CN103165404A - 扩展装置及部件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够使粘接带在晶片粘贴区域中更有效地扩张，从而能够高精度地拾取部件的扩展装置及使用了该扩展装置的部件的制造方法。扩展装置(1)中，将粘接带(2)的包括粘贴有晶片(4)的部分在内的中央的第一部分载置在加热台(5)的上表面上，以包围加热台(5)的外周缘的方式配置非加热环(12)，在非加热环(12)的上表面载置隔热件(11)，粘接带(2)的第一部分外侧的第二部分位于上述隔热件(11)上，比第二部分靠外侧的第三部分由保持装置(14)保持，通过驱动装置(M)能够将保持装置(14)相对于加热台(5)及非加热环(12)沿上下方向驱动。

Description

扩展装置及部件的制造方法

技术领域

本发明涉及用于使单面粘贴有晶片的粘接带扩张的扩展装置(expanddevice)及使用了该扩展装置的部件的制造方法。

背景技术

以往，为了提高电子部件的批量生产率，而广泛使用粘接带。更具体而言，首先，在粘接带的单面上粘贴晶片。接着，通过切割将晶片分割成多个方形小片即部件。然后，使粘接带扩张，来扩大部件间的间隔。接着，拾取(pick up)各部件。

作为使上述那样的粘接带扩张的装置，提出有各种扩展装置。例如，在下述的日本特开2007-81352号公报中公开有图8所示的扩展装置。在扩展装置1001中，在加热台1002上载置有粘接带1003。虽然未图示，但在粘接带1003上粘贴有需要被分割的晶片。

粘接带1003的外周缘粘贴于上侧扩张环1004的上表面。将粘贴有粘接带1003的上侧扩张环1004载置在下侧扩张环1005上。

在对未图示的晶片进行切割之后，使粘接带1003如箭头A所示那样朝向外侧扩展。由此，使晶片分割后的部件彼此的间隔扩大。

在扩展装置1001中，为了使粘接带1003的扩张容易，通过加热台1002对粘接带1003进行加热。加热台1002固定在轴1006的上端。轴1006经由未图示的其它构件与下侧扩张环1005连结。上述的构件由于在机械强度上有所要求，因而由金属等构成。因此，加热台1002的热量沿着轴1006从下侧扩张环1005传导到上侧扩张环1004。其结果是，在粘接带1003中，不仅粘贴有晶片的区域被加热，而且与上侧扩张环1004接触的外周缘附近的区域也被加热。因而，在粘接带1003的比晶片粘贴区域靠外侧的区域中，粘接带1003也被扩张。另外，尤其在上侧扩张环1004中，与轴1006连接的连接部分比其它部分温度高。因该温度差而使粘接带1003难以各向相同地扩张，从而存在扩张程度不均这样的问题。因此，存在粘接带1003在中央的晶片粘贴区域中难以充分地扩张这样的问题。因此，难以使部件间的间隔均等且充分地扩大，从而难以可靠地拾取部件。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够使粘接带在晶片粘贴区域中更有效地扩张，从而能够高精度地拾取部件的扩展装置及使用了该扩展装置的部件的制造方法。

本发明涉及的扩展装置具备加热台、非加热环、隔热件、保持装置、驱动装置。在加热台的上表面载置粘接带的包括粘贴有所述晶片的部分在内的中央的第一部分。非加热环以包围加热台的外周缘的方式配置。隔热件层叠在所述非加热环的上表面上。所述粘接带的所述第一部分的外侧的第二部分直接或间接地层叠在隔热件的上表面上。保持装置对粘接带的比上述第二部分靠外侧的第三部分进行保持。上述驱动装置是用于将所述加热台及非加热环相对于所述保持装置相对地沿上下方向驱动，来使粘接带扩张的装置。

在本发明涉及的扩展装置的某一特定的方面中，所述非加热环的上表面比所述加热台的上表面低，从而使所述粘接带不与所述非加热环的上表面接触。这种情况下，粘接带不易被非加热环直接加热。因此，能够进一步提高粘接带的第一部分处的扩张率。

在本发明涉及的扩展装置的另一特定的方面中，所述非加热环在上表面具有凹部，在该凹部内配置有框材，所述框材的上表面与所述非加热环的凹部外的上表面部分成为同一平面。这样，非加热环的上表面可以以与粘接带的下表面接触的方式构成。

在本发明涉及的扩展装置的另一特定的方面中，所述非加热环相对于所述加热台的外周缘隔开间隙配置。这种情况下，在非加热环上不易产生从加热台的外周缘传热引起的热移动。

在本发明涉及的扩展装置的另一特定的方面中，还具备将所述加热台和所述非加热环连结的连结构件，在该连结构件的一部分设置有第二隔热件。这种情况下，通过第二隔热件能够有效地抑制非加热环的温度上升。

在本发明涉及的扩展装置的另一特定的方面中，所述加热台的上表面为扩张后的多个部件所占有的区域以下的大小。这种情况下，能够有效地抑制比扩张后的多个部件所占有的区域靠外侧的区域的加热。

本发明涉及的部件的制造方法为使用了本发明的扩展装置的制造方法。本发明的制造方法包括下述的各工序。

在所述粘接带的上表面粘贴切断成各部件的晶片的工序。

以使所述粘接带的所述第一部分位于所述扩展装置的所述加热台上且使所述第二部分直接或间接地层叠在所述隔热件上的方式配置所述粘接带的工序。

通过所述驱动装置使所述加热台及所述非加热环相对于所述保持装置相对地向下方移动，来将多个所述部件彼此分隔的工序。

根据本发明涉及的扩展装置及其制造方法，由于框材经由隔热件层叠到非加热环上，因此从加热台向非加热环传递来的热量难以传递到隔热件的上方。因此，能够通过来自加热台的热量使第一部分有效地扩张，且能够抑制第二部分处的扩张。因此，能够使多个部件间的间隔充分扩大，且难以产生扩张程度的不均。因此，切割后能够高精度地拾取各部件。

附图说明

图1(a)是表示在本发明的第一实施方式中使用的扩展装置的主要部分的示意性的俯视图，图1(b)是该扩展装置的主视剖视图，图1(c)是将该扩展装置的主要部分放大而示出的局部剖开主视剖视图。

图2是用于说明在本发明的第一实施方式的扩展装置中的加热台上被切割且扩张前的多个部件的位置关系的示意性的俯视图。

图3是表示使用本发明的第一实施方式的扩展装置使粘接带扩张后的状态的主视剖视图。

图4是用于说明在本发明的第一实施方式的扩展装置中的加热台上被切割且扩张后的多个部件的位置关系的示意性的俯视图。

图5是用于说明扩张后将多个部件芯片从粘接带取出的工序的示意性的主视剖视图。

图6是表示使用了本发明的第一实施方式的扩展装置的扩张工序中的扩张率及框材的温度随时间的变化的图。

图7是用于说明第一实施方式的变形例涉及的扩展装置的局部剖开主视剖视图。

图8是表示现有的扩展装置的一例的局部剖开主视剖视图。

具体实施方式

以下，通过参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而使本发明更加清楚。

图1(b)是用于说明本发明的第一实施方式涉及的扩展装置的主视剖视图。扩展装置1是使粘接带2向径向外侧扩张的装置。粘接带2中，至少上表面由具有粘接性的合成树脂薄膜材料构成。

粘接带2具有圆形的平面形状。在粘接带2的上表面，且在该粘接带的外周缘附近固定有保持环3。在扩展装置1上如图示那样载置将上述粘接带2固定于保持环3的结构。

另外，粘接带2的上表面具备粘接性，粘接固定有晶片4。晶片4通过切割而被分割成多个部件4a。在本实施方式的扩展装置1中，如图1(b)所示，在粘接带2上粘接固定有已经切割了的晶片4这样的结构安置在扩展装置1上。

扩展装置1具有圆板状的加热台5。加热台5的平面形状没有限定为圆形，也可以为矩形等其它的形状。

在加热台5的下表面固定滚珠丝杠6的上端。

上述加热台5的上表面的面积以具有在使粘接带2扩张后多个部件4a所占有的区域的面积以下的面积的方式构成。然而，加热台5的上表面的面积也可以比使粘接带2扩张后多个部件4a所占有的区域的面积大。

上述加热台5起到对粘接带2进行加热的作用。由此，能够使位于加热台5的上表面的粘接带部分、即中央的第一部分处的粘接带2的扩张容易进行。加热台5由于是对粘接带2进行加热的构件，因此优选由金属等热传导性优良的材料构成。在本实施方式中，加热台5由金属构成。

在加热台5的下方以与加热台5的下表面对置的方式配置有支承板7。支承板7在中央具有螺纹孔，在该螺纹孔中拧入滚珠丝杠6。通过使支承板7绕滚珠丝杠6旋转，从而能够使加热台5沿上下方向移动。

其中，加热台5的下表面和支承板7的上表面通过沿着加热台5的周向配置的多根杆8连结。

支承板7是面积比加热台5的面积大的圆板状构件。支承板7由金属等刚性材料构成。由于优选机械强度优良且廉价，因此支承板7由金属构成。支承板7与加热台5同心地配置。另外，支承板7的面积比加热台5的面积大。

在上述支承板7的外周缘附近，在上表面竖立设置有多根连结杆9。多根连结杆9在支承板7的周向上均匀地分散配置。

上述连结杆9由金属构成，但也可以由其它的刚性材料形成。

需要说明的是，通过图1(a)清楚可知上述多根杆8及多根连结杆9的位置。图1(a)是扩展装置1中由保持装置14包围的内侧的部分的示意性的俯视图，在此，未载置粘接带2及晶片4。从图1(a)清楚可知，多根杆8及多根连结杆9分别在周向上均匀地分散配置。

如在图1(c)中将主要部分放大而示出的那样，在连结杆9的上端面层叠有第一隔热件10。在第一隔热件10上固定有非加热环12。非加热环12由金属构成，但也可以由其它刚性材料形成。为了强度高且尺寸稳定性优良，在本实施方式中，非加热环12由金属构成。

非加热环12的内周面与加热台5的外周面隔开间隙G。但是，非加热环12的内周面与加热台5的外周面也可以接触。优选设有上述间隙G。由此，如后述那样，能够抑制非加热环12的加热，从而能够进一步提高粘接带2的第一部分的扩张率。

非加热环12具有大致圆环状的形状，在上表面形成有凹部12a。凹部12a在非加热环12的上表面向径向外侧打开。在凹部12a的底面层叠有第二隔热件11。第二隔热件11与第一隔热件10同样，起到隔热作用。因此，可以由比非加热环12热传导性低的适当的隔热性材料形成。由于优选隔热性优良，因此期望第一、第二隔热件10、11由树脂构成。在本实施方式中，第一、第二隔热件10、11由玻璃环氧树脂构成。

另外，如图1(c)所示，第二隔热件11的上表面比非加热环12的上表面低。由此，能够将后述的框材13的一部分收纳在凹部12a内。由此，能够将框材13稳定地配置在非加热环12上。更优选圆环状的框材13的内径等于或稍小于非加热环12的凹部的环状垂直壁12b的直径。由此，能够使框材13与环状垂直壁12b密接。由此，能够防止框材13的位置错动。

框材13具有圆环状的形状。框材13的上表面与加热台5的上表面的高度位置相同。由此，如图1(b)所示，能够稳定地支承平坦的粘接带2。

上述框材13由金属等刚性材料构成。由于由金属等刚性材料构成，因此能够使框材13的上表面与加热台5的上表面准确地处于相同的高度位置。

上述框材13的上表面与粘接带2的第二部分的下表面接触。即，第二部分是指上述的粘接带2的位于第一部分的外侧的环状的区域。如上所述，第一部分是位于加热台5上的部分。第二部分是比加热台5的外周缘靠外侧的环状的区域。粘接带2在第二部分的外侧还具有环状的第三部分。在该第三部分，粘接带2与保持环3一起由保持装置14保持。保持装置14具有位于下方的第一保持构件14a和位于上方的第二保持构件14b。在第一、第二保持构件14a、14b之间夹持且固定有粘接带2的第三区域及保持环3。

保持装置14通过图1(b)中简图示出的驱动装置M而能够沿上下方向移动。即，保持装置14能够相对于加热台5及框材13、非加热环12独立地沿上下方向移动。

接着，对使用了上述扩展装置1的部件的制造方法的实施方式进行说明。

首先，如图1(b)所示，在扩展装置1上载置粘贴有切割完的晶片4的粘接带2。图2是该状态的俯视图，切割完的晶片4、即分割成多个部件4a的晶片4位于粘接带2的中央的区域。这多个部件4a所占有的区域比加热台5的上表面的面积小。接着，通过第二保持构件14b和第一保持构件14a，将粘接带2的外周缘部分和保持环3一起夹持固定。

然后，对驱动装置M进行驱动，使加热台5及框材13如图3所示那样相对于保持装置14向上方移动。由此，使位于粘接带2的内侧的第一部分向上方移动。因而，使粘接带2朝向径向外侧扩张。伴随于此，如图3所示，相邻的部件4a间的间隔被扩大。在图4中以俯视图示出该状态。如图4所示，部件4a间的间隔被扩大。多个部件4a所占有的区域比加热台5的上表面的面积稍小。优选扩张后的多个部件4a所占有的区域的面积为加热台5的上表面的面积以上。由此，能够促进小型化，并且能够有效地提高扩张率。

对于上述加热台5的上表面的面积而言，在加热台5的直径设为D时，优选D为扩张前的部件4a所占有的区域×扩张率×(2)^1/2以下。在该情况下，例如在扩张前的多个部件4a所占有的正方形的区域的一边的尺寸设为100mm，且扩张率需要为110％时，成为100mm×110(％)×(2)^1/2＝150mm。因此，加热台5的直径为150mm或其以下即可。

如上所述，当扩大相邻的部件4a间的间隙时，能够通过拾取装置更容易且效率良好地取出各部件4a。如上所述，扩展装置1是使多个部件4a间的间隔扩大的装置。

接着，如图5所示，将扩张后的粘接带2在上述第二部分切断。然后，如图5所示，将切断后的粘接带2与多个部件4a一起向上方取出。在取出时，将上述框材13也与粘接带2一起一体地取出。因此，能够使扩张后的粘接带2容易且可靠地向拾取装置侧移动。

在本实施方式的扩展装置1中，如上所述，通过对加热台5进行加热，由此能够容易使粘接带2扩张。在对加热台5进行加热时，经由由金属构成的滚珠丝杠6、支承板7及连结杆9向非加热环12及框材13侧传导热量。然而，由于第一、第二隔热件10、11存在于它们之间，因此框材13难以被加热。因而，第二部分处的粘接带2与第一部分处的粘接带2相比难以被扩张。因此，能够有效地提高第一部分处的扩张率。并且，也不易产生扩张率的不均。因此，多个部件4a间的各自不均也不易产生。

另外，在上述实施方式中，加热台5的外周面与非加热环12的内周面隔开间隙G。因此，由此也能够提高粘接带2的扩张率。根据本申请发明人的实验可以确认，在未设置上述间隙G的情况下，将粘接带的温度加热到42℃时的扩张率设为100％的话，则在设有尺寸为5mm的间隙G的情况下，即使将粘接带的温度加热到34.0℃，扩张率也能够提高为102％。

并且，如上所述，在此种扩展装置中，当将加热台加热时，与加热台连结的构件的温度也上升。因此，存在例如在非加热环等与粘接带2接近的构件的温度达到与加热台5相等之前，扩张率容易产生不均这样的问题。然而，在本实施方式的扩展装置1中，能够在开始加热加热台5后尽早的阶段减小扩张率的不均。

从图6清楚可知，当框材13的温度变高时，扩张率稍微降低。根据本申请发明人的实验，如以下这样。在加热台5的温度设为60℃时，在框材13的温度为38℃的情况下，将粘接带2的扩张率作为基准而设为100％。与此相对，可以确认若框材13的温度为25℃，则扩张率提高到103％。即，可知通过设置第一、第二隔热件10、11来抑制框材13的温度上升，从而能够有效地提高上述扩张率。需要说明的是，上述扩张率是指扩张后的晶片中的最远离的部件彼此之间的距离相对于扩张前的晶片中的最远离的部件彼此之间的距离的比例。

需要说明的是，在上述实施方式中，在非加热环12的下表面设有第一隔热件10，但也可以如图7所示那样，将第一隔热件10省略。但是，优选不仅设置第二隔热件11，还设置第一隔热件10。由此，能够更有效地抑制框材13的温度上升。

在上述实施方式中，第一隔热件10及第二隔热件11具有圆环状的形状，但也可以为其它的形状。例如，可以在非加热环12的上表面侧沿着周向将多个第二隔热件11分散配置。第一隔热件10也可以在非加热环12的下表面侧沿周向分散配置多个。

另外，在上述实施方式中，具备框材13，但也可以省略框材13。这种情况下，可以加厚第二隔热件11的厚度，将粘接带2的第二部分直接层叠在第二隔热件11的上表面上。

需要说明的是，在上述实施方式的制造方法中，在将粘接带2安置到扩展装置1上之前对晶片4进行了切割，但也可以在加热台5上载置粘贴有晶片4的粘接带2，在该状态下进行切割。

Claims (7)

1.一种扩展装置，其具备：

加热台，其在上表面载置粘接带的包括粘贴有晶片的部分在内的中央的第一部分；

非加热环，其以包围所述加热台的外周缘的方式配置；

隔热件，其层叠在所述非加热环的上表面上，所述隔热件上直接或间接地载置所述第一部分的外侧的第二部分；

保持装置，其对所述粘接带的比所述第二部分靠外侧的第三部分进行保持；

驱动装置，其将所述加热台及非加热环相对于所述保持装置相对地沿上下方向驱动而使所述粘接带扩张。

2.根据权利要求1所述的扩展装置，其中，

所述非加热环的上表面比所述加热台的上表面低，从而使所述粘接带不与所述非加热环的上表面接触。

3.根据权利要求1所述的扩展装置，其中，

所述非加热环在上表面具有凹部，在该凹部内配置有框材，所述框材的上表面与所述非加热环的凹部外的上表面部分成为同一平面。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的扩展装置，其中，

所述非加热环相对于所述加热台的外周缘隔开间隙配置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的扩展装置，其中，

还具备将所述加热台和所述非加热环连结的连结构件，在该连结构件的一部分设置有第二隔热件。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的扩展装置，其中，

所述加热台的上表面为扩张后的多个部件所占有的区域以下的大小。

7.一种部件的制造方法，使用权利要求1～6中任一项所述的扩展装置，所述部件的制造方法包括：

在所述粘接带的上表面粘贴切断成各部件的晶片的工序；

以使所述粘接带的所述第一部分位于所述扩展装置的所述加热台上且使所述第二部分直接或间接地层叠在所述隔热件上的方式配置所述粘接带的工序；

通过所述驱动装置使所述加热台及所述非加热环相对于所述保持装置相对地向下方移动，来将多个所述部件彼此分隔的工序。

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