CN103545224B - 树脂模塑装置和树脂模塑方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种树脂模塑装置及树脂模塑方法，在使用长条状的离型膜对工件进行树脂模塑时，能矫正沿膜的宽度方向产生的膜褶皱，并且能够使模塑树脂的填充性以及成形品质提高。在上模（7）设有多个通气孔（12c、12e、18a、18b），这些通气孔用于抽吸空气而能使离型膜（F）吸附于上模夹持面或者喷出空气而能使离型膜（F）与模具夹持面分开，在下模（6）上分别设有成对的膜褶皱矫正构件（32），该膜褶皱矫正构件在以与工件载置面相面对的方式搬送的长条状的离型膜（F）的宽度方向两侧按压于该离型膜（F），从而，对于该离型膜（F），不仅在其长度方向上作用有张力、而且在其宽度方向上也作用有张力来去除膜褶皱。

Description

树脂模塑装置和树脂模塑方法
技术领域
本发明涉及利用离型膜对工件进行树脂模塑的树脂模塑装置以及树脂模塑方法。
背景技术
以往，为了减少模具维修，提高生产性、成形品质，将利用离型膜（日文：リリースフィルム）覆盖模塑模具的模具夹持面而进行树脂模塑的树脂模塑装置实用化。例如，将膜处理器安装到模塑模具或者树脂模塑装置，而自供给卷经由模具表面将长条状的离型膜卷绕在卷绕卷轴上。
作为一个例子，提出了利用离型膜来对在基板上搭载有发光元件的工件进行树脂模塑的树脂模塑装置。利用粘着性高的透明树脂（硅系树脂、环氧系树脂、氨酯系树脂、丙烯酸系树脂等）来对透镜部分的凸形状的深宽比高（与透镜部分相当的模腔凹部的深度深）的成形品进行树脂模塑。具体而言，在离型膜吸附保持于上模夹持面的状态下，夹持被载置于下模的工件。此时，使可动销的下端面下降到与模腔单元的下表面位于同一平面，在以离型膜不进入透镜凹部的方式支承离型膜的状态下，将模塑树脂填充到成形用凹部内。当填充的模塑树脂超过透镜凹部时，使可动销上升，上升至内径侧透镜凹部与外径侧透镜凹部彼此成为连续面的位置而形成透镜凹部。模塑树脂使离型膜向透镜凹部内鼓出而进行填充，使模塑树脂热固化来模塑透镜部（参照专利文献1）。
另外，作为对在基板上安装有半导体元件工件进行压缩成形的装置，提出了这样的树脂封装装置：向被离型膜覆盖的下模模腔凹部供给板状树脂，将工件吸附保持于上模，并且设置有用于按压离型膜的离型膜按压机构。利用模塑模具夹持工件时，形成密闭空间，通过减压到低于大气压而将卷入到树脂内的空气排出，由此形成高减压的状态来抑制树脂的膨胀（参照专利文献2）。
在通过传递模塑成形对半导体装置等的工件进行树脂模塑的情况下，通过模塑模具的树脂流路所具有的推销（日文：エジェクタピン）与开模动作相配合而自模具夹持面突出，从而使成形品脱模。
或者，为了简化模具维修，为了省略推销、也简化模具构造而使离型膜吸附于包括模腔凹部在内的模具夹持面、之后进行树脂模塑的方式也被实用化。
另外，为了促进将利用离型膜来进行树脂模塑的成形品与离型膜分离，还提出了在树脂模塑后、隔着离型膜喷出压缩空气从而使成形品从模腔凹部脱模的模塑模具和树脂模塑方法（参照专利文献3）。
另外，因为仅凭空气的喷出，成形品的脱模很困难，所以也提出了使用构成模腔底部的薄板、在树脂模塑后进行开模时在上模与薄板之间形成间隙、从该间隙导入压缩空气从而利用空气压力和薄板的弹性变形使成型品脱模的模塑模具和树脂模塑方法（参照专利文献4）。
专利文献1：日本特开2007-230212号公报
专利文献2：日本特开2008-302535号公报
专利文献3：日本特开平11-40593号公报
专利文献4：日本特开2000-280293号公报
但是，在使用自供给卷经由模具表面将长条状的离型膜卷绕于卷绕卷轴的膜处理器的情况下，虽然在离型膜的长度方向（离型膜输送方向）作用有张力，但在宽度方向（离型膜宽度方向）没有张力机构就很难作用有张力。因此，覆盖模具表面的离型膜容易沿宽度方向产生波纹，形成沿长度方向延伸的膜褶皱（纵褶皱）。在专利文献1，2中并没有公开用于矫正这样的沿离型膜的宽度方向产生波纹而形成膜褶皱的结构。
另外，对于上述的专利文献1的上模的模腔单元，因为是使形成于该模腔单元的成形用凹部的外径侧透镜凹部与设于可动销的内径侧透镜凹部以形成为连续面的方式组合从而成形透镜凹部的，所以成形品容易产生因模腔单元与可动销之间的间隙所导致的凹凸。
另外，向成形用凹部填充模塑树脂时，在可动单元进入外径侧透镜凹部内而将离型膜支承为没有进入透镜凹部的状态下，填充模塑树脂。此时，在模腔单元的内径侧透镜凹部和外径侧透镜凹部之间不连续的状态下支承离型膜，即使在该状态下填充模塑树脂，在不连续面处也容易卷入空气，并且，可动单元上升时，由于离型膜的松弛而容易产生褶皱，因此容易降低透镜部的成形品质。另外，当透镜部的数量增加时，多个可动销的位置精度也有可能变得不稳定。
另外，利用传递模塑成形来对例如具有透镜的LED进行树脂模塑时，所使用的透明树脂（硅系树脂、环氧系树脂、氨酯系树脂、丙烯酸系树脂等）在刚刚完成树脂模塑之后的模具温度的作用下使成形品的表面处于没有完全固化还伴随有粘性（粘着性）的状态，成形品的表面温度不下降至接近常温就不能促进固化。在传递模塑成形中，模塑模具开模而取出成形品是处于加热到成形温度的状态，在加热的状态下的脱模为模具夹持面与离型膜、离型膜与成形品分别粘贴的状态，脱模困难。
另外，也有使用推销进行脱模的方法，但是，在具有弹力的弹性体系的模塑树脂的情况下，脱模效果不充分，有可能仅使推销周边断裂。尤其，对于具有透镜的LED，在树脂表面残留有凹痕等物理损伤时，容易成为不合格品。
发明内容
本发明的目的在于，解决上述现有技术的课题，提供一种在使用离型膜来对工件进行树脂模塑时、能矫正膜的在宽度方向上产生的膜褶皱、并且能够使模塑树脂的填充性以及成形品质提高的树脂模塑装置及树脂模塑方法。
另外，本发明的目的还在于提供一种在树脂模塑之后、能够在不损害成形品质的前提下使成形品顺畅地自模塑模具脱模的树脂模塑装置及树脂模塑方法。
为了实现上述目的，本发明具有以下的技术方案。
一种树脂模塑装置，其用于对被模塑模具夹持的工件进行树脂模塑，其特征在于，上述模塑模具具有：一模具，其用于载置上述工件；另一模具，在其模具夹持面上形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，在上述另一模具上设有多个通气孔，该多个通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于上述模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，在上述一模具上设有成对的膜褶皱矫正构件，该膜褶皱矫正构件在以与上述工件载置面相面对的方式搬送的长条状的上述离型膜的宽度方向两侧按压于该离型膜，从而，对于该离型膜，不仅在其长度方向上作用有张力而且在其宽度方向上也作用有张力来去除膜褶皱。
采用上述结构，在模塑模具合模时，在覆盖另一模具表面的离型膜的宽度方向两侧按压被设置在一模具的成对的膜褶皱矫正构件，因此，能够矫正离型膜在宽度方向上产生的膜褶皱，使离型膜保持吸附在另一模具表面。
一种树脂模塑方法，其是利用模塑模具夹持被供给来的工件而进行树脂模塑的方法，其特征在于，该树脂模塑方法具有：向开模的模塑模具的一模具的模具夹持面供给上述工件，准备用于对形成有模腔凹部的另一模具的模具夹持面进行覆盖的长条状的离型膜的工序；开始上述模塑模具的合模动作，利用被设于上述一模具的模具夹持面且位于上述离型膜的宽度方向两侧的成对的膜褶皱矫正构件将上述离型膜压入与该膜褶皱矫正构件相面对的上述另一模具的收容凹部，并且利用设于上述另一模具的模具嵌件的规定的通气孔喷出空气，来对上述离型膜去除膜褶皱的工序；使上述膜褶皱被矫正了的上述离型膜沿其长度方向作用有张力而使该离型膜沿着上述另一模具的模具夹持面，之后，利用该另一模具的所有通气孔的抽吸，将上述离型膜保持吸附于上述另一模具的包括上述模腔凹部在内的模具夹持面的工序；将上述模塑模具合模，将模塑树脂填充到上述模腔凹部的工序。
由此，在利用膜处理器向模具表面自动供给长条状的离型膜的情况下，能够矫正离型膜的沿宽度方向产生的膜褶皱，将离型膜吸附保持于包括模腔凹部在内的另一模具的模具夹持面，因此，无论是传递模塑成形，还是压缩成形都能使工件的成形品质提高地进行树脂模塑。
一种树脂模塑装置，其利用模塑模具夹持在基材上搭载有电子零件的工件，对包含凸部的成形品进行树脂模塑，其特征在于，该树脂模塑装置具有：一模具，其用于载置上述工件；另一模具，其具有模腔芯模，该模腔芯模在该另一模具的模具夹持面形成有第1模腔凹部且在该第1模腔凹部的底部分别形成有用于成形上述凸部的第2模腔凹部和在上述第1模腔凹部的模腔底部开口的第3通气孔，利用离型膜覆盖该另一模具的包括上述第1模腔凹部的底部在内的模具夹持面，上述另一模具与载置有上述工件的上述一模具合模，利用上述第3通气孔的抽吸将上述离型膜以规定的张力且处于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持，在该状态下，向上述第1模腔凹部内填充模塑树脂，施加比上述离型膜的张力大的最终树脂压力而一边使该离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，一边向上述第2模腔凹部填充上述模塑树脂。此外，基材包括树脂基板、金属（例如铝、铜等）基板、陶瓷基板、引线框、载体等用于安装电子零件的构件。
采用上述树脂模塑装置，能够利用离型膜的拉伸所产生的模具追随性向深度比第1模腔凹部的模腔底部的深度深的多个第2模腔凹部填充模塑树脂，因此，即使是包含例如深宽比高的凸部（例如透镜部）的成形品，也能使树脂填充性提高。
另外，能够利用离型膜的厚度吸收工件的厚度的偏差、工件表面的凹凸且与凸部（例如透镜部）相当的第2模腔凹部为连续面，因此，能够不在成形品上形成凹凸，能够使成形品质提升。
一种树脂模塑装置，其是对利用模塑模具夹持的工件进行树脂模塑、树脂模塑后的成形品在开模时能自模塑模具脱模的树脂模塑装置，其特征在于，上述模塑模具具有：一模具，其用于载置上述工件；另一模具，在其模具夹持面形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，上述另一模具上设有多个第2通气孔，该多个第2通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，上述一模具上设有使空气向上述离型膜与成形品之间喷出而使上述成形品与上述离型膜分开的第5通气孔。
采用上述结构，使用模塑模具而对成形品进行树脂模塑后，通过自另一模具上设置的第2通气孔喷出空气，在开模时能使离型膜与模具夹持面分开。
另外，模塑模具开始开模后，通过自第5通气孔喷出空气，能够使离型膜与成形品分开。
进一步进行开模，通过使空气自第5通气孔喷出到多余树脂与模具夹持面之间，能够使成形品自一模具表面脱模。
因此，能够在不使成形品质下降的前提下将包含采用例如粘着性高的透明树脂的透镜部的成形品自模塑模具脱模。
一种树脂模塑装置，其是对利用模塑模具夹持的工件进行树脂模塑、在开模时树脂模塑后的成形品能自模塑模具脱模的树脂模塑装置，其特征在于，上述模塑模具具有：一模具，其用于保持上述工件；另一模具，在其模具夹持面上形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，在上述另一模具上设有多个第1通气孔和多个第2通气孔，该多个第1通气孔在以包围上述模腔凹部且与上述工件相面对的方式形成的周槽内开口，该多个第2通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于上述模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，该多个第2通气孔在模具夹持面上开口，上述一模具上突出设有膜支承构件，该膜支承构件在常规状态下被施力为向上述离型膜按压。
采用上述结构，使用模塑模具来对成形品进行树脂模塑后，自设于另一模具的第1通气孔抽吸空气而将离型膜吸附于周槽，在该状态下开模，能够使离型膜自成形品剥离。另外，在模塑模具开模时，在离型膜吸附于周槽的状态下自第2通气孔喷出空气，从而能使离型膜膨胀为球囊状而自另一模具的模具夹持面剥离。进一步进行开模，即使自另一模具表面剥离了的离型膜松弛，也能利用膜支承构件向离型膜按压来进行支承。
因此，能够在不使成形品质下降的前提下将包含采用例如粘着性高的透明树脂的透镜部的成形品自模塑模具脱模。
一种树脂模塑方法，其特征在于，该树脂模塑方法具有：将载置有工件的一模具和包括模腔凹部在内的模具夹持面被离型膜覆盖的另一模具合模，对成形品进行树脂模塑的工序；上述树脂模塑后开始模塑模具的开模时，自上述另一模具的模具夹持面喷出空气而使上述离型膜与该模具夹持面分开的工序；进一步进行上述模塑模具的开模，使空气自上述一模具的模具夹持面向上述离型膜与成形品之间喷出从而使上述离型膜与成形品分开的工序；再进一步进行上述模塑模具的开模，自上述一模具使推销向多余树脂突出，并且使空气向该多余树脂与上述一模具的模具夹持面之间喷出，而使上述成形品自上述一模具的表面脱模的工序。
采用上述树脂模塑方法，在对成形品进行树脂模塑后，通过自另一模具的模具夹持面喷出空气，在开模时使离型膜与模具夹持面分开，接着模塑模具开始开模，在对离型膜施加张力的状态下使空气自一模具的模具夹持面喷出，从而能够使离型膜与成形品分开，进一步进行开模，自一模具使推销向多余树脂突出，并且使空气向该多余树脂与一模具的模具夹持面之间喷出而使推销抵接部固化，因此，容易使多余树脂与推销之间剥离开，能够容易地进行成形品的脱模。
一种树脂模塑方法，其特征在于，该树脂模塑方法具有：将保持有工件的一模具和包括模腔凹部在内的模具夹持面被离型膜覆盖的另一模具合模，对成形品进行树脂模塑的工序；在上述树脂模塑后，开始模塑模具的开模之前，使上述离型膜的张力增大的工序；在进行上述模塑模具的开模之前，使上述离型膜吸附于以包围上述另一模具的上述模腔凹部的方式形成的周槽内，在该状态下进行开模的工序；在使上述离型膜吸附于上述周槽内的状态下，自上述另一模具的模具夹持面喷出空气而使该离型膜膨胀、自该另一模具的表面剥离的工序；进一步进行上述模塑模具的开模，自上述一模具的模具夹持面突出的支承构件以抵接于上述离型膜的状态支承自上述另一模具的表面剥离了的该离型膜的工序。
采用上述树脂模塑方法，在对成形品进行树脂模塑后，在模塑模具开始开模前使离型膜的张力增大，使离型膜吸附于以包围另一模具的模腔凹部的方式形成的周槽内，在该状态下进行开模，因此，能够利用开模动作使离型膜自成形品剥离。并且，在离型膜吸附于周槽内的状态下，自另一模具的模具夹持面喷出空气而使该离型膜膨胀，因此，能够自另一模具的包括模腔凹部在内的模具夹持面可靠地剥离离型膜。进而，进一步进行模塑模具的开模，自一模具的模具夹持面突出的膜支承构件以抵接于离型膜的状态支承自另一模具的表面剥离了的该离型膜，因此，能够抑制在卷绕使用过的离型膜时产生褶皱、松弛。
因此，能够在不使成形品质下降的前提下可靠地将包含采用例如粘着性高的透明树脂的透镜部的成形品自模塑模具脱模。
发明的效果
采用树脂模塑装置及树脂模塑方法，在使用离型膜来进行工件的树脂模塑时，能够矫正膜的在其宽度方向上产生的膜褶皱，并且能够提高模塑树脂的填充性以及成形品质。
另外，在对成形品进行树脂模塑后，能够在不损害成形品质的前提下使成形品顺畅地自模塑模具脱模。
附图说明
图1是开模状态的模塑模具的剖视说明图。
图2是合模动作开始后的模塑模具的剖视说明图。
图3是接着图2表示合模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图4是接着图3表示合模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图5是接着图4表示合模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图6是接着图5表示合模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图7是接着图6表示离型膜吸附保持完成后的模塑模具的剖视说明图。
图8是树脂模塑前的上模的俯视图。
图9是表示保持树脂模塑后的工件的下模的俯视图。
图10是表示成形品的单体的俯视图。
图11是关于其他例子的下模的俯视图。
图12是表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图13是接着图12表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图14是接着图13表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图15是接着图14表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图16是接着图15表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图17是上模夹持面的俯视图。
图18是表示其他例子的树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图19是接着图18表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图20是接着图19表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图21是接着图20表示树脂模塑装置的树脂模塑动作的剖视说明图。
图22是合模状态的模塑模具的剖视说明图。
图23是开模动作刚开始之后的模塑模具的剖视说明图。
图24是接着图23表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图25是接着图24表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图26是接着图25表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图27是开模后的脱模动作（日文：エジェクト動作）中途的模塑模具的剖视说明图。
图28是接着图27表示脱模动作后的模塑模具的剖视说明图。
图29是表示载置有树脂模塑后的成形品的下模的鼓风动作的说明图。
图30的（A）是第5通气孔的俯视图，图30的（B）是第5通气孔的主视图。
图31的（A）是表示成形品的脱模动作的流程图，图31的（B）是表示鼓风的时间例子的时序图。
图32是合模状态的模塑模具的剖视说明图。
图33是开模动作刚开始之后的模塑模具的剖视说明图。
图34是接着图33表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图35是接着图34表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
图36是接着图35表示开模动作中途的模塑模具的剖视说明图。
具体实施方式
下面，连同附图来详细叙述本发明的树脂模塑装置和树脂模塑方法的优选实施方式。下面，说明利用透明树脂（硅系树脂、环氧系树脂、氨酯系树脂、丙烯酸系树脂等）、尤其是在将由作用于离型膜的张力而产生的褶皱去除之后、对作为工件W的一例的包含透镜部（凸部）的发光装置（LED）进行传递模塑成形的树脂模塑装置和树脂模塑方法。为了应对高亮度化、耐候化、耐热化、低成本化等，可以从填料、扩散剂、颜料、荧光物质、反射物质等中选择至少1种以上的物质混合到热固化性树脂。另外，模塑树脂能利用液体状树脂、颗粒状树脂、粒状体树脂（粉末树脂）、薄片树脂、小块树脂等各种各样形态的树脂，以下说明使用液体状树脂的例子。此外，也可以具有用于防止自发光元件1照射的照射光扩散的反射件（日文：リフレクタ）（未图示）。
图10是表示在基板2上成形的成形品单体的俯视图。如图10所示，本实施方式中的LED具有发光元件1（参照图1）、用于载置发光元件1的基板2（基材）、自覆盖发光元件1的树脂基部3突出设置的透镜部4，该LED作为例如表面安装型发光装置而成形。在树脂基部3的上方，在与发光元件1相面对的位置成形有半球状的透镜部4。本实施例中，在每个模腔利用树脂基部3和透镜部4封装5个发光元件1（参照图1）。
在图1中，工件W是采用在基板2上例如以行列状倒装法连接（或者引线结合法连接）发光元件1的结构。另外，作为基材使用的基板2可以采用树脂基板、金属（例如铝、铜等）基板、陶瓷基板、引线框、载体等各种各样的板状的构件。另外，作为工件W也可以采用形成有凸块的晶圆、通过粘接来固定、搭载电子零件的载体等。
接着，说明树脂模塑装置。下面，以模塑模具的结构为中心进行说明。图1是模塑模具5的省略了填料室（日文：ポット）、残料部（日文：カル）、流道、浇口等的示意性剖视图（在图2至图7中也一样）。另外，在图9中是在基板2上将成形品呈串联状地两两相连而进行树脂封装的，图1是示意性表示用于封装1个成形品的模塑模具5的剖面构造。
在图1中，模塑模具5具有用于保持工件W的下模6（一模具）、用于夹持工件W的上模7（另一模具）。本实施例中，将上模7作为固定模、下模6作为可动模来进行说明。压力驱动机构采用一种公知的机构，即，利用驱动源（伺服电动机等）经由驱动传输机构（肘杆等）使支承于模板的下模6在连接杆的引导下升降。需要说明的是，也可以是将上模作为可动模、下模作为固定模的压力驱动机构。
首先，参照图1和图8说明上模7的结构。在上模7中，在上模基座8上支承有上模锁紧块（日文：チェイスブロック）9。在上模锁紧块9中，在上模中央嵌件10的两侧分别安装上模模腔嵌件11。在上模中央嵌件10上分别刻入有上模残料部10a以及与上模残料部10a连接的多条（例如6条）上模流道10b。另外，在上模模腔嵌件11上以与各上模流道10b连接的上模流道浇口11a和多个（例如2个）第1模腔凹部12a借助连通流道11b连接成串联状的方式分别进行刻制。
在图8中，上模终端限位块13以彼此面对的方式设于在上模中央嵌件10的长度方向两侧。另外，上模终端限位块14以彼此面对的方式设于在各上模模腔嵌件11的长度方向两侧。在上模终端限位块13、14上形成有用于后述的下模6的鼓风单元的位置余量（日文：逃げ）。
另外，在上模基座8上以包围包括上模模腔嵌件11在内的上模锁紧块9（模腔凹部的外周侧）的方式形成有周槽15。在该周槽15的底部设有隔着规定间隔开口的多个通气孔15a。通气孔15a与可以喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16a连接（参照图6）。在上模基座8设置的周槽15的外周侧嵌入有上模密封环17。上模密封环17与后述下模密封环31一同在模塑模具5内形成密闭空间，而能够使该密闭空间内减压。
在图8中，在上模模腔嵌件11的夹持面上呈行列状形成有俯视为圆形的第1模腔凹部12a。在各第1模腔凹部12a的底部上，以比第1模腔凹部12a的底部深的方式刻入有与透镜部4相对应的多个（例如5个）第2模腔凹部12b，该第2模腔凹部12b为半球状的凹部。第1模腔凹部12a用于收容在基板2上呈分散状搭载有多个（例如5个）发光元件1（参照图1）而成的工件W并进行树脂模塑。
另外，在第1模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周围，开设有多个（例如4个）通气孔12c（第2通气孔）。各通气孔12c与可以喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16b（参照图3）连接。
另外，在自上模残料部10a串联配置的第1模腔凹部12a的周围，分别形成有将这些串联结构分隔开的凹槽12d。在该凹槽12d的底部开设有多个通气孔12e。各通气孔12e与可以喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16b（参照图3）连接。
另外，如图8所示，在上模中央嵌件10的夹持面上设有多个通气孔18a，这些通气孔18a可以使离型膜F吸附于上模夹持面或者喷出空气而使离型膜F与上模夹持面分开。另外，与树脂流路相当的上模残料部10a、上模流道10b、上模流道浇口11a、连通流道11b上也开设有通气孔18b。通气孔18a、18b与可以喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16b（参照图3）连接。如图1所示，利用离型膜F对包含第1模腔凹部12a和第2模腔凹部12b的上模夹持面进行覆盖。
另外，在图8中，上模7的膜吸附面、即在比上模基座8的上模密封环17靠外侧的位置，以与后述的膜褶皱矫正构件相面向的方式形成有收容凹部19，其用于收容被该膜褶皱矫正构件按压过来的离型膜F的松弛部分。该收容凹部19是沿膜宽度方向两侧设置的。
接着参照图1和图9说明下模6的结构。图9中，在下模6中，将下模锁紧块21支承于下模基座20。在下模锁紧块21中，在下模中央嵌件22的两侧分别设有下模嵌件23。在下模中央嵌件22上设有用于供给模塑树脂的填料室24a（参照图11）。在填料室24a内设有可升降的柱塞24b（参照图11）。
另外，在图9中，在下模基座20的四角和下模中央嵌件22上设有贯通孔，在该贯通孔中突出设置有膜支承销34（膜支承构件），该膜支承销34被设置为在常规状态下被向离型膜F施力的状态。膜支承销34被在贯通孔内设置的螺旋弹簧等施力构件施力。作为一个例子，膜支承销34设置于下模6的四角，还沿着膜输送方向设置在相当于中央部的下模中央嵌件22上的4处位置。
下模嵌件23的上表面部成为载置工件W并吸附保持该工件W的工件保持部。另外，下模终端限位块25以彼此相对的方式设置在下模中央嵌件22的长度方向两侧。另外，下模终端限位块26以彼此相对的方式设置在各下模嵌件23的长度方向两侧。
鼓风单元27以彼此相对的方式设置在上述成对的下模终端限位块25，鼓风单元28以彼此相对的方式设置在成对的下模终端限位块26。在各鼓风单元27、28的相对面侧分别设有后述的通气孔。各通气孔以使空气朝向与工件W平行的方向扩散、喷出的方式形成。各单元的各通气孔的开口的高度位置设为与工件W的基板上表面大致相同的高度。开模时，自该通气孔向离型膜F与成形品之间喷出空气而使离型膜F与成形品分开。另外，自通气孔向多余树脂29与下模表面之间喷出空气，使多余树脂29易于自推销30（参照图11）剥离。
另外，也可以针对通气孔12c、12e、18a、18b（第2通气孔）中的每个通气孔利用阀的开闭操作进行空气抽吸和鼓风的切换。另外，虽然鼓风单元27、28均以相面对的方式配置，但也可以只在一侧设置。另外，虽然鼓风单元27、28设置在下模终端限位块25、26上，但也可以设置在下模锁紧块21的宽度方向的一方侧或两侧。
另外，在图9中，在下模基座20上以包围下模锁紧块21的周围的方式设有下模密封环31。在上模7和下模6合模时，该下模密封环31与上模基座8的上模密封环17抵接，而在模塑模具5内形成密闭空间。由此，能够在模塑模具5内形成减压空间（或者加压空间），能够进行去除了内部空气的树脂模塑。
在图9中，在下模基座20上设有成对的膜褶皱矫正构件32，该成对的膜褶皱矫正构件32在以与工件载置面相面对的方式输送的长条状的离型膜F的宽度方向两侧按压于该离型膜F，从而对于该离型膜F，不仅在长度方向作用有张力、在宽度方向也作用有张力来去除膜褶皱。如图1所示，膜褶皱矫正构件32的顶端侧形成为尖细状的平坦的按压面32a，并且，膜褶皱矫正构件32形成有自按压面32a向外侧斜下方以规定角度倾斜的锥形面32b。各膜褶皱矫正构件32形成为沿离型膜F的长度方向连续的一张板状，被螺旋弹簧33朝向上方施力地支承于下模基座20。该螺旋弹簧33对膜褶皱矫正构件32施力，按压离型膜F，从而去除膜褶皱，除此之外，还能通过弹性变形来吸收因合模而对离型膜F作用的过度的按压力。
对载置有工件W的下模6和上模7进行合模，一边利用膜褶皱矫正构件32将覆盖上模7的模具表面的离型膜F向收容凹部19按压，一边使空气自规定通气孔12c、12e、18a、18b喷出，在膜褶皱被矫正后的状态下停止空气的喷出。而且，沿离型膜F的长度方向作用张力，通过自在第1模腔凹部12a的内侧和外侧开口的通气孔16a，12c、12e、18a、18b进行空气抽吸，以依照上模分型面的状态，将离型膜F沿着包括第1模腔凹部12a的底部在内的上模夹持面吸附保持。
接着，参照图1至图7的模塑模具的夹持动作来说明采用上述的模塑模具5的膜褶皱的矫正动作的一个例子。
首先，在图1中，在开模的模塑模具5中的下模6的下模嵌件23载置工件W，利用注射器等向填料室供给液体状的模塑树脂。另外，准备用于覆盖上模7的形成有模腔凹部12a、12b的模具夹持面的长条状的离型膜F。离型膜F利用未图示的膜处理器自供给卷放出，经过上模夹持面而卷绕在卷绕卷轴上。另外，在该阶段离型膜F未吸附于上模夹持面。
接着，开始模塑模具5的合模动作，使作为可动模的下模6相对于作为固定模的上模7上升。如图2所示，下模6上升时，被设置为比下模6的夹持面向上方突出的膜褶皱矫正构件32在离型膜F的宽度方向两侧按压于该离型膜F，开始对离型膜F进行按压而使离型膜F向宽度方向两侧展开。另外，此时，利用离型膜处理器对离型膜F施加沿其长度方向的张力而产生纵褶皱F1（参照图3）。
在图3中，在膜褶皱矫正构件32按压离型膜F时，使空气自设于第1模腔凹部12a的底部的通气孔12c、设于凹槽12d的通气孔12e、以及设于下模中央嵌件22、树脂流路的通气孔18a、18b喷出，并将离型膜F推入与其相面对的上模7的收容凹部19，从而去除膜褶皱（纵向褶皱F1）。
如图4所示，此时，离型膜F利用空气的压力以向下凸出的方式临时发生膨胀来矫正宽度方向的膜褶皱。需要说明的是，若在离型膜F产生有褶皱的状态下使离型膜F形成模腔凹部12b的形状，则有时离型膜F会在产生有褶皱的状态下被抽吸到模具表面，结果未能完全去除褶皱。因此，通过使离型膜F暂时膨胀，能够消除该离型膜F产生的褶皱。
膜褶皱的矫正结束时，如图5所示，进一步进行模具夹持动作，从而膜褶皱矫正构件32进入收容凹部19而沿离型膜F的宽度方向拉伸离型膜F，与此同时，停止自第2通气孔12c、12e、18a、18b的空气喷出动作。
接着，如图6所示，利用在设于上模夹持面的第1模腔凹部12a的内侧和外侧开口的第1通气孔15a和第2通气孔12c、12e、18a、18b的抽吸，将矫正了膜褶皱的离型膜F吸附保持于包括第1模腔凹部12a在内的上模夹持面。
然后，如图7所示，利用下模6和上模7夹持工件W（基板2），合模结束。然后，使柱塞24b（参照图11）动作而向第1模腔凹部12a填充填料室24a内的模塑树脂。此时，离型膜F以处于被第1模腔凹部12a的模腔底部限定的高度的方式吸附保持于上模夹持面，在该的状态下进行填充，进一步施加比离型膜F的张力大的最终树脂压力，而一边使离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边向该第2模腔凹部12b填充模塑树脂。此时，容易被封闭在第2模腔凹部12b中的空气经由通气孔12逃逸，从而不会产生空穴。因此，在基板2上搭载有发光元件1而成的工件W的透镜部4的成形品质能够成形为高品质。需要说明的是，在由于第2模腔凹部12b的大小、离型膜F的张力、抽吸力等而能够进行良好的抽吸的情况下，离型膜F沿模腔凹部12b拉伸，依照该模腔凹部12b地吸附保持后填充树脂。
上述实施例中，膜褶皱矫正构件32的形态形成为与离型膜F相面对而在离型膜F的长度方向上相连的一张板状，但并不限定于此。例如，如图11所示，膜褶皱矫正构件32也可以配置为沿离型膜F的长度方向分割为多张的板状。另外，被分割的各膜褶皱矫正构件32的高度可以根据褶皱的产生情况来进行改变。并且，也可以改变向上方对膜褶皱矫正构件32施力支承的螺旋弹簧33的强度。
另外，上述的実施例不仅适用于对在基板2上以行列状配置的工件W在各模腔进行树脂模塑的情况，也能适用于利用模塑树脂对包含凸部的成形品统一成形的类型的制品。另外，说明了对发光装置（LED）进行树脂模塑的情况，但并不限定于此，只要是具有凸部的成形品即可，也可以用在对半导体元件进行树脂封装的情况。
另外，对在上模设置模腔凹部、在下模设置工件W的情况进行了说明，但也可以是在下模设置模腔凹部、在上模设置工件W的情况。
并且，虽然实施例是上模为固定模、下模为可动模的情况，但既可以是下模为固定模、上模为可动模，也可以是上下模双方都为可动模。
另外，树脂模塑装置既可以是传递模塑装置，也可以是压缩成形装置。
如以上说明的那样，能够提供一种在采用长条状的离型膜F来对工件W进行树脂模塑时、能矫正膜的在其宽度方向上产生的膜褶皱从而使成形品质提高的树脂模塑装置和树脂模塑方法。尤其是，利用膜处理器向模具表面自动供给长条状的离型膜时，能够矫正沿宽度方向产生的膜褶皱，之后将离型膜吸附保持于包括模腔凹部在内的模具夹持面，因此，无论是传递模塑成形还是压缩成形都能使工件的成形品质提高地进行树脂模塑。另外，在本实施例中，对采用长条状的离型膜F进行了说明，但本发明也适用于长方形（长度较短）的离型膜F，在本实施例中，对离型膜F的在宽度方向上进行了张力矫正，但也可以在长度方向上进行张力矫正。
第2实施例
对离型膜在模腔内被抽吸的情况、树脂模塑装置及树脂模塑方法进行详细说明。对与第1实施例相同的构件标注相同的附图标记并引用在前面的说明。在图12中，模塑模具5和压力驱动机构与第1实施例相同。在本实施例中，也将上模7作为固定模、下模6作为可动模来进行说明。在设于上模7的模腔芯模（模腔嵌件）11的上模夹持面上形成有第1模腔凹部12a。
第1模腔凹部12a用于整体收容在基板2上以行列状搭载有发光元件1的工件W并进行模塑。另外，在第1模腔凹部12a的底部的与发光元件1相面对的部位形成有深度比该模腔底部的深度深的多个第2模腔凹部12b。在第1模腔凹部12a的底部，第2模腔凹部12b形成为与透镜部外形相对应的半球状的凹部。另外，形成有与第1模腔凹部12a相连接的上模流道浇口11a。另外，在上模7的上模中央嵌件10的夹持面上形成有与上模流道浇口11a连接的上模残料部10a。包括上述第1模腔凹部12a、上模流道浇口11a、上模残料部10a在内的上模夹持面被离型膜F覆盖。
作为一个例子，在图17中，详细说明具有3行3列的第2模腔凹部12b的情况。需要说明的是，对第1实施例的图10所示的成形品进行成形的情况也是一样的。模腔芯模11的第1模腔凹部12a的模腔底部开设有通气孔12f（第3通气孔）。通气孔12f在将离型膜F吸附保持于包括第1模腔凹部12a在内的上模夹持面时使用。另外，在第1模腔凹部12a的底部挖掘并形成有与第2模腔凹部12b相连的连通槽12g。在该连通槽12g中开设有通气孔12h（第4通气孔）。需要说明的是，在第1实施例中，为了简化而记载为通气孔12c（第2通气孔），但详细而言，由本实施例的第3通气孔12f和第4通气孔12h这两者构成。同样，为了简化，将空气抽吸排气装置也只记载为16b。
图17中，邻接的第2模腔凹部12b借助连接其外周侧的连通槽12g彼此纵横连通，各连通槽12g连接有通气孔12h。通气孔12h用于排走空气或者抽吸空气，该空气是如后述那样向第2模腔凹部12b填充模塑树脂时容易被封闭的空气。通气孔12f与空气抽吸排气装置16c（参照图13）连接，通气孔12h与空气抽吸排气装置16d（参照图16）连接。利用该空气抽吸排气装置16c、16d，不仅能自通气孔12f和通气孔12h抽吸空气，根据需要还能喷出压缩空气而使离型膜F自模具表面剥离、促进封装表面的固化。
另外，在图17中，在第2模腔凹部12b的外周缘部形成有与连通槽12g相连接的阶梯凹槽12i。空气能够自该阶梯凹槽12i经由连通槽12g向通气孔12h逃逸（参照图12）。另外，也可以省略阶梯凹槽12i而将连通槽12g直接连通于第2模腔凹部12b。另外，空气通路12j设置为连接于与上模流道浇口11a和第1模腔凹部12a相连接的边相反的一侧的边（相面对的边）。
在图12中，在下模6中，下模嵌件23支承于下模锁紧块21。下模嵌件23的上表面成为用于搭载工件W的搭载面。另外，在下模中央嵌件22上设有填料室24a。该填料室24a内插入有能升降的柱塞24b。柱塞24b设为能利用公知的传递机构升降。
接着，参照图12至图16说明树脂模塑装置的树脂模塑动作。首先，在图12中，在开模的模塑模具5中，在下模6的下模嵌件23上载置工件W，利用注射器等向填料室24a供给液体状的模塑树脂R。
并且，如图13所示，使空气抽吸排气装置16c工作，利用设在与下模6相面对的上模7的模腔芯模11上的通气孔12f（参照图17）开始抽吸空气，使离型膜F在被施加了张力的状态下吸附保持于包括第1模腔凹部12a、第2模腔凹部12b、上模流道浇口11a、上模残料部10a在内的上模夹持面。需要说明的是、该图中所示的虚线表示：利用空气抽吸排气装置16c自配置于与通气孔12h在该图的纸面左右方向上为相同位置的位置且在该剖面中未图示的通气孔12f（参照图17）抽吸空气（图14、图15、图19、图20中也一样）。此时，被依照上模夹持面吸附保持的离型膜F处于这样的状态：被以规定的张力依照第1模腔凹部12a的模腔底部吸附保持，且未进入深度比第1模腔凹部12a的模腔底部的深度深的第2模腔凹部12b。
接着，在图14中，模塑模具5合模。利用公知的开合模机构使下模模板上升，通过下模6和上模7夹持工件W。另外，也可以是，利用上模7具有的未图示的可动夹紧件将在上模7与下模6之间形成的包括第1模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在内的模具空间密闭，形成减压空间。
接着，如图15所示，使未图示的传递机构工作而抬起柱塞24b，在离型膜F处于被第1模腔凹部12a的模腔底部限定的高度的状态下，将在填料室24a内加热的模塑树脂R填充到第1模腔凹部12a的整个空间。在该情况下，利用比离型膜F的张力小、不使离型膜F拉伸较长的程度的较低的第1树脂压力填充模塑树脂R。需要说明的是，在该图中，虽然图示为离型膜F的位于第2模腔凹部12b的部分也与第1模腔凹部12a平齐，但实际上也可以成为离型膜稍微压入第2模腔凹部12b内的状态。
此时，因为离型膜F未粘贴于第2模腔凹部12b的表面，所以能沿着凹凸小的离型膜F顺利地填充模塑树脂R。另外，第1模腔凹部12a内的空气自设于与上模流道浇口11a相反的一侧的空气通路12j逃逸，因此，不会将空气封闭于模具内（参照图17）。
最后，如图16所示，进一步抬起柱塞24b，施加比离型膜F的张力大的最终树脂压力，一边使该离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边向该第2模腔凹部12b填充模塑树脂R。此时，残留在第2模腔凹部12b中的空气经由连通槽12g（或者阶梯凹槽12i和连通槽12g）向通气孔12h逃逸，并且模塑树脂R被填充到第2模腔凹部12b。
或者，也可以是，一边向第2模腔凹部12b填充模塑树脂R，一边利用空气抽吸排气装置16d自与第2模腔凹部12b相连的通气孔12h抽吸空气，在该状态下，一边使离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边填充模塑树脂R。
采用上述树脂模塑装置和树脂模塑方法，能够利用离型膜F的拉伸所产生的模具追随性而向比第1模腔凹部12a的模腔底部的深度深的多个第2模腔凹部12b填充模塑树脂R，因此，即使是包含例如深宽比高的透镜部的成形品，也能提高树脂填充性。另外，能够利用离型膜的厚度吸收工件的厚度的偏差、工件表面的凹凸且与透镜部相当的第2模腔凹部12b为连续面，因此，能够不在成形品上形成凹凸，能够提高成形品质。
另外，使容易封闭于第2模腔凹部12b的空气经由连通槽12g向通气孔12h可靠地逃逸，从而能够防止第2模腔凹部12b中产生模塑树脂R的未填充、空穴。
另外，一边自通气孔12h抽吸空气一边施加最终树脂压力，从而一边使离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边向该第2模腔凹部12b填充模塑树脂R，在该情况下，能够促进残留于第2模腔凹部12b内的空气的排出。另外，模塑树脂R填充到第1模腔凹部12a后，对多个第2模腔凹部12b中的所有第2模腔凹部12b同时进行填充，因此，能够使模塑树脂R在第2模腔凹部12b内的加热均匀化，能够进行固化状态均匀的透镜成形。需要说明的是，在本实施例中，第3通气孔12f与第4通气孔12h的抽吸时间是错开的，但也可以同时进行抽吸。
接着，说明树脂模塑装置的其他例子。
上述树脂模塑装置虽然采用传递模塑成形用的模塑模具，但也可以采用压缩成形用的模塑模具。另外，与上述的树脂模塑装置相同的构件标注相同的附图标记并引用在前面的说明。图18中，上模7设有包围模腔芯模11的上模可动夹紧件35。上模可动夹紧件35利用螺旋弹簧等悬挂支承于未图示的上模基座。模腔芯模11固定于上模基座（未图示）。在模腔芯模11上形成有第2模腔凹部12b和将这些第2模腔凹部12b连通的连通槽12g（包括阶梯凹槽12i）。
在模腔芯模11上分别设有在其底部（相当于第1模腔凹部12a的模腔底部）开口的通气孔12f（第3通气孔；参照图17）和在将第2模腔凹部12b彼此连通的连通槽12g中开口的通气孔12h（第4通气孔）。
另外，在图18中，在下模6中，在下模基座20上支承有下模嵌件23。在下模基座20上以包围下模嵌件23且与上模可动夹紧件35相面对的方式设有下模块36。另外，虽然在模腔芯模11未形成相当于第1模腔凹部12a的凹部，但是通过将模塑模具5夹紧而由下模块36的内壁面与模腔芯模11的底部（下端面）形成的凹部相当于第1模腔凹部12a。即，模腔芯模11的下端面与第1模腔凹部12a的模腔底部相当。
接着，参照图18至图21说明上述树脂模塑装置的树脂模塑动作。在图18中，将搭载有树脂的工件W搬入并载置于开模的模塑模具5中的下模6的下模嵌件23，利用设于下模嵌件23的空气抽吸孔（未图示）吸附工件W。另外，也可以是，在将工件W搬入模塑模具5后向基板2的中央部供给模塑树脂R（液体状树脂）。并且，如图19所示，使空气抽吸排气装置16c工作，利用与下模6相面对的上模7的模腔芯模11上的通气孔12f（虽然图17图示了传递模塑成形用的模腔，但与没有浇口11a的压缩成形用的可动模腔相同，因此用作参照）开始抽吸空气，在对离型膜F施加了规定的张力的状态下使离型膜F吸附保持于上模夹持面。
接着，将模塑模具5合模。利用公知的开合模机构使未图示的下模模板上升，如图20所示那样，利用下模6和上模7在工件W的上方形成第1模腔凹部12a，利用模腔芯模11和工件W夹持模塑树脂R。此时，被依照上模夹持面吸附保持的离型膜F以规定的张力依照模腔芯模11的底部（与第1模腔凹部12a的模腔底部相当）被吸附保持，且处于未进入第2模腔凹部12b的状态。在离型膜F被模腔芯模11的底部（与第1模腔凹部12a的模腔底部相当）限定了高度的状态下，利用不使离型膜F拉伸较长的程度的较低的第1树脂压力向第1模腔凹部12a的整体填充模塑树脂R。在本实施例中，因为离型膜F也未粘贴于第2模腔凹部12b的内表面，所以能沿着凹凸小的离型膜F顺利地填充模塑树脂R。另外，也可以是，对上模可动夹紧件35抵接于下模块36而形成的模具空间（第1模腔凹部12a和第2模腔凹部12b）进行密闭，形成减压空间。
最后，如图21所示，自上模可动夹紧件35抵接于下模块36的状态进一步抬起下模6，施加比离型膜F的张力大的最终树脂压力而一边使该离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边向第2模腔凹部12b填充模塑树脂R。此时，残留在第2模腔凹部12b的空气经由连通槽12g（或者经由阶梯凹槽12i和连通槽12g）向通气孔12h逃逸，并且模塑树脂R被填充到第2模腔凹部12b。
或者，也可以是，一边向第2模腔凹部12b填充模塑树脂R，一边使空气抽吸排气装置16d工作而利用与第2模腔凹部12b相连的通气孔12h抽吸空气，从而一边使离型膜F在第2模腔凹部12b内拉伸，一边填充模塑树脂R。
在上模可动夹紧件35抵接于下模块36的状态下，上模7和下模6位于最终夹持位置、即模腔芯模11与工件W接近的位置时能维持最终树脂压力。也采用这样的压缩成形，即使是包含例如深宽比高的透镜部的成形品，也能够提高模塑树脂R的填充性并提高成形品质。
另外，也可以是，在模塑模具内使模塑树脂R加热固化后，使空气抽吸排气装置16c、16d工作，自通气孔12f和通气孔12h进行鼓风，从而在开模时促进离型膜F的脱模、或者使透镜部的表面固化而促进脱模。
第3实施例
详细说明成形后的鼓风并用脱模的树脂模塑装置和方法。对与第1实施例相同的构件标注相同的附图标记并引用在前面的说明。
在图11中，工件W是采用在基板2上以行列状倒装法连接（或者引线结合法连接）发光元件1的结构。在图9中示出了对于长方形（长度较短）的基板2的情况，安装多个（例如安装18个）成形品的例子。另外，作为基材使用的基板2可以采用树脂基板、金属（例如铝、铜等）基板、陶瓷基板、引线框、载体等各种各样的板状的构件。另外，作为工件W可以采用形成有凸块的晶圆、通过粘接固定搭载有电子零件的载体等。
接着，说明树脂模塑装置。另外，因为树脂模塑装置所具有的模塑模具5的大致结构、压力驱动机构与第1实施例相同，所以以模塑模具5所具有的脱模装置的结构为中心进行说明。图22是自模塑模具5省略了填料室、残料部、流道、浇口等的示意性剖视图（在图23至图25中也一样）。另外，在图9中成形品37在基板2上呈串联状地两两相连而树脂封装，图22示意性表示用于封装1个成形品37的模塑模具5的剖面结构。模塑模具5具有用于载置工件W的下模6（一模具）和用于夹持工件W的上模7（另一模具）。需要说明的是，因为是要详细说明利用鼓风进行的脱模，因此图22至图25省略了作为成形前的必要结构的周槽15、对离型膜进行褶皱弄平的膜褶皱矫正构件32、收容凹部19的图示。
首先，参照图8说明上模7的结构。在第1模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周围开设有多个（例如4个）通气孔12c（第2通气孔）。通气孔12c与能喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16b连接（参照图22）。
在图8中，在上模中央嵌件10和上模模腔嵌件11的夹持面（工件抵接面）上开设有多个用于吸附保持离型膜F的通气孔18a（第2通气孔）。另外，与树脂流路相当的上模残料部10a、上模流道10b、上模流道浇口11a、连通流道11b上开设有通气孔18b（第2通气孔）。第2通气孔18a、18b与可以喷出空气或者抽吸空气的空气抽吸排气装置16f（参照图27和图28）连接。如图22所示，包括第1模腔凹部12a的底部在内的上模夹持面利用离型膜F覆盖。
接着，参照图11和图9说明下模6的结构。在图11中，在下模中央嵌件22的填料室周边区域、即与成形品上的残料（日文：成形品カル）29a和成形品上的流道（日文：成形品ランナ）29b（参照图9）对应的位置设有贯通孔，在该贯通孔中设有能突出的推销30。推销30竖立设置于未图示的推销板件。模塑模具5处于合模状态时，推销30自下模夹持面退避，在进行开模之后被推销板件按压，自下模夹持面（下模中央嵌件22）突出而使多余树脂29（成形品上的残料29a和成形品上的流道29b；参照图9）脱模。
鼓风单元27以彼此面对的方式设于成对的下模终端限位块25，鼓风单元28以彼此面对的方式设于成对的下模终端限位块26。在与各鼓风单元27、28相对面的一侧分别设有通气孔27a、28a（第5通气孔；参照图27和图28）。图30的（A）和图30的（B）表示鼓风单元28（27）的结构例。另外，鼓风单元27的结构也一样。为了使空气朝向与工件W平行的方向扩散、喷出，通气孔28a（27a）的单元开口28b（27b）形成为呈大致90°张开。单元开口28b（27b）的高度位置设为与工件W的基板上表面大致相同的高度。自通气孔28a朝向离型膜F与成形品37之间喷出空气而使离型膜F与成形品37分开（参照图25）。另外，如后述那样，自通气孔27a朝向多余树脂29与下模表面之间喷出空气，而使多余树脂29（成形品上的残料29a）变得易于自推销30剥离（参照图27）。
通气孔27a、28a与能抽吸空气或者能鼓风的空气抽吸排气装置16f连接（参照图23、图24、图25）。另外，对于通气孔18a、18b（第2通气孔）、通气孔27a、28a（第5通气孔）以及通气孔12c（第2通气孔），虽然在本实施例中对各通气孔进行阀的开闭操作而通过各空气抽吸排气装置进行抽吸空气和鼓风的切换，但也可以使用共有的空气抽吸排气装置。
接着，一边参照图31的（A）的流程图和图31的（B）的鼓风的时序图一边说明采用上述模塑模具5的脱模动作的一个例子。首先，在图31的（A）中，在开模的模塑模具5的下模嵌件23上载置工件W，向填料室24a供给模塑树脂R后，使下模6向上移动，而与包括第1模腔凹部12a的底部在内的上模夹持面被离型膜F覆盖的上模7一起夹持工件W，使包含透镜部的成形品37加热固化来进行树脂模塑（步骤S1）。在图31的（B）中，因为作为可动模的下模6正与上模7合模，所以压力驱动机构位于向上移动的位置。另外，空气抽吸排气装置16b工作而使在上模7的夹持面开口的通气孔18a、18b（第2通气孔）处于抽吸离型膜F的状态（吸附ON状态）。另外，图22表示刚完成树脂模塑后的状态。该图所示的模塑树脂R的加热固化温度由于树脂的不同而不同，但为140℃～180℃。
接着，在图31的（A）中，经过模塑树脂R的固化时间后，开始模塑模具5的开模。即，使压力驱动机构工作，使下模6下降（步骤S2）。接着，停止空气抽吸排气装置16b的膜吸附动作，利用通气孔18a、18b（第2通气孔）开始鼓风动作（步骤S3）。在图31的（B）中，利用通气孔18a、18b（第2通气孔）喷出空气，而使离型膜F与上模7分开（参照图23）。优选的是，此时，使空气抽吸排气装置16b工作，自通气孔12c（第2通气孔）喷出空气，隔着离型膜F使与深宽比高的凸部相当的成形品37的表面固化（参照图23）。另外，虽然继续由通气孔18a、18b（第2通气孔）进行的鼓风动作，但也可也经过规定时间后使鼓风动作结束。对于通气孔12c（第2通气孔），也是一样的。
接着，在图31的（A）中，进一步进行模塑模具6的开模，使空气抽吸排气装置16f工作，而使空气自通气孔27a、28a（第5通气孔）喷出到离型膜F与成形品37之间，从而使离型膜F与成形品37分开（参照图24、图25；步骤S4）。
具体而言，在图31的（B）中，一边使下模6进一步下降、即自开始开模起t秒后（>0）使空气抽吸排气装置16f工作，自通气孔27a、28a（第5通气孔）沿基板2向离型膜F与成形品37之间的间隙喷出空气，该间隙是在对离型膜F施加了张力的状态下形成的（参照图25）。图29示意性表示自相对配置的鼓风单元27、28沿基板2向成形品37喷出空气的状态。如图30的（A）所示，形成于鼓风单元28（27）的通气孔28a（27a；第5通气孔）的单元开口28b（27b）以使空气以大致90°的角度扩散的方式对工件W吹送空气，因此，能够有效地对成形品37进行冷却。
由此，增加离型膜F的张力时，自通气孔28a（27a；第5通气孔）喷出空气而促进成形品表面的固化，从而使离型膜F变得容易自基板2和成形品37剥离。另外，优选此时的成形品37的表面温度冷却到100℃左右。另外，虽然继续通气孔28a（27a；第5通气孔）进行的鼓风动作，但也可以经过规定时间后使鼓风动作结束。
如图26所示，虽然上模7与离型膜F、离型膜F与成形品37分别分开，但成形品上的残料29a和成形品上的流道29b仍粘贴在下模夹持面（下模中央嵌件22）而未脱模。尤其是LED用的透明树脂，只要成形品未冷却固化就会处于粘着性仍然很高的状态，因此，在加热状态下难以与下模夹持面分开。附带说一下，如图9所示，树脂模塑后的多余树脂29、即成形品上的残料29a和成形品上的流道29b与下模6（下模中央嵌件22）之间的接触面积大，所以难以剥离。
因此，在图31的（A）中，再进一步进行模塑模具5的开模，开始下模脱模动作（步骤S5）。即，如图31的（B）所示，使推销30自下模6（下模中央嵌件22）朝向成形品上的残料29a和成形品上的流道29b顶起（参照图27）。另外，自通气孔27a（第5通气孔）向成形品上的残料29a与下模夹持面之间、成形品上的流道29b与下模夹持面之间喷出空气而使成形品上的残料29a和成形品上的流道29b的与推销30抵接的推销抵接部固化（步骤S6；参照图28）。图29示意性地表示空气自相对配置的鼓风单元27向成形品上的残料29a和成形品上的流道29b喷出的状态。
另外，在图28中，虽然单元开口27b的高度设为比成形品上的残料29a与下模夹持面之间的分界面、成形品上的流道29b与下模夹持面之间的分界面高的位置，但如图31的（B）所示，当下模6移动到开模位置时，推销30突出到最大突出位置，所以成形品上的残料29a和成形品上的流道29b被向上方顶起而能经由成形品上的残料29a与下模表面之间、成形品上的流道29b与下模表面之间形成的间隙进行鼓风。
由此，使推销30朝向成形品上的残料29a和成形品上的流道29b顶起，并且喷出空气，对与推销30抵接的推销抵接部进行冷却，从而使多余树脂29固化而易于自推销30剥离。另外，没有必要在成形品上的残料29a和成形品上的流道29b都设置推销30，也可以设置于其中任意一者。另外，在本实施例中，虽然继续通气孔12c（第2通气孔）进行的鼓风动作，也可也经过规定时间后使鼓风动作结束。
如上所述，成形品37的脱模动作结束（步骤S7）。
采用上述结构，使用模塑模具5对含有透镜部4的成形品37进行树脂模塑后，自设于上模7的通气孔18a、18b喷出空气，从而能使离型膜F与上模夹持面分开。
另外，模塑模具5开始开模后，使空气自通气孔27a、28a喷出，从而能够使成形品37与离型膜F分开。
进一步进行开模，使空气自通气孔27a（第5通气孔）向多余树脂29（成形品上的残料29a、成形品上的流道29b）与模具夹持面之间喷出，从而能够使成形品37自下模6的模具夹持面脱模。
因此，能够在不使成形品质下降的前提下将包含采用例如粘着性高的透明树脂的透镜部的成形品自模塑模具脱模。
另外，利用模塑模具5的开模动作，使离型膜F和成形品37之间产生间隙，在该状态下，自通气孔28a（第5通气孔）喷出空气，因此，利用离型膜F的张力的增加和喷出空气使成形品表面冷却，使成形品37容易自离型膜F剥离。
同样地，使推销30朝向成形品上的残料29a、成形品上的流道29b突出、按压，并且使空气自通气孔27a（第5通气孔）喷出，使推销顶端的成形品抵接部冷却，从而使多余树脂29固化而容易自推销30剥离。
第4实施例
详细说明成形后的膜支承销和鼓风并用型的树脂模塑装置及方法。对与第1实施例相同的构件标注相同的附图标记并引用在前面的说明。在图32中，模塑模具5的概略结构及压力驱动机构与第1实施例～第3实施例相同，以不同的结构为中心进行说明。需要说明的是，因为要详细说明使用膜支承销进行的脱模，因此图32至图36省略了作为成形前的必要结构的周槽15、对离型膜进行褶皱弄平的膜褶皱矫正构件32、收容凹部19以及鼓风单元27、28的图示。
首先，参照图8说明上模7的结构。在上模基座8上以包围包括上模模腔嵌件11在内的上模锁紧块9（模腔凹部的外周侧）的方式形成有周槽15。在该周槽15的底部以规定间隔开设有多个通气孔15a（第1通气孔）。通气孔15a与能喷出空气或者能抽吸空气的空气抽吸排气装置16a连接（参照图33）。在设于上模基座8的周槽15的外周侧上嵌入有上模密封环17。上模密封环17与下模密封环31一起在模塑模具5内形成密闭空间而能进行减压。
在图33中，在第1模腔凹部12a的底部且在第2模腔凹部12b的周围开设有多个（例如4个）通气孔12c（第2通气孔）。通气孔12c与能喷出空气或者能抽吸空气的空气抽吸排气装置16b连接（参照图34）。
另外，在自上模残料部10a串联配置的第1模腔凹部12a的周围，分别形成有将这些串联结构分隔开的凹槽12d。在该凹槽12d的底部开设有通气孔12e（第2通气孔）。通气孔12e与能喷出空气或者能抽吸空气的空气抽吸排气装置16b（参照图34）连接。
另外，如图8所示，在上模中央嵌件10及上模模腔嵌件11的夹持面（工件抵接面）上设有多个通气孔18a（第2通气孔），这些通气孔18a能够使离型膜F吸附于上模夹持面或者用于喷出空气而使离型膜F与上模夹持面分开。另外，与树脂流路相当的上模残料部10a、上模流道10b、上模流道浇口11a、连通流道11b上也开设有通气孔18b（第2通气孔）。第2通气孔18a、18b与能够喷出空气或者能抽吸空气的空气抽吸排气装置16b连接（参照图34）。如图32所示，利用离型膜F覆盖包括第1模腔凹部12a和第2模腔凹部12b在内的上模夹持面。
接着，参照图11和图9说明下模6的结构。在图11中，下模6的概略结构与第1实施例相同。在下模中央嵌件22的填料室周边区域、即与成形品上的残料29a和成形品上的流道29b（多余树脂29；参照图9）对应的位置设有多个贯通孔，在该贯通孔中设有可突出的推销30，这也与第1实施例相同。
另外，与图9一样，作为一个例子，膜支承销34（膜支承构件）设置于下模6的四角，还沿着膜输送方向设置在相当于中央部的下模中央嵌件22上的4处位置。膜支承销34被设置在贯通孔内的螺旋弹簧等施力构件施力。
下模嵌件23的上表面部作为用于载置并吸附保持工件W的工件保持部。另外，下模终端限位块25以彼此相面对的方式设于下模中央嵌件22的长度方向两侧。另外，下模终端限位块26以彼此相面对的方式设于各下模嵌件23的长度方向两侧。
在下模终端限位块25、26上搭载有鼓风单元27、28，与第3实施例的图30的（A）和图30的（B）一样地设有通气孔（27a、28a；第5通气孔），该通气孔以使空气朝向与工件W平行的方向扩散、喷出的方式形成。开模时，使空气自通气孔28a向离型膜F与成形品之间喷出而使离型膜F与成形品分开（参照图36）。另外，自上述通气孔28a向多余树脂29与下模表面之间喷出空气，而使多余树脂29变得易于自推销30剥离。
接着，参照图32至图36的模塑模具的开闭动作对采用上述的模塑模具5的脱模动作的一例进行说明。
首先，说明作为前提的树脂模塑动作。在图32中，在开模的模塑模具5的下模嵌件23上吸附保持工件W，向填料室24a供给模塑树脂后（参照图11），使下模6向上移动而与包括第1模腔凹部12a、第2模腔凹部12b的底部在内的上模夹持面被离型膜F覆盖的上模7（参照图8）一起夹持工件W来进行树脂模塑。虽然由于模塑树脂的不同而不同，但包含透镜部的成形品37在110℃～180℃加热固化。另外，在模塑模具5内，因为由上模密封环17与下模密封环31形成密闭空间，所以能利用未图示的脱气装置进行真空抽吸而在减压空间内进行树脂模塑动作。另外，空气抽吸排气装置16a、16b工作，而使在上模7的夹持面开口的通气孔15a（第1通气孔）、通气孔12c、12e、18a、18b（第2通气孔）处于抽吸离型膜F的状态（吸附ON状态）。另外，作为可动模的下模6处于上端位置（加压位置）。另外，膜支承销34自下模6突出，并压靠于与下模6相面对的上模7上的离型膜F。
接着，在模塑树脂的固化时间结束的数秒前，首先利用空气抽吸排气装置16a破坏离型膜F的由通气孔15a（第1通气孔）形成的吸附于周槽15内的状态，利用空气抽吸排气装置16b破坏离型膜F的由通气孔12c、12e、18a、18b（第2通气孔）形成的吸附状态。
接着，如图33所示，在固化时间即将结束之前，利用空气抽吸排气装置16a开始由通气孔15a进行的离型膜F吸附于周槽15内的动作。另外，也进行利用空气抽吸排气装置16b进行由通气孔12c、12e、18a、18b进行的吸附离型膜F的动作。另外，同时，用于在卷轴间输送离型膜F的输送装置以卷绕离型膜F的方式在输送方向上游侧和下游侧提高张力（参照图33）。并且，将合模的模塑模具5内的由未图示的真空抽吸装置形成的减压空间破坏。
固化时间结束时，开始模塑模具5的开模。即，使压力驱动机构工作而使下模6下降。此时，利用空气抽吸排气装置16a仍然继续进行由通气孔15a进行的将离型膜F吸附于周槽15内的动作。因此，离型膜F在吸附于上模7的状态下，伴随着下模6的下降而自成形品37剥离。
接着，如图34所示，开始由空气抽吸排气装置16b进行的空气喷出动作。一边继续利用空气抽吸排气装置16a进行经由通气孔15a（第1通气孔）的空气抽吸动作，一边利用空气抽吸排气装置16b进行经由通气孔12c、12e、18a、18b（第2通气孔）的空气喷出动作。因此，离型膜F自包括第1模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在内的上模夹持面开始剥离。
接着，如图35所示，进一步进行使模塑模具5的开模，使空气自包括第1模腔凹部12a、第2模腔凹部12b在内的上模夹持面喷出，而进行使离型膜F自上模夹持面的剥离。
然后，在图36中，自上模7剥离且膨胀为球囊状离型膜F的挠曲被膜支承销34按压支承。伴随下模6的下降而自下模夹持面突出的膜支承销34将离型膜F朝向上模面按压，从而能抑制离型膜F的下垂。
另外，如图9所示，在模塑模具5开模时，自设于下模6的鼓风单元27、28所设有的通气孔27a、28a（参照图30的（A）和图30的（B）；第5通气孔）朝向成形品37和与其相连的多余树脂29喷出空气（参照图29）。由此，模塑模具5开模时，不仅是对成形品37，也对包括成形品上的残料29a和成形品上的流道29b在内的多余树脂29分别喷出空气而进行冷却，因此能够促进成形品37的脱模。
继续进行自上模7的空气喷出，自下模6的鼓风单元27、28的空气喷出动作直至开模结束而结束。另外，利用空气抽吸排气装置16a进行的经由通气孔15a的抽吸动作也可以在由空气抽吸排气装置16b进行的空气喷出动作开始后经过规定时间后停止。
如上所述，成形品37的脱模动作结束。
采用上述结构，使用模塑模具5来对成形品进行树脂模塑后，自设于上模7的通气孔15a（第1通气孔）抽吸空气，从而使离型膜F吸附于周槽15，在该状态下开模，能够使离型膜F自成形品37剥离。
另外，在模塑模具5开模时，在离型膜F吸附于周槽15内的状态下，使空气自通气孔12c、12e、18a、18b（第2通气孔）喷出，从而能使离型膜F膨胀为球囊状而自上模面剥离。
进一步进行开模，即使自上模面剥离的离型膜F下垂，也能够利用膜支承销34将松弛的离型膜F朝向上模面按压、支承。
因此，能够在不使成形品质下降的前提下将包含采用例如粘着性高的透明树脂的透镜部的成形品自模塑模具脱模。
上述的模塑模具是上模7为固定模、下模6为可动模或者与此相反的任意一种，能够任意设定上模7与下模6中任意一方为固定模，另一方为可动模。另外，模塑模具5是在下模6载置工件W并设有填料室24a，在上模7上设有模腔凹部12a且利用离型膜F覆盖上模夹持面，但也可以是在下模6上设有模腔凹部12a且用离型膜F覆盖下模夹持面、在上模7设置填料室24a的模塑模具。并且，也可以将基板2保持于上模7，并在下模6形成第1模腔12a、第2模腔12b。
另外，在上述实施例中，对在基板2上以行列状配置的工件W在各模腔进行树脂模塑的情况进行了说明，但对制造利用模塑树脂统一成形包含凸部的成形品的类型的产品、例如作为工件W在基板2上LED透镜部以例如0.2mm间隔密集配置的空气逃逸通路难以设置的LED发光装置的情况是有效的。另外，虽然说明了对发光装置（LED）进行树脂模塑的情况，但只要是具有凸部的成形品，并不限定于此，本发明例如也可以用于对光接收装置、相机组件（MEMS产品）的透镜进行树脂模塑的情况，还可以用于树脂封装半导体元件的情况。

Claims (24)

1.一种树脂模塑装置，其用于对被模塑模具夹持的工件进行树脂模塑，其特征在于，
上述模塑模具具有：
一模具，其用于载置上述工件；
另一模具，在其模具夹持面上形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，
在上述另一模具上设有在上述模具夹持面包围上述模腔凹部的外周侧且在槽底部开口设有多个第1通气孔的周槽、设于比上述周槽靠外侧的另一模具密封环，在模具夹持面上开口设有多个第2通气孔，该多个第2通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于上述模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，
在上述一模具上设有一模具密封环和成对的膜褶皱矫正构件，该一模具密封环与上述另一模具密封环抵接而在上述模塑模具内形成密闭空间，该膜褶皱矫正构件在该一模具密封环的外侧在以与上述工件载置面相面对的方式搬送的上述离型膜的宽度方向两侧按压于该离型膜，从而，对于该离型膜，不仅在其长度方向上作用有张力、而且在其宽度方向上也作用有张力来去除膜褶皱。
2.根据权利要求1所记载的树脂模塑装置，其中，
在上述另一模具的膜吸附面上以与上述膜褶皱矫正构件相面对的方式形成有用于收容被该膜褶皱矫正构件按压的上述离型膜的松弛部分的收容凹部。
3.根据权利要求2所记载的树脂模塑装置，其中，
对上述另一模具和载置有上述工件的上述一模具进行合模，一边利用上述膜褶皱矫正构件向上述收容凹部按压将上述另一模具的表面覆盖的上述离型膜，一边自规定的上述通气孔喷出空气，在膜褶皱被校正的状态下停止上述空气的喷出，利用在上述模腔凹部的内侧和外侧开口的通气孔抽吸空气，从而以依照上述模具的分型面的状态将上述离型膜沿着包括上述模腔凹部的底部在内的上述另一模具的模具夹持面吸附保持。
4.一种树脂模塑装置，其利用模塑模具夹持在基材上搭载有电子零件的工件，对包含凸部的成形品进行树脂模塑，其特征在于，
该树脂模塑装置具有：
一模具，其用于载置上述工件；
另一模具，其具有模腔芯模，该模腔芯模在该另一模具的模具夹持面形成有第1模腔凹部且在该第1模腔凹部的底部分别形成有用于成形上述凸部的第2模腔凹部和在上述第1模腔凹部的模腔底部开口的第3通气孔、以及在第1模腔凹部的底部开口于与上述第2模腔凹部相连的连通槽的第4通气孔，利用离型膜覆盖该另一模具的包括上述第1模腔凹部的底部在内的模具夹持面，
上述另一模具与载置有上述工件的上述一模具合模，利用上述第3通气孔的抽吸将上述离型膜以规定的张力且处于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持，在该状态下，向上述第1模腔凹部内填充模塑树脂，在上述第1模腔凹部填充了模塑树脂后，施加比上述离型膜的张力大的最终树脂压力而一边使该离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，一边使封闭在该第2模腔凹部内的空气经由上述连通槽向上述第4通气孔逃逸并向上述第2模腔凹部填充上述模塑树脂。
5.根据权利要求4所记载的树脂模塑装置，其中，
一边自上述第4通气孔抽吸空气，一边施加最终树脂压力，使上述离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，一边向该第2模腔凹部填充模塑树脂。
6.根据权利要求4所记载的树脂模塑装置，其特征在于，
通过使上述模塑模具夹紧而在上述另一模具的模腔芯模与上述一模具之间形成第1模腔凹部，在上述模腔芯模的底部形成有第2模腔凹部和第3通气孔，设有在与该第2模腔凹部相连的连通槽中开口的第4通气孔，上述另一模具与载置有上述工件的上述一模具合模，利用第3通气孔的抽吸将上述离型膜以规定的张力且处于被上述另一模具的模具夹持面限定的高度的方式吸附保持，在该状态下，在上述工件上填充模塑树脂，施加比上述离型膜的张力大的最终树脂压力，一边使该离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，一边向上述第2模腔凹部填充上述模塑树脂。
7.一种树脂模塑方法，其是利用模塑模具夹持被供给来的工件而进行树脂模塑的方法，其特征在于，
该树脂模塑方法具有：
向开模的模塑模具的一模具的模具夹持面供给上述工件，准备用于对形成有模腔凹部的另一模具的模具夹持面进行覆盖的离型膜的工序；
开始上述模塑模具的合模动作，利用被设于上述一模具的模具夹持面且位于上述离型膜的宽度方向两侧的成对的膜褶皱矫正构件将上述离型膜压入与该膜褶皱矫正构件相面对的上述另一模具的收容凹部，并且一边利用设于上述另一模具的模具嵌件的通气孔喷出空气，一边对上述离型膜去除膜褶皱的工序；
利用该另一模具的所有通气孔的抽吸，将上述膜褶皱被矫正了的上述离型膜吸附保持于上述另一模具的包括上述模腔凹部在内的模具夹持面的工序；
将上述模塑模具合模，将模塑树脂填充到上述模腔凹部的工序。
8.根据权利要求7所记载的树脂模塑方法，其中，
在上述另一模具的模具夹持面上形成有第1模腔凹部和深度比该第1模腔凹部的模腔底部的深度深的多个第2模腔凹部，
以处于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式将上述离型膜吸附保持于上述另一模具的模具夹持面的状态下，施加比该离型膜的张力大的最终树脂压力而一边使该离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸一边向上述第2模腔凹部填充上述模塑树脂。
9.一种树脂模塑方法，其是利用模塑模具夹持在基材上搭载有电子零件的工件而对包含透镜部的成形品进行树脂模塑的方法，其特征在于，
该树脂模塑方法具有：
在开模的模塑模具的一模具的模具夹持面载置上述工件，在形成有第1模腔凹部和深度比该第1模腔凹部的模腔底部的深度深的多个第2模腔凹部的另一模具的模具夹持面上，借助在上述模腔底部开口的第3通气孔的抽吸，使离型膜以规定的张力且处于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的方式吸附保持于上述另一模具的模具夹持面的工序；
将上述模塑模具合模，在上述离型膜处于被上述第1模腔凹部的模腔底部限定的高度的状态下，向上述第1模腔凹部填充模塑树脂的工序；
设有在将上述第1模腔凹部与上述第2模腔凹部连接起来的连通槽中开口的第4通气孔，在上述第1模腔凹部填充了模塑树脂后，施加比上述离型膜的张力大的最终树脂压力，而一边使该离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，一边使封闭在该第2模腔凹部的空气经由上述连通槽向上述第4通气孔逃逸并向该第2模腔凹部填充上述模塑树脂的工序。
10.根据权利要求9所记载的树脂模塑方法，其中，
一边自上述第4通气孔抽吸空气，一边施加最终树脂压力，从而使上述离型膜在上述第2模腔凹部内拉伸，并向该第2模腔凹部填充模塑树脂。
11.一种树脂模塑装置，其是对利用模塑模具夹持的工件进行树脂模塑、树脂模塑后的成形品在开模时能自模塑模具脱模的树脂模塑装置，其特征在于，
上述模塑模具具有：
一模具，其用于载置上述工件；
另一模具，在其模具夹持面形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，
上述另一模具上设有多个第2通气孔，该多个第2通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，
在上述一模具上，设有使空气以朝向与上述工件平行的方向扩散的方式向上述离型膜与成形品之间喷出而使上述成形品与上述离型膜分开的第5通气孔的鼓风单元设于上述工件的外侧。
12.根据权利要求11所记载的树脂模塑装置，其中，
一边对上述模塑模具进行开模，一边使空气自上述第5通气孔向上述离型膜与成形品之间的因对该离型膜施加张力而形成的间隙喷出。
13.根据权利要求11所记载的树脂模塑装置，其中，
在上述一模具上设有在开模时自模具夹持面向多余树脂突出而使多余树脂脱模的推销，一边利用该推销将上述多余树脂顶起，一边使空气自上述第5通气孔向上述多余树脂与模具夹持面之间的间隙喷出。
14.根据权利要求12所记载的树脂模塑装置，其中，
在上述一模具上设有在开模时自模具夹持面向多余树脂突出而使多余树脂脱模的推销，一边利用该推销将上述多余树脂顶起，一边使空气自上述第5通气孔向上述多余树脂与模具夹持面之间的间隙喷出。
15.根据权利要求11至14中任意一项所记载的树脂模塑装置，其中，
在上述另一模具的模具夹持面的周围、在多处位置设有第5通气孔，上述第5通气孔用于在不同的时间分别向成形品和与该成形品相连的多余树脂喷出空气。
16.一种树脂模塑装置，其是对利用模塑模具夹持的工件进行树脂模塑、在开模时树脂模塑后的成形品能自模塑模具脱模的树脂模塑装置，其特征在于，
上述模塑模具具有：
一模具，其用于保持上述工件；
另一模具，在其模具夹持面上形成有模腔凹部，利用离型膜覆盖包括该模腔凹部在内的模具夹持面，
在上述另一模具上设有多个第1通气孔和多个第2通气孔，该多个第1通气孔在以包围上述模腔凹部且与上述工件相面对的方式形成的周槽内开口，该多个第2通气孔用于抽吸空气而能够使上述离型膜吸附于上述模具夹持面或者用于喷出空气而能够使上述离型膜与上述模具夹持面分开，该多个第2通气孔在模具夹持面上开口，
上述一模具上突出设有膜支承构件，该膜支承构件在常规状态下被施力为向上述离型膜按压，
使上述离型膜的张力增大，自上述第1通气孔抽吸空气而使上述离型膜吸附于周槽内，在该状态下对上述模塑模具进行开模，开模动作开始后，使空气自上述第2通气孔喷出而一边利用上述膜支承销按压自上述另一模具的表面离型了的上述离型膜一边使该离型膜自上述另一模具的表面剥离。
17.根据权利要求16所记载的树脂模塑装置，其中，
上述模塑模具的开模动作开始后，自设于上述模腔凹部内和上述模腔凹部外的膜吸附面的多个第2通气孔喷出空气而使上述离型膜膨胀、自上述另一模具的表面剥离。
18.根据权利要求16或17所记载的树脂模塑装置，其中，
开模在上述膜支承构件与上述离型膜抵接的状态下进行，随着开模的进行，上述膜支承构件的突出量增加而对自上述另一模具的表面和上述成形品剥离下来的该离型膜进行支承。
19.根据权利要求16所记载的树脂模塑装置，其中，
在上述另一模具的模具夹持面上在多处位置设有第3通气孔，在开模时，上述第3通气孔与开模动作同步地向成形品和与该成形品相连的多余树脂喷出空气。
20.一种树脂模塑方法，其特征在于，
该树脂模塑方法具有：
将载置有工件的一模具和包括模腔凹部在内的模具夹持面被离型膜覆盖的另一模具合模，对成形品进行树脂模塑的工序；
上述树脂模塑后开始模塑模具的开模时，自上述另一模具的模具夹持面喷出空气而使上述离型膜与该模具夹持面分开的工序；
进一步进行上述模塑模具的开模，使空气自上述一模具的模具夹持面向上述离型膜与成形品之间喷出从而使上述离型膜与成形品分开的工序；
再进一步进行上述模塑模具的开模，自上述一模具使推销向多余树脂突出，并且使空气以朝向与上述工件平行的方向扩散的方式向该多余树脂与上述一模具的模具夹持面之间喷出，而使上述成形品自上述一模具的表面脱模的工序。
21.根据权利要求20所记载的树脂模塑方法，其中，
在使空气向上述成形品喷出的状态下，一边使推销将形成于中央嵌件的多余树脂顶起，一边进一步使空气向该推销抵接部喷出，从而使上述成形品脱模。
22.一种树脂模塑方法，其特征在于，
该树脂模塑方法具有：
将保持有工件的一模具和包括模腔凹部在内的模具夹持面被离型膜覆盖的另一模具合模，对成形品进行树脂模塑的工序；
在上述树脂模塑后，开始模塑模具的开模之前，使上述离型膜的张力增大的工序；
在进行上述模塑模具的开模之前，使上述离型膜吸附于以包围上述另一模具的上述模腔凹部的方式形成的周槽内，在该状态下进行开模的工序；
在使上述离型膜吸附于上述周槽内的状态下，自上述另一模具的模具夹持面喷出空气而使该离型膜膨胀、自该另一模具的表面剥离的工序；
进一步进行上述模塑模具的开模，自上述一模具的模具夹持面突出的支承构件以抵接于上述离型膜的状态支承自上述另一模具的表面剥离了的该离型膜的工序。
23.根据权利要求22所记载的树脂模塑方法，其中，
在进行上述模塑模具的开模之前，使上述离型膜吸附于上述另一模具的上述周槽和上述模腔凹部内，在该状态下进行开模。
24.根据权利要求22或23所记载的树脂模塑方法，其中，
一边进行上述模塑模具的开模，一边使空气自设于上述模腔凹部内和上述模腔凹部外的膜吸附面的多个第2通气孔喷出，使上述离型膜膨胀并自上述另一模具的模具夹持面剥离。
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