JP7502936B2 - リニアモータ搬送システムおよびその運用方法 - Google Patents
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Description
し続けている。
CNT=+1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000} ・・・(1)
ただし、
Ls:リニアスケール16のD方向における長さ[mm]
X:リニアスケール16の両端に存在する無効領域16bのD方向における長さ[mm]
Y:基準センサを切り替えるときの切り替え元の基準センサの無効領域16bからの距離[mm]
R:センサ18の分解能(1カウント=R[μm])
である。
CNT=-1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000} ・・・(2)
Claims (4)
- リニアモータにより駆動されるキャリアと、
前記キャリアに設けられるリファレンスマークと、
前記キャリアに設けられる前記キャリアの進行方向に延在するリニアスケールと、
所定の経路に沿って配置される複数のセンサであって、それぞれが、前記リファレンスマークを検出可能に構成された第1検出部と、前記リニアスケールを検出可能に構成された第2検出部と、を含む複数のセンサと、
前記リニアモータを制御し、前記キャリアを前記経路に沿って移動させる制御装置と、
を備え、
前記進行方向において、前記リファレンスマークの位置および前記リニアスケールの中央の位置は、前記キャリアの位置の基準となる部分である位置基準部の位置と一致し、
前記位置基準部は、前記キャリアの進行方向における中央に位置し、
前記制御装置は、
(a)前記キャリアを移動させて、前記複数のセンサのうちのいずれかのセンサの前記第1検出部に前記リファレンスマークを検出させ、前記リファレンスマークを検出したセンサを、出力を前記キャリアの位置の特定に用いる基準センサとし、
(b)前記基準センサの前記第2検出部からの出力に基づいて前記基準センサに対する前記キャリアの相対位置を特定し、
(c)前記基準センサを、前記キャリアの移動に伴って前記複数のセンサ内で切り替え、
前記リニアスケールは、前記第2検出部がスケールを読み取れる領域である有効領域と、当該有効領域の前記進行方向における両端に隣接する2つの無効領域であって、前記第2検出部がスケールを読み取れない領域である2つの無効領域と、を含み、
前記複数のセンサは、隣り合うセンサの間隔が、前記有効領域の長さ以下になるように配置されることを特徴とするリニアモータ搬送システム。 - 前記制御装置は、前記基準センサの位置と、前記基準センサからの出力に基づいて特定される当該基準センサに対する前記キャリアの相対位置と、に基づいて前記キャリアの位置を特定することを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ搬送システム。
- 前記複数のセンサは、隣接配置される第1、第2センサを含み、
前記制御装置は、前記基準センサを前記第1センサから前記第2センサに切り替えるとき、前記第1センサからの出力に基づいて特定される当該第1センサに対する前記キャリアの相対位置に基づいて、前記第2センサに対する前記キャリアの相対位置を特定することを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ搬送システム。 - リニアモータ搬送システムの運用方法であって、
前記リニアモータ搬送システムは、リニアモータにより駆動されるキャリアと、前記キャリアに設けられるリファレンスマークと、前記キャリアに設けられる前記キャリアの進行方向に延在するリニアスケールと、所定の経路に沿って配置される複数のセンサであって、それぞれが、前記リファレンスマークを検出可能に構成された第1検出部と、前記リニアスケールを検出可能に構成された第2検出部と、を含む複数のセンサと、前記リニアモータを制御し、前記キャリアを前記経路に沿って移動させる制御装置と、を備え、前記進行方向において、前記リファレンスマークの位置および前記リニアスケールの中央の位置は、前記キャリアの位置の基準となる部分である位置基準部の位置と一致し、前記位置基準部は、前記キャリアの進行方向における中央に位置し、
前記キャリアを移動させて、前記複数のセンサのうちのいずれかのセンサの第1検出部に前記リファレンスマークを検出させ、前記リファレンスマークを検出したセンサを、出力を前記キャリアの位置の特定に用いる基準センサとして特定する基準センサ特定ステップと、
前記基準センサの前記第2検出部からの出力に基づいて前記キャリアの位置を繰り返し特定する位置特定ステップと、
を含み、
前記位置特定ステップは、前記基準センサを、前記キャリアの移動に伴って前記複数のセンサ内で切り替えるステップを含み、
前記リニアスケールは、前記第2検出部がスケールを読み取れる領域である有効領域と、当該有効領域の前記進行方向における両端に隣接する2つの無効領域であって、前記第2検出部がスケールを読み取れない領域である2つの無効領域と、を含み、
前記複数のセンサは、隣り合うセンサの間隔が、前記有効領域の長さ以下になるように配置されることを特徴とするリニアモータ搬送システムの運用方法。
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