CN102437830A - 弹性波器件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种抑制传输频带上的频率特性的平坦性的劣化，且ESD耐性优异的弹性波器件。在从电极指(12)、(12)的交叉区域起离开汇流条(11)侧的位置，在彼此相邻的IDT电极(1)、(1)间及彼此相邻的IDT电极(1)和栅状反射器(2)之间，分别设有第一浮置虚设电极(16)、(16)及第二浮置虚设电极(18)，将这些浮置虚设电极(16)、(18)设计为从其他部位电浮置的状态，并且，以与IDT电极(1)上的电极指(12)的排列图案相对应的方式形成这些浮置虚设电极(16)、(18)。

Description

弹性波器件

技术领域

本发明涉及具备IDT(叉指式换能器，interdigitated transducer)电极的弹性波器件。

背景技术

近年来，随着便携式电话等通信设备使用的频带的高频化(高域化)，对该通信设备上搭载的SAW(Surface Acoustic Wave，表面弹性波，声表面波)滤波器或者SAW双工器等弹性波器件也提出了高频化要求。因此，在该通信设备上搭载的例如图18所示的纵模谐振器型滤波器中，IDT(叉指式换能器)电极102上的电极指100、100间的尺寸变得非常狭窄(传播的弹性波的波长短)。

这样随着电极指100、100之间的分离尺寸变窄，静电放电(ESD：Electrostatic Discharge)等高电压例如发生在互相相邻的电极指100、100之间时，电流就很容易从这些电极指100、100之间流过。另外，由于在相互间电位不同的部位例如两个IDT电极102、102之间，如图18的下侧所示，产生电容成分C，因此，随着该IDT电极102、102之间的分离尺寸(弹性波的波长)变小，电容成分C变大，容易通过ESD通电。

于是，对于IDT电极102，公开有为了抑制ESD发生的通电，例如使电流容易流过的边缘部带有圆度的方法，但是抑制器件的静电击穿依然困难。另外，去掉两个IDT电极102、102中互相相邻的电极指100、100中的一个，即，使IDT电极102、102分离的情况下，就会形成弹性波不被激励的区域，由于寄生(spurious)(信号强度部分地增减)的发生，传输频带上的频率特性的平坦性就会变差。

在专利文献1中，记载有通过将第二电极指24a的前端部25延伸到假想延长线18上，将第一汇流条12和第三汇流条32之间的距离L2加长，提高这些汇流条12、32间的ESD耐性的技术，但对于第二电极指24和第三汇流条32之间的ESD并未言及。另外，如专利文献1所述，将电极指14、24之间的交叉宽度设为比汇流条12、22之间的分离尺寸(开口长度)短的情况下，在第二电极指24和与该第二电极指24相邻的第四虚设电极指46之间，弹性波被激励，产生不需要的纵模寄生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2009-38718(段落0025～0026、图3)

发明内容

发明要解决的课题

本发明基于这样的情况而完成，其目的在于提供一种抑制传输频带中的频率特性的平坦性的劣化，同时ESD耐性优异的弹性波器件。

本发明的弹性波器件，其特征在于：

在共用的压电基板上，形成沿着弹性波的传播方向相互分离排列的多个IDT电极，和以从弹性波的传播方向的两侧夹着这些多个IDT电极的方式配置的栅状反射器，

上述多个IDT电极各自具备与信号端口和接地端口的一方和另一方分别连接的一对汇流条，和从这些汇流条的各个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，并且，设定每个IDT电极的电极指的排列图案和彼此相邻的IDT电极之间的分离尺寸，使得这些IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

上述栅状反射器各自具备分别沿着上述电极指的长度方向伸出并在弹性波的传播方向相互分离配置的多根栅状电极指，和分别连接这些栅状电极指的各个的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，并且，以上述栅状电极指的排列及与相邻于各栅状反射器的IDT电极之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式形成，

在彼此相邻的两个IDT电极中的一侧的IDT电极中，将与另一侧的IDT电极相邻的电极指称为第一端部电极指时，在该一侧的IDT电极的一对汇流条中与连接有上述第一端部电极指的汇流条相对的汇流条，以上述另一侧的IDT电极侧的端部与上述第一端部电极指的前端部的延长区域相比更靠上述一侧的IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制在上述一侧的IDT电极和上述另一侧的IDT电极之间电位不同的部位相互间的静电击穿，在上述延长区域形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第一浮置虚设电极，

该第一浮置虚设电极以宽度尺寸和该第一浮置虚设电极的两侧的IDT电极之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式分别形成，并且，成为从上述多个IDT电极、上述信号端口、上述接地端口和上述栅状反射器分别电浮置的状态。

作为上述弹性波器件的具体的方式，也可以如下构成。

其构成为：在与上述栅状反射器相邻的IDT电极中，将与该栅状反射器相邻的电极指称为第二端部电极指时，在该相邻的IDT电极的一对汇流条中与连接有上述第二端部电极指的汇流条相对的汇流条，以上述栅状反射器侧的端部与上述第二端部电极指的前端部的延长区域相比更靠上述相邻的IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制在上述栅状反射器和上述相邻的IDT电极之间的静电击穿，在上述第二端部电极指的延长区域，形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第二浮置虚设电极，

该第二浮置虚设电极以宽度尺寸和与上述相邻的IDT电极及栅状反射器之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式分别形成，并且成为从上述多个IDT电极、上述信号端口、上述接地端口、上述栅状反射器和上述第一浮置虚设电极分别电浮置的状态。

其构成为：为了使上述IDT电极侧的至少一根栅状电极指上的两端部从上述栅状汇流条断开而形成浮置反射器，该栅状汇流条以分别连接从上述IDT电极的相反侧的端部的栅状电极指到比上述至少一根栅状电极指更靠该端部侧一根的栅状电极指的一端侧和另一端侧的方式配置，取代分别连接上述栅状电极指的各个的一端侧和另一端侧的结构。

其构成包括：上述多个IDT电极分别具备虚设电极指，上述虚设电极指以面向从这些汇流条伸出的电极指各自的前端部的方式，从与该汇流条相对的汇流条分别伸出，使得与作为一对汇流条间的尺寸的开口长度相比，从一对汇流条中的一侧的汇流条伸出的电极指和以与该电极指相邻的方式从另一侧的汇流条伸出的电极指交叉的交叉宽度在弹性波的传播方向较小，

上述第一浮置虚设电极在从弹性波的传播方向看时，形成为跨越与上述第一端部电极指的前端部接近的位置和与连接有该第一端部电极指的汇流条相对的汇流条中连接有电极指的棱线的相反侧的棱线。从弹性波的传播方向看时，上述第二浮置虚设电极形成为跨越与上述第二端部电极指的前端部接近的位置和与连接有该第二端部电极指的汇流条相对的汇流条中连接有电极指的棱线的相反侧的棱线。

构成为：在上述一侧的IDT电极中连接有信号端口的汇流条和在上述另一侧的IDT电极中连接接地端口的汇流条，沿着弹性波的传播方向配置成一列，

上述第一浮置虚设电极除了在上述一侧的IDT电极上的与上述另一侧的IDT电极相邻的区域以外，还设在上述另一侧的IDT电极上的与上述一侧的IDT电极相邻的区域。

构成为：上述IDT电极设有三个以上，

在这些IDT电极中，连接信号端口的汇流条和连接接地端口的汇流条，沿着弹性波的传播方向交替配置成一列，

关于这些IDT电极的彼此相邻的一侧的IDT电极和另一侧的IDT电极的各个，在一侧的IDT电极上的与另一侧的IDT电极相邻的区域和上述另一侧的IDT电极上的与上述一侧的IDT电极相邻的区域，分别配置有第一浮置虚设电极。

构成为：在上述栅状反射器和与该栅状反射器相邻的IDT电极之间的各个区域设有上述第二浮置虚设电极。构成为：上述浮置反射器设在上述IDT电极和上述栅状反射器之间的各个区域。

本发明的弹性波器件的特征在于：

具备IDT电极，上述IDT电极形成在压电基板上，具有与信号端口或者接地端口分别连接的一对汇流条和从这些汇流条的各个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，

具备栅状反射器，上述栅状反射器以相对于上述IDT电极在弹性波的传播方向上分离的方式，形成在上述压电基板上，具有分别沿着上述电极指的长度方向伸出，并且在弹性波的传播方向上相互分离配置的多根栅状电极指和分别连接这些栅状电极指各自的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，

上述IDT电极和上述栅状反射器，分别设定上述电极指的排列图案、上述栅状电极指的排列图案和上述IDT电极与上述栅状反射器之间的分离尺寸，使得该IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

将与上述栅状反射器相邻的电极指称为第二端部电极指时，在上述IDT电极的一对汇流条中与连接有上述第二端部电极指的汇流条相对的汇流条，以上述栅状反射器侧的端部与上述第二端部电极指的延长区域相比更靠上述IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制上述栅状反射器和上述IDT电极之间的静电击穿，在上述延长区域形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第二浮置虚设电极，

该第二浮置虚设电极分别以宽度尺寸和上述IDT电极及上述栅状反射器之间的分离尺寸与上述排列图案相对应的方式形成，并且成为分别从上述IDT电极、上述信号端口、上述接地端口和上述栅状反射器电浮置的状态。

另外，本发明的弹性波器件的特征在于：

具备IDT电极，上述IDT电极形成在压电基板上，具有与信号端口或者接地端口分别连接的一对汇流条和从这些汇流条的每一个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，

具备栅状反射器，上述栅状反射器以相对于上述IDT电极在弹性波的传播方向上分离的方式形成在上述压电基板上，具有分别沿着上述电极指的长度方向伸出并且在弹性波的传播方向上相互分离配置的多根栅状电极指，和从上述IDT电极侧起分别连接从至少第二根栅状电极指到上述IDT电极的相反侧的端部的栅状电极指为止的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，

上述IDT电极和上述栅状反射器，分别设定上述电极指的排列图案、上述栅状电极指的排列图案和上述IDT电极与上述栅状反射器之间的分离尺寸，使得该IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

从上述栅状汇流条分离地配置的栅状电极指，成为从上述IDT电极、上述信号端口、上述接地端口及上述栅状反射器等的部位分别电浮置的状态。

发明的效果

本发明在彼此相邻的IDT电极之间的区域或者彼此相邻的IDT电极与栅状(grating)反射器之间的区域，在与电极指的交叉区域相比离开汇流条侧的位置，以与IDT电极的电极指的排列图案相对应的方式，设定宽度尺寸及相邻的IDT电极、栅状反射器之间的分离尺寸，并且配置有从其他部位电浮置(floating)的状态的浮置虚设电极，所以，一方面能够抑制对于弹性波的传播的影响，另一方面能够抑制在该浮置虚设电极的两侧的IDT电极彼此之间或者浮置虚设电极的两侧的IDT电极和栅状反射器之间产生的电容成分，使其较小。因此，能够得到抑制了传输频带上的频率特性的平坦性的劣化、且ESD耐性优异的弹性波器件。另外，发明的其他方式由于将与IDT电极相邻的栅状反射器的至少一根栅状电极指制成从其他部位电浮置的状态，所以能够得到抑制了传输频带上的频率特性的平坦性的劣化、且ESD耐性优异的弹性波器件。

附图说明

图1是表示适用有本发明的弹性波器件的纵模谐振器型滤波器的一例的平面图；

图2是将上述滤波器的一部分放大表示的示意图；

图3是将上述滤波器的一部分放大表示的示意图；

图4是将现有技术的滤波器的一部分放大表示的示意图；

图5是将上述本发明的滤波器的一部分放大表示的示意图；

图6是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图7是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图8是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图9是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图10是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图11是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图12是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图13是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图14是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图15是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图16是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图17是表示本发明的滤波器的其他例的平面图；

图18是表示现有技术的滤波器的其他例的平面图。

符号说明

1a、1b、1c  IDT电极

2栅状反射器

10基板

12电极指

16第一浮置虚设电极

18第二浮置虚设电极

具体实施方式

参照图1对将本发明的弹性波器件适用于纵模谐振器型滤波器的实施方式的一例进行说明。该滤波器具备沿着弹性波的传播方向排列的多个例如三个IDT(叉指式换能器)电极1、以从两侧夹着这些IDT电极1的方式配置的栅状反射器2。这些IDT电极1及栅状反射器2形成于例如水晶等具有压电性的共用的基板10上。

各个IDT电极1具备以在与弹性波的传播方向正交的方向上相互分离的方式配置的一对汇流条11、11，和从这些汇流条11的各个向相对的汇流条11相互梳齿状地伸出的多根电极指12。在各个IDT电极1中，汇流条11、11的一侧连接于成为信号端口的输入端口21或输出端口22中的任一个，另一侧连接于接地端口23。关于这些汇流条11、11，当对连接于输入端口21或者输出端口22的任一个的汇流条11附加“11a”、对连接接地端口23的汇流条11附加“11b”的符号时，各个IDT电极1沿着弹性波的传播方向，以汇流条11a和汇流条11b交替排列的方式配置成一列。因而，在基板10上，沿着弹性波的传播方向相互间电位不同的部位(汇流条11a、11b)交替地排列。为了容易地看见彼此相邻的IDT电极1、1间的界限，每个汇流条11a、11b分别倾斜地切出连接电极指12的部位的相反侧的部位上的角部。另外，对于这些汇流条11a、11b的端部的切口部，做了夸大地描绘。

另外，将与弹性波的传播方向正交的方向称为前后方向，并且对于这些IDT电极1，沿着弹性波的传播方向，从左侧向右侧依次地附加“1a”、“1b”、“1c”的符号时，IDT电极1a、1c的汇流条11a连接于例如输入端口21，IDT电极1b的汇流条11a连接于例如输出端口22。这些IDT电极1a、1b、1c以在该滤波器上与传播的弹性波的波长的长度相对应的方式，以设定电极指12的宽度尺寸和电极指12、12间的分离尺寸构成的周期单位的尺寸、彼此相邻的IDT电极1、1间的分离尺寸构成的排列图案，从而使该排列图案沿着弹性波的传播方向连续的方式配置。在此，由于各个IDT电极1a、1b、1c为大致相同的结构，因此对于这些IDT电极1a、1b、1c，以左侧的IDT电极1a为例进行详细地叙述。

IDT电极1a以与作为汇流条11a、11b间的尺寸的开口长度D相比，从汇流条11a(11b)伸出的电极指12和与该电极指12相邻并从汇流条11b(11a)伸出的电极指12交叉的交叉宽度(幅度)L较短的方式构成。具体来说，在从一方的汇流条11a向另一方的汇流条11b伸出的电极指12的前端部的延长区域上，从另一方的汇流条11b向一方的汇流条11a伸出的虚设电极指14与该电极指12的前端部接近地配置。另外，同样地，在从另一方的汇流条11b朝向一方的汇流条11a伸出的电极指12的前端部的延长区域上，从一方的汇流条11a朝向另一方的汇流条11b伸出的虚设电极指14与该电极指12的前端部接近地配置。因而，电极指12和虚设电极指14在与弹性波的传播方向正交的方向上配置成一列。

在此，将IDT电极1a中的右侧(与IDT电极1b相邻的一侧)的电极指12称为第一端部电极指时，在该第一端部电极指12的前端部侧的延长线上(延长区域)，形成有沿着该延长线伸出的第一浮置虚设电极16。由于汇流条11b仅伸展到第一端部电极指12的向左一根电极指12的位置，所以第一浮置虚设电极16与该汇流条11b分离。即，第一浮置虚设电极16成为电浮置的状态，构成浮置电极。

从弹性波的传播方向看时，该第一浮置虚设电极16从与上述第一端部电极指12的前端部接近的位置，形成至汇流条11b上连接电极指12的棱线的相反侧的棱线。即，如后述的那样，在弹性波的激励区域(电极指12、12彼此交叉的区域)产生的弹性波向形成有汇流条11b的区域漏出，在该区域向左右两侧传播。因此，可以说第一浮置虚设电极16在从上述激励区域向汇流条11b侧脱离的区域，以跨越弹性波的传播区域的方式配置。

该第一浮置虚设电极16，以宽度尺寸和与该浮置虚设电极16的两侧的IDT电极1a、1b的电极指12、12之间的分离尺寸，与电极指12的宽度尺寸和电极指12、12间的分离尺寸分别为相同尺寸的方式配置。因此，第一浮置虚设电极16的排列图案与电极指12的排列图案相对应。该第一浮置虚设电极16与各IDT电极1a、1b、1c或者输入端口21、输出端口22、接地端口23和栅状反射器2中的任一个都不电连接，因此为相对于其他部位电浮置的状态。

另外，在IDT电极1a中，将栅状反射器2侧的电极指12称为第二端部电极指时，在该第二端部电极指12的前端部侧的延长区域，配置有沿着该第二端部电极指12的延长线伸出的第二浮置虚设电极18。汇流条11b以与该第二端部电极指12(该第二浮置虚设电极18)分离的方式配置。该第二浮置虚设电极18设定为宽度尺寸、长度尺寸及与相邻于该第二浮置虚设电极18的IDT电极1a的电极指12之间的分离尺寸分别与第一浮置虚设电极16的各尺寸为相同(的尺寸)。另外，与第一浮置虚设电极16同样地，第二浮置虚设电极18在与弹性波的传播方向正交的方向上，在作为从弹性波的激励区域脱离的区域，即，从该激励区域漏出的弹性波传播的区域(至形成有汇流条11a的区域)而配置。关于第二浮置虚设电极18，与第一浮置虚设电极16同样地，也为相对于其他的部位电浮置的状态。

而且，就IDT电极1a的右侧的IDT电极1b、1c而言，与该IDT电极1a同样地构成。具体来说，将IDT电极1a上连接端部电极指12、12的汇流条11a侧称为“里侧”、配置浮置虚设电极16、18的区域侧称为“眼前侧”，则在IDT电极1b的左右两侧，以从眼前侧的汇流条11a朝向里侧伸出的方式分别配置有第一端部电极指12、12。而且，在这些第一端部电极指12、12的里侧，形成有各个第一浮置虚设电极16、16。

另外，在IDT电极1c上，在该IDT电极1c的左侧，配置有从里侧的汇流条11a伸出的第一端部电极指12，在该第一端部电极指12的眼前侧设有第一浮置虚设电极16。在IDT电极1c的右侧配置有从里侧的汇流条11a伸出的第二端部电极指12，在该第二端部电极指12的眼前侧形成有第二浮置虚设电极18。因而，在该例中，浮置虚设电极16(18)分别配置于各IDT电极1a、1b、1c中汇流条11b的端部的两侧。

其次，对栅状反射器2进行说明。该栅状反射器2具备以沿着电极指12且在弹性波的传播方向上相互分离的方式分别配置的多根栅状电极指31、以分别连接这些栅状电极指31的一端侧和另一端侧的方式各自配置的一对栅状汇流条32。栅状电极指31的宽度尺寸及栅状电极指31、31之间的分离尺寸设定为分别与IDT电极1上的电极指12的宽度尺寸和电极指12、12间的分离尺寸相同的尺寸。因而，栅状反射器2以与IDT电极1上的已述的排列图案相对应的方式形成。

在栅状反射器2和IDT电极1a、1c之间，分别配置有在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的线状的电极构成的浮置反射器33，该浮置反射器33的宽度尺寸与电极指12的宽度尺寸为相同的尺寸。另外，从弹性波的传播方向来看时，浮置反射器33跨越一对汇流条11a、11b中分别连接电极指12、12的棱线的相反侧的棱线之间而形成，IDT电极1a、1c(第二浮置虚设电极18、18)和栅状反射器2之间的分离尺寸设定为与电极指12、12之间的分离尺寸相同的尺寸。即，该浮置反射器33成为使栅状反射器2中分别与IDT电极1a(1c)相邻的一根栅状电极指31的两端侧各自从栅状汇流条32、32分离的状态。就该浮置反射器33而言，与已述的浮置虚设电极16、18同样地变为从其他部位电浮置的状态。因此，三个IDT电极1、这些IDT电极1的两侧的栅状反射器2和浮置反射器33，以上述排列图案沿着弹性波的传播方向连续的方式形成。

在该滤波器中，向输入端口21输入电信号时，就会在电极指12、12之间的交叉区域(激励区域)产生弹性波，并向左右两侧传播。该弹性波随着在基板10上进行传播而向与弹性波的传播方向正交的方向扩展，如图2所示，成为跨越汇流条11a、11b中连接各个电极指12、12的棱线的相反侧的棱线之间而扩展的状态。而且，当该弹性波到达栅状反射器2时，在该栅状反射器2反射，经由配置有三个IDT电极1的区域，往返于栅状反射器2、2之间。此时，就第一浮置虚设电极16、第二浮置虚设电极18和浮置反射器33而言，由于是以成为与电极指12、12的排列图案相同的图案的方式配置，所以在这些浮置虚设电极16、18和浮置反射器33中，可抑制弹性波的体(bulk)放射等。另外，由于跨越到配置有汇流条11a、11b的区域分别形成浮置虚设电极16、18，所以在形成该汇流条11a、11b的区域和已述的交叉区域之间，弹性波的传播速度相一致。因此，将跨越汇流条11a、11b之间扩展传播的弹性波作为电信号从输出端口22取出时，就成为抑制了寄生的状态，传输(通过)频带上的频率特性的平坦性就会变得良好。另外，图2示意性地表示滤波器。

而且，如已经叙述的那样，由于在彼此相邻的汇流条11a、11b之间，相互间的电位不同，所以会在这些汇流条11a、11b中生成电容成分C。图3对这样的电容成分C且对IDT电极1a、1b间的区域放大来表示。在此，由于在这些汇流条11a、11b之间夹设有第一浮置虚设电极16，所以上述电容成分C经由该第一浮置虚设电极16而形成。因而，由于在汇流条11a、11b之间，两个电容成分C1、C2经由第一浮置虚设电极16串联连接，所以这些电容成分C1、C2的合计值为未设该第一浮置虚设电极16时的(电容成分C)1/2。图4中示意性地表示在为已述的图18所示的滤波器的情况下(未设第一浮置虚设电极16的情况)生成的电容成分C。

另外，如从图3和图4中得知的那样，通过在汇流条11a、11b间配置第一浮置虚设电极16，而在IDT电极1a、1b间形成已述的排列图案，并且与未设第一浮置虚设电极16的情况相比，汇流条11a、11b之间的尺寸W变大，所以电容成分C1、C2的合计值变得比图4的电容成分C的1/2还要小。

而且，在IDT电极1a、1b间的眼前侧的区域，也经由第一浮置虚设电极16在汇流条11a、11b之间形成电容成分C1、C2，同样地，在IDT电极1b、1c之间，也经由第一浮置虚设电极16、16形成这些电容成分C1、C2。

另外，在IDT电极1a(1c)和栅状反射器2之间，与已述的例子同样地，例如在眼前侧的栅状汇流条32和汇流条11b之间会生成电容成分C。但是，如图5所示，由于在这些栅状汇流条32和汇流条11b之间配置有第二浮置虚设电极18及浮置反射器33，所以经由第二浮置虚设电极18和浮置反射器33，串联地形成三个电容成分C1、C2、C3。另外，这些栅状汇流条32和汇流条11b之间的尺寸，与未设第二浮置虚设电极18和浮置反射器33的情况相比(已述的图18)大。因而，这三个电容成分C1、C2、C3的合计值比在图18中栅状反射器2和IDT电极1之间生成的电容成分C的1/3小。

因此，即便向该滤波器施加静电放电(ESD：Electrostatic Discharge)等的高电压，也能够抑制彼此相邻的IDT电极1、1间或者彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间的静电击穿。另外，即便由于上述高电压在滤波器中产生静电击穿，由于与图18的滤波器相比，彼此相邻的IDT电极1、1间及彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间的电容成分C小，所以流经的电流值较小(变小)。另外，图5将滤波器的一部分放大进行表示。

进而，在图18的滤波器中，如图4中“○”标记所示，在彼此相邻的IDT电极1、1中，在电极指12和虚设电极指14之间产生弹性波，该弹性波成为不需要的纵模寄生的原因。但是，在图1的滤波器中，在这些电极指12和虚设电极指14之间的区域配置有第一浮置虚设电极16，另外，如已述的那样，由于这些电极指12和虚设电极指14分离较远，所以能够抑制该区域上的弹性波的产生。

根据上述的实施方式，在从电极指12、12的交叉区域离开汇流条11侧的位置上，在彼此相邻的IDT电极1、1间及彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间分别设有第一浮置虚设电极16、16及第二浮置虚设电极18，并且在彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间配置有浮置反射器33。而且，使这些浮置虚设电极16、18及浮置反射器33成为从其他的部位电浮置的状态，并且，以与IDT电极1的排列图案相对应的方式，形成这些浮置虚设电极16、18及浮置反射器33。因此，与未设这些浮置虚设电极16、18及浮置反射器33的情况相比，能够一方面抑制对于弹性波的影响，一方面使在彼此相邻的IDT电极1、1间及彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间生成的电容成分C变小。因而，抑制了传输(通过)频带中的频率特性的平坦性的劣化，同时，即便向例如输入端口21或者输出端口22和接地端口23之间施加静电等的高电压，也能够抑制这些输入端口21或者输出端口22和接地端口23之间的通电(静电击穿)，所以能够得到ESD(ElectrostaticDischarge)耐性优异的弹性波器件。另外，通过设置浮置虚设电极16、18及浮置反射器33，在彼此相邻的IDT电极1、1间及彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间生成的电容成分C变小，所以即便产生静电等而在输入端口21或者输出端口22和接地端23之间通电，与未设置浮置虚设电极16、18及浮置反射器33的情况相比，电流值也变小，所以可以说对静电击穿的耐性提升。

另外，由于跨越至形成有汇流条11a、11b的区域地形成浮置虚设电极16、18，所以能够抑制在该区域和电极指12、12的交叉区域之间的弹性波的速度差，能够得到寄生被抑制、平坦性高的特性。进而，通过设置第一浮置虚设电极16，能够抑制在IDT电极1、1中彼此相邻的电极指12和虚设电极指14之间产生弹性波，所以能够得到抑制不需要的纵模寄生的产生、平坦性优异的特性。

虽然在已述的例子中，是在彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间设有各个浮置反射器33，但也可以仅在左右一侧配置浮置反射器33，或者也可以如图6所示，不设置浮置反射器33。进而，可以仅在左右一侧设置第二浮置虚设电极18，也可以如图7所示，不设置第二浮置虚设电极18。进一步地，虽然在彼此相邻的IDT电极1、1之间，在眼前侧及里侧分别配置了第一浮置虚设电极16，但也可以仅在眼前侧和里侧中的一方配置，也可以仅在彼此相邻的IDT电极1、1之间的至少一处设置。另外，也可以不配置这些第一浮置虚设电极16及第二浮置虚设电极18，而在彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间的区域的至少一方配置浮置反射器33。图8表示不配置浮置虚设电极16、18，而在彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间的各个区域配置了浮置反射器33、23的例子。

另外，如图9所示，也可以不配置虚设电极指14，而使从一侧的汇流条11a(11b)伸出的电极指12的前端部伸张(伸出)到接近另一侧的汇流条11b(11a)的位置，使开口长度D和交叉宽度L相一致。在图9中表示在这样的情况下，设置了第一浮置虚设电极16、第二浮置虚设电极18及浮置反射器33的例子。在此情况下，浮置虚设电极16、18以在远离端部电极指12、12的前端侧的区域，从弹性波的传播方向看时，与形成汇流条11a、11b的区域重合的方式形成。在该情况下，在电极指12、12的交叉区域产生弹性波时，由于该弹性波跨越至形成汇流条11a、11b的区域而扩展、传播，所以通过浮置虚设电极16、18能够抑制该区域和交叉区域之间的弹性波的速度差。

另外，如图10所述，也可以级联连接已述的各滤波器。在图10中表示有图1所示的级联地连接有两个滤波器的例子，在共用的基板10上的眼前侧及里侧排列有三个IDT电极1和配置于这些IDT电极1的两侧的栅状反射器2、2构成的滤波器50。而且，连接里侧的滤波器50的IDT电极1b的眼前侧的汇流条11和眼前侧的滤波器50的IDT电极1b的里侧汇流条11，将里侧的IDT电极1a、1c的里侧的汇流条11及眼前侧的滤波器50的IDT电极1b的眼前侧的汇流条11分别连接到输入端口21及输出端口22。

进而，在以上的各例中，对排列三个IDT电极1的例子进行了说明，但IDT电极1的数量可以为两个，也可以为四个以上。另外，如图11所示，可以在一个IDT电极1的两侧配置有栅状反射器2、2，构成弹性波谐振子。而且，可以在IDT电极1和栅状反射器2间的至少一方上设第二浮置虚设电极18，也可以与第二浮置虚设电极18一同或者代替第二浮置虚设电极18，在IDT电极1和栅状反射器2间的至少一方上配置浮置反射器33。

另外，本发明适用于包含已述的纵模谐振器型滤波器或者弹性波谐振子的器件，例如双工器等两个IDT电极1、1相邻地配置的弹性波器件或者IDT电极1和栅状反射器2相邻地配置的弹性波器件。

如已述的那样，就第一浮置虚设电极16而言，在仅配置在彼此相邻的IDT电极1、1间的眼前侧及里侧的一方的情况下，该第一浮置虚设电极16被夹设在相互间电位不同的汇流条11a、11b之间。具体来说，如图12及图13所示，在连接输入端口21或者输出端口22的汇流条11a和连接接地端口23的汇流条11b沿着弹性波的传播方向交替地配置成一列的情况下，可以在这些汇流条11a、11b之间的任一个上配置第一浮置虚设电极16。另外，如图14所示，在连接输入端口21的汇流条11a和连接输出端口22的汇流条11a沿着弹性波的传播方向配置成一列，并且与接地端口23连接的汇流条11b、11b彼此沿着弹性波的传播方向配置成一列的情况下，第一浮置虚设电极16被配置于汇流条11a、11a之间。

进而，关于浮置虚设电极16、18，虽然从与端部电极指12、12接近的位置跨越到形成汇流条11a、11b的区域而配置，但是也可以如图15所示，仅在汇流条11a、11b之间的区域上形成。在该情况下，也可抑制配置浮置虚设电极16、18的区域和电极指12、12的交叉区域之间的弹性波的速度差。此时，关于配置该浮置虚设电极16、18的IDT电极1，该浮置虚设电极16、18侧的汇流条11如已述的那样，离开浮置虚设电极16、18的延长区域而配置。另外，对于以上的图12～图15，将滤波器的一部分放大来表示。

在此，作为浮置虚设电极16(18)，如图16所示，可以在长度方向上区分为多个，例如两个，也可以如图17所示，在弹性波的传播方向上区分为多个，例如两个。在如图17那样配置浮置虚设电极16(18)的情况下，由于在汇流条11a、11b间电容成分C1～C3为相互串联连接，所以能够进一步减小这些汇流条11a、11b间的电容成分C。在这些情况下，浮置虚设电极16(18)也会与已述的排列图案相对应地形成。另外，虽然在彼此相邻的IDT电极1和栅状反射器2之间各配置有一根浮置反射器33，但也可以各配置两根或者三根。

作为构成已述的基板10的材质，可以取代水晶，为LiTaO3(钽酸锂)或者LiNbO3(铌酸锂)等带有压电性的材料，或者也可以为例如在玻璃等不带有压电性的板状体的上面层叠有一层以上这些带有压电性的材料的薄膜的基板或者压电薄膜的层叠体等。

Claims (11)

1.一种弹性波器件，其特征在于：

在共用的压电基板上，形成沿着弹性波的传播方向相互分离排列的多个IDT电极，和以从弹性波的传播方向的两侧夹着这些多个IDT电极的方式配置的栅状反射器，

所述多个IDT电极各自具备与信号端口和接地端口的一方和另一方分别连接的一对汇流条，和从这些汇流条的各个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，并且，设定每个IDT电极的电极指的排列图案和彼此相邻的IDT电极之间的分离尺寸，使得这些IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

所述栅状反射器各自具备分别沿着所述电极指的长度方向伸出并在弹性波的传播方向相互分离配置的多根栅状电极指，和分别连接这些栅状电极指的各个的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，并且，以所述栅状电极指的排列及与相邻于各栅状反射器的IDT电极之间的分离尺寸与所述排列图案相对应的方式形成，

在彼此相邻的两个IDT电极中的一侧的IDT电极中，将与另一侧的IDT电极相邻的电极指称为第一端部电极指时，在该一侧的IDT电极的一对汇流条中与连接有所述第一端部电极指的汇流条相对的汇流条，以所述另一侧的IDT电极侧的端部与所述第一端部电极指的前端部的延长区域相比更靠所述一侧的IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制在所述一侧的IDT电极和所述另一侧的IDT电极之间电位不同的部位相互间的静电击穿，在所述延长区域形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第一浮置虚设电极，

该第一浮置虚设电极以宽度尺寸和该第一浮置虚设电极的两侧的IDT电极之间的分离尺寸与所述排列图案相对应的方式分别形成，并且，成为从所述多个IDT电极、所述信号端口、所述接地端口和所述栅状反射器分别电浮置的状态。

2.如权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：

在与所述栅状反射器相邻的IDT电极中，将与该栅状反射器相邻的电极指称为第二端部电极指时，在该相邻的IDT电极的一对汇流条中与连接有所述第二端部电极指的汇流条相对的汇流条，以所述栅状反射器侧的端部与所述第二端部电极指的前端部的延长区域相比更靠所述相邻的IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制在所述栅状反射器和所述相邻的IDT电极之间的静电击穿，在所述第二端部电极指的延长区域，形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第二浮置虚设电极，

该第二浮置虚设电极以宽度尺寸和与所述相邻的IDT电极及栅状反射器之间的分离尺寸与所述排列图案相对应的方式分别形成，并且成为从所述多个IDT电极、所述信号端口、所述接地端口、所述栅状反射器和所述第一浮置虚设电极分别电浮置的状态。

3.如权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：

为了使所述IDT电极侧的至少一根栅状电极指上的两端部从上述栅状汇流条断开而形成浮置反射器，该栅状汇流条以分别连接从所述IDT电极的相反侧的端部的栅状电极指到比所述至少一根栅状电极指更靠该端部侧一根的栅状电极指的一端侧和另一端侧的方式配置，取代分别连接所述栅状电极指的各个的一端侧和另一端侧的结构。

4.如权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：

所述多个IDT电极分别具备虚设电极指，所述虚设电极指以面向从这些汇流条伸出的电极指各自的前端部的方式，从与该汇流条相对的汇流条分别伸出，使得与作为一对汇流条间的尺寸的开口长度相比，从一对汇流条中的一侧的汇流条伸出的电极指和以与该电极指相邻的方式从另一侧的汇流条伸出的电极指交叉的交叉宽度在弹性波的传播方向较小，

从弹性波的传播方向看时，所述第一浮置虚设电极形成为跨越与所述第一端部电极指的前端部接近的位置和与连接有该第一端部电极指的汇流条相对的汇流条中连接有电极指的棱线的相反侧的棱线。

5.如权利要求4所述的弹性波器件，其特征在于：

从弹性波的传播方向看时，所述第二浮置虚设电极形成为跨越与所述第二端部电极指的前端部接近的位置和与连接有该第二端部电极指的汇流条相对的汇流条中连接有电极指的棱线的相反侧的棱线。

6.如权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：

在所述一侧的IDT电极中连接有信号端口的汇流条和在所述另一侧的IDT电极中连接接地端口的汇流条，沿着弹性波的传播方向配置成一列，

所述第一浮置虚设电极除了在所述一侧的IDT电极上的与所述另一侧的IDT电极相邻的区域以外，还设在所述另一侧的IDT电极上的与所述一侧的IDT电极相邻的区域。

7.如权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：

所述IDT电极设有三个以上，

在这些IDT电极中，连接信号端口的汇流条和连接接地端口的汇流条，沿着弹性波的传播方向交替配置成一列，

关于这些IDT电极的彼此相邻的一侧的IDT电极和另一侧的IDT电极的各个，在一侧的IDT电极上的与另一侧的IDT电极相邻的区域和所述另一侧的IDT电极上的与所述一侧的IDT电极相邻的区域，分别配置有第一浮置虚设电极。

8.如权利要求7所述的弹性波器件，其特征在于：

在所述栅状反射器和与该栅状反射器相邻的IDT电极之间的各个区域设有所述第二浮置虚设电极。

9.如权利要求7所述的弹性波器件，其特征在于：

所述浮置反射器设在所述IDT电极和所述栅状反射器之间的各个区域。

10.一种弹性波器件，其特征在于：

具备IDT电极，所述IDT电极形成在压电基板上，具有与信号端口或者接地端口分别连接的一对汇流条和从这些汇流条的各个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，

具备栅状反射器，所述栅状反射器以相对于所述IDT电极在弹性波的传播方向上分离的方式，形成在所述压电基板上，具有分别沿着所述电极指的长度方向伸出，并且在弹性波的传播方向上相互分离配置的多根栅状电极指和分别连接这些栅状电极指各自的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，

所述IDT电极和所述栅状反射器，分别设定所述电极指的排列图案、所述栅状电极指的排列图案和所述IDT电极与所述栅状反射器之间的分离尺寸，使得该IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

将与所述栅状反射器相邻的电极指称为第二端部电极指时，在所述IDT电极的一对汇流条中与连接有所述第二端部电极指的汇流条相对的汇流条，以所述栅状反射器侧的端部与所述第二端部电极指的延长区域相比更靠所述IDT电极侧分离的方式配置，

为了抑制所述栅状反射器和所述IDT电极之间的静电击穿，在所述延长区域形成在与弹性波的传播方向正交的方向伸出的第二浮置虚设电极，

该第二浮置虚设电极分别以宽度尺寸和所述IDT电极及所述栅状反射器之间的分离尺寸与所述排列图案相对应的方式形成，并且成为分别从所述IDT电极、所述信号端口、所述接地端口和所述栅状反射器电浮置的状态。

11.一种弹性波器件，其特征在于：

具备IDT电极，所述IDT电极形成在压电基板上，具有与信号端口或者接地端口分别连接的一对汇流条和从这些汇流条的每一个向相对的汇流条相互梳齿状地伸出的电极指，

具备栅状反射器，所述栅状反射器以相对于所述IDT电极在弹性波的传播方向上分离的方式形成在所述压电基板上，具有分别沿着所述电极指的长度方向伸出并且在弹性波的传播方向上相互分离配置的多根栅状电极指，和从所述IDT电极侧起分别连接从至少第二根栅状电极指到所述IDT电极的相反侧的端部的栅状电极指为止的一端侧和另一端侧的栅状汇流条，

所述IDT电极和所述栅状反射器，分别设定所述电极指的排列图案、所述栅状电极指的排列图案和所述IDT电极与所述栅状反射器之间的分离尺寸，使得该IDT电极的电极指的排列图案沿着弹性波的传播方向连续地形成，

从所述栅状汇流条分离地配置的栅状电极指，成为从所述IDT电极、所述信号端口、所述接地端口及所述栅状反射器等的部位分别电浮置的状态。

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