JP5350720B2 - 弾性波デバイス、及び弾性波装置 - Google Patents

Description

本発明は、弾性波デバイス及び弾性波装置に関し、特にＩＤＴを用いた弾性波デバイス及び弾性波装置に関する。

携帯電話等の通信端末において、アンテナは不平衡信号を入出力し、アンプは平衡信号を入出力する場合がある。このため、通信端末の高性能化を図るために、アンテナとアンプとの間にフィルタとして挿入される弾性波デバイスには平衡―不平衡変換機能、いわゆるバラン機能が要求される場合がある。

図１（ａ）及び図１（ｂ）は従来技術に係る弾性表面波デバイスの平面図である。

図１（ａ）に示すように、例えばＬｉＮｂＯ_３やＬｉＴａＯ_３等の圧電体からなる圧電基板２の上に、例えばＡｌ等の金属からなる反射器４、ＩＤＴ１２、１４及び１６が、弾性表面波の伝搬方向に沿って設けられている。反射器４は複数のＩＤＴの両側に設けられ、弾性表面波を反射し、ＩＤＴ内に閉じ込める役割を担う。各ＩＤＴは互いに対向した櫛型電極からなる。ＩＤＴ１４を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極１４ｂは不平衡端子６と接続され、他方の櫛型電極１４ａは接地端子３と接続されている。ＩＤＴ１２とＩＤＴ１６とは互いに位相が反転しており、ＩＤＴ１２を形成する一方の櫛型電極１２ａ、及びＩＤＴ１６を形成する一方の櫛型電極１６ａは、各々平衡端子８ａ及び８ｂに接続されている。また、ＩＤＴ１２の他方の櫛型電極１２ｂ及びＩＤＴ１６の他方の櫛型電極１６ｂは各々接地端子３に接続されている。これにより、不平衡端子６から入力した不平衡信号が平衡端子８ａ及び８ｂから平衡信号として出力されることとなる。すなわち、弾性表面波デバイスはバラン機能を有する。

図１（ｂ）に示すように、弾性表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ３８、４０及び４２が設けられており、不平衡端子６はＩＤＴ３８及び４２に接続されている。ＩＤＴ４０を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方が分割され櫛型電極４０ａ及び４０ｂを形成している。櫛型電極４０ａ及び４０ｂは各々平衡端子８ａ及び８ｂに接続されている。このように、ＩＤＴを形成する櫛型電極の一方を分割した場合でも、弾性表面波デバイスはバラン機能を有する。

このとき、弾性表面波デバイスに接続されるアンテナとアンプでは、互いにインピーダンスが異なっているため、弾性表面波デバイスにはバラン機能だけでなく、不平衡端子側と平衡端子側とにおけるインピーダンス変換機能も要求される。

特許文献１には、位相が反転している弾性表面波フィルタを縦続接続したフィルタと、位相が同一の弾性表面波フィルタを縦続接続したフィルタとを用い、不平衡端子を二つのフィルタに並列接続し、平衡端子を二つのフィルタの各々に接続させることで、出力インピーダンスが入力インピーダンスの４倍であり、かつ平衡動作を実現する発明が開示されている。特許文献２には、不平衡端子を接続した４つのＩＤＴを並列接続し、かつ平衡端子の各々を分割ＩＤＴに接続することで、不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの比が１：１６となる発明が開示されている。特許文献３には、不平衡端子を二つのフィルタに並列接続し、かつ二つのフィルタを構成するＩＤＴのうち、平衡端子が接続された二つのＩＤＴの各々を別のＩＤＴと直列接続することで、不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの比が１：１６となる発明が開示されている。
特許第３１８６６０４号公報 特開２００６−２２９４８７号公報 特開２００６−２３７７２７号公報

しかしながら、特許文献１の発明では不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの変換比が１：４、特許文献２及び３の発明では１：１６と、変換比の自由度が制限されているという課題があった。

本発明は、上記課題に鑑み、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイス及び弾性波装置を実現することを目的としている。

本発明は、圧電基板と、弾性波の伝搬方向に沿って前記圧電基板上に設けられた五つ以上のＩＤＴと、各々の平衡端子が、前記五つ以上のＩＤＴのうち、互いに位相が反転した二つの第１ＩＤＴの各々に接続された二つの前記平衡端子とを具備し、前記二つの第１ＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に前記二つの平衡端子の各々が接続され、他方の櫛型電極は互いに直列接続され、前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する一方の櫛型電極の各々に別の平衡端子が接続され、前記第２ＩＤＴを形成する他方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波デバイスである。本発明によれば、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

本発明は、圧電基板と、弾性波の伝搬方向に沿って前記圧電基板上に設けられた五つ以上のＩＤＴと、各々の平衡端子が、前記五つ以上のＩＤＴのうち、互いに位相が反転した二つの第１ＩＤＴの各々に接続された二つの前記平衡端子とを具備し、前記二つの第１ＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、前記二つの第１ＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記二つの平衡端子の各々が接続され、前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する一方の櫛型電極の各々に別の平衡端子が接続され、前記第２ＩＤＴを形成する他方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波デバイスである。本発明によれば、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

上記構成において、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴは、前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する接地されていない櫛型電極の各々と接続された不平衡端子を具備し、複数の前記第２ＩＤＴは並列接続されている構成とすることができる。この構成によれば、バラン機能を有し、かつ不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

上記構成において、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴは、五つ以上のＩＤＴであり、前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する接地されていない櫛型電極の各々と接続された別の平衡端子を具備している構成とすることができる。この構成によれば、二対の平衡端子を使用した場合でも、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

上記構成において、複数の前記別の平衡端子に接続された複数の前記第２ＩＤＴのうち、同位相の第２ＩＤＴは並列接続されている構成とすることができる。この構成によれば、並列接続される第２ＩＤＴの数を変えることで、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

上記構成において、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴは、五つ以上のＩＤＴであり、前記二つの第１ＩＤＴは、前記四つ以上のＩＤＴのうち、前記第１ＩＤＴ及び前記第２ＩＤＴ以外のＩＤＴである第３ＩＤＴの少なくとも一つを介して直列接続されている構成とすることができる。この構成によれば、直列接続される第３ＩＤＴの数を変えることで、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイスを実現することができる。

上記構成において、前記第２ＩＤＴの各々は偶数本の電極指を有する構成とすることができる。この構成によれば、同位相の櫛型電極が隣り合うことがないため、弾性波が打ち消し合うことを抑制することができ、大きな出力を得ることができる。

上記構成において、前記第２ＩＤＴの各々は奇数本の電極指を有し、二つの前記第３ＩＤＴと隣り合うように、反射器または浮き電極が設けられている構成とすることができる。この構成によれば、同位相の櫛型電極が隣り合うことがないため、弾性波が打ち消し合うことを抑制することができ、大きな出力を得ることができる。

本発明は、各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、前記複数の弾性波デバイスの各々に含まれるＩＤＴに接続された複数の平衡端子と、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の不平衡端子とを具備し、前記三つ以上のＩＤＴに含まれる二つのＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に、前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、他方の櫛型電極は互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記一対の平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、前記他方の櫛型電極及び前記互いに位相が反転している平衡端子は接地されておらず、前記複数の不平衡端子は並列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの間には、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴが設けられ、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置である。本発明によれば、バラン機能を有し、かつ不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの変換比の自由度が大きい弾性波装置を実現することができる。

本発明は、各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の別の平衡端子とを具備し、前記三つ以上のＩＤＴに含まれる二つの前記ＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、他方の櫛型電極は互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記一対の平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、前記別の平衡端子のうち、同位相の前記別の平衡端子は並列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの間には、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴが設けられ、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置である。本発明によれば、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波装置を実現することができる。

本発明は、各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の不平衡端子とを具備し、前記複数の平衡端子に接続された複数の前記ＩＤＴは互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、前記複数の不平衡端子は並列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、前記二つのＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記二つのＩＤＴと接続されていないＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置である。本発明によれば、バラン機能を有し、かつ不平衡端子側のインピーダンスと平衡端子側のインピーダンスとの変換比の自由度が大きい弾性波装置を実現することができる。

本発明は、各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の別の平衡端子とを具備し、前記複数の平衡端子に接続された複数の前記ＩＤＴは互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、前記別の平衡端子のうち、同位相の前記別の平衡端子は並列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、前記二つのＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記二つのＩＤＴと接続されていないＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置である。本発明によれば、本発明によれば、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波装置を実現することができる。

本発明によれば、インピーダンスの変換比の自由度が大きい弾性波デバイス及び弾性波装置を実現することができる。

図面を用いて、本発明の実施例について説明する。

図２（ａ）は実施例１に係る弾性表面波デバイスの平面図である。反射器４の電極指及び各ＩＤＴの電極指は、本数を省略して図示している。また、反射器４と各ＩＤＴとでは、電極指の間隔は等しい。

図２（ａ）に示すように、圧電体からなる圧電基板２上に反射器４、ＩＤＴ１０、１２、１４、１６及び１８が弾性表面波の伝搬方向（図の左右方向）に沿って設けられている。複数のＩＤＴのうち、端から奇数番目に位置するＩＤＴ１０、１４及び１８（第２ＩＤＴ）は不平衡端子６に接続され、かつＩＤＴ１０、１４及び１８は並列接続されている。偶数番目に位置するＩＤＴ１２とＩＤＴ１６（第１ＩＤＴ）とは互いに位相が反転しており、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されている。すなわち、弾性表面波デバイスはバラン機能を有する。

各ＩＤＴは互いに対向した櫛型電極により形成されている。ＩＤＴ１２を形成する一方の櫛型電極１２ａは平衡端子８ａに接続され、ＩＤＴ１６を形成する一方の櫛型電極１６ａは平衡端子８ｂに接続されている。また、ＩＤＴ１２の他方の櫛型電極１２ｂとＩＤＴ１６の他方の櫛型電極１６ｂとは電気的に浮いており、かつ直列接続されている。換言すれば、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されたＩＤＴ１２とＩＤＴ１６とは直列接続され、その間にはＩＤＴ１２及び１６とは接続されていないＩＤＴ１４が設けられている。

また、ＩＤＴ１０、１４及び１８の各々を形成する一方の櫛型電極は不平衡端子６に接続され、他方の櫛型電極は接地されている。すなわち、ＩＤＴ１２及び１６と接続されていないＩＤＴ１０、１４及び１８の各々を形成する櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地され、接地されていない櫛型電極は不平衡端子６に接続されている。

実施例１によれば、不平衡端子６が接続された三つのＩＤＴは並列接続され、かつ平衡端子８ａ及び８ｂの各々が接続された二つのＩＤＴは直列接続されている。従って、各ＩＤＴのインピーダンスが同一となるように設計されている場合、不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比を１：６とすることができる。すなわち、弾性表面波デバイスはインピーダンス変換機能を有する。

また、ＩＤＴ１２及び１６のインピーダンスが例えば７５Ω、ＩＤＴ１０、１４及び１８のインピーダンスが例えば１５０Ωとなるように設計がされている場合、不平衡端子６側のインピーダンスは５０Ωとなり、平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスは１５０Ωとなる。すなわち、不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比は、１：３となる。このように、インピーダンスの変換比はＩＤＴの設計（電極指の本数、電極指の交差幅等）にも依存する。

図２（ｂ）から図３（ｂ）は実施例１の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。既述したものと同じ構成については説明を省略する。図３（ｂ）では反射器４を省略している。

図２（ｂ）に示すように、複数のＩＤＴのうち、奇数番目に位置するＩＤＴ１０、１４、１８、２０、２２及び２６の各々は不平衡端子６に接続され、かつ各ＩＤＴは並列接続されている。ＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とは互いに位相が反転しており、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されている。また、ＩＤＴ１６とＩＤＴ２０とは互いに位相が反転し、ＩＤＴ２０とＩＤＴ２４とは互いに位相が反転している。

ＩＤＴ１２を形成する一方の櫛型電極１２ａは平衡端子８ａに接続され、ＩＤＴ２４を形成する一方の櫛型電極２４ａは平衡端子８ｂに接続されている。また、ＩＤＴ１２の他方の櫛型電極１２ｂとＩＤＴ１６の一方の櫛型電極１６ｂとは電気的に浮いており、かつ直列接続されている。同様に、ＩＤＴ２４の他方の櫛型電極２４ｂとＩＤＴ２０の一方の櫛型電極２０ｂとは電気的に浮いており、かつ直列接続されている。また、ＩＤＴ１６の他方の櫛型電極１６ａとＩＤＴ２０の他方の櫛型電極２０ａとは電気的に浮いており、かつ直列接続されている。すなわち、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されたＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とは、ＩＤＴ１６とＩＤＴ２０（第３ＩＤＴ）とを介して直列接続されている。

図２（ｂ）に示した例によれば、図２（ａ）の例に比較して並列接続の数が２倍になるため、不平衡端子６側のインピーダンスは半分になる。また、直列接続の数が２倍になるため、平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスは２倍になる。すなわち、各ＩＤＴのインピーダンスが同一となるように設計されている場合、不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比を１：２４と、図２（ａ）の例よりも大きくすることができる。

図３（ａ）に示すように、ＩＤＴ１０、１４、１８、１９、２２及び２６が不平衡端子６と接続され、かつ各ＩＤＴは並列接続されている。すなわち、ＩＤＴ１８とＩＤＴ１９との間に反射器４を設けた構成としても、図２（ｂ）の例と同様のインピーダンス変換機能が得られる。

図３（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１０、１４、１８、１９、２２、２６、２８、３２及び３６は不平衡端子６に接続され、かつ各ＩＤＴは並列接続されている。ＩＤＴ１２を形成する一方の櫛型電極１２ａは平衡端子８ａに接続され、ＩＤＴ３４を形成する一方の櫛型電極３４ａは平衡端子８ｂに接続されている。また、ＩＤＴ１２とＩＤＴ３４とは、ＩＤＴ１６、２０、２４及び３０を介して直列接続されている。図３（ｂ）の例によれば、図２（ｂ）及び図３（ａ）の例よりも、さらにインピーダンス変換比を大きくすることができる。

以上のように、実施例１によれば、不平衡端子と接続され、かつ並列接続されたＩＤＴの数、及び平衡端子と接続され、かつ直列接続されたＩＤＴの数を変更することで、インピーダンスの変換比を変えることができる。すなわち、バラン機能を有し、かつ不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比の自由度が大きい弾性表面波デバイスを実現することが可能となる。

実施例２はＩＤＴを形成する櫛型電極を分割した例である。既述した構成と同様の構成については説明を省略する。

図４（ａ）は実施例２に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図４（ａ）に示すように、圧電基板２上に弾性表面波の伝搬方向に沿って、反射器４、ＩＤＴ３８、４０、４２、４４及び４６が設けられている。ＩＤＴ４０を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は、互いに位相が反転した櫛型電極４０ａと櫛型電極４０ｂとに分割されている。同様に、ＩＤＴ４４を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極も櫛型電極４４ａと櫛型電極４４ｂとに分割されている。

ＩＤＴ３８、４２及び４６は不平衡端子６に接続され、かつ各ＩＤＴは並列接続されている。すなわち、ＩＤＴ３８、４２及び４６を形成する一方の櫛型電極の各々は接地され、他方のくし型電極の各々は不平衡端子６が接続されている。

ＩＤＴ４０とＩＤＴ４４とは互いに位相が反転しており、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されている。すなわち、ＩＤＴ４０の櫛型電極４０ａは平衡端子８ａに、ＩＤＴ４４の櫛型電極４４ｂは平衡端子８ｂに各々接続されている。櫛型電極４０ｂと櫛型電極４４ａとは電気的に浮いており、かつ直列接続されている。また、櫛型電極４０ａと櫛型電極４０ｂとは、ＩＤＴ４０を形成する他方の櫛型電極４０ｃにより直列接続されている。同様に、櫛型電極４４ａと櫛型電極４４ｂとは、ＩＤＴ４４を形成する他方の櫛型電極４４ｃにより直列接続されている。すなわち、櫛型電極４０ａと櫛型電極４０ｂとは直列接続されることとなる。

実施例２によれば、不平衡端子６が接続された四つのＩＤＴは並列接続され、かつ平衡端子８ａ及び８ｂの各々が接続された櫛型電極４０ａと櫛型電極４４ｂとは直列接続されている。従って、各ＩＤＴのインピーダンスが同一となるように設計されている場合、不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比を１：１６とすることができる。このように、ＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極の一方を分割し、分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に平衡端子を接続し、分割された櫛型電極の他方の櫛型電極同士を直列接続することによっても、不平衡端子と平衡端子とのインピーダンス変換機能を有する弾性表面波デバイスを実現することができる。

図４（ｂ）及び図５は実施例２の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図５では反射器４を省略している。

図４（ｂ）に示すように、ＩＤＴ３８、４２、４３及び４６が不平衡端子６と接続され、かつ並列接続され、ＩＤＴ４２とＩＤＴ４３との間に反射器４が設けられた構成としてもよい。

図５に示すように、ＩＤＴ３８、４２、４３、４６、４８及び５２は不平衡端子６に接続され、かつ並列接続されている。図４（ａ）及び図４（ｂ）の例と同様に、ＩＤＴ４０を形成する一方の櫛型電極は櫛型電極４０ａと櫛型電極４０ｂとに分割され、櫛型電極４０ａに平衡端子８ａが接続されている。ＩＤＴ５０を形成する一方の櫛型電極は櫛型電極５０ａと櫛型電極５０ｂとに分割され、櫛型電極５０ｂに平衡端子８ｂが接続されている。また、ＩＤＴ４４を形成する一方の櫛型電極は櫛型電極４４ａと櫛型電極４４ｂとに分割され、櫛型電極４０ｂと櫛型電極４４ａ、櫛型電極５０ａと櫛型電極４４ｂとは、各々電気的に浮いており、かつ直列接続されている。また、櫛型電極４４ａと櫛型電極４４ｂとはＩＤＴ４４を形成する他方の櫛型電極４４ｃにより直列接続される。すなわち、櫛型電極４０ａと櫛型電極５０ｂとは直列接続される。

実施例２によれば、不平衡端子と接続され、かつ並列接続されたＩＤＴの数、及び平衡端子と接続され、かつ一方の櫛型電極が分割され他方の櫛型電極が直列接続されたＩＤＴの数を変更することで、インピーダンスの変換比を変えることができる。すなわち、実施例１と同様に、バラン機能を有し、かつ不平衡端子６側のインピーダンスと平衡端子８ａ及び８ｂ側のインピーダンスとの変換比の自由度を大きい弾性表面波デバイスを実現することが可能となる。

図５の例では弾性表面波デバイスが五つのＩＤＴを備えているが、少なくとも三つのＩＤＴを備えていれば、実施例２の発明を適用することができる。

実施例１は端から偶数番目のＩＤＴが平衡端子と接続されていた例であったのに対し（図２（ａ）から図３（ｂ）参照）、実施例３は奇数番目のＩＤＴが平衡端子と接続されており、かつ不平衡端子と接続されたＩＤＴの各々が偶数本の電極指を有する例である。

従来技術で示した図１（ａ）においては、偶数本の電極指を有するＩＤＴ１４が不平衡端子６に接続されている。ＩＤＴ１２、１４及び１６は各々偶数本の電極指を有しており、ＩＤＴ１２とＩＤＴ１６とは位相が反転している。実施例３においては、図１（ａ）に示したものと同様の構成を有する複数の弾性表面波デバイスを接続する。

図６（ａ）は実施例３に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図６（ａ）に示すように、複数のＩＤＴのうち、端から偶数番目に位置するＩＤＴ１４及び２２には不平衡端子６が接続され、かつ両者は並列接続されている。奇数番目に位置するＩＤＴ１２及びＩＤＴ２４の各々には平衡端子８ａ及び８ｂの各々が接続され、かつＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とは、ＩＤＴ１６及び２０を介して直列接続されている。換言すれば、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されたＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とは直列接続され、その間にはＩＤＴ１２及び２４とは接続されていないＩＤＴ１４及び２２が設けられている。

図６（ｂ）は実施例３の変形例である。図６（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１４、２２及び３２が不平衡端子６と接続され、かつ各ＩＤＴは並列接続されている。ＩＤＴ１２及び３４の各々には平衡端子８ａ及び８ｂの各々が接続され、かつ両者はＩＤＴ１６、２０、２４及び３０を介して直列接続されている。また、図６（ａ）及び図６（ｂ）においては、各ＩＤＴは偶数本の電極指を有している。

図７（ａ）は、図６（ａ）または図６（ｂ）中のＩＤＴ１２、１４、１６及び２０付近の拡大図である。図７（ａ）に示すように、ＩＤＴ１４を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、不平衡端子６と接続された一方の櫛型電極１４ｂが−の極性を有している場合、ＩＤＴ１２の一方の櫛型電極１２ｂ、他方の櫛型電極１２ａ、ＩＤＴ１４の他方の櫛型電極１４ａ、ＩＤＴ１６の一方の櫛型電極１６ａ、他方の櫛型電極１６ｂ、ＩＤＴ２０の一方の櫛型電極２０ｂ、及び他方の櫛型電極２０ａは、各々−、＋、＋、−、＋、−、＋の極性を有する。櫛型電極１２ａと櫛型電極１６ａとは極性が逆であるため、互いに位相が反転する。また、同じ極性の櫛型電極、すなわち同位相の櫛型電極が隣り合わないため、励振される弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。従って、弾性表面波デバイスからの出力が大きくなる。

図７（ｂ）は、図６（ａ）または図６（ｂ）において、奇数本の電極指を有するＩＤＴ１３、１７及び２１を使用した場合の、図７（ａ）と同じ部分の拡大図である。なお、図示は省略するが、平衡端子と接続されたＩＤＴの各々、及びそのＩＤＴと直列接続されたＩＤＴの各々は奇数本の電極指を有している。

図７（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１３に平衡端子８ａが接続され、ＩＤＴ１３、１７及び２１は直列接続されている。ＩＤＴ１４の一方の櫛型電極１４ｂが−の極性を有している場合、ＩＤＴ１３の一方の櫛型電極１３ｂ、他方の櫛型電極１３ａ、ＩＤＴ１４の他方の櫛型電極１４ａ、ＩＤＴ１７の一方の櫛型電極１７ｂ、他方の櫛型電極１７ａ、ＩＤＴ２１の一方の櫛型電極２１ｂ、及び他方の櫛型電極２１ａは、各々＋、−、＋、−、＋、＋、−の極性を有する。櫛型電極１３ａと櫛型電極１７ａとは極性が逆になるように設けられているため、互いに位相が反転する。また、図７（ａ）の例と同様に、同じ極性の櫛型電極、すなわち同位相の櫛型電極が隣り合わないため、励振される弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。

以上のように、実施例３によれば、端から奇数番目のＩＤＴを平衡端子と接続した場合でも、バラン機能を有し、かつインピーダンス変換の自由度が大きい弾性表面波デバイスを実現することができる。

また、不平衡端子と接続されたＩＤＴの各々の電極指本数を偶数本とすることで、平行端子と接続されたＩＤＴの各々、及びそのＩＤＴと直列接続されたＩＤＴの各々の電極指本数が偶数本の場合でも奇数本の場合でも、同位相の櫛型電極が隣り合わないため、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。

図６（ａ）の例ではＩＤＴが六つとしたが、三つ以上のＩＤＴが設けられていれば、平衡端子に接続されたＩＤＴを直列接続することで、バラン機能とインピーダンス変換とを備えた弾性表面波デバイスを実現することができる。また、四つ以上のＩＤＴが設けられていれば、不平衡端子が接続されたＩＤＴを並列接続し、かつ平衡端子が接続されたＩＤＴを直列に接続することで、バラン機能とインピーダンス変換機能とを備えた弾性表面波デバイスを実現することができる。

実施例４は、不平衡端子に接続されたＩＤＴが奇数本の電極指を有している例である。

図８は奇数本の電極指を有したＩＤＴ１５が不平衡端子６に接続されている弾性表面波デバイスの平面図である。ＩＤＴ１２及び１６の各々は偶数本の電極指を有しており、ＩＤＴ１２とＩＤＴ１６とは位相が反転している。実施例４においては、図８に示したものと同様の構成を有する複数の弾性表面波デバイスを接続する。

図９（ａ）は実施例４に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図９（ａ）に示すように、ＩＤＴ１５及び２３には不平衡端子６が接続され、かつ両者は並列接続されている。ＩＤＴ１２及びＩＤＴ２４の各々には平衡端子８ａ及び８ｂの各々が接続され、かつＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とは、ＩＤＴ１６及び２０を介して直列接続されている。このとき、ＩＤＴ１５を形成する互いに対向した櫛型電極のうち不平衡端子６と接続された一方の櫛型電極１５ｂと、ＩＤＴ２３を形成する互いに対向した櫛型電極のうち不平衡端子６と接続された一方の櫛型電極２３ｂとが−の極性を有している場合、ＩＤＴ１６の櫛型電極１６ａとＩＤＴ２０の櫛型電極２０ｂとは、共に−の極性を有する。すなわち、同位相の櫛型電極が隣り合うこととなる。この場合、ＩＤＴ１６から伝搬する弾性表面波とＩＤＴ２０から伝搬する弾性表面波とは位相が反転するため、互いに打ち消し合う。これを抑制するため、ＩＤＴ１６とＩＤＴ２０とに隣り合うように、反射器４を設ける。これにより、弾性表面波がＩＤＴ１６からＩＤＴ２０へ、またＩＤＴ２０からＩＤＴ１６へ伝搬することを抑制できる。すなわち、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制できるため、弾性表面波デバイスからの出力が大きくなる。

図９（ｂ）は実施例４の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。ＩＤＴ１６の櫛型電極１６ａとＩＤＴ２０の櫛型電極２０ｂとは同位相であり、ＩＤＴ２４の櫛型電極２４ａとＩＤＴ３０の櫛型電極３０ｂとは同位相である。このため、図９（ａ）の例と同様に、ＩＤＴ１６とＩＤＴ２０とに隣り合うように反射器４を設け、さらにＩＤＴ２４とＩＤＴ３０とに隣り合うように反射器４を設けることで、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。なお、図９（ａ）及び図９（ｂ）では、不平衡端子に接続されたＩＤＴ以外の各ＩＤＴは偶数本の電極指を有している。

図１０（ａ）は、実施例４の変形例に係る弾性表面波デバイスにおける、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示したものと同じ部分の拡大図であり、反射器４の代わりに浮き電極１１を使用した例である。

図１０（ａ）に示すように、ＩＤＴ１６とＩＤＴ２０とに隣り合うように浮き電極１１を設けることで、同位相の櫛型電極１６ａと櫛型電極２０ｂとが隣り合うことがなくなり、ＩＤＴ１６から伝搬する弾性表面波と、ＩＤＴ２０から伝搬する弾性表面波とは同位相となる。従って、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。

図１０（ｂ）は各ＩＤＴが奇数本の電極指を有する例である。図１０（ｂ）に示すように、ＩＤＴ１３には平衡端子８ａが接続され、ＩＤＴ１３とＩＤＴ１７とは位相が反転している。このとき、ＩＤＴ１７の櫛型電極１７ａとＩＤＴ２１の櫛型電極２１ｂとは位相が反転する。そのため、この例においても、ＩＤＴ１７とＩＤＴ２１とに隣り合うように浮き電極１１を設けることで、ＩＤＴ１７から伝搬する弾性表面波と、ＩＤＴ２１から伝搬する弾性表面波とは同位相となる。従って、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。

実施例４によれば、不平衡端子と接続されたＩＤＴの各々の電極指本数を奇数本とした場合、平行端子と接続されたＩＤＴと、そのＩＤＴと直列接続されたＩＤＴとに隣り合うように反射器または浮き電極を設けることで、互いから伝搬する弾性表面波を同位相とすることができる。すなわち、弾性表面波が打ち消し合うことを抑制することができる。

実施例５は不平衡端子に代えて平衡端子を用いる例である。

図１１（ａ）は実施例５に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図１１（ａ）に示した弾性表面波デバイスは、図６（ａ）に示した弾性表面波デバイスにおいて、ＩＤＴ１４を形成する一方の櫛型電極に平衡端子６ａ（別の平衡端子）が、ＩＤＴ２２を形成する一方の櫛型電極に平衡端子６ｂ（別の平衡端子）が各々接続されている。また、ＩＤＴ１４及び２２の各々を形成する他方の櫛型電極は接地されている。すなわち、弾性表面波デバイスが二対の平衡端子に接続されている。また、各々が平衡端子８ａ及び８ｂの各々に接続されたＩＤＴ１２とＩＤＴ２４とが、ＩＤＴ１６及び２０を介して直列接続されている。このため、平衡端子６ａ及び６ｂと平衡端子８ａ及び８ｂとの間のインピーダンス変換機能を有する弾性表面波デバイスを実現することができる。

図１１（ｂ）は実施例５の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。図１１（ｂ）に示す弾性表面波デバイスは、図５に示した弾性表面波デバイスにおいて、不平衡端子６に代えて平衡端子６ａ及び６ｂを用いた例である。ＩＤＴ３８、４３及び４８は同位相である。ＩＤＴ３８、４２、４３、４６、４８及び５２の各々を形成する一方の櫛型電極は接地されている。ＩＤＴ３８、４３及び４８の各々を形成する他方の櫛型電極には平衡端子６ａが接続されている。ＩＤＴ４２、４６及び５２は同位相であり、かつＩＤＴ３８等とは位相が反転している。ＩＤＴ４２、４６及び５２の各々を形成する他方の櫛型電極には平衡端子６ｂが接続されている。図１１（ｂ）の例によれば、平衡端子６ａ及び６ｂの各々が並列接続されるため、図１１（ａ）の例よりもインピーダンス変換比が大きくなる。

実施例５によれば、不平衡端子に代えて平衡端子を用いた場合でも、インピーダンス変換比の自由度が大きい弾性表面波デバイスを実現することができる。

なお、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は例示したものであり、図５及び図６（ａ）以外の構成の弾性表面波デバイスにおいて、平衡端子６ａ及び６ｂを用いても、同様の効果を得ることができる。

実施例６は弾性表面波デバイスを複数接続した弾性表面波装置の例である。

図１２（ａ）は、実施例６に係る弾性表面波装置のブロック図である。実施例６に係る弾性表面波装置は弾性表面波デバイス１００、１１０及び１２０を有する。各弾性表面波デバイスは、互いに略同一の通過周波数帯域を有し、例えば実施例１から５のいずれかの構造を採る弾性波デバイスである。

図１２（ａ）に示すように、弾性表面波デバイス１００、１１０及び１２０の各々は不平衡端子６及び接地端子３に接続され、各不平衡端子は並列接続されている。弾性表面波デバイス１００は互いに位相が反転した平衡端子８ａ及び８ｂに接続されている。同様に、弾性表面波デバイス１１０は平衡端子８ｃ及び８ｄ、弾性表面波デバイス１２０は平衡端子８ｅ及び８ｆに各々接続されている。平衡端子８ａ、８ｃ及び８ｅは同位相であり、平衡端子８ｂ、８ｄ及び８ｆは同位相である。平衡端子のうち、互いに位相が反転した平衡端子８ｂと平衡端子８ｃ、平衡端子８ｄと平衡端子８ｅとは直列接続されている。すなわち、弾性表面波デバイス１００、１１０及び１２０の全体で互いに位相が反転した二つの平衡端子８ａ及び８ｆを形成するように、互いに位相が反転した平衡端子が接続されている。従って、各弾性表面波デバイスの不平衡端子側は並列接続され、かつ平衡端子側は直列接続される。

実施例６によれば、接続する弾性表面波デバイスの数を変えること、弾性表面波デバイスの構成を変える（例えば実施例１から５のいずれかの構成に変える）ことにより、インピーダンス変換比を変更することができる。すなわち、バラン機能を有し、かつインピーダンス変換比の自由度が大きい弾性表面波装置を実現することができる。

図１２（ｂ）は、実施例６の変形例に係る弾性表面波装置のブロック図である。実施例６の変形例に係る弾性表面波装置は弾性表面波デバイス１００、１１０及び１２０を有し、各弾性表面波デバイスは図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に例示したように、二対の平衡端子と接続されており、互いに略同一の周波数帯域を有する。

図１２（ｂ）に示すように、弾性表面波デバイス１００は互いに位相が反転した平衡端子６ａ及び６ｂ、並びに互いに位相が反転した平衡端子８ａ及び８ｂに接続されている。同様に、弾性表面波デバイス１１０は平衡端子６ｃ及び６ｄ、並びに平衡端子８ｃ及び８ｄに接続され、弾性表面波デバイス１２０は平衡端子６ｅ及び６ｆ、並びに平衡端子８ｅ及び８ｆに接続されている。平衡端子６ａ、６ｃ及び６ｅは同位相であり、平衡端子６ｂ、６ｄ及び６ｆは同位相である。平衡端子６ａから６ｆのうち、同位相の平衡端子６ａ、６ｃ及び６ｅは並列接続され、平衡端子６ｂ、６ｄ及び６ｆは並列接続されている。また、図１２（ａ）の例と同様に、平衡端子８ｂと平衡端子８ｃ、平衡端子８ｄと平衡端子８ｅとは直列接続されている。従って、各弾性表面波デバイスに接続された二対の平衡端子のうち、一方の平衡端子は同位相のもの同士が並列接続され、かつ他方の平衡端子は全体で互いに位相が反転した二つの平衡端子８ａ及び８ｆを形成するように、直列接続される。

実施例６の変形例によれば、接続する弾性表面波デバイスの数を変えること、弾性表面波デバイスの構成を変えることにより、インピーダンス変換比を変更することができる。すなわち、インピーダンス変換比の自由度が大きい弾性表面波装置を実現することができる。

実施例１から６においては弾性表面波デバイスを用いるとしたが、弾性境界波デバイスを用いてもよい。

以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

図１（ａ）及び図１（ｂ）は従来技術に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図２（ａ）は実施例１に係る弾性表面波デバイスの平面図であり、図２（ｂ）は実施例１の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図３（ａ）及び図３（ｂ）は実施例１の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図４（ａ）は実施例２に係る弾性表面波デバイスの平面図であり、図４（ｂ）は実施例２の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図５は実施例２の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図６（ａ）は実施例３に係る弾性表面波デバイスの平面図であり、図６（ｂ）は実施例３の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図７（ａ）及び図７（ｂ）は実施例３の変形例に係る弾性表面波デバイスの拡大図である。 図８は実施例４に係る弾性表面波デバイスの基本構成を示す平面図である。 図９（ａ）は実施例４に係る弾性表面波デバイスの平面図であり、図９（ｂ）は実施例４の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は実施例４の変形例に係る弾性表面波デバイスの拡大図である。 図１１（ａ）は実施例５に係る弾性表面波デバイスの平面図であり、図１１（ｂ）は実施例５の変形例に係る弾性表面波デバイスの平面図である。 図１２（ａ）は実施例６に係る弾性表面波装置のブロック図であり、図１２（ｂ）は実施例６の変形例に係る弾性表面波装置のブロック図である。

符号の説明

圧電基板 ２
反射器 ４
不平衡端子 ６
平衡端子 ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆ、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆ
弾性表面波デバイス １００、１１０、１２０

Claims (10)

1. 圧電基板と、
   弾性波の伝搬方向に沿って前記圧電基板上に設けられた五つ以上のＩＤＴと、
   各々の平衡端子が、前記五つ以上のＩＤＴのうち、互いに位相が反転した二つの第１ＩＤＴの各々に接続された二つの前記平衡端子とを具備し、
   前記二つの第１ＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に前記二つの平衡端子の各々が接続され、
   他方の櫛型電極は互いに直列接続され、
   前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する一方の櫛型電極の各々に別の平衡端子が接続され、
   前記第２ＩＤＴを形成する他方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波デバイス。
2. 圧電基板と、
   弾性波の伝搬方向に沿って前記圧電基板上に設けられた五つ以上のＩＤＴと、
   各々の平衡端子が、前記五つ以上のＩＤＴのうち、互いに位相が反転した二つの第１ＩＤＴの各々に接続された二つの前記平衡端子とを具備し、
   前記二つの第１ＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、
   前記二つの第１ＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記二つの平衡端子の各々が接続され、
   前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、
   前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記二つの第１ＩＤＴと接続されていない少なくとも二つのＩＤＴである第２ＩＤＴの各々を形成する一方の櫛型電極の各々に別の平衡端子が接続され、
   前記第２ＩＤＴを形成する他方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波デバイス。
3. 複数の前記別の平衡端子に接続された前記複数の第２ＩＤＴのうち、同位相の前記第２ＩＤＴは並列接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の弾性波デバイス。
4. 前記圧電基板上に設けられたＩＤＴは、五つ以上のＩＤＴであり、
   前記二つの第１ＩＤＴは、前記五つ以上のＩＤＴのうち、前記第１ＩＤＴ及び前記第２ＩＤＴ以外のＩＤＴである第３ＩＤＴの少なくとも一つを介して直列接続されていることを特徴とする請求項１から３いずれか一項記載の弾性波デバイス。
5. 前記第２ＩＤＴの各々は偶数本の電極指を有することを特徴とする請求項１から４いずれか一項記載の弾性波デバイス。
6. 前記第２ＩＤＴの各々は奇数本の電極指を有し、
   二つの前記第３ＩＤＴと隣り合うように、反射器または浮き電極が設けられていることを特徴とする請求項４記載の弾性波デバイス。
7. 各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に含まれるＩＤＴに接続された複数の平衡端子と、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の不平衡端子とを具備し、
   前記三つ以上のＩＤＴに含まれる二つのＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に、前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、他方の櫛型電極は互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記一対の平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、前記他方の櫛型電極及び前記互いに位相が反転している平衡端子は接地されておらず、
   前記複数の不平衡端子は並列接続され、
   前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの間には、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴが設けられ、
   前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置。
8. 各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の別の平衡端子とを具備し、
   前記三つ以上のＩＤＴに含まれる二つの前記ＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極の各々に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、他方の櫛型電極は互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記一対の平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、
   前記別の平衡端子のうち、同位相の前記別の平衡端子は並列接続され、
   前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの間には、前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴが設けられ、
   前記二つのＩＤＴとは接続されていない別のＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置。
9. 各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、
   前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の不平衡端子とを具備し、
   前記複数の平衡端子に接続された複数の前記ＩＤＴは互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、
   前記複数の不平衡端子は並列接続され、
   前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、
   前記二つのＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、
   前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、
   前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記二つのＩＤＴと接続されていないＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置。
10. 各々が三つ以上のＩＤＴからなる複数の弾性波デバイスと、
    前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の平衡端子と、
    前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された複数の別の平衡端子とを具備し、
    前記複数の平衡端子に接続された複数の前記ＩＤＴは互いに直列接続され、かつ前記複数の弾性波デバイスで互いに位相が反転した二つの平衡端子を形成するように、前記複数の弾性波デバイスの各々に接続された前記平衡端子のうち、互いに位相が反転している前記平衡端子が接続され、
    前記別の平衡端子のうち、同位相の前記別の平衡端子は並列接続され、
    前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記複数の平衡端子と接続された二つのＩＤＴの各々を形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は二つに分割され、
    前記二つのＩＤＴの各々において、前記分割された櫛型電極の一方の櫛型電極に前記複数の平衡端子に含まれる一対の平衡端子の各々が接続され、
    前記分割された櫛型電極の他方の櫛型電極は互いに直列接続され、
    前記三つ以上のＩＤＴのうち、前記二つのＩＤＴと接続されていないＩＤＴを形成する互いに対向した櫛型電極のうち、一方の櫛型電極は接地されていることを特徴とする弾性波装置。

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