KR20170049572A - 탄성파 공진자 및 래더형 필터 - Google Patents

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Abstract

소형화를 도모할 수 있으면서, 저손실로 하는 것을 가능하게 하는, 탄성파 공진자를 제공한다.
직렬 분할된 복수의 분할 공진자가 압전 기판(2) 상에 마련된 탄성파 공진자(1)로서, 제1, 제2 외측 버스바(7, 8)와, 제1 단간 버스바(9)와, 제1~제4 전극지(3a, 3b, 4a, 4b)와, 제1, 2 더미 전극지(12, 13)를 포함하고, 제1 단간 버스바(9)의 제2, 제3 전극지(3b, 4a)가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 제1, 제2 더미 전극지(12, 13)의 길이보다 길이가 짧은 복수 개의 제3 더미 전극지(14)를 가지며, 제2 전극지(3b)가 연장되는 연장 상에 제3 전극지(4a)가 배치되고, 제1, 제2 전극지(3a, 3b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 제3, 제4 전극지(4a, 4b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일한 탄성파 공진자(1).

Description

탄성파 공진자 및 래더형 필터{ELASTIC WAVE RESONATOR AND LADDER-TYPE FILTER}
본 발명은, 직렬로 분할된 복수의 분할 공진자에 의해 구성되어 있는 탄성파 공진자 및 상기 탄성파 공진자를 가지는 래더형 필터에 관한 것이다.
종래, 휴대전화기의 대역 필터 등에, 복수의 탄성파 공진자에 의해 구성된 탄성파 필터가 널리 이용되고 있다.
하기의 특허문헌 1에는, 이러한 탄성파 필터를 구성하는 탄성파 공진자가 개시되어 있다. 특허문헌 1에서는, 탄성파 공진자를 구성하는 IDT 전극이, 전극지(電極指)가 연장되는 방향에서, 직렬로 분할되어 있다.
또한 하기의 특허문헌 2에는, 복수의 탄성파 공진자를 가지는 래더형 필터가 개시되어 있다. 특허문헌 2에서는, 직렬 분할되어 있지 않은 IDT 전극에 더미(dummy) 전극지가 마련되어 있는 구성이 기재되어 있다.
일본 공개특허공보 소57-119509호 일본 공개특허공보 2003-324335호
특허문헌 1과 같이, 직렬로 분할된 IDT 전극을 포함하는 탄성파 공진자에서는, 내전력성을 높일 수 있다. 그러나 탄성파가 공진자 밖으로 누설되면, 손실이 커지기 쉬웠다.
특허문헌 2와 같이, IDT 전극에 더미 전극지를 마련한 경우, 탄성파의 누설을 억제할 수 있다. 그러나 특허문헌 1에 기재된 직렬로 분할된 IDT 전극에, 특허문헌 2에 기재된 더미 전극지를 마련한 경우, 소형화를 도모하는 것이 곤란했다.
본 발명의 목적은, 소형화를 도모할 수 있으면서, 저손실로 하는 것을 가능하게 하는, 탄성파 공진자 및 래더형 필터를 제공하는 것에 있다.
본원의 제1 발명에 따른 탄성파 공진자는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할된 복수의 분할 공진자가 압전 기판 상에 마련되어 있고, 상기 복수의 분할 공진자가 각각 IDT 전극을 가지는 탄성파 공진자로서, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바(busbar)인 제1, 제2 외측 버스바와, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제1 단간(段間) 버스바와, 일단(一端)이 상기 제1 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제1 전극지와, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제1 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제2 전극지와, 일단이 상기 제1 단간 버스바의 상기 복수 개의 제2 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제3 전극지와, 상기 복수 개의 제3 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제4 전극지와, 일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되는 복수 개의 제1 더미 전극지와, 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제2 더미 전극지를 포함하며, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제3 더미 전극지를 더 가지고 있으며, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제2 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제1 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제3 전극지가 배치되어 있으며, 상기 제1, 제2 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있다.
본원의 제1 발명에 따른 탄성파 공진자의 어느 특정 국면에서는, 상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제1 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있다.
본원의 제2 발명에 따른 탄성파 공진자는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할된 복수의 분할 공진자가 압전 기판 상에 마련되어 있고, 상기 복수의 분할 공진자가 각각 IDT 전극을 가지는 탄성파 공진자로서, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바인 제1, 제2 외측 버스바와, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제1 단간 버스바와, 일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제1 전극지와, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제1 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제2 전극지와, 일단이 상기 제1 단간 버스바의 상기 복수 개의 제2 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제3 전극지와, 상기 복수 개의 제3 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제4 전극지와, 일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되는 복수 개의 제1 더미 전극지와, 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제2 더미 전극지를 포함하며, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제3 더미 전극지를 더 가지고 있으며, 상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제1 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있다.
본원의 제2 발명에 따른 탄성파 공진자의 어느 특정 국면에서는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제2 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제1 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제3 전극지가 배치되어 있으며, 상기 제1, 제2 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있다.
이하, 제1, 제2 발명을 총칭하여, 본 발명으로 총칭하는 경우가 있는 것으로 한다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 다른 특정 국면에서는, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 다른 특정 국면에서는, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있고, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 다른 쪽에, 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있고, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제3 더미 전극지의 길이가, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 짧다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 상기 복수 개의 제4 전극지의 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 더미 전극지의 상기 제2 외측 버스바와 접속되어 있지 않은 측의 타단이, 상기 복수 개의 제3 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 상기 복수 개의 제4 전극지의 일단이 접속되어 있고, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제2 단간 버스바와, 일단이 상기 제2 단간 버스바의 상기 복수 개의 제4 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제5 전극지와, 상기 복수 개의 제5 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제6 전극지를 더 포함하며, 상기 제2 단간 버스바의 상기 제4 전극지가 마련되어 있는 측과, 상기 제5 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제2 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제4 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제4 더미 전극지를 더 가진다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제4 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제2 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제5 전극지가 배치되어 있으며, 상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제5, 제6 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 하며, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제2 IDT 전극의 상기 제1 IDT 전극과 인접하고 있는 측과는 반대측에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제3 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제3 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있다.
본 발명에 따른 탄성파 공진자의 또 다른 특정 국면에서는, 상기 복수 개의 제6 전극지의 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 더미 전극지의 상기 제2 외측 버스바와 접속되어 있지 않은 측의 타단이, 상기 복수 개의 제5 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다.
본 발명에 따른 래더형 필터는, 입력 단자 및 출력 단자를 잇는 직렬암(series arm)에 마련된 복수의 직렬암 공진자와, 상기 직렬암과 그라운드 전위를 잇는 복수의 병렬암(parallel arm)에 각각 마련된 복수의 병렬암 공진자를 포함하고, 상기 복수의 직렬암 공진자 및 상기 복수의 병렬암 공진자 중 적어도 하나의 공진자가, 상기 본 발명에 따른 탄성파 공진자이다.
본 발명에 의하면, 소형화를 도모할 수 있으면서, 저손실로 하는 것을 가능하게 하는 탄성파 공진자 및 래더형 필터를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제4 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
도 6은 본 발명의 한 실시형태에 따른 래더형 필터의 회로도이다.
도 7은 래더형 필터의 감쇠량 주파수 특성을 나타내는 도면이다.
도 8은 비교예의 래더형 필터를 구성하는 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명함으로써 본 발명을 명백하게 한다.
또한 본 명세서에 기재된 각 실시형태는, 예시적인 것이며, 다른 실시형태 간에서, 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것을 지적해 둔다.
(제1 실시형태)
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 탄성파 공진자(1)는, 직사각형 판상의 압전 기판(2)을 가진다. 압전 기판(2)은, LiTaO3이나 LiNbO3과 같은 압전 단결정 기판으로 이루어진다. 압전 기판(2)은, 압전 세라믹스에 의해 형성되어 있어도 된다.
압전 기판(2)의 주면(主面) 상에는 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)가 마련되어 있다. 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할되어 있다. 보다 상세하게는, 제2 분할 공진자(1B)는, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서 제1 분할 공진자(1A)에 직렬로 접속되어 있다.
제1 분할 공진자(1A)는, 제1 IDT 전극(3)과, 제1 IDT 전극(3)의 탄성파 전파 방향 양측에 배치된 반사기(5, 6)에 의해 형성되어 있다. 제2 분할 공진자(1B)는, 제2 IDT 전극(4)과, 제2 IDT 전극(4)의 탄성파 전파 방향 양측에 배치된 반사기(5, 6)에 의해 형성되어 있다. 제1, 제2 IDT 전극(3, 4)은, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서 인접하고 있다. 반사기(5, 6)는, 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)에서 공유되어 있다. 제1, 제2 IDT 전극(3, 4) 및 반사기(5, 6)는, 압전 기판(2)의 주면 상에 형성되어 있다.
제1, 제2 IDT 전극(3, 4)은 Al, Cu, Pt, Au, Ag, Ti, Ni, Cr, Mo, W 또는 이들 금속 중 어느 하나를 주체로 하는 합금 등의 적절한 금속재료에 의해 형성할 수 있다. 제1, 제2 IDT 전극(3, 4)은 단층이어도 되고, 2종 이상의 금속층이 적층된 적층체여도 된다.
제1 IDT 전극(3)은, 복수 개의 제1 전극지(3a)와, 복수 개의 제2 전극지(3b)를 가진다. 복수 개의 제1 전극지(3a) 및 복수 개의 제2 전극지(3b)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 복수 개의 제1 전극지(3a)와, 복수 개의 제2 전극지(3b)는, 서로 사이에 삽입되어 있다.
복수 개의 제1 전극지(3a)의 일단은, 제1 외측 버스바(7)에 접속되어 있다. 제1 외측 버스바(7)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바 중 한쪽 측의 버스바이다.
제1 외측 버스바(7)에는, 복수 개의 제1 더미 전극지(12)의 일단이 접속되어 있다. 복수 개의 제1 더미 전극지(12)의 타단은, 제1 IDT 전극(3)의 복수 개의 제2 전극지(3b)와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다. 복수 개의 제1 더미 전극지(12)를 마련함으로써, 후술하는 탄성파의 외부로의 누설을 효과적으로 방지할 수 있다.
복수 개의 제2 전극지(3b)의 일단은, 제1 단간 버스바(9)에 접속되어 있다. 제1 단간 버스바(9)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하고 있는 2개의 분할 공진자를 구성하고 있는 제1 IDT 전극(3)과 제2 IDT 전극(4)을 전기적으로 접속하고 있는 하나의 공통 버스바로서 일체로 마련되어 있다.
제2 IDT 전극(4)은, 복수 개의 제3 전극지(4a)와, 복수 개의 제4 전극지(4b)를 가진다. 복수 개의 제3 전극지(4a) 및 복수 개의 제4 전극지(4b)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 복수 개의 제3 전극지(4a)와, 복수 개의 제4 전극지(4b)는, 서로 사이에 삽입되어 있다.
복수 개의 제3 전극지(4a)의 일단은, 제1 단간 버스바(9)의 복수 개의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있다.
또한 복수 개의 제4 전극지(4b)의 일단은, 제2 외측 버스바(8)에 접속되어 있다. 제2 외측 버스바(8)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바 중 제1 외측 버스바(7)와는 다른 측의 버스바이다.
제2 외측 버스바(8)에, 복수 개의 제2 더미 전극지(13)의 일단이 접속되어 있다. 복수 개의 제2 더미 전극지(13)의 타단은, 제2 IDT 전극(4)의 복수 개의 제3 전극지(4a)와 틈을 두고 대향하고 있다. 복수 개의 제2 더미 전극지(13)를 마련함으로써, 탄성파의 외부로의 누설을 억제할 수 있다.
본 실시형태에서는, 제1 IDT 전극(3)의 전극지의 대수(對數) 및 교차 폭이, 제2 IDT 전극(4)의 전극지의 대수 및 교차 폭과 동일해지도록 구성되어 있다. 단, 본 발명에서는, 제1, 제2 IDT 전극(3, 4)에서 전극지의 대수 및 교차 폭이 다르게 형성되어 있어도 되지만, 본 실시형태와 같이 제1, 제2 IDT 전극(3, 4)에서 전극지의 대수 및 교차 폭이 동일해지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 용량의 편차를 억제하고, 각 단에서 가해지는 전력을 동일하게 할 수 있어, 한층 더 내전력성을 높일 수 있기 때문이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 IDT 전극(3)의 제2 전극지(3b)가 연장되는 연장 상에, 제1 단간 버스바(9)를 사이에 두고 제2 IDT 전극(4)의 제3 전극지(4a)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 단간 버스바(9)를 대칭축으로 하여, 제1 IDT 전극(3)의 제2 전극지(3b)와, 제2 IDT 전극(4)의 제3 전극지(4a)가, 선대칭이 되도록 배치되어 있다.
제1 단간 버스바(9)의 폭으로는, 특별히 한정되지 않지만, 1λ 이하인 것이 바람직하다. 또한 IDT 전극의 피치에 의해 정해지는 파장의 길이를 λ로 하는 것으로 한다. 제1 단간 버스바(9)의 폭이, 1λ를 초과하면 진동이 감쇠하는 경우가 있다. 한층 더 소형화를 도모하는 관점에서, 제1 단간 버스바(9)의 폭은 λ/3 이하인 것이 보다 바람직하고, λ/4 이하인 것이 더 바람직하다. 또한 제1 단간 버스바(9)의 폭이, 제1, 2 외측 버스바(7, 8)의 폭 이하인 것이 바람직하다. 제1 단간 버스바(9)의 폭이, 제1, 제2 외측 버스바(7, 8)의 폭보다 작은 것이 더 바람직하다.
제1 실시형태에서는, 상술한 바와 같이, 제1 IDT 전극(3)의 제2 전극지(3b)가 연장되는 연장 상에, 제2 IDT 전극(4)의 제3 전극지(4a)가 배치되어 있다. 또한 도 1에 나타내는 바와 같이, 제1, 제2 전극지(3a, 3b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 제3, 제4 전극지(4a, 4b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있다. 이와 같이, 본 명세서에서의 피치란, IDT 전극에서 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치를 말하는 것으로 한다. 상기와 같이 전극지의 피치가 동일하게 되어 있는 경우, 인접하는 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)를 여진(勵振)시킬 수 있기 때문에 저손실로 할 수 있다.
또한 제1, 제2 외측 버스바(7, 8)에는, 제1, 제2 더미 전극지(12, 13)가 마련되어 있다. 그 때문에, 탄성파의 외부로의 누설을 방지할 수 있어, 저손실로 하는 것이 가능해진다.
또한 상기와 같이, 제2 전극지(3b)가 연장되는 연장 상에, 제3 전극지(4a)를 배치하면서, 서로 이웃하는 제1, 제2 IDT 전극(3, 4)의 전극지의 피치가 동일하게 되어 있는 구성을 포함하고 있지 않아도, 제1 IDT 전극(3)에 의해 전파되는 탄성파와, 제2 IDT 전극(4)에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하면, 저손실로 하는 것이 가능해진다. 또한 탄성파의 파장은, 상기 전극지의 피치에 의해 정해지는 것으로 한다.
또한 제1 실시형태에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측과, 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않다. 따라서 소형화를 도모하는 것이 가능해진다. 단, 제1 단간 버스바(9)에 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않은 경우, 손실이 커질 우려가 있다. 그러나 본 실시형태에서는, 상술한 도 1의 구성을 채용함으로써 저손실로 되어 있다. 따라서 소형화를 도모하면서, 손실을 작게 하는 것이 가능해진다.
구체적으로는, 제1 IDT 전극(3)에서 여진된 탄성파와, 제1 IDT 전극(3)으로부터 제1 단간 버스바(9)를 넘어 제2 IDT 전극(4)에 탄성파가 전파될 때에 제2 IDT 전극(4)에 의해 여진되는 탄성파가, 그 파장과 위상이 일치한다. 이에 따라, 탄성파의 에너지 손실을 억제할 수 있다.
(제2 실시형태)
도 2는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다. 제2 실시형태에 따른 탄성파 공진자(21)에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측에, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속된 복수 개의 제3 더미 전극지(14)가 마련되어 있다. 제3 더미 전극지(14)의 타단은, 제1 IDT 전극(3)의 제1 전극지(3a)와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다. 또한 제2 실시형태에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측에는, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속된 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않다. 그 밖의 점은, 제1 실시형태와 동일하다.
제2 실시형태에서는, 상기와 같이 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측에 제3 더미 전극지(14)가 마련되어 있기 때문에, 한층 더 저손실화를 도모할 수 있다. 한편, 제1 단간 버스바(9)의 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측에는, 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않기 때문에 소형화를 도모하는 것이 가능해진다. 따라서 소형화를 도모하면서 저손실로 하는 것이 가능해진다. 또한 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측에 배치하는 제3 더미 전극지(14)를 부분적으로 마련하지 않을 수도 있다.
(제3 실시형태)
도 3은, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다. 제3 실시형태에 따른 탄성파 공진자(31)에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측에, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속된 복수 개의 제3 더미 전극지(14)가 마련되어 있다. 제3 더미 전극지(14)의 타단은, 제2 IDT 전극(4)의 제4 전극지(4b)와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다. 또한 제3 실시형태에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측에는, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속된 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않다. 그 밖의 점은, 제1 실시형태와 동일하다.
제3 실시형태에서는, 상기와 같이 제1 단간 버스바(9)의 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측에, 제3 더미 전극지(14)가 마련되어 있기 때문에, 한층 더 저손실화를 도모할 수 있다. 또한 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측에는, 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않기 때문에 소형화를 도모하는 것이 가능해진다. 따라서 소형화를 도모하면서 저손실로 하는 것이 가능해진다.
(제4 실시형태)
도 4는, 본 발명의 제4 실시형태에 따른 탄성파 장치의 모식적 평면도이다. 제4 실시형태에 따른 탄성파 공진자(41)에서는, 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측과, 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 제1 단간 버스바(9)에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지(14, 14)가 마련되어 있다. 복수 개의 제3 더미 전극지(14, 14)의 타단은, 복수 개의 제1 전극지(3a) 또는 복수 개의 제4 전극지(4b)와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다. 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 제3 더미 전극지(14, 14)의 길이는 제1, 제2 더미 전극지(12, 13)의 길이보다 짧다. 그 밖의 점은 제1 실시형태와 동일하다. 또한 제3 더미 전극지(14, 14)를 부분적으로 마련하지 않는 구성과 조합시킬 수도 있다.
제4 실시형태에서는, 상기와 같이, 제1 단간 버스바(9)의 제2 전극지(3b)가 마련되어 있는 측과, 제3 전극지(4a)가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 복수 개의 제3 더미 전극지(14, 14)가 마련되어 있기 때문에 한층 더 저손실화를 도모할 수 있다. 또한 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 제3 더미 전극지(14, 14)의 길이는, 제1, 제2 더미 전극지(12, 13)의 길이보다 짧기 때문에 소형화를 도모할 수 있다. 따라서 소형화를 도모하면서, 저손실로 하는 것이 가능해진다.
(제5 실시형태)
도 5는, 본 발명의 제5 실시형태에 따른 탄성파 공진자의 모식적 평면도이다. 제5 실시형태에 따른 탄성파 공진자(51)에서는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 제2 분할 공진자(1B)에, 또한 제3 분할 공진자(1C)가 직렬로 접속되어 있다. 즉, 제5 실시형태에서는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할된 제1~제3 분할 공진자(1A~1C)가 압전 기판(2) 상에 마련되어 있다.
제3 분할 공진자(1C)는, 제3 IDT 전극(11)과, 제3 IDT 전극(11)의 탄성파 전파 방향 양측에 배치된 반사기(5, 6)에 의해 형성되어 있다. 제3 IDT 전극(11)은, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 제2 IDT 전극(4)의 제1 IDT 전극(3)과 인접하고 있는 측과는 반대측에 인접하고 있다. 반사기(5, 6)는, 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)와 공유되어 있다. 제3 IDT 전극(11) 및 반사기(5, 6)는, 압전 기판(2) 상에 형성되어 있다.
제3 IDT 전극(11)은, 복수 개의 제5 전극지(11a)와, 복수 개의 제6 전극지(11b)를 가진다. 복수 개의 제5 전극지(11a) 및 복수 개의 제6 전극지(11b)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 복수 개의 제5 전극지(11a)와, 복수 개의 제6 전극지(11b)는, 서로 사이에 삽입되어 있다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수 개의 제4 전극지(4b)의 일단이 제2 외측 버스바(8)에 접속되어 있지 않다. 복수 개의 제4 전극지(4b)의 일단은, 제2 단간 버스바(10)에 접속되어 있다. 제2 단간 버스바(10)는, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 인접하고 있는 제2, 제3 IDT 전극(4, 11)을 전기적으로 접속하고 있다.
복수 개의 제5 전극지(11a)는, 일단이 제2 단간 버스바(10)의 복수 개의 제4 전극지(4b)가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있다.
본 실시형태에서는, 제2 단간 버스바(10)의 제4 전극지(4b)가 마련되어 있는 측과, 제5 전극지(11a)가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 제2 단간 버스바(10)에 접속되어 있는 복수 개의 제4 더미 전극지가 마련되어 있지 않다. 따라서 한층 더 소형화를 도모하는 것이 가능해진다.
복수 개의 제6 전극지(11b)의 일단은, 제2 외측 버스바(8)에 접속되어 있다. 제2 외측 버스바(8)는, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바 중 제1 외측 버스바(7)와는 다른 측의 버스바이다.
제2 외측 버스바(8)에, 복수 개의 제2 더미 전극지(13)의 일단이 접속되어 있다. 복수 개의 제2 더미 전극지(13)의 타단은, 제3 IDT 전극(11)의 복수 개의 제5 전극지(11a)와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있다. 복수 개의 제2 더미 전극지(13)를 마련함으로써, 탄성파의 외부로의 누설을 억제할 수 있다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 제2 IDT 전극(4)의 제4 전극지(4b)가 연장되는 연장 상에, 제2 단간 버스바(10)를 사이에 두고 제3 IDT 전극(11)의 제5 전극지(11a)가 배치되어 있다. 또한 제3, 제4 전극지(4a, 4b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 제5, 제6 전극지(11a, 11b)가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있다. 이 경우, 인접하는 제1, 제2 분할 공진자(1A, 1B)에 더하여, 인접하는 제2, 제3 분할 공진자(1B, 1C)도 여진시킬 수 있기 때문에 저손실로 할 수 있다.
또한 상기와 같이, 제4 전극지(4b)가 연장되는 연장 상에 제5 전극지(11a)를 배치하면서 서로 이웃하는 제2, 제3 IDT 전극(4, 11)의 전극지의 피치가 동일하게 되어 있는 구성을 포함하고 있지 않아도, 제2 IDT 전극(4)에 의해 전파되는 탄성파와, 제3 IDT 전극(11)에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하면, 저손실로 하는 것이 가능해진다. 그 점은, 제1 실시형태와 동일하다.
또한 제5 실시형태에서도, 제1, 제2 외측 버스바(7, 8)에 제1, 제2 더미 전극지(12, 13)가 마련되어 있다. 그 때문에, 탄성파의 외부로의 누설을 방지할 수 있어, 저손실로 하는 것이 가능해진다.
또한 제5 실시형태에서는, 제2 단간 버스바(10)의 제4 전극지(4b)가 마련되어 있는 측과, 제5 전극지(11a)가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 복수 개의 제4 더미 전극지가 마련되어 있지 않다. 따라서 제5 실시형태에서는, 제1, 제2 단간 버스바(9, 10)의 어디에도, 더미 전극지가 마련되어 있지 않게 되어, 한층 더 소형화를 도모할 수 있다. 단, 제1, 제2 단간 버스바(9, 10)에 더미 전극지가 마련되어 있지 않은 경우, 손실이 커질 우려가 있다. 그러나 상술한 바와 같이 본 실시형태에서는, 도 5의 구성을 채용함으로써 저손실로 되어 있다. 따라서 소형화를 도모하면서, 저손실로 하는 것이 가능해진다.
(래더형 필터)
도 6은, 본 발명의 한 실시형태에 따른 래더형 필터의 회로도이다. 도 6에 나타내는 래더형 필터에서는, 입력 단자(15)와 출력 단자(16)를 잇는 직렬암에, 직렬암 공진자(S1~S5)가 마련되어 있다. 직렬암 공진자(S1)는 직렬 분할되어 있다. 즉, 직렬암 공진자(S1)는, 2개의 분할 공진자(S1a, S1b)로 분할되어 있다. 마찬가지로, 직렬암 공진자(S2)는, 2개의 분할 공진자(S2a, S2b)로 분할되어 있고, 직렬암 공진자(S3)는, 2개의 분할 공진자(S3a, S3b)로 분할되어 있다. 또한 직렬암 공진자(S4)는, 2개의 분할 공진자(S4a, S4b)로 분할되어 있고, 직렬암 공진자(S5)는, 3개의 분할 공진자(S5a~S5c)로 분할되어 있다.
직렬암 공진자(S1)와 직렬암 공진자(S2) 사이의 접속점과, 그라운드 전위를 잇는 병렬암에서는, 병렬암 공진자(P1)가 마련되어 있다. 병렬암 공진자(P1)는, 2개의 분할 공진자(P1a, P1b)로 분할되어 있다.
병렬암 공진자(P2)는, 직렬암 공진자(S2)와 직렬암 공진자(S3) 사이의 접속점에 일단이 전기적으로 접속되어 있고, 타단이 병렬암 공진자(P3, P4)와 공통 접속되어 있다. 병렬암 공진자(P3)의 일단은, 직렬암 공진자(S3, S4) 사이의 접속점에 접속되어 있고, 타단이 병렬암 공진자(P2, P4)와 공통 접속되어 있다. 병렬암 공진자(P4)의 일단은, 직렬암 공진자(S4, S5) 사이의 접속점에 접속되어 있고, 타단이 병렬암 공진자(P2, P3)와 공통 접속되어 있다. 병렬암 공진자(P2~P4)의 공통 접속되어 있는 부분과, 그라운드 전위 사이에 인덕턴스(L)가 접속되어 있다.
병렬암 공진자(P2)는, 2개의 분할 공진자(P2a, P2b)로 분할되어 있다. 마찬가지로, 병렬암 공진자(P3)는, 2개의 분할 공진자(P3a, P3b)로 분할되어 있고, 병렬암 공진자(P4)는, 2개의 분할 공진자(P4a, P4b)로 분할되어 있다.
본 실시형태에서는, 직렬암 공진자(S1~S5) 및 병렬암 공진자(P1~P4)의 전부가, 본 발명에 따른 탄성파 공진자에 의해 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 직렬암 공진자(S1~S4) 및 병렬암 공진자(P1~P4)에 상기 제1 실시형태의 탄성파 공진자(1)가 적용되어 있고, 직렬암 공진자(S5)에, 상기 제5 실시형태에 따른 탄성파 공진자(51)가 적용되어 있다. 따라서 본 실시형태에 따른 래더형 필터는, 소형화를 도모하면서 저손실로 할 수 있다. 이하, 도 7을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 7은, 래더형 필터의 감쇠량 주파수 특성을 나타내는 도면이다. 도 7 중 실선으로 상기 본 발명의 한 실시형태에 따른 래더형 필터의 실험예의 결과를 나타내고 있으며, 파선으로 비교예의 결과를 나타내고 있다.
실험예에서는, 도 6에 나타내는 래더형 필터에서, 직렬암 공진자(S1~S4) 및 병렬암 공진자(P1~P4)에 상기 제1 실시형태의 탄성파 공진자(1)를 적용하고, 직렬암 공진자(S5)에, 상기 제5 실시형태에 따른 탄성파 공진자(51)를 적용했다.
한편, 비교예에서는, 단간 버스바의 양측에 더미 전극지가 마련된 탄성파 공진자를, 도 6에 나타내는 래더형 필터의 모든 공진자에 적용했다.
보다 구체적으로는, 도 8에 나타내는 단간 버스바의 양측에 더미 전극지가 마련된 탄성파 공진자를, 도 6에 나타내는 래더형 필터의 직렬암 공진자(S1~S4) 및 병렬암 공진자(P1~P4)에 적용했다. 또한 도시하고 있지 않지만 직렬암 공진자(S5)에는, 인접하는 3개의 IDT 전극을 전기적으로 접속하는 2개의 단간 버스바에서, 각각 단간 버스바의 양측에 더미 전극지가 마련된 탄성파 공진자를 적용했다. 각 단간 버스바에 마련된 더미 전극지(14)는, 외측 버스바에 마련된 더미 전극지(12, 13)보다도 길다. 또한 본 실험예 및 비교예에서, IDT 전극으로는 이하의 것을 이용했다. 이하에, 본 발명을 실시한 직렬 공진자의 파라미터의 일부를 나타낸다.
IDT 전극의 교차 폭: 42㎛
IDT 전극의 대수: 196대
전극지의 피치: 1.97㎛
듀티: 0.58
주파수대: Band1(1950㎒대)
도 7에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 래더형 필터에서는, 모든 단간 버스바에 더미 전극지를 마련하지 않고 소형화를 도모하고 있음에도 불구하고, 모든 단간 버스바의 양측에 더미 전극지를 마련한 비교예와 거의 동일한 감쇠량 주파수 특성을 나타내고 있는 것을 알 수 있다. 이로부터, 본 실시형태에 따른 래더형 필터에서는, 소형화를 도모할 수 있으면서, 저손실로 되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
또한 본 실험예에서는, 상기와 같이 래더형 필터의 모든 공진자에 본 발명에 따른 탄성파 공진자를 적용했지만, 래더형 필터의 적어도 하나의 공진자에 본 발명에 따른 탄성파 공진자를 적용하면, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.
1, 21, 31, 41, 51: 탄성파 공진자
1A, 1B, 1C: 제1, 제2, 제3 분할 공진자
2: 압전 기판
3, 4: 제1, 제2 IDT 전극
3a: 제1 전극지
3b: 제2 전극지
4a: 제3 전극지
4b: 제4 전극지
5, 6: 반사기
7, 8: 제1, 제2 외측 버스바
9, 10: 제1, 제2 단간 버스바
11: 제3 IDT 전극
11a: 제5 전극지
11b: 제6 전극지
12~14: 제1~제3 더미 전극지
15: 입력 단자
16: 출력 단자
P1~P4: 병렬암 공진자
S1~S5: 직렬암 공진자
S1a, S1b, S2a, S2b, S3a, S3b, S4a, S4b, S5a~S5c, P1a, P1b, P2a, P2b, P3a, P3b, P4a, P4b: 분할 공진자

Claims (13)

  1. 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할된 복수의 분할 공진자가 압전 기판 상에 마련되어 있고, 상기 복수의 분할 공진자가 각각 IDT 전극을 가지는 탄성파 공진자로서,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바(busbar)인 제1, 제2 외측 버스바와,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제1 단간(段間) 버스바와,
    일단(一端)이 상기 제1 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제1 전극지(電極指)와,
    일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제1 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제2 전극지와,
    일단이 상기 제1 단간 버스바의 상기 복수 개의 제2 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제3 전극지와,
    상기 복수 개의 제3 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제4 전극지와,
    일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되는 복수 개의 제1 더미(dummy) 전극지와,
    일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제2 더미 전극지를 포함하고,
    상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제3 더미 전극지를 더 가지고 있으며,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제2 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제1 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제3 전극지가 배치되어 있으며,
    상기 제1, 제2 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제1 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  3. 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 직렬로 분할된 복수의 분할 공진자가 압전 기판 상에 마련되어 있고, 상기 복수의 분할 공진자가 각각 IDT 전극을 가지는 탄성파 공진자로서,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 가장 외측에 위치하고 있는 양측의 버스바인 제1, 제2 외측 버스바와,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제1 단간 버스바와,
    일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제1 전극지와,
    일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제1 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제2 전극지와,
    일단이 상기 제1 단간 버스바의 상기 복수 개의 제2 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제3 전극지와,
    상기 복수 개의 제3 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제4 전극지와,
    일단이 상기 제1 외측 버스바에 접속되어 있고, 상기 복수 개의 제2 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되는 복수 개의 제1 더미 전극지와,
    일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속된 복수 개의 제2 더미 전극지를 포함하고,
    상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제3 더미 전극지를 더 가지고 있으며,
    상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제1 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  4. 제3항에 있어서,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제2 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제1 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제3 전극지가 배치되어 있으며,
    상기 제1, 제2 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 한쪽에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있고, 상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 다른 쪽에, 상기 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있지 않은 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 단간 버스바의 상기 제2 전극지가 마련되어 있는 측과 상기 제3 전극지가 마련되어 있는 측의 쌍방에, 일단이 상기 제1 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제3 더미 전극지가 마련되어 있고,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제3 더미 전극지의 길이가 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 짧은 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제4 전극지의 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속되어 있고,
    상기 복수 개의 제2 더미 전극지의 상기 제2 외측 버스바와 접속되어 있지 않은 측의 타단이, 상기 복수 개의 제3 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제4 전극지의 일단이 접속되어 있고, 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 인접하는 2개의 상기 IDT 전극을 전기적으로 접속하고 있는 제2 단간 버스바와,
    일단이 상기 제2 단간 버스바의 상기 복수 개의 제4 전극지가 마련되어 있는 측과는 반대측에 접속되어 있는 복수 개의 제5 전극지와,
    상기 복수 개의 제5 전극지와 서로 사이에 삽입되어 있는 복수 개의 제6 전극지를 더 포함하고,
    상기 제2 단간 버스바의 상기 제4 전극지가 마련되어 있는 측과, 상기 제5 전극지가 마련되어 있는 측의 적어도 한쪽에, 일단이 상기 제2 단간 버스바에 접속되어 있는 복수 개의 제4 더미 전극지가 마련되어 있지 않고, 또는 탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 복수 개의 제1, 제2 더미 전극지의 길이보다 길이가 짧은 상기 복수 개의 제4 더미 전극지를 더 가지는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  10. 제9항에 있어서,
    탄성파 전파 방향과 직교하는 방향에서, 상기 제4 전극지가 연장되는 연장 상에, 상기 제2 단간 버스바를 사이에 두고 상기 제5 전극지가 배치되어 있고,
    상기 제3, 제4 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치가, 상기 제5, 제6 전극지가 서로 사이에 삽입되어 있는 부분의 전극지의 피치와 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제1 외측 버스바가 마련되어 있는 상기 IDT 전극을 제1 IDT 전극으로 하고, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제1 IDT 전극에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제2 IDT 전극으로 하며, 탄성파 전파 방향에 직교하는 방향에서, 상기 제2 IDT 전극의 상기 제1 IDT 전극과 인접하고 있는 측과는 반대측에 인접하고 있는 상기 IDT 전극을 제3 IDT 전극으로 했을 때에 상기 제2 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파와, 상기 제3 IDT 전극에 의해 전파되는 탄성파의 위상 및 파장이 동일하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제6 전극지의 일단이 상기 제2 외측 버스바에 접속되어 있고,
    상기 복수 개의 제2 더미 전극지의 상기 제2 외측 버스바와 접속되어 있지 않은 측의 타단이, 상기 복수 개의 제5 전극지와 틈을 두고 대향하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성파 공진자.
  13. 입력 단자 및 출력 단자를 잇는 직렬암(series arm)에 마련된 복수의 직렬암 공진자와, 상기 직렬암과 그라운드 전위를 잇는 복수의 병렬암(parallel arm)에 각각 마련된 복수의 병렬암 공진자를 포함하고,
    상기 복수의 직렬암 공진자 및 상기 복수의 병렬암 공진자 중 적어도 하나의 공진자가, 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 탄성파 공진자인 것을 특징으로 하는 래더형 필터.
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