KR20210122115A - 리니어모터반송시스템 및 그 운용방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공한다.
리니어모터반송시스템(100)은, 리니어모터(12)에 의하여 구동되는 캐리어(10)와, 소정의 경로(P)를 따라 배치되는 복수의 센서(18)와, 리니어모터(12)를 제어하여, 캐리어(10)를 경로(P)를 따라 이동시키는 제어장치(20)를 구비한다. 제어장치(20)는, 복수의 센서(18) 중의, 출력을 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 캐리어(10)의 이동에 따라 복수의 센서(18) 내에서 전환한다.

Description

리니어모터반송시스템 및 그 운용방법{Conveying system using linear motor and Operating method thereof}
본 출원은 2020년 8월 28일에 출원된 일본 특허출원 제2020-144625호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.
본 발명은, 리니어모터반송시스템 및 그 운용방법에 관한 것이다.
종래, 물품을 반송하는 반송시스템으로서, 리니어모터를 구동원으로 하여 캐리어를 주행시켜, 캐리어에 의하여 물품의 반송을 행하는 리니어모터반송시스템이 알려져 있다. 리니어모터반송시스템은, 반송하는 물품을 유지하는 캐리어와, 캐리어에 장착되는 리니어모터의 가동자와, 경로를 따라 나열되는 복수의 전자석(코일유닛)을 포함하는 리니어모터의 고정자와, 복수의 전자석으로의 전류의 공급을 제어하여 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하고, 가동자가 경로를 따라 주행함으로써, 캐리어에 유지된 물품을 반송한다.
종래의 컨베이어는, 일정 속도로 동일방향으로 반송물인 물품을 흘려보내는 데 대하여, 리니어모터반송시스템은, 물품을 유지하는 복수의 캐리어의 이동을 개별적으로 제어할 수 있다. 또, 캐리어를 필요한 장소에 정확하게 멈추거나, 속도를 변경하거나, 1개의 캐리어만을 반대방향으로 이동시키는 것과 같은 유연한 제어도 할 수 있다. 또, 리니어모터반송시스템은, 리니어모터구동이기 때문에 그 외의 구동방식을 채용한 반송시스템에 비하여 분진 등이 발생하지 않기 때문에 깨끗하다.
그 때문에, 리니어모터반송시스템의 용도는 다방면에 걸쳐, 예를 들면 공정간 반송이나, 반송경로 상에서 정밀가공을 행하는 가공라인에 이용된다.
리니어모터반송시스템에서는, 가동자의 위치를 제어하기 위하여, 고정자에 대한 가동자의 위치를 계속 파악할 필요가 있다. 종래에서는, 고정자측에 마련되는 리니어스케일을, 가동자측에 마련되는 센서로 판독함으로써, 가동자의 위치를 검출하는 리니어모터반송시스템이 제안되고 있다(예를 들면 특허문헌 1).
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2014-219296호
특허문헌 1에 기재되는 바와 같은 종래의 리니어모터반송시스템에서는, 가동자측에 센서가 마련되기 때문에, 센서에 전력을 공급하는 배터리를 가동자측에 마련할 필요가 있어, 그 메인트넌스가 필요해진다. 또, 센서에 의한 검출결과를 출력하는 배선을 가동자측으로부터 인출할 필요가 있어, 가동자의 가동범위의 제약이 된다.
본 발명은 이러한 상황에 있어서 이루어진 것이며, 그 일 양태의 예시적인 목적의 하나는, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양태의 리니어모터반송시스템은, 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 리니어모터를 제어하여, 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비한다. 제어장치는, 복수의 센서 중의, 출력을 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 캐리어의 이동에 따라 복수의 센서 내에서 전환한다.
본 발명의 다른 양태는, 리니어모터반송시스템의 운용방법이다. 이 방법은, 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 리니어모터를 제어하여, 캐리어를 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하는 리니어모터반송시스템의 운용방법으로서, 복수의 센서 중으로부터 검출결과를 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를 특정하는 기준센서특정스텝과, 기준센서로부터의 출력에 근거하여 캐리어의 위치를 반복하여 특정하는 위치특정스텝을 포함한다. 위치특정스텝은, 기준센서를, 캐리어의 이동에 따라 복수의 센서 내에서 전환하는 스텝을 포함한다.
다만, 이상의 구성요소의 임의의 조합이나, 본 발명의 구성요소나 표현을 방법, 장치, 시스템 등의 사이에서 서로 치환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.
본 발명에 의하면, 상품가치를 높인 리니어모터반송시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태에 관한 리니어모터반송시스템의 평면도이다.
도 2는 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 캐리어와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
이하, 본 발명을 적합한 실시형태를 기초로 도면을 참조하면서 설명한다. 실시형태는, 발명을 한정하는 것이 아닌 예시이며, 실시형태에 기술되는 모든 특징이나 그 조합은, 반드시 발명의 본질적인 것이라고는 할 수 없다. 각 도면에 나타나는 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 처리에는, 동일한 부호를 붙이는 것으로 하고, 적절히 중복되는 설명은 생략한다.
도 1은, 실시형태에 관한 리니어모터반송시스템(100)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2는, 리니어모터반송시스템(100)의 캐리어(10)와 그 주변을 나타내는 측면도이다.
리니어모터반송시스템(100)은, 반송하는 물품을 유지하기 위한 캐리어(10)와, 캐리어(10)를 구동하는 리니어모터(12)와, 캐리어(10)에 고정되는 레퍼런스마크(14) 및 리니어스케일(16)과, 캐리어(10)의 반송경로(P)를 따라 배치되는 복수의 센서(18)와, 리니어모터반송시스템(100)을 통괄적으로 제어하는 제어장치(20)를 구비한다. 복수의 센서는 각각, 제어장치(20)와 유선으로 접속된다. 다만, 이해를 용이하게 하기 위하여 캐리어(10)의 개수를 1개로 하고 있지만, 그에 한정되지 않고, 통상은 복수의 캐리어(10)가 마련된다.
리니어모터(12)는, 고정자(22)와, 캐리어(10)에 장착되는 가동자(24)를 구비한다.
고정자(22)는, 본 실시형태에서는, 평면시(平面視)에서 D방향으로 긴 직사각형상으로 형성되어 있다. 고정자(22)는, 그 연장방향을 따라 나열되는 복수의 전자석(코일유닛)(26)을 포함한다. 도 1에는, 일부의 전자석(26)만이 예로서 표시되어 있다. 전원(34)으로부터 복수의 전자석(26)에는, 개별적으로 전류를 공급할 수 있다. 복수의 전자석(26)의 나열은 경로(P)를 규정한다. 특별히 한정하지 않지만, 본 실시형태에서는, 경로(P)는 직선상이다.
가동자(24)는, 전자석(26)과 상하로 대향하도록 캐리어(10)의 하면에 장착된다. 가동자(24)는 자석을 포함하여 구성된다. 전자석(26)에 의하여 발생하는 자계와 가동자(24)의 자석의 자계의 상호작용에 의하여, 가동자(24)는 경로(P)를 따라 이동한다.
고정자(22)에는, 가동자(24) 혹은 캐리어(10)의 이동을 안내하는 리니어가이드가 마련되어도 된다. 혹은, 리니어가이드를 마련하지 않고, 가동자(24)를 고정자(22) 상에 자기부상시켜도 된다.
레퍼런스마크(14)는, 기준위치를 나타내는 마크이다. 레퍼런스마크(14)는, 특별히 한정하지 않지만, 센서(18)가 자기식이면 자석이며, 광학식이면 예를 들면 마크가 부착된 유리나 스틸테이프이다.
레퍼런스마크(14)는, 여기에서는 캐리어(10)의 하면에 마련된다. 다만, 레퍼런스마크(14)는, 리니어스케일(16) 상에 마련되어도 된다. 레퍼런스마크(14)는, 바람직하게는, D방향에 있어서의 위치가, 캐리어(10)의 "위치기준부"와 일치하도록 마련된다. 위치기준부는, 캐리어(10)의 D방향에 있어서의 위치의 기준이 되는 부분이며, 전형적으로는 캐리어(10)의 D방향에 있어서의 중앙부분이다. 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치가 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하는 경우, 레퍼런스마크(14)의 절대위치는 캐리어(10)의 절대위치가 된다.
레퍼런스마크(14)는, 캐리어(10)의 임의의 위치에 마련되어도 되지만, 위치기준부에 대한 상대위치가 이미 알려져 있을(미리 결정되어 있을) 필요가 있다. 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치가 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하지 않는 경우, 레퍼런스마크(14)의 절대위치에, 위치기준부와 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 거리를 고려함으로써, 캐리어(10)의 절대위치가 특정된다.
이후에서는, 설명의 간소화를 위하여, 레퍼런스마크(14)의 D방향에 있어서의 위치는 위치기준부의 D방향에 있어서의 위치와 일치하는 것으로 한다.
리니어스케일(16)은, 캐리어(10)의 하면에 고정된다. 리니어스케일(16)은, 특별히 한정하지 않지만, 센서(18)가 자기식이면 자석스케일이며, 광학식이면 예를 들면 눈금이 부착된 유리스케일이나 스틸테이프이다. 리니어스케일(16)은, 그에 한정되지는 않지만, 당해 리니어스케일(16)의 D방향에 있어서의 중앙이, 캐리어(10)의 위치기준의 D방향에 있어서의 위치와 일치하도록 캐리어(10)에 마련된다.
리니어스케일(16)은, 유효영역(16a)과, 유효영역(16a)의 D방향에 있어서의 양 단에 인접하는 2개의 무효영역(16b)을 갖는다. 유효영역(16a)은, 센서(18)가 스케일을 판독할 수 있는 영역이며, 무효영역(16b)은, 센서(18)가 스케일을 판독할 수 없는 영역이다.
센서(18)는, 레퍼런스마크(14)를 검출 가능하게 구성된 제1 검출부(28)와, 리니어스케일(16)을 검출 가능하게 구성된 제2 검출부(29)를 포함한다. 본 실시형태에서는, 센서(18)는, 평면시에 있어서, 레퍼런스마크(14)의 이동경로 상에 제1 검출부(28)가 위치하고, 리니어스케일(16)의 이동경로 상에 제2 검출부(29)가 위치하도록 배치된다.
제1 검출부(28)는, 레퍼런스마크(14)를 검출하면, 즉 레퍼런스마크(14)가 제1 검출부(28)의 바로 위를 통과하면, 소정의 강도 이상의 펄스신호를 제어장치(20)에 출력한다. 당해 펄스신호의 펄스폭은, 제1 검출부(28)의 분해능(分解能)과 동일한 정도인 것이 바람직하지만, 그것보다 길어도 된다. 제어장치(20)는, 자세하게는 후술하겠지만, 제1 검출부(28)가 출력하는 신호에 근거하여, 레퍼런스마크(14)가 제1 검출부(28)의 바로 위에 위치하고 있는지 아닌지를 특정한다.
제2 검출부(29)는, 제2 검출부(29)의 상방을 이동하는 리니어스케일(16)에 마련된 스케일을 판독하고, 리니어스케일(16) 나아가서는 캐리어(10)가 R[μm](R은 제2 검출부(29)의 분해능) 이동할 때마다 1펄스의 펄스신호를 제어장치(20)에 출력한다. 제어장치(20)는, 제2 검출부(29)가 출력하는 펄스신호를 카운트함으로써, 후술하는 바와 같이 하여 캐리어(10)의 D방향의 위치를 특정(검출)한다.
복수의 센서(18)는, 등간격, 여기에서는 간격 S로 배치된다. 또, 복수의 센서(18)는, 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)의 길이(이하, "유효영역길이”라고 한다) Le와 센서(18)의 간격 S가, "유효영역길이 Le≥간격 S"의 관계를 충족시키도록 배치된다. 이 경우, 캐리어(10)가 경로(P) 상의 어디에 위치하고 있어도, 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 어느 하나의 센서(18)의 검출영역(즉 센서(18)의 바로 위)에 위치하기 때문에, 후술하는 바와 같이 캐리어(10)의 절대위치를 특정할 수 있다. 유효영역길이 Le와 간격 S를 동일하게 하면, 센서의 수를 최소로 할 수 있다. 어쨌든, 복수의 센서(18)의 각각의 절대위치는 이미 알려진 것으로 한다.
도 3, 4는, 리니어모터반송시스템(100)의 캐리어(10)와 그 주변을 나타내는 측면도이다. 도 3에서는, 레퍼런스마크(14)가 센서(18)의 바로 위에 위치하고 있다. 도 4에서는, 리니어스케일(16) 나아가서는 캐리어(10)의 중심이, 인접하는 2개의 센서의 중간지점에 위치하고 있다. 도 1~4를 참조하여 제어장치(20)에 대하여 설명한다.
제어장치(20)는, 위치특정부(30)와, 리니어모터제어부(32)를 포함한다.
위치특정부(30)는, 복수의 센서(18_1~18_N)(N은 2 이상의 정수이며, 도 2~4의 예에서는 N은 5 이상) 중 어느 하나의 센서(18)의 제1 검출부(28)로부터 임계값강도 이상의 신호가 출력되면, 구체적으로는 예를 들면 센서(18_i)의 제1 검출부(28)로부터 임계값강도 이상의 신호가 출력되면, 당해 센서(18_i)의 바로 위에 레퍼런스마크(14) 나아가서는 캐리어(10)가 위치하고 있다고 특정한다. 위치특정부(30)는, 레퍼런스마크(14)를 검출한 센서(18_i)를, 캐리어(10)의 절대위치를 특정하기 위한 기준이 되는 센서(이하, "기준센서"라고 한다)로서 결정한다.
위치특정부(30)는, 기준센서의 바로 위에 레퍼런스마크(14)가 위치하고 있을 때를 "0"으로 하고, 캐리어(10)의 이동에 따라 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호를 카운트한다.
위치특정부(30)는, 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값에 근거하여, 캐리어(10)의 기준센서로부터의 거리, 즉 기준센서에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정한다. 위치특정부(30)는, 기준센서의 절대위치에, 특정한 상대위치를 가산함으로써, 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.
그런데, 리니어스케일(16)의 길이에 따라서도 다르지만, 캐리어(10)가 어느 정도 이동하면, 기준센서의 제2 검출부(29)의 검출범위(즉 바로 위)로부터 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 벗어난다. 그렇게 되면, 당해 기준센서의 출력에 근거하여 캐리어(10)의 위치를 특정할 수 없다. 따라서, 기준센서의 검출범위로부터 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 벗어나기 전에, 기준센서에 인접하는 센서(18)로서, 그 검출범위(즉 바로 위)에 리니어스케일(16)의 유효영역(16a)이 있는 센서(18)를, 새로운 기준센서로 할 필요가 있다. 즉, 기준센서를 전환할 필요가 있다.
구체적으로는 위치특정부(30)는, 예를 들면 센서(18_i)가 기준센서인 경우에 있어서 D방향에 있어서의 지면(紙面) 우측으로 캐리어(10)가 이동하여 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치(펄스신호의 카운트값)가 소정의 값이 되면, 인접하는 센서(18_i+1)를 새로운 기준센서로 한다. 따라서, 위치특정부(30)는, 그때까지는 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정하고 있었지만, 기준센서의 전환 후에는 센서(18_i+1)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다. 즉, 센서(18_i+1)의 절대위치에, 센서(18_i+1)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 가산함으로써 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.
다만, 기준센서의 전환 시에는, 전환원(元)의 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치에 근거하여, 전환선(先)의 센서(18)에 대한 캐리어(10)의 상대위치를 특정한다. 바꾸어 말하면, 기준센서의 전환 시에는, 전환원의 센서(18_i)에 있어서의 펄스신호의 카운트값에 근거하여, 전환선의 센서(18_i+1)에 있어서의 펄스신호의 카운트값의 초깃값을 특정한다. 이후에는, 특정된 초깃값에 센서(18_i+1)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값을 적산한다.
기준센서의 전환은, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 리니어스케일(16)의 중심(이 예에서는 캐리어(10)의 중심)이 기준센서(이 예에서는 센서(18_i))와 기준센서에 인접하는 센서(이 예에서는 센서(18_i+1))의 중간지점에 도달하는 타이밍에 행해도 된다.
이 경우, 위치특정부(30)는, 도 1~4에 있어서 캐리어(10)가 D방향에 있어서의 우측으로 진행하는 경우는, 기준센서의 제2 검출부(29)로부터의 펄스신호의 출력의 카운트값(CNT)이 다음의 식 (1)로 구해지는 값이 되었을 때 기준센서를 전환하면 된다. 다만, 여기에서는, 도 1~4에 있어서 D방향에 있어서의 우측으로 진행하는 방향을 정방향으로 하고, 좌측으로 진행하는 방향을 부방향으로 한다.
CNT=+1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000}…(1)
단,
Ls: 리니어스케일(16)의 D방향에 있어서의 길이[mm]
X: 리니어스케일(16)의 양 단부에 존재하는 무효영역(16b)의 D방향에 있어서의 길이[mm]
Y: 기준센서를 전환할 때의 전환원의 기준센서의 무효영역(16b)로부터의 거리[mm]
R: 센서(18)의 분해능(1카운트=R[μm])
이다.
위치특정부(30)는, 캐리어(10)의 이동에 따라 새로운 기준센서의 제2 검출부(29)로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값의 초깃값에, 다음의 식 (2)로 구해지는 카운트값(CNT)을 설정한다. 즉, 기준센서의 전환 후에는, 새로운 기준센서의 제2 검출부(29)가 출력하는 펄스신호를, 식 (2)로 구해지는 카운트값으로부터 카운트하기 시작한다.
CNT=-1/2×(Ls-2X-2Y)×1/{R×1/1000}…(2)
다만, 도 1~4에 있어서, 캐리어(10)가 D방향에 있어서의 좌측 즉 부방향으로 진행하는 경우는, 식 (1), (2)의 정부(正負)를 반전시키면 된다.
위치특정부(30)는, 이상과 같이, 캐리어(10)의 이동에 따라 기준센서를 전환하면서, 캐리어(10)의 절대위치를 반복하여 계속 특정한다.
리니어모터제어부(32)는, 리니어모터(12)를 제어하여, 캐리어(10)를 이동시킨다. 구체적으로는 리니어모터제어부(32)는, 위치특정부(30)에 의하여 특정되는 캐리어(10)의 위치정보를 피드백하면서, 전원(34)으로부터 고정자(22)의 각 전자석(26)으로의 전류의 공급을 제어하여, 캐리어(10)를 원하는 위치로 이동시킨다.
이상이 리니어모터반송시스템(100)의 기본구성이다. 계속해서, 도 2~4를 참조하여 리니어모터반송시스템(100)의 동작을 설명한다. 도 2, 3, 4의 순으로 시간이 경과한다.
리니어모터반송시스템(100)의 기동 시의 상태가 도 2 상태였던 것으로 한다. 제어장치(20)는, 전자석(26)에 일정 전류를 흘려보내 캐리어(10)를 이동시킨다. 이로써, 캐리어(10)가 도 2에 있어서의 우측으로 이동한 것으로 한다.
도 3에서는, 캐리어(10)가 센서(18_i)의 바로 위에 도달하고 있다. 센서(18_i)는 레퍼런스마크(14)를 검출한다. 따라서, 센서(18_i)가 기준센서가 된다. 제어장치(20)는, 기준센서로부터 출력되는 펄스신호의 카운트값에 근거하여 캐리어(10)의 절대위치를 특정한다.
도 4에서는, 센서(18_i)에 대한 캐리어(10)의 상대위치, 즉 센서(18_i)에 있어서의 펄스신호의 카운트값이 식 (1)로 구해지는 값이 되었기 때문에, 기준센서는 센서(18_i)로부터 센서(18_i+1)로 전환된다.
계속해서, 실시형태의 효과를 설명한다. 본 실시형태에 의하면, 고정자(22)측에 마련한 센서(18)에 의하여, 캐리어(10)의 위치를 검출할 수 있기 때문에, 캐리어(10)의 위치검출을 위하여 캐리어(10)측에 센서를 마련할 필요가 없고, 따라서 캐리어(10)에 배터리를 탑재하거나 캐리어(10)로부터 배선을 인출하거나 할 필요가 없어진다.
또, 본 실시형태에 의하면, 캐리어(10)의 크기가 변경되고, 따라서 리니어스케일(16)의 길이가 변경된 경우나, 센서(18)의 분해능이 변경된 경우여도, 식 (1), (2)에 대입하는 값을 변경하는 것만으로도 되며, 그러한 변경에 용이하게 대응할 수 있다.
이상, 본 발명을 실시형태를 기초로 설명했다. 이 실시형태는 예시이며, 그들의 각 구성요소나 각 처리프로세스의 조합에 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은 당업자에게 이해되는 바이다. 이하, 변형예를 설명한다.
실시형태에서는, 복수의 센서(18)가 등간격으로 배치되는 경우에 대하여 설명했지만, 이웃하는 센서(18)의 간격이 리니어스케일(16)의 유효영역길이 Le 이하이면, 이웃하는 센서(18)의 간격은 등간격이 아니어도 된다. 즉, 적어도 하나의 센서간격은, 다른 센서간격과 달라도 된다. 이 경우, 센서(18)를 전환할 때의 카운트값은 다를 수 있지만, 리니어스케일(16)의 중심(이 예에서는 캐리어(10)의 중심)이 인접하는 센서(18)의 중간지점에 도달하는 타이밍에 기준센서를 전환하는 경우는, 전환원의 센서(18)의 카운트값이 식 (1)로 구해지는 카운트값이 되는 타이밍에 전환하면 된다.
상술한 실시형태와 변형예의 임의의 조합도 또한 본 발명의 실시형태로서 유용하다. 조합에 의하여 발생하는 새로운 실시형태는, 조합되는 실시형태 및 변형예 각각의 효과를 겸비한다.
10 캐리어
12 리니어모터
18 센서
20 제어장치
100 리니어모터반송시스템

Claims (5)

  1. 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와,
    소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와,
    상기 리니어모터를 제어하여, 상기 캐리어를 상기 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하고,
    상기 제어장치는, 상기 복수의 센서 중의, 출력을 상기 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를, 상기 캐리어의 이동에 따라 상기 복수의 센서 내에서 전환하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어장치는, 상기 기준센서의 위치와, 상기 기준센서로부터의 출력에 근거하여 특정되는 당해 기준센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치에 근거하여 상기 캐리어의 위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 복수의 센서는, 인접배치되는 제1, 제2 센서를 포함하고,
    상기 제어장치는, 상기 기준센서를 상기 제1 센서로부터 상기 제2 센서로 전환할 때, 상기 제1 센서로부터의 출력에 근거하여 특정되는 당해 제1 센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치에 근거하여, 상기 제2 센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 캐리어에 마련되는 레퍼런스마크를 구비하고,
    상기 복수의 센서는 각각, 레퍼런스마크를 검출 가능하게 구성되며,
    상기 캐리어의 위치의 기준이 되는 부분에 대한 상기 레퍼런스마크의 상대위치가 이미 알려져 있을 때,
    상기 제어장치는, 상기 캐리어를 이동시켜, 복수의 센서 중 어느 하나의 센서에 상기 레퍼런스마크를 검출시켜, 상기 레퍼런스마크를 검출한 센서를 상기 기준센서로 함과 함께, 상기 기준센서에 대한 상기 캐리어의 상대위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템.
  5. 리니어모터에 의하여 구동되는 캐리어와, 소정의 경로를 따라 배치되는 복수의 센서와, 상기 리니어모터를 제어하여, 상기 캐리어를 상기 경로를 따라 이동시키는 제어장치를 구비하는 리니어모터반송시스템의 운용방법으로서,
    상기 복수의 센서 중으로부터 출력을 상기 캐리어의 위치의 특정에 이용하는 기준센서를 특정하는 기준센서특정스텝과,
    상기 기준센서로부터의 출력에 근거하여 상기 캐리어의 위치를 반복하여 특정하는 위치특정스텝을 포함하고,
    상기 위치특정스텝은, 상기 기준센서를, 상기 캐리어의 이동에 따라 상기 복수의 센서 내에서 전환하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어모터반송시스템의 운용방법.
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