CN106797206B - 弹性波谐振器以及梯型滤波器 - Google Patents

弹性波谐振器以及梯型滤波器 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够谋求小型化且能够实现低损耗的弹性波谐振器。一种弹性波谐振器(1)，在压电基板(2)上设置有被串联分割的多个分割谐振器，弹性波谐振器(1)具备：第一、第二外侧汇流条(7、8)；第一级间汇流条(9)；第一～第四电极指(3a、3b、4a、4b)；以及第一、第二虚设电极指(12、13)，在第一级间汇流条(9)的设置有第二、第三电极指(3b、4a)的一侧的至少一方未设置第三虚设电极指，或者，具有长度比第一、第二虚设电极指(12、13)的长度短的多条第三虚设电极指(14)，在第二电极指(3b)延伸的延长线上，配置有第三电极指(4a)，第一、第二电极指(3a、3b)彼此交叉插入的部分的电极指的间距与第三、第四电极指(4a、4b)彼此交叉插入的部分的电极指的间距相等。

Description

弹性波谐振器以及梯型滤波器
技术领域
本发明涉及由被串联分割的多个分割谐振器构成的弹性波谐振器以及具有该弹性波谐振器的梯型滤波器。
背景技术
以往，在便携式电话机的带通滤波器等中广泛使用了由多个弹性波谐振器构成的弹性波滤波器。
在下述的专利文献1公开了构成这种弹性波滤波器的弹性波谐振器。在专利文献1中，构成弹性波谐振器的IDT电极在电极指延伸的方向上被串联分割。
此外，在下述的专利文献2公开了具有多个弹性波谐振器的梯型滤波器。在专利文献2中，记载了在未被串联分割的IDT电极设置有虚设电极指的结构。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开昭57-119509号公报
专利文献2：日本特开2003-324335号公报
发明内容
发明要解决的课题
在像专利文献1那样具备被串联分割的IDT电极的弹性波谐振器中，能够提高耐电力性。然而，当弹性波泄漏到谐振器之外时，损耗容易增大。
在像专利文献2那样在IDT电极设置有虚设电极指的情况下，能够抑制弹性波的泄漏。然而，在专利文献1记载的被串联分割的IDT电极设置有专利文献2记载的虚设电极指的情况下，难以谋求小型化。
本发明的目的在于，提供一种能够谋求小型化且能够实现低损耗的弹性波谐振器以及梯型滤波器。
用于解决课题的技术方案
本申请的第一发明涉及的弹性波谐振器在压电基板上设置有在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割的多个分割谐振器，上述多个分割谐振器分别具有IDT电极，上述弹性波谐振器具备：第一外侧汇流条和第二外侧汇流条，是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条；第一级间汇流条，对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个上述IDT电极进行电连接；多条第一电极指，一端与上述第一外侧汇流条连接；多条第二电极指，一端与上述第一级间汇流条连接，上述多条第二电极指与上述多条第一电极指彼此交叉插入；多条第三电极指，一端与上述第一级间汇流条的设置有上述多条第二电极指的一侧的相反侧连接；多条第四电极指，与上述多条第三电极指彼此交叉插入；多条第一虚设电极指，一端与上述第一外侧汇流条连接，上述多条第一虚设电极指配置为与上述多条第二电极指隔开间隙对置；以及多条第二虚设电极指，一端与上述第二外侧汇流条连接，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与上述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比上述多条第一虚设电极指和上述多条第二虚设电极指的长度短的上述多条第三虚设电极指，在与弹性波传播方向正交的方向上，在上述第二电极指延伸的延长线上，隔着上述第一级间汇流条配置有上述第三电极指，上述第一电极指和上述第二电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与上述第三电极指和上述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
在本申请的第一发明涉及的弹性波谐振器的某个特定的局面中，在将设置有上述第一外侧汇流条的上述IDT电极设为第一IDT电极并将在与弹性波传播方向正交的方向上与上述第一IDT电极相邻的上述IDT电极设为第二IDT电极时，由上述第一IDT电极传播的弹性波与由上述第二IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
本申请的第二发明涉及的弹性波谐振器在压电基板上设置有在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割的多个分割谐振器，上述多个分割谐振器分别具有IDT电极，上述弹性波谐振器具备：第一外侧汇流条和第二外侧汇流条，是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条；第一级间汇流条，对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个上述IDT电极进行电连接；多条第一电极指，一端与上述第一外侧汇流条连接；多条第二电极指，一端与上述第一级间汇流条连接，上述多条第二电极指与上述多条第一电极指彼此交叉插入；多条第三电极指，一端与上述第一级间汇流条的设置有上述多条第二电极指的一侧的相反侧连接；多条第四电极指，与上述多条第三电极指彼此交叉插入；多条第一虚设电极指，一端与上述第一外侧汇流条连接，上述多条第一虚设电极指配置为与上述多条第二电极指隔开间隙对置；以及多条第二虚设电极指，一端与上述第二外侧汇流条连接，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与上述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比上述多条第一虚设电极指和上述多条第二虚设电极指的长度短的上述多条第三虚设电极指，在将设置有上述第一外侧汇流条的上述IDT电极设为第一IDT电极并将在与弹性波传播方向正交的方向上与上述第一IDT电极相邻的上述IDT电极设为第二IDT电极时，由上述第一IDT电极传播的弹性波与由上述第二IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
在本申请的第二发明涉及的弹性波谐振器的某个特定的局面中，在与弹性波传播方向正交的方向上，在上述第二电极指延伸的延长线上，隔着上述第一级间汇流条配置有上述第三电极指，上述第一电极指和上述第二电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与上述第三电极指和上述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
以下，有时将第一发明和第二发明统称为本发明。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧这双方，未设置一端与上述第一级间汇流条连接的上述多条第三虚设电极指。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧中的一方，设置有一端与上述第一级间汇流条连接的上述多条第三虚设电极指，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧中的另一方，未设置上述多条第三虚设电极指。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，在上述第一级间汇流条的设置有上述第二电极指的一侧和设置有上述第三电极指的一侧这双方，设置有一端与上述第一级间汇流条连接的上述多条第三虚设电极指，在与弹性波传播方向正交的方向上，上述多条第三虚设电极指的长度比上述多条第一虚设电极指和上述多条第二虚设电极指的长度短。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述多条第四电极指的一端与上述第二外侧汇流条连接，上述多条第二虚设电极指的未与上述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与上述多条第三电极指隔开间隙对置。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，还具备：第二级间汇流条，连接上述多条第四电极指的一端，并对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个上述IDT电极进行电连接；多条第五电极指，一端与上述第二级间汇流条的设置有上述多条第四电极指的一侧的相反侧连接；以及多条第六电极指，与上述多条第五电极指彼此交叉插入，在上述第二级间汇流条的设置有上述第四电极指的一侧和设置有上述第五电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与上述第二级间汇流条连接的多条第四虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比上述多条第一虚设电极指和上述多条第二虚设电极指的长度短的上述多条第四虚设电极指。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，在与弹性波传播方向正交的方向上，在上述第四电极指延伸的延长线上，隔着上述第二级间汇流条配置有上述第五电极指，上述第三电极指和上述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与上述第五电极指和上述第六电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，在将设置有上述第一外侧汇流条的上述IDT电极设为第一IDT电极、将在与弹性波传播方向正交的方向上与上述第一IDT电极相邻的上述IDT电极设为第二IDT电极、并将在与弹性波传播方向正交的方向上与上述第二IDT电极的和上述第一IDT电极相邻的一侧的相反侧相邻的上述IDT电极设为第三IDT电极时，由上述第二IDT电极传播的弹性波和由上述第三IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述多条第六电极指的一端与上述第二外侧汇流条连接，上述多条第二虚设电极指的未与上述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与上述多条第五电极指隔开间隙对置。
本发明涉及的梯型滤波器具备：多个串联臂谐振器，设置在连结输入端子和输出端子的串联臂；以及多个并联臂谐振器，分别设置在连结上述串联臂和接地电位的多个并联臂，上述多个串联臂谐振器以及上述多个并联臂谐振器中的至少一个谐振器是上述本发明涉及的弹性波谐振器。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够谋求小型化且能够实现低损耗的弹性波谐振器以及梯型滤波器。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。
图2是本发明的第二实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。
图3是本发明的第三实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。
图4是本发明的第四实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。
图5是本发明的第五实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。
图6是本发明的一个实施方式涉及的梯型滤波器的电路图。
图7是示出梯型滤波器的衰减量频率特性的图。
图8是构成比较例的梯型滤波器的弹性波谐振器的示意性俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
另外，需要指出，本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。
(第一实施方式)
图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。如图1所示，弹性波谐振器1具有矩形板状的压电基板2。压电基板2由LiTaO3、LiNbO3那样的压电单晶基板构成。压电基板2也可以由压电陶瓷形成。
在压电基板2的主面上设置有第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B。第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割。更详细地，第二分割谐振器1B在与弹性波传播方向正交的方向上与第一分割谐振器1A串联连接。
第一分割谐振器1A由第一IDT电极3和配置在第一IDT电极3的弹性波传播方向两侧的反射器5、6形成。第二分割谐振器1B由第二IDT电极4和配置在第二IDT电极4的弹性波传播方向两侧的反射器5、6形成。第一IDT电极3和第二IDT电极4在与弹性波传播方向正交的方向上相邻。反射器5、6由第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B所共有。第一IDT电极3和第二IDT电极4以及反射器5、6形成在压电基板2的主面上。
第一IDT电极3和第二IDT电极4能够由Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以这些金属中的任一种为主体的合金等适当的金属材料形成。第一IDT电极3和第二IDT电极4可以是单层，也可以是层叠了两种以上的金属层的层叠体。
第一IDT电极3具有多条第一电极指3a和多条第二电极指3b。多条第一电极指3a和多条第二电极指3b在与弹性波传播方向正交的方向上延伸。多条第一电极指3a和多条第二电极指3b彼此交叉插入。
多条第一电极指3a的一端与第一外侧汇流条7连接。第一外侧汇流条7是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条中的一侧的汇流条。
多条第一虚设电极指12的一端连接于在第一外侧汇流条7。多条第一虚设电极指12的另一端配置为与第一IDT电极3的多条第二电极指3b隔开间隙对置。通过设置多条第一虚设电极指12，从而能够有效地防止后面说明的弹性波向外部的泄漏。
多条第二电极指3b的一端与第一级间汇流条9连接。第一级间汇流条9作为对构成在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个分割谐振器的第一IDT电极3和第二IDT电极4进行电连接的一个公共的汇流条而设置为一体。
第二IDT电极4具有多条第三电极指4a和多条第四电极指4b。多条第三电极指4a和多条第四电极指4b在与弹性波传播方向正交的方向上延伸。多条第三电极指4a和多条第四电极指4b彼此交叉插入。
多条第三电极指4a的一端与第一级间汇流条9的设置有多条第二电极指3b的一侧的相反侧连接。
此外，多条第四电极指4b的一端与第二外侧汇流条8连接。第二外侧汇流条8是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条中的与第一外侧汇流条7不同侧的汇流条。
多条第二虚设电极指13的一端连接于第二外侧汇流条8。多条第二虚设电极指13的另一端与第二IDT电极4的多条第三电极指4a隔开间隙对置。通过设置多条第二虚设电极指13，从而能够抑制弹性波向外部的泄漏。
在本实施方式中，构成为第一IDT电极3的电极指的对数以及交叉宽度与第二IDT电极4的电极指的对数以及交叉宽度相同。不过，在本发明中，也可以形成为在第一IDT电极3和第二IDT电极4中电极指的对数以及交叉宽度不同，但是优选像本实施方式那样构成为在第一IDT电极3和第二IDT电极4中电极指的对数以及交叉宽度相同。这是因为，由此能够抑制电容的偏差，从而使在各级施加的电力相等，能够更进一步提高耐电力性。
如图1所示，在第一IDT电极3的第二电极指3b延伸的延长线上，隔着第一级间汇流条9配置有第二IDT电极4的第三电极指4a。在本实施方式中，以第一级间汇流条9为对称轴，第一IDT电极3的第二电极指3b和第二IDT电极4的第三电极指4a配置为轴对称。
作为第一级间汇流条9的宽度，没有特别限定，但是优选为1λ以下。另外，将由IDT电极的间距决定的波长的长度设为λ。当第一级间汇流条9的宽度超过1λ时，有时振动会衰减。从谋求更进一步的小型化的观点出发，第一级间汇流条9的宽度更优选为λ/3以下，进一步优选为λ/4以下。此外，优选第一级间汇流条9的宽度为第一外侧汇流条7和第二外侧汇流条8的宽度以下。更优选第一级间汇流条9的宽度小于第一外侧汇流条7和第二外侧汇流条8的宽度。
在第一实施方式中，如上所述，在第一IDT电极3的第二电极指3b延伸的延长线上配置有第二IDT电极4的第三电极指4a。此外，如图1所示，第一电极指3a和第二电极指3b彼此交叉插入的部分的电极指的间距与第三电极指4a和第四电极指4b彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。像这样，本说明书中的间距是指，在IDT电极中电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距。在像上述那样将电极指的间距设为相等的情况下，能够使相邻的第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B激振，因此能够实现低损耗。
此外，在第一外侧汇流条7和第二外侧汇流条8设置有第一虚设电极指12和第二虚设电极指13。因此，能够防止弹性波向外部的泄漏，能够实现低损耗。
另外，即使不具备像上述那样在第二电极指3b延伸的延长线上配置有第三电极指4a且相邻的第一IDT电极3和第二IDT电极4的电极指的间距设为相等的结构，只要由第一IDT电极3传播的弹性波和由第二IDT电极4传播的弹性波的相位以及波长相等，就能够实现低损耗。另外，弹性波的波长由上述电极指的间距决定。
进而，在第一实施方式中，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧和设置有第三电极指4a的一侧这双方，未设置一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指。因此，能够谋求小型化。不过，在未在第一级间汇流条9设置上述多条第三虚设电极指的情况下，损耗有可能会增大。然而，在本实施方式中，通过采用上述的图1的结构，从而实现低损耗。因此，能够在谋求小型化的同时减小损耗。
具体地，由第一IDT电极3激振的弹性波和在弹性波从第一IDT电极3越过第一级间汇流条9而传播到第二IDT电极4时由第二IDT电极4激振的弹性波，其波长和相位一致。由此，能够抑制弹性波的能量损耗。
(第二实施方式)
图2是本发明的第二实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。在第二实施方式涉及的弹性波谐振器21中，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧，设置有一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指14。第三虚设电极指14的另一端配置为与第一IDT电极3的第一电极指3a隔开间隙对置。另外，在第二实施方式中，在第一级间汇流条9的设置有第三电极指4a的一侧，未设置一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指。其它方面与第一实施方式相同。
在第二实施方式中，如上所述，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧设置有第三虚设电极指14，因此能够谋求更进一步的低损耗化。另一方面，在第一级间汇流条9的设置有第三电极指4a的一侧未设置第三虚设电极指，因此能够谋求小型化。因此，能够在谋求小型化的同时实现低损耗。另外，也可以部分地不设置配置在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧的第三虚设电极指14。
(第三实施方式)
图3是本发明的第三实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。在第三实施方式涉及的弹性波谐振器31中，在第一级间汇流条9的设置有第三电极指4a的一侧设置有一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指14。第三虚设电极指14的另一端配置为与第二IDT电极4的第四电极指4b隔开间隙对置。另外，在第三实施方式中，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧，未设置一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指。其它方面与第一实施方式相同。
在第三实施方式中，如上所述，在第一级间汇流条9的设置有第三电极指4a的一侧设置有第三虚设电极指14，因此能够谋求更进一步的低损耗化。此外，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧未设置第三虚设电极指，因此能够谋求小型化。因此，能够在谋求小型化的同时实现低损耗。
(第四实施方式)
图4是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。在第四实施方式涉及的弹性波谐振器41中，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧和设置有第三电极指4a的一侧这双方，设置有一端与第一级间汇流条9连接的多条第三虚设电极指14、14。多条第三虚设电极指14、14的另一端配置为与多条第一电极指3a或多条第四电极指4b隔开间隙对置。在与弹性波传播方向正交的方向上，第三虚设电极指14、14的长度比第一虚设电极指12和第二虚设电极指13的长度短。其它方面与第一实施方式相同。另外，还能够与部分地不设置第三虚设电极指14、14的结构进行组合。
在第四实施方式中，如上所述，在第一级间汇流条9的设置有第二电极指3b的一侧和设置有第三电极指4a的一侧这双方，设置有多条第三虚设电极指14、14，因此能够谋求更进一步的低损耗化。此外，在与弹性波传播方向正交的方向上，第三虚设电极指14、14的长度比第一虚设电极指12和第二虚设电极指13的长度短，因此能够谋求小型化。因此，能够在谋求小型化的同时实现低损耗。
(第五实施方式)
图5是本发明的第五实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性俯视图。在第五实施方式涉及的弹性波谐振器51中，在与弹性波传播方向正交的方向上，在第二分割谐振器1B还串联连接有第三分割谐振器1C。即，在第五实施方式中，在压电基板2上设置有在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割的第一分割谐振器1A～第三分割谐振器1C。
第三分割谐振器1C由第三IDT电极11和配置在第三IDT电极11的弹性波传播方向两侧的反射器5、6形成。第三IDT电极11在与弹性波传播方向正交的方向上与第二IDT电极4的与第一IDT电极3相邻的一侧的相反侧相邻。反射器5、6被第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B所共有。第三IDT电极11以及反射器5、6形成在压电基板2上。
第三IDT电极11具有多条第五电极指11a和多条第六电极指11b。多条第五电极指11a和多条第六电极指11b在与弹性波传播方向正交的方向上延伸。多条第五电极指11a和多条第六电极指11b彼此交叉插入。
如图5所示，在本实施方式中，多条第四电极指4b的一端未与第二外侧汇流条8连接。多条第四电极指4b的一端与第二级间汇流条10连接。第二级间汇流条10对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的第二IDT电极4和第三IDT电极11进行电连接。
多条第五电极指11a的一端与第二级间汇流条10的设置有多条第四电极指4b的一侧的相反侧连接。
在本实施方式中，在第二级间汇流条10的设置有第四电极指4b的一侧和设置有第五电极指11a的一侧这双方，未设置一端与第二级间汇流条10连接的多条第四虚设电极指。因此，能够谋求更进一步的小型化。
多条第六电极指11b的一端与第二外侧汇流条8连接。第二外侧汇流条8是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条中的与第一外侧汇流条7不同侧的汇流条。
多条第二虚设电极指13的一端连接于第二外侧汇流条8。多条第二虚设电极指13的另一端配置为与第三IDT电极11的多条第五电极指11a隔开间隙对置。通过设置多条第二虚设电极指13，从而能够抑制弹性波向外部的泄漏。
如图5所示，在第二IDT电极4的第四电极指4b延伸的延长线上，隔着第二级间汇流条10配置有第三IDT电极11的第五电极指11a。此外，第三电极指4a和第四电极指4b彼此交叉插入的部分的电极指的间距与第五电极指11a和第六电极指11b彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。在该情况下，除了相邻的第一分割谐振器1A和第二分割谐振器1B以外，还能够使相邻的第二分割谐振器1B和第三分割谐振器1C激振，因此能够实现低损耗。
另外，即使不具备像上述那样在第四电极指4b延伸的延长线上配置有第五电极指11a且将相邻的第二IDT电极4和第三IDT电极11的电极指的间距设为相等的结构，只要由第二IDT电极4传播的弹性波和由第三IDT电极11传播的弹性波的相位以及波长相等，就能够实现低损耗。这一点与第一实施方式相同。
此外，在第五实施方式中，也在第一外侧汇流条7和第二外侧汇流条8设置有第一虚设电极指12和第二虚设电极指13。因此，能够防止弹性波向外部的泄漏，能够实现低损耗。
进而，在第五实施方式中，在第二级间汇流条10的设置有第四电极指4b的一侧和设置有第五电极指11a的一侧这双方，未设置多条第四虚设电极指。因此，在第五实施方式中，在第一级间汇流条9和第二级间汇流条10均未设置虚设电极指，能够谋求更进一步的小型化。不过，在未在第一级间汇流条9和第二级间汇流条10设置虚设电极指的情况下，损耗有可能会增大。然而，如上所述，在本实施方式中，通过采用图5的结构，从而能够实现低损耗。因此，能够在谋求小型化的同时实现低损耗。
(梯型滤波器)
图6是本发明的一个实施方式涉及的梯型滤波器的电路图。在图6所示的梯型滤波器中，在连结输入端子15和输出端子16的串联臂设置有串联臂谐振器S1～S5。串联臂谐振器S1被串联分割。即，串联臂谐振器S1被分割为两个分割谐振器S1a、S1b。同样地，串联臂谐振器S2被分割为两个分割谐振器S2a、S2b，串联臂谐振器S3被分割为两个分割谐振器S3a、S3b。此外，串联臂谐振器S4被分割为两个分割谐振器S4a、S4b，串联臂谐振器S5被分割为3个分割谐振器S5a～S5c。
在将串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点与接地电位进行连结的并联臂中，设置有并联臂谐振器P1。并联臂谐振器P1被分割为两个分割谐振器P1a、P1b。
并联臂谐振器P2的一端与串联臂谐振器S2和串联臂谐振器S3之间的连接点电连接，另一端与并联臂谐振器P3、P4共同连接。并联臂谐振器P3的一端与串联臂谐振器S3、S4之间的连接点连接，另一端与并联臂谐振器P2、P4共同连接。并联臂谐振器P4的一端与串联臂谐振器S4、S5之间的连接点连接，另一端与并联臂谐振器P2、P3共同连接。在并联臂谐振器P2～P4的共同连接的部分与接地电位之间连接有电感L。
并联臂谐振器P2被分割为两个分割谐振器P2a、P2b。同样地，并联臂谐振器P3被分割为两个分割谐振器P3a、P3b，并联臂谐振器P4被分割为两个分割谐振器P4a、P4b。
在本实施方式中，串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4全部由本发明涉及的弹性波谐振器构成。更具体地，对串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1～P4应用了上述第一实施方式的弹性波谐振器1，对串联臂谐振器S5应用了上述第五实施方式涉及的弹性波谐振器51。因此，本实施方式涉及的梯型滤波器能够在谋求小型化的同时实现低损耗。以下，参照图7进行更详细的说明。
图7是示出梯型滤波器的衰减量频率特性的图。图7中，用实线示出上述本发明的一个实施方式涉及的梯型滤波器的实验例的结果，用虚线示出比较例的结果。
在实验例中，在图6所示的梯型滤波器中，对串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1～P4应用了上述第一实施方式的弹性波谐振器1，对串联臂谐振器S5应用了上述第五实施方式涉及的弹性波谐振器51。
另一方面，在比较例中，对图6所示的梯型滤波器的全部谐振器应用了在级间汇流条的两侧设置有虚设电极指的弹性波谐振器。
更具体地，对图6所示的梯型滤波器的串联臂谐振器S1～S4以及并联臂谐振器P1～P4应用了图8所示的在级间汇流条的两侧设置有虚设电极指的弹性波谐振器。此外，虽然未图示，但是对串联臂谐振器S5应用了在对相邻的3个IDT电极进行电连接的两个级间汇流条中在各级间汇流条的两侧设置有虚设电极指的弹性波谐振器。设置在各级间汇流条的虚设电极指14比设置在外侧汇流条的虚设电极指12、13长。另外，在本实验例和比较例中，作为IDT电极使用了以下的IDT电极。以下，示出实施了本发明的串联谐振器的参数的一部分。
IDT电极的交叉宽度：42μm
IDT电极的对数：196对
电极指的间距：1.97μm
占空比(duty)：0.58
频带：Band1(1950MHz频段)
如图7所示，可知在本实施方式涉及的梯型滤波器中，尽管未在全部的级间汇流条设置虚设电极指而谋求了小型化，但仍然示出了与在全部的级间汇流条的两侧设置有虚设电极指的比较例大致相同的衰减量频率特性。由此能够确认，在本实施方式涉及的梯型滤波器中，能够谋求小型化且实现了低损耗。
另外，在本实验例中，如上所述，对梯型滤波器的全部谐振器应用了本发明涉及的弹性波谐振器，但是只要对梯型滤波器的至少一个谐振器应用本发明涉及的弹性波谐振器，就能够得到本发明效果。
附图标记说明
1、21、31、41、51：弹性波谐振器；
1A、1B、1C：第一分割谐振器、第二分割谐振器、第三分割谐振器；
2：压电基板；
3、4：第一IDT电极、第二IDT电极；
3a：第一电极指；
3b：第二电极指；
4a：第三电极指；
4b：第四电极指；
5、6：反射器；
7、8：第一外侧汇流条、第二外侧汇流条；
9、10：第一级间汇流条、第二级间汇流条；
11：第三IDT电极；
11a：第五电极指；
11b：第六电极指；
12～14：第一虚设电极指～第三虚设电极指；
15：输入端子；
16：输出端子；
P1～P4：并联臂谐振器；
S1～S5：串联臂谐振器；
S1a、S1b、S2a、S2b、S3a、S3b、S4a、S4b、S5a～S5c、P1a、P1b、P2a、P2b、P3a、P3b、P4a、P4b：分割谐振器。

Claims (21)

1.一种弹性波谐振器，在压电基板上设置有在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割的多个分割谐振器，所述多个分割谐振器分别具有IDT电极，所述弹性波谐振器具备：
第一外侧汇流条和第二外侧汇流条，是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条；
第一级间汇流条，对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个所述IDT电极进行电连接；
多条第一电极指，一端与所述第一外侧汇流条连接；
多条第二电极指，一端与所述第一级间汇流条连接，所述多条第二电极指与所述多条第一电极指彼此交叉插入；
多条第三电极指，一端与所述第一级间汇流条的设置有所述多条第二电极指的一侧的相反侧连接；
多条第四电极指，与所述多条第三电极指彼此交叉插入；
多条第一虚设电极指，一端与所述第一外侧汇流条连接，所述多条第一虚设电极指配置为与所述多条第二电极指隔开间隙对置；以及
多条第二虚设电极指，一端与所述第二外侧汇流条连接，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与所述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短的所述多条第三虚设电极指，
在与弹性波传播方向正交的方向上，在所述第二电极指延伸的延长线上，隔着所述第一级间汇流条配置有所述第三电极指，
所述第一电极指和所述第二电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与所述第三电极指和所述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，
在将设置有所述第一外侧汇流条的所述IDT电极设为第一IDT电极并将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第一IDT电极相邻的所述IDT电极设为第二IDT电极时，由所述第一IDT电极传播的弹性波与由所述第二IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧这双方，未设置一端与所述第一级间汇流条连接的所述多条第三虚设电极指。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的一方，设置有一端与所述第一级间汇流条连接的所述多条第三虚设电极指，在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的另一方，未设置所述多条第三虚设电极指。
5.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧这双方，设置有一端与所述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，
在与弹性波传播方向正交的方向上，所述多条第三虚设电极指的长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短。
6.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
所述多条第四电极指的一端与所述第二外侧汇流条连接，
所述多条第二虚设电极指的未与所述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与所述多条第三电极指隔开间隙对置。
7.根据权利要求1或2所述的弹性波谐振器，其中，
还具备：
第二级间汇流条，连接所述多条第四电极指的一端，并对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个所述IDT电极进行电连接；
多条第五电极指，一端与所述第二级间汇流条的设置有所述多条第四电极指的一侧的相反侧连接；以及
多条第六电极指，与所述多条第五电极指彼此交叉插入，
在所述第二级间汇流条的设置有所述第四电极指的一侧和设置有所述第五电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与所述第二级间汇流条连接的多条第四虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短的所述多条第四虚设电极指。
8.根据权利要求7所述的弹性波谐振器，其中，
在与弹性波传播方向正交的方向上，在所述第四电极指延伸的延长线上，隔着所述第二级间汇流条配置有所述第五电极指，
所述第三电极指和所述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与所述第五电极指和所述第六电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
9.根据权利要求7所述的弹性波谐振器，其中，
在将设置有所述第一外侧汇流条的所述IDT电极设为第一IDT电极、将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第一IDT电极相邻的所述IDT电极设为第二IDT电极、并将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第二IDT电极的和所述第一IDT电极相邻的一侧的相反侧相邻的所述IDT电极设为第三IDT电极时，由所述第二IDT电极传播的弹性波和由所述第三IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
10.根据权利要求7所述的弹性波谐振器，其中，
所述多条第六电极指的一端与所述第二外侧汇流条连接，
所述多条第二虚设电极指的未与所述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与所述多条第五电极指隔开间隙对置。
11.一种弹性波谐振器，在压电基板上设置有在与弹性波传播方向正交的方向上被串联分割的多个分割谐振器，所述多个分割谐振器分别具有IDT电极，所述弹性波谐振器具备：
第一外侧汇流条和第二外侧汇流条，是在与弹性波传播方向正交的方向上位于最外侧的两侧的汇流条；
第一级间汇流条，对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个所述IDT电极进行电连接；
多条第一电极指，一端与所述第一外侧汇流条连接；
多条第二电极指，一端与所述第一级间汇流条连接，所述多条第二电极指与所述多条第一电极指彼此交叉插入；
多条第三电极指，一端与所述第一级间汇流条的设置有所述多条第二电极指的一侧的相反侧连接；
多条第四电极指，与所述多条第三电极指彼此交叉插入；
多条第一虚设电极指，一端与所述第一外侧汇流条连接，所述多条第一虚设电极指配置为与所述多条第二电极指隔开间隙对置；以及
多条第二虚设电极指，一端与所述第二外侧汇流条连接，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与所述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短的所述多条第三虚设电极指，
在将设置有所述第一外侧汇流条的所述IDT电极设为第一IDT电极并将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第一IDT电极相邻的所述IDT电极设为第二IDT电极时，由所述第一IDT电极传播的弹性波与由所述第二IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
12.根据权利要求11所述的弹性波谐振器，其中，
在与弹性波传播方向正交的方向上，在所述第二电极指延伸的延长线上，隔着所述第一级间汇流条配置有所述第三电极指，
所述第一电极指和所述第二电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与所述第三电极指和所述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
13.根据权利要求11或12所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧这双方，未设置一端与所述第一级间汇流条连接的所述多条第三虚设电极指。
14.根据权利要求11或12所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的一方，设置有一端与所述第一级间汇流条连接的所述多条第三虚设电极指，在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧中的另一方，未设置所述多条第三虚设电极指。
15.根据权利要求11或12所述的弹性波谐振器，其中，
在所述第一级间汇流条的设置有所述第二电极指的一侧和设置有所述第三电极指的一侧这双方，设置有一端与所述第一级间汇流条连接的多条第三虚设电极指，
在与弹性波传播方向正交的方向上，所述多条第三虚设电极指的长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短。
16.根据权利要求11或12所述的弹性波谐振器，其中，
所述多条第四电极指的一端与所述第二外侧汇流条连接，
所述多条第二虚设电极指的未与所述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与所述多条第三电极指隔开间隙对置。
17.根据权利要求11或12所述的弹性波谐振器，其中，
还具备：
第二级间汇流条，连接所述多条第四电极指的一端，并对在与弹性波传播方向正交的方向上相邻的两个所述IDT电极进行电连接；
多条第五电极指，一端与所述第二级间汇流条的设置有所述多条第四电极指的一侧的相反侧连接；以及
多条第六电极指，与所述多条第五电极指彼此交叉插入，
在所述第二级间汇流条的设置有所述第四电极指的一侧和设置有所述第五电极指的一侧中的至少一方，未设置一端与所述第二级间汇流条连接的多条第四虚设电极指，或者，还具有在与弹性波传播方向正交的方向上长度比所述多条第一虚设电极指和所述多条第二虚设电极指的长度短的所述多条第四虚设电极指。
18.根据权利要求17所述的弹性波谐振器，其中，
在与弹性波传播方向正交的方向上，在所述第四电极指延伸的延长线上，隔着所述第二级间汇流条配置有所述第五电极指，
所述第三电极指和所述第四电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距与所述第五电极指和所述第六电极指彼此交叉插入的部分的电极指的间距设为相等。
19.根据权利要求17所述的弹性波谐振器，其中，
在将设置有所述第一外侧汇流条的所述IDT电极设为第一IDT电极、将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第一IDT电极相邻的所述IDT电极设为第二IDT电极、并将在与弹性波传播方向正交的方向上与所述第二IDT电极的和所述第一IDT电极相邻的一侧的相反侧相邻的所述IDT电极设为第三IDT电极时，由所述第二IDT电极传播的弹性波和由所述第三IDT电极传播的弹性波的相位以及波长设为相等。
20.根据权利要求17所述的弹性波谐振器，其中，
所述多条第六电极指的一端与所述第二外侧汇流条连接，
所述多条第二虚设电极指的未与所述第二外侧汇流条连接的一侧的另一端配置为与所述多条第五电极指隔开间隙对置。
21.一种梯型滤波器，具备：
多个串联臂谐振器，设置在连结输入端子和输出端子的串联臂；以及
多个并联臂谐振器，分别设置在连结所述串联臂和接地电位的多个并联臂，
所述多个串联臂谐振器以及所述多个并联臂谐振器中的至少一个谐振器是权利要求1～20中的任一项所述的弹性波谐振器。
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