KR20130139185A

KR20130139185A - 이동 기구, 로봇 핸드, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치, 송액 펌프, 인쇄 장치, 투영 장치, 반송 장치

Info

Publication number: KR20130139185A
Application number: KR20130066446A
Authority: KR
Inventors: 오사무 미야자와
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2012-06-12
Filing date: 2013-06-11
Publication date: 2013-12-20
Also published as: CN103490663B; EP2674263A3; CN103490663A; US9050828B2; US20130328967A1; TW201400254A; JP2013258824A; EP2674263A2; TWI611889B

Abstract

지지체와, 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와, 지지체에 설치되고, 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과, 이동체에 설치되고, 이동 방향과 평행하게 형성되고, 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과, 지지체에 배치되어 이동체를 압박 가능, 또는, 이동체에 배치되어 지지체를 압박 가능하게 부세된 진동체를 구비하고, 제1 홈과 제2 홈이 대향하는 방향은 지지체와 이동체가 대향하는 방향에 대하여 교차하고, 진동체가 부세되는 부세 방향은 제1 홈과 제2 홈이 대향하는 방향 및 지지체와 이동체가 대향하는 방향에 교차하고 있다. 이에 의해, 지지체에 대하여 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

Description

이동 기구, 로봇 핸드, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치, 송액 펌프, 인쇄 장치, 투영 장치, 반송 장치{MOVING MECHANISM, ROBOT HAND, ELECTRONIC COMPONENT TRANSPORT DEVICE, ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE, LIQUID FEED PUMP, PRINTING DEVICE, PROJECTION DEVICE, AND TRANSPORT DEVICE}

본 발명은 이동 기구, 로봇 핸드, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치, 송액 펌프, 인쇄 장치, 투영 장치, 반송 장치에 관한 것이다.

지지체에 대하여 테이블 등의 이동체를 소정 방향으로 이동시키는 이동 기구를 탑재한 다양한 기기가 알려져 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1의 로봇에서는, 이동 방향과 평행하게 설치된 레일과, 레일을 양측으로부터 끼워 맞추어지는 레일 받침의 사이에 복수의 전동체(볼)이 삽입되고, 이동 방향에 평행한 2열의 볼 가이드를 형성하고 있다. 이와 같이 2열의 볼 가이드로 이동체가 지지되는 이동 기구에서는, 볼이 전동(轉動) 함으로써 이동체를 원활하게 이동시키는 것이 가능하다.

또한, 최근에는, 이동 기구의 구동부로서 압전 모터를 채용한 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 2). 압전 모터는, 압전 재료를 포함하는 진동체에 전압을 인가하면, 신축 방향의 진동과 굴곡 방향의 진동을 발생시킨다. 이로 인해, 진동체의 신축 방향의 단부가 이동체에 부세(付勢; biased)된 상태로 하면, 굴곡 방향의 진동에 의해 이동체를 마찰 구동할 수 있다.

일본 실용신안 출원 공개 평5-16172호 공보 일본 특허 공개 평11-271480호 공보

그러나, 특허 문헌 1과 같이 2열의 볼 가이드로 이동체를 지지하는 이동 기구에 특허 문헌 2의 구성을 채용하고, 이동체에 진동체가 부세된 상태로 하면, 이동체에 덜걱거림이 발생하는 경우가 있다는 문제가 있었다.

본 발명은 종래의 기술이 갖는 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 진동체를 사용하여 구동되는 이동체의 덜걱거림을 억제하는 것이 가능한 이동 기구의 제공을 목적으로 한다.

상술한 과제의 적어도 일부를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1 이동 기구는 다음 구성을 채용하였다. 즉,

소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,

상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,

상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,

상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,

상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,

압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체를 구비하고,

상기 이동축은 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,

상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 한다.

여기서, 「이동면에 대하여 경사져 있는 방향」이란, 이동면에 평행한 방향이나, 이동면에 수직인 방향을 포함하지 않는 것으로 한다.

이러한 본 발명의 제1 이동 기구에서는, 진동체가 지지체측에 지지되어 있으면, 이동체가 진동체의 부세력을 받고, 진동체가 이동체측에 지지되어 있으면, 이동체가 진동체의 부세 방향과는 반대 방향으로 반력을 받는다. 또한, 진동체의 부세 방향은 이동면에 대하여 경사져 있으므로, 이동체가 받는 부세력 또는 반력에는 이동면에 평행한 성분과 이동면에 수직인 성분이 포함된다. 이동체가 이동면에 평행한 힘을 받음으로써, 2열의 이동축 중 한쪽의 이동축에서는, 이동면과 평행한 방향에 제1 홈과 제2 홈의 간격이 막히고, 제1 홈과 제2 홈에서 전동체가 끼움 지지된다. 또한, 다른 쪽의 이동축에서는, 제1 홈과 제2 홈의 간격이 넓어지지만, 이동체가 이동면에 수직인 힘을 받음으로써 한쪽의 이동축을 회전축으로 하여 이동체를 회전시키는 모멘트가 발생하므로, 제1 홈과 제2 홈에서 이동면에 수직인 방향에 전동체가 끼움 지지된다. 그 결과, 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1 이동 기구는 다음과 같은 형태로 파악하는 것도 가능하다. 즉, 다른 형태로서의 본 발명의 제1 이동 기구는,

소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 이동체측에 설치되고, 상기 제1 홈과 마주보게 하여 원환상으로 형성된 제2 홈과,

상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 원환상의 이동축과,

상기 제1 홈 및 상기 제2 홈은, 한쪽의 원환의 내측에 다른 쪽의 원환이 위치하고, 또한, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고 있고,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 원환상의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 한다.

이러한 이동 기구에서는, 이동체가 이동면에 평행한 힘을 받음으로써, 원환상의 이동축의 중심에 대하여 대칭인 2군데 중 한쪽의 장소에서는, 이동면과 평행한 방향에 제1 홈과 제2 홈의 간격이 막히고, 제1 홈과 제2 홈에서 전동체가 끼움 지지된다. 또한, 다른 쪽의 장소에서는, 제1 홈과 제2 홈의 간격이 넓어지지만, 이동체가 이동면에 수직인 힘을 받음으로써 한쪽의 개소를 축으로 이동체를 회전시키는 모멘트가 발생하고, 제1 홈과 제2 홈에서 이동면에 수직인 방향에 전동체가 끼움 지지된다. 그 결과, 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하기 위해서, 본 발명의 제2 이동 기구는 다음 구성을 채용하였다. 즉,

소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,

상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명의 제2 이동 기구에서는, 진동체가 지지체측에 지지되어 있으면, 이동체가 진동체의 부세력을 받고, 진동체가 이동체측에 지지되어 있으면, 이동체가 진동체의 부세 방향이라고는 반대 방향으로 반력을 받는다. 그리고, 진동체가 이동면과 평행하게 압박됨으로써, 2열의 이동축 중 한쪽의 이동축에서는, 이동면과 평행한 방향에 제1 홈과 제2 홈의 간격이 막히고, 제1 홈과 제2 홈에서 전동체가 끼움 지지된다. 또한, 다른 쪽의 이동축에서는, 제1 홈과 제2 홈의 간격이 넓어지지만, 이동면으로부터 이격된 위치에서 이동면에 평행한 힘을 이동체가 받음으로써 한쪽의 이동축을 회전축으로 하여 이동체를 회전시키는 모멘트가 발생하므로, 제1 홈과 제2 홈에서 이동면에 수직인 방향에 전동체가 끼움 지지된다. 그 결과, 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 이동 기구는 다음과 같은 형태로 파악하는 것도 가능하다. 즉, 다른 형태로서의 본 발명의 제2 이동 기구는,

소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 진동체는, 상기 원환상의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,

이러한 이동 기구에서는, 진동체가 이동면과 평행하게 부세됨으로써, 원환상의 이동축의 중심에 대하여 대칭인 2군데 중 한쪽의 장소에서는, 이동면과 평행한 방향에 제1 홈과 제2 홈의 간격이 막히고, 제1 홈과 제2 홈에서 전동체가 끼움 지지된다. 또한, 다른 쪽의 장소에서는, 제1 홈과 제2 홈의 간격이 넓어지지만, 이동면으로부터 이격된 위치에서 이동면에 평행한 힘을 이동체가 받음으로써 한쪽의 개소를 축으로 이동체를 회전시키는 모멘트가 발생하고, 제1 홈과 제2 홈에서 이동면에 수직인 방향에 전동체가 끼움 지지된다. 그 결과, 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 이러한 본 발명의 이동 기구에서는, 지지체 또는 이동체 중 어느 한쪽의 진동체가 부세되는 부분에, 대략 직육면체 형상으로 형성된 수압체를, 진동체가 부세되는 면과 부세 방향이 수직이 되는 자세로 매립해 두어도 된다.

이와 같이 하면, 지지체 또는 이동체에 대하여 진동체가 비스듬히 부세되어도 부세력으로 수압체가 달아나 버리는(수압체의 위치가 이동면과 평행한 방향으로 어긋나버리는) 경우는 없고, 진동체의 구동력을 수압체에 적절하게 전달하여 이동체를 지지체에 대하여 고정밀도로 이동시킬 수 있다.

또한, 상술한 본 발명의 이동 기구에서는, 수압체를, 지지체 또는 이동체 중 수압체가 매립되는 측보다도 경도가 높은 재료로 형성해도 된다.

이와 같이 하면, 진동체와 수압체의 사이에 작용하는 마찰력으로 수압체가 마모되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 오랫동안의 사용에 의해서도 이동체의 이동 정밀도가 저하되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

복수의 손가락부와,

상기 손가락부가 이동 가능하게 입설(立設)된 기체와,

상기 기체에 대하여 상기 손가락부를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드으로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 로봇 핸드에서는, 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 손가락부에서 대상물을 파지하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

복수의 손가락부와,

상기 손가락부가 이동 가능하게 입설된 기체와,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

전자 부품을 파지하는 파지부와,

상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 전자 부품 반송 장치에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 전자 부품을 반송하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

전자 부품을 파지하는 파지부와,

상기 이동 기구는,

상기 진동체는 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

전자 부품을 파지하는 파지부와,

상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구와,

상기 전자 부품을 검사하는 검사부를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 전자 부품 검사 장치에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 전자 부품을 검사하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

전자 부품을 파지하는 파지부와,

상기 전자 부품을 검사하는 검사부를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

액체가 유동 가능한 튜브와,

상기 튜브에 접촉하여 상기 튜브를 폐색하는 폐색부와,

상기 폐색부를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 송액 펌프로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 송액 펌프에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 튜브 내의 액체를 송액하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

액체가 유동 가능한 튜브와,

상기 튜브에 접촉하여 상기 튜브를 폐색하는 폐색부와,

상기 폐색부를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 송액 펌프로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

매체에 화상을 인쇄하는 인쇄 헤드와,

상기 인쇄 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 인쇄 장치에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 화상을 인쇄하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

매체에 화상을 인쇄하는 인쇄 헤드와,

상기 인쇄 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

광을 발생시키는 광원과,

광학 렌즈를 포함하고, 상기 광을 투영하는 투영부와,

상기 광학 렌즈를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 투영 장치로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 투영 장치에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 광학 렌즈에 의한 광의 투영 상태를 조정하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

광을 발생시키는 광원과,

광학 렌즈를 포함하고, 상기 광을 투영하는 투영부와,

상기 광학 렌즈를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,

상기 이동 기구는,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 투영 장치로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

소정의 위치에 설치되고, 반송 장치를 지지하는 지지체와,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 반송 장치에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 대상물을 반송하는 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

소정의 위치에 설치되고, 반송 장치를 지지하는 지지체와,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

회동 가능한 관절부가 설치된 아암부와,

상기 아암부에 설치된 핸드부와,

상기 아암부가 설치된 본체부와,

상기 관절부에 설치되고, 상기 관절부를 회동시키는 회동 기구를 구비하고,

상기 회동 기구는,

소정의 위치에 설치되고, 상기 회동 기구를 지지하는 지지체와,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 제1 홈 및 상기 제2 홈은 한쪽의 원환의 내측에 다른 쪽의 원환이 위치하고, 또한, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고 있고,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 원환상의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 로봇으로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 로봇에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 로봇의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능해진다. 또한, 핸드부는, 예를 들어 대상물을 파지하는 동작이나, 나사 체결 등을 행하는 나사 체결 동작, 도장 동작, 용접 동작 등을 행하는 핸드부로 할 수 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

회동 가능한 관절부가 설치된 아암부와,

상기 아암부에 설치된 핸드부와,

상기 아암부가 설치된 본체부와,

상기 회동 기구는,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇으로서 파악할 수도 있다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

동축에 기어가 설치되고, 회동 가능한 회전 원판과,

복수의 기어를 포함하여 구성된 기어열과,

상기 기어열에 접속되고, 시각을 지시하는 지침과,

상기 회전 원판을 회동시키는 회동 기구를 구비하고,

상기 회동 기구는,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 원환상의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 전자 시계로서 파악할 수도 있다.

이러한 본 발명의 전자 시계에서는 이동체의 덜걱거림을 억제할 수 있으므로, 전자 시계의 동작 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명은 이하와 같은 형태로 파악할 수도 있다. 즉,

동축에 기어가 설치되고, 회동 가능한 회전 원판과,

복수의 기어를 포함하여 구성된 기어열과,

상기 기어열에 접속되고, 시각을 지시하는 지침과,

상기 회전 원판을 회동시키는 회동 기구를 구비하고,

상기 회동 기구는,

상기 지지체에 대하여 전동하는 이동체와,

상기 지지체측에 설치되고, 원환상으로 형성된 제1 홈과,

상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 시계로서 파악할 수도 있다.

도 1은 본 실시예의 이동 기구의 구성을 도시한 사시도이다.
도 2는 압전 모터의 내부 구조를 도시한 단면도이다.
도 3은 압전 모터의 동작 원리를 도시하는 설명도이다.
도 4는 이동 방향에 수직인 평면에서 취한 본 실시예의 이동 기구의 단면도이다.
도 5는 본 실시예의 이동 기구에서 테이블의 덜걱거림가 억제되는 것을 개념적으로 나타낸 설명도이다.
도 6은 제1 변형예의 이동 기구의 구성을 도시한 단면도이다.
도 7은 제2 변형예의 이동 기구의 구성을 도시한 단면도이다.
도 8은 제3 변형예의 이동 기구의 구성을 도시한 단면도이다.
도 9는 제4 변형예의 이동 기구의 구성을 도시한 단면도이다.
도 10은 제5 변형예의 이동 기구의 구성을 도시한 설명도이다.
도 11은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장한 로봇 핸드를 예시한 설명도이다.
도 12는 로봇 핸드을 구비한 외팔의 로봇을 예시한 설명도이다.
도 13은 로봇 핸드을 구비한 양팔의 로봇을 예시한 설명도이다.
도 14는 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장하여 구성된 전자 부품 검사 장치를 예시한 사시도이다.
도 15는 파지 장치에 내장된 미세 조정 기구에 관한 설명도이다.
도 16은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장한 송액 펌프를 예시한 설명도이다.
도 17은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장한 인쇄 장치를 예시한 사시도이다.
도 18은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장한 전자 시계를 예시한 설명도이다.
도 19는 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구를 내장한 투영 장치를 예시한 사시도이다.
도 20은 안내 레일 및 레일 받침을 2쌍 설치한 예를 나타낸 설명도이다.

도 1은 본 실시예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 사시도이다. 도 1의 (a)에는 본 실시예의 이동 기구(10)의 전체도가 도시되어 있고, 도 1의 (b)에는 분해도가 도시되어 있다. 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 이동 기구(10)는 지지체(20)와, 지지체(20)에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 테이블(30)과, 테이블(30)을 구동하는 압전 모터(100) 등으로 구성되어 있다. 본 실시예에서는, 지지체(20)의 상방에 테이블(30)이 설치되고, 테이블(30)측에 압전 모터(100)가 설치되어 있다. 또한, 도면 중의 굵은 화살표는 테이블(30)의 이동 방향을 나타내고 있고, 테이블(30)은 도면 중의 전방측에서 안측을 향하여, 또는 안측에서 전방측을 향하여 이동 가능하다. 또한, 본 실시예의 테이블(30)은 본 발명의 「이동체」에 상당하고 있다.

도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 테이블(30)은 대략 직사각형의 평판 형상이고, 그 하면(지지체(20)에 마주 향하는 면)으로부터는 안내 레일(40)이 수직 설치되어 있다. 안내 레일(40)은 이동 방향과 평행하게 설치되고, 이 안내 레일(40)의 양측면에는 V자 단면의 내홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시예의 내홈(42)은 본 발명의 「제2 홈」에 상당하고 있다.

지지체(20)는 대략 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있고, 그 상면(테이블(30)과 마주 향하는 면)에는 안내 레일(40)을 양측으로부터 끼워서 한 쌍의 레일 받침(46)이 입설되어 있다. 레일 받침(46)의 내벽면에는 안내 레일(40)의 내홈(42)과 마주 향하는 V자 단면의 외홈(48)이 형성되어 있다. 또한, 지지체(20)의 상면에는 대략 직육면체 형상의 수압체(50)가 레일 받침(46)과 평행하게 매립되어 있다. 또한, 본 실시예의 외홈(48)은 본 발명의 「제1 홈」에 상당하고 있다.

안내 레일(40)의 내홈(42)과 레일 받침(46)의 외홈(48)의 사이에는 복수의 볼(44)이 삽입되어 있다. 이들 복수의 볼(44)은 지지체(20)와 테이블(30)의 사이에서 2열의 볼 가이드를 형성하고 있고, 볼(44)이 내홈(42) 및 외홈(48)을 따라서 전동함으로써, 테이블(30)은 지지체(20)에 대하여 원활하게 이동한다. 또한, 본 실시예의 볼(44)은 본 발명의 「전동체」에 상당하고 있다.

압전 모터(100)에는 압전 재료를 포함하여 형성된 진동체(110)가 내장되어 있다. 진동체(110)는 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 길이 방향의 단부면에는 원기둥 형상의 볼록부(112)가 설치되어 있다.

도 2는 압전 모터(100)의 내부 구조를 도시한 단면도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 진동체(110)는 볼록부(112)를 돌출시킨 상태에서 진동체 케이스(102) 내에 보유 유지되어 있고, 이 진동체 케이스(102)는 볼록부(112)가 돌출된 방향(X방향)을 향하여 이동 가능한 형태로 수용 케이스(104)에 수용되어 있다. 진동체 케이스(102)의 측면(X방향에 직교하는 방향(Y방향)을 향한 면)의 일방측과 수용 케이스(104)의 사이에는, Y방향으로 진동체 케이스(102)를 부세하는 측압 스프링(106)이 설치되어 있다. 또한, 진동체 케이스(102)의 측면의 타방측(측압 스프링(106)이 설치된 측과는 반대측)과 수용 케이스(104)의 사이에는, X방향으로 전동하는 롤러(108)가 설치되어 있다. 이로 인해, 진동체 케이스(102)는 Y방향으로의 이동을 규제하면서, X방향으로 원활하게 이동하는 것이 가능하다. 또한, 롤러(108)가 설치된 측과 동일한 측에는 부세 스프링(120)이 설치되어 있고, 이 부세 스프링(120)은 진동체 케이스(102)를 X방향(볼록부(112)가 설치된 측)으로 부세하고 있다. 그리고, 도 1에 도시한 바와 같이, 이동 기구(10)를 조립한 상태에서는, 진동체(110)의 볼록부(112)가 지지체(20)의 수압체(50)에 부세되어 있고, 압전 모터(100)의 진동체(110)에 전압을 인가함으로써 테이블(30)을 구동할 수 있다.

도 3은 압전 모터(100)의 동작 원리를 도시하는 설명도이다. 도 3의 (a)에 도시하고 있는 바와 같이, 압전 모터(100)에 내장된 진동체(110)의 표측의 측면에는, 그 측면을 종횡으로 2분할(합계 4분할)하도록 4개의 직사각형 형상의 표면 전극(114a 내지 114d)이 형성되어 있다. 또한, 4개의 표면 전극(114a 내지 114d)을 구별할 필요가 없는 경우에는, 이들을 간단하게 표면 전극(114)이라고 칭하는 경우가 있다. 또한, 도시는 생략하고 있지만, 진동체(110)의 이측의 측면에는, 그 측면의 거의 전체면에 걸쳐서 이면 전극이 형성되어 있다. 압전 모터(100)는 진동체(110)의 표면 전극(114)에 일정 주기로 전압을 인가했을 때에, 진동체(110)의 볼록부(112)가 타원 운동함으로써 동작한다. 진동체(110)의 볼록부(112)가 타원 운동하는 것은 다음의 이유에 의한다.

우선, 이미 알고 있는 바와 같이 압전 재료를 포함하는 진동체(110)는 플러스 전압을 인가하면 신장되는 성질을 갖고 있다. 따라서, 도 3의 (a)에 도시한 바와 같이, 4개의 표면 전극(114) 모두에 플러스 전압을 인가한 후, 인가 전압을 해제하는 것을 반복하면, 진동체(110)는 길이 방향으로 신축되는 동작을 반복한다. 이와 같이 진동체(110)가 길이 방향으로 신축을 반복하는 동작을 「신축 진동」이라고 칭한다. 이하에서는, 진동체(110)가 신축되는 방향(도면 중의 ±X방향)을 「신축 방향」이라고 칭한다. 또한, 플러스 전압을 인가하는 주파수를 변화시켜 가면, 어떤 특정한 주파수가 되었을 때에 신축량이 갑자기 커져서 1종의 공진 현상이 발생한다. 신축 진동에서 공진이 발생하는 주파수(공진 주파수)는 진동체(110)의 물성과 진동체(110)의 치수(폭(W), 길이(L), 두께(T))에 따라 결정된다.

또한, 도 3의 (b) 또는 도 3의 (c)에 도시한 바와 같이, 서로 대각선의 위치에 있는 2개의 표면 전극(114)을 쌍(표면 전극(114a) 및 표면 전극(114d)의 쌍, 또는 표면 전극(114b) 및 표면 전극(114c)의 쌍)으로 하여 일정 주기로 플러스 전압을 인가한다. 그러자, 진동체(110)는 길이 방향의 선단부(볼록부(112)가 설치된 부분)가 도면 상에서 좌우 방향으로 목을 흔드는 듯한 동작을 반복한다. 예를 들어, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 표면 전극(114a) 및 표면 전극(114d)의 쌍에 일정 주기로 플러스 전압을 인가하면, 진동체(110)는 길이 방향의 선단부가 우측 방향으로 이동하는 동작을 반복한다. 또한, 도 3의 (c)에 도시한 바와 같이, 표면 전극(114b) 및 표면 전극(114c)의 쌍에 일정 주기로 플러스 전압을 인가하면, 진동체(110)는 길이 방향의 선단부가 좌측 방향으로 이동하는 동작을 반복한다. 이러한 진동체(110)의 동작을 「굴곡 진동」이라고 칭한다. 이하에서는, 진동체(110)가 굴곡 진동하는 방향(도면 중의 ±Y방향)을 「굴곡 방향」이라고 칭한다. 이러한 굴곡 진동에 대해서도 진동체(110)의 물성과 진동체(110)의 치수(폭(W), 길이(L), 두께(T))에 따라 정해지는 공진 주파수가 존재한다. 따라서, 서로 대각선의 위치에 있는 2개의 표면 전극(114)에 대하여 그 공진 주파수로 플러스 전압을 인가하면, 진동체(110)는 굴곡 방향으로 크게 목을 흔들어서 진동한다.

여기서, 도 3의 (a)에 나타낸 신축 진동의 공진 주파수도, 도 3의 (b) 또는 도 3의 (c)에 나타낸 굴곡 진동의 공진 주파수도, 진동체(110)의 물성이나 진동체(110)의 치수(폭(W), 길이(L), 두께(T))에 따라 결정된다. 따라서, 진동체(110)의 치수(폭(W), 길이(L), 두께(T))를 적절하게 선택하면, 2개의 공진 주파수를 일치시킬 수 있다. 그리고, 그러한 진동체(110)에 대하여 도 3의 (b) 또는 도 3의 (c)에 도시한 바와 같은 굴곡 진동 형태의 전압을 공진 주파수로 인가하면, 도 3의 (b) 또는 도 3의 (c)에 나타내는 굴곡 진동이 발생하는 동시에, 공진에 의해 도 3의 (a)의 신축 진동도 유기된다. 그 결과, 도 3의 (b)에 도시하는 형태로 표면 전극(114a) 및 표면 전극(114d)의 쌍에 전압을 인가한 경우에는, 진동체(110)의 선단부(볼록부(112)가 설치된 부분)가 도면 상에서 시계 방향으로 타원을 그리는 듯한 동작(타원 운동)을 행한다. 또한, 도 3의 (c)에 도시하는 형태로 표면 전극(114b) 및 표면 전극(114c)의 쌍에 전압을 인가한 경우에는, 진동체(110)의 선단부가 도면 상에서 반시계 방향의 타원 운동을 행한다. 또한, 이상의 설명에서는, 진동체(110)에 플러스 전압을 인가하는 것으로서 설명하였다. 그러나, 이미 알고 있는 바와 같이 압전 재료는 마이너스 전압을 인가함으로써도 변형된다. 따라서, 진동체(110)에 마이너스 전압을 인가함으로써 굴곡 진동(및 신축 진동)을 발생시켜도 되고, 플러스 전압과 마이너스 전압을 반복하는 듯한 교번 전압을 인가함으로써 굴곡 진동(및 신축 진동)을 발생시켜도 된다. 또한, 상술한 설명에서는, 공진 주파수의 전압을 인가하는 것으로서 설명하였다. 그러나, 공진 주파수를 포함한 파형의 전압을 인가하면 충분하며, 예를 들어 펄스 형상의 전압이어도 상관없다.

압전 모터(100)는 이러한 타원 운동을 이용하여 테이블(30)을 구동한다. 즉, 도 1에 도시한 바와 같이 압전 모터(100)는 진동체(110)의 짧기 방향(굴곡 방향)을 이동 방향에 맞춰서 테이블(30)측에 고정되어 있고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 지지체(20)의 수압체(50)에 부세된 상태에서 타원 운동을 발생시킨다. 그러자, 볼록부(112)는, 진동체(110)가 신장될 때에는 수압체(50)에 부세된 상태에서 굴곡 방향 중 어느 한쪽을 향하여 이동하고, 진동체(110)가 수축될 때에는 수압체(50)로부터 이격된 상태에서 원래의 위치까지 복귀되는 동작을 반복한다. 이 결과, 수압체(50)와 볼록부(112)의 사이에 작용하는 마찰력에 의해, 테이블(30)은 지지체(20)에 대하여 굴곡 방향(이동 방향) 중 어느 다른 쪽을 향하여 이동한다.

이상으로 설명한 압전 모터(100)의 동작 원리로부터 명백해진 바와 같이, 테이블(30)측에 고정된 압전 모터(100)는, 진동체(110)의 볼록부(112)가 지지체(20)측(수압체(50))에 부세된 상태로 하여 둘 필요가 있다. 이로 인해, 테이블(30)은 수압체(50)에 볼록부(112)가 부세되는 힘(부세력)의 반력을 받게 되고, 이러한 반력을 받아서 테이블(30)에 덜걱거림이 발생하는 경우가 있다. 따라서, 본 실시예의 이동 기구(10)에서는, 이하와 같이 진동체(110)의 볼록부(112)를 부세함으로써 테이블(30)의 덜걱거림을 억제하고 있다.

도 4는 이동 방향에 수직인 평면에서 취한 본 실시예의 이동 기구(10)의 단면도이다. 상술한 바와 같이, 테이블(30)측의 안내 레일(40)에 형성된 내홈(42)과 지지체(20)측의 레일 받침(46)에 형성된 외홈(48)의 사이에 복수의 볼(44)이 삽입되어 있고, 이들 복수의 볼(44)에 의해 이동 방향에 평행한 2열의 볼 가이드가 지지체(20)와 테이블(30)의 사이에 형성되어 있다. 2열의 볼 가이드에 따라서 복수의 볼(44)이 전동함으로써 테이블(30)은 지지체(20)에 대하여 원활하게 이동한다. 이하에서는, 2열의 볼 가이드를 포함하는 평면을 「이동면」이라고 칭한다. 또한, 볼(44)의 원활한 전동을 위해서 볼(44)과 내홈(42)이나 외홈(48)의 사이에는 약간의 여유 공간(간극)이 설치되어 있다.

또한, 테이블(30)의 측면에 설치되는 압전 모터(100)는, 내장하는 진동체(110)의 짧기 방향(굴곡 방향)을 이동 방향에 맞춤과 함께, 상단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 테이블(30)측으로 기울여서 고정되어 있다. 또한, 진동체(110)는 부세 스프링(120)에 의해 길이 방향(신축 방향)으로 부세되고, 지지체(20)의 수압체(50)에 볼록부(112)가 부세된 상태가 되어 있다. 이로 인해, 진동체(110)의 볼록부(112)가 수압체(50)에 부세되는 방향(부세 방향)은 이동 방향에 직교하고, 또한, 이동면에 대하여 소정의 각도(도시한 예에서는 75°)로 경사져 있다.

또한, 본 실시예의 수압체(50)는 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 상면(진동체(110)의 볼록부(112)가 접촉하는 면)이 부세 방향에 직교하는 상태에서 지지체(20)에 매립되어 있다. 이에 의해, 수압체(50)의 위치가 어긋나는 경우는 없고, 또한, 볼록부(112)와 수압체(50)의 사이에 마찰력을 효율적으로 발생시킬 수 있다. 게다가, 본 실시예의 이동 기구(10)에서는, 지지체(20)가 플라스틱 재료로 형성되어 있는 것에 반해, 수압체(50)가 세라믹스 재료나 금속 재료 등의 플라스틱 재료보다도 경도가 높은 재료로 형성되어 있다. 이로 인해, 볼록부(112)와 수압체(50)의 사이에 작용하는 마찰력으로 수압체(50)가 마모되는 것을 억제할 수 있다.

여기서, 테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)가 수압체(50)에 부세됨으로써 부세 방향과는 반대 방향으로 반력을 받는다. 이 반력에는, 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 상측 방향의 성분이 포함된다. 그리고, 테이블(30)이 이동면에 평행한 반력을 받음으로써, 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드에서는, 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 사이의 여유 공간(간극)이 막히고, 내홈(42) 및 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된 상태가 된다.

한편, 압전 모터(100)에 가까운 측(도면 중 우측)의 볼 가이드에서는, 내홈(42)과 외홈(48)의 간격이 넓어지지만, 테이블(30)이 이동면에 수직인 반력을 받음으로써, 도면 중 좌측의 간극이 막힌 볼 가이드를 축으로 하여 테이블(30)을 상방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 내홈(42)의 하단부측과 외홈(48)의 상단부측에서 볼(44)을 끼움 지지한 상태가 된다.

이상과 같이, 본 실시예의 이동 기구(10)에서는, 이동면에 대하여 진동체(110)의 볼록부(112)가 비스듬히 부세됨으로써, 2열의 볼 가이드 중 한쪽의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극을 막음과 함께, 그 한쪽의 볼 가이드를 축으로 회전 모멘트를 발생시켜서 다른 쪽의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)을 끼움 지지할 수 있다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시예의 이동 기구(10)에서는, 테이블(30)이 반력을 받는 위치가, 회전축이 되는 도면 중 좌측의 볼 가이드(볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힌 쪽의 볼 가이드)에 대하여 도면 중 우측의 볼 가이드(내홈(42)과 외홈(48)의 간격이 넓어진 쪽의 볼 가이드)보다도 먼 위치가 되어 있고, 큰 회전 모멘트가 발생한다. 이로 인해, 테이블(30)에 가중 등의 외력이 가해져도 테이블(30)에 덜걱거림이 발생하기 어렵다.

도 5는 본 실시예의 이동 기구(10)에서 테이블(30)의 덜걱거림이 억제되는 것을 개념적으로 나타낸 설명도이다. 우선, 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 이동시키고, 소정 위치(기점으로부터 200㎛의 위치)에서 테이블(30)을 위치 결정하도록 압전 모터(100)를 제어한다. 이 때, 테이블(30)이 소정 위치를 통과한 경우에는, 테이블(30)을 역방향으로 이동시키고, 소정 위치와의 오차가 소정 범위(±3㎛)가 될 때까지 필요로 하는 이동 시간을 계측한다. 이러한 테이블(30)의 이동 동작을 반복해서 행하여 이동 시간과, 그 이동 시간을 필요로 한 이동 횟수(빈도)의 관계를 도 5의 그래프에 나타냈다. 도면 중의 실선은 본 실시예의 이동 기구(10)로 이동 동작을 행한 경우를 나타내고 있고, 도면 중의 일점 쇄선은 비교예로서 부세 방향(진동체(110)의 볼록부(112)가 수압체(50)에 부세되는 방향)이 이동면에 대하여 수직인 이동 기구(10)로 이동 동작을 행한 경우를 나타내고 있다. 이동면에 대하여 부세 방향이 경사져 있는 본 실시예의 이동 기구(10)에서는, 테이블(30)의 덜걱거림이 억제됨으로써, 테이블(30)의 위치 결정에 필요로 하는 이동 시간의 변동(편차)가 비교예에 비해 작아져 있다.

이하에서는, 상술한 본 실시예의 이동 기구(10)의 변형예에 대하여 설명한다. 또한, 변형예의 설명에서는, 상술한 실시예와 동일한 구성 부분에 대해서는 먼저 설명한 실시예와 동일한 부호를 붙이고, 그 상세한 설명을 생략한다.

도 6은 제1 변형예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 단면도이다. 제1 변형예의 이동 기구(10)에서는, 안내 레일(40)이 지지체(20)의 상면(테이블(30)과 마주 향하는 면)으로부터 입설되어 있고, 안내 레일(40)을 양측으로부터 끼우는 한 쌍의 레일 받침(46)이 테이블(30)의 하면(지지체(20)와 마주 향하는 면)으로부터 수직 설치되어 있다. 그리고, 안내 레일(40)의 양측면에 형성된 내홈(42)과, 레일 받침(46)의 내벽면에 형성된 외홈(48)의 사이에 복수의 볼(44)이 삽입되고, 2열의 볼 가이드를 형성하고 있다. 또한, 제1 변형예의 내홈(42)은 본 발명의 「제1 홈」에 상당하고, 제1 변형예의 외홈(48)은 본 발명의 「제2 홈」에 상당하고 있다.

또한, 테이블(30)의 측면에 설치되는 압전 모터(100)는, 상단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 테이블(30)과는 반대측으로 기울여서 고정되어 있고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 수압체(50)에 부세되는 방향(부세 방향)은 2열의 볼 가이드를 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있다. 또한, 수압체(50)는 상면이 부세 방향에 직교하도록 지지체(20)에 매립되어 있다.

테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세 방향과는 반대 방향으로 반력을 받고, 이 반력에는 이동면에 평행한 도면 중 우측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 상측 방향의 성분이 포함된다. 그리고, 이동면에 평행한 반력에 의해, 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힘과 함께, 이동면에 수직인 반력에 의해 도면 중 좌측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 상방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에 가까운 쪽(도면 중 우측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)의 상단부측과 외홈(48)의 하단부측에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 제1 변형예의 테이블(30)의 상면(지지체(20)와 마주 향하는 면과는 반대측의 면)은 회전 모멘트에 의해 테이블(30)이 회전한 상태에서 지지체(20)와 평행해지도록 테이블(30)의 하면에 대하여 회전분만큼 경사져 있다. 이에 의해, 테이블(30)의 상면에 적재되는 적재물의 수평을 유지할 수 있다.

도 7은 제2 변형예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 단면도이다. 상술한 실시예에서는, 압전 모터(100)를 테이블(30)측에 고정하고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 지지체(20)측에 부세되어 있었던 것에 반해, 제2 변형예의 이동 기구(10)에서는, 압전 모터(100)를 지지체(20)측에 고정하고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 테이블(30)측에 부세되는 구성으로 되어 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제2 변형예의 압전 모터(100)는 지지체(20)의 상면(테이블(30)에 마주 향하는 면)으로부터 입설된 지주(22)에 설치되고, 상단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 테이블(30)과는 반대측으로 기울여서 고정되어 있다. 그리고, 압전 모터(100)에 내장된 진동체(110)는, 부세 스프링(120)의 부세력에 의해 볼록부(112)가 테이블(30)의 상면(지지체(20)에 마주 향하는 면과는 반대측의 면)에 부세되고, 그 부세되는 방향(부세 방향)은 이동면에 대하여 경사져 있다. 또한, 테이블(30)의 상면의 볼록부(112)가 부세되는 위치에는 부세 방향에 직교하는 수압면(32)이 형성되어 있다.

이와 같이, 제2 변형예의 테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세력을 직접적으로 받는다. 이 부세력에는 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 하측 방향의 성분이 포함된다. 그리고, 이동면에 평행한 힘에 의해, 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힘과 함께, 이동면에 수직인 힘에 의해 도면 중 좌측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 하방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에 가까운 쪽(도면 중 우측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

도 8은 제3 변형예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 단면도이다. 상술한 실시예에서는 지지체(20)의 상방에 테이블(30)을 설치하고 있었음에 반해, 제3 변형예의 이동 기구(10)에서는 지지체(20)의 하방에 테이블(30)을 설치하는 구성으로 되어 있다.

도 8의 (a)에는, 실시예의 이동 기구(10)(도 4 참조)의 상하를 반전시켜, 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 현수한 상태가 도시되어 있다. 테이블(30)의 측면에 설치되는 압전 모터(100)는 하단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 테이블(30)측으로 기울여서 고정되어 있고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 수압체(50)에 부세되는 방향(부세 방향)은 2열의 볼 가이드를 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있다. 테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세 방향과는 반대 방향으로 반력을 받고, 이 반력에는 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 하측 방향의 성분이 포함된다. 그리고, 이동면에 평행한 힘에 의해 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힘과 함께, 이동면에 수직인 힘에 의해 도면 중 좌측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 하방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에 가까운 쪽(도면 중 우측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

또한, 도 8의 (a)와 같이 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 현수하는 구성에서는, 테이블(30)의 하중이 회전 모멘트에 부가되어 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)을 강하게 끼움 지지하는 방향으로 작용하므로, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제함에 있어서 적합하다.

도 8의 (b)에는, 도 8의 (a)의 다른 예로서, 압전 모터(100)를 지지체(20)측에 고정하고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 테이블(30)측에 부세되는 구성이 도시되어 있다. 지지체(20)의 측면에 설치되는 압전 모터(100)는, 상단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 지지체(20)과는 반대측으로 기울여서 고정되어 있고, 테이블(30)의 상면(지지체(20)와 마주 향하는 면)에 매립된 수압체(50)에 진동체(110)의 볼록부가 부세되는 방향(부세 방향)은 이동면에 대하여 경사져 있다. 테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세력을 받고, 그 부세력에는 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 하측 방향의 성분이 포함된다. 그리고, 이동면에 평행한 힘에 의해 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힘과 함께, 이동면에 수직인 힘에 의해 도면 중 좌측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 하방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에 가까운 측(도면 중 우측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

도 9는 제4 변형예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 단면도이다. 상술한 실시예에서는 이동면에 대하여 진동체(110)의 볼록부(112)가 비스듬히 부세되어 있었음에 반해, 제4 변형예의 이동 기구(10)에서는 이동면과 평행하게 진동체(110)의 볼록부(112)가 부세되는 구성으로 되어 있다.

도 9의 (a)에는, 압전 모터(100)를 지지체(20)측에 고정하고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 테이블(30)측에 부세되는 구성이 도시되어 있다. 압전 모터(100)는 지지체(20)의 상면(테이블(30)에 마주 향하는 면)으로부터 입설된 지주(22)에 설치되고, 진동체(110)의 길이 방향(신축 방향)을 이동면과 평행하게 하여 고정되어 있다. 진동체(110)는 부세 스프링(120)의 부세력에 의해 볼록부(112)가 테이블(30)의 측면에 부세되고, 그 부세되는 방향(부세 방향)은 이동면과 평행하게 되어 있다.

테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세력을 직접적으로 받고, 그 부세력은 이동면에 수직인 성분을 포함하고 있지 않고, 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 성분만으로 되어 있다. 테이블(30)이 이동면에 평행한 부세력을 받음으로써, 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 가까운 쪽(도면 중 우측)의 볼 가이드에서는 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힌다. 또한, 테이블(30)은 이동면에 수직인 부세력을 받는 경우는 없지만, 이동면으로부터 이격된 상방의 위치에서 이동면에 평행한 부세력을 받음으로써, 도면 중 우측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 하방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

도 9의 (b)에는, 도 9의 (a)의 다른 예로서, 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 현수한 상태에서 압전 모터(100)를 테이블(30)측에 고정하고, 진동체(110)의 볼록부(112)가 지지체(20)측에 부세되는 구성이 도시되어 있다. 압전 모터(100)는 테이블(30)의 하면(지지체(20)와 마주 향하는 면과는 반대측의 면)에 설치되어 있다. 또한, 지지체(20)의 하면(테이블(30)과 마주 향하는 면)으로부터는 종벽(24)이 수직 설치되어 있고, 진동체(110)는 부세 스프링(120)의 부세력에 의해 볼록부(112)가 종벽(24)에 부세된다. 테이블(30)은 이동면으로부터 이격된 하방의 위치에서 이동면에 평행한 도면 중 좌측 방향의 반력을 받는다. 이에 의해, 2열의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에 가까운 측(도면 중 우측)의 볼 가이드의 볼(44)과 내홈(42) 및 외홈(48)의 간극이 막힘과 함께, 도면 중 우측의 볼 가이드를 축으로 테이블(30)을 상방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 좌측)의 볼 가이드에서도 내홈(42)과 외홈(48)에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

도 10은 제5 변형예의 이동 기구(10)의 구성을 도시한 설명도이다. 도 10의 (a)에는 외관 형상이 사시도로 도시되어 있고, 도 10의 (b)에는 내부 구조가 단면도로 도시되어 있다. 상술한 실시예에서는 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 직선 이동시키는(이동 방향이 직선 방향임) 것에 반해, 제5 변형예의 이동 기구(10)에서는 지지체(20)에 대하여 테이블(30)을 전동시키는 구성으로 되어 있다.

도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 제5 변형예의 테이블(30)은 원판 형상으로 형성되어 지지체(20)의 상방에 설치되어 있다. 또한, 압전 모터(100)는 지지체(20)의 상면(테이블(30)과 마주 향하는 면)으로부터 입설된 지주(22)에 설치되어 있고, 압전 모터(100)에 내장된 진동체(110)는 부세 스프링(120)의 부세력에 의해, 볼록부(112)가 테이블(30)의 상면(지지체(20)와 마주 향하는 면과는 반대측의 면)에 부세되어 있다.

도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 테이블(30)의 하면(지지체(20)에 마주 향하는 면)으로부터는 원기둥 형상의 안내축(60)이 수직 설치되어 있고, 안내축(60)의 외주면에는 V자 단면의 내홈(62)(제2 홈)이 형성되어 있다. 한편, 지지체(20)의 상면(테이블(30)과 마주 향하는 면)에는 안내축(60)이 삽입 관통되는 원통 형상의 베어링(66)이 입설되어 있고, 베어링(66)의 내주면에는 안내축(60)의 내홈(62)과 마주 향하는 V자 단면의 외홈(68)(제1 홈)이 형성되어 있다. 안내축(60)의 내홈(62)과 베어링(66)의 외홈(68)의 사이에는 복수의 볼(44)이 삽입되어 있고, 이들 복수의 볼(44)은 지지체(20)와 테이블(30)의 사이에서 링 형상의 볼 가이드를 형성하고 있다. 볼(44)이 내홈(62) 및 외홈(68)을 따라서 전동함으로써, 테이블(30)은 지지체(20)에 대하여 원활하게 전동한다.

지지체(20)측의 지주(22)에 설치된 압전 모터(100)는 상단부측(볼록부(112)가 설치된 측과는 반대측)을 테이블(30)과는 반대측으로 기울여서 고정되어 있고, 진동체(110)의 볼록부(112)이 테이블(30)의 상면에 부세되는 방향(부세 방향)은 링 형상의 볼 가이드를 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있다. 또한, 테이블(30)의 상면의 볼록부(112)가 부세되는 위치에는 부세 방향에 직교하는 수압면(34)이 형성되어 있다.

테이블(30)은 진동체(110)의 볼록부(112)의 부세력을 직접적으로 받고, 그 부세력에는 이동면에 평행한 도면 중 우측 방향의 성분과, 이동면에 수직인 도면 중 하측 방향의 성분이 포함된다. 링 형상의 볼 가이드 중 압전 모터(100)에서 먼 쪽(도면 중 우측)의 부분에서는, 이동면에 평행한 힘에 의해 볼(44)과 내홈(62) 및 외홈(68)의 간극이 막힌다. 또한, 링 형상의 볼 가이드의 압전 모터(100)에 가까운 측(도면 중 좌측)의 부분에서는 내홈(62)과 외홈(68)의 간격이 넓어지지만, 이동면에 수직인 힘에 의해 볼 가이드의 도면 중 우측의 부분을 축으로 하여 테이블(30)을 하방을 향하여 회전시키는 모멘트가 발생하고, 내홈(62)의 상단부측과 외홈(68)의 하단부측에서 볼(44)이 끼움 지지된다. 그 결과, 테이블(30)의 덜걱거림을 억제할 수 있다.

상술한 본 실시예의 이동 기구(10) 또는 변형예의 이동 기구(10)는 테이블(30)의 덜걱거림을 억제하여 테이블(30)을 고정밀도로 이동시킬 수 있으므로, 이하와 같은 장치의 이동 기구로서 적절하게 내장할 수 있다.

도 11은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 내장한 로봇 핸드(200)를 예시한 설명도이다. 도시한 로봇 핸드(200)는 기체(202)로부터 복수개의 손가락부(203)가 입설되어 있고, 손목(204)을 거쳐서 아암(210)에 접속되어 있다. 여기서, 손가락부(203)의 근원 부분은 기체(202) 내에서 이동 가능하게 되어 있고, 이 손가락부(203)의 근원 부분에 테이블(30)을 고정한 상태에서 직선식의 이동 기구(10)가 탑재되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10)를 동작시킴(테이블(30)을 이동시킴)으로써 손가락부(203)를 이동시켜서 대상물을 파지할 수 있다. 또한, 손목(204)의 부분에는 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10)가 탑재되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10)를 동작시킴으로써 기체(202) 전체를 회전시키는 것이 가능하다.

도 12는 로봇 핸드(200)(핸드부)를 구비한 외팔의 로봇(250)을 예시한 설명도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 로봇(250)은 복수개의 링크부(212)(링크 부재)와, 그들 링크부(212)의 사이를 굴곡 가능한 상태에서 접속하는 관절부(220)를 구비한 아암(210)(아암부)을 갖고 있다. 또한, 로봇 핸드(200)는 아암(210)의 선단에 접속되어 있다. 그리고, 관절부(220)에는 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10)가 내장되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10)를 동작 시킴으로써 각각의 관절부(220)을 임의의 각도만큼 굴곡(회동)시키는 것이 가능하다.

도 13은 로봇 핸드(200)를 구비한 양팔의 로봇(260)을 예시한 설명도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 로봇(250)은 복수개의 링크부(212)와, 그들 링크부(212)의 사이를 굴곡 가능한 상태에서 접속하는 관절부(220)를 구비한 아암(210)을 복수개(도시한 예에서는 2개) 갖고 있다. 아암(210)의 선단에는 로봇 핸드(200)나 공구(201)(핸드부)가 접속되어 있다. 또한, 헤드부(262)에는 복수체의 카메라(263)가 탑재되어 있고, 본체부(264)의 내부에는 전체의 동작을 제어하는 제어부(266)가 탑재되어 있다. 또한, 본체부(264)의 저면에 설치된 캐스터(268)에 의해 반송 가능하다. 이 로봇(260)에도 관절부(220)에는 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10)가 내장되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10)를 동작 시킴으로써 각각의 관절부(220)를 임의의 각도만큼 굴곡(회동)시키는 것이 가능하다.

도 14는 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 내장하여 구성된 전자 부품 검사 장치(300)를 예시한 사시도이다. 도시한 전자 부품 검사 장치(300)는 대략은 기체(310)와 기체(310)의 측면에 입설된 지지체(330)를 구비하고 있다. 기체(310)의 상면에는 검사 대상의 전자 부품(1)이 적재되어 반송되는 상류측 스테이지(312u)와, 검사필의 전자 부품(1)이 적재되어 반송되는 하류측 스테이지(312d)가 설치되어 있다. 또한, 상류측 스테이지(312u)와 하류측 스테이지(312d)의 사이에는, 전자 부품(1)의 자세를 확인하기 위한 촬상 장치(314)와, 전기적인 특성을 검사하기 위하여 전자 부품(1)이 세트되는 검사체(316)(검사부)가 설치되어 있다. 또한, 전자 부품(1)의 대표적인 것으로서는 「반도체」나 「반도체 웨이퍼」, 「CLD나 OLED 등의 표시 디바이스」, 「수정 디바이스」, 「각종 센서」, 「잉크젯 헤드」, 「각종 MEMS 디바이스」 등을 들 수 있다.

또한, 지지체(330)에는 기체(310)의 상류측 스테이지(312u) 및 하류측 스테이지(312d)와 평행한 방향(Y방향)으로 이동 가능하게 Y스테이지(332)가 설치되어 있고, Y스테이지(332)로부터는 기체(310)를 향하는 방향(X방향)에 아암부(334)가 연장되어 설치되어 있다. 또한, 아암부(334)의 측면에는 X방향으로 이동 가능하게X스테이지(336)가 설치되어 있다. 그리고, X스테이지(336)에는 촬상 카메라(338)와 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능한 Z스테이지를 내장한 파지 장치(350)가 설치되어 있다. 또한, 파지 장치(350)의 선단에는 전자 부품(1)을 파지하는 파지부(352)가 설치되어 있다. 또한, 기체(310)의 전방면측에는 전자 부품 검사 장치(300)의 전체의 동작을 제어하는 제어 장치(318)도 설치되어 있다. 또한, 본 실시예에서는, 지지체(330)에 설치된 Y스테이지(332)나 아암부(334)나 X스테이지(336)나 파지 장치(350)가 본 발명의 「전자 부품 반송 장치」에 대응한다.

이상과 같은 구성을 갖는 전자 부품 검사 장치(300)는 다음과 같이 하여 전자 부품(1)의 검사를 행한다. 우선, 검사 대상의 전자 부품(1)은 상류측 스테이지(312u)에 적재되어 검사체(316)의 부근까지 이동한다. 이어서, Y스테이지(332) 및 X스테이지(336)를 움직이게 하여 상류측 스테이지(312u)에 적재된 전자 부품(1)의 바로 위의 위치까지 파지 장치(350)를 이동시킨다. 이 때, 촬상 카메라(338)를 사용하여 전자 부품(1)의 위치를 확인할 수 있다. 그리고, 파지 장치(350) 내에 내장된 Z스테이지를 사용하여 파지 장치(350)를 강하시켜서 파지부(352)에서 전자 부품(1)을 파지하면, 그대로 파지 장치(350)를 촬상 장치(314) 위에 이동시켜서 촬상 장치(314)을 사용하여 전자 부품(1)의 자세를 확인한다. 계속해서, 파지 장치(350)에 내장되어 있는 미세 조정 기구를 사용하여 전자 부품(1)의 자세를 조정한다. 그리고, 파지 장치(350)를 검사체(316) 위까지 이동시킨 후, 파지 장치(350)에 내장된 Z스테이지를 움직이게 하여 전자 부품(1)을 검사체(316) 위에 세트한다. 파지 장치(350) 내의 미세 조정 기구를 사용하여 전자 부품(1)의 자세가 조정되어 있으므로, 검사체(316)의 올바른 위치에 전자 부품(1)을 세트할 수 있다. 그리고, 검사체(316)를 사용하여 전자 부품(1)의 전기적인 특성의 검사가 종료되면, 다시, 이번에는 검사체(316)로부터 전자 부품(1)을 채택한 후, Y스테이지(332) 및 X스테이지(336)를 움직이게 하여 하류측 스테이지(312d) 위까지 파지 장치(350)를 이동시키고, 하류측 스테이지(312d)에 전자 부품(1)을 둔다. 그 후, 하류측 스테이지(312d)를 움직이게 하여 검사가 종료된 전자 부품(1)을 소정 위치까지 반송한다.

도 15는 파지 장치(350)에 내장된 미세 조정 기구에 관한 설명도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 파지 장치(350) 내에는, 파지부(352)에 접속된 회전축(354)이나, 회전축(354)이 회전 가능하게 설치된 미세 조정 플레이트(356) 등이 설치되어 있다. 또한, 미세 조정 플레이트(356)는 도시하지 않은 가이드 기구에 의해 가이드되면서 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하다.

여기서, 도 15에 사선으로 나타나져 있는 바와 같이, 회전축(354)에는 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10θ)가 탑재되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10θ)를 동작시킴으로써 회전축(354)(및 파지부(352))을 θ방향으로 임의의 각도만큼 고정밀도로 회전시키는 것이 가능하다. 또한, 미세 조정 플레이트(356)에 X방향용의 직선식의 이동 기구(10x)와, Y방향용의 직선식의 이동 기구(10y)가 설치되어 있고, 각각의 테이블(30)이 미세 조정 플레이트(356)의 표면에 고정되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10x)를 동작시킴으로써 미세 조정 플레이트(356)(및 파지부(352))를 X방향으로 임의의 거리만큼 고정밀도로 이동시킬 수 있고, 마찬가지로 이동 기구(10y)를 동작시킴으로써 미세 조정 플레이트(356)(및 파지부(352))를 Y방향으로 임의의 거리만큼 고정밀도로 이동시키는 것이 가능하다. 따라서, 도 14의 전자 부품 검사 장치(300)는 이동 기구(10θ), 이동 기구(10x), 이동 기구(10y)를 동작시킴으로써, 파지부(352)에서 파지한 전자 부품(1)의 자세를 미세 조정하는 것이 가능하다.

도 16은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 내장하여 구성된 송액 펌프(400)를 예시한 설명도이다. 도 16의 (a)에는 송액 펌프(400)를 상면에서 본 평면도가 도시되어 있고, 도 16의 (b)에는 송액 펌프(400)를 측면에서 본 단면도가 도시되어 있다. 도시되어 있는 바와 같이, 송액 펌프(400)는 직사각형 형상의 케이스(402) 내에 원판 형상의 로터(404)가 회전 가능하게 설치되어 있고, 케이스(402)와 로터(404)의 사이에는 약액 등의 액체가 내부를 유통하는 튜브(406)가 끼움 지지되어 있다. 또한, 튜브(406)의 일부는, 로터(404)에 설치된 볼(408)(폐색부)에 의해 찌부러져서 폐색된 상태가 되어 있다. 이로 인해, 로터(404)가 회전하면, 볼(408)이 튜브(406)를 찌부러뜨리는 위치가 이동하므로, 튜브(406)의 액체가 송액된다. 그리고, 로터(404)에 테이블(30)을 동일한 축으로 고정한 상태에서 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10)를 설치하면, 이동 기구(10)를 동작시킴으로써 로터(404)를 회전시킬 수 있다. 이렇게 하면, 매우 적은 양을 고정밀도로 송액하는 것이 가능해진다.

도 17은 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 내장한 인쇄 장치(500)를 예시한 사시도이다. 도시한 인쇄 장치(500)는 인쇄 매체(2)의 표면에 잉크를 분사하여 화상을 인쇄하는 소위 잉크젯 프린터이다. 또한, 인쇄 장치(500)가 인쇄하는 「화상」에는 문자, 도형, 회화, 모양, 사진 영상 등이 포함되는 것으로 한다. 인쇄 장치(500)는 대략 상자형의 외관 형상을 하고 있고, 전방면의 거의 중앙에는 배지 트레이(501)나 배출구(502)나 복수의 조작 버튼(505)이 설치되어 있다. 또한, 배면측에는 공급 트레이(503)가 설치되어 있다. 공급 트레이(503)에 인쇄 매체(2)를 세트하여 조작 버튼(505)을 조작하면, 공급 트레이(503)로부터 인쇄 매체(2)가 흡입되어 인쇄 장치(500)의 내부에서 인쇄 매체(2)의 표면에 화상이 인쇄된 후, 배출구(502)로부터 배출된다.

인쇄 장치(500)의 내부에는, 인쇄 매체(2) 상에서 주주사 방향으로 왕복 이동하는 인쇄 헤드(520)와, 인쇄 헤드(520)의 주주사 방향으로의 움직임을 가이드하는 가이드 레일(510)이 설치되어 있다. 또한, 도시한 인쇄 헤드(520)는 인쇄 매체(2) 상에 잉크를 분사하는 인자부(522)나, 인쇄 헤드(520)를 주주사 방향으로 주사하기 위한 주사부(524) 등으로 구성되어 있다. 인자부(522)의 저면측(인쇄 매체(2)를 향한 쪽)에는 복수의 분사 노즐이 설치되어 있고, 분사 노즐로부터 인쇄 매체(2)를 향하여 잉크를 분사할 수 있다. 또한, 주사부(524)에는 직선식의 이동 기구(10m, 10s)가 탑재되어 있다. 이로 인해, 이동 기구(10m)을 동작시킴으로써 인쇄 헤드(520)를 주주사 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 기구(10s)를 동작시킴으로써, 인자부(522)의 저면측을 인쇄 매체(2)에 가까이 하거나, 인쇄 매체(2)로부터 멀어지게 하는 것이 가능하다. 또한, 인쇄 장치(500)에는 롤지(504)를 절단하기 위한 절단 기구(530)도 탑재되어 있다. 절단 기구(530)는 용지 커터(536)를 선단에 탑재한 커터 홀더(534)와, 커터 홀더(534)를 관통하여 주주사 방향으로 연장된 가이드축(532)을 구비하고 있다. 커터 홀더(534) 내에는 직선식의 이동 기구(10c)가 탑재되어 있고, 이동 기구(10c)를 동작시키면 커터 홀더(534)가 가이드축(532)을 따라서 주주사 방향으로 이동하고, 용지 커터(536)가 롤지(504)를 절단한다. 또한, 인쇄 매체(2)를 종이 이송하기 위해서 이동 기구(10)를 사용하는 것도 가능하다.

도 18은 본 실시예의 이동 기구(10)를 내장한 전자 시계(600)의 내부 구조를 예시한 설명도이다. 도 18에서는 전자 시계(600)의 시각 표시측과는 반대측(백커버측)에서 본 평면도가 도시되어 있다. 도 18에 예시한 전자 시계(600)의 내부에는, 원판 형상의 회전 원판(602)과, 회전 원판(602)의 회전을, 시각을 표시하는 지침(도시 생략)에 전달하는 기어열(604)과, 회전 원판(602)을 전동시키는 이동 기구(10)와, 전력 공급부(606)와, 수정 칩(608)과, IC610을 구비하고 있다. 또한, 전력 공급부(606)나 수정 칩(608), IC610은 도시하지 않은 회로 기판에 탑재되어 있다. 기어열(604)은 도시하지 않은 래칫을 포함하는 복수의 기어로 구성되어 있고, 인접하는 기어 간에 이를 맞물리게 하여 순차 회전을 전달하도록 배열되어 있다. 또한, 도면이 복잡해지는 것을 피하기 위해서, 도 18에서는 기어의 첨단부(tip)를 연결한 선을 가는 일점 쇄선에서 나타내고 있고, 기어의 근부(root)를 연결한 선을 굵은 실선으로 나타내고 있다. 따라서, 굵은 실선 및 가는 일점 쇄선에 의한 이중의 원형은 기어를 나타내고 있게 된다. 또한, 첨단부를 나타내는 가는 일점 쇄선에 대해서는 전체 둘레를 표시하지 않고, 다른 기어로 맞물리는 부분의 주변만을 표시하고 있다.

회전 원판(602)에는 동일한 축에 작은 기어(602g)가 설치되어 있고, 이 기어(602g)가 기어열(604)로 맞물려져 있다. 이로 인해, 회전 원판(602)의 회전은 소정의 비율로 감속되면서 기어열(604)을 전해진다. 그리고, 이 기어의 회전이 시각을 나타내는 지침에 전달되어 시각을 표시한다. 그리고, 회전 원판(602)에 테이블(30)을 동일한 축으로 고정한 상태에서 제5 변형예의 회전식의 이동 기구(10)를 설치하면, 이동 기구(10)를 동작시킴으로써 회전 원판(602)을 회전시킬 수 있다.

도 19는 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 내장한 투영 장치(700)를 예시한 설명도이다. 도시되어 있는 바와 같이, 투영 장치(700)는 광학 렌즈를 포함한 투영부(702)를 구비하고 있고, 내장하는 광원(도시 생략)으로부터의 광을 투영함으로써 화상을 표시한다. 그리고, 투영부(702)에 포함되는 광학 렌즈의 초점을 맞추기 위한 조정 기구(704)에 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 사용해도 된다. 이동 기구(10)는 위치 결정의 분해능이 높으므로, 광학 렌즈를 이동시켜서 미묘한 포커싱을 행할 수 있다. 또한, 광원으로부터의 광을 투영하지 않는 동안에는, 렌즈 커버(706)로 투영부(702)의 광학 렌즈를 덮음으로써 광학 렌즈에 흠집이 나는 것을 방지할 수 있다. 이 렌즈 커버(706)를 개폐하기 위하여 본 실시예 또는 변형예의 이동 기구(10)를 사용할 수도 있다.

이상, 본 발명의 이동 기구나, 이동 기구를 탑재한 각종 장치에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기의 실시예나 변형예, 적용예에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 형태로 실시하는 것이 가능하다.

예를 들어, 상술한 실시예에서는, 내홈(42) 및 외홈(48)의 단면 형상이 V자형으로 형성되어 있었다. 그러나, 내홈(42) 및 외홈(48)의 단면 형상은 이것에 한정되지는 않고, 볼(44) 등의 전동체가 전동 가능하게 끼움 지지되는 형상이면 된다. 예를 들어, 반원 형상으로 해도 된다. 동일한 크기의 볼(44)을 사용할 경우, 반원 형상의 홈이면, V자형의 홈에 비하여 홈의 깊이는 얕아도 되므로, 홈을 형성하는 가공 비용을 억제할 수 있고, 또한, 형성하는 홈의 깊이에 제약이 있을 경우(예를 들어, 안내 레일(40)의 두께의 확보가 곤란한 경우)에서도 볼(44)을 받는 홈을 형성하는 것이 가능해진다.

또한, 상술한 실시예에서는, 내홈(42)과 외홈(48)의 사이에 복수의 볼(44)이 전동체로서 삽입되어 있었다. 그러나, 내홈(42)과 외홈(48)의 사이에서 전동하여 테이블(30)을 원활하게 이동시킬 수 있는 전동체이면, 볼(44)에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 내홈(42) 및 외홈(48)을 따라서 원통형의 롤러를 교대로 직교시켜서 배열하는 크로스 롤러로 해도 된다. 크로스 롤러는, 롤러가 홈에 선 접촉함으로써, 볼(44)(홈에 점 접촉)을 사용하는 경우에 비해 고하중에 견딜 수 있으므로, 크로스 롤러를 사용하면, 이동 기구(10)의 강성을 높일 수 있다.

또한, 상술한 실시예 및 변형예에서는, 지지체(20)와 테이블(30)의 배치 관계가 상하 방향(연직 방향)으로 되어 있었지만, 이것에 한정되지는 않고, 예를 들어 좌우 방향(수평 방향)이어도 된다. 이와 같이, 지지체(20)와 테이블(30)의 배치 관계를 바꿈으로써 이동 기구(10)의 레이아웃의 자유도가 증가하므로, 이동 기구(10)의 배치 스페이스에 제약이 있는 경우나, 복수의 이동 기구(10)를 조합하는 경우에서도 적응이 용이해진다.

또한, 상술한 실시예에서는, 지지체(20)와 테이블(30)의 사이에 1쌍의 안내 레일(40) 및 레일 받침(46)이 설치되어 있었지만, 도 20에 도시된 바와 같이, 2쌍 이상의 안내 레일(40) 및 레일 받침(46)을 설치하는 것으로 해도 된다. 도 20에 나타낸 예에서는, 테이블(30)의 하면(지지체(20)와 마주 향하는 면)에 2개의 안내 레일(40)이 이동 방향과 평행하게 설치되어 있고, 이들 2개의 안내 레일(40)은 이동 방향과 직교하는 방향으로 이격되어 배치되어 있다. 또한, 지지체(20)의 상면(테이블(30)과 마주 향하는 면)에는, 테이블(30)측의 2개의 안내 레일(40)에 대응해서 2개의 레일 받침(46)이 이동 방향과 평행하게 설치되어 있다. 이와 같이 복수조의 안내 레일(40) 및 레일 받침(46)을 설치함으로써, 각 조에 가해지는 하중을 경감시킴과 함께 이동 기구(10)의 강성을 높일 수 있다.

1 : 전자 부품
2 : 인쇄 매체
10 : 이동 기구
20 : 지지체
22 : 지주
24 : 종벽
30 : 테이블
32 : 수압면
34 : 수압면
40 : 안내 레일
42 : 내홈
44 : 볼
46 : 레일 받침
48 : 외홈
50 : 수압체
60 : 안내축
62 : 내홈
66 : 베어링
68 : 외홈
100 : 압전 모터
110 : 진동체
112 : 볼록부
114 : 표면 전극
120 : 부세 스프링
200 : 로봇 핸드
201 : 공구
202 : 기체
203 : 손가락부
204 : 손목
210 : 아암
212 : 링크부
220 : 관절부
250 : 로봇
260 : 로봇
262 : 헤드부
263 : 카메라
264 : 본체부
266 : 제어부
268 : 캐스터
300 : 전자 부품 검사 장치
310 : 기체
312d : 하류측 스테이지
312u : 상류측 스테이지
314 : 촬상 장치
316 : 검사체
318 : 제어 장치
330 : 지지체
334 : 아암부
338 : 촬상 카메라
350 : 파지 장치
352 : 파지부
354 : 회전축
356 : 미세 조정 플레이트
400 : 송액 펌프
402 : 케이스
404 : 로터
406 : 튜브
408 : 볼
500 : 인쇄 장치
501 : 배지 트레이
502 : 배출구
503 : 공급 트레이
505 : 조작 버튼
510 : 가이드 레일
520 : 인쇄 헤드
522 : 인자부
524 : 주사부
600 : 전자 시계
602 : 회전 원판
602g : 기어
604 : 기어열
606 : 전지
608 : 수정 칩
610 : IC
700 : 투영 장치
702 : 투영부
704 : 조정 기구
706 : 렌즈 커버

Claims

소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동(轉動)하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세(付勢; biased)된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
소정의 위치에 설치되고, 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽의 상기 진동체가 부세되는 부분에는, 대략 직육면체 형상으로 형성된 수압체(受壓體)가, 상기 진동체가 접촉하는 면과 상기 부세 방향이 수직이 되는 자세로 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
제3항에 있어서,
상기 수압체는, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 상기 수압체가 매립되는 측보다도 경도가 높은 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
복수의 손가락부와,
상기 손가락부가 이동 가능하게 입설(立設)된 기체(基體)와,
상기 기체에 대하여 상기 손가락부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드.
복수의 손가락부와,
상기 손가락부가 이동 가능하게 입설된 기체와,
상기 기체에 대하여 상기 손가락부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구와,
상기 전자 부품을 검사하는 검사부
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 파지한 상기 파지부를 이동시키는 이동 기구와,
상기 전자 부품을 검사하는 검사부
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치.
액체가 유동 가능한 튜브와,
상기 튜브에 접촉하여 상기 튜브를 폐색하는 폐색부와,
상기 폐색부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 송액 펌프.
액체가 유동 가능한 튜브와,
상기 튜브에 접촉하여 상기 튜브를 폐색하는 폐색부와,
상기 폐색부를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 송액 펌프.
매체에 화상을 인쇄하는 인쇄 헤드와,
상기 인쇄 헤드를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
매체에 화상을 인쇄하는 인쇄 헤드와,
상기 인쇄 헤드를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
광을 발생시키는 광원과,
광학 렌즈를 포함하고, 상기 광을 투영하는 투영부와,
상기 광학 렌즈를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 투영 장치.
광을 발생시키는 광원과,
광학 렌즈를 포함하고, 상기 광을 투영하는 투영부와,
상기 광학 렌즈를 이동시키는 이동 기구
를 구비하고,
상기 이동 기구는,
소정의 위치에 설치되고, 상기 이동 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 투영 장치.
소정의 위치에 설치되고, 반송 장치를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
소정의 위치에 설치되고, 반송 장치를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 지지체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체측에 한 쌍으로 설치되고, 상기 제1 홈에 마주보게 하여 형성된 제2 홈과,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에 설치되고, 상기 이동체의 이동에 따라서 전동하는 복수의 전동체와,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈 사이에서 전동하는 상기 전동체를 포함하고, 상기 이동 방향에 평행한 이동축과,
압전 재료를 포함하여 진동을 발생 가능하고, 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽에 대하여 부세된 상태에서 어느 다른 쪽에 지지되는 진동체
를 구비하고,
상기 이동축은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향과 교차하는 방향으로 이격되어 2열 설치되고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 마주 향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 마주 향하는 방향에 대하여 교차하고, 또한, 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈의 위치 관계는, 상기 2열의 이동축의 한쪽과 다른 쪽에서 반대이고,
상기 진동체는, 상기 2열의 이동축을 포함하는 이동면과는 이격된 위치에서 상기 지지체 또는 상기 이동체 중 어느 한쪽으로 부세되고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 이동면에 평행하며 또한 상기 이동 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 대하여 교차하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향을 포함하는 면에 평행하고,
상기 지지체 또는 상기 이동체를 상기 가압하는 부분은 상기 면과는 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 기구.
손가락부와,
상기 손가락부가 이동 가능하게 입설된 기체와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 기체가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 대하여 교차하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드.
손가락부와,
상기 손가락부가 이동 가능하게 입설된 기체와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 기체가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향을 포함하는 면에 평행하고,
상기 지지체 또는 상기 이동체를 상기 가압하는 부분은 상기 면과는 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 핸드.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 파지부가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 대하여 교차하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 파지부가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향을 포함하는 면에 평행하고,
상기 지지체 또는 상기 이동체를 상기 가압하는 부분은 상기 면과는 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 검사하는 검사부와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 파지부가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향은, 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 대하여 교차하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향에 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치.
전자 부품을 파지하는 파지부와,
상기 전자 부품을 검사하는 검사부와,
이동 가능한 기구를 지지하는 지지체와,
상기 파지부가 구비되고, 상기 지지체에 대하여 소정의 이동 방향으로 이동 가능하게 배치된 이동체와,
상기 지지체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성된 제1 홈과,
상기 이동체에 설치되고, 상기 이동 방향과 평행하게 형성되고, 상기 제1 홈과 대향하는 위치에 형성된 제2 홈과,
상기 지지체에 배치되어 상기 이동체를 가압 가능, 또는, 상기 이동체에 배치되어서 상기 지지체를 가압 가능하게 부세된 진동체
를 구비하고,
상기 진동체가 부세되는 부세 방향은, 상기 제1 홈과 상기 제2 홈이 대향하는 방향 및 상기 지지체와 상기 이동체가 대향하는 방향을 포함하는 면에 평행하고,
상기 지지체 또는 상기 이동체를 상기 가압하는 부분은 상기 면과는 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 검사 장치.