其设置于规定的位置，并支承输送装置；
移动体，其所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其在所述支承体侧设置有一对，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其在所述移动体侧设置有一对，并形成为与所述第一槽相面对；
多个滚动体，所述多个滚动体设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述移动体的移动而滚动；
移动轴，其包含在所述第一槽与所述第二槽之间滚动的所述滚动体，并与所述移动方向平行；以及
振动体，其包含压电材料而能够产生振动，在向所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力的状态下，被任意另一方支承，
所述移动轴在与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉的方向上以分离的方式设置有两列，
所述第一槽和所述第二槽相面对的方向，与所述支承体和所述移动体相面对的方向相交叉，且所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和另一方相反，
所述振动体在与包含所述两列移动轴的移动面分离的位置被朝所述支承体或者所述移动体中的任意一方施力，
所述振动体所被施力的施力方向与所述移动面平行且与所述移动方向相交叉。
19.一种移动机构，其特征在于，
所述移动机构具备：
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉，
所述振动体所被施力的施力方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉。
20.一种移动机构，其特征在于，
所述移动机构具备：
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述振动体所被施力的施力方向与包含所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向的面平行，
所述振动体的对所述支承体或者所述移动体进行所述按压的部分与所述面分离。
21.一种机器人手，其特征在于，
所述机器人手具备：
指部；
基体，所述指部以能够移动的方式立设于该基体，
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述基体，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动，
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉，
所述振动体所被施力的施力方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉。
22.一种机器人手，其特征在于，
所述机器人手具备：
指部；
基体，所述指部以能够移动的方式立设于该基体；
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述基体，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述振动体所被施力的施力方向与包含所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向的面平行，
所述振动体的对所述支承体或者所述移动体进行所述按压的部分与所述面分离。
23.一种电子部件输送装置，其特征在于，
所述电子部件输送装置具备：
把持部，其把持电子部件；
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述把持部，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉，
所述振动体所被施力的施力方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉。
24.一种电子部件输送装置，其特征在于，
所述电子部件输送装置具备：
把持部，其把持电子部件；
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述把持部，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述振动体所被施力的施力方向与包含所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向的面平行，
所述振动体的对所述支承体或者所述移动体进行所述按压的部分与所述面分离。
25.一种电子部件检查装置，其特征在于，
所述电子部件检查装置具备：
把持部，其把持电子部件；
检查部，其对所述电子部件进行检查；
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述把持部，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于在与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉，
所述振动体所被施力的施力方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向相交叉。
26.一种电子部件检查装置，其特征在于，
所述电子部件检查装置具备：
把持部，其把持电子部件；
检查部，其对所述电子部件进行检查；
支承体，其支承能够移动的机构；
移动体，其具备所述把持部，并配置为能够所述支承体沿规定的移动方向移动；
第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述移动方向平行；
第二槽，其设置于所述移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；以及
振动体，其配置于所述支承体并被施力而能够对所述移动体进行按压，或者配置于所述移动体并被施力而能够对所述支承体进行按压，
所述振动体所被施力的施力方向与包含所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向的面平行，
所述振动体的对所述支承体或者所述移动体进行所述按压的部分与所述面分离。
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