CN112269414B - 一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 - Google Patents
一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112269414B CN112269414B CN202010972962.9A CN202010972962A CN112269414B CN 112269414 B CN112269414 B CN 112269414B CN 202010972962 A CN202010972962 A CN 202010972962A CN 112269414 B CN112269414 B CN 112269414B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- temperature
- gas
- air
- curing
- polyimide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 66
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 214
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 11
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 8
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012691 depolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D23/00—Control of temperature
- G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
- G05D23/30—Automatic controllers with an auxiliary heating device affecting the sensing element, e.g. for anticipating change of temperature
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/04—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases
- B05D3/0406—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases the gas being air
- B05D3/0413—Heating with air
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
本发明公开了一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,固化烘箱包括送风机构,进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出;供气机构包括控温混风器和气体加热器,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器,控温混风器通过主送风管道与主进气口连通;主控制器根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制控温混风器输出至进风通道的气体温度,进而使得输送至固化出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。本发明中,实现了对聚酰亚胺薄膜表面的精确控温,减少固化升降过程中的能量损失,提高了薄膜固化的效率和质量。
Description
技术领域
本发明涉及薄膜固化温度控制技术领域,尤其涉及一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法。
背景技术
柔性AMOLED显示技术发展迅速,使得柔性显示屏成为消费电子行业最具有黑科技的技术。全球高端手机和手表等消费电子产品,都选用柔性AMOLED来作为显示屏。柔性AMOLED核心在于使用高分子塑料基板,这种塑料基板需要具备耐高温、耐腐蚀、尺寸稳定、机械强度高、易涂布等特性。目前只有聚酰亚胺材料能满足以上需求,其基本加工工艺为在光学玻璃上涂布聚酰亚胺浆料,再通过氮气保护固化成膜,制作成软性光学电子背板。
现有技术中,在制作聚酰亚胺薄膜时,高温固化成膜步骤对薄膜成型质量起着至关重要的作用。为了保证聚酰亚胺薄膜固化温度均匀,通常在固化烘箱中对薄膜表面温度进行控温,以保证薄膜受热均匀。为了保证薄膜受热均匀,通常采用氮气作为控温气体。然而,由于控温气体用量较大,需要调节气体温度时,无法快速控制气体温度升降,致使进入烘箱的控温气体对薄膜表面变温速度慢,升降温能耗损失,造成薄膜成品生产效率、良率不高。
发明内容
为解决背景技术中存在的技术问题,本发明提出一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法。
本发明提出的一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,所述固化装置包括固化烘箱和供气机构;固化烘箱包括送风机构,送风机构设有进风通道和吸风通道并分别与主进气口和主吸气口连通,进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出;供气机构包括控温混风器和气体加热器,控温混风器设有高温气体接口和低温气体接口,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器,控温混风器进行气体混合并通过主送风管道与主进气口连通;
所述气体温度控制系统包括主控制器,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,主控制器控制控温混风器输出至进风通道的气体温度,进而使得输送至固化出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。
优选地,主控制器具体用于,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度以及低温气体的温度控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度;
或者,主控制器具体用于,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度和流量以及低温气体的温度和流量控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度。
优选地,在进风通道和吸风通道之间设有辅助风道,控温混风器通过辅送风管道与辅助风道连通,辅助风道前端的辅助出风口输出气体以辅助保持固化出风口输出的气体温度;
所述气体温度控制系统还包括与主控制器连接的第一温度传感器和第二温度传感器,第一温度传感器用于获取固化出风口输出气体的温度,第二温度传感器用于获取废气进风口进入废气的温度,根据第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差,主控制器控制控温混风器输出至辅助风道的气体温度,进而使得输送至辅助出风口的气体温度满足保持固化出风口输出的气体温度的要求。
优选地,主控制器具体用于,在第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差超过预设阈值时,控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,进而使得辅助出风口的气体与废气进风口的废气的混合气体温度和固化出风口的气体温度之差处于预设的稳定阈值范围。
优选地,在辅助风道前端设有导风板,导风板朝向吸风通道,导风板前端形成辅助出风口
本发明还提出了一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制方法,所述固化装置包括固化烘箱和供气机构;固化烘箱包括送风机构,送风机构设有进风通道和吸风通道并分别与主进气口和主吸气口连通,进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出;供气机构包括控温混风器和气体加热器,控温混风器设有高温气体接口和低温气体接口,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器,控温混风器进行气体混合并通过主送风管道与主进气口连通;
所述气体温度控制方法,包括:根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制控温混风器输出至固化烘箱中进风通道的气体温度,以使得通过进风通道输送至固化出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。
优选地,所述控制控温混风器输出至固化烘箱中进风通道的气体温度具体包括:根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度以及低温气体的温度控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度;
或者,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度和流量以及低温气体的温度和流量控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度。
优选地,还包括:
根据第一温度传感器和第二温度传感器检测的固化出风口输出气体与废气进风口进入废气的温度,控制控温混风器输出至辅助风道的气体温度,进而使得输送至辅助出风口的气体温度满足保持固化出风口输出的气体温度的要求。
优选地,在进风通道和吸风通道之间设有辅助风道,控温混风器通过辅送风管道与辅助风道连通,辅助风道前端的辅助出风口输出气体以辅助保持固化出风口输出的气体温度;
所述气体温度控制方法,还包括:在第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差超过预设阈值时,控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,进而使得辅助出风口的气体与废气进风口的废气的混合气体温度和固化出风口的气体温度之差处于预设的稳定阈值范围。
本发明中,通过预设聚酰亚胺薄膜固化的温度策略,控制控温混风器输出至固化烘箱中的气体温度,进而使得固化烘箱中固化出风口吹出的气体温度能够满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求,从而实现对聚酰亚胺薄膜固化温度的精准控制,减少固化过程中的能量损失,提高薄膜固化的效率和质量。
附图说明
图1为本发明提出的一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统的结构示意图。
图2为本发明提出的一种聚酰亚胺薄膜固化烘箱的结构示意图。
图3为图2中进风通道、吸风通道、辅助风道的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明提出了一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,通过预设聚酰亚胺薄膜固化的温度策略,控制控温混风器输出至固化烘箱中的气体温度,进而使得固化烘箱中固化出风口吹出的气体温度能够满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求,从而实现对聚酰亚胺薄膜固化温度的精准控制,减少固化过程中的能量损失,提高薄膜固化的效率和质量。
在本发明实施例中,聚酰亚胺薄膜固化装置包括固化烘箱和供气机构,供气机构用于向固化烘箱供气以对聚酰亚胺薄膜进行固化。
固化烘箱包括送风机构和箱体,送风机构设置在箱体内部。送风机构设有进风通道1和吸风通道2,进风通道与主进气口IN连通,吸风通道与主吸气口OUT连通,进风通道前端为固化出风口10,薄膜支撑机构相对固化出风口设置用于放置聚酰亚胺薄膜。通过主进气口IN进入的气体通过进风通道1输送至固化出风口10,固化出风口10输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道2的废气进风口20吸出,然后通过主吸气口OUT排出固化烘箱。
供气机构包括控温混风器和气体加热器,控温混风器设有高温气体接口和低温气体接口,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器用于输送高温气体,低温气体接口与外界低温气源连通用于输送低温气体,控温混风器根据输入的高温气体和低温气体进行气体混合,然后通过主送风管道将混合的气体输送至送风机构进行薄膜固化。
根据上述聚酰亚胺薄膜固化装置,气体温度控制系统包括主控制器,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,主控制器控制气体加热器进行加热输出高温气体的温度T1,再根据高温气体的温度T1以及低温气体的温度T2控制控温混风器起进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度T。考虑到主送风管道进行气体传输过程中产生的热损失,最终使得输送至固化出风口的气体温度可以满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。
在上述气温温度控制过程中,主控制器还可以根据高温气体的温度T1和流量以及低温气体的温度T2和流量,控制控温混风器起进行混风操作,进而控制控温混风器输出的气体温度。
在本发明实施例中,根据聚酰亚胺薄膜固化特性,进风采用惰性气体,例如氮气,采用分阶段温度控制,可以按照以下方式设置聚酰亚胺薄膜固化温度策略,具体如下:
第一个阶段,初级干燥段。常温升至100℃。在该阶段,采用热风进行初级干燥,由于溶剂含量较多,需要热风带走溶剂。
第二个阶段,低温段。固化气体温度在100℃~200℃。在该阶段,由解聚反应向聚合反应转变,经过第一阶段已经完成保护气体的操作,氧化反应已经杜绝,要求快速升温,尽快将气体温度提高到聚合反应反超温度点,可以降低解聚反应程度,从而提高材料性能。
第三个阶段,中温段。固化气体温度在200~350℃。在该阶段,主要是脱水亚胺化反应,随着亚胺化比例提高,脱水反应所需能量越高,要求快速升温,以提高反应速度。
第四个阶段,高温段。固化气体温度在350~400℃。在该阶段,主要是深度亚胺化和分子重组交联。
第五个阶段,降温段。400℃降温设置曲线,主要是为了解决聚酰亚胺薄膜跟玻璃之间因为膨胀系数不同产生的内应力问题。
根据本发明实施例,在聚酰亚胺薄膜固化吹风过程中,通过废气进风口进入吸风通道的固化废气的温度,要低于进风通道输出至固化出风口的气体温度,因此,废气进风口的废气与固化出风口的气体之间存在热交换,这必然将引起固化出风口的温度降低,从而无法满足聚酰亚胺薄膜固化过程中对气体温度的要求。更为重要的是,上述现象在快速升温过程中表现得尤为明显。
基于上述存在的技术问题,在本发明实施例中,如图2和图3所示,在送风机构的进风通道1和吸风通道2之间设有辅助风道3,控温混风器通过辅送风管道与辅助风道3连通用于向辅助风道输送气体,辅助风道3的前端形成辅助出风口30,辅助出风口30输出气体通过隔绝固化废气或者通过与固化废气进行混合,以降低对其固化气体温度的影响,以达到辅助保持固化出风口输出的气体温度的目的。
根据上述聚酰亚胺薄膜固化装置,气体温度控制系统还包括与主控制器连接的第一温度传感器和第二温度传感器,其中,第一温度传感器用于获取固化出风口输出气体的温度,第二温度传感器用于获取废气进风口进入废气的温度。
根据第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差,主控制器控制控温混风器输出至辅助风道的气体温度。
如果第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差超过预设阈值时,则废气进风口的废气会影响固化出风口的气体温度,主控制器控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,具体地,使得辅助出风口30的气体与废气进风口20的废气的混合气体温度和固化出风口10的气体温度之差处于预设的稳定阈值范围,从而降低固化废气对固化气体温度的影响,最终使得固化出风口10输出的气体温度能够满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求。
如果第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差处于预设范围之内,主控制器控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,可以保持与固化出风口的气体温度保持一致。
根据上述结构设计,通过在进风通道和吸风通道之间设有辅助风道30,通过辅导风道30进风并控制气体温度,可以降低废气进风口20的废气对固化出风口10的气体温度的影响,特别在快速升温过程中,其效果尤为明显,可以显著地提高固化出风口10的气体温度的稳定性和可靠性。
在进一步实施例中,参照图3,在辅助风道前端设有导风板31,导风板31朝向吸风通道2,导风板31前端形成辅助出风口30。根据该结构设计,辅助风道的出风既可以在吸风通道的进风口与固化废气进行混合,又可以推动固化废气进入吸风通道,从而更好地降低固化废气对固化出风口的气体温度的影响。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,其特征在于,所述固化装置包括固化烘箱和供气机构;固化烘箱包括送风机构,送风机构设有进风通道和吸风通道并分别与主进气口和主吸气口连通,进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出;供气机构包括控温混风器和气体加热器,控温混风器设有高温气体接口和低温气体接口,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器,控温混风器进行气体混合并通过主送风管道与主进气口连通;
所述气体温度控制系统包括主控制器,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,主控制器控制控温混风器输出至进风通道的气体温度,进而使得输送至固化出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求;
在进风通道和吸风通道之间设有辅助风道,控温混风器通过辅送风管道与辅助风道连通,辅助风道前端的辅助出风口输出气体以辅助保持固化出风口输出的气体温度;
所述气体温度控制系统还包括与主控制器连接的第一温度传感器和第二温度传感器,第一温度传感器用于获取固化出风口输出气体的温度,第二温度传感器用于获取废气进风口进入废气的温度,根据第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差,主控制器控制控温混风器输出至辅助风道的气体温度,进而使得输送至辅助出风口的气体温度满足保持固化出风口输出的气体温度的要求。
2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,其特征在于,主控制器具体用于,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度以及低温气体的温度控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度;
或者,主控制器具体用于,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度和流量以及低温气体的温度和流量控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度。
3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,其特征在于,主控制器具体用于,在第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差超过预设阈值时,控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,进而使得辅助出风口的气体与废气进风口的废气的混合气体温度和固化出风口的气体温度之差处于预设的稳定阈值范围。
4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统,其特征在于,在辅助风道前端设有导风板,导风板朝向吸风通道,导风板前端形成辅助出风口。
5.一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制方法,其特征在于,所述固化装置包括固化烘箱和供气机构;固化烘箱包括送风机构,送风机构设有进风通道和吸风通道并分别与主进气口和主吸气口连通,进风通道前端的固化出风口输出气体对聚酰亚胺薄膜进行吹风固化,固化的废气通过吸风通道的废气进风口吸出;供气机构包括控温混风器和气体加热器,控温混风器设有高温气体接口和低温气体接口,气体加热器通过高温气体接口连通控温混风器,控温混风器进行气体混合并通过主送风管道与主进气口连通;
所述气体温度控制方法,包括:根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制控温混风器输出至固化烘箱中进风通道的气体温度,以使得通过进风通道输送至固化出风口的气体温度满足聚酰亚胺薄膜固化温度策略的要求;
在进风通道和吸风通道之间设有辅助风道,控温混风器通过辅送风管道与辅助风道连通,辅助风道前端的辅助出风口输出气体以辅助保持固化出风口输出的气体温度;
所述气体温度控制方法还包括:根据第一温度传感器和第二温度传感器检测的固化出风口输出气体与废气进风口进入废气的温度,控制控温混风器输出至辅助风道的气体温度,进而使得输送至辅助出风口的气体温度满足保持固化出风口输出的气体温度的要求。
6.根据权利要求5所述的聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制方法,其特征在于,所述控制控温混风器输出至固化烘箱中进风通道的气体温度具体包括:根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度以及低温气体的温度控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度;
或者,根据预设的聚酰亚胺薄膜固化温度策略,控制气体加热器输出高温气体的温度,再根据高温气体的温度和流量以及低温气体的温度和流量控制控温混风器进行混风,进而控制控温混风器输出的气体温度。
7.根据权利要求5所述的聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制方法,其特征在于,所述气体温度控制方法,还包括:在第一温度传感器和第二温度传感器检测的温度结果之差超过预设阈值时,控制控温混风器输送至辅助风道的气体温度,进而使得辅助出风口的气体与废气进风口的废气的混合气体温度和固化出风口的气体温度之差处于预设的稳定阈值范围。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010972962.9A CN112269414B (zh) | 2020-09-16 | 2020-09-16 | 一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010972962.9A CN112269414B (zh) | 2020-09-16 | 2020-09-16 | 一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112269414A CN112269414A (zh) | 2021-01-26 |
CN112269414B true CN112269414B (zh) | 2021-09-14 |
Family
ID=74349802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010972962.9A Active CN112269414B (zh) | 2020-09-16 | 2020-09-16 | 一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112269414B (zh) |
Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1726613A1 (en) * | 2005-05-27 | 2006-11-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Honeycomb composite film, and method for producing the same |
CN102120352A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-07-13 | 北京化工大学 | 一种旋转模塑成型装置 |
CN102344576A (zh) * | 2010-07-30 | 2012-02-08 | 富士胶片株式会社 | 流延装置及溶液制膜方法 |
CN202306361U (zh) * | 2011-10-28 | 2012-07-04 | 同辉佳视(北京)信息技术股份有限公司 | 温度控制装置 |
CN103442870A (zh) * | 2011-03-25 | 2013-12-11 | 宇部兴产株式会社 | 聚酰亚胺膜的制备方法、聚酰亚胺膜的制备装置及聚酰亚胺膜 |
CN103590223A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-02-19 | 温州置财金属有限公司 | 被褥烘干机 |
CN104061777A (zh) * | 2014-07-08 | 2014-09-24 | 江苏牧羊集团有限公司 | 一种循环烘干机的独立混风调节装置 |
CN104070691A (zh) * | 2013-03-29 | 2014-10-01 | 宇部兴产株式会社 | 薄膜的制造方法及制造设备 |
CN104662711A (zh) * | 2012-09-25 | 2015-05-27 | 丰田自动车株式会社 | 二次电池用电极的制造方法和热风干燥炉 |
CN105444536A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-30 | 广东环葆嘉节能科技有限公司 | 一种串联式干燥系统 |
JP2016060184A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 延伸装置、フィルム製造設備及び方法 |
CN107340792A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-11-10 | 华帝股份有限公司 | 一种烘干机及其控制方法 |
CN107869798A (zh) * | 2016-09-23 | 2018-04-03 | 江苏科技大学 | 一种具有热再生的壁挂式空气净化器及其实现方法 |
CN207197116U (zh) * | 2017-08-17 | 2018-04-06 | 国网湖南省电力公司 | 一种用于电力检修的硅胶烘干器 |
CN108955172A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-07 | 安徽海蚨祥橡胶有限公司 | 一种塑料制品干燥机 |
CN109098837A (zh) * | 2018-09-19 | 2018-12-28 | 东风商用车有限公司 | 一种发动机节能辅助增压系统 |
CN109405283A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-03-01 | 江苏天舒电器有限公司 | 一种精确控温型热泵热风炉系统 |
CN210154268U (zh) * | 2019-05-29 | 2020-03-17 | 江西邦力达科技股份有限公司 | 一种pi补强膜用烘干装置 |
CN210552468U (zh) * | 2019-05-13 | 2020-05-19 | 深圳市洲侨创新除湿技术有限公司 | 一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN205403452U (zh) * | 2016-03-23 | 2016-07-27 | 锦州华昌光伏科技有限公司 | 电池片烘干炉排气装置 |
CN209109526U (zh) * | 2018-10-30 | 2019-07-16 | 扬州琼花涂装工程技术有限公司 | 一种工业涂装用生物质热风系统 |
CN209689342U (zh) * | 2018-12-25 | 2019-11-26 | 南京百优挤出机械有限公司 | 一种薄膜烘箱 |
CN211025678U (zh) * | 2019-10-09 | 2020-07-17 | 浙江中科玖源新材料有限公司 | 一种聚酰亚胺薄膜生产中尾气阶梯式冷凝回收装置 |
-
2020
- 2020-09-16 CN CN202010972962.9A patent/CN112269414B/zh active Active
Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1726613A1 (en) * | 2005-05-27 | 2006-11-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Honeycomb composite film, and method for producing the same |
CN102344576A (zh) * | 2010-07-30 | 2012-02-08 | 富士胶片株式会社 | 流延装置及溶液制膜方法 |
CN102120352A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-07-13 | 北京化工大学 | 一种旋转模塑成型装置 |
CN103442870A (zh) * | 2011-03-25 | 2013-12-11 | 宇部兴产株式会社 | 聚酰亚胺膜的制备方法、聚酰亚胺膜的制备装置及聚酰亚胺膜 |
CN202306361U (zh) * | 2011-10-28 | 2012-07-04 | 同辉佳视(北京)信息技术股份有限公司 | 温度控制装置 |
CN104662711A (zh) * | 2012-09-25 | 2015-05-27 | 丰田自动车株式会社 | 二次电池用电极的制造方法和热风干燥炉 |
CN104070691A (zh) * | 2013-03-29 | 2014-10-01 | 宇部兴产株式会社 | 薄膜的制造方法及制造设备 |
CN103590223A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-02-19 | 温州置财金属有限公司 | 被褥烘干机 |
CN104061777A (zh) * | 2014-07-08 | 2014-09-24 | 江苏牧羊集团有限公司 | 一种循环烘干机的独立混风调节装置 |
JP2016060184A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 延伸装置、フィルム製造設備及び方法 |
CN105444536A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-03-30 | 广东环葆嘉节能科技有限公司 | 一种串联式干燥系统 |
CN107869798A (zh) * | 2016-09-23 | 2018-04-03 | 江苏科技大学 | 一种具有热再生的壁挂式空气净化器及其实现方法 |
CN107340792A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-11-10 | 华帝股份有限公司 | 一种烘干机及其控制方法 |
CN207197116U (zh) * | 2017-08-17 | 2018-04-06 | 国网湖南省电力公司 | 一种用于电力检修的硅胶烘干器 |
CN108955172A (zh) * | 2018-08-01 | 2018-12-07 | 安徽海蚨祥橡胶有限公司 | 一种塑料制品干燥机 |
CN109098837A (zh) * | 2018-09-19 | 2018-12-28 | 东风商用车有限公司 | 一种发动机节能辅助增压系统 |
CN109405283A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-03-01 | 江苏天舒电器有限公司 | 一种精确控温型热泵热风炉系统 |
CN210552468U (zh) * | 2019-05-13 | 2020-05-19 | 深圳市洲侨创新除湿技术有限公司 | 一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱 |
CN210154268U (zh) * | 2019-05-29 | 2020-03-17 | 江西邦力达科技股份有限公司 | 一种pi补强膜用烘干装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究;董拴成等;《微纳电子技术》;20120531;323-327 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112269414A (zh) | 2021-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN112269414B (zh) | 一种聚酰亚胺薄膜固化装置的气体温度控制系统和方法 | |
CN103358423A (zh) | 一种两步法生产取向聚氯乙烯管材的方法 | |
CN102320116B (zh) | 用于制备低收缩率高分子膜片的分子解取向设备及方法 | |
CN113185096A (zh) | 气悬浮玻璃原片生产成型方法及成型装置 | |
CN115635622A (zh) | 一种电磁加热氮气硫化设备及硫化方法 | |
CN209257461U (zh) | 一种冰箱门胆吸塑模具 | |
CN110818234A (zh) | 一种大球面玻璃成型工艺 | |
CN105965916A (zh) | 一种复合材料成型设备及其用于复合材成型的工艺 | |
CN102534177B (zh) | 连退机组及连退机组时效段的循环控温装置 | |
CN211590995U (zh) | 一次性手套余热回收利用装置 | |
JP2011245624A (ja) | 光学用フィルムの製造方法 | |
CN107473574A (zh) | 一种曲面玻璃面板的制备方法 | |
CN207944016U (zh) | 一种高强耐磨玻璃器皿退火装置 | |
CN208715649U (zh) | 一种包装热缩装置 | |
CN208773913U (zh) | 一种钢丝网骨架塑料复合管材恒温加热设备 | |
CN2763025Y (zh) | 一种聚乙烯醇薄膜吹塑设备 | |
CN111791412A (zh) | 一种柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺及装置 | |
CN206469612U (zh) | 一种流水线式石英坩埚烘干装置 | |
CN112060445A (zh) | 一种聚酰亚胺薄膜固化快速升降温用供气装置和烘箱 | |
CN213006125U (zh) | 一种聚酰亚胺薄膜固化精确控温的烘箱 | |
CN108819057A (zh) | 一种钢丝网骨架塑料复合管材恒温加热设备及其应用方法 | |
CN112026076A (zh) | 一种聚酰亚胺薄膜固化精确控温的烘箱 | |
CN110228165A (zh) | 注塑机上料斗预热装置 | |
CN114851517B (zh) | 一种热风保温吹膜方法及吹膜装置 | |
CN112060444A (zh) | 一种聚酰亚胺薄膜固化气体循环利用的控温烘箱 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Gas temperature control system and method for a polyimide film curing device Effective date of registration: 20231114 Granted publication date: 20210914 Pledgee: China Merchants Bank Co.,Ltd. Jinhua Branch Pledgor: Zhejiang Zhongke Jiuyuan New Material Co.,Ltd. Registration number: Y2023980065179 |