CN104070691B - 薄膜的制造方法及制造设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。其是进行薄膜的应力衰减处理的薄膜的制造方法，使用从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体来以非接触状态输送薄膜的浮置输送装置（1），在以非接触状态输送薄膜的同时进行应力衰减处理。尤其适合于对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜的应力衰减处理。

Description

薄膜的制造方法及制造设备
技术领域
本发明涉及一种进行薄膜的应力衰减（応力緩和）处理的薄膜的制造方法及制造设备。
背景技术
聚酰亚胺薄膜具有高耐热性、高电绝缘性，满足使用上所需的刚性、耐热性或电绝缘性。因此，广泛用于电绝缘薄膜、隔热薄膜、柔性电路板的基膜、太阳能电池基板等工业领域。
聚酰亚胺薄膜通过下述方法制造：将含有聚酰胺酸等的聚酰亚胺前驱体溶液流延到支持体上并干燥，形成自支撑膜，对自支撑膜进行加热处理而制造。
此外，由于在加热处理后的聚酰亚胺薄膜上残留应力，因此进行应力衰减处理（退火处理）来缓和残余应力，进行谋求提高对热的尺寸稳定性。
例如，专利文献1中公开了如下内容：在实际上无张力下，将聚酰亚胺薄膜以150℃以上且420℃以下加热1秒以上且60小时以内后，进行冷却处理直至室温，从而制造改进了加热收缩性的聚酰亚胺薄膜。
此外，专利文献2中公开了如下内容：对聚酰亚胺薄膜在薄膜的长度方向上施加1～10kg/m的张力，同时利用热风连续性地实施加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。
此外，专利文献3中公开了如下内容：对聚酰亚胺薄膜将薄膜的长度方向上的张力保持在1kg/m以上且10kg/m以下，并照射远红外线以短时间进行加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。
此外，并不限于聚酰亚胺薄膜，为了缓和残余应力，谋求提高对热的尺寸稳定性，在各种薄膜上进行薄膜的应力衰减处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公告平成5-87377号公报
专利文献2：日本专利公开2000-72900号公报
专利文献3：日本专利公开2000-72901号公报
发明内容
（一）要解决的技术问题
在应力衰减处理中，聚酰亚胺薄膜有时处于暴露在高于聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（以下将玻璃化转变温度标记为Tg）的温度下而软化的状态。因此，聚酰亚胺薄膜在应力衰减装置内输送时，表面容易产生伤痕等。如果在聚酰亚胺薄膜上产生伤痕等，会导致产品不良，因此成品率降低。
因此，本发明的目的在于提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。
（二）技术方案
为了实现上述目的，本发明的薄膜的制造方法的特征在于，进行薄膜的应力衰减处理，
使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。
根据上述发明，通过使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，将薄膜在非接触下进行输送，由此即使被加热气体加热而使薄膜软化，也能够不产生伤痕等地进行输送。
此外，如果薄膜软化，薄膜的刚性下降，变得容易产生折皱，但在上述发明中，通过使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时对薄膜加热，由于通过使其弯曲，基于形状的刚性增大，因此能够抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，设置压薄膜装置，该压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，并在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送。
根据上述方式，通过利用从薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送，能够更加良好地维持薄膜的平坦度，同时能够迅速且均匀地对薄膜进行加热。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，来进行所述应力衰减处理。
根据上述方式，通过改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，能够根据所期望的温度曲线进行应力衰减处理。
本发明的薄膜的制造方法尤其适合对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。
优选地，聚酰亚胺薄膜的应力衰减处理包括以下工序1～工序3，工序1：将聚酰亚胺薄膜的温度加热至设定在（聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（Tg）-150）℃～（聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（Tg）＋200）℃的范围内的温度以上；工序2：在进行工序1后，将聚酰亚胺薄膜的温度设定为低于工序1中设定温度的（聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（Tg）-150）℃～（聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（Tg））℃的范围内的温度；工序3：在进行工序2后，将聚酰亚胺薄膜的温度冷却至常温；其中，在至少所述工序1及所述工序2中，使用所述浮置输送装置。
在上述方式中，在工序1及工序2中，聚酰亚胺薄膜处于软化的状态，暴露在平坦度恶化或容易产生伤痕等的状态下，但通过在至少工序1及工序2中使用浮置输送装置进行应力衰减处理，能够可靠地防止平坦度的恶化及伤痕的产生。
此外，更加优选地，在上述方式中，所述工序2及所述工序3使聚酰亚胺薄膜的温度阶段性地下降来进行。
由此，由于能够将在工序1中加热至上述温度以上的聚酰亚胺薄膜在工序2及工序3中平滑地冷却，因此能够抑制伴随急剧的温度变化而产生折皱或凹凸，能够使聚酰亚胺薄膜的平坦度更加良好。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，使从所述薄膜的输送路径上的一个弯曲部至下一个弯曲部的直线部的长度为50mm以下。
根据上述方式，通过使刚性容易下降的直线部的长度为50mm以下，能够抑制由于薄膜的刚性下降而导致的折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，将所述薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径设为大于15mm且小于等于270mm。
根据上述方式，通过将薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径设为大于15mm且小于等于270mm，即使被加热气体加热而使薄膜软化，通过以上述曲率半径使其弯曲，基于形状的刚性进一步增大，因此能够更加有效地抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，将所述薄膜的输送路径上的沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90～270°。
根据上述方式，通过将沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90～270°，进一步提高弯曲部的刚性，能够更加有效地抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，形成如下结构：所述薄膜输送导向器的薄膜输送面由多孔质材料形成，通过该多孔质材料喷出加热气体。
根据上述方式，由于能够对薄膜大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理，因此不易发生压力不均或加热不均等，能够高效地缓和残余应力。进而，能够抑制在薄膜表面上产生折皱或凹凸等，能够高效地制造平坦度良好的薄膜。
优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，同时使用从所述浮置输送装置喷出的加热气体的加热和红外线加热器的加热，来进行所述应力衰减处理。
另一方面，本发明的薄膜的制造设备的特征在于，具有对薄膜进行应力衰减处理的应力衰减装置，所述应力衰减装置具备浮置输送装置，该浮置输送装置从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，以非接触状态对薄膜进行加热并输送，所述浮置输送装置构成为：具备多个薄膜输送导向器，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，所述薄膜输送导向器的凸曲面交替地在相反方向上排列，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送。
根据上述发明，通过使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，将薄膜在非接触下进行输送，由此即使被加热气体加热而使薄膜软化，也能够不产生伤痕等地进行输送。
此外，如果薄膜软化，薄膜的刚性下降，变得容易产生折皱，但在上述发明中，通过使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时对薄膜加热，由于通过使其弯曲，基于形状的刚性增大，因此能够抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，所述浮置输送装置构成为：还具备压薄膜装置，该压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，并在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送。
根据上述方式，通过利用从薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体对薄膜的两面喷吹加热气体而进行浮置输送，能够更加良好地维持薄膜的平坦度，同时能够迅速且均匀地对薄膜进行加热。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，所述多个薄膜输送导向器构成为：能够对从气体喷射孔喷出的气体的温度进行单独设定。
根据上述方式，通过改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，能够根据所期望的温度曲线进行应力衰减处理。
本发明的薄膜的制造设备尤其适合对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，将由所述薄膜输送导向器形成的所述薄膜的输送路径上的一个弯曲部至下一个弯曲部的直线部的长度设定为50mm以下。
根据上述方式，通过将刚性容易下降的直线部的长度设为50mm以下，能够抑制由于薄膜的刚性下降而导致的折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，将所述薄膜输送导向器的薄膜输送面的曲率半径设为15mm以上且250mm以下。
根据上述方式，通过使薄膜输送导向器的薄膜输送面的曲率半径为15mm以上且250mm以下，由于薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径也为与其对应的长度（仅比薄膜输送面大浮置部分的曲率半径），因此即使被加热气体加热而使薄膜软化，通过以上述曲率半径使其弯曲，基于形状的刚性进一步增大，因此能够更加有效地抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，将由所述薄膜输送导向器形成的所述薄膜的输送路径上的沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设定为90～270°。
根据上述方式，通过将沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90～270°，进一步提高弯曲部的刚性，能够更加有效地抑制折皱的产生。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，形成如下结构：所述薄膜输送导向器的薄膜输送面由多孔质材料形成，通过该多孔质材料喷出加热气体。
根据上述方式，由于能够对薄膜大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理，因此不易发生压力不均或加热不均等，能够高效地缓和残余应力。进而，能够抑制在薄膜表面上产生折皱或凹凸等，能够高效地制造平坦度良好的薄膜。
优选地，在本发明的薄膜的制造设备中，在配置有所述浮置输送装置的区域配置红外线加热器，所述红外线加热器对在所述浮置输送装置上以非接触状态输送的薄膜进行加热。
（三）有益效果
根据本发明，通过使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，将薄膜在非接触下进行输送，由此即使被加热气体加热而使薄膜软化，也能够不产生伤痕等地进行输送。此外，通过使薄膜交替地在相反方向上弯曲而输送，由于基于形状的刚性增大，因此即使薄膜软化，也能够抑制折皱的产生。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的聚酰亚胺薄膜的制造设备中使用的应力衰减装置的示意图。
图2是本发明的第二实施方式的聚酰亚胺薄膜的制造设备中使用的应力衰减装置的示意图。
图3是表示薄膜输送导向器的一个实施方式的示意图，（a）是立体图，（b）是（a）的A-A剖面图。
图4是表示图3的薄膜输送导向器的变形例的示意图。
图5是表示图3的薄膜输送导向器的变形例的示意图。
图6是表示薄膜输送导向器的其他实施方式的示意图，（a）是立体图，（b）是平面图。
图7是表示薄膜输送导向器的其他实施方式的示意图，（a）是立体图，（b）是平面图。
图8是表示相对薄膜输送导向器的聚酰亚胺薄膜的弯曲形状的一例的说明图。
具体实施方式
本发明的薄膜的制造方法是用于进行薄膜的应力衰减处理的方法。尤其适合在对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到聚酰亚胺薄膜后，进行缓和聚酰亚胺薄膜上残留的应力的应力衰减处理。本发明的特征为使用浮置输送装置进行应力衰减处理，所述浮置输送装置从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，以非接触状态输送薄膜。下面，列举将本发明适用于聚酰亚胺薄膜的制造方法的例子，对本发明进行详细说明。
（对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理来得到聚酰亚胺薄膜的工序）
首先，对应力衰减处理前为止的工序进行说明。
将含有聚酰胺酸和有机溶剂的聚酰亚胺前驱体溶液流延到支持体上来形成流延物。所述流延物相当于本发明中的聚酰亚胺薄膜的前驱体。
聚酰胺酸可以利用公知的方法使四羧酸二酐成分与二胺成分反应来制备。例如，可以在通常用于制备聚酰亚胺的有机溶剂中使四羧酸二酐成分与二胺成分聚合来制备。
作为上述四羧酸二酐成分，可以列举芳香族四羧酸二酐、脂肪族四羧酸二酐、脂环族四羧酸二酐等。作为具体例可以列举：3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐、均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-氧双邻苯二甲酸酐、二苯砜-3,4,3’,4’-四羧酸二酐、双(3,4-二羧基苯基)硫醚二酐、2,2-双(3,4-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐等。
作为上述二胺成分，可以列举芳香族二胺，脂肪族二胺，脂环族二胺等。作为具体例可以列举：对苯二胺、4,4’-二氨基二苯醚、3,4’-二氨基二苯醚、间联甲苯胺、对联甲苯胺、5-氨基-2-(对氨基苯基)苯并恶唑、4,4’-二氨基苯酰替苯胺、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、1,4-双(3-氨基苯氧基)苯、1,4-双(4-氨基苯氧基)苯、3,3’-双(3-氨基苯氧基)联苯、3,3’-双(4-氨基苯氧基)联苯、4,4’-双(3-氨基苯氧基)联苯、4,4’-双(4-氨基苯氧基)联苯、双[3-(3-氨基苯氧基)苯基]醚、双[3-(4-氨基苯氧基)苯基]醚、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]醚、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]醚、2,2-双[3-(3-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[3-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷等。
作为四羧酸二酐成分与二胺成分的组合的一例，可以列举以下（1）～（6）。从机械特性、耐热性的观点考虑优选这些组合。
（1）3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐与对苯二胺的组合。
（2）3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐、对苯二胺与4,4’-二氨基二苯醚的组合。
（3）均苯四甲酸二酐与对苯二胺的组合。
（4）均苯四甲酸二酐、对苯二胺与4,4’-二氨基二苯醚的组合。
（5）3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐、均苯四甲酸二酐与对苯二胺的组合。
（6）3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐、均苯四甲酸二酐、对苯二胺与4,4’-二氨基二苯醚的组合。
作为上述有机溶剂，只要能够溶解聚酰胺酸即可。可以使用公知的有机溶剂。例如，N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺等。这些溶剂可以单独使用，也可以同时使用两种以上。
在通过热酰亚胺化反应完成聚酰亚胺前驱体溶液酰亚胺化的情况下，可以在聚酰亚胺前驱体溶液中，根据需要添加酰亚胺化催化剂等。此外，在通过化学酰亚胺化反应完成聚酰亚胺前驱体溶液酰亚胺化的情况下，可以在聚酰亚胺前驱体溶液中，根据需要添加环化催化剂、脱水剂等。
作为上述酰亚胺化催化剂，可以列举取代或非取代的含氮杂环化合物、该含氮杂环化合物的N-氧化物化合物、取代或非取代的氨基酸化合物、具有羟基的芳香族烃化合物或芳香族杂环化合物。
作为上述环化催化剂，可以列举脂肪族叔胺、芳香族叔胺、杂环叔胺等。作为环化催化剂的具体例，可以列举三甲胺、三乙胺、二甲基苯胺、吡啶、β-甲基吡啶、异喹啉、喹啉等。
作为上述脱水剂，可以列举脂肪族羧酸酐、芳香族羧酸酐等。作为脱水剂的具体例，可以列举乙酸酐、丙酸酐、丁酸酐、甲酸酐、琥珀酸酐、马来酸酐、邻苯二甲酸酐、苯甲酸酐、吡啶甲酸酐等。
聚酰亚胺前驱体溶液的固体成分浓度（聚合物成分）只要是适合通过流延制造薄膜的粘度范围的浓度即可，并无特别限定。优选为10～30质量%，更加优选为15～27质量%，进一步优选为16～24质量%。
接着，将上述流延物导入干燥炉进行干燥，形成具有自支撑性的自支撑膜（聚酰亚胺薄膜的前驱体）。在此，具有自支撑性是指具有能够从支持体剥离的程度的强度的状态。
用于形成自支撑膜的干燥条件（加热条件）并无特别限定。优选在温度100～180℃下，加热2～60分钟。更加优选在温度120～160℃下，加热4～30分钟。另外，这里所说的温度是指通过设置在炉内的热电偶测定的气氛温度。
接着，将自支撑膜从支持体剥离进行固化工序。作为自支撑膜从支持体剥离的方法并无特别限定，可以列举冷却自支撑膜，通过滚子给予张力来剥离的方法等。
在固化工序中，将自支撑膜导入固化炉进行加热处理，完成溶剂去除和酰亚胺化，使其加热固化，得到聚酰亚胺薄膜。固化炉相当于本发明的聚酰亚胺薄膜的制造设备中的“对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理的加热装置”。
作为自支撑膜的加热方法，能够使用公知的方法。作为加热方法的一例，如下方法适合：在约100～400℃的温度下，以约0.05～5小时、优选为0.1～3小时逐渐加热，进行酰亚胺化及溶剂的蒸发、去除。自支撑膜的加热也可以阶段性地进行。作为一例，可以列举如下方法：在约100～170℃的比较低的温度下加热约0.5～30分钟，进行第一次加热处理，然后在170℃～220℃的温度下加热约0.5～30分钟，进行第二次加热处理，之后在220℃～400℃的温度下加热约0.5～30分钟，进行第三次加热处理。如果必要，也可以在第三次加热处理后，在400℃～550℃、优选为450～520℃下加热，进行第四次加热处理。另外，这里所说的温度是指通过贴在薄膜上的热电偶测定的薄膜的表面温度。
在固化工序中，优选在利用针板拉幅机、夹子、框架等夹具夹持自支撑膜的同时进行。能够抑制伴随加热固化发生的薄膜的收缩，防止在薄膜表面上产生凹凸等。更加优选地，在利用夹具将与长形的自支撑膜的长度方向呈直角的方向固定，即将薄膜的宽度方向的两端边缘固定的同时进行。此外，根据需要，也可以在自支撑膜的宽度方向或长度方向上缩放而加热，进行固化工序。
（应力衰减（退火）处理）
在本发明中，如上所述地对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到聚酰亚胺薄膜，对该聚酰亚胺薄膜使用具备浮置输送装置的应力衰减装置进行应力衰减处理，所述浮置输送装置从气体喷射孔对聚酰亚胺薄膜喷出加热气体，以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜。应力衰减处理优选不用夹具固定薄膜的宽度方向而进行。
（第一实施方式）
首先，参照图1，对本发明的第一实施方式中使用的应力衰减装置进行说明。
图1所示的应力衰减装置1具备呈大致圆筒形的多个薄膜输送导向器10a、10b、10c、10d、10e。而且，将聚酰亚胺薄膜50在各薄膜输送导向器10a～10e之间拉伸设置成之字形状而进行配置。另外，虽然在图1中配置有5个薄膜输送导向器，但薄膜输送导向器的数量并无特别限定。通过改变薄膜输送导向器的外径或根数，能够调整由各薄膜输送导向器所进行的工序距离、工序时间。
在各薄膜输送导向器10a～10e的表面的至少一部分上形成有气体喷射孔，该面成为薄膜输送面。而且，在各薄膜输送导向器10a～10e上，连接有从各热风加热器AH1～5伸出的气体导入管L1～L5。各热风加热器AH1～5能够独立地调整供给的热风温度。如果通过各气体导入管将加热气体导入至各薄膜输送导向器10a～10e，则从设置在各薄膜输送导向器10a～10e的薄膜输送面上的气体喷射孔喷出加热气体。由此，能够在以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的同时，对其加热来进行应力衰减处理。
在本实施方式中，其构成为：薄膜输送导向器10a～10e相当于本发明中的浮置输送装置，通过热风加热器AH1～5，从各薄膜输送导向器喷出预先单独设定的温度的气体。
从各薄膜输送导向器喷出的加热气体的温度能够根据聚酰亚胺薄膜的种类、厚度适当调整，使得聚酰亚胺薄膜的表面温度沿输送路径成为所期望的温度曲线。
从各薄膜输送导向器喷出的加热气体的流速并无特别限定。可以根据聚酰亚胺薄膜的厚度等适当调整。优选为0.1～3m/sec，更加优选为0.1～1m/sec。
从各薄膜输送导向器喷出的加热气体的风量并无特别限定，但优选调整薄膜输送导向器与聚酰亚胺薄膜的间隔（浮置高度）为0.1～20mm，更加优选调整为0.1～5mm。
利用图3对薄膜输送导向器的优选方式进行说明。图3（a）是薄膜输送导向器的立体图，（b）是（a）的A-A截面图。
图3所示的薄膜输送导向器10整体呈大致圆筒形，除了两端部102a、102b，几乎全圆周上配置有多孔质材料101。并且，在一侧端部102a上，连接有气体导入管103。
通过向薄膜输送导向器10导入气体，该薄膜输送导向器10如图3（b）所示，通过多孔质材料101向外部喷出气体。因此，通过从多孔质材料101喷出的气体的喷出压力，能够在薄膜输送导向器10上以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜。此外，由于能够对通过薄膜输送导向器10上的聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹气体，因此能够对聚酰亚胺薄膜均匀地加热。
在图3所示的薄膜输送导向器10上，形成有多孔质材料101的区域优选为在薄膜输送导向器10上输送的聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.5），更加优选为聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.1）。如果形成有多孔质材料101的区域为上述范围，能够对聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理。
在图3所示的薄膜输送导向器10中，作为多孔质材料101并无特别限定，可以列举将叠层筛网、多孔质陶瓷、多孔质金属、冲孔金属材料等成形为大致圆筒形或将其一部分成形为曲面而得到的材料等，特别优选使用叠层筛网、多孔质陶瓷。
优选地，多孔质材料101的开孔部的直径以等效圆形为大于0且小于等于2mm，孔间距为大于0且小于等于3mm，更加优选地，开孔部的直径以等效圆形为大于0且小于等于0.3mm，孔间距为大于0且小于等于0.5mm。如果多孔质材料101的开孔部的直径和孔间距为上述数值，则能够在以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的同时，对聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理。如果多孔质101的开孔部的直径大于2mm，或孔间距大于3mm，则在应力衰减处理时有时会发生加热不均等。另外，在本发明中，开孔部的等效圆形的直径是指将开孔部的面积换算成同等面积的圆时的圆的直径。
另外，图3的薄膜输送导向器10的结构是，在整个圆周上形成有多孔质材料101，从薄膜输送导向器10的整个圆周喷出气体，但也可以构成为如图4（a）所示，仅在薄膜输送面（聚酰亚胺薄膜50通过的部分）上形成多孔质材料101，仅从薄膜输送面喷出气体。此外，如图4（b）、（c）所示，还可以构成为：虽然在整个圆周上形成多孔质材料101，但在薄膜输送面以外的部分配置罩材料110，使得仅从薄膜输送面喷出气体。另外，图4（b）是在薄膜输送导向器10的外周配置罩材料110，图4（c）是在薄膜输送导向器10的内周配置罩材料110。
此外，图3的薄膜输送导向器10的气体导入管103仅设置在薄膜输送导向器10的一侧端部，但也可以如图5（a）所示，设置在薄膜输送导向器10的两端。此外，也可以如图5（b）所示，设置在薄膜输送面相反侧的薄膜输送导向器10的中央附近。
此外，图3的薄膜输送导向器10呈大致圆筒形，但薄膜输送导向器10的形状并无特别限定，只要使薄膜输送面呈凸曲面状的形状即可。例如，也可以是薄膜输送面设置在曲面侧的大致半圆筒形。
使用图6对薄膜输送导向器的其他例进行说明。图6（a）是薄膜输送导向器的立体图、（b）是（a）的局部平面图。
图6所示的薄膜输送导向器10’作为整体呈大致圆筒形，在曲面上设置的薄膜输送面上进行冲孔形成气体喷出孔105。并且，在一端连接有气体导入管106。
在图6所示的薄膜输送导向器10’上，冲孔形成气体喷出孔105的区域优选为在薄膜输送导向器10’上输送的聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.5），更加优选为聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.1）。如果冲孔形成有气体喷出孔105的区域为上述范围，则能够对聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理。
气体喷出孔105沿薄膜的宽度方向及移动方向以规定间隔排列，优选其排列方向相对宽度方向及移动方向以角度θ倾斜。上述角度θ优选为0～45°，更加优选为3～10°。
另外，图6所示的薄膜输送导向器10’的气体导入管106仅设置在薄膜输送导向器10’的一侧端部，但也可以设置在薄膜输送导向器10’的两端。此外，也可以设置在薄膜输送面相反侧的薄膜输送导向器10’的中央附近。
此外，图6的薄膜输送导向器10’呈大致圆筒形，但也可以为薄膜输送面成形为曲面的大致半圆筒形。形状并无特别限定，但优选使用薄膜输送面呈凸曲面状的形状。
使用图7对薄膜输送导向器的又一其他例进行说明。图7（a）是薄膜输送导向器的立体图，（b）是（a）的局部平面图。
图7所示的薄膜输送导向器10”作为整体呈大致圆筒形，在薄膜输送面上形成有狭缝喷嘴108。并且，在一端连接有气体导入管109。
狭缝喷嘴108的厚度T优选为2mm以下，更加优选为0.5mm以下。
狭缝喷嘴108的宽W优选为在薄膜输送导向器10”上输送的聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.5），更加优选为聚酰亚胺薄膜的宽×（1～1.1）。如果狭缝喷嘴108的宽W为上述范围，则能够对聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理。
另外，图6所示的薄膜输送导向器10”的气体导入管109仅设置在薄膜输送导向器10”的一侧端部，但也可以设置在薄膜输送导向器10”的两端。此外，也可以设置在薄膜输送面相反侧的薄膜输送导向器10”的中央附近。
此外，图7的薄膜输送导向器10”呈大致圆筒形，但也可以为薄膜输送面成形为曲面的大致半圆筒形。形状并无特别限定，但优选使用薄膜输送面形成为凸曲面状的形状。
此外，图7所示的薄膜输送导向器10”配置有一个狭缝喷嘴108，但也可以配置多个。狭缝喷嘴108的个数并无特别限定。在配置多个狭缝喷嘴108的情况下，优选配置为沿薄膜输送导向器10”的周向空开规定间隔进行排列。
薄膜输送导向器10a～10e的凸曲面状的薄膜输送面的曲率半径可以全部相同，也可以不同。但是，如果增大薄膜输送面的曲率半径，由于禁不住由输送张力导致的宽度方向的压曲，变得容易产生折皱或凹凸，因此薄膜输送面的曲率半径优选为15mm以上且250mm以下，更加优选为15mm以上且75mm以下。
与此相对应，聚酰亚胺薄膜50在输送路径上的弯曲部的曲率半径优选为大于15mm且小于等于270mm，更加优选为大于15mm且小于等于95mm。
如图1所示，通过将薄膜输送面呈凸曲面状的薄膜输送导向器10沿输送线进行配置，使其凸曲面状的薄膜输送面交替地朝向相反方向，从而能够使聚酰亚胺薄膜50交替地在相反方向上弯曲，拉伸设置成之字形状。
图8是表示相对薄膜输送导向器10的聚酰亚胺薄膜50的弯曲形状的一例的说明图。在此，聚酰亚胺薄膜50沿薄膜输送导向器10的薄膜输送面弯曲的角度θ（以下称为“夹角θ”）优选为60～270°，更加优选为90～270°，最优选为150～240°。上述夹角θ小于60°时，基于聚酰亚胺薄膜50的弯曲形状的刚性付与效果不足，如果大于270°，薄膜输送导向器10的配置间隔变得过窄，有可能不能充分地取得设置空间。
此外，聚酰亚胺薄膜50跨过邻接的薄膜输送导向器10时的从一个弯曲部至下一个弯曲部的直线部的长度L优选设定为50mm以下，更加优选设定为30mm以下。如果上述直线部的长度L大于50mm，则在该直线部上，会有聚酰亚胺薄膜50的刚性下降，容易产生折皱的倾向。
图1所示的应力衰减装置1通过设置了薄膜输送用狭缝的隔板11，区划有配置了各薄膜输送导向器10a～10e的区域12a～12e。各区域的区划宽度并无特别限制，但优选每一区划为容下1～3个薄膜输送导向器的长度。
在该实施方式中，在区域12b上，在与聚酰亚胺薄膜50的配置有薄膜输送导向器10b一侧的相反侧上，配置有红外线加热器IR1、IR2。通过设置红外线加热器，能够提高加热效率，能够使应力衰减装置更加小型化。红外线加热器的加热温度并无特别限定，但优选高于从薄膜输送导向器10b喷出的热风温度，更加优选为（从薄膜输送导向器10b喷出的热风温度）～（从薄膜输送导向器10b喷出的热风温度＋300℃）。
另外，在图1中，在区域12b上配置有两列红外线加热器，但红外线加热器的台数并无特别限定，此外，配置红外线加热器的区域不限于区域12b，也可以配置在其他区域上，但优选配置在使聚酰亚胺薄膜50的温度为最高温的区域（最高到达温度区域）上。此外，红外线加热器并非必须设置，也可以省略。
导入应力衰减装置1内的聚酰亚胺薄膜50，通过从设置在各薄膜输送导向器10a～10e上的气体喷射孔喷出的气体，以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜50。并且，由于从各薄膜输送导向器10a～10e的气体喷射孔喷出加热气体，通过加热气体对聚酰亚胺薄膜50加热，进行应力衰减处理。
此外，由于该应力衰减装置1的内部由隔板11区划成多个区域12a～12e，因此能够从各薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出预先单独设定的温度的加热气体，从而使聚酰亚胺薄膜50的温度阶段性地升温及降温来进行处理。例如，能够在应力衰减装置1的前半区域上，以任意的升温速度加热聚酰亚胺薄膜而以任意的最高到达温度进行处理，在后半区域上，以任意的降温速度冷却聚酰亚胺薄膜而进行处理。
列举具体的一例，可以列举如下方法：区域12a～12b作为将聚酰亚胺薄膜的温度加热至设定在（聚酰亚胺薄膜的Tg-150）℃～（聚酰亚胺薄膜的Tg＋200）℃的范围内的温度以上的第1区域，区域12c～12d作为将聚酰亚胺薄膜的温度设定为低于第1区域中设定温度的（聚酰亚胺薄膜的Tg-150）℃～（聚酰亚胺薄膜的Tg）℃的范围内的温度的第2区域，区域12e作为将聚酰亚胺薄膜的温度冷却至设定为低于第2区域中设定温度的（聚酰亚胺薄膜的Tg-150）℃～常温（大气温度或室温）的范围内的温度的第3区域，来进行应力衰减处理。在第3区域上，优选冷却至常温。
在第1区域上，通过将聚酰亚胺薄膜加热至上述设定的温度以上，能够高效地缓和残留在热固化后的聚酰亚胺薄膜上的应力。另外，聚酰亚胺薄膜的Tg（玻璃化转变温度）是指构成聚酰亚胺薄膜的聚合物的运动性有较大变化的边界温度。在本发明中，使用动态粘弹性测定装置（TA Instruments公司制造的RSA-G2），将以频率1Hz、升温速度10℃/分钟测定的tanδ的峰值温度作为聚酰亚胺薄膜的Tg。
在第1区域上，优选调整从薄膜输送导向器10a～10b的气体喷射孔喷出的气体的温度，以便能够使聚酰亚胺薄膜50阶段性地升温。此外，在第2区域及第3区域上，优选调整从薄膜输送导向器10c～10d的气体喷射孔喷出的气体的温度，以便能够使聚酰亚胺薄膜50阶段性地降温。在作为再加热工序的第1区域及作为冷却固化工序的第2区域上，通过阶段性地改变温度，能够平滑地对聚酰亚胺薄膜50进行加热处理，能够高效地防止伴随急剧的温度变化的折皱或凹凸的产生。
另外，图1的应力衰减装置中，在第1区域（区域12a～12b）、第2区域（区域12c～12d）、第3区域（区域12e）全都使用浮置输送装置，但在第3区域（区域12e）上，由于聚酰亚胺薄膜处于不易产生伤痕等的状态，因此也可以仅在第1区域（区域12a～12b）及第2区域（区域12c～12d）使用浮置输送装置，在第3区域（区域12e）使用浮置输送装置以外的输送装置进行处理。作为浮置输送装置以外的输送装置，可以列举接触式导向器等。
优选地，应力衰减处理不用夹具等固定聚酰亚胺薄膜50的两端边缘，而将聚酰亚胺薄膜50在各薄膜输送导向器上以非接触状态输送来进行。如果利用夹具固定聚酰亚胺薄膜50的两端边缘，有时不能充分地降低残余应力，有时尺寸稳定性下降。
进行如上的应力衰减处理而得到的聚酰亚胺薄膜，其平坦度优异，在表面上伤痕、折皱、凹凸等变少。特别是通过使用图3～5所示的薄膜输送导向器，能够对聚酰亚胺薄膜的整面大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理，因此不易发生压力不均或加热不均等，能够高效地缓和残余应力。进而，能够抑制在薄膜表面上产生折皱或凹凸等，能够高效地制造平坦度良好的聚酰亚胺薄膜。
这样制造的聚酰亚胺薄膜能够优选用于电气/电子部件的基板或绝缘材料等。例如，能够用作TAB用带、COF用带等的带基材、IC芯片等芯片元件等的保护基材（カバー基材）、液晶显示器、有机电致发光显示器、电子纸、太阳能电池、印刷电路板等的基底基板。
（第二实施方式）
下面使用图2，对本发明的第二实施方式中使用的应力衰减装置进行说明。另外，与图1所示的应力衰减装置实质上相同的位置，付上相同的附图标记，并省略说明。
图2所示的应力衰减装置是在区域12b、12c上，与薄膜输送导向器10b、10c的薄膜输送面相对地配置压薄膜装置15a、15b。
压薄膜装置向与其相对配置的薄膜输送导向器的薄膜输送面喷出气体，利用气体的喷出压力，将通过各薄膜输送导向器与压薄膜装置的输送面之间的聚酰亚胺薄膜向薄膜输送导向器的薄膜输送面侧压下。
在图2所示的应力衰减装置中，压薄膜装置15a、15b具有在与薄膜输送导向器10b、10c的薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面16。并且，在该凹曲面16上设置有气体喷射孔（没有图示）。此外，其构成为：在压薄膜装置15a、15b上，连接有从热风加热器AH2、AH3伸出的气体导入管L2a、L3a，使得能够从各压薄膜装置15a、15b喷出加热气体。
在图2所示的应力衰减装置中，如果通过各气体导入管向各薄膜输送导向器及各压薄膜装置导入气体，则从各薄膜输送导向器及各压薄膜装置的气体喷射孔喷出气体。由此，聚酰亚胺薄膜50在区域12a、12d、12e上通过从薄膜输送导向器10a、10d、10e喷出的气体的喷出压力进行浮置输送。并且，在区域12b、12c上，聚酰亚胺薄膜50夹在从薄膜输送导向器10b、10c的薄膜输送面喷出的气体与从压薄膜装置15a、15b喷出的气体之间进行浮置输送。
在此，在仅对聚酰亚胺薄膜的一侧的面喷吹气体来浮置输送聚酰亚胺薄膜的情况下，与聚酰亚胺薄膜的宽度方向的两侧相比，在宽度方向中央部附近，施加在聚酰亚胺薄膜上的压力有时会变强。在聚酰亚胺薄膜的温度低的状态的情况下，虽然在聚酰亚胺薄膜的宽度方向上发生压力不均也没有特别的问题，但在将聚酰亚胺薄膜暴露于高温的情况下，有时发生加热不均而使平坦度下降。对此，通过对聚酰亚胺薄膜的两面喷吹气体进行浮置输送，能够几乎不发生压力不均地浮置输送聚酰亚胺薄膜。因此，聚酰亚胺薄膜的加热不均更不易发生，能够得到平坦度更加良好的聚酰亚胺薄膜。
此外，在该实施方式中，由于从压薄膜装置15a、15b喷出加热气体，因此在区域12b、12c上，对聚酰亚胺薄膜50的两面喷吹加热气体。因此，能够将聚酰亚胺薄膜迅速地加热至所期望的温度，能够更加高效地进行应力衰减处理。此外，能够使装置整体长度更加紧凑。
在本发明中，作为压薄膜装置的结构并无特别限定，只要能够在与薄膜输送导向器的所述薄膜输送面相对的面（以下称为压薄膜面）上形成有气体喷射孔即可。可以列举例如在压薄膜面上配置与薄膜输送导向器相同的叠层筛网、多孔质陶瓷、多孔质金属、冲孔金属材料等多孔质材料，并通过多孔质材料喷出气体的结构，在压薄膜面上冲孔形成有气体喷出孔的结构，在压薄膜面上形成有狭缝喷嘴的结构等。优选为通过多孔质材料喷出气体的结构。由此，能够对通过薄膜输送导向器与压薄膜装置的输送面之间的聚酰亚胺薄膜大致均等地喷吹气体。作为多孔质材料，能够使用与在所述第一实施方式的薄膜输送导向器中说明的多孔质材料相同的材料。
在本发明中，作为压薄膜装置的形状并无特别限定。优选根据与压薄膜装置相对配置的薄膜输送装置的形状进行适当选择。作为优选的组合，是薄膜输送导向器的薄膜输送面呈凸曲面，压薄膜装置的压薄膜面呈凹曲面的组合。在这种情况下，压薄膜装置的压薄膜面更加优选为如下形状：其以大于薄膜输送导向器的薄膜输送面的曲率，而且与其相对地形成弯曲的凹曲面，并相对于薄膜输送导向器的薄膜输送面分开预先设定的一定的距离来配置。通过这样的组合，从薄膜输送导向器的薄膜输送面与压薄膜装置的压薄膜面以均匀的压力对聚酰亚胺薄膜喷吹气体，因此能够以稳定的形状描绘曲面地输送，能够使得到的聚酰亚胺薄膜的平坦度更加良好。
在本发明中，薄膜输送导向器的薄膜输送面与压薄膜装置的压薄膜面的间隔优选为0.2～40mm，更加优选为0.2～10mm，最优选为0.2～5mm。如果上述间隔小于0.2mm，则具有聚酰亚胺薄膜容易与薄膜输送导向器或压薄膜装置接触的倾向。
在本发明中，从各压薄膜装置喷出的气体的温度可以与从相对配置的薄膜输送导向器喷出的加热气体的温度相同，也可以不同。
在本发明中，从各压薄膜装置喷出的气体的流速可以与从相对配置的薄膜输送导向器喷出的加热气体的流速相同，也可以不同。从压薄膜装置喷出的气体的流速优选为从相对配置的薄膜输送导向器喷出的加热气体的流速的0.5～1.5倍。如果为上述范围，能够更加有效地抑制聚酰亚胺薄膜的压力不均。
在本发明中，在各压薄膜装置的压薄膜面上形成有气体喷出孔的区域，与相对配置的薄膜输送导向器的薄膜输送面上形成有气体喷出孔的区域相比，优选宽度方向上的长度相等。如果压薄膜装置的形成有气体喷出孔的区域为上述范围，则几乎不会发生压力不均，能够对聚酰亚胺薄膜进行浮置输送。
另外，在该实施方式中，在区域12b、12c上配置压薄膜装置，但也可以仅在区域12b、12c中任意一个区域上配置。此外，还可以在区域12a～12e的全部区域上配置。优选地，在上述第1区域（区域12a～12b）、第2区域（区域12c～12d）中，在聚酰亚胺薄膜暴露在特别高温的区域上配置。
此外，在该实施方式中，各区域的薄膜输送装置与压薄膜装置构成为从相同的加热器导入加热气体，也可以构成为从不同的加热器导入相同或不同温度的加热气体。
此外，在第二实施方式中，考虑压薄膜装置的配置，也可以设置第一实施方式的红外线加热器。
此外，上述实施方式是适用于聚酰亚胺薄膜的例子，但本发明并不限于聚酰亚胺薄膜，能够适用于各种薄膜的应力衰减处理。
作为适合本发明的进行应力衰减处理的薄膜的基材，主要可以列举热塑性树脂，例如，适合使用一般的作为光学薄膜用树脂的聚碳酸酯、聚酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚烯烃等。此外，也能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚砜、聚乙烯、聚氯乙烯、脂环族烯烃聚合物、丙烯酸类聚合物、二乙酸纤维素、三乙酸纤维素、乙酸丙酸纤维素等。
实施例
（试验例1）
（例1～4）
将使用3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐作为四羧酸二酐成分，使用对苯二胺作为二胺成分制造的聚酰亚胺薄膜（厚度：25μm、Tg：340℃）导入图1所示的应力衰减装置，以表1所示的加热条件进行应力衰减处理。在例1～4中，能够以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜。
另外，各薄膜输送导向器上的图8所示的夹角θ为150°，跨过薄膜输送导向器间的直线部的长度L为50mm。
对应力衰减处理后的聚酰亚胺薄膜进行了关于平坦度、尺寸稳定性、有无伤痕的评价。平坦度是将切成A4大小的试样在平坦的桌面上展开，通过目视，与没有实施应力衰减处理的聚酰亚胺薄膜比较薄膜的折皱或凹凸的产生状态来进行评价。
如果试样的表面状态与没有进行应力衰减处理的聚酰亚胺薄膜同等，则平坦度为◎，如果与没有进行应力衰减处理的聚酰亚胺薄膜几乎同等，则平坦度为○，在与没有进行应力衰减处理的聚酰亚胺薄膜相比显著不同的情况下，平坦度为×。关于聚酰亚胺薄膜的尺寸稳定性的评价，使用热机械分析装置（SII NanoTechnology株式会社制造EXSTAR6100TMA/SS），测定线膨胀系数（CTE），并确认有无线膨胀系数（CTE）变化大的点（拐点）。没有拐点的尺寸稳定性为○，具有拐点的尺寸稳定性为×。通过目视评价有无伤痕，没有明显伤痕的为○，有明显伤痕的为×。结果如表1所示。在表1中，“←”表示与左侧相同。
另外，例1、2所使用的薄膜输送导向器如图3所示，其形成为如下结构：其整体呈大致圆筒形，在除了两端部102a、102b的几乎整个圆周上，配置多孔质材料101，在一侧端部102a上连接气体导入管103。
此外，例3所使用的薄膜输送导向器如图6所示，其形成为如下结构：作为整体呈大致圆筒形，在薄膜输送面上冲孔形成有气体喷出孔105，在一侧端部上连接气体导入管106。
此外，例4所使用的薄膜输送导向器如图7所示，其形成为如下结构：整体呈大致圆筒形，在上面形成狭缝喷嘴108，在一侧端部上连接气体导入管109。将狭缝喷嘴108（喷出孔）的尺寸设置为T0.5mm×W380mm。
表1
如表1所示，使用从气体喷射孔喷出加热气体来以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的浮置输送装置，在以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的同时进行应力衰减处理的例1～4，残留在加热固化后的聚酰亚胺薄膜上的应力被充分地缓和，能够得到尺寸稳定性良好的聚酰亚胺薄膜。
并且，使用形成通过多孔质材料喷出加热气体的结构的导向器作为薄膜输送导向器的例1、2，几乎没有折皱或凹凸，平坦度良好。
（试验例2）
（例5）
将使用3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐作为四羧酸二酐成分，使用对苯二胺作为二胺成分制造的聚酰亚胺薄膜（厚度：25μm、Tg：340℃）导入图2所示的应力衰减装置，以如下所示的条件进行应力衰减处理。
作为薄膜输送导向器10a～10e，使用具有薄膜输送面由多孔质材料（喷射孔的尺寸：约100μm、喷射孔的孔间距：0.4mm）形成的图3所示的结构的导向器。另外，薄膜输送导向器10a、10b、10d、10e使用呈直径为75mm的大致圆筒形的导向器，薄膜输送导向器10c使用呈直径为150mm的大致圆筒形的导向器。
另外，各薄膜输送导向器上的图8所示的夹角θ为150°，跨过薄膜输送导向器间的直线部的长度L为50mm。
作为压薄膜装置15a，15b，使用压薄膜面呈沿薄膜输送导向器10b、10c的薄膜输送面的凹曲面，并由多孔质材料（喷射孔的尺寸：约100μm，喷射孔的孔间距：0.4mm）形成的导向器。
应力衰减处理条件为：使输送张力为0.2MPa，输送速度为1m/min。此外，在区域12a，从薄膜输送导向器10a以25m3/min/m2的风量喷出温度250℃的热风。此外，在区域12b，从薄膜输送导向器10b以35m3/min/m2的风量喷出温度450℃的热风，从压薄膜装置15a以35m3/min/m2的风量喷出温度450℃的热风。此外，在区域12c，从薄膜输送导向器10c以20m3/min/m2的风量喷出温度300℃的热风，从压薄膜装置15b以20m3/min/m2的风量喷出温度300℃的热风。此外，在区域12d，从薄膜输送导向器10d以20m3/min/m2的风量喷出温度200℃的热风。此外，在区域12e上，从薄膜输送导向器10e以15m3/min/m2的风量喷出常温的气体。
在上述条件下对聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理时，能够在以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的同时进行应力衰减处理。此外，在区域12b，薄膜输送导向器10b与聚酰亚胺薄膜的间隔为3mm，压薄膜装置15a与聚酰亚胺薄膜的间隔为3mm。此外，在区域12c上，薄膜输送导向器10c与聚酰亚胺薄膜的间隔为3mm，压薄膜装置15b与聚酰亚胺薄膜的间隔的3mm。
应力衰减处理后的聚酰亚胺薄膜的尺寸稳定性为○、平坦度为◎、有无伤痕为○。
（例6）
将使用3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐作为四羧酸二酐成分，使用对苯二胺作为二胺成分制造的聚酰亚胺薄膜（厚度：25μm、Tg：340℃）导入图2所示的应力衰减装置中没有设置压薄膜装置15a、15b的应力衰减装置，以如下所示的条件进行应力衰减处理。薄膜输送导向器10a～10e使用与例5相同的导向器。应力衰减处理条件除了在区域12b，从薄膜输送导向器10b以40m3/min/m2的风量喷出温度450℃的热风，在区域12c，从薄膜输送导向器10c以30m3/min/m2的风量喷出温度300℃的热风以外，其他与例5相同。
在上述条件下对聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理时，能够在以非接触状态输送聚酰亚胺薄膜的同时进行应力衰减处理。
应力衰减处理后的聚酰亚胺薄膜的尺寸稳定性为○、平坦度为○、有无伤痕为○。
根据例5和例6的结果，通过在从薄膜输送导向器的薄膜输送面喷出的气体与从压薄膜装置喷出的气体之间夹着聚酰亚胺薄膜进行浮置输送，同时进行应力衰减处理，能够得到平坦度更加良好的聚酰亚胺薄膜。
附图标记说明
1：应力衰减装置
10a～10e、10、10’、10”：薄膜输送导向器
11：隔板
12a～12e：区域
15a、15b：压薄膜装置
16：凹曲面
50：聚酰亚胺薄膜
101：多孔质材料
103、106、109：气体导入管
105：气体喷出孔
108：狭缝喷嘴
110：罩材料
IR1、IR2：红外线加热器
L1～L5：气体导入管
AH1～5：热风加热器

Claims (12)

1.一种薄膜的制造方法，其特征在于，进行薄膜的应力衰减处理，
使用具备多个薄膜输送导向器和压薄膜装置的浮置输送装置，其中，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，所述压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。
2.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其特征在于，改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，进行所述应力衰减处理。
3.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其特征在于，对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。
4.根据权利要求3所述的薄膜的制造方法，其特征在于，所述应力衰减处理包括：
工序1，将聚酰亚胺薄膜的温度加热至聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg-150℃以上；
工序2，在进行工序1后，使聚酰亚胺薄膜的温度成为低于工序1中的加热温度，且设定在聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg-150℃～聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg℃的范围内的温度；
工序3，在进行工序2后，将聚酰亚胺薄膜的温度冷却至常温；
其中，在至少所述工序1及所述工序2中，使用所述浮置输送装置。
5.根据权利要求4所述的薄膜的制造方法，其特征在于，所述工序2及所述工序3使聚酰亚胺薄膜的温度阶段性地下降来进行。
6.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其特征在于，将所述薄膜的输送路径上的沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90～270°。
7.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其特征在于，形成如下结构：所述薄膜输送导向器的薄膜输送面由多孔质材料形成，通过该多孔质材料喷出加热气体。
8.一种薄膜的制造设备，其特征在于，具有对薄膜进行应力衰减处理的应力衰减装置，
所述应力衰减装置具备浮置输送装置，该浮置输送装置从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，以非接触状态对薄膜进行加热并输送；
所述浮置输送装置构成为：具备多个薄膜输送导向器和压薄膜装置，其中，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，所述压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，并在该凹曲面上设置有气体喷射孔，所述薄膜输送导向器的凸曲面交替地在相反方向上排列，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送。
9.根据权利要求8所述的薄膜的制造设备，其特征在于，所述多个薄膜输送导向器构成为：能够对从气体喷射孔喷出的气体的温度进行单独设定。
10.根据权利要求8所述的薄膜的制造设备，其特征在于，所述应力衰减装置对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。
11.根据权利要求8所述的薄膜的制造设备，其特征在于，将由所述薄膜输送导向器形成的所述薄膜的输送路径上的沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设定为90～270°。
12.根据权利要求8所述的薄膜的制造设备，其特征在于，形成如下结构：所述薄膜输送导向器的薄膜输送面由多孔质材料形成，通过该多孔质材料喷出加热气体。
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