JP2004119816A - 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、該チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入する場合に、該チップ非装着面に樹脂ばりが発生することを効率良く防止することができる、電子部品の樹脂封止方法及び装置を提供する。
【解決手段】電子部品の樹脂封止成形装置において、基本的に、ニ枚型1・2と離型フィルム3と押圧均等機構5とを備えている。なお、ニ枚型1・2を用いて金型キャビティ14内に溶融樹脂16を注入する工程において、離型フィルム3を介して半導体チップ非装着面4に均等な圧力で押圧する。また、押圧均等機構5にて離型フィルム3を半導体チップ非装着面4に隙間なく且つ均等に被覆して密着することができるので、半導体チップ非装着面4と離型フィルム3との間に溶融樹脂16が浸入することを効率良く防止する。
【選択図】 図4
【解決手段】電子部品の樹脂封止成形装置において、基本的に、ニ枚型1・2と離型フィルム3と押圧均等機構5とを備えている。なお、ニ枚型1・2を用いて金型キャビティ14内に溶融樹脂16を注入する工程において、離型フィルム3を介して半導体チップ非装着面4に均等な圧力で押圧する。また、押圧均等機構5にて離型フィルム3を半導体チップ非装着面4に隙間なく且つ均等に被覆して密着することができるので、半導体チップ非装着面4と離型フィルム3との間に溶融樹脂16が浸入することを効率良く防止する。
【選択図】 図4
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品における半導体チップを装着したリードフレームを樹脂封止成形する電子部品の樹脂封止成形方法及び装置の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、固定上型と可動下型とから成る樹脂封止成形用金型(二枚型)を搭載した電子部品の樹脂封止成形装置を用いて、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入することが行われている。
【0003】
即ち、まず、半導体チップをワイヤで電気的に接続されたリードフレームを下型に設けたセット用凹所に半導体チップ装着面側を下方向に向けて供給セットすると共に、上型の金型面と半導体チップ非装着面との間に離型フィルムを供給して上型に設けたフィルム吸引孔より離型フィルムを吸引して上型の金型面に被覆させる。
次に、両型を型締めすると共に、下型に設けた一つの樹脂注入用金型キャビティ内に半導体チップを嵌装セットする。
次に、下型に設けた樹脂材料供給用のポット内で加熱溶融化された溶融樹脂を金型キャビティ内に注入して半導体チップを金型キャビティ内で成形される樹脂成形体内に樹脂封止することにより、樹脂成形体内の半導体チップ非装着面にリード部を装着した状態で成形する。
次に、加熱溶融化された溶融樹脂が硬化するのに必要な所要時間の経過後に、両型を型開きすることにより、樹脂成形体内に硬化樹脂が成形された樹脂封止済基板が得ることができると共に、上型の金型面に離型フィルムを吸引することを停止する。
つまり、従来の技術では、上型の金型面に離型フィルムを吸引した状態で、前記した半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入して半導体チップを金型キャビティ内で樹脂封止する(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−203227号公報(第5−6頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年におけるリードフレームの厚みの薄型化や、前記リードフレーム上にマトリクス状に配列された半導体チップの極小化による前記リードフレーム自体の大型化や、前記リードフレームに対応して離型フィルムの厚みも薄くなる傾向にあるので、離型フィルムを樹脂封止成形用金型に吸引することもあいまって、リードフレームの半導体チップ非装着面と離型フィルムとが完全に密着しない部分が発生すると推測される。
従って、半導体チップ非装着面と離型フィルムとの間に隙間が発生して、当該隙間に溶融樹脂が浸入することにより、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生すると云う問題が推測される。
【0006】
即ち、本発明は、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入する場合に、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生することを効率良く防止することができる、電子部品の樹脂封止成形方法及び装置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記技術的課題を解決するために本発明に電子部品の樹脂封止成形方法は、一方の型と他方の型とから成る樹脂封止成形用金型を搭載した電子部品の樹脂封止成形装置を用いて、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、前記した半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入して前記半導体チップを前記したキャビティ内で成形される樹脂成形体内に樹脂封止することにより、前記した樹脂成形体の半導体チップ非装着面にリード部を装着した状態で形成する電子部品の樹脂封止成形方法であって、前記金型キャビティ内に樹脂を注入する工程において、前記した離型フィルムを介して前記した半導体チップ非装着面に隙間なく且つ均等な圧力で押圧することを特徴とする。
【0008】
また、前記技術的課題を解決するために本発明に電子部品の樹脂封止成形装置は、一方の型と該一方の型に対向配置した他方の型とから成る樹脂封止成形用金型と、前記一方の型に設けられたリードフレームに装着した半導体チップを嵌装する樹脂成形用の金型キャビティと、前記他方の型の型面に離型フィルムを供給する離型フィルム供給機構とを含む電子部品の樹脂封止成形装置であって、前記した他方の型に前記した離型フィルムに対して均等な圧力で押圧する押圧均等機構を設けたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
即ち、基本的に、電子部品の樹脂封止成形装置において、ニ枚型(一方の型・他方の型)と離型フィルムと押圧均等機構とを備えたことを特徴とする。
なお、ニ枚型を用いて金型キャビティ内に樹脂を注入する工程において、離型フィルムを介して半導体チップ非装着面に均等な圧力で押圧する。
また、押圧均等機構にて離型フィルムを半導体チップ非装着面に隙間なく且つ均等に被覆して密着することができるので、半導体チップ非装着面と離型フィルムとの間に溶融樹脂が浸入することを効率良く防止することができる。
従って、半導体チップ非装着面における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0010】
【実施例】
以下、図1乃至図5に基づいて、説明する。
なお、図1乃至図5は、本発明に係る樹脂封止成形装置を示した図である。
【0011】
即ち、電子部品の樹脂封止成形装置において、図1に示すように、上型1(他方の型)と該上型1に対向配置した下型2(一方の型)とから成るニ枚型の樹脂封止成形用金型と、上型1の金型面(上型面6)に被覆する離型フィルム3を前両型1・2間に所定の張力で張架して供給する離型フィルム供給機構(図示しない)と、上型面6に被覆する離型フィルム3を吸引するフィルム吸引機構(図示しない)と、上型面6に離型フィルム3を介して半導体チップ非装着面4を隙間なく且つ均等な圧力にて押圧する押圧均等機構5とを少なくとも設けている。
【0012】
また、本実施例で用いるリードフレーム7は、図1に示すように、例えば、リードフレーム7上の所定個所にある複数個の半導体チップ8と、半導体チップ8装着側のリードフレーム7と半導体チップ8とを電気的に接続するワイヤ9と、半導体チップ8を装着しない半導体チップ非装着面4に装着されたリード部(図示しない)とで少なくとも構成されている。
なお、半導体チップ非装着面4は、リード部が突出せずに水平に構成されていると共に、リードフレーム7には、貫通された空隙部10が形成されている。
【0013】
従って、両型1・2を搭載した前記装置にてリードフレーム7の半導体チップ8・ワイヤ9に少なくとも樹脂を注入すると樹脂成形体11を形成すると共に、非装着面4には当該樹脂を浸入しないようにして、空隙部10にも樹脂を注入するように構成されている。
【0014】
また、上型1は、図1に示すように、例えば、離型フィルム3を所定の張力にて張架して被覆するように上型1を貫通したフィルム吸引孔12と、前記吸引孔12と連通して離型フィルム3を吸引する該フィルム吸引機構とから構成されている。
また、離型フィルム吸引機構は、離型フィルム3を垂直方向に上下往復動したり、水平方向に離型フィルム3を伸張したり撓ませたりできると共に、離型フィルム3が上型面6に完全に被覆するのであれば、フィルム吸引孔12から離型フィルム3を吸引せずに実施してもよい。
【0015】
また、上型1に備えた押圧均等機構5は、図1に示すように、例えば、フィルム吸引孔12との間にあり非装着面4に離型フィルム3を介して密着するように上型面6に設けた押圧均等部17と、前記押圧均等部17と連通した気体供給孔18と、前記気体供給孔18の経路を通して押圧均等部17における上型面6から、例えば、空気(圧縮空気)・窒素ガス・炭酸ガス等の気体を離型フィルム3に対して圧送する気体供給部19とを設けている。
また、押圧均等機構5の押圧均等部17は、上型1から着脱自在に取付け・取外しすることができると共に、押圧均等部17の材質として、例えば、ゴム・スポンジ・金属等の多孔質材料を使用している。
また、押圧均等機構5は、上型面6から気体供給孔18を通じて気体を圧送するだけでなく、前述のように、フィルム吸引機構の機能を併用して持たせることにより、フィルム吸引機構及びフィルム吸引孔12を排除することもできる。
【0016】
また、下型2は、図1に示すように、リードフレーム7が下型3における金型面の所定位置に半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態で供給セットできるセット用凹所13と、樹脂成形体11を嵌装セットする金型キャビティ14と、当該樹脂を金型キャビティ14に注入するように連通したトランスファー成形におけるゲート部15とを少なくとも設けている。
【0017】
また、両型1・2には、当該樹脂を加熱溶融化させる両型1・2に埋設された加熱ヒータ(図示しない)が設けている共に、両型1・2に当該樹脂を加熱溶融化させて溶融樹脂16としてゲート部15から金型キャビティ14内に注入するように構成されている。
なお、図示していないが、金型キャビティ14とゲート部15とはもう一つ設けていると共に、二枚のリードフレーム7の樹脂成形体11内に樹脂を注入するように構成されている。
【0018】
従って、両型1・2にてリードフレーム7の樹脂成形体11内に樹脂を注入する場合、まず、図1に示すように、両型1・2が完全に型開きした状態で、両型1・2間には、上型面6と下型2のセット用凹所13の直上部まで供給されたリードフレーム7の非装着面4との間に、所定の張力にて張架した離型フィルム3が水平状態で保持されている。
【0019】
次に、図2に示すように、半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態でリードフレーム7を供給セットする、つまりは、樹脂成形体11を金型キャビティ14に嵌装セットすると共に、離型フィルム3を上動させ伸張させて上型面6に被覆させる。
このとき、離型フィルム3を上型面6に被覆するのには、フィルム吸引機構を介してフィルム吸引孔12から吸引するか、或いは、押圧均等機構5の押圧均等部17から吸引するか、或いは、吸引しないで被覆しても適宜に実施できる。
【0020】
ここで、図示はしていないが、離型フィルム3は、前述の水平状態で上型面6に被覆する方法ではなく、撓んだ下方向の凸形状にして保持してもよい。
この場合、離型フィルム3を、まず、上型面6に被覆するのではなく、前述の半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態でリードフレーム7を供給セットされた非装着面4に凸形状で押圧均等部17から気体を圧送した状態で徐々に非装着面4に離型フィルム3を被覆してから両型1・2を型締めすることもできる。
【0021】
次に、図3に示すように、下型2が可動して離型フィルム3を挟んで上型1とが型締めを行うと共に、両型1・2を加熱ヒータにて当該樹脂を加熱溶融化して溶融樹脂16をゲート部15から注入する。
【0022】
次に、図4に示すように、溶融樹脂16がゲート部15を介して金型キャビティ14内に注入されてリードフレーム7における空隙部10にまで溶融樹脂16が注入完了直前に、押圧均等部17より離型フィルム3を介して気体を瞬間的に圧送することにより、離型フィルム3とリードフレーム7の非装着面4とを完全に密着させて隙間をなくして、溶融樹脂16が非装着面4に浸入することを効率良く防止する。
このとき、金型キャビティ14内に溶融樹脂16を注入する工程において、押圧均等機構5における押圧均等部17から気体を常時圧送することも可能であると共に、樹脂注入工程間で適宜に変更させて対応してもよい。
従って、半導体チップ非装着面4における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0023】
次に、図5に示すように、加熱溶融化された溶融樹脂16が硬化するのに必要な所要時間の経過後に、両型1・2を型開きすることにより、樹脂成形体11内に硬化樹脂20が成形された樹脂封止済基板21が得られると共に、金型キャビティ14内からゲート部15を有する封止済基板21が離型される。
このとき、離型フィルム3は、上型面6とリードフレーム7の非装着面4とに被覆しないように、離型フィルム供給機構にて下動させ撓ませてから伸張する。ここで、押圧均等機構5の押圧均等部17より気体を圧送して離型フィルム3を下方向に凸形状にして被覆しないようにすることも可能である。
【0024】
次に、図示はしていないが、使用済の離型フィルム3を両型1・2間から金型外部へ送り出されて使用前の離型フィルム3が供給されると共に、図5で示しているゲート部15を有する封止済基板21が次の工程へと搬送される。
【0025】
次に、図1に示すように、使用前の離型フィルム3が水平状態で所定の張力で張架されて、封止前のリードフレーム7が半導体チップ8側を下方向に向けた状態でセット用凹所13の直上部に供給される。
【0026】
即ち、押圧均等機構5にて離型フィルム3と半導体チップ非装着面4との間を隙間なく且つ均等な圧力で押圧して密着することができるので、半導体チップ非装着面4と離型フィルム3との間に溶融樹脂16が浸入することを効率良く防止することができる。
従って、半導体チップ非装着面4における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0027】
また、他の実施例として、図示はしていないが、半導体チップ8装着側を上方向に向けた状態で離型フィルム3を介して下型2に供給セットして上型1に設けた金型キャビティ14内に樹脂成形体11を嵌装セットして樹脂を注入してもよい。
このとき、本実施例での押圧均等機構5を下型2の金型面に設けて樹脂注入完了直前、又は、樹脂注入工程の間における適宜に、離型フィルム3に押圧均等部17から気体を圧送して、離型フィルム3と非装着面4との間の隙間をなくして密着することができるので、本実施例と同様、非装着面4に樹脂ばりを効率良く防止することができる。
【0028】
また、本実施例・他実施例として、図示はしていないが、リードフレーム7の非装着面4に樹脂注入完了直前、又は、樹脂注入工程の間における適宜に、押圧均等機構5の押圧均等部17から気体を圧送する場合、非装着面4の空隙部10に離型フィルム3を食い込んだ状態にして、溶融樹脂16を金型キャビティ14内に樹脂成形体11を嵌装セットして樹脂を注入してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3と非装着面4との間の隙間をなくして密着がいっそう増加する。
【0029】
なお、押圧均等機構5として、水・油等の流体を供給する押圧均等部17を設けて、本実施例・他実施例の装置に採用してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3を均等な圧力でいっそう押圧することができる。
【0030】
なお、本実施例・他実施例で使用した離型フィルム3として、リードフレーム7の非装着面4側に粘着層を有する離型フィルム3を使用してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3と非装着面4との間の密着がいっそう増加する。
【0031】
また、本発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更・選択して採用できるものである。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入する場合に、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生することを効率良く防止することができる、電子部品の樹脂封止方法及び装置を提供するという、優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係わる樹脂封止装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型開き状態を示す。
【図2】図2は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、リードフレームの供給と上型の金型面に離型フィルムを被覆した状態を示す。
【図3】図3は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型締めして樹脂を注入する状態を示す。
【図4】図4は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、樹脂を注入完了直前の状態を示す。
【図5】図5は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型開きして封止済基板を離型した状態を示す。
【符号の説明】
1 上型
2 下型
3 離型フィルム
4 非装着面
5 押圧均等機構
6 上型面
7 リードフレーム
8 半導体チップ
9 ワイヤ
10 空隙部
11 樹脂成形体
12 フィルム吸引孔
13 凹所
14 金型キャビティ
15 ゲート部
16 溶融樹脂
17 押圧均等部
18 気体供給孔
19 気体供給部
20 硬化樹脂
21 樹脂封止済基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品における半導体チップを装着したリードフレームを樹脂封止成形する電子部品の樹脂封止成形方法及び装置の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、固定上型と可動下型とから成る樹脂封止成形用金型(二枚型)を搭載した電子部品の樹脂封止成形装置を用いて、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入することが行われている。
【0003】
即ち、まず、半導体チップをワイヤで電気的に接続されたリードフレームを下型に設けたセット用凹所に半導体チップ装着面側を下方向に向けて供給セットすると共に、上型の金型面と半導体チップ非装着面との間に離型フィルムを供給して上型に設けたフィルム吸引孔より離型フィルムを吸引して上型の金型面に被覆させる。
次に、両型を型締めすると共に、下型に設けた一つの樹脂注入用金型キャビティ内に半導体チップを嵌装セットする。
次に、下型に設けた樹脂材料供給用のポット内で加熱溶融化された溶融樹脂を金型キャビティ内に注入して半導体チップを金型キャビティ内で成形される樹脂成形体内に樹脂封止することにより、樹脂成形体内の半導体チップ非装着面にリード部を装着した状態で成形する。
次に、加熱溶融化された溶融樹脂が硬化するのに必要な所要時間の経過後に、両型を型開きすることにより、樹脂成形体内に硬化樹脂が成形された樹脂封止済基板が得ることができると共に、上型の金型面に離型フィルムを吸引することを停止する。
つまり、従来の技術では、上型の金型面に離型フィルムを吸引した状態で、前記した半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入して半導体チップを金型キャビティ内で樹脂封止する(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−203227号公報(第5−6頁、第1図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年におけるリードフレームの厚みの薄型化や、前記リードフレーム上にマトリクス状に配列された半導体チップの極小化による前記リードフレーム自体の大型化や、前記リードフレームに対応して離型フィルムの厚みも薄くなる傾向にあるので、離型フィルムを樹脂封止成形用金型に吸引することもあいまって、リードフレームの半導体チップ非装着面と離型フィルムとが完全に密着しない部分が発生すると推測される。
従って、半導体チップ非装着面と離型フィルムとの間に隙間が発生して、当該隙間に溶融樹脂が浸入することにより、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生すると云う問題が推測される。
【0006】
即ち、本発明は、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入する場合に、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生することを効率良く防止することができる、電子部品の樹脂封止成形方法及び装置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記技術的課題を解決するために本発明に電子部品の樹脂封止成形方法は、一方の型と他方の型とから成る樹脂封止成形用金型を搭載した電子部品の樹脂封止成形装置を用いて、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、前記した半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入して前記半導体チップを前記したキャビティ内で成形される樹脂成形体内に樹脂封止することにより、前記した樹脂成形体の半導体チップ非装着面にリード部を装着した状態で形成する電子部品の樹脂封止成形方法であって、前記金型キャビティ内に樹脂を注入する工程において、前記した離型フィルムを介して前記した半導体チップ非装着面に隙間なく且つ均等な圧力で押圧することを特徴とする。
【0008】
また、前記技術的課題を解決するために本発明に電子部品の樹脂封止成形装置は、一方の型と該一方の型に対向配置した他方の型とから成る樹脂封止成形用金型と、前記一方の型に設けられたリードフレームに装着した半導体チップを嵌装する樹脂成形用の金型キャビティと、前記他方の型の型面に離型フィルムを供給する離型フィルム供給機構とを含む電子部品の樹脂封止成形装置であって、前記した他方の型に前記した離型フィルムに対して均等な圧力で押圧する押圧均等機構を設けたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
即ち、基本的に、電子部品の樹脂封止成形装置において、ニ枚型(一方の型・他方の型)と離型フィルムと押圧均等機構とを備えたことを特徴とする。
なお、ニ枚型を用いて金型キャビティ内に樹脂を注入する工程において、離型フィルムを介して半導体チップ非装着面に均等な圧力で押圧する。
また、押圧均等機構にて離型フィルムを半導体チップ非装着面に隙間なく且つ均等に被覆して密着することができるので、半導体チップ非装着面と離型フィルムとの間に溶融樹脂が浸入することを効率良く防止することができる。
従って、半導体チップ非装着面における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0010】
【実施例】
以下、図1乃至図5に基づいて、説明する。
なお、図1乃至図5は、本発明に係る樹脂封止成形装置を示した図である。
【0011】
即ち、電子部品の樹脂封止成形装置において、図1に示すように、上型1(他方の型)と該上型1に対向配置した下型2(一方の型)とから成るニ枚型の樹脂封止成形用金型と、上型1の金型面(上型面6)に被覆する離型フィルム3を前両型1・2間に所定の張力で張架して供給する離型フィルム供給機構(図示しない)と、上型面6に被覆する離型フィルム3を吸引するフィルム吸引機構(図示しない)と、上型面6に離型フィルム3を介して半導体チップ非装着面4を隙間なく且つ均等な圧力にて押圧する押圧均等機構5とを少なくとも設けている。
【0012】
また、本実施例で用いるリードフレーム7は、図1に示すように、例えば、リードフレーム7上の所定個所にある複数個の半導体チップ8と、半導体チップ8装着側のリードフレーム7と半導体チップ8とを電気的に接続するワイヤ9と、半導体チップ8を装着しない半導体チップ非装着面4に装着されたリード部(図示しない)とで少なくとも構成されている。
なお、半導体チップ非装着面4は、リード部が突出せずに水平に構成されていると共に、リードフレーム7には、貫通された空隙部10が形成されている。
【0013】
従って、両型1・2を搭載した前記装置にてリードフレーム7の半導体チップ8・ワイヤ9に少なくとも樹脂を注入すると樹脂成形体11を形成すると共に、非装着面4には当該樹脂を浸入しないようにして、空隙部10にも樹脂を注入するように構成されている。
【0014】
また、上型1は、図1に示すように、例えば、離型フィルム3を所定の張力にて張架して被覆するように上型1を貫通したフィルム吸引孔12と、前記吸引孔12と連通して離型フィルム3を吸引する該フィルム吸引機構とから構成されている。
また、離型フィルム吸引機構は、離型フィルム3を垂直方向に上下往復動したり、水平方向に離型フィルム3を伸張したり撓ませたりできると共に、離型フィルム3が上型面6に完全に被覆するのであれば、フィルム吸引孔12から離型フィルム3を吸引せずに実施してもよい。
【0015】
また、上型1に備えた押圧均等機構5は、図1に示すように、例えば、フィルム吸引孔12との間にあり非装着面4に離型フィルム3を介して密着するように上型面6に設けた押圧均等部17と、前記押圧均等部17と連通した気体供給孔18と、前記気体供給孔18の経路を通して押圧均等部17における上型面6から、例えば、空気(圧縮空気)・窒素ガス・炭酸ガス等の気体を離型フィルム3に対して圧送する気体供給部19とを設けている。
また、押圧均等機構5の押圧均等部17は、上型1から着脱自在に取付け・取外しすることができると共に、押圧均等部17の材質として、例えば、ゴム・スポンジ・金属等の多孔質材料を使用している。
また、押圧均等機構5は、上型面6から気体供給孔18を通じて気体を圧送するだけでなく、前述のように、フィルム吸引機構の機能を併用して持たせることにより、フィルム吸引機構及びフィルム吸引孔12を排除することもできる。
【0016】
また、下型2は、図1に示すように、リードフレーム7が下型3における金型面の所定位置に半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態で供給セットできるセット用凹所13と、樹脂成形体11を嵌装セットする金型キャビティ14と、当該樹脂を金型キャビティ14に注入するように連通したトランスファー成形におけるゲート部15とを少なくとも設けている。
【0017】
また、両型1・2には、当該樹脂を加熱溶融化させる両型1・2に埋設された加熱ヒータ(図示しない)が設けている共に、両型1・2に当該樹脂を加熱溶融化させて溶融樹脂16としてゲート部15から金型キャビティ14内に注入するように構成されている。
なお、図示していないが、金型キャビティ14とゲート部15とはもう一つ設けていると共に、二枚のリードフレーム7の樹脂成形体11内に樹脂を注入するように構成されている。
【0018】
従って、両型1・2にてリードフレーム7の樹脂成形体11内に樹脂を注入する場合、まず、図1に示すように、両型1・2が完全に型開きした状態で、両型1・2間には、上型面6と下型2のセット用凹所13の直上部まで供給されたリードフレーム7の非装着面4との間に、所定の張力にて張架した離型フィルム3が水平状態で保持されている。
【0019】
次に、図2に示すように、半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態でリードフレーム7を供給セットする、つまりは、樹脂成形体11を金型キャビティ14に嵌装セットすると共に、離型フィルム3を上動させ伸張させて上型面6に被覆させる。
このとき、離型フィルム3を上型面6に被覆するのには、フィルム吸引機構を介してフィルム吸引孔12から吸引するか、或いは、押圧均等機構5の押圧均等部17から吸引するか、或いは、吸引しないで被覆しても適宜に実施できる。
【0020】
ここで、図示はしていないが、離型フィルム3は、前述の水平状態で上型面6に被覆する方法ではなく、撓んだ下方向の凸形状にして保持してもよい。
この場合、離型フィルム3を、まず、上型面6に被覆するのではなく、前述の半導体チップ8装着側を下方向に向けた状態でリードフレーム7を供給セットされた非装着面4に凸形状で押圧均等部17から気体を圧送した状態で徐々に非装着面4に離型フィルム3を被覆してから両型1・2を型締めすることもできる。
【0021】
次に、図3に示すように、下型2が可動して離型フィルム3を挟んで上型1とが型締めを行うと共に、両型1・2を加熱ヒータにて当該樹脂を加熱溶融化して溶融樹脂16をゲート部15から注入する。
【0022】
次に、図4に示すように、溶融樹脂16がゲート部15を介して金型キャビティ14内に注入されてリードフレーム7における空隙部10にまで溶融樹脂16が注入完了直前に、押圧均等部17より離型フィルム3を介して気体を瞬間的に圧送することにより、離型フィルム3とリードフレーム7の非装着面4とを完全に密着させて隙間をなくして、溶融樹脂16が非装着面4に浸入することを効率良く防止する。
このとき、金型キャビティ14内に溶融樹脂16を注入する工程において、押圧均等機構5における押圧均等部17から気体を常時圧送することも可能であると共に、樹脂注入工程間で適宜に変更させて対応してもよい。
従って、半導体チップ非装着面4における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0023】
次に、図5に示すように、加熱溶融化された溶融樹脂16が硬化するのに必要な所要時間の経過後に、両型1・2を型開きすることにより、樹脂成形体11内に硬化樹脂20が成形された樹脂封止済基板21が得られると共に、金型キャビティ14内からゲート部15を有する封止済基板21が離型される。
このとき、離型フィルム3は、上型面6とリードフレーム7の非装着面4とに被覆しないように、離型フィルム供給機構にて下動させ撓ませてから伸張する。ここで、押圧均等機構5の押圧均等部17より気体を圧送して離型フィルム3を下方向に凸形状にして被覆しないようにすることも可能である。
【0024】
次に、図示はしていないが、使用済の離型フィルム3を両型1・2間から金型外部へ送り出されて使用前の離型フィルム3が供給されると共に、図5で示しているゲート部15を有する封止済基板21が次の工程へと搬送される。
【0025】
次に、図1に示すように、使用前の離型フィルム3が水平状態で所定の張力で張架されて、封止前のリードフレーム7が半導体チップ8側を下方向に向けた状態でセット用凹所13の直上部に供給される。
【0026】
即ち、押圧均等機構5にて離型フィルム3と半導体チップ非装着面4との間を隙間なく且つ均等な圧力で押圧して密着することができるので、半導体チップ非装着面4と離型フィルム3との間に溶融樹脂16が浸入することを効率良く防止することができる。
従って、半導体チップ非装着面4における樹脂ばりの発生を効率良く防止することができる。
【0027】
また、他の実施例として、図示はしていないが、半導体チップ8装着側を上方向に向けた状態で離型フィルム3を介して下型2に供給セットして上型1に設けた金型キャビティ14内に樹脂成形体11を嵌装セットして樹脂を注入してもよい。
このとき、本実施例での押圧均等機構5を下型2の金型面に設けて樹脂注入完了直前、又は、樹脂注入工程の間における適宜に、離型フィルム3に押圧均等部17から気体を圧送して、離型フィルム3と非装着面4との間の隙間をなくして密着することができるので、本実施例と同様、非装着面4に樹脂ばりを効率良く防止することができる。
【0028】
また、本実施例・他実施例として、図示はしていないが、リードフレーム7の非装着面4に樹脂注入完了直前、又は、樹脂注入工程の間における適宜に、押圧均等機構5の押圧均等部17から気体を圧送する場合、非装着面4の空隙部10に離型フィルム3を食い込んだ状態にして、溶融樹脂16を金型キャビティ14内に樹脂成形体11を嵌装セットして樹脂を注入してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3と非装着面4との間の隙間をなくして密着がいっそう増加する。
【0029】
なお、押圧均等機構5として、水・油等の流体を供給する押圧均等部17を設けて、本実施例・他実施例の装置に採用してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3を均等な圧力でいっそう押圧することができる。
【0030】
なお、本実施例・他実施例で使用した離型フィルム3として、リードフレーム7の非装着面4側に粘着層を有する離型フィルム3を使用してもよい。
この場合には、本実施例・他実施例と同様、離型フィルム3と非装着面4との間の密着がいっそう増加する。
【0031】
また、本発明は、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更・選択して採用できるものである。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入する場合に、半導体チップ非装着面に樹脂ばりが発生することを効率良く防止することができる、電子部品の樹脂封止方法及び装置を提供するという、優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係わる樹脂封止装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型開き状態を示す。
【図2】図2は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、リードフレームの供給と上型の金型面に離型フィルムを被覆した状態を示す。
【図3】図3は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型締めして樹脂を注入する状態を示す。
【図4】図4は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、樹脂を注入完了直前の状態を示す。
【図5】図5は、図1に対応する前記装置を概略的に示す概略拡大縦断面図であって、型開きして封止済基板を離型した状態を示す。
【符号の説明】
1 上型
2 下型
3 離型フィルム
4 非装着面
5 押圧均等機構
6 上型面
7 リードフレーム
8 半導体チップ
9 ワイヤ
10 空隙部
11 樹脂成形体
12 フィルム吸引孔
13 凹所
14 金型キャビティ
15 ゲート部
16 溶融樹脂
17 押圧均等部
18 気体供給孔
19 気体供給部
20 硬化樹脂
21 樹脂封止済基板
Claims (2)
- 一方の型と他方の型とから成る樹脂封止成形用金型を搭載した電子部品の樹脂封止成形装置を用いて、半導体チップを装着したリードフレームの半導体チップ非装着面に離型フィルムを被覆した状態で、前記した半導体チップを嵌装した金型キャビティ内に樹脂を注入して前記半導体チップを前記したキャビティ内で成形される樹脂成形体内に樹脂封止することにより、前記した樹脂成形体の半導体チップ非装着面にリード部を装着した状態で形成する電子部品の樹脂封止成形方法であって、
前記金型キャビティ内に樹脂を注入する工程において、前記した離型フィルムを介して前記した半導体チップ非装着面に均等な圧力で押圧することを特徴とする電子部品の樹脂封止成形方法。 - 一方の型と該一方の型に対向配置した他方の型とから成る樹脂封止成形用金型と、前記一方の型に設けられたリードフレームに装着した半導体チップを嵌装する樹脂成形用の金型キャビティと、前記他方の型の型面に離型フィルムを供給する離型フィルム供給機構とを含む電子部品の樹脂封止成形装置であって、前記した他方の型に前記した離型フィルムに対して均等な圧力で押圧する押圧均等機構を設けたことを特徴とする電子部品の樹脂封止成形装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002283213A JP2004119816A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2002283213A JP2004119816A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
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ID=32277138
Family Applications (1)
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JP2002283213A Pending JP2004119816A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
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JP (1) | JP2004119816A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7439101B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-10-21 | Towa Corporation | Resin encapsulation molding method for semiconductor device |
CN113276359A (zh) * | 2020-02-19 | 2021-08-20 | 长鑫存储技术有限公司 | 注塑模具及注塑方法 |
-
2002
- 2002-09-27 JP JP2002283213A patent/JP2004119816A/ja active Pending
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