JP2022055150A - 振動型アクチュエータの制御装置及びそれを有する振動型駆動装置、電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 従来の振動型アクチュエータの制御装置と比較して、複数の振動型アクチュエータで採り得る駆動速度の範囲が縮小することを抑制する。【解決手段】 第１の振動体と第１の接触体とを有する第１の振動型アクチュエータの駆動を制御する第１の制御信号を出力し、第２の振動体と第２の接触体とを有する第２の振動型アクチュエータの駆動を制御する第２の制御信号を出力する制御部と、第１の制御信号に基づいて設定された、複数相の第１の交流電圧を出力し、第２の制御信号に基づいて設定された、複数相の第２の交流電圧を出力する駆動部と、を備え、制御部は、第１の制御信号及び第２の制御信号のそれぞれに基づいて、第１の交流電圧の位相差及び第２の交流電圧の位相差のそれぞれを個別に設定し、第１の交流電圧の周波数及び第２の交流電圧の周波数を共通に設定する、ことを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。【選択図】 図１

Description

本発明は、振動型アクチュエータの制御装置及びそれを有する振動型駆動装置、電子機器に関する。

従来から、振動体に生じた振動によって、振動体と接触する接触体が振動体に対して相対移動する振動型アクチュエータに関する様々な提案がされている。近年では、複数の振動型アクチュエータを有する装置で、複数の振動型アクチュエータが同時に駆動されることがある。複数の振動型アクチュエータが同時に駆動される際に、複数の振動型アクチュエータの間（振動型アクチュエータ間）で駆動周波数の差（駆動周波数差）が生じると、うなり音が発生してしまう。

特許文献１には、複数の超音波モータ（振動型アクチュエータ）を同時に駆動するにあたり、駆動周波数差によって生じるうなり音を低減するため、駆動周波数差を１０００Ｈｚより小さくなるようにアクチュエータ内蔵機器を構成することが記載されている。

特開平８－８００７６号公報

しかしながら、特許文献１に記載された発明では、複数の超音波アクチュエータ間の駆動周波数差を１０００Ｈｚより小さくなるようにする。そして、それにより、複数の超音波アクチュエータで採り得る駆動周波数の範囲が制限される結果、複数の超音波アクチュエータで採り得る駆動速度の範囲が縮小する。

本発明は、上記課題に鑑み、従来の振動型アクチュエータの制御装置と比較して、複数の振動型アクチュエータで採り得る駆動速度の範囲が縮小することを抑制することができる振動型アクチュエータの制御装置を提供するものである。

上記の目的を達成するため、本発明の請求項１は、第１の振動体と、前記第１の振動体と接触する第１の接触体と、を有する第１の振動型アクチュエータの駆動を制御する第１の制御信号を出力し、前記第１の振動体とは異なる第２の振動体と、前記第２の振動体と接触する、前記第１の接触体とは異なる第２の接触体と、を有する、前記第１の振動型アクチュエータとは異なる第２の振動型アクチュエータの駆動を制御する第２の制御信号を出力する制御部と、前記第１の制御信号に基づいて設定された、前記第１の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第１の交流電圧を出力し、前記第２の制御信号に基づいて設定された、前記第２の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第２の交流電圧を出力する駆動部と、を備え、前記制御部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の位相差及び前記第２の交流電圧の位相差のそれぞれを個別に設定し、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定する、ことを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置である。

本発明によれば、従来の振動型アクチュエータの制御装置と比較して、複数の振動型アクチュエータで採り得る駆動速度の範囲が縮小することを抑制することができる振動型アクチュエータの制御装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る、振動型駆動装置１５０の概略構成を示すブロック図である。 本発明の振動型駆動装置の制御装置が有する交流信号生成部から出力される交流信号（パルス信号）のパルス幅に関する説明図である。 本発明の第１実施形態に係る、制御量演算部から出力される制御量と、制御量により制御される位相差と、の関係、制御量演算部から出力される制御量と、振動型アクチュエータの駆動速度と、の関係を説明する図である。 本発明の振動型駆動装置を構成する制御装置が有する駆動部の概略構成を示すブロック図である。 本発明の第１実施形態の、位置制御をする場合の各パラメータの関係を示す図である。 本発明の第２実施形態の、位置制御をする場合の各パラメータの関係の示す図である。 本発明の振動型アクチュエータの、駆動周波数と駆動速度との関係を示す図である。 本発明の第３実施形態の制御方法に関する説明図である。 本発明の第３実施形態の別の制御方法に関する説明図である。 本発明の第４実施形態に係る、振動型駆動装置１５１の概略構成を示すブロック図である。 本発明の第４実施形態に係る、制御量演算部から出力される制御量と、制御量により制御される位相差と、の関係、制御量演算部から出力される制御量と、振動型アクチュエータの駆動速度と、の関係を説明する図である。 本発明の第４実施形態の、位置制御をする場合の各パラメータの関係を示す図である。 本発明の第５実施形態の制御方法に関する説明図である。 本発明の第６実施形態の複数の振動型アクチュエータの、位相差毎の駆動周波数と駆動速度との関係を示す図である。 本発明の振動型アクチュエータの概略構成を示す斜視図、振動体を構成する圧電素子の概略構造を示す平面図、振動体を構成する弾性体に励振される振動モードに関する説明図である。 図１５の振動体を構成する突起部の先端に励起される楕円運動を説明する図と、第１の振動モード及び第２の振動モードの振幅を説明する図と、振動型アクチュエータの駆動周波数と駆動速度との関係を示す図である。 本発明の第１実施形態に係る、振動型駆動装置を備えるレンズ駆動機構部の一部に関して概略構造を示す図である。 本発明の第７実施形態に係る、撮像装置（電子機器）の概略構成を示す平面図である。 本発明の第８実施形態に係る、振動型駆動装置を備える位置決め用ステージ装置の概略構造を示す斜視図である。 本発明の制御部における、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる否かを判定するフローチャートである。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。以下の説明において、「振動型駆動装置」は「振動型アクチュエータ」と「制御装置」とを含むものとし、「振動型アクチュエータ」は「振動体」と「接触体」とを含むものとし、「振動体」は「弾性体」と「電気－機械エネルギー変換素子」とを含むものとする。

＜第１実施形態＞
図１５（ａ）は、本発明の振動型アクチュエータの駆動装置を構成する第１実施形態に係る、振動型アクチュエータ１００の概略構成を示す斜視図である。

振動型アクチュエータ１００は、接触体１１１及び振動体１１５を備える。振動体１１５は、概ね、弾性体１１３と、電気－機械エネルギー変換素子である圧電素子１１４と、２つの突起部１１２を有する。弾性体１１３は、平板状で金属材料から成る。圧電素子１１４は、弾性体１１３の一方の面（第１の面）に接合されている。２つの突起部１１２は、弾性体１１３の他方の面（第１の面の反対側の第２の面）に設けられている。接触体１１１と振動体１１５の２つの突起部１１２とは、不図示の加圧手段によって加圧接触している。

図１５（ｂ）は、圧電素子１１４の概略構造を示す平面図である。図１５（ｃ）は、振動体１１５に励振される第１の振動モード（以下「モードＡ」と称呼する）を説明する図である。図１５（ｄ）は、振動体１１５に励振される第２の振動モード（以下「モードＢ」と称呼する）を説明する図である。

なお、振動体１１５において２つの突起部１１２を結ぶ方向をＸ方向、弾性体１１３の厚さ方向をＺ方向、Ｘ方向及びＺ方向と直交する方向をＹ方向と定義することとする。圧電素子１１４の一方の面には、図１５（ｂ）に示すように、Ｘ方向である長辺方向に２等分された２つの電極が形成されており、各電極における分極方向は同一方向（＋）となっている。

なお、圧電素子１１４の他方の面には、１つの共通電極（全面電極）が形成されている。圧電素子１１４の２つの電極領域のうち、図中右側の電極領域に交番電圧Ｖ２が印加され、図中左側の電極領域に交番電圧Ｖ１が印加される。交番電圧Ｖ１、Ｖ２をモードＡの共振周波数付近の周波数で、且つ、同位相の交番電圧とすると、圧電素子１１４全体（２つの電極領域）が、ある瞬間には伸び、別の瞬間には縮む。その結果、振動体１１５には、図１５（ｃ）に示すモードＡの振動が発生する。

また、交番電圧Ｖ１、Ｖ２をモードＢの共振周波数付近の周波数で、且つ、位相が１８０°ずれた交番電圧とすると、ある瞬間には、圧電素子１１４の図中右側の電極領域が縮むと共に図中左側の電極領域が伸びる。また、別の瞬間には逆の関係となる。

その結果、振動体１１５には、図１５（ｄ）に示すモードＢの振動が発生する。モードＡは、Ｘ方向と略平行に振動体１１５に２つの節が現れる一次の面外曲げ振動モードである。モードＢは、Ｙ方向と略平行に振動体１１５に３つの節が現れる二次の面外曲げ振動モードである。

図１６（ａ）は、突起部１１２の先端に励起される楕円振動を説明する図である。突起部１１２は、モードＡの振動の腹となる位置の近傍、且つ、モードＢの振動の節となる位置の近傍に配置されている。そのため、突起部１１２の先端は、モードＡの振動の節を支点として振り子運動を行ってＸ方向に往復運動すると共に、モードＢの振動によってＺ方向に往復運動する。よって、モードＡ、Ｂの振動位相差が±π／２近傍となるように同時に励振して重ね合わせることで、突起部１１２の先端面にＸＺ面内の楕円運動を生じさせることができる。

このとき、２つの突起部１１２と接触体１１１との間には加圧接触による摩擦力が働いているため、突起部１１２の楕円運動によって、振動体１１５と接触体１１１とをＸ方向に相対的に移動させる駆動力（推力）が発生する。つまり、突起部１１２は、接触体１１１を、振動体１１５に対して相対的に移動させるための駆動部として機能する。本実施形態（図１６）では、「接触体を、振動体に対して相対的に移動させる」とは、振動体が接触体以外の部材に固定され、接触体を移動させる（駆動する）ことである。しかし、「接触体を、振動体に対して相対的に移動させる」には、接触体が振動体以外の部材に固定され、振動体を移動させる（駆動する）ことでもよい。

以下、突起部１１２の先端に生じる図１６（ａ）の楕円運動のＺ方向振幅とＸ方向振幅の大きさの比を楕円運動の楕円比と定義する。また、以下の説明では、振動型アクチュエータ１００では、振動体１１５が固定されており、接触体１１１をＸ方向に駆動するものとする。

図１６（ｂ）は２相（複数相）の電圧Ｖ１、Ｖ２の位相差を－１８０度～１８０度で変化させた場合の第１の振動モード及び第２の振動モードの振幅を説明するためのグラフである。

分極された圧電素子１１４における２つの電極Ａ１、Ａ２に印加する２相の交流電圧Ｖ１、Ｖ２の位相差を－１８０度～１８０度に変化させた場合の、第１の振動モードと第２の振動モード（Ｐ２）の振幅は、それぞれ図１６（ｂ）のＰ１とＰ２に示すようになる。同図の横軸が位相差を示し、縦軸が第１の振幅モードと第２の振幅モードの振幅を示している。第１の振動モードと第２の振動モードの組み合わせにより突起部６に楕円運動が励起し、印加する交流電圧Ｖ１、Ｖ２の位相差を変更することにより、所定の突起部１１２の励起する楕円運動の楕円比を調整することができる。

図１６（ｂ）の下部に、横軸の位相差に応じた楕円形状を示す。そして、交流電圧Ｖ１、Ｖ２の位相差の正負の符号を切り替えることにより、直線的に駆動する振動型アクチュエータの駆動方向を切り替えることができる。さらに、位相差を任意の値から正負の符号を含めて連続的に切り替えることにより、振動型アクチュエータの駆動方向（接触体の、振動体に対する相対的な移動方向）と駆動速度（接触体の、振動体に対する相対的な速度）を連続的に変化させることが可能になる。位相差を任意の値から正負の符号を含めて連続的に切り替えるには、たとえば、位相差を正負の符号を含めて９０度から－９０度まで連続的に変更する。

図１６（ｃ）は、振動型アクチュエータ１００の、駆動周波数と駆動速度（接触体１１１の、振動体１１５に対する相対的な速度）との関係（駆動特性）を示す図である。駆動速度は、振動型アクチュエータ１００の共振周波数（ｆｍ）で駆動する場合にピークとなり、共振周波数（ｆｍ）よりも高周波側ではなだらかに低下し、共振周波数（ｆｍ）よりも低周波側では急激に低下する現象（以下、崖落ち現象と称呼する）が生じる。そこで、圧電素子１１４の駆動周波数を変更することによって、楕円比を保ちつつ、楕円振動の大きさを変更することができる。例えば、駆動周波数を振動型アクチュエータ１００の共振周波数に近付けることで、楕円振動を大きくして、駆動速度を上げることができる。

一方、印加する交流電圧の駆動周波数を振動型アクチュエータ１００の共振周波数から遠ざけることで、楕円振動を小さくして、駆動速度を下げることができる。また、駆動周波数を固定して、図１６（ｂ）のように楕円比を変えることで、駆動速度を制御することができる。このように、駆動周波数と位相差により、楕円振動の大きさと楕円比を変えることで、低速から高速まで幅広い駆動速度を制御することができる。

本発明の実施の形態では、図１５（ａ）に示す振動型アクチュエータ１００を複数駆動源としたカメラレンズ機構に関して説明する。デジタルビデオカメラやデジタルカメラ等で用いられているレンズ機構は通常複数のレンズ群で構成されている。複数のレンズ群は、鏡筒に対して固定されているレンズ群と移動可能なレンズ群からなっている。公知のデジタルビデオカメラやデジタルカメラ等においては、所定のレンズ群を光軸方向に移動させることにより、フォーカスを調整することを可能としている。また、上記とは別の所定のレンズ群を光軸方向に移動させることにより、ズーム倍率を変更することを可能としている。

図１７は、上述したような複数のレンズ群からなる、交換レンズやレンズ一体型撮像装置におけるレンズ機構を示しているが、説明を簡略化するために、フォーカス調整レンズ及びズーム倍率調整用レンズ以外に関しては図示を省略した。また、レンズ機構で必要とされる絞り等の機構に関しても図示及び説明を省略する。

図１７において、レンズ鏡筒１１９は、フォーカス調整用のレンズ（不図示）と、レンズを保持するレンズ保持部材Ａ１１６Ａ（第１の被駆動部材）、ガイド軸Ａ１１７Ａ、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ａ１１５Ａと接触する接触体Ａ１１１Ａを備える。また、ズーム調整用のレンズ（不図示）と、レンズを保持するレンズ保持部材Ｂ１１６Ｂ、ガイド軸Ｂ１１７Ｂ、振動体Ｂ１１５Ｂ、振動体Ｂ１１５Ｂと接触する接触体Ｂ１１１Ｂ（第２の被駆動部材）を備える。フォーカス調整用のレンズ及びズーム調整用のレンズは図示していないが、実際にはレンズ保持部材Ａ１１６Ａ及びレンズ保持部材Ｂ１１６Ｂに取り付いている。

ガイド軸Ａ１１７Ａ、ガイド軸Ｂ１１７Ｂはそれぞれ、レンズ保持部材Ａ１１６Ａ、レンズ保持部材Ｂ１１６Ｂに形成された穴に嵌合しており、レンズ保持部材Ａ１１６Ａ、レンズ保持部材Ｂ１１６Ｂの運動方向を規制している。また、図示はしていないが、レンズ保持部材と、振動体と接触体とを有する振動型アクチュエータと、の間には、駆動力伝達部材が設けられている。そして、駆動力伝達部材は、振動体Ａ１１５Ａ（第１の振動体）と接触体Ａ１１１Ａ（第１の接触体）とを有する振動型アクチュエータＡ１００Ａ（第１の振動型アクチュエータ）の動力を、レンズ保持部材Ａ１１６Ａに伝える役割を担っている。また、駆動力伝達部材は、振動体Ｂ１１５Ｂ（第２の振動体）と接触体Ｂ１１１Ｂ（第２の接触体）とを有する振動型アクチュエータＢ１００Ｂ（第２の振動型アクチュエータ）の動力を、レンズ保持部材Ｂ１１６Ｂに伝える役割を担っている。

図１は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動制御を同時に行う制御装置２００を有する振動型駆動装置１５０の概略構成を示すブロック図である。振動型アクチュエータ１００（振動体１１５、接触体１１１）については、図１５を参照して既に説明済みであるため、ここでの説明を省略する。

振動型駆動装置１５０は、制御装置２００、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂ、位置検出部Ａ１２０Ａ、位置検出部Ｂ１２０Ｂを有する。制御装置２００は、制御部２１０と駆動部２２０を有する。制御部２１０は、制御信号を出力する。具体的には、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動を制御する、制御信号としての第１の制御信号と、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動を制御する、制御信号としての第２の制御信号を出力する。また、駆動部２２０は、制御部２１０から出力された第１の制御信号に基づいて設定された、振動型アクチュエータＡ１００Ａを駆動する、駆動信号としての第１の交流信号（第１の交流電圧）を出力する。また、駆動部２２０は、制御部２１０から出力された第２の制御信号に基づいて設定された、振動型アクチュエータＢ１００Ｂを駆動する、駆動信号としての第２の交流信号（第２の交流電圧）を出力する。

制御部２１０は、指令位置生成部Ａ３０１Ａ（第１の位置指令部）、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂ（第２の位置指令部）を有する。また、制御部２１０は、制御量演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂ、位相差変換部Ａ３０３Ａ、位相差変換部Ｂ３０３Ｂ、周波数設定部３０４、パルス幅設定部３０５を有する。また、駆動部２２０は、交流信号生成部Ａ３０９Ａ、交流信号生成部Ｂ３０９Ｂ、昇圧部としての昇圧回路Ａ３１０Ａ、昇圧部としての昇圧部Ｂ３１０Ｂを有する。なお、制御部２１０は、所謂、マイクロコンピュータであり、演算装置（ＣＰＵ）やプログラムを格納するメモリ及びプログラムが展開される作業領域としてのメモリ等の電気部品から構成されている。そして、制御部２１０は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動を制御するための情報を有する信号（制御信号）を生成する。

位置検出部Ａ１２０Ａ、位置検出部Ｂ１２０Ｂは、例えば、エンコーダである。位置検出部Ａ１２０Ａは、接触体Ａ１１１Ａの相対位置（接触体Ａ１１１Ａの、振動体Ａ１１１５Ａに対する相対的な位置）を検出する。また、位置検出部Ｂ１２０Ｂは、接触体Ｂ１１１Ｂの相対位置（接触体Ｂ１１１Ｂの、振動体Ｂ１１５Ｂに対する相対的な位置）を検出する。指令位置生成部Ａ３０１Ａは、接触体Ａ１１１Ａを移動させるための指令位置Ａを生成する。また、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂは、接触体Ｂ１１１Ｂを移動させるための指令位置Ｂを生成する。

指令位置生成部Ａ３０１Ａの出力である指令位置Ａと位置検出部Ａ１２０Ａの出力（検出位置Ａ）との差（偏差Ａ）に関する信号が、制御量演算部Ａ３０２Ａに入力される。また、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂの出力である指令位置Ｂと位置検出部Ｂ１２０Ｂの出力（検出位置Ｂ）との差（偏差Ｂ）に関する信号が、制御演算部Ｂ３０２Ｂに入力される。「指令位置」とは、指令位置生成部により生成された接触体の相対位置である。また、「検出位置」とは、位置検出部により検出された接触体の相対位置である。

なお、指令位置Ａ、指令位置Ｂは共に、時間と共に変化する目標位置を指す。そして、指令位置Ａは、接触体Ａ１１１Ａを最終的な停止位置に移動させるための位置制御を行うために設定される。また、指令位置Ｂは、接触体Ｂ１１１Ｂを最終的な停止位置に移動させるための位置制御を行うために設定される。例えば、振動型アクチュエータの駆動速度（接触体の、振動体に対する相対的な速度）を加速させる加速期間、駆動速度を維持させる等速期間、駆動速度を減速させる減速期間の組み合わせから設定される。しかし、組合せはこれに限定されるものではなく、加速期間、減速期間の組み合わせから設定されてもよい。

制御量演算部Ａ３０２Ａは、振動体Ａ１１５Ａの制御量を演算する。また、制御量演算部Ｂ３０２Ｂは、振動体Ｂ１１５Ｂの制御量を演算する。「制御量」とは、目標となる駆動量（目標駆動量）や、目標となる駆動速度（目標速度）を制御する量である。制御量の絶対値と、振動型アクチュエータの目標駆動量や目標速度は比例する。制御量演算部Ａ３０２Ａから出力される制御量は、位相差変換部Ａ３０３Ａに入力される。また、制御量演算部Ｂ３０２Ｂから出力される制御量は、位相差変換部Ｂ３０３Ｂに入力される。

位相差変換部Ａ３０３Ａは、制御量演算部Ａ３０２Ａから取得した制御量を位相差に変換することで、振動体Ａ１１５Ａの突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円比を決定する。また、位相差変換部Ｂ３０３Ｂは、制御量演算部Ｂ３０２Ｂから取得した制御量を位相差に変換することで、振動体Ｂ１１５Ｂの突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円比を決定する。つまり、第１の制御信号及び第２の制御信号のそれぞれに基づいて、第１の交流電圧の位相差及び第２の交流電圧の位相差のそれぞれを個別に設定する。

位相差変換部Ａ３０３Ａにより変換される位相差（第１の交流電圧の位相差）は、振動体Ａ１１５Ａが有する圧電素子１１４に印加する交流電圧ＶＡ（第１の交流電圧）の位相差である。また、位相差変換部Ｂ３０３Ｂにより変換される位相差（第２の交流電圧の位相差）は、振動体Ｂ１１５Ｂが有する圧電素子１１４に印加する交流電圧ＶＢ（第２の交流電圧）の位相差である。

位相差には制限値が設定されており、位相差が制限値の範囲外であった場合には、位相差を制限値に設定する。この値は、±９０度の範囲で設定されるが、これに限定されるものではなく、±８０度や±１００度などの他の値であってもよい。なお、これについては、第２実施形態で詳細に説明する。

周波数設定部３０４は、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂの駆動周波数を共通に設定する（第１の交流電圧の周波数及び第２の交流電圧の周波数を共通に設定する）ことで、突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円の大きさを決定する。また、パルス幅設定部３０５は、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂのパルス幅を共通に設定する。そして、それにより、第１の交流電圧の電圧値、第２の交流電圧の電圧値を共通に設定し、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂの突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円の大きさを決定する。このとき、設定される第１の交流電圧の電圧値及び第２の交流電圧の電圧値は、交流電圧の最大値、実効値及び平均値のうちのいずれかであればよい。

位相差変換部Ａ３０３Ａの出力と、周波数設定部３０４の出力と、パルス幅設定部３０５の出力は、第１の制御信号を構成し、第１の制御信号として交流信号生成部Ａ３０９Ａへ入力される。また、位相差変換部Ｂ３０３Ｂの出力と、周波数設定部３０４の出力と、パルス幅設定部３０５の出力は、第２の制御信号を構成し、第２の制御信号として交流信号生成部Ｂ３０９Ｂへ入力される。交流信号生成部Ａ３０９Ａ、交流信号生成部Ｂ３０９Ｂは、例えば、スイッチングにより交流信号を生成するドライバ回路等である。

ここで、交流信号生成部Ａ３０９Ａ、交流信号生成部Ｂ３０９Ｂからそれぞれ出力される交流信号のパルス幅について、図２を用いて説明する。

図２（ａ）は、パルス幅が５０％の場合のＡ相パルス信号（第１のパルス信号）とＢ相パルス信号（第２のパルス信号）の時間変化を示している。時刻ｔ０～ｔ４の間が、振動型アクチュエータ１００を駆動する駆動周波数の１周期であり、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号はそれぞれ、周期の５０％（パルス幅）に相当する時間がＨｉレベルで出力されるパルス信号である。つまり、第１のパルス信号が有するパルス幅としての第１のパルス幅と、第２のパルス信号が有するパルス幅としての第２のパルス幅は共に、周期の５０％である。また、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号の位相差を＋９０度とした場合には、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号は、立ち上がりが１／４周期（時刻ｔ０と時刻ｔ１）だけずれるように出力される。

図２（ｂ）は、パルス幅が周期の２５％の場合のＡ相パルス信号とＢ相パルス信号の時間変化を示している。時刻ｔ５～ｔ９までが、振動型アクチュエータ１００を駆動する駆動周波数の１周期であり、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号はそれぞれ、周期の２５％に相当する時間がＨｉレベルで出力されるパルス信号である。また、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号の位相差を＋９０度とした場合には、Ａ相パルス信号とＢ相パルス信号は、立ち上がりが１／４周期（時刻ｔ５と時刻ｔ６）だけずれるように出力される。

図３は、制御量演算部から出力される制御量と、制御量により制御される位相差と、の関係を示している。また、制御量演算部から出力される制御量と、振動型アクチュエータの駆動速度と、の関係を示している。具体的には、図３における「制御量」は、制御量演算部Ａ３０２Ａ（第１の制御量演算部）、制御演算部Ｂ３０２Ｂ（第２の制御量演算部）から出力される制御量（第１の制御量、第２の制御量）である。また、図３における「位相差」は、制御量により制御される位相差である。また、図３における「駆動速度」は、制御量により制御される駆動速度である。駆動速度は、位置検出部により検出位置の変化から得られる。また、駆動速度を得るために、速度検出部を設けてもよい。

制御量演算部Ａ３０２Ａから出力される制御量を、振動型アクチュエータＡ１００Ａを駆動するための２相（複数相）の交流電圧である駆動電圧ＶＡ（第１の交流電圧）の位相差を変化させて制御する。また、制御量演算部Ｂ３０２Ｂから出力される制御量を、振動型アクチュエータＢ１００Ｂを駆動するための２相（複数相）の交流電圧である駆動電圧ＶＢ（第２の交流電圧）の位相差を変化させて制御する。

交流信号生成部Ａ３０９Ａ、交流信号生成部Ｂ３０９Ｂからのそれぞれ出力は昇圧回路Ａ３１０Ａ、昇圧回路Ｂ３１０Ｂのそれぞれへ入力される。昇圧回路Ａ３１０Ａ、昇圧回路Ｂ３１０Ｂは、例えば、コイルとトランスを有する構成であるが、これに限らず、コイル及びトランスのどちらか一方のみを有する構成でもよい。昇圧回路Ａ３１０Ａ、昇圧回路Ｂ３１０Ｂは、交流信号生成部Ａ３０９Ａ、交流信号生成部Ｂ３０９Ｂのそれぞれでスイッチングにより生成された２相（複数相）の交流信号を昇圧し、圧電素子１１４の電極に印加する。

ここで、駆動部２２０の構成について、図４を用いて詳細に説明する。なお、駆動部２２０において、圧電素子１１４に印加される駆動電圧Ｖ１、Ｖ２の生成に用いられる部分の構成は同じであるため、ここでは、駆動電圧Ｖ１の生成に用いられる部分について説明する。また、ここでは、交流信号生成部Ａ３０９Ａと昇圧回路Ａ３１０Ａについて説明し、同じ構成である交流信号生成部Ｂ３０９Ｂと昇圧回路Ｂ３１０Ｂについては省略する。

図４（ａ）は、交流信号生成部Ａ３０９Ａと昇圧回路Ａ３１０Ａの概略構成を示すブロック図である。交流信号生成部Ａ３０９Ａは、パルス信号生成部１６５Ａとスイッチング回路１６０Ａを有する。また、昇圧回路Ａ３１０Ａは、コイル３１１Ａとトランス３１２Ａを有する。パルス信号生成部１６５Ａは、位相差変換部Ａ３０３Ａや、周波数設定部３０４などからの情報に応じた位相差、周波数などの情報を有する矩形のＡ相パルス信号と、Ａ相パルス信号とは位相が１８０度ずれたＡ相反転パルス信号を生成する。

図４（ｂ）は、パルス信号生成部１６５Ａで生成されるパルス信号を示す図である。パルス信号生成部１６５Ａで生成されたＡ相パルス信号及びＡ相反転パルス信号は、スイッチング回路１６０Ａに入力される。スイッチング回路１６０Ａは、第１の電源１６１Ａから供給された第１の直流電圧、及び、第２の電源１６２Ａから供給された第２の直流電圧を、入力されたパルス信号のタイミングでスイッチング動作させ、矩形波の交流信号を生成する。電源は、駆動部２２０で共通のものであってもよい。

なお、パルス信号生成部１６５Ａで生成されるパルス信号のパルス幅をデューティ比で表した場合、交流信号生成部Ａ３０９Ａで生成される交流信号のパルス幅も同じデューティ比で表される。交流信号生成部Ａ３０９Ａから出力される交流信号は、昇圧回路Ａ３１０Ａに入力されて所定の電圧値に昇圧されることでｓｉｎ波の駆動電圧Ｖ１に変換され、圧電素子１１４の一方の電極（Ａ相）に印加される。

なお、圧電素子１１４の他方の電極（Ｂ相）に印加される駆動電圧Ｖ２の生成に用いられるＢ相パルス信号は、Ａ相パルス信号に対して、位相差変換部Ａ３０３Ａから出力された位相差の情報に基づく所定の位相差を有するように生成される。Ｂ相反転パルス信号は、Ｂ相パルス信号とは位相が１８０度ずれるように生成される。ｓｉｎ波の駆動電圧Ｖ２は、駆動電圧Ｖ１と同様に生成される。

図５に、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの、時間と、現在位置（検出位置）、位相差、駆動周波数と、の関係（駆動特性）の一例を示す。図５は、上述した図１７の機構図に基づき、多群レンズの異なるレンズを別の駆動速度で同期して動かすものである。例えば、各々の振動型アクチュエータで目標停止位置が異なり、振動型アクチュエータＡ１００Ａは２０ｍｍ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは１０ｍｍの目標停止位置まで駆動制御する場合の例を示したものである。

図５に示すように、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動周波数（９７ｋＨｚ）を共通に設定し、－９０度～＋９０度の範囲内で位相差制御を行う。振動型アクチュエータＡ１００Ａは、駆動開始すると、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じて位相差が変更され、時間ｔ１まで徐々に増加される。そして、時間ｔ２まで６０度付近で制御され、時間ｔ３まで徐々に減少され、時間ｔ４で駆動制御を終了する。一方で、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは、目標停止位置が振動型アクチュエータＡ１００Ａよりも近く、時間あたりの指令位置の変化量が少ないため、時間ｔ１から時間ｔ２では３０度付近で制御されている。

このように、複数の振動型アクチュエータを、共通に設定した駆動周波数と、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じて、個別に設定した位相差と、により制御する。それにより、複数の振動型アクチュエータの各々の目標停止位置が異なる場合でも、駆動条件やモータ特性（駆動特性）に合わせた駆動制御を行うことができる。

なお、上述したように目標停止位置が異なる場合、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのいずれかから先に停止命令が出力されることがある。この際には、停止命令が出力された振動型アクチュエータの駆動制御を先に終了することが望ましいが、両方の振動型アクチュエータから停止命令が出力されるまで駆動制御を継続し、その後駆動制御を終了するようにしてもよい。

以上、上述したような構成とすることで、複数の振動型アクチュエータの各々の目標停止位置や駆動速度が異なる場合でも、うなり音を発生することなく、駆動制御を行うことができる。

＜第２実施形態＞
上述した第１実施形態において、複数の振動型アクチュエータのいずれか又は両方の位相差が、所定の制限値としての位相差の制限値の範囲外となることで位相差の制限値に設定され、最大駆動速度を増加できない場合の制御方法について説明する。

図６に、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの、時間と、現在位置（検出位置）、位相差、駆動周波数と、の関係（駆動特性）の一例を示す。図６は、例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａの目標停止位置を４０ｍｍ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの目標停止位置を１５ｍｍとして、駆動した際の時間と、現在位置（検出位置）、位相差、駆動周波数と、の関係を示したものである。

図６に示すように、振動型アクチュエータＡ１００Ａが駆動開始すると、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じて位相差が変更される。しかしながら、時間ｔ１１において、位相差が位相差の制限値である９０度を超えるため、位相差が９０度に設定され、これ以上速度を増加させることができず、指令位置に追従できなくなる。そこで、位相差制御による最大速度を増加させるため、周波数設定部３０４は、時間ｔ１１で駆動周波数を９７ｋＨｚから９６ｋＨｚに変更する。ここで、位相差が位相差の制限値である場合の、駆動周波数と駆動速度との関係について、図７を用いて説明する。

図７に示すように、例えば駆動周波数が９７ｋＨｚの場合は、駆動速度が１００ｍｍ／ｓとなり、駆動周波数が９６ｋＨの場合は、駆動速度が２００ｍｍ／ｓとなる。よって、駆動周波数を共振周波数（ｆｍ）側に変更する。それにより、位相差制御による最大駆動速度を増加させることができる。そして、時間ｔ１２まで制御量に基づき位相差が増加され、時間ｔ１３まで位相差が８０度付近で制御され、時間ｔ１４まで位相差が徐々に減少され、時間ｔ１５で駆動制御を終了する。

一方で、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じて、時間ｔ１１まで位相差が変更される。ここで、位相差が位相差の制限値の範囲内でも時間ｔ１１のタイミングで、振動型アクチュエータＡ１００Ａと同時に駆動周波数が９７ｋＨｚから９６ｋＨｚに変更される。そして、時間ｔ１２まで制御量に基づき位相差が増加され、時間ｔ１３まで位相差が４０度付近で制御され、時間ｔ１４まで位相差が徐々に減少され、時間ｔ１５で駆動制御を終了する。

このように、複数の振動型アクチュエータのいずれか又は両方の位相差の制御量が位相差の制限値の範囲外となり位相差の制限値に設定された際には、共通の駆動周波数を共振周波数（ｆｍ）側に変更する。それにより、位相差の制限値の範囲内で制御することができる。

なお、上記のように、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのいずれか又は両方の位相差の制御量が位相差の制限値の範囲外になるか否かを判定するのではなく、駆動速度が目標速度より小さいか否かを判定してもよい。具体的には、以下の通りである。図２０は、本発明の制御部における、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる否かを判定するフローチャートである。

制御部は、第１の交流電圧の位相差を設定する範囲を、所定の制限値としての、第１の位相差の制限値に制限し、及び、第２の交流電圧の位相差を設定する範囲を、所定の制限値としての、第２の位相差の制限値に制限する。位相差を設定する範囲の制限は、予め制限値が設定されていてもよいし、外部からの入力により適宜設定されてもよい。

制御部は、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる否かの判定を開始する（図２０のＳ１）。そして、第１の交流電圧の位相差が第１の位相差の制限値である場合に、第１の接触体の、第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第１の目標速度より小さいか否かを判定する。また、第２の交流電圧の位相差が第２の位相差の制限値である場合に、第２の接触体の、第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第２の目標速度より小さいか否か、を判定する（図２０のＳ２）。

そして、第１の駆動速度が第１の目標速度より小さい、及び、第２の駆動速度が第２の目標速度より小さい、のうちの少なくともいずれかであると判定した場合（図２０のＹＥＳ）には、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる（図２０のＳ３）。そして、制御部は、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる否かの判定を終了する（図２０のＳ４）。

また、後述する第４実施形態において、第１のパルス幅、第２のパルス幅のいずれか又は両方のパルス幅がパルス幅の制限値の範囲外となることでパルス幅の制限値に設定され、最大駆動速度を増加してよい。

また、後述する第４実施形態において、第１のパルス幅、第２のパルス幅のいずれか又は両方のパルス幅の制御量がパルス幅の制限値の範囲外になるか否かを判定するのではなく、駆動速度が目標速度より小さいか否かを判定してもよい。具体的には、以下の通りである。

制御部は、第１のパルス幅を設定する範囲を、所定の制限値としての、第１のパルス幅の制限値に制限し、及び、第２のパルス幅を設定する範囲を、所定の制限値としての、第２のパルス幅の制限値に制限する。パルス幅を設定する範囲の制限は、予め制限値が設定されていてもよいし、外部からの入力により適宜設定されてもよい。

そして、第１のパルス幅が第１のパルス幅の制限値である場合に、第１の接触体の、第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第１の目標速度より小さいか否かを判定する。また、第２のパルス幅が第２のパルス幅の制限値である場合に、第２の接触体の、第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第２の目標速度より小さいか否か、を判定する。

そして、第１の駆動速度が第１の目標速度より小さい、及び、第２の駆動速度が第２の目標速度より小さい、のうちの少なくともいずれかであると判定した場合には、駆動周波数を共通に設定する際に、駆動周波数を下げる。

第１のパルス幅の制限値及び第２のパルス幅の制限値は、例えば５０％で設定されるが、これに限定されるものではなく、３０％や７０％などの他の値であってもよい。

＜第３実施形態＞
上述した第１実施形態において、複数の振動型アクチュエータで、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）が大きく異なる場合に、それぞれの駆動特性を近づけて、それぞれの駆動周波数を共通に設定して駆動制御する方法について説明する。図８は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのそれぞれの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を示したものである。ここで、実線はパルス幅が５０％である場合の駆動特性、点線はパルス幅が２５％の場合の駆動特性を示している。

図８に示すように、例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのパルス幅を５０％として共通に設定した場合には、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）がそれぞれ異なる場合がある。そのため、共通に設定した駆動周波数が９７ｋＨｚの場合に、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度は１００ｍｍ／ｓであるのに対して、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動速度は５０ｍｍ／ｓであり、駆動速度に差が生じてしまう。

そこで、点線で示すように振動型アクチュエータＡ１００Ａのパルス幅を２５％に設定し、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動特性を、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動特性に近づけるようにする。さらに、共通の駆動周波数を９５ｋＨｚに変更する。このようにすることで、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動速度を、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度である１００ｍｍ／ｓに近づけることができる。その結果、複数の振動型アクチュエータの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を近づけて、複数の振動型アクチュエータの駆動周波数を共通に設定して駆動制御を行うことができる。

また、別の方法として、電源電圧で調整する方法について説明する。図９は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの位相差が位相差の制限値の場合のそれぞれの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を示したものである。ここで、実線は電源電圧が３Ｖである場合の駆動特性、点線は電源電圧が６Ｖの場合の駆動特性を示している。この電源電圧は図４（ａ）で示される電源１６１から出力される電圧のことであり、この方法では振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂでそれぞれ個別に電源１６１を設ける。

図９に示すように、例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂに電源電圧を、３Ｖとして、共通に設定した場合には、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）がそれぞれ異なる場合がある。そのため、共通に設定した駆動周波数が９７ｋＨｚの場合に、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度は１００ｍｍ／ｓであるのに対して、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動速度は５０ｍｍ／ｓであり、駆動速度に差が生じてしまう。

そこで、点線で示すように振動型アクチュエータＢ１００Ｂの電源電圧を６Ｖに設定し、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動特性を、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動特性に近づけるようにする。このようにすることで、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動速度を、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度である１００ｍｍ／ｓに近づけることができる。その結果、複数の振動型アクチュエータの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を近づけて、複数の振動型アクチュエータの駆動周波数を共通に設定して駆動制御を行うことができる。

なお、パルス幅又は電源電圧の一方のみ変更する方法として説明してきたが、これに限られない。パルス幅と電源電圧の両方を変更して、複数の振動型アクチュエータの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を近づけて、複数の振動型アクチュエータの駆動周波数を共通に設定して駆動制御を行うようにしてもよい。

＜第４実施形態＞
上述した第１実施形態において、制御量に応じて位相差により制御を行っていた所を、制御量に応じてパルス幅により制御を行う構成について説明する。

図１０は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動制御を同時に行う制御装置２０１を有する振動型駆動装置１５１の概略構成を示すブロック図である。図１０に示す振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂや、位置検出部Ａ１２０Ａ、位置検出部Ｂ１２０Ｂ、駆動部２２０については、図１や図１５を参照して既に説明済みであるため、ここでの説明を省略する。また、第１実施形態と同じ原理の説明や変形例などについても、ここでの説明を省略する。

制御部２１１は、指令位置生成部Ａ３０１Ａ（第１の位置指令部）、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂ（第２の位置指令部）を有する。また、制御部２１１は、制御量演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂ、パルス幅変換部Ａ３０６Ａ、パルス幅変換部Ｂ３０６Ｂ、周波数設定部３０４、位相差設定部３０７を有する。指令位置生成部Ａ３０１Ａ、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂは、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂのそれぞれを移動させるための指令位置を生成する。指令位置生成部Ａ３０１Ａ、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂの出力である指令位置と位置検出部Ａ１２０Ａ、位置検出部Ｂ１２０Ｂの出力の偏差に関する信号が制御演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂにそれぞれ入力される。制御量演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂは、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂの制御量をそれぞれ演算する。

制御量演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂから出力される制御量は、パルス幅変換部Ａ３０６Ａ、パルス幅変換部Ｂ３０６Ｂに入力される。パルス幅変換部Ａ３０６Ａは、制御量演算部Ａ３０２Ａから取得した制御量を第１のパルス幅に変換することで、第１の交流電圧の電圧値を設定し、振動体Ａ１１５Ａの突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円の大きさを決定する。

また、パルス幅変換部Ｂ３０６Ｂは、御量演算部Ｂ３０２Ｂから取得した制御量を第２のパルス幅に変換することで、第２の交流電圧の電圧値を設定し、振動体Ｂ１１５Ｂの突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円の大きさを決定する。つまり、第１の制御信号及び第２の制御信号のそれぞれに基づいて、第１の交流電圧の電圧値及び第２の交流電圧の電圧値のそれぞれを個別に設定する。このとき、設定される第１の交流電圧の電圧値及び第２の交流電圧の電圧値は、交流電圧の最大値、実効値及び平均値のうちのいずれかであればよい。

周波数設定部３０４は、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂの駆動周波数を共通に設定する（第１の交流電圧の周波数及び第２の交流電圧の周波数を共通に設定する）ことで、突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円の大きさを決定する。また、位相差設定部３０５は、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂに共通の位相差を設定する（第１の交流電圧の位相差及び第２の交流電圧の位相差を共通に設定する）ことで、突起部１１２に励起させる楕円運動における楕円比を決定する。

パルス幅変換部Ａ３０６Ａの出力と、周波数設定部３０４の出力と、位相差設定部３０７の出力は、第１の制御信号を構成し、第１の制御信号として交流信号生成部Ａ３０９Ａへ入力される。また、パルス幅変換部Ｂ３０６Ｂの出力と、周波数設定部３０４の出力と、位相差設定部３０７の出力は、第２の制御信号を構成し、第２の制御信号として交流信号生成部Ｂ３０９Ｂへ入力される。

図１１は、制御量演算部から出力される制御量と、制御量により制御されるパルス幅と、の関係（駆動特性）を示している。また、制御量演算部から出力される制御量と、振動型アクチュエータの駆動速度と、の関係（駆動特性）を示している。具体的には、制御量演算部Ａ３０２Ａ（第１の制御量演算部）、制御量演算部Ｂ３０２Ｂ（第２の制御量演算部）から出力される制御量と、制御部２１１から出力される制御信号（パルス幅）と、の関係を示している。また、制御量演算部Ａ３０２Ａ（第１の制御量演算部）、制御量演算部Ｂ３０２Ｂ（第２の制御量演算部）から出力される制御量と、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂの駆動速度と、の関係（駆動特性）を示している。制御量演算部Ａ３０２Ａ、制御量演算部Ｂ３０２Ｂから出力される制御量を、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂを駆動するために、パルス幅を変化させて制御する。

図１２に振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの時間と、現在位置（検出位置）、位相差及び駆動周波数と、の関係（駆動特性）の一例を示す。図１２は、例えば、各々の振動型アクチュエータで目標停止位置が異なり、振動型アクチュエータＡ１００Ａは２０ｍｍ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは１０ｍｍの目標停止位置まで駆動制御する場合の例を示したものである。図１２に示すように、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動周波数（９７ｋＨｚ）を共通に設定する。また、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂで、０～５０％の範囲内で、個別にパルス幅を設定する。そして、それらにより、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの制御を行う。

振動型アクチュエータＡ１００Ａは、駆動開始すると、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じてパルス幅が徐々に増加され、時間ｔ１まで徐々に増加される。そして、時間ｔ２まで４０％付近で制御され、時間ｔ３まで徐々に減少され、時間ｔ４で駆動制御を終了する。一方で、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは、目標停止位置が振動型アクチュエータＡ１００Ａよりも近く、時間あたりの指令位置の変化量が少ないため、時間ｔ１から時間ｔ２では２０％付近で制御されている。

このように、複数の振動型アクチュエータを、共通に設定した駆動周波数と、指令位置と現在位置（検出位置）との偏差に応じて、個別に設定したパルス幅と、により制御する。それにより、複数の振動型アクチュエータの各々の目標停止位置が異なる場合でも、駆動条件やモータ特性（駆動特性）に合わせた駆動制御を行うことができる。

以上、上述したような構成とすることで、複数の振動型アクチュエータの各々の目標停止位置や駆動速度が異なる場合でも、うなり音を発生することなく、駆動制御を行うことができる。

＜第５実施形態＞
上述した第４実施形態において、複数の振動型アクチュエータで、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）が大きく異なる場合に、それぞれの駆動特性を近づけて、それぞれの駆動周波数を共通に設定して駆動制御する方法について説明する。

図１３は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのそれぞれの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を示したものである。ここで、実線は位相差が９０度である場合の駆動特性、点線は位相差が４５度の場合の駆動特性を示している。

図１３に示すように、例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂに位相差を、９０度として、共通に設定した場合には、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）がそれぞれ異なる場合がある。そのため、共通の駆動周波数が９７ｋＨｚの場合に、振動型アクチュエータＡ１００Ａは駆動速度が１００ｍｍ／ｓであるのに対して、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは駆動速度が５０ｍｍ／ｓであり、駆動速度に差が生じてしまう。

そこで、点線で示すように振動型アクチュエータＡ１００Ａの位相差を４５度に設定し、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動特性を、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動特性に近づけるようにする。さらに、共通の駆動周波数を９５ｋＨｚに変更する。このようにすることで、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動速度を、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度である１００ｍｍ／ｓに近づけることができる。その結果、複数の振動型アクチュエータの、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）を近づけて、複数の振動型アクチュエータの駆動周波数を共通に設定して駆動制御を行うことができる。

＜第６実施形態＞
上述した第１～５実施形態の構成に対して、共振周波数に差が生じている複数の振動型アクチュエータにより共通の駆動周波数で駆動を行う場合の駆動周波数ｆｅの設定について説明する。図１４は、共振周波数に差が生じている複数の振動型アクチュエータをそれぞれ駆動した場合に、図１５（ｂ）に示す圧電素子に印加する２相（複数相）の電圧Ｖ１とＶ２の位相差を変更した場合の、駆動周波数と駆動速度との関係を示すグラフである。

振動型アクチュエータＡ１００Ａの位相差を９０～１０度と変更した場合の、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）は、図１４に実線で示す９０度ａ～１０度ａである。また、振動型アクチュエータＡ１００Ａの位相差０度の共振周波数は、図１４に示す２４ａである。同様に、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの位相差を９０～１０度と変更した場合の、駆動周波数と駆動速度との関係（駆動特性）は、図１４に点線で示す９０度ｂ～１０度ｂである。また、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの位相差０度の共振周波数は、図１４に示す２４ｂである。また、振動型アクチュエータＡ１００Ａが駆動できなくなる最大の駆動周波数が２３ａであり、振動型アクチュエータＢ１００Ｂが駆動できなくなる最大の駆動周波数が２３ｂである。

本実施形態においては、周波数設定部によって振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂのそれぞれの駆動特性に基づいて設定された各駆動周波数の範囲（駆動周波数範囲）は、次のようにして決定される。振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動周波数範囲ａは、前述したように、位相差が０度である場合における振動型アクチュエータＡ１００Ａの共振周波数を下限値（位相差を変更した際に最大となる共振周波数を下限値）（第１の下限値）としている。また、第１の下限値よりも高い駆動周波数で接触体を駆動する際に該接触体を駆動することができる最大の駆動周波数を上限値（第１の上限値）としている。駆動周波数範囲ａは、このようにして決定された第１の下限値と第１の上限値との間の駆動周波数範囲である。

振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動周波数範囲ｂは、位相差が０度である場合における振動型アクチュエータＢ１００Ｂの共振周波数を下限値（第２の下限値）としている。また、第２の下限値よりも高い駆動周波数で接触体を駆動する際に該接触体を駆動することができる最大の駆動周波数を上限値（第２の上限値）としている。駆動周波数範囲ｂは、このようにして決定された第２の下限値と第２の上限値との間の駆動周波数範囲である。

ここで、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂを駆動する場合について説明する。

例えば、複数の振動型アクチュエータを駆動する場合、振動型アクチュエータＡ１００Ａの３０度ａの共振周波数において、振動型アクチュエータＢ１００Ｂは位相差を変更しても、駆動速度が急激に低下する崖落ち現象が発生しない。

ところが、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの３０度ｂの共振周波数においては、振動型アクチュエータＡ１００Ａはいずれの位相差においても、この崖落ち現象が発生してしまう。そのため、振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動速度が急激に減少することで駆動速度にブレーキをかける状態となり、駆動速度が不安定な状態に陥る。

つまり、共振周波数の高い振動型アクチュエータＡ１００Ａの駆動周波数範囲ａよりも低い駆動周波数で駆動した場合、この崖落ち現象が生じる可能性がある。逆に、共振周波数の低い振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動周波数範囲ｂより高い駆動周波数で駆動した場合、駆動速度が下がり動作しなくなる可能性がある。

これに対して、本実施形態では、複数の振動型アクチュエータのそれぞれの駆動特性に基づいて設定された駆動周波数範囲ａと駆動周波数範囲ｂとが重複する範囲を駆動周波数範囲ｃとして設定する。そして、この駆動周波数範囲ｃにおいて駆動周波数を共通に設定可能（変更可能）としている。これにより、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動周波数を共通に設定する場合であっても、駆動速度が不安定な状態を避けて駆動することができる。

＜第７実施形態＞
上述した実施形態に係る、振動型駆動装置１５０又は１５１を備える装置の一例であるパンチルト機構を有する撮像装置（電子機器）に応用した例について説明する。例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａをチルト駆動用、振動型アクチュエータＢ１００Ｂをパン駆動用として用いる。図１８（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係る、振動型アクチュエータを使用したパンチルトカメラのチルト駆動部の構成を示す斜視図である。図１８（ｂ）は、パンチルト撮像装置のパン駆動部の構成を示す斜視図である。

図１８（ａ）及び図１８（ｂ）において、パンチルトカメラ１０００（電子機器）は、ベース１００１（被駆動部材）、カメラ部１００２（レンズ一体型撮像装置、被駆動部材）を備えている。また、チルト駆動用振動型アクチュエータ１００３、チルトモータピニオンギア１００４、チルトギア１００５、チルト部エンコーダセンサ１００６、チルト部エンコーダスケール１００７を備えている。

更に、パンチルトカメラ１０００は、パン駆動用振動型アクチュエータ１０１０、パンモータピニオンギア１０１１、パンギア１０１２、パン部エンコーダセンサ１０１３、パン部エンコーダスケール１０１４を備えている。パンチルトカメラ１０００は、ベース１００１（被駆動部材）上に配設されたカメラ部１００２（被駆動部材）がチルト方向（図中Ｂ１方向、Ｂ２方向）及びパン方向（図中Ｄ１方向、Ｄ２方向）に回動し、撮像動作を行う。パンユニット１０１５は、カメラ部１００２と後述するチルト駆動部を有する。

カメラ部１００２には、不図示のチルトモータ軸とパンモータ軸が装備されている。チルト駆動用振動型アクチュエータ（以下振動型アクチュエータ）１００３は、カメラ部１００２をチルト方向に回動させる駆動力を発生する。

パン駆動用振動波モータ（以下振動型アクチュエータ）１０１０は、カメラ部１００２をパン方向に回動させる駆動力を発生する。チルトモータピニオンギア（以下ピニオンギア）１００４は、振動型アクチュエータ１０００のモータ軸に固定されている。チルトギア１００５は、チルトモータ軸に取り付けられており、ピニオンギア１００４と噛み合っている。

チルト部エンコーダスケール（以下エンコーダスケール）１００７は、スリット部（不図示）を備えると共にチルトモータ軸に取り付けられており、チルトギア１００５と共に、即ちカメラ部１００２の回転と共に矢印Ｂ１、Ｂ２方向に回転する。チルト部エンコーダセンサ（以下エンコーダセンサ）１００６は、エンコーダスケール１００７のスリット部を読み取ることで、エンコーダスケール１００７の回転位置を検出する。

振動型アクチュエータ１００３が矢印Ａ１方向（ベース面に平行な面内での回転方向）に回転すると、カメラ部１００２はピニオンギア１００４とチルトギア１００５のギア結合によって矢印Ｂ１方向（ベース面に垂直な面内での回転方向）に回転する。他方、振動型アクチュエータ１００３が矢印Ａ２方向（ベース面に平行な面内での回転方向）に回転すると、カメラ部１００２はピニオンギア１０００とチルトギア１００５のギア結合によって矢印Ｂ２方向（ベース面に垂直な面内での回転方向）に回転する。

＜第８実施形態＞
上述した実施形態に係る、振動型駆動装置１５０又は振動型駆動装置１５１を備える装置の一例である位置決め用ステージ装置において観察対象物が載置されるステージの位置決めに応用した例について説明する。図１９は、振動型駆動装置１５０を備える顕微鏡７００の外観斜視図である。顕微鏡７００は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部７３０と、基台上でＸ－Ｙ面内で移動可能にされるステージ７２０を有する自動ステージ部７１０を備える。

振動型駆動装置１５０を構成する制御装置２００、又は、振動型駆動装置１５１を構成する制御装置２０１は、ベースプレート７４０に配置されているが、これに限定されず、例えば、撮像部７３０に設けられていてもよい。不図示の振動型アクチュエータ１００を構成する振動体１１５は、少なくとも２つ用いられている。例えば、振動型アクチュエータＡ１００Ａの振動体Ａ１１５Ａは、接触体Ａ１１１Ａに相当するステージ７２０のＸ方向駆動に用いられ、振動体Ａ１１５ＡのＸ方向がステージ７２０のＸ方向と一致するように配置される。

また、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの振動体Ａ１１５Ａは、接触体Ｂ１１１Ｂであるステージ７２０のＹ方向駆動に用いられ、振動体Ａ１１５ＡのＸ方向がステージ７２０のＹ方向と一致するように配置される。

被観察物をステージ７２０の上面に置いて、拡大画像を撮像部７３０で撮影する場合において観察範囲が広範囲となる場合には、自動ステージ部７１０を駆動してステージ７２０をＸ方向とＹ方向に移動させて被観察物を移動させる。これにより、多数の撮影画像を撮影し、撮影された画像を不図示のコンピュータで画像処理により結合させることで、観察範囲が広く、しかも高精細な１枚の画像を取得することができる。

＜その他の実施形態＞
なお、第７、８実施形態において、振動型駆動装置１５０を適用した装置について説明したが、振動型駆動装置１５０の具体的な適用例はこれらに制限さえるものではない。振動型駆動装置１５０は、振動型アクチュエータＡ１００Ａ、振動型アクチュエータＢ１００Ｂの駆動による位置決めが必要とされる部品を備える電子機器に広く適用が可能である。

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、上記実施形態では、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂが固定され、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂが移動体として移動させる（駆動する）構成で説明した。しかし、これとは逆に、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂが固定され、振動体Ａ１１５Ａ、振動体Ｂ１１５Ｂを移動体として移動させる（駆動する）構成であっても、効果に何ら変わりはない。

また、指令位置生成部Ａ３０１Ａ、指令位置生成部Ｂ３０１Ｂは、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂの位置に関する指令位置を、位置検出部Ａ１２０Ａ、位置検出部Ｂ１２０Ｂのそれぞれによる位置信号に基づいて求めるとしたが、これに限らない。例えば、接触体Ａ１１１Ａ、接触体Ｂ１１１Ｂの駆動速度に関する指令速度を、検出した駆動速度に基づいて求めるようにしてもよい。

制御部２１０や駆動部２２０は、上述した機能を実現することができる限りにおいて、その構成（使用されている電子デバイスや電気部品）は限定されるものではない。また、制御装置２００，２０１として、圧電素子１１４を２相に分けて駆動する２相駆動の構成を取り上げたが、本発明は２相駆動の振動型アクチュエータに限定されるものではない。３相以上の複数の交流電圧で駆動する振動型アクチュエータにも適用が可能である。

さらに、本発明は２つの振動型アクチュエータの構成を取り上げたが、本発明は２つの振動型アクチュエータに限定されるものではなく、３つ以上の複数の振動型アクチュエータの構成としてもよい。

本発明は、上記実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読み出して実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。

１００Ａ 振動型アクチュエータＡ（第１の振動型アクチュエータ）
１００Ｂ 振動型アクチュエータＢ（第２の振動型アクチュエータ）
１１１Ａ 接触体Ａ（第１の接触体）
１１１Ｂ 接触体Ｂ（第２の接触体）
１１５Ａ 振動体Ａ（第１の振動体）
１１５Ｂ 振動体Ｂ（第２の振動体）
２００，２０１ 制御装置
２１０，２１１ 制御部
２２０ 駆動部

Claims (17)

1. 第１の振動体と、前記第１の振動体と接触する第１の接触体と、を有する第１の振動型アクチュエータの駆動を制御する第１の制御信号を出力し、前記第１の振動体とは異なる第２の振動体と、前記第２の振動体と接触する、前記第１の接触体とは異なる第２の接触体と、を有する、前記第１の振動型アクチュエータとは異なる第２の振動型アクチュエータの駆動を制御する第２の制御信号を出力する制御部と、
   前記第１の制御信号に基づいて設定された、前記第１の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第１の交流電圧を出力し、前記第２の制御信号に基づいて設定された、前記第２の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第２の交流電圧を出力する駆動部と、を備え、
   前記制御部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の位相差及び前記第２の交流電圧の位相差のそれぞれを個別に設定し、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定する、ことを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。
2. 前記制御部は、前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度と、前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度と、を近づけるように、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の位相差及び前記第２の交流電圧の位相差のそれぞれを個別に設定する、ことを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
3. 前記制御部は、
   前記第１の交流電圧の位相差が、所定の制限値としての第１の位相差の制限値である場合に、前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第１の目標速度より小さいか否か、及び、前記第２の交流電圧の位相差が、所定の制限値としての第２の位相差の制限値である場合に、前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第２の目標速度より小さいか否か、を判定し、
   前記第１の駆動速度が前記第１の目標速度より小さい、及び、前記第２の駆動速度が前記第２の目標速度より小さい、のうちの少なくともいずれかであると判定した場合には、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定する際に、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を下げる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
4. 前記制御部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値を共通に設定する、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
5. 前記駆動部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、第１のパルス幅を有する第１のパルス信号及び第２のパルス幅を有する第２のパルス信号のそれぞれを生成し、前記第１のパルス信号及び前記第２のパルス信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値を共通に設定する、ことを特徴とする請求項４に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
6. 第１の振動体と、前記第１の振動体と接触する第１の接触体と、を有する第１の振動型アクチュエータの駆動を制御する第１の制御信号を出力し、前記第１の振動体とは異なる第２の振動体と、前記第２の振動体と接触する、前記第１の接触体とは異なる第２の接触体と、を有する、前記第１の振動型アクチュエータとは異なる第２の振動型アクチュエータの駆動を制御する第２の制御信号を出力する制御部と、
   前記第１の制御信号に基づいて設定された、前記第１の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第１の交流電圧を出力し、前記第２の制御信号に基づいて設定された、前記第２の振動型アクチュエータを駆動する複数相の第２の交流電圧を出力する駆動部と、を備え、
   前記制御部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれにより、前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値のそれぞれを個別に設定し、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定する、ことを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。
7. 前記制御部は、前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度と、前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度と、を近づけるように、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値のそれぞれを個別に設定する、ことを特徴とする請求項６に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
8. 前記制御部は、
   前記第１のパルス幅が、所定の制限値としての前記第１のパルス幅の制限値である場合に、前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対的な速度としての第１の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第１の目標速度より小さいか否か、及び、前記第２のパルス幅が、所定の制限値としての前記第２のパルス幅の制限値である場合に、前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対的な速度としての第２の駆動速度が、目標となる駆動速度としての第２の目標速度より小さいか否か、を判定し、
   前記第１の駆動速度が前記第１の目標速度より小さい、及び、前記第２の駆動速度が前記第２の目標速度より小さい、のうちの少なくともいずれかであると判定した場合には、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定する際に、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を下げる、ことを特徴とする請求項６又は７に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
9. 前記制御部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号に基づいて、前記第１の交流電圧の位相差及び前記第２の交流電圧の位相差を共通に設定する、ことを特徴とする請求項６乃至８のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
10. 前記駆動部は、前記第１の制御信号及び前記第２の制御信号のそれぞれに基づいて、第１のパルス幅を有する第１のパルス信号及び第２のパルス幅を有する第２のパルス信号のそれぞれを生成し、前記第１のパルス信号及び前記第２のパルス信号のそれぞれに基づいて、前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値のそれぞれを個別に設定する、ことを特徴とする請求項６乃至９のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
11. 前記第１の交流電圧は、第１の電源により供給された第１の直流電圧から生成され、
    前記第２の交流電圧は、第２の電源により供給された第２の直流電圧から生成される、ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
12. 前記第１の電源及び前記第２の電源はそれぞれ、異なる電源である、ことを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
13. 前記制御部は、
    前記第１の交流電圧の位相差が０度である場合における前記第１の振動型アクチュエータの共振周波数を第１の下限値とし、前記第１の振動型アクチュエータを駆動することができる最大の前記第１の交流電圧の周波数を第１の上限値とし、前記第２の交流電圧の位相差が０度である場合における前記第２の振動型アクチュエータの共振周波数を第２の下限値とし、前記第２の振動型アクチュエータを駆動することができる最大の前記第２の交流電圧の周波数を第２の上限値とし、
    前記第１の下限値と前記第１の上限値との間と、前記第２の下限値と前記第２の上限値との間と、が重複する範囲において、前記第１の交流電圧の周波数及び前記第２の交流電圧の周波数を共通に設定することを特徴とする請求項１乃至１２のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
14. 前記第１の交流電圧の電圧値及び前記第２の交流電圧の電圧値は共に、交流電圧の最大値、実効値及び平均値のうちのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至１３のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
15. 請求項１乃至１４のうちのいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と
    請求項１乃至１４のうちのいずれか１項に記載の第１の振動型アクチュエータと、
    前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対位置を指令する第１の位置指令部と、
    前記第１の接触体の、前記第１の振動体に対する相対位置を検出する第１の位置検出部と、
    請求項１乃至１４のうちのいずれか１項に記載の第２の振動型アクチュエータと、
    前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対位置を指令する第２の位置指令部と、
    前記第２の接触体の、前記第２の振動体に対する相対位置を検出する第２の位置検出部と、を有し、
    前記制御部は、前記第１の位置指令部により指令された相対位置及び前記第１の位置検出部により検出された相対位置に基づいて前記第１の制御信号を出力し、前記第２の位置指令部により指令された相対位置及び前記第２の位置検出部により検出された相対位置に基づいて前記第２の制御信号を出力する、ことを特徴とする振動型駆動装置。
16. 請求項１５に記載の振動型駆動装置と、
    前記第１の振動型アクチュエータにより駆動される第１の被駆動部材と、
    前記第２の振動型アクチュエータにより駆動される第２の被駆動部材と、を有することを特徴とする電子機器。
17. 前記第１の被駆動部材及び前記第２の被駆動部材は、同じ１つの被駆動部材である、ことを特徴とする請求項１６に記載の電子機器。

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