JP5424133B2 - プレス機構及び接合装置 - Google Patents
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Description
図1及び図2に示すように、制御部により加圧機構24が駆動制御されて、ピストンロッド24Aが上方向に向って伸びる。これにより、下側台座部26と下側台座部26に設けられた複数の支持部28がピストンロッド24Aに押されるようにして上方向に向って移動する。
次に、制御部により真空ポンプが駆動制御され、各真空チャンバ62が真空状態になる。これにより、全ての真空チャンバ62の真空引きが実行される。
次に、各熱盤部40により加熱処理が実行される。各熱盤部40には、ヒータなどの熱源部44が内蔵されているため、制御部で熱源部44を駆動することにより、加熱処理が可能になる。熱盤部40の加熱処理は、略同時に実行される。なお、熱盤部26は温度調節器により280℃〜300℃に温度設定される。
貼り合せ用基材同士の圧接が終了した後、貼り合せ用基材を冷却する。このとき、真空チャンバ62の真空度を所定値に維持した状態で冷却する。貼り合せ用基材の冷却は、各熱盤部40の内部に配置された冷却部46である冷却水路に冷却水を流すことにより、実行される。
次に、真空チャンバ62の真空状態を解除するために大気を入れ、全ての真空チャンバ62が大気開放される。
次に、各熱盤部40が下降する。この下降処理では、制御部により制御された加圧機構が下方向に移動する。これにより、第1段目の熱盤部40Aが下方向に移動するため、他の熱盤部40B、40C、40D、40Eも下方向に移動する。
(T−2×D)≧X ………(式1)
を具備するように設定されている。
次に、上記した各実施形態の作用効果の根拠なるための実験例を説明する。
12 台座部
14 支持部
16 熱盤部
20 接合装置
24 加圧機構
26 下側台座部(台座部)
28 支持部
30 上側台座部(台座部)
32 支持部
40A 第1段目の熱盤部(熱盤部)
40B 第2段目の熱盤部(熱盤部)
40C 第3段目の熱盤部(熱盤部)
40D 第4段目の熱盤部(熱盤部)
40E 第5段目の熱盤部(熱盤部)
44 熱源部
46 冷却部
48 加熱用穴部(穴部)
50 冷却用穴部(穴部)
52 穴部
54 ダミー穴部(穴部)
62A 真空チャンバ
62B 真空チャンバ
62C 真空チャンバ
62D 真空チャンバ
Claims (4)
- 加圧機構により所定の荷重が付与される台座部と、
加熱手段及び冷却手段を備え、前記台座部に付与された荷重が加圧力として作用する熱盤部と、
を有するプレス機構であって、
前記熱盤部には、前記加熱手段を導くために使用する加熱用穴部と、前記冷却手段を導くために使用する冷却用穴部と、を含む複数の穴部が形成され、
前記複数の穴部を構成する全ての前記穴部が前記熱盤部の厚み方向に沿った同じ位置で、かつ前記熱盤部の厚み方向に対して直交する方向に並んで設けられており、
前記熱盤部を厚み方向に切断したときの前記穴部の断面積が全て同じ面積であり、かつ前記熱盤部の厚み方向に対して直交する方向に隣接する前記穴部同士の中心間距離が同じ距離であり、
前記複数の穴部は、全て円穴であり、
前記熱盤部の厚み方向に対して直交する方向に隣接する前記穴部同士の中心間距離をX、前記熱盤部の厚みをT、前記複数の穴部の直径をDとした場合に、
(T−2×D)≧X ………(式1)
を具備することを特徴とするプレス機構。 - 複数の穴部は、前記加熱用穴部および前記冷却用穴部の他に、ダミーとなる空洞の穴部を有することを特徴とする請求項1に記載のプレス機構。
- 前記加熱手段は、ヒータであり、
前記冷却手段は、冷却水であり、
前記加熱用穴部は、前記ヒータを通すための穴部であり、
前記冷却用穴部は、前記冷却水を流すための穴部であることを特徴とする請求項1に記載のプレス機構。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のプレス機構を備え、
前記プレス機構による熱圧着により貼り合せ用基材同士を接合することを特徴とする接合装置。
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