CN103183518A - 一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 - Google Patents
一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103183518A CN103183518A CN201110445383XA CN201110445383A CN103183518A CN 103183518 A CN103183518 A CN 103183518A CN 201110445383X A CN201110445383X A CN 201110445383XA CN 201110445383 A CN201110445383 A CN 201110445383A CN 103183518 A CN103183518 A CN 103183518A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide shell
- carbon
- goods
- under
- obtains
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
本发明公开了一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：裁剪碳毡、加工导流筒预制体、化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化、碳化致密、二次化学气相浸渍致密、纯化、车床加工和涂层。依据本发明提供的碳/碳复合材料导流筒的制备方法制备出的导流筒外壁光滑，且导流筒的内部密度较小、比重适中。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工设备领域，特别涉及一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法。
背景技术
为了适应集成电路的超大规模化和超高速化的发展趋势，硅单晶体需具有更大的直径和更高的成分与结构上的均匀性。为了能够生产出大直径的硅单晶体，市场上出现了较大规格的硅单晶生长炉。
目前，单晶炉的热场发热系统、支撑系统及坩埚均是石墨制品。由于石墨具有优异的耐高温性能和良好的化学稳定性。在直拉法生产单晶硅的工艺中，导流筒具有高温气体导流的作用，导流筒需具有高纯度、高密度和高强度，导流筒的密度需大于或等于1.8g/cm3，且在高温下导流筒需不能挥发游离离子、原子杂质等，即灰分度≤50ppm。
然而，现有技术中导流筒由石墨加工而成，由于石墨产品强度低、耐高温热震性能差、纯度较低、大尺寸产品成型困难等缺陷。此外，由于石墨和硅膨胀系数差异较大，导致应力生成，致使石墨导流筒有碎片剥落，甚至开裂，进而导致石墨导流筒使用寿命较短。故采用石墨制备导流筒，难以满足单晶硅生产发展的需要。
鉴于上述原因，市场上出现了一种碳/碳复合材料导流筒。目前市场上碳/碳复合材料导流筒在使用过程中经常会发生涮导流筒的问题，造成该问题的原因在于碳/碳导流筒外壁粗糙，反光效果比较差，在硅液面上形成比较模糊的倒影，不易判断导流筒到硅液面的距离，因此容易发生涮导流筒的情况。此外，现有技术中的碳/碳复合材料导流筒的密度较大，其比较重，不易拆装。
因此，如何解决现有技术中碳/碳复合材料导流筒外壁粗糙和比重较大的问题，成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题。
发明内容
本发明提供了一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，依据本发明提供的制备方法制备出的导流筒外壁光滑，且导流筒的内部密度较小、比重适中。
本发明提供的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应30-60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.0-2.0MPa的压力下和150-220℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在800-1000℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2200-2600℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续20-40h。
优选地，若经过步骤碳化致密获得的第三导流筒制品的密度小于1.2g/cm3，则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
优选地，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为糠酮树脂。
优选地，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为胺酚醛树脂。
优选地，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为胺酚醛树脂和糠酮树脂的混合树脂。
优选地，步骤碳化致密中所采用的保护气体为氮气。
优选地，步骤涂层中所采用的载气为氢气。
优选地，步骤涂层中所采用的稀释气体为氢气和氩气。
本发明提供的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应30-60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.0-2.0MPa的压力下和150-220℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在800-1000℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；纯化，通入氯气和氟利昂，在2200-2600℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续20-40h。如此，经缝制而成的导流筒预制体密度为碳毡、碳纤维布和碳纤维网胎的整体密度，密度值为0.2-0.5g/cm3。而后经过化学气相浸渍后使得导流筒预制体表面包裹上一层热解碳，可提高其力学性能和抗氧化性能，以减小在后续树脂浸渍致密工艺中对碳纤维的破坏。而后，第一导流筒制品经过树脂浸渍固化和碳化致密步骤之后，其表面密度可达到1.2g/cm3，进而获得第三导流筒制品。将第三导流筒制品再次经过化学气相浸渍，以减小在后续纯化和涂层工艺中对碳纤维的破坏。经过步骤纯化处理后获得的第五导流筒制品，其灰分可达到30-50ppm。而后将第五导流筒制品进行车床加工，以使得第五导流筒制品的尺寸符合使用需求。最后，将第五导流筒制品进行涂层处理，如此导流筒可形成光滑表面，其反光效果好，在硅液面上可形成清晰的倒影，操作人员容易判断导流筒到硅液面的距离，进而发生涮导流筒的情况，此外，导流筒在硅液面形成清晰的倒影有利于晶棒直径的自动控制。
如此，经本发明提供的制备方法获得的导流筒，其表面密度密度在1.2-1.4g/cm3左右，中心层密度在0.5-0.8g/cm3左右，导流筒整体质量较轻，便于拆卸。
综上所述，依据本发明提供的制备方法制备出的导流筒外壁光滑，且导流筒的内部密度较小、比重适中。
附图说明
图1为本发明具体实施方式中导流筒制作流程示意图。
具体实施方式
本发明提供了一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，依据本发明提供的制备方法制备出的导流筒外壁光滑，且导流筒的内部密度较小、比重适中。
下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
请参考图1，图1为本发明具体实施方式中导流筒制作流程示意图。
本发明提供的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；如此，加工出的导流筒预制体的密度为0.2-0.5g/cm3。
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应30-60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.0-2.0MPa的压力下和150-220℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；其中树脂浸渍固化炉中的树脂可具体为糠酮树脂、胺酚醛树脂或者糠酮树脂和胺酚醛树脂的混合脂。
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在800-1000℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；该步骤中所采用的保护气体为氮气，当然，也可为其它其它，比如，氩气、氖气等。需要说明的是，经过该步骤获得的第三导流筒制品的密度应大于1.2g/cm3，否则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2200-2600℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；经过纯化处理获得的第五导流筒制品，其灰分度可达到30-50ppm。
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续20-40h。该步骤中的载气可具体为氢气，当然，也可为其它气体，比如，氦气、氮气等，稀释气体可具体为氢气和氩气，当然，也可为氦气、氮气等。
如此，经缝制而成的导流筒预制体密度为碳毡、碳纤维布和碳纤维网胎的整体密度，密度值为0.2-0.5g/cm3。而后经过化学气相浸渍后使得导流筒预制体表面包裹上一层热解碳，可提高其力学性能和抗氧化性能，以减小在后续树脂浸渍致密工艺中对碳纤维的破坏。而后，第一导流筒制品经过树脂浸渍固化和碳化致密步骤之后，其表面密度可达到1.2g/cm3，进而获得第三导流筒制品。将第三导流筒制品再次经过化学气相浸渍，以减小在后续纯化和涂层工艺中对碳纤维的破坏。经过步骤纯化处理后获得的第五导流筒制品，其灰分可达到30-50ppm。而后将第五导流筒制品进行车床加工，以使得第五导流筒制品的尺寸符合使用需求。最后，将第五导流筒制品进行涂层处理，如此导流筒可形成光滑表面，其反光效果好，在硅液面上可形成清晰的倒影，操作人员容易判断导流筒到硅液面的距离，进而发生涮导流筒的情况，此外，导流筒在硅液面形成清晰的倒影有利于晶棒直径的自动控制。
如此，经本发明提供的制备方法获得的导流筒，其表面密度密度在1.2-1.4g/cm3左右，中心层密度在0.5-0.8g/cm3左右，导流筒整体质量较轻，便于拆卸。
综上所述，依据本发明提供的制备方法制备出的导流筒外壁光滑，且导流筒的内部密度较小、比重适中。
实施例1
本实施例的碳/碳复合材料导流筒的制备方法包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；如此，加工出的导流筒预制体的密度为0.2-0.5g/cm3。
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度900℃、压力0.9KPa的条件下与流量为3.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.0Pa的压力下和150℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；其中树脂浸渍固化炉中的树脂可具体为糠酮树脂、胺酚醛树脂或者糠酮树脂和胺酚醛树脂的混合脂。
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在800℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；该步骤中所采用的保护气体为氮气，当然，也可为其它其它，比如，氩气、氖气等。需要说明的是，经过该步骤获得的第三导流筒制品的密度应大于1.2g/cm3，否则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度900、压力0.9-KPa的条件下与流量为3.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2200℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；经过纯化处理获得的第五导流筒制品，其灰分度可达到30-50ppm。
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续20h。该步骤中的载气可具体为氢气，当然，也可为其它气体，比如，氦气、氮气等，稀释气体可具体为氢气和氩气，当然，也可为氦气、氮气等。
实施例2
本实施例提供的碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；如此，加工出的导流筒预制体的密度为0.2-0.5g/cm3。
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度1100℃、压力1.3KPa的条件下与流量为9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在2.0MPa的压力下和220℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；其中树脂浸渍固化炉中的树脂可具体为糠酮树脂、胺酚醛树脂或者糠酮树脂和胺酚醛树脂的混合脂。
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在1000℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；该步骤中所采用的保护气体为氮气，当然，也可为其它其它，比如，氩气、氖气等。需要说明的是，经过该步骤获得的第三导流筒制品的密度应大于1.2g/cm3，否则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度1100℃、压力1.3KPa的条件下与流量为9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2600℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；经过纯化处理获得的第五导流筒制品，其灰分度可达到30-50ppm。
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续40h。该步骤中的载气可具体为氢气，当然，也可为其它气体，比如，氦气、氮气等，稀释气体可具体为氢气和氩气，当然，也可为氦气、氮气等。
实施例3
本实施例提供的碳/碳复合材料导流筒的制备方法，包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；如此，加工出的导流筒预制体的密度为0.2-0.5g/cm3。
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度1000℃、压力1KPa的条件下与流量为5m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应50h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.5MPa的压力下和200℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；其中树脂浸渍固化炉中的树脂可具体为糠酮树脂、胺酚醛树脂或者糠酮树脂和胺酚醛树脂的混合脂。
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在900℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；该步骤中所采用的保护气体为氮气，当然，也可为其它其它，比如，氩气、氖气等。需要说明的是，经过该步骤获得的第三导流筒制品的密度应大于1.2g/cm3，否则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度1000℃、压力1.2KPa的条件下与流量为4.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2400℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；经过纯化处理获得的第五导流筒制品，其灰分度可达到30-50ppm。
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续30h。该步骤中的载气可具体为氢气，当然，也可为其它气体，比如，氦气、氮气等，稀释气体可具体为氢气和氩气，当然，也可为氦气、氮气等。
本说明书中各个实施方式采用递进的方式描述，每个实施方式重点说明的都是与其他实施方式的不同之处，各个实施方式之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施方式的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施方式的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施方式中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施方式，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，包括步骤：
裁剪碳毡，依据导流筒胎具的尺寸裁剪碳毡；
加工导流筒预制体，在裁剪好的所述碳毡的两侧均交替铺设碳纤维布和碳纤维网胎，并将所述碳纤维布和所述碳纤维网胎缝制于所述碳毡，获得导流筒预制体；
化学气相浸渍致密，将所述导流筒预制体在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应30-60h，获得第一导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
树脂浸渍固化，将所述第一导流筒制品放入树脂浸渍固化炉中，在1.0-2.0MPa的压力下和150-220℃的温度下进行固化，获得第二导流筒制品；
碳化致密，将所述第二导流筒制品放入碳化炉中，在800-1000℃的温度条件下且在保护气体的保护下进行碳化处理，获得第三导流筒制品；
二次化学气相浸渍致密，将经碳化致密处理后的导流筒预制品在温度900-1100℃、压力0.9-1.3KPa的条件下与流量为3.0-9.0m3/h的低分子量烃类气体进行热解脱氢聚合反应10-30h，获得第四导流筒制品，所述低分子量的烃类物质为甲烷、乙烯、丙稀及乙炔中的一种或多种的混合物；
纯化，通入氯气和氟利昂，在2200-2600℃的超高温对所述第四导流筒制品进行纯化处理，获得第五导流筒制品；
车床加工，将所述第五导流筒制品进行车床加工，以使得所述第五导流筒制品的尺寸符合要求；
涂层，将经过车床加工后的第五导流筒制品放入化学气相沉积炉中，在载气的携带作用下和稀释气体的稀释作用下将CH3SiCl3通入化学气相沉积炉中，并在1100℃、1000Pa的条件下制备SiC涂层，沉积过程持续20-40h。
2.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，若经过步骤碳化致密获得的第三导流筒制品的密度小于1.2g/cm3，则重复步骤化学气相浸渍致密、树脂浸渍固化及碳化致密，直至第三导流筒制品的密度大于或等于1.2g/cm3。
3.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为糠酮树脂。
4.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为胺酚醛树脂。
5.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤树脂浸渍固化中所采用的树脂为胺酚醛树脂和糠酮树脂的混合树脂。
6.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤碳化致密中所采用的保护气体为氮气。
7.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤涂层中所采用的载气为氢气。
8.如权利要求1所述的一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法，其特征在于，步骤涂层中所采用的稀释气体为氢气和氩气。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110445383XA CN103183518A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110445383XA CN103183518A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103183518A true CN103183518A (zh) | 2013-07-03 |
Family
ID=48675003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110445383XA Pending CN103183518A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | 一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103183518A (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104418603A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 甘肃郝氏炭纤维有限公司 | 一种低密度碳/碳复合筒材制备方法 |
| CN105113002A (zh) * | 2015-09-30 | 2015-12-02 | 吉林联科特种石墨材料有限公司 | 一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法 |
| CN105110807A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-12-02 | 华东理工大学 | 用含硅芳炔树脂制备的C/C-SiC复合材料及其制备方法 |
| CN105884389A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-08-24 | 李永军 | 一种低成本密度梯度c/c-sic复合材料的制备方法 |
| CN110105079A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏大学 | 一种炭纤维缝制硬化保温圆筒的制备方法 |
| CN110105078A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏大学 | 一种炭纤维缝制硬化平板保温材料的制备方法 |
| CN111848202A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-30 | 西安超码科技有限公司 | 一种具有碳化硅/硅涂层的炭/炭导流筒及其制备方法 |
| CN113862773A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-31 | 成都裕鸢航空智能制造股份有限公司 | 一种长寿命导流筒及其制备方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1887803A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-01-03 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法 |
| CN1907915A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-02-07 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 |
| CN101033137A (zh) * | 2007-02-06 | 2007-09-12 | 西北工业大学 | 碳/碳－碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法 |
| CN101311140A (zh) * | 2008-04-23 | 2008-11-26 | 西安超码科技有限公司 | 高电阻高纯度炭/炭发热体的制备方法 |
| CN101478841A (zh) * | 2008-12-31 | 2009-07-08 | 西安超码科技有限公司 | 一种多晶硅氢化炉用炭/炭发热体的制备方法 |
| CN101503305A (zh) * | 2009-02-03 | 2009-08-12 | 西北工业大学 | 一种自愈合碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法 |
| CN201478841U (zh) * | 2009-07-20 | 2010-05-19 | 孙中伟 | 一种带有usb接头的手机移动电源 |
| CN101717992A (zh) * | 2009-11-25 | 2010-06-02 | 蒋建纯 | 一种cz硅晶体生长炉碳－碳复合材料导流筒及其制备方法 |
-
2011
- 2011-12-27 CN CN201110445383XA patent/CN103183518A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1887803A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-01-03 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法 |
| CN1907915A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-02-07 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 |
| CN101033137A (zh) * | 2007-02-06 | 2007-09-12 | 西北工业大学 | 碳/碳－碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法 |
| CN101311140A (zh) * | 2008-04-23 | 2008-11-26 | 西安超码科技有限公司 | 高电阻高纯度炭/炭发热体的制备方法 |
| CN101478841A (zh) * | 2008-12-31 | 2009-07-08 | 西安超码科技有限公司 | 一种多晶硅氢化炉用炭/炭发热体的制备方法 |
| CN101503305A (zh) * | 2009-02-03 | 2009-08-12 | 西北工业大学 | 一种自愈合碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法 |
| CN201478841U (zh) * | 2009-07-20 | 2010-05-19 | 孙中伟 | 一种带有usb接头的手机移动电源 |
| CN101717992A (zh) * | 2009-11-25 | 2010-06-02 | 蒋建纯 | 一种cz硅晶体生长炉碳－碳复合材料导流筒及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 苏文佳等: "单晶炉导流筒，热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟", 《人工晶体学报》 * |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104418603A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 甘肃郝氏炭纤维有限公司 | 一种低密度碳/碳复合筒材制备方法 |
| CN105110807A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-12-02 | 华东理工大学 | 用含硅芳炔树脂制备的C/C-SiC复合材料及其制备方法 |
| CN105110807B (zh) * | 2015-07-06 | 2017-10-31 | 华东理工大学 | 用含硅芳炔树脂制备的C/C‑SiC复合材料及其制备方法 |
| CN105113002A (zh) * | 2015-09-30 | 2015-12-02 | 吉林联科特种石墨材料有限公司 | 一种功能性碳毡整体成型的单晶硅生长炉导流筒制备方法 |
| CN105884389A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-08-24 | 李永军 | 一种低成本密度梯度c/c-sic复合材料的制备方法 |
| CN105884389B (zh) * | 2016-04-19 | 2018-07-27 | 李永军 | 一种低成本密度梯度c/c-sic复合材料的制备方法 |
| CN110105079A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏大学 | 一种炭纤维缝制硬化保温圆筒的制备方法 |
| CN110105078A (zh) * | 2019-04-26 | 2019-08-09 | 江苏大学 | 一种炭纤维缝制硬化平板保温材料的制备方法 |
| CN111848202A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-30 | 西安超码科技有限公司 | 一种具有碳化硅/硅涂层的炭/炭导流筒及其制备方法 |
| CN111848202B (zh) * | 2020-07-24 | 2022-09-02 | 西安超码科技有限公司 | 一种具有碳化硅/硅涂层的炭/炭导流筒及其制备方法 |
| CN113862773A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-31 | 成都裕鸢航空智能制造股份有限公司 | 一种长寿命导流筒及其制备方法 |
| CN113862773B (zh) * | 2021-08-12 | 2022-10-25 | 成都裕鸢航空智能制造股份有限公司 | 一种长寿命导流筒及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103183518A (zh) | 一种碳/碳复合材料导流筒的制备方法 | |
| CN100400471C (zh) | 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 | |
| CN101638322B (zh) | 一种多晶硅氢化炉用炭/炭隔热屏的制备方法 | |
| CN112759404B (zh) | 一种陶瓷基复合材料内螺纹的制备方法 | |
| CN101880174A (zh) | 一种碳/碳复合密度梯度隔热材料 | |
| CN109354508B (zh) | 一种批量快速制备碳/碳复合材料埚帮的cvi工艺方法 | |
| CN102731134A (zh) | 直拉单晶炉及用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法 | |
| CN113149686B (zh) | 一种具有复合陶瓷层的炭/炭复合材料坩埚及其制备方法 | |
| CN112851387B (zh) | 一种在炭炭复合材料表面制备碳化硅涂层的方法 | |
| CN114455982B (zh) | 一种含有氧化铝涂层和碳化硅涂层的炭/炭复合材料坩埚 | |
| CN113072387A (zh) | 一种碳纤维缠绕坩埚及其制备方法 | |
| CN104911696A (zh) | 一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法 | |
| CN115231938A (zh) | 碳/碳复合材料刹车盘的制备方法 | |
| CN106145989A (zh) | 一种多晶铸锭炉热场用盖板的制备方法 | |
| CN108129155B (zh) | 一种复合结构炭-炭保温筒及其制备方法 | |
| CN1887804A (zh) | 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法 | |
| CN113862773A (zh) | 一种长寿命导流筒及其制备方法 | |
| CN102828235A (zh) | 一种单晶硅直拉炉用反射板的制备方法 | |
| CN114455969B (zh) | 一种含有氧化铝涂层的高密度C/C-SiC复合材料坩埚 | |
| CN114455963B (zh) | 一种含有α-Al2O3涂层的炭/炭-碳化硅复合材料坩埚 | |
| CN115368155B (zh) | 一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法及应用 | |
| CN204727982U (zh) | 一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒 | |
| CN114232074B (zh) | 一种石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料导流筒及其制备方法 | |
| CN202164379U (zh) | 含涂层的SiC复合坩埚 | |
| CN102260901A (zh) | 含涂层的SiC复合坩埚及制备法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| AD01 | Patent right deemed abandoned | ||
| AD01 | Patent right deemed abandoned |
Effective date of abandoning: 20200626 |