JPS6094520A - 弾性表面波共振器 - Google Patents
弾性表面波共振器Info
- Publication number
- JPS6094520A JPS6094520A JP20106783A JP20106783A JPS6094520A JP S6094520 A JPS6094520 A JP S6094520A JP 20106783 A JP20106783 A JP 20106783A JP 20106783 A JP20106783 A JP 20106783A JP S6094520 A JPS6094520 A JP S6094520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impedance
- surface acoustic
- electrodes
- stages
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は弾性表面波共振器に関する。
技術の背景
弾性表面波素子は、一般＜Ｈ電基板にすだれ状電極を配
列する方法によって弾性表面波を駆動し検出している。
列する方法によって弾性表面波を駆動し検出している。
通常、その電極構造によってインタデジタル形とシング
ルフェイズ形に分けられるが前者は作シ易く、変換効率
が良く、かつ周波数特注の合成に向いているので最も多
く使用されている。弾性表面波共振器の場合にはトラン
スジユーサとしての電極の対数を多くしてその人力アド
ミタンスの特性を利用した多対インタｒジタルトランス
ジーーサ形の共振器が多く用いラレテイル・従来技術と
問題点 従来のインタデジタルトランスノエーサ形弾性表面波共
振器の基を構造とその等価回路および振幅応答特性を第
１図（ａ） ｌ （ｂ）および（Ｃ）に示す。第１図（
、）において、ｌは圧′亀基板、２はＮ対のすだれ状電
極を示し、Ｗは互に交差する電極指の交差幅を示す。端
子ａ＋ｂ間に電気信号が印加されるＯ第１図（ｂ）は第
１図（、）の共振点近傍の等価回路を示し、第１図（Ｃ
）は第１図（ｂ）に示す回路の共振％性を示し、斜線部
分は阻止領域を示す。第１図（ｂ）の等価回路において
、Ｌ’、ＣおよびＲによりて直列共振回路となシ、ｃｄ
は非共振時の制動容量を示すが、ＣｏをＮ＝１すなわち
電極指１対当シの単位容量とするとＣｄ＝ＣｏＮ−Ｗと
表わされる。共振点近傍以外の斜線部分で示した阻止領
域におけるインピーダンスは、ｚＡヲ１／ｊωＣｄと表
わされるのでωが大、即ち筒周波においては式から明ら
かなようにインピーダンスは小さくなる。このため交流
的に端子ａ、ｂ間が短絡状態となシ阻止領域％性が悪化
する。従来は、ｚＡをできるだけ大きくするためにＣｄ
を小さくする方法として交差幅Ｗを小さくする方法があ
ったが、第４図に示す如くＷを５λ（λは波長〕以下に
すると弾性波の拡散等により実効的な定在波の反射係数
が小さくなシ共振器としての％注を悪化させるという問
題があった。
ルフェイズ形に分けられるが前者は作シ易く、変換効率
が良く、かつ周波数特注の合成に向いているので最も多
く使用されている。弾性表面波共振器の場合にはトラン
スジユーサとしての電極の対数を多くしてその人力アド
ミタンスの特性を利用した多対インタｒジタルトランス
ジーーサ形の共振器が多く用いラレテイル・従来技術と
問題点 従来のインタデジタルトランスノエーサ形弾性表面波共
振器の基を構造とその等価回路および振幅応答特性を第
１図（ａ） ｌ （ｂ）および（Ｃ）に示す。第１図（
、）において、ｌは圧′亀基板、２はＮ対のすだれ状電
極を示し、Ｗは互に交差する電極指の交差幅を示す。端
子ａ＋ｂ間に電気信号が印加されるＯ第１図（ｂ）は第
１図（、）の共振点近傍の等価回路を示し、第１図（Ｃ
）は第１図（ｂ）に示す回路の共振％性を示し、斜線部
分は阻止領域を示す。第１図（ｂ）の等価回路において
、Ｌ’、ＣおよびＲによりて直列共振回路となシ、ｃｄ
は非共振時の制動容量を示すが、ＣｏをＮ＝１すなわち
電極指１対当シの単位容量とするとＣｄ＝ＣｏＮ−Ｗと
表わされる。共振点近傍以外の斜線部分で示した阻止領
域におけるインピーダンスは、ｚＡヲ１／ｊωＣｄと表
わされるのでωが大、即ち筒周波においては式から明ら
かなようにインピーダンスは小さくなる。このため交流
的に端子ａ、ｂ間が短絡状態となシ阻止領域％性が悪化
する。従来は、ｚＡをできるだけ大きくするためにＣｄ
を小さくする方法として交差幅Ｗを小さくする方法があ
ったが、第４図に示す如くＷを５λ（λは波長〕以下に
すると弾性波の拡散等により実効的な定在波の反射係数
が小さくなシ共振器としての％注を悪化させるという問
題があった。
発明の目的
本発明の目的は、上述の問題点に鑑み、電極を少なくと
も２段以上配列することにより、高周波におけるインピ
ーダンスの低下による阻止領域特注の悪化を改督するこ
とを可能にした弾性表面波共振器を提供することにある
。
も２段以上配列することにより、高周波におけるインピ
ーダンスの低下による阻止領域特注の悪化を改督するこ
とを可能にした弾性表面波共振器を提供することにある
。
発明の構成
この目的は、本）ｊｆ５明によれば、弾性表面波を反射
させる反射端面と弾性表面波を駆動および検出するすだ
れ状電極により構成されるインタデジタル形弾性表面波
共振器において、該すだれ状電極を少なくとも２段以上
奄気的に直列であってかつ音響的に並列に配列したこと
を４！徴とするインタ７′ジタル形弾性表面波共振器、
全提供することによシ達成される。
させる反射端面と弾性表面波を駆動および検出するすだ
れ状電極により構成されるインタデジタル形弾性表面波
共振器において、該すだれ状電極を少なくとも２段以上
奄気的に直列であってかつ音響的に並列に配列したこと
を４！徴とするインタ７′ジタル形弾性表面波共振器、
全提供することによシ達成される。
実施例
第２図（、）は）本発明による一実施例としての弾性表
面波共振器（５ＡＷＲ）を示す平面図であ多、第２図（
ｂ）にその等価回路を示す・第２図（ａ）において斜線
部分は電極を示し本実施例では３段（ｎ＝３ ）の構造
となっている。各段間の容量によって各電極は電気的に
直列に接続され、又各段間での弾性波の伝搬路は各々並
列であるから音響的に並列接続されることになる。第２
図（ｂ）に示す制動容量Ｃｄ′については、共振点近傍
以外の領域についてｚＡ′寺１／ＪωＣｄ’で表わされ
るが、電極がｎ段になった場合にはｚＡ′Φｎ／ｊぽｄ
′となる。従ってＣｄ’側のインピーダンスはｎ倍とな
シインピーダンスヲ大きく保つことにな夛阻止領域の特
性改善が図れる。
面波共振器（５ＡＷＲ）を示す平面図であ多、第２図（
ｂ）にその等価回路を示す・第２図（ａ）において斜線
部分は電極を示し本実施例では３段（ｎ＝３ ）の構造
となっている。各段間の容量によって各電極は電気的に
直列に接続され、又各段間での弾性波の伝搬路は各々並
列であるから音響的に並列接続されることになる。第２
図（ｂ）に示す制動容量Ｃｄ′については、共振点近傍
以外の領域についてｚＡ′寺１／ＪωＣｄ’で表わされ
るが、電極がｎ段になった場合にはｚＡ′Φｎ／ｊぽｄ
′となる。従ってＣｄ’側のインピーダンスはｎ倍とな
シインピーダンスヲ大きく保つことにな夛阻止領域の特
性改善が図れる。
本実施例の効果を示すグラフが第３図および第４図に示
される。この場合の各種ノ平うメータを以下に示す。
される。この場合の各種ノ平うメータを以下に示す。
圧電基板：ｒｏｔ４０°Ｙ ｃｕｔ ＬｉＴａ０．、伝
搬方向；Ｘ方向伝搬） すだれ状電極：電極指ピッチＰ＝３５．７５μｍ：電極
指交差幅Ｗ＝４２０μｍ ＝電極指対数Ｎ＝４０対 電極材料；アルミニウム 電極膜厚：４ｏｏｏｉ 第３図において、横軸は周波数（ＭＨｚ ） 、縦軸は
５ＡＷＲへの入力電圧（ｖｌ）対５ＡＷＲからの出力電
圧（Ｖ２）Ｃ）比の常用対１ｋ −２０ｔｏｇＶｚ／Ｖ
ｘ （ｄＢ）ｔ＝示し、斜線部分は阻止領域、ｎ＝１．
２．３は電極の段数を示す。図から明らかなようにｎ
＝ １すなわち第１図に示す従来４１つ造の′１４Ｌ極
１段での減衰特性に比べて本実施例のｎ ＝ ３すなわ
ち電極３段では約２倍の減衰特注か得られることがわか
る。
搬方向；Ｘ方向伝搬） すだれ状電極：電極指ピッチＰ＝３５．７５μｍ：電極
指交差幅Ｗ＝４２０μｍ ＝電極指対数Ｎ＝４０対 電極材料；アルミニウム 電極膜厚：４ｏｏｏｉ 第３図において、横軸は周波数（ＭＨｚ ） 、縦軸は
５ＡＷＲへの入力電圧（ｖｌ）対５ＡＷＲからの出力電
圧（Ｖ２）Ｃ）比の常用対１ｋ −２０ｔｏｇＶｚ／Ｖ
ｘ （ｄＢ）ｔ＝示し、斜線部分は阻止領域、ｎ＝１．
２．３は電極の段数を示す。図から明らかなようにｎ
＝ １すなわち第１図に示す従来４１つ造の′１４Ｌ極
１段での減衰特性に比べて本実施例のｎ ＝ ３すなわ
ち電極３段では約２倍の減衰特注か得られることがわか
る。
第４図は横軸に交差幅Ｗを波長λの整数倍で示し、縦軸
に反射係数γを示すが、図から明らかなように交差幅Ｗ
が５λ以上でｒが０．８〜０．９５の範囲に入ることが
わかる。本実施例ではｎ ＝ ３すなわち３段について
説明したがさらに段数を増加すればさらに特性は改善さ
れる◎ 発明の効果 本発明によれば電極を少なくとも２段以上配列すること
によシ共振特性の阻止領域における特性を大幅に改善す
ることができる０
に反射係数γを示すが、図から明らかなように交差幅Ｗ
が５λ以上でｒが０．８〜０．９５の範囲に入ることが
わかる。本実施例ではｎ ＝ ３すなわち３段について
説明したがさらに段数を増加すればさらに特性は改善さ
れる◎ 発明の効果 本発明によれば電極を少なくとも２段以上配列すること
によシ共振特性の阻止領域における特性を大幅に改善す
ることができる０
第１図（ａ）ｔｒｉ 、従来の弾性表面波共振器を示す
斜視図、 第１図（ｂ）は、第１図（ａ）の電気的等価回路図、第
１図（Ｃ）は、第１図（ｂ）の周波数特性図、第２図（
−）は、本発明による一実施例としての弾性表面波共振
器を示す平面図、 第２図（ｂ）は、第２図０の電気的等価回路図、第３図
は、第２図（ｂ）の周波数％注図、および第４図は、第
１図（、）の反射係数を示すグラフである。 （符号の説明） ｌ・・・圧電基板、２・・・電極。 第］勿 Ｌ ＣＲ ｄ （＝ＣｏＮ−Ｗ） 第２臼 ｎＬ ｎＣｎＲ
斜視図、 第１図（ｂ）は、第１図（ａ）の電気的等価回路図、第
１図（Ｃ）は、第１図（ｂ）の周波数特性図、第２図（
−）は、本発明による一実施例としての弾性表面波共振
器を示す平面図、 第２図（ｂ）は、第２図０の電気的等価回路図、第３図
は、第２図（ｂ）の周波数％注図、および第４図は、第
１図（、）の反射係数を示すグラフである。 （符号の説明） ｌ・・・圧電基板、２・・・電極。 第］勿 Ｌ ＣＲ ｄ （＝ＣｏＮ−Ｗ） 第２臼 ｎＬ ｎＣｎＲ
Claims (1)
- １、弾性表面波を反射させる反射端面と弾性表面波を駆
動および検出するすだれ状電極によ多構成されるインタ
デジタル形弾ｔｉ表面波共振器において、該すだれ状′
ｆｉＬａを少なくとも２段以上電気的に直列であってか
つ音響的に並列に配列したことを特徴とするインタデジ
タル形弾性表面波共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20106783A JPS6094520A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20106783A JPS6094520A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 弾性表面波共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094520A true JPS6094520A (ja) | 1985-05-27 |
Family
ID=16434830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20106783A Pending JPS6094520A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 弾性表面波共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196063A2 (en) * | 1985-03-27 | 1986-10-01 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave resonator |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20106783A patent/JPS6094520A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0196063A2 (en) * | 1985-03-27 | 1986-10-01 | Hitachi, Ltd. | Surface acoustic wave resonator |
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