JP5210253B2 - 弾性波デバイス - Google Patents

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Description

本発明は、弾性波デバイスに関する。
近年、携帯電話端末等において、高周波回路におけるコモンモードノイズを抑制するために、受信側の信号を差動(平衡)型とするフィルタが用いられている。例えば、平衡端子と不平衡端子との間に、バラン及びラダー型フィルタを組み合わせた回路を接続した弾性波デバイスが知られている(特許文献1)。
特開2007−312324号公報
特許文献1に記載の弾性波デバイスでは、フィルタが入力端子に直接接続される構成となっており、フィルタの入力インピーダンスが固定されてしまう。このため、設計自由度が損なわれるだけでなく、フィルタの小型化が難しいという課題があった。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、バランを含むフィルタの設計自由度を高め、小型化を可能にした弾性波デバイスを提供することを目的とする。
本弾性波デバイスは、入力端子と、前記入力端子に接続され、前記入力端子から入力された信号を逆位相の2つの信号に変換して出力するバランと、前記バランに接続され、前記バランから入力された2つの信号を平衡出力信号として出力するフィルタと、を有する。また、前記バランの出力インピーダンスは、前記フィルタの入力インピーダンスと等しく、前記フィルタの出力インピーダンスより大きい。本構成によれば、バランが入力端子とフィルタとの間に接続されているため、フィルタの入力インピーダンスを任意に変更し、設計自由度を高めることができる。また、フィルタの入力インピーダンスを大きくすることで、フィルタを小型化し、弾性波デバイス全体の小型化を図ることができる。
上記構成において、前記フィルタは、2組のラダーフィルタから構成され、前記2組のラダーフィルタのそれぞれは、直列腕に接続された複数の直列共振器と、並列腕に接続された複数の並列共振器とを含む構成とすることができる。
上記構成において、前記2組のラダーフィルタにおいて、前記複数の並列共振器のうち最も入力側に配置された並列共振器は、各ラダーフィルタに共通の1つの並列共振器であり、且つ接地されておらず、前記複数の並列共振器のうち他の並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されている構成とすることができる。本構成によれば、最も入力側の並列共振器を合成して1つにするとともに、接地のために必要なパッドの数を減少させることができるため、弾性波デバイスの小型化を図ることができる。
上記構成において、前記2組のラダーフィルタにおいて、前記複数の並列共振器のうち最も入力側に配置された2つの並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されておらず、前記複数の並列共振器のうち他の並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されている構成とすることができる。本構成によれば、接地のために必要なパッドの数を減少させることができるため、弾性波デバイスの小型化を図ることができる。
上記構成において、前記複数の並列共振器の一端は全て接地されている構成とすることができる。
上記構成において、前記2組のラダーフィルタは、異なる回路構成である構成とすることができる。本構成によれば、バランを含めたフィルタのバランス性を向上させることができる。
上記構成において、前記複数の直列共振器及び前記複数の並列共振器の少なくとも一部は、表面弾性波共振器または薄膜弾性共振器である構成とすることができる。
上記構成において、前記フィルタは、DMSフィルタから構成されている構成とすることができる。
上記構成において、前記入力端子は共通端子であり、前記弾性波デバイスは、前記共通端子に接続されたフィルタを含むデュプレクサである構成とすることができる。
上記構成において、前記バランは、IPDからなる構成とすることができる。
本発明によれば、バランを含む弾性波デバイスの設計自由度を高め、装置全体を小型化することができる。
図1は、比較例に係る弾性波デバイスの模式図である。 図2は、実施例1に係る弾性波デバイスの模式図である。 図3は、実施例2に係る弾性波デバイスの模式図である。 図4は、実施例3に係る弾性波デバイスの模式図である。 図5は、実施例1及び実施例3に係る弾性波デバイスの特性を示したグラフである。 図4は、実施例4に係る弾性波デバイスの模式図である。
最初に、比較例に係る弾性波デバイスについて説明する。
(比較例)
図1は、比較例に係る弾性波デバイス100の模式図である。弾性波デバイス100は、1つの入力端子Inと、2つの出力端子T21及びT22を有する。入力端子Inと出力端子T21及びT22との間には、入力端子Inの側から順に、ラダーフィルタ90及びバラン92が直列に接続されている。ここで、ラダーフィルタ90とバラン92との間に位置するノードを中間ノードT1と称する。
ラダーフィルタ90は、入力端子Inと中間ノードT1との間に接続されている。ラダーフィルタ90は、直列腕に接続された複数の直列共振器S1〜S4と、並列腕に接続された複数の並列共振器P1〜P4とを含む。並列共振器P1は、一端が入力端子Inと直列共振器S1との間に接続され、他端が接地されている。並列共振器P2及びP3は、それぞれ一端が直列共振器S2とS3との間に接続され、他端が接地されている。並列共振器P4は、一端が直列共振器S4と中間ノードT1との間に接続され、他端が接地されている。
バラン92は、中間ノードT1と出力端子(T21、T22)との間に接続されている。中間ノードT1と出力端子T21との間には、キャパシタCS及びインダクタLPが接続されている。キャパシタCSは、信号の伝搬方向に対し直列に配置されている。インダクタLPは、キャパシタCSに対し並列に配置され、一端がキャパシタCSと出力端子T21との間に接続され、他端が接地されている。また、中間ノードT1と出力端子T22との間には、キャパシタCP及びインダクタLSが接続されている。インダクタLSは、信号の伝搬方向に対し直列に配置されている。キャパシタCPは、インダクタLSに対し並列に配置され、一端がインダクタLSと出力端子T22との間に接続され、他端が接地されている。
弾性波デバイス100では、不平衡信号が入力端子Inから入力される。ラダーフィルタ90は、入力信号のうち通過帯域外における信号を抑制する。バラン92は、ラダーフィルタ90を通過した信号を2つの逆位相の信号へと変換し、平衡信号として出力する。出力端子T21からは、キャパシタCSを通って位相が90°遅れた信号が出力され、出力端子T22からは、インダクタLSを通って位相が90°進んだ信号が出力される。
ここで、比較例に係る弾性波デバイス100では、バラン92がラダーフィルタ90と平衡端子(出力端子T21、T22)との間に接続されている。従って、弾性波デバイス100のフィルタとしての振幅バランス及び位相バランスは、バラン92に大きく依存してしまう。また、ラダーフィルタ90が入力端子Inに直接接続されているため、ラダーフィルタ90の入力インピーダンスが固定され、設計自由度が損なわれてしまう。入力インピーダンスが固定されると、ラダーフィルタ90の入力側に近い共振器(例えば、直列共振器S1及び並列共振器P1)の大きさも固定されてしまうため、デバイスの小型化を図ることが難しい。
上記の課題を踏まえた上で、以下に記載の実施例では、バランを含むフィルタの小型化を可能にし、設計自由度を高めた弾性波デバイスについて説明する。
図2は、実施例1に係る弾性波デバイス100Aの模式図である。弾性波デバイス100Aは、共通端子Ant、送信側からの入力端子(以下、送信端子)Tx、並びに受信側への出力端子(以下、受信端子)Rx1及びRx2を有する。共通端子Antと送信端子Txとの間には、ラダーフィルタ10が接続されている。共通端子Antと受信端子Rx1及びRx2との間には、共通端子Antの側から順に、バラン20及びフィルタ30が接続されている。
ラダーフィルタ10は、比較例(図1)で説明したラダーフィルタ90と同様の構成であり、直列共振器S1〜S4及び並列共振器P1〜P2を含む。詳細な構成については説明を省略する。
バラン20は、共通端子Antから不平衡信号を受信し、2つの逆位相の信号に変換した上で、フィルタ30へと出力する。ここで、バラン20とフィルタ30との間に位置するノードのうち、90°進んだ信号が出力されるノードを中間ノードRx1(in)、90°遅れた信号が出力されるノードを中間ノードRx2(in)と称する。
共通端子Antと中間ノードRx1(in)との間には、インダクタLS及びキャパシタCPが接続されている。インダクタLSは、信号の伝搬方向に対し直列に配置されている。キャパシタCPは、インダクタLSに対し並列に配置され、一端がインダクタLSと中間ノードRx1(in)との間に接続され、他端が接地されている。
共通端子Antと中間ノードRx2(in)との間には、キャパシタCS及びインダクタLPが接続されている。キャパシタCSは、信号の伝搬方向に対し直列に配置されている。インダクタLPは、キャパシタCSに対し並列に配置され、一端がキャパシタCSと中間ノードRx2(in)との間に接続され、他端が接地されている。なお、バラン20に含まれる各受動素子(CS、CP、LS、LP)は、集積化受動素子(IPD:Integrated Passive Device)IPD21として形成されている。
フィルタ30は、バラン20から2つの信号を受信し、通過帯域外の信号を抑制した上で、平衡出力信号として受信端子へと出力する。ここで、フィルタ30の2つの出力端子のうち、90°進んだ信号が出力される端子を受信端子Rx1(bal.)、90°遅れた信号が出力される端子を受信端子Rx2(bal.)と称する。
フィルタ30は、2組のラダーフィルタ32及び34から構成されている。ラダーフィルタ32及び34は、それぞれ直列腕に接続された直列共振器S11〜S14及びS21〜S24と、並列腕に接続された並列共振器P11〜P14及びP21〜P24とを含む。直列共振器S11〜S14は、中間ノードRx1(in)と受信端子Rx1(bal.)との間に、中間ノードRx1(in)の側から順に直列に配置されている。
並列共振器P11〜P14は、それぞれ一端が直列共振器S11〜S14の間のノードに接続されている。詳細には、並列共振器P11の一端は直列共振器S11とS12との間に、並列共振器P12の一端は直列共振器S12とS13との間に、並列共振器P13の一端は直列共振器S13とS14との間に、並列共振器P14の一端は直列共振器S14と受信端子Rx1(bal.)との間に接続されている。直列共振器S21〜S24及び並列共振器P21〜P24についても、それぞれ直列共振器S11〜S14及び並列共振器P11〜P14と同様の接続関係となっている。
また、並列共振器P11〜P14及びP21〜P24において、直列共振器に接続された側と反対側の端同士は、それぞれ接続され、且つ接地されている。換言すれば、弾性波デバイス100Aにおいては、並列共振器P11〜P14及びP21〜P24の一端が全て接地されている。なお、直列共振器S11〜S24、及び並列共振器P11〜P24としては、例えば薄膜弾性共振器(FBAR:Film Bulk Acoustic Resonator)や、表面弾性波(SAW:Surface Acoustic Wave)共振器を用いることができる。
次に、バラン20及びフィルタ30におけるインピーダンスについて説明する。バラン20の入力インピーダンスをZin、出力インピーダンスをZout、中心角周波数をω、インダクタンスをL、キャパシタンスをCとしたとき、これらのパラメータは以下の関係にある。
Figure 0005210253
Figure 0005210253
入力インピーダンスZinの値は、共通端子Antに依存する。バラン20では、任意の入力インピーダンスZinに対し、インダクタンスL及びキャパシタンスCを適宜変更することにより、所望の出力インピーダンスZoutを得ることができる。
フィルタ30の入力インピーダンス及び出力インピーダンスは、フィルタ30を構成する共振器(S11〜S24及びP11〜P24)の特性に依存する。特に、入力インピーダンスに対しては、入力側に近い共振器(直列共振器S11及びS21)のインピーダンスの影響が大きい。例えば、共振器が薄膜弾性共振器(FBAR)からなる場合には、電極の面積を小さくすることにより、インピーダンスを大きくすることができる。また、共振器が表面弾性波共振器からなる場合には、IDT(Interdigital Transducer)の電極指ピッチ、交差幅、電極幅及び電極対数の少なくとも1つのパラメータを小さくすることにより、インピーダンスを大きくすることができる。どちらの場合でも、インピーダンスが大きくなるほど、共振器のサイズは小さくなる傾向にある。
出力側のインピーダンスについても、入力側と同様である。以上のように、フィルタ30の入出力インピーダンスは、共振器のパラメータを変更することにより適宜変更することができる。
本実施例では、バラン20の出力インピーダンスが、フィルタ30の入力インピーダンスと等しくなるように設定されている。これにより、バラン20及びフィルタ30におけるインピーダンスのミスマッチを抑制することができる。また、フィルタ30の出力インピーダンスは、バラン20の出力インピーダンス(及びフィルタ30の入力インピーダンス)に比べて小さく設定されている。これらのインピーダンスの大小関係は、上述した方法でバラン20の出力インピーダンス及びフィルタ30の入出力インピーダンスを適宜変更することにより実現することができる。
例えば、バラン20の入力インピーダンスが50Ω、フィルタ30の出力インピーダンスが100Ω(50Ω不平衡入力−100Ω平衡出力)のとき、バラン20の出力インピーダンス及びフィルタ30の入力インピーダンスは、100Ωより大きい値(例えば、200Ω)とすることができる。バラン20の出力インピーダンス及びフィルタ30の入力インピーダンスは、フィルタ30の出力インピーダンスに比べて25%以上大きいことが好ましく、50%以上大きいことがさらに好ましい。また、100%以上大きいことがさらに好ましい。
実施例1の弾性波デバイス100Aによれば、バラン20が、共通端子Antとフィルタ30との間に接続されている。これにより、弾性波デバイス100Aのフィルタとしての振幅バランス及び位相バランスを、フィルタ30により調節することができ、バラン20への依存度を低減することができる。また、フィルタ30がバラン20の出力端に接続されているため、フィルタ30の入力インピーダンスをバラン20により任意に設定することができ、設計自由度を高めることができる。
特に、バラン20の出力インピーダンスが、フィルタ30の入力インピーダンスと等しく、フィルタ30の出力インピーダンスより大きくなるようにすることで、フィルタ30の入力インピーダンスの値を大きくすることができる。これにより、フィルタ30の入力側に近い共振器(直列共振器S11及びS21)のサイズを小さくすることができるため、弾性波デバイス100A全体の小型化を図ることができる。
図3は、実施例2に係る弾性波デバイス100Bの模式図である。フィルタ30を構成する2組のラダーフィルタ32及び34において、最も入力側に配置された並列共振器P11及びP21は、互いに一端同士が接続され、且つ接地されていない。その他の構成は実施例1(図2)と同様であり、詳細な説明を省略する。また、バラン20及びフィルタ30における入出力インピーダンスの関係も、実施例1と同様である。
実施例2に係る弾性波デバイス100Bによれば、並列共振器P11及びP21が接地されていないものの、実施例1に係る弾性波デバイス100Aとほとんど変わることのないフィルタ特性を実現することができる。これは、フィルタ30の入力側に近い(すなわち、出力側から遠い)並列共振器P11及びP21については、接地の有無がフィルタの特性に与える影響が少ないためである。この点については実施例3で詳述する。さらに、弾性波デバイス100Bでは、並列共振器P11及びP21を接地するための接地パッドを設けなくともよいため、実施例1に比べてフィルタ30及び装置全体の小型化を図ることができる。
図4は、実施例3に係る弾性波デバイス100Cの模式図である。フィルタ30を構成する2組のラダーフィルタ32及び34において、最も入力側に配置された並列共振器は、各ラダーフィルタに共通の並列共振器P10であり、且つ接地されていない。すなわち、実施例2(図3)における並列共振器P11及びP21が、合成されて1つの並列共振器P10となっており、その一旦は直列共振器S11及びS12の間に、他端は直列共振器S21及びS22の間に接続されている。その他の構成は実施例2(図3)と同様であり、詳細な説明を省略する。また、バラン20及びフィルタ30における入出力インピーダンスの関係も、実施例1〜2と同様である。
図5は、実施例3に係る弾性波デバイス100C及び実施例1に係る弾性波デバイス100Aの、受信側の特性を比較したグラフである。ここでは、通過帯域をBand3(Tx:1710〜1785MHz、Rx:1805〜1880MHz)、共振器は薄膜弾性共振器(FBAR)としてシミュレーションを行った。
図5に示すように、実施例1と実施例3とでは、通過帯域内外における信号の減衰量についてほとんど差が生じない。一方、実施例3の弾性波デバイス100Cでは、並列共振器P11及びP21を接地するための接地パッドを設けなくともよいため、実施例1に比べてフィルタ30及び装置全体の小型化を図ることができる。また、並列共振器P11及びP21を合成して1つの並列共振器P10としたため、フィルタ30及び装置全体を実施例1〜2に比べてさらに小型化することができる。
実施例1〜3において、フィルタ30に含まれるラダーフィルタ32及び34の回路構成は同一としてもよいが、異なるものとしてもよい。2組のラダーフィルタの回路構成を異ならせることで、バランを含めたフィルタのバランス性を向上させることができる。なお、回路構成が異なるとは、例えば2つの回路を構成する素子の種類、数、及び接続関係のうち1つ以上が異なることを指す。また、回路の構成要素及び接続関係が同一の場合であって、各構成要素の電気的特性(容量・抵抗値など)や具体的形態(電極の形状、寸法など)が異なる場合も含む。実施例1〜3においても、これらのパラメータを異なるものとすることが好ましい。
実施例1〜3では、入力側に一番近い並列共振器以外の並列共振器(P12〜P14、P22〜P24)は常に接地されていたが、これらの並列共振器のうち一部を接地しない構成としてもよい。並列共振器を接地するか否かは、弾性波デバイス100A〜100Cの電気的特性により決定される。ただし、出力側に最も近い並列共振器(P14、P24)については、接地することが好ましい。また、各ラダーフィルタに含まれる直列共振器及び並列共振器の数は、上記実施例の数(それぞれ4つ)に限定されるものではない。
実施例4は、ラダーフィルタの代わりにDMSフィルタを用いた例である。
図6は、実施例4に係る弾性波デバイス100Dの模式図である。各端子の配置、並びにラダーフィルタ10及びバラン20の構成は、実施例1〜3と同様であるため詳細な説明を省略する。実施例4では、バラン20と受信端子Rx1(bal.)及びRx2(bal.)との間に、フィルタ30の代わりにDMS(Double Mode SAW)フィルタ40が配置されている。バラン20及びDMSフィルタ40における入出力インピーダンスの関係は、実施例1と同様である。
DMSフィルタ40は、中間ノードRx1(in)及び受信端子Rx1(bal.)の間に接続されたフィルタ50と、中間ノードRx2(in)及び受信端子Rx2(bal.)の間に接続されたフィルタ70とを含む。フィルタ50は、直列に接続されたDMSフィルタ52及び54から構成され、それぞれのDMSフィルタは表面弾性波の伝搬方向に配置された3つのIDT(55〜57、60〜62)と、その両側に配置された1組の反射器(58〜59、63〜64)とを含む。
入力側に位置するDMSフィルタ52は、中央のIDT56が入力IDT、その両側のIDTが出力IDTとして機能する。入力側DMSフィルタ52の入力IDT56は、中間ノードRx1(in)に接続されている。出力側に位置するDMSフィルタ54は、中央のIDT61が出力IDT、その両側のIDTが入力IDTとして機能する。出力側DMSフィルタ54の入力IDT60及び62は、入力側DMSフィルタ52の出力IDT55及び57とそれぞれ接続されている。出力側DMSフィルタ54の出力IDT61は、受信端子RX1(bal.)に接続されている。
中間ノードRx2(in)に接続されたフィルタ70の構成は、フィルタ50と同様である。すなわち、フィルタ70は、直列に接続されたDMSフィルタ72及び74から構成され、それぞれのDMSフィルタは表面弾性波の伝搬方向に配置された3つのIDT(75〜77、80〜82)と、その両側に配置された1組の反射器(78〜79、83〜84)とを含む。
実施例4に係る弾性波デバイス100Dでは、フィルタとしてDMSフィルタ40を用いている。DMSフィルタ40の入力インピーダンスを出力インピーダンスより大きくするためには、DMSフィルタ40の入力側に位置するIDT(55〜57、75〜77)の電極指ピッチ、交差幅、電極幅及び電極対数の少なくとも1つのパラメータを出力側より小さく設定すればよい。
実施例4に係る弾性波デバイス100Dでは、共通端子AntとDMSフィルタ40との間にバランを接続することにより、DMSフィルタ40の入力インピーダンスを変更可能とし、設計自由度を高めることができる。また、バラン20の出力インピーダンスが、DMSフィルタ40の入力インピーダンスと等しく、DMSフィルタ40の出力インピーダンスより大きくなるようにすることで、DMSフィルタ40の入力側に位置するIDTを小型化し、DMSフィルタ40及び装置全体の小型化を図ることができる。
実施例1〜4では、送信側のラダーフィルタ10を備えたデュプレクサを例に説明を行ったが、弾性波デバイス100A〜100Dはラダーフィルタ10を備えていなくともよい。この場合は比較例と同じく、共通端子Antが入力端子Inとなる。
実施例1〜4において、バラン20はIPD21により構成されていたが、バラン20をIPD以外の方法で構成してもよい。ただし、実施例1〜4のようにIPDを採用することにより、弾性波デバイス100A〜100Dをさらに小型化することができる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 ラダーフィルタ
20 バラン
30 フィルタ
40 DMSフィルタ

Claims (10)

  1. 入力端子と、
    前記入力端子に接続され、前記入力端子から入力された信号を逆位相の2つの信号に変換して出力するバランと、
    前記バランに接続され、前記バランから入力された2つの信号を平衡出力信号として出力するフィルタと、を有し、
    前記バランの出力インピーダンスは、前記フィルタの入力インピーダンスと等しく、前記フィルタの出力インピーダンスより大きいことを特徴とする弾性波デバイス。
  2. 前記フィルタは、2組のラダーフィルタから構成され、
    前記2組のラダーフィルタのそれぞれは、直列腕に接続された複数の直列共振器と、並列腕に接続された複数の並列共振器とを含むことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
  3. 前記2組のラダーフィルタにおいて、
    前記複数の並列共振器のうち最も入力側に配置された並列共振器は、各ラダーフィルタに共通の1つの並列共振器であり、且つ接地されておらず、
    前記複数の並列共振器のうち他の並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されていることを特徴とする請求項2記載の弾性波デバイス。
  4. 前記2組のラダーフィルタにおいて、
    前記複数の並列共振器のうち最も入力側に配置された2つの並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されておらず、
    前記複数の並列共振器のうち他の並列共振器の一端同士が接続され、且つ接地されていることを特徴とする請求項2記載の弾性波デバイス。
  5. 前記複数の並列共振器の一端は全て接地されていることを特徴とする請求項2記載の弾性波デバイス。
  6. 前記2組のラダーフィルタは、異なる回路構成であることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載の弾性波デバイス。
  7. 前記複数の直列共振器及び前記複数の並列共振器の少なくとも一部は、表面弾性波共振器または薄膜弾性共振器であることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の弾性波デバイス。
  8. 前記フィルタは、DMSフィルタから構成されていることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
  9. 前記入力端子は共通端子であり、
    前記弾性波デバイスは、前記共通端子に接続されたフィルタを含むデュプレクサであることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の弾性波デバイス。
  10. 前記バランは、IPDから構成されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の弾性波デバイス。

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