TW201400254A - 移動機構、機器人手部、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、送液泵、印刷裝置、投影裝置、搬送裝置 - Google Patents

移動機構、機器人手部、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、送液泵、印刷裝置、投影裝置、搬送裝置 Download PDF

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Abstract

本發明包括：支撐體；移動體，其係可相對於支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於支撐體上，且與移動方向平行地形成；第2槽，其設置於移動體上，與移動方向平行地形成，且形成於與第1槽對向之位置；及振動體，其配置於支撐體上而可按壓移動體地被賦能，或配置於移動體上而可按壓支撐體地被賦能；且第1槽與第2槽對向之方向係對支撐體與移動體對向之方向交叉，振動體被賦能之賦能方向係與第1槽與第2槽對向之方向及支撐體與移動體對向之方向交叉。藉此，可抑制移動體相對於支撐體晃動。

Description

移動機構、機器人手部、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、送液泵、印刷裝置、投影裝置、搬送裝置
本發明係關於一種移動機構、機器人手部、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、送液泵、印刷裝置、投影裝置、搬送裝置。
已知有搭載有使平台等移動體相對於支撐體於特定方向移動之移動機構的各種機器。例如，於專利文獻1之機器人中，於與移動方向平行地設置之軌道與自兩側夾著軌道而嵌合之軌道支座之間插入有複數個滾動體(滾珠)，而形成與移動方向平行之兩列滾珠導件。於如此以兩列滾珠導件支撐移動體之移動機構中，藉由滾珠滾動，可使移動體順暢地移動。
又，近年來，作為移動機構之驅動部，已知有採用有壓電馬達者(例如專利文獻2)。若壓電馬達對包含壓電材料之振動體施加電壓，則會使振動體產生伸縮方向之振動及彎曲方向之振動。因此，若使振動體之伸縮方向之端部為對移動體賦能之狀態，則可藉由彎曲方向之振動而摩擦驅動移動體。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利實開平5-16172號公報
[專利文獻2]日本專利特開平11-271480號公報
然而，若於如專利文獻1般以兩列滾珠導件支撐移動體之移動機構中採用專利文獻2之構成，且設為振動體對移動體賦能之狀態，則存在有時於移動體產生晃動之問題。
本發明係為了解決先前技術所具有的上述課題之至少一部分而完成者，其目的在於提供一種可抑制使用振動體驅動之移動體之晃動的移動機構。
為了解決上述課題之至少一部分，本發明之第1移動機構採用有如下構成。即，本發明之第1移動機構之特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或 上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
此處，所謂「相對於移動面而傾斜之方向」，係設為不包含平行於移動面之方向或垂直於移動面之方向者。
上述本發明之第1移動機構中，若振動體支撐於支撐體側，則移動體受到振動體之賦能力，若振動體支撐於移動體側，則移動體於與振動體之賦能方向相反之方向受到反作用力。又，由於振動體之賦能方向相對於移動面而傾斜，因此移動體所受到之賦能力或反作用力中包含平行於移動面之成分及垂直於移動面之成分。藉由移動體受到平行於移動面之力，而於兩列移動軸中之一方之移動軸中，於平行於移動面之方向上第1槽與第2槽之間隔縮短，從而由第1槽及第2槽挾持滾動體。又，於另一方之移動軸中，雖然第1槽與第2槽之間隔擴大，但藉由移動體受到垂直於移動面之力而產生以一方之移動軸為旋轉軸使移動體旋轉之力矩，因此由第1槽及第2槽沿垂直於移動面之方向挾持滾動體。其結果，可抑制移動體之晃動。
又，本發明之第1移動機構亦可以如下態樣加以理解。即，作為其他態樣之本發明之第1移動機構之特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀； 第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向交叉於上述支撐體與上述移動體相向之方向，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述圓環狀之移動軸之移動面而傾斜。
上述移動機構中，藉由移動體受到平行於移動面之力，而於相對於圓環狀之移動軸之中心為對稱之兩個部位中之一部位中，於平行於移動面之方向上第1槽與第2槽之間隔縮短，從而由第1槽及第2槽挾持滾動體。又，於另一部位中，雖然第1槽與第2槽之間隔擴大，但藉由移動體受到垂直於移動面之力而產生以一部位為軸使移動體旋轉之力矩，從而由第1槽及第2槽沿垂直於移動面之方向挾持滾動體。其結果，可抑制移動體之晃動。
又，為了解決上述課題之至少一部分，本發明之第2移動機構採用如下構成。即，本發明之第2移動機構之特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成； 第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於交叉於上述支撐體與上述移動體相向之方向的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之第2移動機構中，若振動體支撐於支撐體側，則移動體受到振動體之賦能力，若振動體支撐於移動體側，則移動體於與振動體之賦能方向相反之方向受到反作用力。而且，藉由與移動面平行地振動體被賦能，而於兩列移動軸中之一方之移動軸中，於平行於移動面之方向上第1槽與第2槽之間隔縮短，從而由第1槽及第2槽挾持滾動體。又，於另一方之移動軸中，雖然第1槽與第2槽之間隔擴大，但藉由移動體於自移動面隔開之位置上受到平行於移動面之力而產生以一方之移動軸為旋轉軸使移動體旋轉之力矩，因此由第1槽及第2槽沿垂直於移動面之方向挾持滾動體。其結果，可抑制移動體之晃動。
又，本發明之第2移動機構亦可以如下態樣加以理解。即，作為其他態樣之本發明之第2移動機構之特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀；第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向交叉於上述支撐體與上述移動體相向之方向，上述振動體於與包含上述圓環狀之移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述移動機構中，藉由與移動面平行地振動體被賦能，而於相對於圓環狀之移動軸之中心為對稱之兩個部位中之一部位中，於平行於移動面之方向上第1槽與第2槽之間隔縮短，從而由第1槽及第2槽挾持滾動體。又，於另一部位中，雖然第1槽與第2槽之間隔擴大，但藉由移動體於自移動面隔開之位置上受到平行於移動面之力而產生以一部位為軸使移動體旋轉之力矩，從而由第1槽及第2槽沿垂直於移動面 之方向挾持滾動體。其結果，可抑制移動體之晃動。
又，上述本發明之移動機構中，亦可於支撐體或移動體中之任一者之振動體被賦能之部分，以振動體被賦能之面與賦能方向垂直之姿勢嵌入有形成為大致長方體形狀之受壓體。
如此一來，即便振動體被相對於支撐體或移動體傾斜地賦能，受壓體亦不會因賦能力而走開(受壓體之位置沿平行於移動面之方向偏移)，從而可將振動體之驅動力適當地傳遞至受壓體而使移動體相對於支撐體精度佳地移動。
又，於上述本發明之移動機構中，受壓體亦可由硬度高於支撐體或移動體中之嵌入受壓體之側之材料形成。
如此一來，可抑制受壓體因作用於振動體與受壓體之間之摩擦力而磨損。其結果，即便長期使用，亦可抑制移動體之移動精度降低。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種機器人手部，其特徵在於包括：複數個手指部；基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；及移動機構，其使上述手指部相對於上述基體而移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨 著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之機器人手部中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高利用手指部握持對象物之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種機器人手部，其特徵在於包括：複數個手指部；基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；及移動機構，其使上述手指部相對於上述基體而移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成； 複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之機器人手部中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高利用手指部握持對象物之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；及移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成； 第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之電子零件搬送裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高搬送電子零件之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；及移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成； 第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之電子零件搬送裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高搬送電子零件之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；及檢查部，其檢查上述電子零件；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構； 移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之電子零件檢查裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高檢查電子零件之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；及檢查部，其檢查上述電子零件；且上述移動機構包括： 支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之電子零件檢查裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高檢查電子零件之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種送液泵，其特徵在於包括：管，其可供流動液體； 閉塞部，其抵接於上述管而閉塞上述管；及移動機構，其使上述閉塞部移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之送液泵中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高輸送管內之液體之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種送液泵，其特徵在於包括： 管，其可供流動液體；閉塞部，其抵接於上述管而閉塞上述管；及移動機構，其使上述閉塞部移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之送液泵中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提 高輸送管內之液體之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種印刷裝置，其特徵在於包括：印刷頭，其對媒體印刷圖像；及移動機構，其使上述印刷頭移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之印刷裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可 提高印刷圖像之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種印刷裝置，其特徵在於包括：印刷頭，其對媒體印刷圖像；及移動機構，其使上述印刷頭移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述 移動方向。
上述本發明之印刷裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高印刷圖像之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種投影裝置，其特徵在於包括：光源，其產生光；投影部，其包含光學透鏡，且投影上述光；及移動機構，其使上述光學透鏡移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反， 上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之投影裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高調整利用光學透鏡投影光之狀態之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種投影裝置，其特徵在於包括：光源，其產生光；投影部，其包含光學透鏡，且投影上述光；及移動機構，其使上述光學透鏡移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向交叉於上述支撐體與上述移動體相向之方向，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移 動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之投影裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高調整利用光學透鏡投影光之狀態之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種搬送裝置，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐搬送裝置；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反， 上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之搬送裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高搬送對象物之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種搬送裝置，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐搬送裝置；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向相向的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述 移動方向。
上述本發明之搬送裝置中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高搬送對象物之精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種機器人，其特徵在於包括：臂部，其設置有可旋動之關節部；手部，其設置有上述臂部；本體部，其設置有上述臂部；及旋動機構，其設置於上述關節部，且使上述關節部旋動；且上述旋動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述旋動機構；移動體，其相對於上述支撐體而旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀；第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述圓環狀之移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之機器人中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高機器人之動作精度。再者，手部例如可作為進行如下動作之手部，即進行握持對象物之動作、或進行螺絲擰緊等之螺絲擰緊動作、塗裝動作、焊接動作等。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種機器人，其特徵在於包括：臂部，其設置有可旋動之關節部；手部，其設置有上述臂部；本體部，其設置有上述臂部；及旋動機構，其設置於上述關節部，且使上述關節部旋動；且上述旋動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述旋動機構；移動體，其相對於上述支撐體而旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀；第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體中之任一者賦能之狀態支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，上述振動體於與包含上述圓環狀之移動軸之移動面隔開之位置 上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之機器人中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高機器人之動作精度。再者，手部例如可作為進行如下動作之手部，即進行握持對象物之動作、或進行螺絲擰緊等之螺絲擰緊動作、塗裝動作、焊接動作等。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子鐘，其特徵在於包括：旋轉圓板，其係於同軸上設置有齒輪，且可旋動；齒輪列，其係包含複數個齒輪而構成；指針，其連接於上述齒輪列且指示時刻；及旋動機構，其使上述旋轉圓板旋動；且上述旋動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述旋動機構；移動體，其相對於上述支撐體而旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀；第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內 側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述圓環狀之移動軸之移動面而傾斜。
上述本發明之電子鐘中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高電子鐘之動作精度。
又，本發明亦可以如下態樣加以理解。即，本發明亦可理解為一種電子鐘，其特徵在於包括：旋轉圓板，其係於同軸上設置有齒輪，且可旋動；齒輪列，其係包含複數個齒輪而構成；指針，其連接於上述齒輪列且指示時刻；及旋動機構，其使上述旋轉圓板旋動；且上述旋動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述旋動機構；移動體，其相對於上述支撐體而旋轉移動；第1槽，其設置於上述支撐體側，且形成為圓環狀；第2槽，其設置於上述移動體側，且與上述第1槽相向而形成為圓環狀；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且為圓環狀；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述第1槽及上述第2槽係另一方之圓環位於一方之圓環之內側，且上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動 體相向之方向交叉，上述振動體於與包含上述圓環狀之移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
上述本發明之電子鐘中，由於可抑制移動體之晃動，因此可提高電子鐘之動作精度。
1‧‧‧電子零件
2‧‧‧印刷媒體
10‧‧‧移動機構
10m、10s‧‧‧直線式移動機構
10x‧‧‧移動機構
10y‧‧‧移動機構
10θ‧‧‧移動機構
20‧‧‧支撐體
22‧‧‧支柱
24‧‧‧縱壁
30‧‧‧平台
32‧‧‧受壓面
34‧‧‧受壓面
40‧‧‧導軌
42‧‧‧內槽
44‧‧‧滾珠
46‧‧‧軌道支座
48‧‧‧外槽
50‧‧‧受壓體
60‧‧‧導軸
62‧‧‧內槽
66‧‧‧軸承
68‧‧‧外槽
100‧‧‧壓電馬達
102‧‧‧振動體殼體
104‧‧‧收容殼體
106‧‧‧側壓彈簧
108‧‧‧滾輪
110‧‧‧振動體
112‧‧‧凸部
114‧‧‧表電極
114a‧‧‧表電極
114b‧‧‧表電極
114c‧‧‧表電極
114d‧‧‧表電極
120‧‧‧賦能彈簧
200‧‧‧機器人手部
201‧‧‧工具
202‧‧‧基體
203‧‧‧手指部
204‧‧‧手腕
210‧‧‧臂部
212‧‧‧連桿部
220‧‧‧關節部
250‧‧‧機器人
260‧‧‧機器人
262‧‧‧頭部
263‧‧‧相機
264‧‧‧本體部
266‧‧‧控制部
268‧‧‧腳輪
300‧‧‧電子零件檢查裝置
310‧‧‧基體
312d‧‧‧下游側載台
312u‧‧‧上游側載台
314‧‧‧攝像裝置
316‧‧‧檢查體
318‧‧‧控制裝置
330‧‧‧支撐體
332‧‧‧Y載台
334‧‧‧臂部
336‧‧‧X載台
338‧‧‧攝像機
350‧‧‧握持裝置
352‧‧‧握持部
354‧‧‧旋轉軸
356‧‧‧微調板
400‧‧‧送液泵
402‧‧‧殼體
404‧‧‧轉子
406‧‧‧管
408‧‧‧滾珠
500‧‧‧印刷裝置
501‧‧‧排紙托盤
502‧‧‧排出口
503‧‧‧進紙托盤
504‧‧‧卷紙
505‧‧‧操作按鈕
510‧‧‧導軌
520‧‧‧印刷頭
522‧‧‧列印部
524‧‧‧掃描部
530‧‧‧切割機構
532‧‧‧導軸
534‧‧‧刀架
536‧‧‧裁紙刀
600‧‧‧電子鐘
602‧‧‧旋轉圓板
602g‧‧‧齒輪
604‧‧‧齒輪列
606‧‧‧電池
608‧‧‧水晶晶片
610‧‧‧IC
700‧‧‧投影裝置
702‧‧‧投影部
704‧‧‧調整機構
706‧‧‧透鏡蓋
圖1(a)、(b)係表示本實施例之移動機構之構成的立體圖。
圖2係表示壓電馬達之內部結構之剖面圖。
圖3(a)-(c)係表示壓電馬達之動作原理之說明圖。
圖4係於垂直於移動方向之平面中截取的本實施例之移動機構之剖面圖。
圖5係概念性地表示以本實施例之移動機構抑制平台之晃動的說明圖。
圖6係表示第1變形例之移動機構之構成的剖面圖。
圖7係表示第2變形例之移動機構之構成的剖面圖。
圖8(a)、(b)係表示第3變形例之移動機構之構成的剖面圖。
圖9(a)、(b)係表示第4變形例之移動機構之構成的剖面圖。
圖10(a)、(b)係表示第5變形例之移動機構之構成的說明圖。
圖11係例示組入有本實施例或變形例之移動機構之機器人手部的說明圖。
圖12係例示包括機器人手部之單臂機器人之說明圖。
圖13係例示包括機器人手部之雙臂機器人之說明圖。
圖14係例示組入本實施例或變形例之移動機構而構成之電子零件檢查裝置的立體圖。
圖15係關於內置於握持裝置中之微調機構之說明圖。
圖16(a)、(b)係例示組入有本實施例或變形例之移動機構之送液泵的說明圖。
圖17係例示組入有本實施例或變形例之移動機構之印刷裝置的立體圖。
圖18係例示組入有本實施例或變形例之移動機構之電子鐘的說明圖。
圖19係例示組入有本實施例或變形例之移動機構之投影裝置的立體圖。
圖20係表示設置有兩組導軌及軌道支座之例之說明圖。
圖1係表示本實施例之移動機構10之構成的立體圖。於圖1(a)中表示本實施例之移動機構10之整體圖，於圖1(b)中表示分解圖。如圖1(a)所示，本實施例之移動機構10包括支撐體20、相對於支撐體20於特定之移動方向移動之平台30及驅動平台30之壓電馬達100等。於本實施例中，於支撐體20之上方設置有平台30，且於平台30側安裝有壓電馬達100。再者，圖中之粗線箭頭表示平台30之移動方向，平台30可自圖中之近前側向遠側移動，或自遠側向近前側移動。又，本實施例之平台30相當於本發明之「移動體」。
如圖1(b)所示，平台30為大致矩形之平板形狀，且自其下表面(與支撐體20相向之面)垂直設置有導軌40。導軌40係與移動方向平行地設置，且於該導軌40之兩側面形成有V字剖面之內槽42。再者，本實施例之內槽42相當於本發明之「第2槽」。
支撐體20係形成為大致矩形之平板形狀，且於其上表面(與平台30相向之面)自兩側夾著導軌40而豎立設置有一對軌道支座46。於軌道支座46之內壁面上形成有與導軌40之內槽42相向之V字剖面之外槽 48。又，於支撐體20之上表面，與軌道支座46平行地嵌入有大致長方體形狀之受壓體50。再者，本實施例之外槽48相當於本發明之「第1槽」。
於導軌40之內槽42與軌道支座46之外槽48之間插入有複數個滾珠44。該等複數個滾珠44於支撐體20與平台30之間形成有兩列滾珠導件，藉由滾珠44沿內槽42及外槽48滾動，平台30相對於支撐體20而順暢地移動。再者，本實施例之滾珠44相當於本發明之「滾動體」。
於壓電馬達100中內置有包含壓電材料而形成之振動體110。振動體110係形成為長方體形狀，且於長度方向之端面設置有圓柱形狀之凸部112。
圖2係表示壓電馬達100之內部結構之剖面圖。如圖所示，振動體110於使凸部112突出之狀態下保持於振動體殼體102內，且該振動體殼體102以可向凸部112突出之方向(X方向)移動之態樣收容於收容殼體104中。於振動體殼體102之側面(朝向與X方向正交之方向(Y方向)之面)之一側與收容殼體104之間設置有沿Y方向對振動體殼體102賦能之側壓彈簧106。又，於振動體殼體102之側面之另一側(設置有側壓彈簧106之側之相反側)與收容殼體104之間設置有沿X方向滾動之滾輪108。因此，振動體殼體102可一方面被限制向Y方向移動，另一方面沿X方向順暢地移動。進而，於與設置有滾輪108之側相同之側設置有賦能彈簧120，該賦能彈簧120沿X方向(設置有凸部112之側)對振動體殼體102賦能。而且，如圖1所示，於組裝有移動機構10之狀態下，將振動體110之凸部112向支撐體20之受壓體50賦能，且對壓電馬達100之振動體110施加電壓，藉此可驅動平台30。
圖3係表示壓電馬達100之動作原理之說明圖。如圖3(a)所示，於內置於壓電馬達100中之振動體110之外側之側面，將該側面縱橫2分割(合計4分割)地形成有4個矩形形狀之表電極114a~d。再者，於無 需區分4個表電極114a~d之情形時，有時將該等簡稱為表電極114。又，雖省略圖示，但於振動體110之背側之側面，遍及該側面之大致整面而形成有背電極。於以固定週期對振動體110之表電極114施加電壓時，振動體110之凸部112進行橢圓運動，藉此，壓電馬達100動作。振動體110之凸部112進行橢圓運動係由如下原因引起。
首先，眾所周知，包含壓電材料之振動體110具有施加正電壓便伸張之性質。因此，如圖3(a)所示，若重複進行對所有4個表電極114施加正電壓後解除施加電壓之動作，則振動體110沿長度方向重複伸縮之動作。將如此般振動體110沿長度方向重複伸縮之動作稱為「伸縮振動」。以下，將振動體110伸縮之方向(圖中之±X方向)稱為「伸縮方向」。又，若改變施加正電壓之頻率，則於成為某特定頻率時伸縮量急劇變大，產生一種共振現象。因伸縮振動而產生共振之頻率(共振頻率)取決於振動體110之物性及振動體110之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)。
又，如圖3(b)或圖3(c)所示，將相互位於對角線位置之2個表電極114作為一組(表電極114a及表電極114d之組，或表電極114b及表電極114c之組)，且以固定週期施加正電壓。如此一來，振動體110重複如長度方向之前端部(設置有凸部112之部分)在圖面上於左右方向擺動頭部般之動作。例如，如圖3(b)所示，若以固定週期對表電極114a及表電極114d之組施加正電壓，則振動體110重複長度方向之前端部於右方向移動之動作。又，如圖3(c)所示，若以固定週期對表電極114b及表電極114c之組施加正電壓，則振動體110重複長度方向之前端部向左方向移動之動作。將此種振動體110之動作稱為「彎曲振動」。以下，將振動體110彎曲振動之方向(圖中之±Y方向)稱為「彎曲方向」。此種彎曲振動亦存在取決於振動體110之物性及振動體110之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)之共振頻率。因此，若以其共振頻率對相互位 於對角線位置之2個表電極114施加正電壓，則振動體110沿彎曲方向大幅度地擺動頭部而振動。
此處，圖3(a)所示之伸縮振動之共振頻率、圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振動之共振頻率均取決於振動體110之物性或振動體110之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)。因此，只要適當選擇振動體110之尺寸(寬度W、長度L、厚度T)，即可使2個共振頻率一致。繼而，若以共振頻率對此種振動體110施加如圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振動之形態之電壓，則於產生圖3(b)或圖3(c)所示之彎曲振動之同時，亦會因共振而誘發圖3(a)之伸縮振動。其結果，於以圖3(b)所示之態樣對表電極114a及表電極114d之組施加電壓之情形時，振動體110之前端部(設置有凸部112之部分)在圖面上進行繞順時針方向描繪橢圓之動作(橢圓運動)。又，於以圖3(c)所示之態樣對表電極114b及表電極114c之組施加電壓之情形時，振動體110之前端部會於圖面上進行繞逆時針方向之橢圓運動。再者，於以上說明中，乃說明對振動體110施加正電壓者。然而，眾所周知，壓電材料亦會因施加負電壓而變形。因此，可藉由對振動體110施加負電壓而產生彎曲振動(及伸縮振動)，亦可藉由施加如重複正電壓及負電壓之交變電壓而產生彎曲振動(及伸縮振動)。又，於上述說明中，乃說明施加共振頻率之電壓者。但只要施加包含共振頻率之波形之電壓便足夠，例如亦可為脈衝狀之電壓。
壓電馬達100利用此種橢圓運動而驅動平台30。即，如圖1所示，壓電馬達100使振動體110之短邊方向(彎曲方向)與移動方向一致而固定於平台30側，振動體110之凸部112於向支撐體20之受壓體50被賦能之狀態下產生橢圓運動。如此一來，凸部112重複如下動作：於振動體110伸長時，於向受壓體50被賦能之狀態下向彎曲方向中之任一方向移動，而於振動體110收縮時，於自受壓體50離開之狀態下返回至原位置。其結果，藉由作用於受壓體50與凸部112之間之摩擦 力，平台30相對於支撐體20向彎曲方向(移動方向)中之任一另一方向移動。
如根據以上所說明之壓電馬達100之動作原理而明瞭般，固定於平台30側之壓電馬達100必需預先設為將振動體110之凸部112向支撐體20側(受壓體50)賦能之狀態。因此，平台30受到將凸部112向受壓體50賦能之力(賦能力)之反作用力，從而存在受到此種反作用力而導致平台30產生晃動之情形。因此，於本實施例之移動機構10中，藉由以如下方式對振動體110之凸部112賦能而抑制平台30之晃動。
圖4係於垂直於移動方向之平面中截取的本實施例之移動機構10之剖面圖。如上所述，於形成於平台30側之導軌40上之內槽42與形成於支撐體20側之軌道支座46上之外槽48之間插入有複數個滾珠44，藉由該等複數個滾珠44而於支撐體20與平台30之間形成與移動方向平行之兩列滾珠導件。藉由複數個滾珠44沿兩列滾珠導件滾動，平台30相對於支撐體20而順暢地移動。以下，將包含兩列滾珠導件之平面稱為「移動面」。再者，為了滾珠44之順暢之滾動，於滾珠44與內槽42或外槽48之間設置有若干遊隙(間隙)。
又，安裝於平台30之側面之壓電馬達100係使內置之振動體110之短邊方向(彎曲方向)與移動方向一致，且使上端側(設置有凸部112之側之相反側)向平台30側傾斜而固定。進而，振動體110藉由賦能彈簧120而於長度方向(伸縮方向)上被賦能，成為將凸部112向支撐體20之受壓體50賦能之狀態。因此，將振動體110之凸部112向受壓體50賦能之方向(賦能方向)正交於移動方向，且相對於移動面以特定之角度(圖示之例中為75度)傾斜。
再者，本實施例之受壓體50係形成為大致長方體形狀，且於上表面(振動體110之凸部112所抵接之面)正交於賦能方向之狀態下嵌入於支撐體20中。藉此，受壓體50之位置不會偏移，又，可於凸部112 與受壓體50之間效率佳地產生摩擦力。此外，於本實施例之移動機構10中，支撐體20由塑膠材料形成，相對於此，受壓體50由陶瓷材料或金屬材料等硬度高於塑膠材料之材料形成。因此，可抑制受壓體50因作用於凸部112與受壓體50之間之摩擦力而磨損。
此處，平台30因振動體110之凸部112被向受壓體50賦能而於賦能方向之相反方向上受到反作用力。該反作用力中包含平行於移動面之圖中左方向之成分及垂直於移動面之圖中上方向之成分。而且，藉由平台30受到平行於移動面之反作用力，於兩列滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件中，滾珠44與內槽42及外槽48之間之遊隙(間隙)縮短，從而成為由內槽42及外槽48挾持滾珠44之狀態。
另一方面，於靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中，雖然內槽42與外槽48之間隔擴大，但藉由平台30受到垂直於移動面之反作用力，而產生以圖中左側之間隙縮短之滾珠導件為軸使平台30向上方旋轉之力矩，從而成為由內槽42之下端側及外槽48之上端側挾持滾珠44之狀態。
如上所述，於本實施例之移動機構10中，藉由相對於移動面而傾斜地對振動體110之凸部112賦能，而將兩列滾珠導件中之一滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且以該一滾珠導件為軸產生轉矩，從而於另一滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
又，於本實施例之移動機構10中，平台30受到反作用力之位置成為如下位置，該位置相對於成為旋轉之軸之圖中左側之滾珠導件(滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短之側之滾珠導件)，而更遠離圖中右側之滾珠導件(內槽42與外槽48之間隔擴大之側之滾珠導件)，從而產生較大之轉矩。因此，即便對平台30施加負荷等外力，平台30亦 不易產生晃動。
圖5係概念性地表示以本實施例之移動機構10抑制平台30之晃動的說明圖。首先，以使平台30相對於支撐體20而移動，且於特定位置(距起點200μm之位置)對平台30進行定位之方式控制壓電馬達100。此時，於平台30通過特定位置之情形時，使平台30向反方向移動，且計測至與特定位置之誤差達到特定範圍(±3μm)所需之移動時間。重複進行此種平台30之移動動作，且將移動時間與耗費該移動時間之移動次數(頻度)之關係示於圖5之圖表中。圖中之實線表示利用本實施例之移動機構10進行移動動作之情形，圖中之單點虛線係作為比較例而表示利用賦能方向(將振動體110之凸部112向受壓體50賦能之方向)垂直於移動面之移動機構10進行移動動作之情形。於賦能方向相對於移動面而傾斜之本實施例之移動機構10中，藉由平台30之晃動得以抑制，平台30之定位所需之移動時間之差異(偏差)小於比較例。
以下，對上述本實施例之移動機構10之變形例進行說明。再者，於說明變形例時，對與上述實施例同樣之構成部分標註與前文所說明之實施例同樣之符號，且省略其詳細說明。
圖6係表示第1變形例之移動機構10之構成的剖面圖。於第1變形例之移動機構10中，自支撐體20之上表面(與平台30相向之面)立接有導軌40，且自平台30之下表面(與支撐體20相向之面)垂直設置有自兩側夾著導軌40之一對軌道支座46。而且，於形成於導軌40之兩側面之內槽42與形成於軌道支座46之內壁面之外槽48之間插入複數個滾珠44，而形成有兩列滾珠導件。再者，第1變形例之內槽42相當於本發明之「第1槽」，第1變形例之外槽48相當於本發明之「第2槽」。
又，安裝於平台30之側面之壓電馬達100係使上端側(設置有凸部112之側之相反側)向平台30之相反側傾斜而固定，且將振動體110之凸部112向受壓體50賦能之方向(賦能方向)相對於包含兩列滾珠導件 之移動面而傾斜。再者，受壓體50係以上表面正交於賦能方向之方式嵌入於支撐體20中。
平台30於振動體110之凸部112之賦能方向之相反方向上受到反作用力，該反作用力中包含平行於移動面之圖中右方向之成分及垂直於移動面之圖中上方向之成分。而且，藉由平行於移動面之反作用力，兩列滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且藉由垂直於移動面之反作用力而產生以圖中左側之滾珠導件為軸使平台30向上方旋轉之力矩，從而於靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中亦可由內槽42之上端側及外槽48之下端側挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
又，以第1變形例之平台30之上表面(與支撐體20相向之面之相反側之面)於平台30藉由轉矩旋轉之狀態下與支撐體20平行之方式，對平台30之下表面賦予有旋轉程度之傾斜。藉此，可保持平台30之上表面上所載置之載置物之水平。
圖7係表示第2變形例之移動機構10之構成的剖面圖。於上述實施例中，係將壓電馬達100固定於平台30側，且將振動體110之凸部112向支撐體20側賦能之構成，相對於此，於第2變形例之移動機構10中，係將壓電馬達100固定於支撐體20側，且將振動體110之凸部112向平台30側賦能之構成。
如圖7所示，第2變形例之壓電馬達100係安裝於自支撐體20之上表面(朝向平台30之面)豎立設置之支柱22上，且使上端側(設置有凸部112之側之相反側)向平台30之相反側傾斜而固定。而且，內置於壓電馬達100中之振動體110藉由賦能彈簧120之賦能力而將凸部112向平台30之上表面(朝向支撐體20之面之相反側之面)賦能，且其被賦能之方向(賦能方向)相對於移動面而傾斜。再者，於平台30之上表面之凸部112被賦能之位置形成有正交於賦能方向之受壓面32。
如此，第2變形例之平台30直接受到振動體110之凸部112之賦能力。該賦能力中包含平行於移動面之圖中左方向之成分及垂直於移動面之圖中下方向之成分。而且，藉由平行於移動面之力，兩列滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且藉由垂直於移動面之力而產生以圖中左側之滾珠導件為軸使平台30向下方旋轉之力矩，從而於靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
圖8係表示第3變形例之移動機構10之構成的剖面圖。於上述實施例中，係將平台30設置於支撐體20之上方之構成，相對於此，於第3變形例之移動機構10中，係將平台30設置於支撐體20之下方之構成。
於圖8(a)中表示使實施例之移動機構10(參照圖4)之上下反轉而相對於支撐體20懸掛平台30之狀態。安裝於平台30之側面之壓電馬達100係使下端側(設置有凸部112之側之相反側)向平台30側傾斜而固定，且將振動體110之凸部112向受壓體50賦能之方向(賦能方向)相對於包含兩列滾珠導件之移動面而傾斜。平台30於振動體110之凸部112之賦能方向之相反方向上受到反作用力，該反作用力包含平行於移動面之圖中左方向之成分及垂直於移動面之圖中下方向之成分。而且，藉由平行於移動面之力，兩列滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且藉由垂直於移動面之力而產生以圖中左側之滾珠導件為軸使平台30向下方旋轉之力矩，從而於靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
又，於如圖8(a)般相對於支撐體20懸掛平台30之構成中，由於平台30之荷重附加於轉矩上，且作用於由內槽42及外槽48強力挾持滾珠 44之方向，因此於抑制平台30之晃動方面較佳。
於圖8(b)中表示將壓電馬達100固定於支撐體20側、且將振動體110之凸部112向平台30側賦能之構成作為圖8(a)之其他例。安裝於支撐體20之側面之壓電馬達100係使上端側(設置有凸部112之側之相反側)向支撐體20之相反側傾斜而固定，且將振動體110之凸部向嵌入於平台30之上表面(與支撐體20相向之面)之受壓體50賦能之方向(賦能方向)相對於移動面而傾斜。平台30受到振動體110之凸部112之賦能力，該賦能力中包含平行於移動面之圖中左方向之成分及垂直於移動面之圖中下方向之成分。而且，藉由平行於移動面之力，兩列滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且藉由垂直於移動面之力而產生以圖中左側之滾珠導件為軸使平台30向下方旋轉之力矩，從而於靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
圖9係表示第4變形例之移動機構10之構成的剖面圖。於上述實施例中，係相對於移動面而傾斜地對振動體110之凸部112賦能之構成，相對於此，於第4變形例之移動機構10中，係與移動面平行地對振動體110之凸部112賦能之構成。
於圖9(a)中表示將壓電馬達100固定於支撐體20側，且將振動體110之凸部112向平台30側賦能之構成。壓電馬達100係安裝於自支撐體20之上表面(朝向平台30之面)豎立設置之支柱22上，且使振動體110之長度方向(伸縮方向)與移動面平行而固定。振動體110藉由賦能彈簧120之賦能力而將凸部112向平台30之側面賦能，且其被賦能之方向(賦能方向)與移動面平行。
平台30直接受到振動體110之凸部112之賦能力，該賦能力不包含垂直於移動面之成分，僅包含平行於移動面之圖中左方向之成分。藉 由平台30受到平行於移動面之賦能力，於兩列滾珠導件中之靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件中，滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短。又，平台30雖然不會受到垂直於移動面之賦能力，但在自移動面隔開之上方之位置上受到平行於移動面之賦能力，藉此，產生以圖中右側之滾珠導件為軸使平台30向下方旋轉之力矩，從而於遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
於圖9(b)中表示於相對於支撐體20懸掛平台30之狀態下將壓電馬達100固定於平台30側、且將振動體110之凸部112向支撐體20側賦能之構成作為圖9(a)之其他例。壓電馬達100安裝於平台30之下表面(與支撐體20相向之面之相反側之面)。又，自支撐體20之下表面(與平台30相向之面)垂直設置有縱壁24，振動體110藉由賦能彈簧120之賦能力而將凸部112向縱壁24賦能。平台30在自移動面隔開之下方之位置上受到平行於移動面之圖中左方向之反作用力。藉此，兩列滾珠導件中之靠近壓電馬達100之側(圖中右側)之滾珠導件之滾珠44與內槽42及外槽48之間隙縮短，且產生以圖中右側之滾珠導件為軸使平台30向上方旋轉之力矩，從而於遠離壓電馬達100之側(圖中左側)之滾珠導件中亦可由內槽42及外槽48挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
圖10係表示第5變形例之移動機構10之構成的說明圖。於圖10(a)中以立體圖表示外觀形狀，於圖10(b)中以剖面圖表示內部結構。於上述實施例中，係使平台30相對於支撐體20而直線移動(移動方向為直線方向)之構成，相對於此，於第5變形例之移動機構10中，係使平台30相對於支撐體20而旋轉移動之構成。
如圖10(a)所示，第5變形例之平台30係形成為圓板形狀，且設置於支撐體20之上方。又，壓電馬達100係安裝於自支撐體20之上表面 (與平台30相向之面)豎立設置之支柱22上，內置於壓電馬達100中之振動體110藉由賦能彈簧120之賦能力而將凸部112向平台30之上表面(與支撐體20相向之面之相反側之面)賦能。
如圖10(b)所示，自平台30之下表面(朝向支撐體20之面)垂直設置有圓柱形狀之導軸60，且於導軸60之外周面形成有V字剖面之內槽62(第2槽)。另一方面，於支撐體20之上表面(與平台30相向之面)豎立設置有可供導軸60插入之圓筒形狀之軸承66，且於軸承66之內周面形成有與導軸60之內槽62相向之V字剖面之外槽68(第1槽)。於導軸60之內槽62與軸承66之外槽68之間插入有複數個滾珠44，該等複數個滾珠44於支撐體20與平台30之間形成有環狀之滾珠導件。藉由滾珠44沿內槽62及外槽68滾動，平台30相對於支撐體20而順暢地旋轉移動。
安裝於支撐體20側之支柱22上之壓電馬達100係使上端側(設置有凸部112之側之相反側)向平台30之相反側傾斜而固定，且將振動體110之凸部112向平台30之上表面賦能之方向(賦能方向)傾斜於包含環狀之滾珠導件之移動面。再者，於平台30之上表面之凸部112被賦能之位置形成有正交於賦能方向之受壓面34。
平台30直接受到振動體110之凸部112之賦能力，該賦能力中包含平行於移動面之圖中右方向之成分及垂直於移動面之圖中下方向之成分。於環狀之滾珠導件中之遠離壓電馬達100之側(圖中右側)之部分中，藉由平行於移動面之力而使滾珠44與內槽62及外槽68之間隙縮短。又，於環狀之滾珠導件之靠近壓電馬達100之側(圖中左側)之部分中，雖然內槽62與外槽68之間隔擴大，但藉由垂直於移動面之力而產生以滾珠導件之圖中右側之部分為軸使平台30向下方旋轉之力矩，從而由內槽62之上端側及外槽68之下端側挾持滾珠44。其結果，可抑制平台30之晃動。
由於上述本實施例之移動機構10或變形例之移動機構10可抑制 平台30之晃動而使平台30精度佳地移動，因此可作為如下裝置之移動機構而較佳地組入。
圖11係例示組入有本實施例或變形例之移動機構10之機器人手部200的說明圖。圖示之機器人手部200係自基體202豎立設置有複數根手指部203，且經由手腕204與臂部210連接。此處，手指部203之根部之部分可於基體202內移動，且於在該手指部203之根部之部分固定有平台30之狀態下搭載有直線式移動機構10。因此，藉由使移動機構10動作(使平台30移動)，可使手指部203移動而握持對象物。又，於手腕204之部分搭載有第5變形例之旋轉式移動機構10。因此，藉由使移動機構10動作，可使基體202整體旋轉。
圖12係例示包括機器人手部200(手部)之單臂機器人250之說明圖。如圖所示，機器人250具有臂部210(臂部)，該臂部210(臂部)包括複數根連桿部212(連桿構件)及將該等連桿部212之間以可彎曲之狀態加以連接之關節部220。又，機器人手部200連接於臂部210之前端。而且，於關節部220中內置有第5變形例之旋轉式移動機構10。因此，藉由使移動機構10動作，可使各關節部220以任意角度程度彎曲(旋動)。
圖13係例示包括機器人手部200之雙臂機器人260之說明圖。如圖所示，機器人250具有複數根(圖示之例中為2根)臂部210，該臂部210包括複數根連桿部212及將該等連桿部212之間以可彎曲之狀態加以連接之關節部220。於臂部210之前端連接有機器人手部200或工具201(手部)。又，於頭部262中搭載有複數個相機263，且於本體部264之內部搭載有對整體之動作進行控制之控制部266。進而，藉由設置於本體部264之底面之腳輪268，可進行搬送。於該機器人260中，亦於關節部220中內置有第5變形例之旋轉式移動機構10。因此，藉由使移動機構10動作，可使各關節部220以任意角度程度彎曲(旋動)。
圖14係例示組入本實施例或變形例之移動機構10而構成之電子零件檢查裝置300的立體圖。圖示之電子零件檢查裝置300大體上包括基體310及豎立設置於基體310之側面之支撐體330。於基體310之上表面設置有載置並搬送檢查對象之電子零件1之上游側載台312u、及載置並搬送已檢查完畢之電子零件1之下游側載台312d。又，於上游側載台312u與下游側載台312d之間設置有用以確認電子零件1之姿勢之攝像裝置314、及為了檢查電氣特性而放置電子零件1之檢查體316(檢查部)。再者，作為電子零件1之代表性者，可列舉：「半導體」、或「半導體晶圓」、「CLD(Chemiluminescence Detector，化學發光偵測器)或OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極體)等顯示裝置」、「水晶裝置」、「各種感測器」、「噴墨頭」、「各種MEMS(Microelectromechanical System，微機電系統)裝置」等。
又，於支撐體330上，可於與基體310之上游側載台312u及下游側載台312d平行之方向(Y方向)移動地設置有Y載台332，且自Y載台332沿朝向基體310之方向(X方向)延伸設置有臂部334。又，於臂部334之側面，可沿X方向移動地設置有X載台336。而且，於X載台336上設置有攝像機338及內置有可沿上下方向(Z方向)移動之Z載台之握持裝置350。又，於握持裝置350之前端設置有握持電子零件1之握持部352。進而，於基體310之前表面側亦設置有對電子零件檢查裝置300之整體之動作進行控制之控制裝置318。再者，於本實施例中，設置於支撐體330上之Y載台332、或臂部334、或X載台336、或握持裝置350對應於本發明之「電子零件搬送裝置」。
具有如上構成之電子零件檢查裝置300係以如下方式進行電子零件1之檢查。首先，將檢查對象之電子零件1放置於上游側載台312u上，且移動至檢查體316之附近。繼而，使移動Y載台332及X載台336動作，而使握持裝置350移動至載置於上游側載台312u上之電子零件1 之正上方之位置。此時，可使用攝像機338確認電子零件1之位置。繼而，使用內置於握持裝置350內之Z載台而使握持裝置350下降，且利用握持部352握持電子零件1後，直接使握持裝置350移動至攝像裝置314之上方，且使用攝像裝置314確認電子零件1之姿勢。繼而，使用內置於握持裝置350中之微調機構調整電子零件1之姿勢。繼而，使握持裝置350移動至檢查體316之上方之後，使內置於握持裝置350中之Z載台動作而將電子零件1放置於檢查體316上。由於使用握持裝置350內之微調機構調整電子零件1之姿勢，因此可將電子零件1放置於檢查體316之正確之位置。繼而，使用檢查體316檢查完畢電子零件1之電氣特性後，接著係再次自檢查體316拿起電子零件1，之後使Y載台332及X載台336動作，而使握持裝置350移動至下游側載台312d之上方，且將電子零件1放置於下游側載台312d上。其後，使下游側載台312d動作，而將結束檢查之電子零件1搬送至特定位置。
圖15係關於內置於握持裝置350中之微調機構之說明圖。如圖所示，於握持裝置350內設置有與握持部352連接之旋轉軸354、或可旋轉地安裝有旋轉軸354之微調板356等。又，微調板356可一面藉由未圖示之導軌機構導引，一面沿X方向及Y方向移動。
此處，如於圖15中標註斜線而表示般，於旋轉軸354上搭載有第5變形例之旋轉式移動機構10θ。因此，藉由使移動機構10θ動作，可使旋轉軸354(及握持部352)沿θ方向以任意角度程度而精度佳地旋轉。又，於微調板356上設置有X方向用直線式移動機構10x及Y方向用直線式移動機構10y，且各自之平台30固定於微調板356之表面。因此，藉由使移動機構10x動作，可使微調板356(及握持部352)沿X方向以任意距離程度而精度佳地移動，同樣，藉由使移動機構10y動作，可使微調板356(及握持部352)沿Y方向以任意距離程度而精度佳地移動。因此，圖14之電子零件檢查裝置300藉由使移動機構10θ、移動機 構10x、移動機構10y動作，可對由握持部352握持之電子零件1之姿勢進行微調。
圖16係例示組入本實施例或變形例之移動機構10而構成之送液泵400的說明圖。於圖16(a)中表示俯視送液泵400之平面圖，於圖16(b)中表示側視送液泵400之剖面圖。如圖所示，送液泵400係於矩形形狀之殼體402內可旋轉地設置有圓板形狀之轉子404，且於殼體402與轉子404之間挾持有化學液等液體流通過內部之管406。又，管406之一部分被設置於轉子404中之滾珠408(閉塞部)擠扁而成為閉塞之狀態。因此，當轉子404旋轉時，滾珠408擠扁管406之位置移動，故而可輸送管406之液體。而且，若於在轉子404中以同軸固定有平台30之狀態下設置第5變形例之旋轉式移動機構10，則可藉由使移動機構10動作而使轉子404旋轉。如此，可精度佳地輸送極少之量。
圖17係例示組入有本實施例或變形例之移動機構10之印刷裝置500的立體圖。圖示之印刷裝置500係對印刷媒體2之表面噴射油墨而印刷圖像之所謂噴墨印表機。再者，印刷裝置500所印刷之「圖像」包括文字、圖形、繪畫、圖樣、照片影像等。印刷裝置500係設為大致箱形之外觀形狀，且於前表面之大致中央設置有排紙托盤501、排出口502、及複數個操作按鈕505。又，於背面側設置有進紙托盤503。當將印刷媒體2放置於進紙托盤503且操作操作按鈕505時，自進紙托盤503吸入印刷媒體2，且於印刷裝置500之內部將圖像印刷至印刷媒體2之表面之後，自排出口502排出。
於印刷裝置500之內部設置有於印刷媒體2上沿主掃描方向往復移動之印刷頭520、及導引印刷頭520向主掃描方向移動之導軌510。又，圖示之印刷頭520包括將油墨噴射至印刷媒體2上之列印部522、或用以使印刷頭520沿主掃描方向掃描之掃描部524等。於列印部522之底面側(朝向印刷媒體2之側)設置有複數個噴嘴，可自噴嘴向印刷 媒體2噴射油墨。又，於掃描部524中搭載有直線式移動機構10m、10s。因此，藉由使移動機構10m動作，可使印刷頭520沿主掃描方向移動。又，藉由使移動機構10s動作，可使列印部522之底面側靠近印刷媒體2或遠離印刷媒體2。又，於印刷裝置500中亦搭載有用以切割卷紙504之切割機構530。切割機構530包括於前端搭載有裁紙刀536之刀架534、及貫通刀架534而沿主掃描方向延伸設置之導軸532。於刀架534內搭載有直線式移動機構10c，當使移動機構10c動作時，刀架534沿導軸532而於主掃描方向上移動，從而使裁紙刀536切割卷紙504。又，為了送進印刷媒體2，亦可使用移動機構10。
圖18係例示組入有本實施例之移動機構10之電子鐘600之內部結構的說明圖。於圖18中表示自電子鐘600之時刻顯示側之相反側(背蓋側)觀察之俯視圖。於圖18所例示之電子鐘600之內部具備圓板形狀之旋轉圓板602、將旋轉圓板602之旋轉傳遞至顯示時刻之指針(省略圖示)的齒輪列604、使旋轉圓板602旋轉移動之移動機構10、電力供給部606、水晶晶片608及IC(Integrated Circuit，積體電路)610。又，電力供給部606、或水晶晶片608、IC610係搭載於未圖示之電路基板上。齒輪列604由包含未圖示之棘輪之複數個齒輪構成，且以使相鄰之齒輪彼此之齒嚙合而依序傳導旋轉之方式排列。再者，為了避免圖示變得繁雜，於圖18中，以較細之單點虛線表示連接齒輪之齒尖而成之線，以較粗之實線表示連接齒輪之齒根而成之線。因此，由較粗之實線及較細之單點虛線所組成之雙層圓形表示齒輪。又，表示齒尖之較細之單點虛線並未顯示全周，僅顯示與其他齒輪嚙合之部分之周邊。
於旋轉圓板602上同軸地設置有較小之齒輪602g，且該齒輪602g與齒輪列604嚙合。因此，旋轉圓板602之旋轉一面以特定之比率減速一面於齒輪列604中傳遞。而且，該齒輪之旋轉傳遞至表示時刻之指 針而顯示時刻。而且，若於在旋轉圓板602上以同軸固定有平台30之狀態下設置第5變形例之旋轉式移動機構10，則可藉由使移動機構10動作而使旋轉圓板602旋轉。
圖19係例示組入有本實施例或變形例之移動機構10之投影裝置700的說明圖。如圖所示，投影裝置700具備包含光學透鏡之投影部702，且藉由投影來自內置之光源(省略圖示)之光而顯示圖像。而且，亦可將本實施例或變形例之移動機構10使用於用以對投影部702中所包含之光學透鏡之焦點進行對焦之調整機構704。移動機構10由於定位之解析度較高，因此可使光學透鏡移動而進行微細之對焦。又，於不投影來自光源之光期間，可藉由利用透鏡蓋706覆蓋投影部702之光學透鏡而防止光學透鏡損傷。為了開閉該透鏡蓋706，亦可使用本實施例或變形例之移動機構10。
以上，對本發明之移動機構、或搭載有移動機構之各種裝置進行了說明，但本發明並不限定於上述實施例、或變形例、應用例，而可於不脫離其主旨之範圍內以各種態樣加以實施。
例如，於上述實施例中，內槽42及外槽48之剖面形狀係形成為V字型。但內槽42及外槽48之剖面形狀並不限定於此，只要為可滾動地挾持滾珠44等滾動體之形狀即可。例如，亦可設為半圓形狀。於使用相同大小之滾珠44之情形時，若為半圓形狀之槽，則與V字型之槽相比，槽之深度可較淺，因此可抑制形成槽之加工成本，又，即便於所形成之槽之深度受到制約之情形(例如，難以確保導軌40之厚度之情形)時，亦可形成容納滾珠44之槽。
又，於上述實施例中，係於內槽42與外槽48之間插入有複數個滾珠44作為滾動體。但只要為可於內槽42與外槽48之間滾動而使平台30順暢地移動的滾動體，則並不限於滾珠44。例如，亦可設為使圓筒形之滾輪沿內槽42及外槽48交替正交而排列之交叉滾子。交叉滾子藉 由滾輪線接觸於槽，與使用滾珠44(點接觸於槽)之情形相比，可承受高荷重，因此若使用交叉滾子，則可提高移動機構10之剛性。
又，於上述實施例及變形例中，雖然支撐體20與平台30之配置關係為上下方向(鉛垂方向)，但並不限定於此，例如，亦可為左右方向(水平方向)。如此，藉由改變支撐體20與平台30之配置關係，移動機構10之佈局之自由度增加，因此即便於移動機構10之配置空間受到制約之情形、或組合複數個移動機構10之情形時，適應亦變得容易。
又，於上述實施例中，雖然於支撐體20與平台30之間設置有一組導軌40及軌道支座46，但如圖20所示，亦可設置兩組以上之導軌40及軌道支座46。於圖20所示之例中，於平台30之下表面(與支撐體20相向之面)與移動方向平行地設置有2個導軌40，且該等2個導軌40係於與移動方向正交之方向上隔開而配置。又，於支撐體20之上表面(與平台30相向之面)對應於平台30側之2個導軌40而與移動方向平行地設置有2個軌道支座46。如此，藉由設置複數組導軌40及軌道支座46，可減輕施加於各組之荷重，並且提高移動機構10之剛性。
10‧‧‧移動機構
20‧‧‧支撐體
30‧‧‧平台
40‧‧‧導軌
42‧‧‧內槽
44‧‧‧滾珠
46‧‧‧軌道支座
48‧‧‧外槽
50‧‧‧受壓體
100‧‧‧壓電馬達
110‧‧‧振動體
112‧‧‧凸部

Claims (26)

  1. 一種移動機構，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  2. 一種移動機構，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平 行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  3. 如請求項1或2之移動機構，其中於上述支撐體或上述移動體之任一者之上述振動體被賦能之部分，以上述振動體所抵接之面與上述賦能方向垂直之姿勢嵌入有形成為大致長方體形狀之受壓體。
  4. 如請求項3之移動機構，其中上述受壓體由硬度高於上述支撐體或上述移動體中嵌入上述受壓體之側之材料形成。
  5. 一種機器人手部，其特徵在於包括：複數個手指部； 基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；及移動機構，其使上述手指部相對於上述基體而移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  6. 一種機器人手部，其特徵在於包括：複數個手指部；基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；及 移動機構，其使上述手指部相對於上述基體而移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  7. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；及 移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  8. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；及移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；且上述移動機構包括： 支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  9. 一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；及檢查部，其檢查上述電子零件；且 上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  10. 一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；移動機構，其使握持有上述電子零件之上述握持部移動；及檢查部，其檢查上述電子零件；且上述移動機構包括： 支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  11. 一種送液泵，其特徵在於包括：管，其可供流動液體；閉塞部，其抵接於上述管而閉塞上述管；及移動機構，其使上述閉塞部移動；且 上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  12. 一種送液泵，其特徵在於包括：管，其可供流動液體；閉塞部，其抵接於上述管而閉塞上述管；及移動機構，其使上述閉塞部移動；且上述移動機構包括： 支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  13. 一種印刷裝置，其特徵在於包括：印刷頭，其對媒體印刷圖像；及移動機構，其使上述印刷頭移動；且上述移動機構包括： 支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  14. 一種印刷裝置，其特徵在於包括：印刷頭，其對媒體印刷圖像；及移動機構，其使上述印刷頭移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動； 第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  15. 一種投影裝置，其特徵在於包括：光源，其產生光；投影部，其包含光學透鏡，且投影上述光；及移動機構，其使上述光學透鏡移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構； 移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  16. 一種投影裝置，其特徵在於包括：光源，其產生光；投影部，其包含光學透鏡，且投影上述光；及移動機構，其使上述光學透鏡移動；且上述移動機構包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐上述移動機構；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動； 第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  17. 一種搬送裝置，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐搬送裝置；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向 而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體被賦能之賦能方向相對於包含上述兩列移動軸之移動面而傾斜。
  18. 一種搬送裝置，其特徵在於包括：支撐體，其設置於特定之位置，且支撐搬送裝置；移動體，其相對於上述支撐體而於特定之移動方向移動；第1槽，其於上述支撐體側設置有一對，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其於上述移動體側設置有一對，且與上述第1槽相向而形成；複數個滾動體，其設置於上述第1槽與上述第2槽之間，且隨著上述移動體之移動而滾動；移動軸，其包含於上述第1槽與上述第2槽之間滾動之上述滾動體，且平行於上述移動方向；及振動體，其包含壓電材料而可產生振動，且以對上述支撐體 或上述移動體之任一者賦能之狀態受支撐於任一另一者；且上述移動軸於與上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉的方向上隔開而設置有兩列，上述第1槽與上述第2槽相向之方向係對上述支撐體與上述移動體相向之方向交叉，且上述第1槽及上述第2槽之位置關係於上述兩列移動軸之一者及另一者上相反，上述振動體於與包含上述兩列移動軸之移動面隔開之位置上，向上述支撐體或上述移動體之任一者賦能，上述振動體被賦能之賦能方向平行於上述移動面且交叉於上述移動方向。
  19. 一種移動機構，其特徵在於包括：支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其係可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述第1槽與上述第2槽對向之方向係對上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向係與上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉。
  20. 一種移動機構，其特徵在於包括：支撐體，其支撐可移動之機構； 移動體，其係可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述振動體被賦能之賦能方向平行於包含上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向之面，上述按壓上述支撐體或上述移動體之部分與上述面隔開。
  21. 一種機器人手部，其特徵在於包括：手指部；基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述基體，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述第1槽與上述第2槽對向之方向係對上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向係與上述第1槽與上述第2槽對 向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉。
  22. 一種機器人手部，其特徵在於包括：手指部；基體，其係可移動地豎立設置有上述手指部；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述基體，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述振動體被賦能之賦能方向平行於包含上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向之面，上述按壓上述支撐體或上述移動體之部分與上述面隔開。
  23. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述握持部，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦 能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述第1槽與上述第2槽對向之方向係對上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向係與上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉。
  24. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述握持部，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述振動體被賦能之賦能方向平行於包含上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向之面，上述按壓上述支撐體或上述移動體之部分與上述面隔開。
  25. 一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；檢查部，其檢查上述電子零件；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述握持部，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形 成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述第1槽與上述第2槽對向之方向係對上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉，上述振動體被賦能之賦能方向係與上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向交叉。
  26. 一種電子零件檢查裝置，其特徵在於包括：握持部，其握持電子零件；檢查部，其檢查上述電子零件；支撐體，其支撐可移動之機構；移動體，其具備上述握持部，且可相對於上述支撐體於特定之移動方向移動地配置；第1槽，其設置於上述支撐體上，且與上述移動方向平行地形成；第2槽，其設置於上述移動體上，與上述移動方向平行地形成，且形成於與上述第1槽對向之位置；及振動體，其配置於上述支撐體上而可按壓上述移動體地被賦能，或配置於上述移動體上而可按壓上述支撐體地被賦能；且上述振動體被賦能之賦能方向平行於包含上述第1槽與上述第2槽對向之方向、及上述支撐體與上述移動體對向之方向之面，上述按壓上述支撐體或上述移動體之部分與上述面隔開。
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