CN104511395A - 涂布装置及涂布方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂布装置及涂布方法，即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。涂布液的供给系统包括：贮存涂布液的贮存槽，以及将所述贮存槽内的涂布液朝向狭缝喷嘴输送的泵。贮存槽配设于腔室内。所述腔室经由压力可变型的调节器与开闭阀而与压缩空气的供给部连接。在泵与贮存槽之间配设着过滤器与开闭阀。泵经由一对开闭阀，而与狭缝喷嘴的两端部连接。在开闭阀与泵之间的配管上，配设着用以对压送到泵中的涂布液的压力进行测定的压力计。

Description

涂布装置及涂布方法
技术领域
本发明涉及一种通过使基板等涂布对象物与喷嘴相对地移动而将涂布液涂布于涂布对象物的涂布装置及涂布方法。
背景技术
例如，在将涂布液涂布于太阳电池用面板基板、有机电致发光(ElectroLuminescence，EL)显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子体显示面板(Plasma Display Panel，PDP)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等各种基板的表面时，使用具备狭缝喷嘴的涂布装置，所述狭缝喷嘴通过以与基板的表面接近的状态而在水平方向上移动，来将涂布液涂布于该基板的表面。
此种涂布装置中，采用如下构成：利用管泵(tube bump)或波纹管泵(bellows bump)等根据体积变化来输送涂布液的泵，将贮存在捕集槽(traptank)等贮存槽中的涂布液供给到狭缝喷嘴(参照专利文献1)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2008-182268号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
此种涂布装置中，以前使用具有数cP(厘泊(centipoise))至数十cP程度的粘度的涂布液。然而，近年来，也使用具有数千cP程度的粘度的涂布液。在使用此种涂布液的情况下，当使用管泵或波纹管泵等根据体积变化输送涂布液的泵来作为泵时，会产生无法根据涂布液的粘度而执行适当的送液的问题。此种现象不仅在涂布液的粘度高的情况下发生，在涂布液的供给系统中产生阻力的情况下，例如对涂布液进行过滤的过滤器中发生堵塞时等也同样会发生。
为了解决所述问题，而考虑通过将涂布液以经过了加压的状态而供给到泵中，从而即便在涂布液的粘度高的情况下，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。
图9是表示对狭缝喷嘴13供给经加压的涂布液的实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图9所示的涂布液的供给系统包括：贮存涂布液的贮存槽61，以及将该贮存槽61内的涂布液朝向狭缝喷嘴13输送的泵44。在泵44与贮存槽61之间配设着过滤器63与开闭阀53。而且，泵44经由一对开闭阀54、开闭阀55而与狭缝喷嘴13的两端部连接。此外，狭缝喷嘴13上连接着管路中具备开闭阀56的排气用的配管。
贮存涂布液的贮存槽61配设于腔室62内。该腔室62经由调节器49与开闭阀51而与压缩空气的供给部连接。因此，如果从压缩空气的供给部经由调节器49及开闭阀51来将压缩空气供给到腔室62内，则贮存槽61内的涂布液被压缩。而且，在开闭阀53打开的情况下，涂布液经由过滤器63输送到泵44。这样在供给到泵44的涂布液受到加压的情况下，当使用粘度高的涂布液时，即便在使用管泵或波纹管泵等根据体积变化输送涂布液的泵来作为泵44的情况下，也可适当地将涂布液供给到狭缝喷嘴13。
图10是表示利用图9所示的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图10所示的曲线图中，纵轴表示压力，横轴表示时间。而且，该曲线图中，实线表示从贮存槽61输送到泵44的涂布液的压力。此外，该曲线图中，符号A表示泵44可适当运行的最大压力，符号B表示涂布液的供给源的压力，即，经调节器41调整的涂布液的压力，符号C表示泵44可适当运行的最小压力。
在开始进行涂布液的涂布之前，开闭阀53闭合，泵44的入口处的涂布液的压力为固定。该状态下，在开始进行涂布液的涂布时，首先将开闭阀53打开。图10中的符号a表示将开闭阀53打开的时间点。根据伴随该开闭阀53的打开的体积变化，泵44的入口处的压力暂时降低后，会再次上升。而且，随时间的推移，泵44的入口处的压力逐渐上升，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，开始进行泵44的抽吸动作，将涂布液供给到泵44。图10中的符号b表示开始进行泵44的抽吸动作的时间点。
如果泵44开始抽吸动作，而将涂布液供给到泵44，则泵44的入口处的涂布液的压力急剧降低。而且，根据涂布状况，如图10所示，有时泵44的入口处的压力比泵44可适当运行的最小压力C小。在发生了此种现象的情况下，因泵44无法适当地执行送液，所以需要应对狭缝喷嘴13的涂布速度降低等，从而无法执行涂布液的适当的涂布动作。
在结束涂布液的涂布时，停止泵44的送液，并将开闭阀54、开闭阀55闭合。图10中的符号c表示泵44的抽吸动作停止的时间点。泵44的入口处的涂布液的压力逐渐上升，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，如果将开闭阀53闭合，则根据伴随该开闭阀53的闭合的体积变化，泵44的入口处的压力暂时上升。
这样，即便采用将涂布液以经加压的状态而供给到泵44的构成的情况下，也会产生泵44的入口处的涂布液的压力超出泵44可适当运行的压力的范围的现象，从而无法适当地涂布涂布液。
本发明为了解决所述课题而完成，目的在于提供一种涂布装置及涂布方法，即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。
[解决问题的手段]
实施型态1所述的发明为一种涂布装置，通过使涂布对象物与喷嘴相对地移动，而将涂布液涂布于所述涂布对象物，所述涂布装置的特征在于包括：贮存槽，贮存涂布液；泵，将贮存在所述贮存槽中的涂布液输送到所述喷嘴；加压机构，通过对所述贮存槽内的涂布液进行加压，而将所述贮存槽内的涂布液压送到所述泵中；压力计，对压送到所述泵中的涂布液的压力进行测定；以及控制部，根据由所述压力计测定的涂布液的压力，来控制所述加压机构对涂布液的加压力。
实施型态2所述的发明根据实施型态1所述的涂布装置，所述控制部根据由所述压力计测定的涂布液的压力，来连续地变更所述加压机构对涂布液的加压力。
实施型态3所述的发明根据实施型态1所述的涂布装置，所述控制部根据由所述压力计测定的涂布液的压力，分多阶段地变更所述加压机构对涂布液的加压力。
实施型态4所述的发明根据实施型态1至3中任一项所述的涂布装置，在将所述泵与所述喷嘴加以连接的管路上，附设用以将所述管路内的涂布液的压力释放的压力释放部。
实施型态5所述的发明为一种涂布方法，一边使涂布对象物与喷嘴相对地移动，一边从所述喷嘴喷出涂布液，由此将涂布液涂布于所述涂布对象物，所述涂布方法的特征在于包括：加压工序，对贮存在贮存槽内的涂布液进行加压；涂布工序，利用泵将所述加压工序中加压的涂布液输送到所述喷嘴，并从所述喷嘴喷出涂布液，并且使所述涂布对象物与所述喷嘴相对地移动而进行涂布液的涂布；压力测定工序，对压送到所述泵中的涂布液的压力进行测定；以及加压力控制工序，根据所述压力测定工序中测定的涂布液的压力，来对涂布液的加压力进行控制。
[发明的效果]
根据实施型态1及实施型态5所述的涂布装置，即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可一直适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。
根据实施型态2所述的涂布装置，根据由压力计测定的涂布液的压力，来连续地变更加压机构对涂布液的加压力，从而可将适当压力的涂布液供给到泵中。
根据实施型态3所述的涂布装置，因根据由压力计测定的涂布液的压力而分阶段地变更加压力，所以能够以简单的构成将适当压力的涂布液供给到泵中。
根据实施型态4所述的涂布装置，可在涂布开始前或涂布结束后，迅速地使泵与喷嘴间的涂布液的压力降低到通常的压力为止。
附图说明
图1是涂布装置的立体图。
图2是涂布装置的侧面概要图。
图3是表示本发明的第一实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图4是表示利用本发明的第一实施方式的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图5是表示本发明的第二实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图6是表示利用本发明的第二实施方式的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图7是表示本发明的第三实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图8是表示利用本发明的第三实施方式的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图9是表示对狭缝喷嘴13供给经加压的涂布液的实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图10是表示利用图9所示的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
[符号的说明]
11：平台
13：狭缝喷嘴
14：托架
15：喷嘴支撑部
16：升降机构
17：移行轨道
20：线性电动机
21：固定件
22：移动件
23：线性编码器
31：喷嘴清洗装置
34：预分配装置
35、61：贮存槽
36：预分配辊
37：刮板
40：控制部
41、42：调节器
43：压力计
44：泵
49：调节器
51、52、53、54、55、56、57：开闭阀
62：腔室
63：过滤器
100：基板
a：将开闭阀打开的时间点
A：泵可适当运行的最大压力
b：开始进行泵的抽吸动作的时间点
B：涂布液的供给源的压力
c：泵的抽吸动作停止的时间点
C：泵可适当运行的最小压力
d：泵的抽吸动作停止的时间点
D：压力的下侧的基准值
e：将作为压力释放部发挥功能的开闭阀打开的时间点
E：压力的上侧的基准值
X、Y、Z：方向
具体实施方式
以下，根据附图对本发明的实施方式进行说明。图1是涂布装置的立体图。而且，图2是涂布装置的侧面概要图。另外，图1中省略喷嘴清洗装置31及预分配(pre-dispense)装置34的图示。而且，图2中省略托架(carriage)14等的图示。
该涂布装置包括用以吸附保持基板100的平台11。作为该平台11，使用其上表面的平整度(flatness)设为数微米(micrometer)左右的石定盘等。平台11上隔开适当的间隔而设置着省略了图示的多个提升销。该提升销在搬入、搬出基板100时，从其下方对基板100加以支撑，以从平台11的表面向上方上升。
在平台11的上方，设置着从该平台11的两侧部分大致水平地架设的托架14。该托架14包括用以对狭缝喷嘴13进行支撑的喷嘴支撑部15、及对该喷嘴支撑部15的两端进行支撑的左右一对升降机构16。而且，在平台11的两端部配设着沿大致水平方向平行地延伸的一对移行轨道17。所述移行轨道17通过对托架14的两端部进行引导，而使托架14在图1所示的X方向上来回移动。
在平台11及托架14的两侧部分，沿着平台11的两侧的边缘侧配设着一对线性电动机20，该一对线性电动机20分别包括固定件21与移动件22。而且，在平台11及托架14的两侧部分固定设置着一对线性编码器(linearencoder)23，该一对线性编码器23分别包括标尺部与检测件。该线性编码器23对托架14的位置进行检测。
而且，如图2所示，在平台11的侧方配设着喷嘴清洗装置31。该涂布装置中，在涂布动作执行前或执行后，利用该喷嘴清洗装置31对狭缝喷嘴13进行清洗。
而且，如图2所示，在平台11的侧方配设着预分配装置34。该预分配装置34包括：预分配辊36，其一部分浸渍于贮存槽35内所贮存的清洗液中；以及刮板(doctor blade)37。预分配辊36与刮板37相对于Y方向具有与狭缝喷嘴13同等以上的长度。而且，预分配辊36利用未图示的电动机的驱动来进行旋转。该涂布装置中，在执行涂布动作前，从已移动到预分配辊36的上方的狭缝喷嘴13喷出少量的涂布液，由此执行如下工序，即，将在喷嘴清洗装置31的清洗时含有清洗液的涂布液从狭缝喷嘴13内去除。
在由该涂布装置执行涂布动作时，首先，利用未图示的搬送机构将基板100搬入至平台11上。而且，将该基板100吸附保持于平台上。该状态下，以使狭缝喷嘴13与吸附保持于平台11的基板100的表面接近的状态，利用线性电动机20的驱动使该狭缝喷嘴13沿基板100的表面移动，并且将涂布液供给到基板100的表面。由此，在基板100的表面形成涂布液的薄膜。
图3是表示本发明的第一实施方式的涂布液的供给系统的概要图。
图3所示的涂布液的供给系统包括：贮存涂布液的贮存槽61，将该贮存槽61内的涂布液朝向狭缝喷嘴13输送的泵44。为了保证涂布液的洁净性，而使用管泵或波纹管泵等根据体积变化输送涂布液的泵作为泵44。在泵44与贮存槽61之间配设着过滤器63与开闭阀53。而且，泵44经由一对开闭阀54、开闭阀55，而与狭缝喷嘴13的两端部连接。而且，狭缝喷嘴13上连接着管路中具备开闭阀56的排气用的配管。此外，在开闭阀53与泵44之间的配管上，配设着用以测定压送到泵44中的涂布液的压力的压力计43。
贮存涂布液的贮存槽61配设于腔室62内。该腔室62经由作为压力调整部的压力可变型的调节器49与开闭阀51，而与压缩空气的供给部连接。该压力可变型的调节器49为被称作电动气动调节器(electro-pneumaticregulator)等的调节器，且可根据控制信号连续地变更供给到腔室62的压缩空气的压力。
通过采用此种构成，如果从压缩空气的供给部经由调节器49及开闭阀51而将压缩空气供给到腔室62内，则贮存槽61内的涂布液被压缩。而且，在将开闭阀53打开的情况下，涂布液在由调节器49控制的压力的作用下，经由过滤器63输送到泵44中。在这样对供给到泵44的涂布液进行加压的情况下，当使用粘度高的涂布液时，即便在使用管泵或波纹管泵等根据体积变化而输送涂布液的泵来作为泵44的情况下，也可适当地将涂布液供给到泵44中。
该涂布装置包括：执行逻辑运算的中央处理器(central processing unit，CPU)，存储装置的控制所需的运行程序的只读存储器(read-only memory，ROM)，在控制时暂时地存储数据等的随机访问存储器(Random AccessMemory，RAM)等，且包括对整个装置进行控制的控制部40。该控制部40与所述调节器49及压力计43连接。另外，该控制部40如后述那样，根据由压力计44测定的涂布液的压力来调整调节器49，由此执行对涂布液的加压力进行控制的控制动作。
图4是表示利用图3所示的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图3所示的曲线图中，纵轴表示压力，横轴表示时间。而且，该曲线图中，实线表示从贮存槽61输送到泵44的涂布液的压力，即，泵44的入口侧的压力。此外，该曲线图中，符号A表示泵44可适当运行的最大压力，符号B表示涂布液的供给源的压力，即，经调节器49调整的涂布液的压力，符号C表示泵44可适当运行的最小压力，符号D表示压力的下侧的基准值，符号E表示压力的上侧的基准值。
在开始进行涂布液的涂布之前，将开闭阀51打开，且将开闭阀53闭合。因此，应供给到泵44的涂布液的压力为固定。该状态下，在开始进行涂布液的涂布时，首先将开闭阀53打开。图4中的符号a表示将开闭阀53打开的时间点。根据伴随该开闭阀53的打开的体积变化，泵44的入口处的压力暂时降低后，会再次上升。而且，随时间的经过，泵44的入口处的压力逐渐上升，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，开始进行泵44的抽吸动作，将涂布液供给到泵44。图4中的符号b表示开始进行泵44的抽吸动作的时间点。
如果泵44开始抽吸动作，而将涂布液供给到泵44，则泵44的入口处的涂布液的压力急剧降低。而且，如果泵44的入口处的涂布液的压力比压力的下侧的基准值D低，则利用控制部40的控制来对调节器49进行调整，从而供给到腔室62的压缩空气的压力、即供给到泵44的涂布液的压力上升。而且，在图4中实线所示的泵44的入口处的涂布液的压力超过压力的上侧的基准值E的时间内，供给到泵44的涂布液的压力固定为此时的压力。由此，供给到泵44的涂布液的压力维持为适当值。
在结束涂布液的涂布时，停止泵44的送液，并将开闭阀54、开闭阀55闭合。图4中的符号c表示泵44的抽吸动作停止的时间点。此时，利用控制部40的控制对调节器49进行调整，泵44的入口处的涂布液的压力逐渐下降，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，如果将开闭阀53闭合，则根据伴随该开闭阀53的闭合的体积变化，泵44的入口处的压力暂时上升。
这样，在本实施方式的涂布装置中，因采用根据由压力计43测定的涂布液的压力来控制加压力的构成，所以即便在涂布液的粘度高的情况下或过滤器63等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可一直适当地对泵44供给涂布液。
接下来，对本发明的涂布装置中的涂布液的供给系统的另一实施方式进行说明。图5是表示本发明的第二实施方式的涂布液的供给系统的概要图。另外，图5中，对与图3所示的第一实施方式相同的构件附上相同的符号并省略详细的说明。
该第二实施方式的涂布装置使用与图9相同的普通的调节器41，来代替图3所示的第一实施方式的涂布装置中的压力可变型的调节器49。而且，在该第二实施方式的涂布装置中，除经由调节器41外，还经由普通的其他调节器42与开闭阀52，而将腔室62与压缩空气的供给部连接。该调节器42的设定压力比调节器41的设定压力高。而且，开闭阀52利用控制部40的控制而在泵44的抽吸动作的执行中执行开闭动作。
图6是表示利用图5所示的供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图6所示的曲线图中，纵轴表示压力，横轴表示时间。而且，该曲线图中，实线表示从贮存槽61输送到泵44的涂布液的压力，即，泵44的入口侧的压力。此外，该曲线图中，符号A表示泵44可适当运行的最大压力，符号B表示涂布液的供给源的压力，即，经调节器49调整的涂布液的压力，符号C表示泵44可适当运行的最小压力，符号D表示压力的下侧的基准值。
与所述第一实施方式同样地，在泵44的抽吸动作前，将开闭阀51打开，且将开闭阀53闭合。因此，应供给到泵44的涂布液的压力为固定。而且，将开闭阀52闭合。该状态下，在开始对泵44供给涂布液时，首先将开闭阀53打开。图6中的符号a表示将开闭阀53打开的时间点。根据伴随该开闭阀53的打开的体积变化，泵44的入口处的压力暂时降低后，会再次上升。而且，随时间的经过，泵44的入口处的压力逐渐上升，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，通过泵44开始进行抽吸动作而开始供给涂布液。图6中的符号b表示开始进行泵44的抽吸动作的时间点。
如果泵44开始抽吸动作，而开始对泵44供给涂布液，则泵44的入口处的涂布液的压力急剧降低。而且，如果泵44的入口处的涂布液的压力比压力的下侧的基准值D低，则利用控制部40的控制来将开闭阀52打开，从而供给到腔室62的压缩空气的压力，即供给到泵44的涂布液的压力上升。由此，供给到泵44的涂布液的压力维持为适当值。
图6中的符号c表示泵44的抽吸动作停止的时间点。而且，此时，利用控制部40的控制将开闭阀52闭合，从而供给到泵44的涂布液的压力降低到当初的压力为止。由此，泵44的入口处的涂布液的压力逐渐下降，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。该状态下，如果将开闭阀53闭合，则根据伴随该开闭阀53的闭合的体积变化，泵44的入口处的压力暂时上升。
接下来，对本发明的涂布装置的涂布液的供给系统的又一实施方式进行说明。图7是表示本发明的第三实施方式的涂布液的供给系统的概要图。另外，图7中，对与图3所示的第一实施方式相同的构件，附上相同的符号并省略详细的说明。
该第三实施方式的涂布液的供给系统相对于图3所示的第一实施方式的涂布液的供给系统，在泵44与开闭阀54、开闭阀55之间，附设具备开闭阀57的压力释放部。具备该开闭阀57的压力释放部用以将连接泵44与狭缝喷嘴13的管路内的涂布液的压力释放。
图8是表示利用该供给系统供给涂布液时的涂布液的压力的变化的曲线图。
图8中符号c所示的直到泵44的抽吸动作停止为止的动作，与图4所示的第一实施方式相同。即，如果泵44的抽吸动作停止，调节器49受到调整而供给到泵44的涂布液的压力降低到当初的压力为止，则泵44的入口处的涂布液的压力也逐渐下降，而成为与涂布液的供给压力B一致的压力。图8中的符号d表示该时间点。
如果在图8中符号d表示的时间点，将开闭阀53闭合，则根据伴随该开闭阀53的闭合的体积变化，泵44的入口处的压力暂时上升。而且，当在图8中符号e所示的时间点将作为压力释放部发挥功能的开闭阀57打开时，泵44与开闭阀54、开闭阀55之间的压力下降，泵44的入口处的压力也下降。而且，当在图8中符号d所示的时间点将开闭阀57打开时，在该时间点，泵44与开闭阀54、开闭阀55之间的压力下降，泵44的入口处的压力也下降。
根据该第三实施方式的涂布液的供给系统，对图3所示的第一实施方式的涂布液的供给系统追加作为压力释放部发挥功能的开闭阀57，因而可使泵44附近的压力迅速且稳定地降低到大气压附近为止。可不依存于供给压力的设定，而一直使涂布开始时的泵44与开闭阀54、开闭阀55间的涂布液的压力为固定。
另外，所述实施方式中，均在腔室62内配设贮存涂布液的贮存槽61，并采用加压机构，所述加压机构通过对腔室62内进行加压而将贮存槽61内的涂布液加压并将贮存槽内61的涂布液压送到泵44中。然而，也可采用通过对贮存涂布液的可挠性的槽进行物理加压等，而将贮存槽内的涂布液压送到泵44中的加压机构。
而且，在所述实施方式中，均将本发明应用于如下的涂布装置，所述涂布装置使狭缝喷嘴13相对于载置于平台11上的矩形状的基板100移动，由此对作为涂布对象物的基板100涂布涂布液。然而，也可将本发明应用于如下的涂布装置中，即，使用长条的基材作为涂布对象物，并使该基材相对于喷嘴移动，由此将涂布液涂布于基材的表面。

Claims (5)

1.一种涂布装置，通过使涂布对象物与喷嘴相对地移动，而将涂布液涂布于所述涂布对象物，所述涂布装置的特征在于包括：
贮存槽，贮存涂布液；
泵，将贮存在所述贮存槽中的涂布液输送到所述喷嘴；
加压机构，通过对所述贮存槽内的涂布液进行加压，而将所述贮存槽内的涂布液压送到所述泵中；
压力计，对压送到所述泵中的涂布液的压力进行测定；以及
控制部，根据由所述压力计测定的涂布液的压力，来控制所述加压机构对涂布液的加压力。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：
所述控制部根据由所述压力计测定的涂布液的压力，来连续地变更所述加压机构对涂布液的加压力。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：
所述控制部根据由所述压力计测定的涂布液的压力，分多阶段地变更所述加压机构对涂布液的加压力。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的涂布装置，其特征在于：
在将所述泵与所述喷嘴加以连接的管路上，附设用以将所述管路内的涂布液的压力释放的压力释放部。
5.一种涂布方法，一边使涂布对象物与喷嘴相对地移动，一边从所述喷嘴喷出涂布液，由此将涂布液涂布于所述涂布对象物，所述涂布方法的特征在于包括：
加压工序，对贮存在贮存槽内的涂布液进行加压；
涂布工序，利用泵将所述加压工序中加压的涂布液输送到所述喷嘴，并从所述喷嘴喷出涂布液，并且使所述涂布对象物与所述喷嘴相对地移动而进行涂布液的涂布；
压力测定工序，对压送到所述泵中的涂布液的压力进行测定；以及
加压力控制工序，根据所述压力测定工序中测定的涂布液的压力，来对涂布液的加压力进行控制。
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