CN103348297A - 有轨台车系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及有轨台车系统，其抑制通过分支点以及汇合点的台车的不必要的速度降低和行驶停止。有轨台车系统具备：在包含分支点以及汇合点的规定区域内具有引导线（600）的轨道（100）、和被轨道支承并引导而行驶的多个台车（200）。多个台车分别具有：能够分别发出频率相互不同的多个信号的发信部（910，920）；将从发信部发出的多个信号分别向引导线发送的发送部（810，820）；能够分别接收经由引导线传递来的多个信号的接收部（710，720）；基于在接收部接收到的信号的种类，判断台车的减速或停止、或者行驶的继续进行的判断部（955）；以及根据判断部中的判断结果来控制台车的行驶的控制部（960）。

Description

有轨台车系统
技术领域
本发明涉及将例如收容半导体装置制造用的各种基板等的容器等被搬运物沿轨道搬运的有轨台车系统的技术领域。
背景技术
作为这种有轨台车系统，例如公知有通过在敷设于屋顶的轨道上行驶来搬运FOUP（Front Opening Unified Pod：晶圆传送盒）等被搬运物的悬垂型台车（所谓OHT：Overhead Hoist Transport：高架提升传输）。
在这种有轨台车系统中，有时以在轨道的分支点、汇合点处台车彼此不会相互碰撞的方式，设置防碰撞系统。例如在专利文献1～3中，公开有通过台车彼此经由设置在分支点以及汇合点附近的引导线进行通信，而相互识别并防止碰撞这样的技术。
专利文献1:日本专利第3985320号公报
专利文献2:日本特开2007－226835号公报
专利文献3:日本专利第4241306号公报
然而，在上述的专利文献1～3所涉及的技术中，各台车为发送以及接收单一频率的信号的构成。由此，在分支点以及汇合点连续的位置，要从一个引导线区域进到下一引导线区域时，预备在下一引导线区域接收信号的情况下（即，先行的其他台车在下一引导线区域内正在行驶的情况下），要求充分减速地进入。由此，各台车在分支点以及汇合点连续的位置，按必要以上进行速度降低和行驶停止。若执行这样的速度降低和行驶停止，则无法执行台车的高效行驶，所以作为结果系统的搬运效率会降低。
发明内容
本发明是例如鉴于上述的问题点而提出的，其以提供能够抑制通过分支点以及汇合点的台车的不必要的速度降低或行驶停止的有轨台车系统作为课题。
以下，作为用于解决课题的方法说明多个方式。这些方式能够根据需要而任意组合。
本发明的一个角度的有轨台车系统是具备在包含分支点以及汇合点的规定区域内具有引导线的轨道、和被轨道支承并引导而行驶的多个台车的有轨台车系统。多个台车分别具有发信部、发送部、接收部、判断部、和控制部。发信部能够分别发出频率相互不同的多个信号。部发送部能够将从发信部发出的多个信号分别向引导线发送。接收部能够分别接收经由引导线传递来的多个信号。判断部基于在接收部中接收到的信号的种类，判断台车的减速或停止、或者行驶的继续进行。控制部根据判断部中的判断结果，控制台车的行驶。
该有轨台车系统具备：例如敷设在屋顶、屋顶附近或者地上等的轨道、和被轨道支承并引导而行驶的台车。台车在轨道上配置有多个，并且例如构成为具备在轨道上行驶的行驶部、和安装在该行驶部并积载FOUP和中间掩模等被搬运物的主体部。在本发明的有轨台车系统动作时，通过台车沿轨道行驶，实现台车所积载的被搬运物的搬运。
轨道尤其是具备多个分支点以及汇合点。而且，在包含分支点以及汇合点的规定区域内设置有能够传递各种信号的引导线。此外，在此的“规定区域”是指要通过分支点以及汇合点的台车为了防止与其他台车的碰撞而应识别其他台车的存在的区域，以与分支点以及汇合点分别对应的方式设置有多个。
另一方面，本发明所涉及的台车具备：能够分别发出频率相互不同的多个信号的发信单元；将从发信单元发出的多个信号向引导线分别发送的发送单元；以及能够分别接收经由引导线传递来的多个信号的接收单元。由此各台车能够将在发信部发出的信号通过发送部向引导线发送，能够使其他台车的接收部接收经由引导线传递来的信号。即各台车在设有引导线的规定区域内，在台车彼此间进行经由引导线的通信。另外本发明中尤其是发信部能够发出频率相互不同的多个信号，所以在一个引导线中能够传递多个信息（即，与信号的数量相应的信息）。
台车还具备：基于在接收单元中接收到的信号的种类，判断台车的减速或停止、或者行驶的继续进行的判断部；以及根据判断部中的判断结果，控制台车的行驶的控制部。判断部基于接收到的信号，识别例如其他台车的行驶位置、行驶状况以及台车的种类（例如，特急用台车或通常行驶台车等）等，使用识别出的信息决定台车应实现的行驶控制。然后，根据判断部中的判断结果，进行基于控制部的台车的行驶控制。由此，防止分支点以及汇合点处的台车彼此的碰撞且实现高效的行驶。
在此假设各台车仅能发出一个信号（即，单一频率的信号），则在分支点以及汇合点连续的位置，分别识别各分支点以及汇合点的状况会变得困难。例如，在通过一个汇合点时，无法识别存在于该汇合点之后的其他汇合点中的其他台车的存在。因此，在从一个汇合点侵入到其他汇合点时，为防备先行的其他台车存在的情况，要求充分减速地进入。由此，各台车在分支点以及汇合点连续的位置，进行必要以上的速度降低或行驶停止。
然而本发明中尤其是，如上述那样，各台车能够发出频率相互不同的多个信号。由此，即使在分支点以及汇合点连续的位置上，通过分别发送以及接收与各分支点以及汇合点对应的信号，而能够识别多个分支点以及汇合点处的其他台车的行驶状况。具体地说，在通过一个汇合点时，能够识别下一汇合点的状况。由此，能够抑制通过分支点以及汇合点的台车的不必要的速度降低或行驶停止。
在本发明的有轨台车系统的一方式中，发信部在台车通过分支点以及汇合点时，发出分别对应于分支点以及汇合点而被决定为固有的种类的信号。
根据该方式，应分别对应于分支点以及汇合点而发送的信号的种类作为固有的数据而预定。由此，各台车从能够发送的多个信号中选择与通过的分支点以及汇合点相应的信号进行发送。更具体地说，各台车例如具有轨道的地图信息（即，表示分支点以及汇合点的位置的信息），基于该台车的行驶位置和地图信息，选择发送的信号。
在这样的构成中，后续台车能够可靠地识别先行台车在哪个分支点或者汇合点处正在行驶。即，能够容易且准确地识别先行台车的行驶位置。由此，后续台车直到先行台车到行驶中的分支点以及汇合点之前，进行行驶而不进行减速或停止。
在本发明的搬运车的其他方式中，接收部设置在台车的前端侧，发送部设置在台车的后端侧。
根据该方式，由于接收部设置在台车的前端侧，所以若台车进到设有引导线的规定区域内，则立即成为进行信号接收的状态。由此，能够极其迅速地识别在规定区域内行驶中的其他台车的存在。
另外在本方式中，由于发送部设置在台车的后端侧，所以台车能够从规定区域内到几乎完全退出为止发送信号。由此，针对在规定区域内行驶中的其他台车，能够可靠地识别在规定区域内存在该台车。
此外，为了充分得到上述的效果，接收部设置在尽量靠近前端的位置即可，发送部设置在尽量靠近后端的位置即可。其中，接收部只要设置在比发送部靠前端侧，就相应地得到本方式的效果。
在上述的接收部设置在台车的前端侧、发送部设置在台车的后端侧的方式下，引导线沿着轨道的右侧的边缘以及左侧的边缘的至少一方设置，接收部包括设置在台车的右前端侧的第一接收部以及设置在台车的左前端侧的第二接收部，发送部包括设置在台车的右后端侧的第一发送部以及设置在台车的左后端侧的第二发送部。
根据该方式，各台车中设置有：设置在右前端侧的第一接收部以及设置在左前端侧的第二接收部、以及设置在右后端侧的第一发送部以及设置在左后端侧的第二发送部。由此，能够对沿着轨道的右侧以及左侧的边缘的至少一方设置的各引导线适当地发送信号，并且能够适当地接收经由信号线传递的信号。即，针对沿着轨道的右侧边缘设置的引导线使用第一接收部以及第一发送部，针对沿着轨道的左侧边缘设置的引导线使用第二接收部以及第二发送部。
根据上述的构成，能够对多个引导线适当地发送信号，并且能够从多个引导线适当地接收信号。由此，能够分别适当地识别在多个分支点以及汇合点上行驶的其他台车的行驶状况。
在本发明的搬运车的其他方式中，发信部能够发出作为多个信号之一的紧急停止信号，在接收部接收到紧急停止信号的情况下，判断部判断为使台车紧急停止，在判断为使台车紧急停止的情况下，控制部以使台车紧急停止的方式进行控制。
根据该方式，从发信部发出作为多个信号之一的紧急停止信号。从一个台车发出的紧急停止信号通过发送部向引导线发送，被其他台车的接收部接收。在接收到紧急停止信号的台车中，以进行紧急停止的方式控制行驶。
如果使用紧急停止信号，则在相同的引导线区域内存在其他台车的情况下、或者存在要进入的其他台车的情况下，能够使这些其他台车全部紧急停止。由此，能够更适当地防止台车彼此的干扰、碰撞。
本发明的作用以及其他优点根据用于实施下面说明的发明的方式能够变得清楚。
附图说明
图1是表示有轨台车系统的整体构成的俯视图。
图2是表示台车的构成的侧视图。
图3是表示台车的转装动作的立体图。
图4是表示台车的横转装动作的立体图。
图5是表示轨道中的引导线的配置位置的剖视图。
图6是表示用于实现台车以及引导线间的通信的构成的俯视图。
图7是表示台车中的通信电路的构成的框图。
图8是表示实施例1所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
图9是表示比较例1所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
图10是表示实施例2所涉及引导线的构成以及台车的动作的示意图。
图11是表示比较例2所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
图12是表示实施例3所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
图13是表示比较例3所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
具体实施方式
（1）整体构成
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。
首先，参照图1来说明本实施方式所涉及的有轨台车系统的整体构成。在此图1是表示实施方式所涉及的有轨台车系统的整体构成的俯视图。
在图1中，本实施方式所涉及的有轨台车系统构成为具备轨道100、多个台车200和控制器300。
轨道100例如敷设在屋顶，由铝、不锈钢等金属构成。本实施方式所涉及的轨道100特别是构成为具有多个汇合点和分支点。另外，在此虽省略图示，但在轨道100上设置有引导线。
台车200在轨道100上配置有多个，通过沿轨道100行驶，而能够搬运作为被搬运物的FOUP。
另外台车200分别具有车内控制器205。车内控制器205从控制器300接收搬运指令，控制台车200的行驶。此外，车内控制器205不仅控制台车200的行驶，还具有全面控制台车200所具备的各设备的功能。
台车200中还设置有未图示的前方监视传感器。该前方监视传感器扫描台车200前方，以光学方式检测出处于规定的检测范围内（具体地说，规定距离内以及规定宽度内）的障碍物（其他台车、或者位于行驶路线内的人或物）。此外，规定距离是指在检测到障碍物时，台车200能够可靠地停止的长度方向（即，轨道的延伸方向）上的距离的意思。另外规定宽度是指比台车200的宽度稍宽（例如，数cm左右）的宽度的意思。检测范围是将必须位于台车200的行驶路线的附近的FOUP的暂时保管搁板或者各种的构造物以不检测为障碍物的方式设定。
前方监视传感器如果检测到障碍物，则将检测信号向上述的车内控制器205发送。接收到检测信号的车内控制器205以使台车200减速或停止的方式进行控制。
控制器300例如构成为包含计算电路、存储器等，并构成为能够经由车内控制器205向台车200给予搬运指令。
此外，虽在此省略图示，但沿轨道100的位置上设置有暂时保管FOUP的搁板（例如，缓冲区、埠等）以及半导体制造装置。
（2）台车的详细构成
接下来，参照图2来说明台车200的更具体的构成。在此图2是表示台车的构成的侧视图。此外，图2中为了便于说明，省略用于与引导线进行通信的构件来进行图示。
在图2中，台车200构成为具备行驶部210、主体部220、移动部230、升降部235、升降带240以及把持部250。
台车200利用行驶部210被例如线性马达等给予推进力，而使行驶滚子215转动，并且沿轨道100进行行驶。在行驶部210的下表面以悬垂的形式安装有主体部220。
主体部220中安装有移动部230。移动部230能够沿轨道100的侧方（即，图中的左右方向）移动。在移动部230的下表面安装有升降部235。
在升降部235的下表面通过升降带240安装有把持FOUP的把持部250。把持部250通过将升降带240放卷或卷绕，而相对于主体部220能够升降。
接下来，参照图3以及图4来说明基于台车的FOUP的转装方法。在此图3以及图4分别是表示实施方式所涉及的台车的FOUP的转装方法的立体图。
在图3中，台车200在将位于轨道100正下方的埠（port）510上的FOUP400转装时，首先台车200在轨道100上行驶，并停止在设置在埠510上的FOUP400的上方。然后，进行把持部250和FOUP400的位置的微调。
接着，如图所示，通过升降部235将升降带24放卷，从而把持部250下降到FOUP400的位置。下降的把持部250把持FOUP400。
当把持FOUP400后，卷绕升降带240，把持部250以及被把持的FOUP400上升到主体部220的位置。然后，台车200再次在轨道100上行驶，从而搬运FOUP400。
在图4中，在FOUP400设置在处于向轨道100的侧方偏的位置的侧缓冲区520的情况下，移动部230移动到轨道100的侧方后，通过升降部235将升降带240放卷，从而把持部250下降到FOUP400的位置。通过这样动作，而能够从轨道部100进行FOUP400的横转装。
（3）引导线以及实现经由引导线的通信的台车的构成
接下来，参照图5～图7说明本实施方式特有的引导线以及实现经由引导线的通信的台车的构成。在此图5是表示轨道中引导线的配置位置的剖视图，图6是表示用于实现台车以及引导线间的通信的构成的俯视图。而且图7是表示台车中的通信电路的构成的框图。
在图5中，在本实施方式所涉及的轨道100中的包含分支点、汇合点的规定区域设置有引导线600。引导线600例如构成为环状的导电线，并设置在轨道100的下表面侧（即，与台车对置的面侧）。此外，在图5中，以分别沿轨道100中的右侧边缘以及左侧边缘的方式设置有引导线600，但也存在仅设置沿一方边缘的引导线的部分。
在图6中，在台车200中以与设置在轨道100的右侧的引导线600对应的方式，设有第一接收线圈710以及第一发送线圈810。第一接收线圈710接收经由引导线600传递的信号。另一方面，第一发送线圈810向引导线发送信号。第一接收线圈710设置在比第一发送线圈810靠近台车200的前端侧。
台车200中还以与设置在轨道100的左侧的引导线600对应的方式，设置有第二接收线圈720以及第二发送线圈820。第二接收线圈720接收经由引导线600传递的信号。另一方面，第二发送线圈820向引导线发送信号。第二接收线圈720设置在比第二发送线圈820靠近台车200的前端侧。
此外，上述的第一接收线圈710以及第二接收线圈720分别是本发明的“接收部”的一个例子。另外，第一发送线圈810以及第二发送线圈820分别是本发明的“发送部”的一个例子。
在图7中，台车200中设有通信电路900。通信电路900构成为具备第一发信电路910、第一发送部915、第二发信电路920、第二发送部925、第一接收电路930、第一接收部935、第二接收电路940以及第二接收部945。
第一发信电路910以及第二发信电路920分别是本发明的“发信部”的一个例子，并构成为通过切换设置于第一发送部915以及第二发送部925之间的开关，而能够发出频率相互不同的4个信号F1～F4。发出的信号通过第一发送线圈810以及第二发送线圈820而分别发送到引导线600。
第一接收电路930以及第二接收电路940的各个构成为分别经由第一接收部935以及第二接收部945能够接收被第一接收线圈710以及第二接收线圈720接收到的信号。此外，第一接收电路930以及第二接收电路940与上述的第一发信电路910以及第二发信电路920不同，即使不进行开关的切换，也能够将4个信号F1～F4分别同时接收。
在轨道100上行驶的各台车通过信号F1～F4的发送以及接收而能够识别设置有引导线600的区域内的其他台车200的存在。例如，一个台车200通过接收其他台车200所发送的信号，来识别其他台车200的行驶位置、行驶状况等。台车200例如具有与分支点以及汇合点对应的地图信息等，从能够发出的4个信号F1～F4中，选择相对于各分支点以及汇合点决定为固有的一个信号进行发送。
此外，各频率的信号以随机或各台车200固有的脉冲列进行输出，在来自台车200的发送信号和接收到的接收信号的脉冲列一致的情况下，判断为接收信号是从台车200发送来的信号。另一方面，即使发送信号与接收信号的频率是相同的，在脉冲列不同的情况下也判断为是从其他车发送来的信号。本实施方式所涉及的台车200能够收发4个信号，但也可以构成为能够收发更多信号。在该情况下，通信电路900等的构成虽会稍微复杂化，但能够传递更多的信息。更具体地说，在汇合点以及分支点中，能够使引导线600彼此连接更多，能够实现更细致的引导线控制。
通信电路900与车内控制器205（参照图1）电连接，构成为能够接收从车内控制器205发送的各种控制信号、并能够向车内控制器205发送4个信号F1～F4的发送结果以及接收结果。
车内控制器205具备：存储部950、作为本发明的“判断部”的一个例子的引导线控制部955、以及作为本发明的“控制部”的一个例子的行驶控制部960。
存储部950将与台车200行驶的轨道100相关的数据例如作为地图数据进行存储。存储部950例如存储分支点以及汇合点的位置、限制速度等。而且存储部950对于利用了引导线100的控制，存储根据分支点以及汇合点处的台车100的行进方向，应将哪个信号向引导线100发出、如果从引导线100接收到哪个信号就应减速或者停止之类的信息。
引导线控制部955基于信号F1～F4的接收结果，判断应怎样控制台车200。具体地说，引导线控制部955根据存储部950所存储的信息，判断在哪个分支点以及汇合点将哪个信号向引导线100发出、如果接收到哪个信号就减速或者停止、或如果接收到哪个信号就继续进行行驶，并将判断结果发送到行驶控制部960。此外，在哪个信号都没有接收到的情况（台车200发出的信号也没有接收到的情况）下，判断为引导线100断线，产生断线信号并发送到行驶控制部960。行驶控制部960根据引导线控制部955中的判断结果，控制台车200的行驶。
（4）分支点以及汇合点处的引导线的具体的配置位置以及台车的动作
接下来，参照图8～图13来说明分支点以及汇合点处的引导线的具体的配置位置以及台车的动作。在此图8是表示实施例1所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图，图9是表示比较例1所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。而且图10是表示实施例2所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图，图11是表示比较例2所涉及引导线的构成以及台车的动作的示意图。而且图12是表示实施例3所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图，图13是表示比较例3所涉及的引导线的构成以及台车的动作的示意图。
（4－1）实施例1
首先，如图8所示，考虑轨道由主轨道101和从主轨道101分支的第一分支轨道102以及第二分支轨道102构成的情况。
在主轨道101的右侧以延伸到与第一分支轨道102的分支点以及与第二分支轨道103的分支点的方式设置有引导线601。而且，在第一分支轨道102的左侧设置有引导线602，在第二分支轨道103的左侧设置有引导线603。在此尤其是引导线601、602以及603相互电连接。此外，各分支点近前设置有停止标志151以及152。
在此在主轨道101上行驶的台车200a通过利用引导线601进行通信，而能够识别第一分支轨道101以及第二分支轨道102上的其他台车200的存在。由此，在第一分支轨道101以及第二分支轨道102都没有存在其他台车200的情况下，台车200a不进行减速就能够在主轨道101中前进。另一方面，在第一分支轨道101中存在其他台车200的情况下，以能够在停止标志151停止的方式控制台车200a的行驶。而且，在第一分支轨道101上不存在其他台车200，在第二分支轨道102上存在其他台车200的情况下，以能够在停止标志152停止的方式控制台车200a的行驶。
其中，在第一分支轨道101以及第二分支轨道101存在其他台车200的情况下搬运车200a也未必需要停止，通过向其他台车200发送通知存在搬运车200a的信号，而能够指示其他台车200减速或者停止，搬运车200a也能够不减速地在各分支点前进。
更具体地说，例如考虑决定为从主轨道101向第一分支轨道102行驶的台车200发出信号F1，从主轨道101向第二分支轨道103行驶的台车200发出信号F2，不分支而在主轨道101前进的台车200发出信号F3的情况。
此时，在前进行驶的后续台车（即，在发出信号的台车200的后方行驶的其他台车）没有接收到信号F1或者F2的情况下，判断为在相同的行驶方向上没有其他台车200，不进行停止标志151以及152处的停止准备（即，减速）而继续行驶。然后，只要前方监视传感器没有检测到先行台车，就能够不减速地进到与第一分支轨道102的分支点以及与第二分支轨道103的分支点。另外，在更后续的台车从主轨道101向第一分支轨道102行驶的情况下若没有接收到信号F3，则同样判断为在相同的行驶方向上没有其他台车200，不进行停止标志151以及152处的停止准备而继续行驶。
（4－2）比较例1
在此参照图9，假设考虑台车200仅能够收发一个信号（即，单一频率的信号）的情况。在该情况下，对于沿着主轨道101设置的引导线601而言，作为对应于主轨道101与第一分支轨道102的分支点的引导线601a、对应于主轨道101与第二分支轨道103的分支点的引导线601b而相互独立地设置。
在引导线601a以及引导线601b相互独立的情况下，例如在引导线601a的引导线区域内行驶的台车200a无法识别引导线601b的引导线区域内的其他台车200的存在。因此，台车200a在要进入引导线601b的引导线区域内时，为了防备存在先行的其他台车200，要求以在停止标志152处能够可靠地停止的方式进行减速。
如上所述，台车200仅能够收发一个信号的情况下，若分支点连续，则各台车200不得不进行不必要的减速，产生搬运效率降低这样的技术性问题。
（4－3）实施例1与比较例1的比较
此外，如将图8以及图9相比可知，图9中的分支点的间隔大于图8的分支点的间隔。这是因为在图9所示那样的情况下，临近主轨道101与第一分支轨道102的分支点的台车200a无法识别出主轨道101与第二分支轨道103的分支点处的其他台车200的存在。
具体地说，如图9所示在第一分支轨道102未存在其他台车200的情况下，台车200a能够不在与第一分支轨道102的分支点进行减速地进行前进。然而，在该时刻，由于无法识别与第二分支轨道103的分支点处的其他台车200的存在，所以即使在第二分支轨道103未存在其他台车200的情况下，也会要求能够到停止标志152停止程度的减速。这种行驶控制在如图8那样分支点间的间隔窄的情况下无法执行。换而言之，以图8所示那样的狭窄的间隔设置的分支点是正因为台车200能够收发多个信号才能够实现的构成。
（4－4）实施例2
接下来，如图10所示，考虑轨道由主轨道104、与主轨道104汇合的第一合流轨道105以及第二合流轨道106构成的情况。
在主轨道104的右侧以延伸到其与第一合流轨道105的汇合点以及其与第二合流轨道106的汇合点的方式设置有引导线604。而且，在第一合流轨道105的左侧设置有引导线605，在第二合流轨道106的左侧设置有引导线606。在此尤其是引导线604、605以及606相互电连接。此外，在各汇合点近前设置有停止标志153以及154。
在此在主轨道104上行驶的台车200b通过利用引导线604进行通信，而能够识别出第一合流轨道105以及第二合流轨道106中的其他台车的存在。由此，在第一合流轨道105以及第二合流轨道106中都不存在其他台车200的情况下，台车200b能够不进行减速地在主轨道104上前进。另一方面，在第一合流轨道105存在其他台车200的情况下，以在停止标志153能够停止的方式控制台车200b的行驶。另外，在第一合流轨道105不存在其他台车200，而在第二合流轨道106存在其他台车200的情况下，以在停止标志154能够停止的方式控制台车200b的行驶。
其中，搬运车200b在第一合流轨道105以及第二合流轨道106上存在其他台车200的情况下未必需要停止，通过向其他台车200发送通知存在搬运车200b的信号，而指示其他台车200减速或者停止，也能够使搬运车200b不减速地在各汇合点前进。
（4－5）比较例2
在此参照图11，与图9所说明的情况相同，试着考虑台车200只能接收一个信号的情况。在该情况下，引导线600必须设置在轨道的两侧，对于沿着主轨道104的引导线600，按与各合流轨道的每个汇合点设置。
具体地说，在主轨道104上的与第一合流轨道105的汇合点周边设置有引导线604a以及604b，在与第二合流轨道106的汇合点周边设置有引导线604c以及604d。而且，在第一合流轨道105设置有引导线605a以及605b，在第二合流轨道106设置有引导线606a以及606b。此外，引导线604a以及引导线605a相互电连接，引导线604b以及引导线605b相互电连接。而且，引导线604c以及引导线606a相互电连接，引导线604d以及引导线606b相互电连接。
如上所述，在台车200仅能收发一个信号的情况下，无法在一个引导线600共享多个信息，所以引导线600的个数必然增加。由此，有可能会招致导致系统构成的高度复杂化以及成本的增大等。
（4－6）实施例2和比较例2的比较
另外，如比较图10以及图11也可知，图11中的汇合点的间隔大于图10的汇合点的间隔。这是因为在图11所示那样的情况下，临近主轨道104与第一合流轨道105的汇合点的台车200b无法识别主轨道104与第二合流轨道106的汇合点处的其他台车200的存在。
具体地说，如图11所示在第一合流轨道105未存在其他台车200的情况下，台车200b能够不在与第一合流轨道105的汇合点处减速地进行前进。然而，在该时刻，由于无法识别与第二合流轨道106的汇合点上的其他台车200的存在，即使在第二合流轨道106未存在其他台车200的情况下，也会要求到与第二合流轨道106的汇合点为止能够防止碰撞程度的减速。这样的行驶控制在如图10那样汇合点间的间隔狭的情况下无法执行。换而言之，以图10所示那样的狭窄的间隔设置的汇合点是正因为台车200能够收发多个信号才能够实现的构成。
（4－7）实施例3
接下来，如图12所示，考虑轨道由第一轨道107以及第二轨道108、以及连接第一轨道107以及第二轨道108间的第一连接轨道109以及第二连接轨道110构成的情况。
在第一轨道107的右侧以从其与第一连接轨道109的分支点延伸到其与第二连接轨道110的汇合点的方式，设置有引导线607。同样地，在第二轨道108的右侧以从其与第二连接轨道110的分支点延伸到其与第一连接轨道109的汇合点的方式，设置有引导线608。而且，在第一轨道107的左侧以延伸到第一连接轨道109的方式设置有引导线609。同样，在第二轨道108的左侧以延伸到第二连接轨道110的方式设置有引导线610。在此尤其是，引导线607以及引导线610相互电连接。而且，引导线608以及引导线609也相互电连接。引导线607以及引导线610、引导线608以及引导线609相互没有电连接（即，被绝缘）。
在第一轨道107和第一连接轨道109的分支点近前设置有停止标志155。在第一轨道107和第二连接轨道110的汇合点近前设置有停止标志156。在第二轨道108和第二连接轨道110的分支点近前设置有停止标志157。在第二轨道108和第一连接轨道109的汇合点近前设置有停止标志158。
在此，通过存在于停止标志155的地点的台车200c利用引导线607进行通信，而能够识别第一轨道107上的到与第二连接轨道110的汇合点为止的区域、以及第二轨道108中的其他台车（例如，台车200e、台车200f等）的存在。台车200c进而利用引导线609进行通信，从而能够识别第一连接区域109以及第二轨道108中的其他台车（例如，台车200d、台车200i等）的存在。此外，这样非常广的范围内能够识别其他台车200的存在是因为台车200使用频率相互不同的多个信号F1～F4进行通信（即，因为用一个引导线600，能够传递多个信息）。
如果如上所述能够识别其他台车200的存在，就能够防止分支点以及汇合点处的台车200c的行驶效率的降低。即，能够防止与其他台车200的碰撞，并能够实现适宜的行驶。具体地说，台车200c要在第一轨道107与第一连接轨道109的分支点前进的情况下，即使在连接轨道109中存在台车200d，台车200c也不减速地继续进行行驶。
（4－8）比较例3
在此参照图13，与以图9以及图11说明的情况同样地，试着考虑台车200仅能收发一个信号的情况。台车200若仅能收发一个信号，则不得不改变轨道上的引导线600的构成。具体地说，引导线607以及引导线610构成为相互未电连接。另外，引导线608以及引导线609构成为相互未电连接。
上述的构成中，通过存在于停止标志155的地点的台车200c利用引导线609进行通信，而能够识别第一连接轨道109上的其他台车200d的存在。然而，由于仅能收发一个信号，所以识别台车200d的存在的期间无法利用引导线607进行通信。即，无法识别第一轨道107中的其他台车200的存在。由此，在台车200c要在第一轨道107与第一连接轨道109的分支点前进的情况下，如图那样即使在第一轨道107中未存在其他台车200的情况下，台车200d只要不进到台车200g的位置（即，设置有引导线609的区域外），就无法开始前进。因此，图13的情况下的台车200c的行驶效率与图12所示的情况相比会大幅降低。
（4－9）实施例和比较例的比较
与以上说明的图9、图11以及图13所示的比较例相比，根据图8、图10以及图12所示的本实施方式所涉及有轨台车系统，台车200构成为能够收发频率相互不同的多个信号，所以即使在轨道上分支点以及汇合点连续地设置的情况下，也能够抑制通过分支点以及汇合点的台车200的不必要的速度降低和行驶停止。因此，能够有效提高系统的搬运效率。
（5）其他实施方式
本发明不限于上述的实施方式，在不违反从权利要求以及说明书整体读取到的发明的要旨或者思想的范围内能够适当地变更，伴随着这样的变更的有轨台车系统也包含在本发明的技术的范围内。特别是，本说明书所记载的多个实施方式以及变形例能够根据需要任意组合。
附图标记说明
100 轨道；200 台车；205 车内控制器；210 行驶部；215 行驶滚子；220 主体部；230 移动部；235 升降部；240 升降带；250把持部；300 控制器；400 FOUP；510 埠；520 侧缓冲区；600引导线；710 第一接收线圈；720 第二接收线圈；810 第一发送线圈；820 第二发送线圈；900 通信电路；910 第一发信电路；915 第一信号发送部；920 第二发信电路、第二信号发送部；930 第一接收电路；935 第一信号接收部；940 第二接收电路；945 第二信号接收部；950 存储部；955 引导线控制部；960 行驶控制部。

Claims (12)

1.一种有轨台车系统，其具备在包含分支点以及汇合点的规定区域内具有引导线的轨道以及被所述轨道支承并引导而行驶的多个台车，所述有轨台车系统的特征在于，
所述多个台车分别具有：
发信部，其能够分别发出频率相互不同的多个信号；
发送部，其能够将从所述发信部发出的多个信号分别向所述引导线发送；
接收部，其能够分别接收经由所述引导线传递来的多个信号；
判断部，其基于在所述接收部接收到的信号的种类，判断所述台车的减速或停止、或者行驶的继续进行；以及
控制部，其根据所述判断部中的判断结果，控制所述台车的行驶。
2.根据权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部在所述台车通过所述分支点以及汇合点时，发出分别对应于所述分支点以及汇合点而被决定为固有的种类的信号。
3.根据权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述接收部设置在所述台车的前端侧，
所述发送部设置在所述台车的后端侧。
4.根据权利要求3所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述引导线沿所述轨道的右侧的边缘以及左侧的边缘的至少一方被设置，
所述接收部包括设置在所述台车的右前端侧的第一接收部以及设置在所述台车的左前端侧的第二接收部，
所述发送部包括设置在所述台车的右后端侧的第一发送部以及设置在所述台车的左后端侧的第二发送部。
5.根据权利要求4所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
6.根据权利要求2所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
7.根据权利要求3所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
8.根据权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述接收部设置在所述台车的前端侧，
所述发送部设置在所述台车的后端侧。
9.根据权利要求8所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述引导线沿所述轨道的右侧以及左侧的边缘的至少一方被设置，
所述接收部包括设置在所述台车的右前端侧的第一接收部以及设置在所述台车的左前端侧的第二接收部，
所述发送部包括设置在所述台车的右后端侧的第一发送部以及设置在所述台车的左后端侧的第二发送部。
10.根据权利要求9所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
11.根据权利要求8所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
12.根据权利要求1所述的有轨台车系统，其特征在于，
所述发信部作为所述多个信号之一能够发出紧急停止信号，
在所述接收部接收到所述紧急停止信号的情况下，所述判断部判断为使所述台车紧急停止，
在判断为使所述台车紧急停止的情况下，所述控制部以使所述台车紧急停止的方式进行控制。
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