KR20180027515A

KR20180027515A - 가압 장치 및 그것을 구비한 개편화 장치, 수지 성형 장치, 디바이스 제조 장치, 및 가압 방법 및 그것을 포함하는 개편화 방법, 수지 성형 방법, 디바이스 제조 방법

Info

Publication number: KR20180027515A
Application number: KR1020187000971A
Authority: KR
Inventors: 히로키 오와리; 마사노리 시라사와; 히데오 이치하시
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2015-07-08
Filing date: 2016-06-07
Publication date: 2018-03-14
Also published as: TW201713485A; JP2017019143A; JP6625838B2; KR102128301B1; WO2017006682A1; CN107848165A; TWI583532B

Abstract

가압 장치는, 교대로 적층하여 배치된 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물에 가압력을 가하는 가압원을 구비한 가압 장치로서, 상기 복수의 가압 플레이트는, 제1의 가압 플레이트와, 제2의 가압 플레이트와, 제3의 가압 플레이트를 포함하고, 상기 가압 장치는, 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이를 확개(擴開)하는 것이 가능하고, 또한, 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이를 확개하는 것이 가능한 개폐 기구를 또한 구비한다. 한 쌍의 가압 플레이트에 의해 각각 끼여진 복수의 피가압물이 가압된다.

Description

가압 장치 및 그것을 구비한 개편화 장치, 수지 성형 장치, 디바이스 제조 장치, 및 가압 방법 및 그것을 포함하는 개편화 방법, 수지 성형 방법, 디바이스 제조 방법

본 발명은, 가압 장치 및 그것을 구비한 개편화(個片化) 장치, 수지 성형 장치, 디바이스 제조 장치, 및 가압 방법 및 그것을 포함하는 개편화 방법, 수지 성형 방법, 디바이스 제조 방법에 관한 것이다.

가열로(加熱爐) 중에서, 피가압물을 일정 시간 가압 유지함에 의해, 피가압물의 휘어짐을 교정하는 장치가 종래로부터 존재한다.

가열한 가압 플레이트에 의해 피가압물의 양면을 끼우고, 일정 시간 가압 유지함에 의해, 피가압물의 휘어짐을 교정하는 장치도 종래로부터 존재한다.

일본 특개평08-112827호 공보

종래의 피가압물의 휘어짐 교정 장치는, 도 11에 도시하는 바와 같이, 피가압물(20A, 20B, 20C)마다, 상/하단(上/下段)의 가압 플레이트(11A/12A, 11B/12B, 11C/12C)를 설치하고, 각각 화살표(A, B, C) 방향으로 가압하는 것을 필요로 한다. 따라서 처리 능력을 늘리려고 하면, 상하단의 가압 플레이트로 이루어지는 가압 기구를 수평 방향 또는 수직 방향으로 나열하도록 증설할 필요가 있고, 피가압물의 수에 대응한 가압 기구가 필요(에너지 효율 저하)하고, 그들을 설치하기 위한 면적 및 높이도 필요(스페이스 효율 저하)하다.

본 발명은, 상기한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 에너지 절약, 공간 절약이 가능한 가압 장치 및 가압 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명에 관한 가압 장치는, 교대로 적층하여 배치된 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물에 가압력을 가하는 가압 기구를 구비한 가압 장치로서, 상기 복수의 가압 플레이트는, 제1의 가압 플레이트와, 제2의 가압 플레이트와, 제3의 가압 플레이트를 포함하고, 상기 가압 장치는, 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이를 확개(擴開, spread)하는 것이 가능하고, 또한, 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이를 확개하는 것이 가능한 개폐 기구를 또한 구비한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 장치에서, 상기 개폐 기구는, 상기 복수의 가압 플레이트 중 임의의 가압 플레이트를 유지하는 것이 가능한 암과, 상기 임의의 가압 플레이트를 유지한 상기 암을, 상기 피가압물을 끼우고 상기 임의의 가압 플레이트에 대향하는 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 기구와, 상기 다른 가압 플레이트에 대해, 상기 암의 이동 방향이란 역방향으로 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가하는 것이 가능한 구동 기구를 포함한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 장치에서, 상기 구동 기구는, 상기 암에 고정된다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 장치에서, 상기 구동 기구는, 상기 이동 기구에 고정된다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 장치에서, 상기 복수의 가압 플레이트 및 상기 복수의 피가압물은 연직 방향에 따라 나열하도록 배치되고, 상기 가압 장치는, 중력(重力)에 의한 상기 복수의 피가압물에 대한 가압력의 편차를 억제하는 기구를 또한 구비한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 장치에서, 상기 복수의 가압 플레이트 및 상기 복수의 피가압물은 수평 방향에 따라 나열하도록 배치된다.

본 발명에 관한 개편화(個片化) 장치는, 상술한 가압 장치와, 상기 가압 장치에 의해 가압된 워크를 개편화하는 개편화 유닛을 구비한다.

본 발명에 관한 수지 성형 장치는, 수지 성형 유닛과, 상기 수지 성형 유닛에 의해 수지 성형된 워크를 가압하는, 상술한 가압 장치를 구비한다.

본 발명에 관한 디바이스 제조 장치는, 수지 성형 유닛과, 상기 수지 성형 유닛에 의해 수지 성형된 워크를 가압하는, 상술한 가압 장치와, 상기 가압 장치에 의해 가압된 워크를 개편화하는 개편화 유닛을 구비한다.

본 발명에 관한 가압 방법은, 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물을 교대로 적층하는 공정과, 교대로 적층하여 배치된 상기 복수의 가압 플레이트와 상기 복수의 피가압물에 가압력을 가하는 공정과, 상기 복수의 피가압물 중, 적어도 하나의 피가압물에 대한 가압력을 없애고, 상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정을 구비한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 방법에서, 상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정은, 상기 복수의 가압 플레이트 중 임의의 가압 플레이트를 유지하는 것과, 상기 피가압물을 끼우고 상기 임의의 가압 플레이트에 대향하는 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘을 가하는 것과, 상기 임의의 가압 플레이트를 상기 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것을 포함한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정에서, 상기 임의의 가압 플레이트는 암에 의해 유지되고, 상기 암에 고정된 구동 기구에 의해 상기 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘으로서 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정에서, 상기 임의의 가압 플레이트를 상기 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구에 고정된 구동 기구에 의해 상기 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘으로서 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 방법에서, 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물은 연직 방향에 따라 나열하도록 교대로 적층되고, 중력에 의한 상기 복수의 피가압물에 대한 가압력의 편차를 억제하기 위한 힘을 상기 복수의 가압 플레이트의 적어도 일부에 가한다.

하나의 실시 양태에서는, 상기 가압 방법에서, 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물은 수평 방향에 따라 나열하도록 교대로 적층된다.

본 발명에 관한 개편화 방법은, 상술한 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물을 가압하는 공정과, 상기 가압 방법에 의해 가압된 상기 복수의 피가압물을 개편화하는 공정을 구비한다.

본 발명에 관한 수지 성형 방법은, 복수의 워크를 수지 성형하는 공정과, 상술한 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물로서의 상기 복수의 워크를 가압하는 공정을 구비한다.

본 발명에 관한 디바이스 제조 방법은, 복수의 워크를 수지 성형하는 공정과, 상술한 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물로서의 상기 복수의 워크를 가압하는 공정과, 상기 가압 방법에 의해 가압된 상기 복수의 워크를 개편화하는 공정을 구비한다.

본 발명에 의하면, 다른 피가압물에 대한 가압력을 유지한 상태에서 임의의 피가압물의 공급이나 취출이 가능하고, 또한, 에너지 절약, 공간 절약이 가능한 가압 장치 및 가압 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 가압 장치의 제1의 상태를 도시하는 모식도.
도 2는 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 가압 장치의 제2의 상태를 도시하는 모식도.
도 3은 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 가압 장치의 제3의 상태를 도시하는 모식도이다.
도 4는 도 1∼도 3에 도시하는 가압 장치에서의 가압 플레이트와 피가압물 주변의 구조를 도시하는 도면.
도 5는 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 가압 장치의 제1의 상태를 도시하는 모식도.
도 6은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 가압 장치의 제2의 상태를 도시하는 모식도이다.
도 7은 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 가압 장치의 제3의 상태를 도시하는 모식도.
도 8은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 가압 장치의 제1의 상태를 도시하는 모식도.
도 9는 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 가압 장치의 제2의 상태를 도시하는 모식도.
도 10은 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 가압 장치의 제3의 상태를 도시하는 모식도.
도 11은 종래의 가압 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 도면.

이하에, 본 발명의 실시의 형태에 관해 설명한다. 또한, 동일 또는 상당하는 부분에 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 설명을 반복하지 않는 경우가 있다.

또한, 이하에 설명하는 실시의 형태에서, 개수, 양(量) 등에 언급하는 경우, 특히 기재가 있는 경우를 제외하고, 본 발명의 범위는 반드시 그 갯수, 양 등으로 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시의 형태에서, 각각의 구성 요소는, 특히 기재가 있는 경우를 제외하고, 본 발명에서 반드시 필수의 것은 아니다.

후술하는 실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치는, 교대로 배치된 복수의 가압 플레이트(10)(11∼14)와 복수의 피가압물(20)(21∼23)에 가압력을 가하는 가압 기구(30)를 구비하는 것이다. 피가압물(20)의 예로서, 반도체 칩이 수지 밀봉된 프린트 기판(밀봉완료 기판), 유리에폭시 기판 등의 수지제(樹脂製) 기판, 세라믹 기판(ceramic substrate), 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), SiC 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼(semiconductor wafer), 유리재(材)를 들 수 있다. 또한, 피가압물(20)의 예로서는, 수지제 기판을 모재(母材)로 하는 프린트 기판(printed wiring board)을 들 수 있다.

실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치에서는, 교대로 배치된 복수의 가압 플레이트(10)(11∼14)와 복수의 피가압물(20)(21∼23)에 가압력을 가하기 위해, 하나의 가압 기구(30)로 복수의 피가압물을 가압할 수 있다. 이 결과, 에너지 절약, 공간 절약이 가능해진다.

복수의 피가압물(20) 중, 일부의 피가압물만을 취출하고, 다른 피가압물에는 가압력을 계속 부가하고 싶은 경우가 있다. 복수의 피가압물(20)(21∼23)에서 하나의 가압 기구(30)를 공유하고 있는 경우, 이러한 요청에 응하기 위해, 특별한 구성을 마련할 필요가 있다.

실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치에서는, 개폐 기구(40)에 의해, 복수의 피가압물(21∼23) 중, 예를 들면 피가압물(22)에 대한 가압력만을 제거 가능하게 하고 있다. 이에 의해, 피가압물(21, 23)에의 가압력은 유지한 채로 피가압물(22)을 취출하는 것이 가능하다.

(실시의 형태 1)

도 1∼도 3은, 각각, 본 발명의 실시의 형태 1에 관한 가압 장치의 제1의 상태에서 제3의 상태를 도시하는 모식도이다.

도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 복수의 피가압물(20)(21∼23)을 가압한다. 각 피가압물(20)은, 수평 방향에 거의 따라서, 환언하면, 각 피가압물(20)의 주면(主面)(도 1의 지면상(紙面上)에서의 상면 및 하면)이 수평면에 거의 따라서, 배치된다. 더하여, 각 피가압물(20)은, 연직 방향에 따라 나열하도록 배치된다. 본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 연직 방향에 따라 교대로 적층하여 배치된 복수의 가압 플레이트(10)(11∼14)와 복수의 피가압물(20)(21∼23)에 가압력을 가하는 가압 기구(30)와, 복수의 피가압물(20) 중, 피가압물(22)에 대한 가압력을 없애는 것이 가능한 개폐 기구(40)와, 중력에 의한 복수의 피가압물(20)에 대한 가압력의 편차를 억제하기 위한 자중(自重) 캔슬 기구(50)를 포함한다. 이하, 보다 상세히 설명한다.

본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 복수의 피가압물(20)을 연직 방향으로 동시에 가압하는 것이다. 가장 위에 배치된 피가압물(21)을 끼우기 위해, 상하 방향으로 나열하도록 가압 플레이트(11, 12)가 마련된다.

위로부터 2번째의 피가압물(22)은, 가장 위의 피가압물(21)을 끼워지지(挾持)하기 위한 하단의 가압 플레이트(12)와, 또한 그 하단에 배치된 가압 플레이트(13)에 의해 끼워지지된다. 위로부터 3번째(가장 아래)의 피가압물(23)은, 위로부터 2번째의 피가압물(22)을 끼워지지하기 위한 하단의 가압 플레이트(13)와, 또 그 하단에 배치된 가압 플레이트(14)에 의해 끼워지지된다.

가압 기구(30)는, 가압 플레이트(11)의 상방에 마련된 가압원(加壓源)(31)과, 가압 플레이트(14)를 하방에서 유지하는 압받이반(壓受盤)(32)을 포함한다. 가압원(31)에 의해 최상단의 가압 플레이트(11)에 일정한 가압력이 가하여진다. 이 가압력은, 가압 플레이트(12, 13)와 피가압물(21∼23)을 통하여 최하단의 가압 플레이트(14)에 균등하게 전달된다.

개폐 기구(40)는, 복수의 가압 플레이트(10) 중 임의의 가압 플레이트를 유지하는 것이 가능한 개폐 암(41)과, 개폐 암(41)에 고정된 실린더 기구(42)와, 개폐 암(41) 및 실린더 기구(42)를 지지하는 베이스(43)와, 베이스(43)를 연직 방향으로 이동시키는 것이 가능한 볼 나사(43A)(이동 기구)를 구비한다.

개폐 암(41) 및 실린더 기구(42)는, 베이스(43)에 대해 연직 방향 및 수평 방향으로 슬라이드 이동 가능하다. 실린더 기구(42)는, 실린더 본체(42A)와, 플런저(42B)와, 개폐 암(42C)을 포함한다. 개폐 암(42C)은, 플런저(42B)에 고정되어 있다. 실린더(42A) 내의 유체압(에어압)에 의해, 플런저(42B) 및 개폐 암(42C)은 하향으로 가세된다. 개폐 암(41, 42C)은, 임의의 가압 플레이트(10)에 계합 가능하다.

자중 캔슬 기구(50)는, 각각 가압 플레이트(11∼13)용으로 각각 마련되어 있다. 가압 플레이트(11)용의 자중 캔슬 기구(51)는, 실린더(51A)와, 실린더(51A)의 유체압(에어압)을 제어하는 압력 제어 밸브(51B)와, 가압 플레이트(11)에 고정되고, 실린더(51A)에 의해 상방향으로 가세된 자중 캔슬용 폴(爪)(51C)을 포함한다.

마찬가지로, 가압 플레이트(12)용의 자중 캔슬 기구(52)는, 실린더(52A)와, 압력 제어 밸브(52B)와, 자중 캔슬용 폴(52C)을 포함한다. 가압 플레이트(13)용의 자중 캔슬 기구(53)는, 실린더(53A)와, 압력 제어 밸브(53B)와, 자중 캔슬용 폴(53C)을 포함한다. 최하단의 가압 플레이트(14)에 관해서는, 가압 플레이트(14)의 하방에 피가압물(20)이 존재하지 않기 때문에, 자중 캔슬 기구는 필요없다.

실린더(51A)는, 가압 플레이트(11)의 자중을 캔슬할 수 있을 만큼의 가세력을 자중 캔슬용 폴(51C)에 부가한다. 실린더(52A)는, 가압 플레이트(12) 및 피가압물(21)의 자중을 캔슬할 수 있을 만큼의 가세력을 자중 캔슬용 폴(52C)에 부가한다. 실린더(53A)는, 가압 플레이트(13) 및 피가압물(22)의 자중을 캔슬할 수 있을 만큼의 가세력을 자중 캔슬용 폴(53C)에 부가한다.

한 예로서, 가압 플레이트(10)의 자중은 1개당 30㎏, 피가압물(20)의 자중은 1개당 1㎏ 이하이고, 가압원(31)에 의한 가압력은 1000N(101.97㎏f)이다. 이 정도라면, 피가압물(20)의 자중을 무시하는 것이 가능하고, 압력 제어 밸브(51B, 52B, 53B)를 통합하여도 좋다.

도 1에 도시하는 상태로부터, 개폐 암(41) 및 실린더 기구(42)를 상하 방향 및 좌우 방향으로 슬라이드 이동시켜, 도 2에 도시하는 바와 같이, 개폐 암(41)을 가압 플레이트(12)에 계합시키고, 개폐 암(42C)을 가압 플레이트(13)에 계합시킨다. 이 상태에서, 실린더 본체(42A)에 의해 플런저(42B) 및 개폐 암(42C)에, 가압원(31)에 의한 가압력(A)과 동등한 가세력을 준다.

이에 의해, 개폐 암(42C)은, 가압원(31)에 의한 가압력(A)과 동등한 힘으로 가압 플레이트(13)를 하방으로 가세한다. 또한, 이 가세력의 반작용에 의해, 개폐 암(41)은, 가압원(31)에 의한 가압력(A)과 동등한 힘으로 가압 플레이트(12)를 상방으로 가세한다. 이에 의해 가압 플레이트(12, 13)에 끼워지지된 피가압물(22)에 작용하는 가압력은 거의 제로가 된다. 한편으로, 피가공물(21, 23)에는, 원래의 가압력(A)이 계속해서 인가되고 있다. 또한, 베이스(43)에 작용하는 연직 방향의 합력(合力)은, 거의 제로이다.

도 2에 도시하는 상태로부터, 볼 나사(43A)에 의해 베이스(43)를 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 도 3에 도시하는 바와 같이, 피가공물(22)의 상면과 가압 플레이트(12) 사이에 간극이 형성되고, 피가공물(22)을 취출하는 것 및 재공급하는 것이 가능해진다.

도 4는, 본 실시의 형태에 관한 가압 장치에서의 가압 플레이트(10)와 피가압물(20) 주변의 구조를 도시하는 도면이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 개폐 암(41, 42C)은, 가압 플레이트(10)를 좌우(도 4의 지면상에서의 좌우) 양측에 각각 2개씩 마련되어 있다. 또한, 자중 캔슬용 폴(53C)도 가압 플레이트(13)의 좌우 양측에 각각 2개씩 마련되어 있다.

또한, 도 4에서는 도시의 편의상, 가압 플레이트(13)의 자중 캔슬용 폴(53C)만을 도시했지만, 가압 플레이트(11, 12)에도 동일한 자중 캔슬용 폴이 마련되어 있다.

(실시의 형태 2)

도 5∼도 7은, 각각, 본 발명의 실시의 형태 2에 관한 가압 장치의 제1의 상태부터 제3의 상태를 도시하는 모식도이다. 도 5, 도 6, 도 7은, 실시의 형태 1에서의 도 1, 도 2, 도 3의 상태에 대응하는 것이다.

도 5∼도 7에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 실시의 형태 1에 관한 가공 장치의 변형례로서, 예를 들면 가압 플레이트(13)를 하향으로 가세하는 실린더 기구(42)를, 개폐 암(41) 베이스(43)에 고정한 것을 특징으로 한다.

본 실시의 형태에 관한 가압 장치도, 기본적으로, 실시의 형태 1에 관한 가압 장치와 마찬가지로 동작하기 때문에, 상세한 설명은 반복하지 않는다.

단, 본 실시의 형태에 관한 가압 장치에 의하면, 개폐 암(41)과 실린더 기구(42)가 베이스(43)에 대해 제각기 슬라이드 이동하기 때문에, 실린더 기구(42)의 개폐 암(42C)이 가압 플레이트(13)를 하향으로 가세하고 나서 개폐 암(41)이 가압 플레이트(12)를 상측으로 가세할 때까지 약간의 시간차가 생기는 경우가 있다. 이 시간차에 의해, 피가압물(23)에는, 일시적으로 가압력(A)의 2배의 가압력(도시된 가압력(A)과 개폐 암(42C)에 의한 가압력과의 합)이 작용한다. 예를 들면, 피가압물(20)이 유리판, 유리재 등의 취성 재료인 경우와 같이, 피가압물(23)이 2배의 가압력을 받는 것을 허용할 수 없는 경우가 있을 수 있다. 이 경우에는, 개폐 암(41)을 확실하게 가압 플레이트(12)에 계합시킨 후에 가압원(31)에 의한 가압력을 일단 완화하고, 개폐 암(41)을 하방으로 슬라이드 이동시키기 시작하고 나서, 가압원(31)에 의한 가압력을 본래로 되돌리는 것도 생각된다. 개폐 암(42C)의 슬라이드 이동(하강)과 개폐 암(41)의 슬라이드 이동(상승)이 실질적으로 동시에 실행되도록, 개폐 기구(40)를 제어하여도 좋다.

(실시의 형태 3)

도 8∼도 10은, 각각, 본 발명의 실시의 형태 3에 관한 가압 장치의 제1의 상태부터 제3의 상태를 도시하는 모식도이다. 도 8, 도 9, 도 10은, 실시의 형태 1에서의 도 1, 도 2, 도 3의 상태에 대응하는 것이다.

도 8∼도 10에 도시하는 바와 같이, 본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 실시의 형태 1에 관한 가공 장치의 변형례로서, 복수의 피가압물(20)(21∼23)을 가압한다. 각 피가압물(20)은, 연직 방향으로 거의 따라서, 환언하면, 그 주면(도 8의 지면상에서의 좌면 및 위면)이 연직면에 거의 따라서, 배치된다. 더하여, 각 피가압물(20)은, 수평 방향에 따라서 나열하도록 배치된다. 본 실시의 형태에 관한 가압 장치는, 복수의 가압 플레이트(10) 및 피가압물(20)이 수평 방향에 따라 교대로 적층하여 나열하도록 배치하고 있는 것을 특징으로 한다.

단, 본 실시의 형태에서는, 가압 플레이트(10) 및 피가압물(20)의 자중에 의한 가압력의 편차를 고려할 필요가 없기 때문에, 실시의 형태 1에서 마련되어 있던 자중 캔슬 기구(50)는 필요 없다.

(보충 설명)

상술한 실시의 형태 1∼3에서, 전형적으로는, 가압 플레이트(10)는, 가열 기구, 냉각 기구의 어느 하나를 갖고 있다. 가열 기구의 예로서는, 저항 가열, 전자유도 가열, 열매체를 사용하는 방식 등을 들 수 있다. 냉각 기구의 예로서는, 공냉, 액냉 등을 들 수 있다. 그러나, 피가압물(20)의 특성에 따라, 가열 기구, 공냉 기구를 사용하지 않는 경우도 있다.

상술한 실시의 형태 1∼3에서, 전형적으로는, 가압 플레이트(10)는, 피가압물(20)의 접촉부를 제외하고 단열재를 갖는다.

상술한 실시의 형태 1∼3에서, 피가압물(20)은, 수지 밀봉이 끝난 리드 프레임이나 수지재를 갖는 인터포우저라도 좋다.

상술한 실시의 형태 1∼3에서, 구동 기구인 실린더 기구(42)의 유체압은 에어압이라도 유압이라도 좋다. 또한, 구동 기구로서, 실린더 기구(42)에 대신하여 모터와 래크·앤드·피니언과의 조합, 모터와 볼 나사와 볼 너트와의 조합, 전동 리니어 액추에이터 등을 이용하여도 좋다.

실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치를 디바이스의 제조에 이용하는 경우에 있어서, 예를 들면, 복수의 워크를 수지 성형하고, 상술한 가압 장치를 이용하여 상기 복수의 피가압물(20)로서의 워크를 가압하여 휘어짐을 교정하고, 가압된 복수의 워크를 개편화한다. 예를 들면, 반도체 칩, LED 칩 등이 수지 밀봉된 복수장의 밀봉완료 기판(수지 성형된 워크에 상당한다)을, 상술한 가압 장치를 이용하여 가압하여 휘어짐을 교정한다. 휘어짐이 교정된 복수의 밀봉완료 기판을, 순차적으로 개편화한다. 이에 의해, 제품인 반도체 디바이스, LED 패키지 등이 제조된다. 상술한 가압 장치(가압 유닛)를 개편화 유닛에 연결하여, 가압 장치를 개편화 장치에 조립하여도 좋다. 상술한 가압 장치(가압 유닛)와 개편화 유닛을 연결하여, 가압 유닛과 개편화 유닛을 디바이스 제조 장치에 조립하여도 좋다.

실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치는, 수지제 기판, 프린트 기판을 제조할 때에 사용되는 핫 프레스 장치, 휘어짐 교정 장치 등에 채용된다. 상술한 가압 장치는, 합판, 화장판을 제조할 때에 사용된 핫 프레스 장치, 휘어짐 교정 장치 등에 채용된다. 더하여, 상술한 가압 장치는, 유동성 수지를 함침시킨 섬유상(纖維狀) 부재를 가압 및 가열하여, 유동성 수지를 경화시킴에 의해 성형품을 제조할 때에 이용되는 수지 성형 장치, 휘어짐 교정 장치 등에 채용된다. 상술한 가압 장치(가압 유닛)를 수지 성형 유닛에 연결하여, 가압 유닛을 수지 성형 장치에 조립하여도 좋다.

(작용 효과)

실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치에서는, 최상단의 가압 플레이트(11)에 일괄하여 압력을 공급하기 때문에, 에너지 효율이 좋다.

또한, 실시의 형태 1, 2에 관한 가압 장치에서는, 피가압물(20)의 수(數)가 증가하여도, 전유 면적이 증대하는 일이 없다. 다른 한편, 실시의 형태 3에 관한 가압 장치에서는, 중량을 상계시키는 자중 캔슬 기구(50)를 마련할 필요가 없다.

또한, 가압 플레이트(10)는, 피가압물(20)의 수량에 1장분 추가한 매수만큼 설치하면 좋기 때문에, 피가압물 1장마다 2장의 가압 플레이트를 마련하고 있던 종래례에 비하여, 설비 투자액을 억제할 수 있다.

또한, 실시의 형태 1∼3에 관한 가압 장치에서는, 개폐 기구(40)의 동작역(動作域)이 최소화됨에 의해, 열손실을 작게 할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시의 형태에 관해 설명하였지만, 금회 개시된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 청구의 범위에 의해 나타나고, 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

10∼14 : 가압 플레이트
20∼23 : 피가압물
30 : 가압 기구
31 : 가압원
32 : 압받이반
40 : 개폐 기구
41 : 개폐 암
42 : 실린더 기구
42A : 실린더 본체
42B : 플런저
42C : 개폐 암
43 : 베이스
50∼53 : 자중 캔슬 기구
51A, 52A, 53A : 실린더
51B, 52B, 53B : 압력 제어 밸브
51C, 52C, 53C : 자중 캔슬용 폴

Claims

교대로 적층하여 배치된 복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물에 가압력을 가하는 가압 기구를 구비한 가압 장치로서,
상기 복수의 가압 플레이트는, 제1의 가압 플레이트와, 제2의 가압 플레이트와, 제3의 가압 플레이트를 포함하고,
상기 가압 장치는, 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이를 확개하는 것이 가능하고, 또한, 상기 제2의 가압 플레이트와 상기 제3의 가압 플레이트 사이의 가압력을 유지한 채로 상기 제1의 가압 플레이트와 상기 제2의 가압 플레이트 사이를 확개하는 것이 가능한 개폐 기구를 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제1항에 있어서,
상기 개폐 기구는,
상기 복수의 가압 플레이트 중 임의의 가압 플레이트를 유지하는 것이 가능한 암과,
상기 임의의 가압 플레이트를 유지한 상기 암을, 상기 피가압물을 끼우고 상기 임의의 가압 플레이트에 대향하는 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것이 가능한 이동 기구와,
상기 다른 가압 플레이트에 대해, 상기 암의 이동 방향이란 역방향으로 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가하는 것이 가능한 구동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제2항에 있어서,
상기 구동 기구는, 상기 암에 고정되는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제2항에 있어서,
상기 구동 기구는, 상기 이동 기구에 고정되는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 가압 플레이트 및 상기 복수의 피가압물은 연직 방향에 따라 나열하도록 배치되고,
상기 가압 장치는, 중력에 의한 상기 복수의 피가압물에 대한 가압력의 편차를 억제하는 기구를 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 가압 플레이트 및 상기 복수의 피가압물은 수평 방향에 따라 나열하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 가압 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 가압 장치와,
상기 가압 장치에 의해 가압된 워크를 개편화하는 개편화 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 개편화 장치.
수지 성형 유닛과,
상기 수지 성형 유닛에 의해 수지 성형된 워크를 가압하는, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 가압 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 수지 성형 장치.
수지 성형 유닛과,
상기 수지 성형 유닛에 의해 수지 성형된 워크를 가압하는,
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 가압 장치와,
상기 가압 장치에 의해 가압된 워크를 개편화하는 개편화 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 장치.
복수의 가압 플레이트와 복수의 피가압물을 교대로 적층하는 공정과,
교대로 적층하여 배치된 상기 복수의 가압 플레이트와 상기 복수의 피가압물에 가압력을 가하는 공정과,
상기 복수의 피가압물 중, 적어도 하나의 피가압물에 대한 가압력을 없애고, 상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제10항에 있어서,
상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정은,
상기 복수의 가압 플레이트 중 임의의 가압 플레이트를 유지하는 것과,
상기 피가압물을 끼우고 상기 임의의 가압 플레이트에 대향하는 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘을 가하는 것과,
상기 임의의 가압 플레이트를 상기 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제11항에 있어서,
상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정에서,
상기 임의의 가압 플레이트는 암에 의해 유지되고,
상기 암에 고정된 구동 기구에 의해 상기 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘으로서 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제11항에 있어서,
상기 적어도 하나의 피가압물을 취출하는 공정에서,
상기 임의의 가압 플레이트를 상기 다른 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구에 고정된 구동 기구에 의해 상기 다른 가압 플레이트에 상기 임의의 가압 플레이트로부터 떨어지는 방향의 힘으로서 상기 가압력과 동등한 크기의 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 가압 플레이트와 상기 복수의 피가압물은 연직 방향에 따라 나열하도록 교대로 적층되고,
중력에 의한 상기 복수의 피가압물에 대한 가압력의 편차를 억제하기 위한 힘을 상기 복수의 가압 플레이트의 적어도 일부에 가하는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 가압 플레이트와 상기 복수의 피가압물은 수평 방향에 따라 나열하도록 교대로 적층되는 것을 특징으로 하는 가압 방법.
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물을 가압하는 공정과,
상기 가압 방법에 의해 가압된 상기 복수의 피가압물을 개편화하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 개편화 방법.
복수의 워크를 수지 성형하는 공정과,
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물로서의 상기 복수의 워크를 가압하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
복수의 워크를 수지 성형하는 공정과,
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 가압 방법에 의해 상기 복수의 피가압물로서의 상기 복수의 워크를 가압하는 공정과,
상기 가압 방법에 의해 가압된 상기 복수의 워크를 개편화하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 방법.