JPS5847317A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS5847317A JPS5847317A JP14579181A JP14579181A JPS5847317A JP S5847317 A JPS5847317 A JP S5847317A JP 14579181 A JP14579181 A JP 14579181A JP 14579181 A JP14579181 A JP 14579181A JP S5847317 A JPS5847317 A JP S5847317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- transducer
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電性基板上に弾性表面波励振用トランス
デユーサとグレーティング反射器を形成してなる弾性表
面波共振子に関する・弾性表面波共振子の基本構成は、
第１図に示すように圧電性基板１上に、電気信号を弾性
表面波に変換せしめるインターディジタル電極からなる
トランスデユーサ２と、このトランスデユーサ２で励振
され両方向に伝搬する弾性表面波を中央に反射せしめる
ための、弾性表面波波長のＡのピッチで多数本のストリ
、ゾを周期的に配置してなるグレーティング反射器３．
４とを形成したものでおる。
デユーサとグレーティング反射器を形成してなる弾性表
面波共振子に関する・弾性表面波共振子の基本構成は、
第１図に示すように圧電性基板１上に、電気信号を弾性
表面波に変換せしめるインターディジタル電極からなる
トランスデユーサ２と、このトランスデユーサ２で励振
され両方向に伝搬する弾性表面波を中央に反射せしめる
ための、弾性表面波波長のＡのピッチで多数本のストリ
、ゾを周期的に配置してなるグレーティング反射器３．
４とを形成したものでおる。
ところで、このような共振子でインピーダンスの大きい
ものｔ得るためには、トランスデユーサ２の電極開口長
、すなわちインターディジタル電極の電柾指の噛み合う
部分（交差部）の長さを小さくする必要がある。しかし
単純にこの電極開口長を小さくすると、伝搬する弾性表
面波のビームが回折の現象によって広がす、所望の共振
子形成領域から外に放射されて逃げていくことが原因の
一つとなる共振損失が増加し１共振子としての性能、す
なわちＱが低下する・この点を解決するため、発明者ら
は先に第２図に示すように、２個のインターディジタル
電極！’Ｊ 、２２を電気的に直列に接続してトランス
デユーサ２を構成し、かっこのトランスデユーサ２から
励振された弾性表面波の伝搬路の幅方向全域にわたるよ
うにグレーティング反射器３．４を形−成した弾性表面
波共振子を提案している。（特願昭５６−５１６６号） この構成によれば、（ｌ高く保ちながらインピーダンス
を上げることができる。しかし反面、この構成ではトラ
ンスデユーサ２の実効開口長が大きくなるため、第３図
にその共振通過特性を示すように、高次横モード波によ
るスゲリアス３１．３２が発生するという問題がある。
ものｔ得るためには、トランスデユーサ２の電極開口長
、すなわちインターディジタル電極の電柾指の噛み合う
部分（交差部）の長さを小さくする必要がある。しかし
単純にこの電極開口長を小さくすると、伝搬する弾性表
面波のビームが回折の現象によって広がす、所望の共振
子形成領域から外に放射されて逃げていくことが原因の
一つとなる共振損失が増加し１共振子としての性能、す
なわちＱが低下する・この点を解決するため、発明者ら
は先に第２図に示すように、２個のインターディジタル
電極！’Ｊ 、２２を電気的に直列に接続してトランス
デユーサ２を構成し、かっこのトランスデユーサ２から
励振された弾性表面波の伝搬路の幅方向全域にわたるよ
うにグレーティング反射器３．４を形−成した弾性表面
波共振子を提案している。（特願昭５６−５１６６号） この構成によれば、（ｌ高く保ちながらインピーダンス
を上げることができる。しかし反面、この構成ではトラ
ンスデユーサ２の実効開口長が大きくなるため、第３図
にその共振通過特性を示すように、高次横モード波によ
るスゲリアス３１．３２が発生するという問題がある。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は
インピーダンスが高く、がっＱが大きく、しかもスゲリ
アスの少ない弾性表面波共振子を提供することにｂる。
インピーダンスが高く、がっＱが大きく、しかもスゲリ
アスの少ない弾性表面波共振子を提供することにｂる。
高次横モード波によるスゲリアスを抑圧するための方法
として、電気信号−弾性表面波共振子トランスデューサ
にＣｏｓ型アＩダイズ法と呼ばれる重み付けを施すこと
によシ、グレーティング反射器内の横モード波のうち特
定の単一モードのみに相当する表面波を励振し、他の高
次モードのスプリアスが発生しないようにする方法が提
案されている。（１９７６、Ｕｌｔｒａ＠ｏｕｉａａ８
７ｍｐｏ＠１ｍｍ Ｐｒｏａｅｅｄｌｎｇｓ Ｍｕ
ｌｔ１ｍｏｄ＠ ＳａｗＲ＊５ｏｎａｔｏｒ −Ａ Ｍ
ｅｔｈｏｄ ｔｏ ５ｔｕｄｙ Ｔｈｓ Ｏｐｔｌｍｕ
ｍＲｅｍｏｎａｔｏｎ ｄ＠ｉ１ｇｎ Ｗ−Ｈ＊Ｈａｙ
ｄｌ著）。
として、電気信号−弾性表面波共振子トランスデューサ
にＣｏｓ型アＩダイズ法と呼ばれる重み付けを施すこと
によシ、グレーティング反射器内の横モード波のうち特
定の単一モードのみに相当する表面波を励振し、他の高
次モードのスプリアスが発生しないようにする方法が提
案されている。（１９７６、Ｕｌｔｒａ＠ｏｕｉａａ８
７ｍｐｏ＠１ｍｍ Ｐｒｏａｅｅｄｌｎｇｓ Ｍｕ
ｌｔ１ｍｏｄ＠ ＳａｗＲ＊５ｏｎａｔｏｒ −Ａ Ｍ
ｅｔｈｏｄ ｔｏ ５ｔｕｄｙ Ｔｈｓ Ｏｐｔｌｍｕ
ｍＲｅｍｏｎａｔｏｎ ｄ＠ｉ１ｇｎ Ｗ−Ｈ＊Ｈａｙ
ｄｌ著）。
本発明は、このＣＯ８型アポダイズ法貫み付けを、複数
個のインターディジタル電極を直列接続してなるトラン
スデユーサに応用したもので、仁のトランスデユーサか
ら励振される総合の弾性表面波エネルギー分布をＣＯ８
型にすることを骨子としている。さらに具体的には、例
えば２個のインターディジタル電極全各−万のくし型！
極を共通接続することによって一気的に直列に接続して
トランスデユーサを構成する場合、共通接続さ−れた各
一方のくし型電極または、各他方のくし型電極の電極指
の長さを、その先端部がこれらのくし型電極全体として
余弦カーブを描くように、弾性表面波の伝搬方向におい
て徐々に変化させることを特徴としている。
個のインターディジタル電極を直列接続してなるトラン
スデユーサに応用したもので、仁のトランスデユーサか
ら励振される総合の弾性表面波エネルギー分布をＣＯ８
型にすることを骨子としている。さらに具体的には、例
えば２個のインターディジタル電極全各−万のくし型！
極を共通接続することによって一気的に直列に接続して
トランスデユーサを構成する場合、共通接続さ−れた各
一方のくし型電極または、各他方のくし型電極の電極指
の長さを、その先端部がこれらのくし型電極全体として
余弦カーブを描くように、弾性表面波の伝搬方向におい
て徐々に変化させることを特徴としている。
従って、本発明によればＱを大きく保ちなからインピー
ダンスを上げることができるとともに、高次横モード波
によるスゲリアスが抑圧でれた良好な特性を持った弾性
表面波共振子が得られる。
ダンスを上げることができるとともに、高次横モード波
によるスゲリアスが抑圧でれた良好な特性を持った弾性
表面波共振子が得られる。
以下、図面を参照して本発明の実施例ｔ−説明する。
第４図は本発明の一実施例に係る弾性表面波共振子の構
成を示したもので、圧電性基板４１、例えばＬｉＴａ０
’ （リチウムタンタレイト）基板上に、アルミニウ
ム薄膜のような金属膜からなる電気信号を弾性表面波に
変換せしめるトランスデユーサ４２−およびその両側に
位置してトランスデユーサ４２から励振された弾性表面
波を反射せしめるグレーティング反射器４３．４４が形
成されている。
成を示したもので、圧電性基板４１、例えばＬｉＴａ０
’ （リチウムタンタレイト）基板上に、アルミニウ
ム薄膜のような金属膜からなる電気信号を弾性表面波に
変換せしめるトランスデユーサ４２−およびその両側に
位置してトランスデユーサ４２から励振された弾性表面
波を反射せしめるグレーティング反射器４３．４４が形
成されている。
トランスデユーサ４２は、２個のインターディジタル電
極４２１，４２２が各々励振する弾性表面波の伝搬方向
が一致するようにくし型電極−１ｂの電極指が平行に形
成され、かつ各一方のくし型電極ａが共通接続されるこ
とによって電気的に直列に接続されている。そして、イ
ンターディジタル電極４２１．４２２は共通接続された
各一方のくし型電極ａの電極指の長さが、その先端部が
これらのくし型電極ａ全体として余弦カーブを描くよう
に、弾性表面波の伝搬方向において徐々に変化している
。また、インターディジタル電極４２１．４２２の各他
方のくし型電極すの電極指の長さは一定である。
極４２１，４２２が各々励振する弾性表面波の伝搬方向
が一致するようにくし型電極−１ｂの電極指が平行に形
成され、かつ各一方のくし型電極ａが共通接続されるこ
とによって電気的に直列に接続されている。そして、イ
ンターディジタル電極４２１．４２２は共通接続された
各一方のくし型電極ａの電極指の長さが、その先端部が
これらのくし型電極ａ全体として余弦カーブを描くよう
に、弾性表面波の伝搬方向において徐々に変化している
。また、インターディジタル電極４２１．４２２の各他
方のくし型電極すの電極指の長さは一定である。
具体的数値例を挙げれば、インターディジタル電極４２
１，４２２の電極開口長は、伝搬する弾性表面波の波長
をλ０として、最大のところ（＜ Ｌｍ’−極畠の′−
電極指最長のところ）で２０λ０−であり、電極指の数
は各々１１対、ま−ｒｉＩＥ極指の線幅は８μｍ１配列
ビ、チ（周期長）は１６μｍである。
１，４２２の電極開口長は、伝搬する弾性表面波の波長
をλ０として、最大のところ（＜ Ｌｍ’−極畠の′−
電極指最長のところ）で２０λ０−であり、電極指の数
は各々１１対、ま−ｒｉＩＥ極指の線幅は８μｍ１配列
ビ、チ（周期長）は１６μｍである。
一方、グレーティング反射器４３．４４は各各２００本
のストリップ電極によって構成され、ストリップ電極の
線幅および配列ピッチはインターディジタル電極４２１
．４２２と同じであり、さらに開口長はインターディジ
タル電極４２１゜４ｚ′ｉＶ開口長の合計と同じ４ｏλ
・である。す。
のストリップ電極によって構成され、ストリップ電極の
線幅および配列ピッチはインターディジタル電極４２１
．４２２と同じであり、さらに開口長はインターディジ
タル電極４２１゜４ｚ′ｉＶ開口長の合計と同じ４ｏλ
・である。す。
なわち、グレーティング反射器４３．４４はトランスデ
−サ４２によって励振された弾性表面波の伝搬路の幅方
向全域にわたって形成されている。
−サ４２によって励振された弾性表面波の伝搬路の幅方
向全域にわたって形成されている。
このように構成された本発明による弾性表面波共−子は
、トランスデー−サ４２を構成するインターディジタル
電極４２１．４２２の最大の電極開口長２０λ。と同じ
電極開口長の１個のインターディジタル電極をトランス
デユーサに用いた場合と同程度の高いインピーダンス値
が得られる。しかもグレーティング反射器４３゜４４が
インターディジタル電極、４２ Ｊ 、 ４ ｊ 、？
を直列に接続したトランスデユーサ４２から励振される
弾性表面波を効率よく反射するように構成されているた
め、Ｑは％ｉ極開開日長４ｏλ０のトランスデユーサを
用いた場合と同程度の値を維持することができる。
、トランスデー−サ４２を構成するインターディジタル
電極４２１．４２２の最大の電極開口長２０λ。と同じ
電極開口長の１個のインターディジタル電極をトランス
デユーサに用いた場合と同程度の高いインピーダンス値
が得られる。しかもグレーティング反射器４３゜４４が
インターディジタル電極、４２ Ｊ 、 ４ ｊ 、？
を直列に接続したトランスデユーサ４２から励振される
弾性表面波を効率よく反射するように構成されているた
め、Ｑは％ｉ極開開日長４ｏλ０のトランスデユーサを
用いた場合と同程度の値を維持することができる。
そしてさらに、インターディジタル電極４２１゜４２２
は全体としてＣＯ８型アポダイズ法による重み付けが施
されておシ、トランスデユーサ４−！ｊから励振される
総合の弾性表面波エネルギー分布がＣＯ８型となってｂ
るため、高次横モード波によるスゲリアスの抑圧も図ら
れることになる。−第５図は本発明の上記実施例に係る
弾性表面波共振子の共振通過特性を示したもので、第３
図に見られていたスゲリアス３１．：ｔ！がよく抑圧さ
れているのが理解されよう。
は全体としてＣＯ８型アポダイズ法による重み付けが施
されておシ、トランスデユーサ４−！ｊから励振される
総合の弾性表面波エネルギー分布がＣＯ８型となってｂ
るため、高次横モード波によるスゲリアスの抑圧も図ら
れることになる。−第５図は本発明の上記実施例に係る
弾性表面波共振子の共振通過特性を示したもので、第３
図に見られていたスゲリアス３１．：ｔ！がよく抑圧さ
れているのが理解されよう。
この発明は前記実施例に限定されるものではなく、例え
ばインターディジタルと極４２”４２２の各他方のくし
型１極すなわち共通接続されない方のくし型電極ｂｏｗ
極指の長さを弾性表面波の伝搬方向において徐々に変化
させても、スゲリアスの抑圧に関して同じ効果を得るこ
とができる。
ばインターディジタルと極４２”４２２の各他方のくし
型１極すなわち共通接続されない方のくし型電極ｂｏｗ
極指の長さを弾性表面波の伝搬方向において徐々に変化
させても、スゲリアスの抑圧に関して同じ効果を得るこ
とができる。
また、第６図に示すようにグレーティング反射器４３．
４４についても４３１，４３２゜４４１．４４１の如く
２分割して直列に接続した構成とすることが可能である
。
４４についても４３１，４３２゜４４１．４４１の如く
２分割して直列に接続した構成とすることが可能である
。
また、第７図に示すようにインターディジタル電極４２
１．４２２の電極指の長さが一定の方のくし型電極すの
相互間に、くし型電極ａと一先端どうし対向する形でダ
ミー電極Ｃを形成して−トランスデユーサ４２Ｆ３での
弾性表面波の波面の乱れ！防止することもできる・ さらに・以上の例でｊｄ１個のトランスデユーサを用い
たいわ゛ゆるｌ端子対型の共振子を例示したが、グレー
ティング反射器の間に２個のトランスデユーサを並設し
、一方を入力トランスデユーサ、他方會出力トッンスデ
ューサとして用いるよりな２端子対型の共振子にも木兄
ＢＡ全適用することができる。
１．４２２の電極指の長さが一定の方のくし型電極すの
相互間に、くし型電極ａと一先端どうし対向する形でダ
ミー電極Ｃを形成して−トランスデユーサ４２Ｆ３での
弾性表面波の波面の乱れ！防止することもできる・ さらに・以上の例でｊｄ１個のトランスデユーサを用い
たいわ゛ゆるｌ端子対型の共振子を例示したが、グレー
ティング反射器の間に２個のトランスデユーサを並設し
、一方を入力トランスデユーサ、他方會出力トッンスデ
ューサとして用いるよりな２端子対型の共振子にも木兄
ＢＡ全適用することができる。
以上の実施例では、インターディジタル電極を２個直列
接続してトランスデー−サを構成し九が、３個以上のイ
ンターディジタル電極管直列接続してトランスデユーサ
を構成した場合にも、この発明を適用できる。第８図、
第９図はその実施例で、両側のインターディジタル電極
４２１．４２２は前記各実施例とｔ’ｔぼ同様に形成さ
れ、中央のインターディジタル電’ｆＭ４２３は電極開
口長、すなわち両くし型電極の電極指の長穫一定として
いる。
接続してトランスデー−サを構成し九が、３個以上のイ
ンターディジタル電極管直列接続してトランスデユーサ
を構成した場合にも、この発明を適用できる。第８図、
第９図はその実施例で、両側のインターディジタル電極
４２１．４２２は前記各実施例とｔ’ｔぼ同様に形成さ
れ、中央のインターディジタル電’ｆＭ４２３は電極開
口長、すなわち両くし型電極の電極指の長穫一定として
いる。
ととるで、これらの場合両側のインターディジタル電極
４２１，４２２でのインピーダンスと中央のインターデ
ィジタル電極４２３でのインピーダンスを等しくするこ
とが重要である。
４２１，４２２でのインピーダンスと中央のインターデ
ィジタル電極４２３でのインピーダンスを等しくするこ
とが重要である。
これらのインピーダンスに差があると、正しいＣＯ８型
の弾性表面波エネルギー分布が得られないからである。
の弾性表面波エネルギー分布が得られないからである。
そこで、第８図ではインターディジタル電極４２３の電
極開口長をインターディジタル電極４２１．４２２よシ
小さくして、また第９図ではインターディジタル電極４
２３の電極指の故を少なくして、インピーダンスを揃え
ている・
極開口長をインターディジタル電極４２１．４２２よシ
小さくして、また第９図ではインターディジタル電極４
２３の電極指の故を少なくして、インピーダンスを揃え
ている・
第１図は弾性表面波共像子の基本構成を示す平面歯、第
２図はインピーダンスの増加とＱのｎ上を図った弾性表
面波共振子の平面図、第３図はその共振通過特性を示す
図、第４図は本発明の一実施例忙係る弾性表面波累子の
平面図、第５図はその共振通過特性を示す図、第６図〜
第９図は本発明の他の実施例の平面図である。 ４１・・・圧、電性基板、４２・・・トランスデユーサ
、４３．４４・・・グレーティング反射器、４１１゜４
１！１，４２３−・・インターディジタル電極＠出願人
代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１ｉ／［ ８２ｍ １ 第３１１ 周波数（Ｍｌｈ） 第４図 ｊＩｚ図
２図はインピーダンスの増加とＱのｎ上を図った弾性表
面波共振子の平面図、第３図はその共振通過特性を示す
図、第４図は本発明の一実施例忙係る弾性表面波累子の
平面図、第５図はその共振通過特性を示す図、第６図〜
第９図は本発明の他の実施例の平面図である。 ４１・・・圧、電性基板、４２・・・トランスデユーサ
、４３．４４・・・グレーティング反射器、４１１゜４
１！１，４２３−・・インターディジタル電極＠出願人
代理人 弁理士 鈴 江 武 彦１ｉ／［ ８２ｍ １ 第３１１ 周波数（Ｍｌｈ） 第４図 ｊＩｚ図
Claims (2)
- （１）圧電性基板と、この基板上に形成され電気信号を
弾性表面波に変換せしめるインターディジタル電極から
なるトランスデー−サと、このトランスデユーサによっ
て励振される弾性表面波の伝搬路の幅方向全域にわたる
ように前記基板上に形成され、前記弾性表面波を反射せ
しめるグレーティング反射器とからなる弾性表面波共振
子において、前記トランスデユーサは各各励振する弾性
表面波の伝搬方向が一致するように電気的に直列に接続
された複数個のインターディジタル電極か、らなシ、こ
れらのインターディジタル電極は前記トランスデユーサ
から励振される総合の弾性表面波エネルギー分布が余弦
カーブを描くように弾性表面波の伝搬方向において徐々
に変化していることを特徴とする弾性表面波共振子。 - （２） 圧電性基板と、この基板上に形成され電気信
号を弾性表面波に変換せしめるインターディジタル電極
からなるトランスデユーサと、このトランスデユーサに
よって励振される弾性表面波の伝搬路の幅方向全域にわ
たるように前記基板上に形成され、前記弾性表面波を反
射せしめるグレーティング反射器と−からなる弾性表面
波共振子において、前記トランスデユーサは各各励振す
る弾性表面波の伝搬方向が一致するようにくし型電極の
電極指が平行に形成され、かつ各一方のくし型電極が共
通接続されることによって電気的に直列に接続された２
個のインターディジタル電極からな〕、これらのインタ
ーディジタル電極は共通接続された各一方のくし型電極
、または各他方のくし型電極の電極指の長さが１その先
端部がこれらのくし型電極全体として余弦カーブを描く
ように弾性表面波の伝搬方向において徐々に変化してい
ることを特徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14579181A JPS5847317A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14579181A JPS5847317A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 弾性表面波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847317A true JPS5847317A (ja) | 1983-03-19 |
| JPS6355807B2 JPS6355807B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=15393237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14579181A Granted JPS5847317A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847317A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200814A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| WO2016063718A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63114111U (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-22 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP14579181A patent/JPS5847317A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200814A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
| WO2016063718A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
| JP6004143B2 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-10-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ |
| US10090823B2 (en) | 2014-10-21 | 2018-10-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave resonator and ladder filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6355807B2 (ja) | 1988-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4425554A (en) | Surface acoustic wave resonator device | |
| JPH0969751A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPS62188512A (ja) | 表面弾性波共振器、表面弾性波共振器フイルタおよびこれらの製造方法 | |
| US4513262A (en) | Acoustic surface wave device | |
| JPH05347535A (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| JPS5847317A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPS62160807A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| US4365220A (en) | Surface wave circuit device | |
| JPH03133209A (ja) | 一方向性ｓａｗフィルタ | |
| US4910483A (en) | Acoustic surface wave filter device with asymmetric transducers and method of manufacturing same | |
| JPH10173467A (ja) | トランスバーサル型ｓａｗフィルタ | |
| JPH05183378A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS6247206A (ja) | 弾性表面波多重モ−ドフイルタ | |
| US6559739B2 (en) | String weighted surface acoustic wave transducer | |
| JPS6147010B2 (ja) | ||
| JPS5997216A (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
| JPH03129915A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JP3436812B2 (ja) | 弾性表面波変換器 | |
| JPH08316773A (ja) | 表面弾性波装置 | |
| JP3132109B2 (ja) | ２ポートｓａｗ共振子 | |
| JPS5884517A (ja) | 弾性表面波トランスジユ−サ | |
| JP3371562B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US3936679A (en) | Elastic surface wave transducer | |
| JPS6094520A (ja) | 弾性表面波共振器 | |
| US5808524A (en) | Surface wave filter with a specified transducer impulse train that reduces diffraction |