CN101905209A - 启动加注处理方法和启动加注处理装置 - Google Patents

启动加注处理方法和启动加注处理装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种启动加注处理方法和启动加注处理装置，保障启动加注处理的可靠性并进一步削减清洗液的使用量。使狭缝喷嘴(72)的喷出口相对于启动加注辊(14)的顶部平行相对，在使启动加注辊(14)静止的状态下，狭缝喷嘴(72)喷出恒定量的抗蚀剂液(R)。接着，启动加注辊(14)开始旋转，将抗蚀剂液(R)卷绕在启动加注辊(14)外周面上。接着，一次性提高启动加注辊(14)的转速，分离抗蚀剂液(R)的液膜从而分成狭缝喷嘴72侧和启动加注辊14侧，分离后还使启动加注辊(14)继续旋转，使抗蚀剂液膜(RM1)自然干燥。

Description

启动加注处理方法和启动加注处理装置
技术领域
本发明涉及一种启动加注处理方法和启动加注处理装置，用于在非旋转法的涂敷处理用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成处理液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备。
背景技术
在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光蚀刻工序中，多使用非旋转法，该非旋转法是使具有狭缝状喷出口的长条形的狭缝喷嘴进行扫描，从而在被处理基板(例如玻璃基板)上涂敷抗蚀剂液。
在这样的非旋转法中，希望在防止抗蚀剂干燥膜的膜厚的不均匀性和涂敷不均的基础上，使在涂敷扫描中喷出到基板上的抗蚀剂液在扫描方向上绕到狭缝喷嘴的背面侧而形成的弯液面(meniscus)在喷嘴长度方向上对齐成水平一条直线，因此，在即将涂敷扫描开始之前，在狭缝喷嘴的喷出口和基板之间的涂敷间隙中塞满适量的抗蚀剂液而使该喷出口和基板之间不存在间隙是必要条件。为了满足该必要条件，作为涂敷扫描的预先准备，进行从狭缝喷嘴的喷出口到背面下端部形成抗蚀剂液的液膜的启动加注处理。
有代表性的启动加注处理法为，在涂敷处理部附近水平地设置具有与狭缝喷嘴同等或同等以上长度的圆筒状的启动加注辊，使狭缝喷嘴隔着微小的间隙接近到与启动加注辊的顶部相对的位置而喷出抗蚀剂液，之后立即使启动加注辊沿规定方向旋转。于是，喷出到启动加注辊的顶部附近的抗蚀剂液绕到狭缝喷嘴的背面下部而卷绕在启动加注辊的外周面上，抗蚀剂液的液膜以分开成狭缝喷嘴侧和启动加注辊侧的形式被分离。在狭缝喷嘴上从喷嘴喷出口到背面下端部残留有抗蚀剂液的液膜。
以往一般的启动加注处理装置不仅具有驱动启动加注辊旋转的旋转机构，还具有用于清洁启动加注辊的刮削器、清洗喷嘴和干燥喷嘴等，当1次启动加注处理结束时，作为其后处理，利用旋转机构使启动加注辊连续旋转，用刮削器从启动加注辊的外周面刮掉抗蚀剂液，利用清洗喷嘴和干燥喷嘴分别对启动加注辊的外周面喷射清洗液和干燥气体。
可是，在1次启动加注处理中，启动加注辊上用于接受从狭缝喷嘴喷出的抗蚀剂液而卷绕使用的区域根据狭缝喷嘴、启动加注辊的尺寸不同而不同，然而无需遍布启动加注辊的整周(360°)，而通常是半周(180°)以下，也可以是1/4周(90°)以下或1/5周(72°)以下。而且，以往一般的启动加注处理装置每次进行启动加注处理时，作为后处理，像上述那样使启动加注辊连续旋转，对启动加注辊的外周面整体(整周)喷射清洗液，因此，存在大量使用清洗液(通常为稀释剂)的这种问题。
本申请人为了解决该问题，在专利文献1中公开有如下的启动加注处理法，即，为了进行1次启动加注处理，使狭缝喷嘴的喷出口和启动加注辊的上端隔开规定的间隙地相对，从狭缝喷嘴喷出恒定量的处理液或涂敷液(例如抗蚀剂液)，并且使启动加注辊旋转规定的旋转角度，在该启动加注处理中使用启动加注辊的半周以下的部分表面区域，在连续的规定次数的启动加注处理结束之后，遍及启动加注辊的外周面整周一并进行清洗。
该启动加注处理法为，将启动加注辊的外周面沿其旋转方向分开成多个区域，在连续的规定次数的启动加注处理中依次分配地使用上述的分开区域(部分的表面区域)，之后遍及启动加注辊的外周面整周一并进行清洗。该一并清洗处理一边利用旋转机构使启动加注辊连续旋转一边使清洗机构和干燥部动作，遍及启动加注辊的外周面整周一并进行清洗，在各启动加注处理时，不需要用于刮掉卷绕在启动加注辊表面的涂敷液的液膜的刮削器，能节省在启动加注处理后的清洗处理中所消耗的清洗液，并且也能在清洗处理时防止微粒的产生。
专利文献1：日本特开2007-237046
发明内容
本发明是本申请人在上述专利文献1中所公开的启动加注处理法的改进版，从独自的观点出发，考虑到启动加注处理的成品率以及可靠性并且实现进一步节省在启动加注处理中所使用的清洗液。
即，本发明提供一种能够保障启动加注处理的可靠性并且能够进一步削减清洗液的使用量的启动加注处理方法和启动加注处理装置。
本发明的第1技术方案的启动加注处理方法用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：第1工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第2工序，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜；第3工序，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第4工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
此外，本发明的第1技术方案的启动加注处理装置用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，在利用上述旋转机构卷绕上述涂敷液后使上述启动加注辊还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
在上述第1技术方案的启动加注处理方法或处理装置中，作为使用启动加注辊外周面上的希望的区域所实施的1次量的启动加注处理的结果，使残留(附着)在该区域内的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜，并且使用启动加注辊的外周面上的与第1干燥膜不同的区域来实施后续的启动加注处理。第1干燥膜被固定在规定区域内并在规定区域内被保持，因此，即使在其附近实施后续的启动加注处理，也不会受到来自第1干燥膜的影响(干涉)。
优选第1干燥膜以自然干燥的半干状态形成。因此，优选将涂敷液的一部分卷绕在启动加注辊上之后，使启动加注辊还继续旋转，进行涂敷液的自然干燥。利用这样的自然干燥法，能够将附着的各干燥膜在半干状态下一并清洗，能够容易地洗掉干燥膜，并削减清洗液的使用量。
优选在一并清洗中，一边使启动加注辊旋转一边仅对启动加注辊的外周面上的、附着有液膜或干燥膜的区域喷射清洗液，能进一步削减清洗液的使用量。
此外，优选在一并清洗之前，测量附着在启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜的范围和膜厚，基于其测量结果，决定一并清洗中的清洗液的使用量。由此，能进一步削减清洗液的使用量。
本发明的第2技术方案的启动加注处理方法用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：第1工序，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴或非涂敷处理用的另外的狭缝喷嘴相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使该狭缝喷嘴喷出涂敷液并且使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分或全部；第2工序，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层干燥膜；第3工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述第1层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第4工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
本发明的第2技术方案的启动加注处理装置用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜的启动加注处理装置，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴或非涂敷处理用的另外的狭缝喷嘴相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使该狭缝喷嘴喷出涂敷液并且利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分或全部，在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层干燥膜，为了进行1次量的启动加注处理，使上述第1层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述第1层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
在上述第2技术方案的启动加注处理方法或处理装置中，作为某1次量的启动加注处理的结果，在形成在启动加注辊外周面上的第1层干燥膜上实施后续的另外的启动加注处理，由此，在第1层干燥膜上重叠地卷绕第2层液膜。在此，卷绕在第1层干燥膜上的第2层液膜的长度(旋转方向尺寸)比卷绕在启动加注辊的外周面上的第1层液膜的长度(旋转方向尺寸)短得多。由此，在启动加注辊的一周内，也能够使卷绕第2层液膜的次数(启动加注处理次数)多于卷绕第1层液膜的次数(启动加注处理次数)。然后，第1层和第2层各液膜(或干燥膜)利用一并清洗同时被去除。由此，能够大幅地增加在启动加注辊上不进行清洗处理而连续地实施的启动加注处理的次数，也能谋求进一步大幅地削减一并清洗中的清洗液的使用量。
作为优选的一方式，上述第2技术方案的启动加注处理方法在第1工序中，为了进行1次量的启动加注处理，使涂敷处理用的狭缝喷嘴的喷出口相对于启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使启动加注辊旋转，在启动加注辊外周面上卷绕涂敷液的一部分。
此外，优选第1层干燥膜以自然干燥的半干状态形成。因此，优选在启动加注辊的外周面上卷绕涂敷液的一部分之后，使启动加注辊还继续旋转，在停止排气机构的状态下进行涂敷液膜的自然干燥。利用这样的自然干燥法，能够将附着的各干燥膜在半干状态下一并清洗，能够容易地洗掉干燥膜，并削减清洗液的使用量。
作为另外优选的一方式，上述第2技术方案的启动加注处理方法在第2工序和第3工序之间具有第5工序和第6工序，该第5工序测量第1层干燥膜的膜厚分布特性；该第6工序基于膜厚分布特性的测量结果，在第1层干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时得出允许实行第3工序的判定结果，在第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过该基准时得出应该中止实行第3工序的判定结果。此外，上述第2技术方案的启动加注处理装置具有用于测量启动加注辊上的干燥膜的膜厚的膜厚测量部，利用该膜厚测量部测量第1层干燥膜的膜厚分布特性，基于膜厚分布特性的测定结果，在第1层干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时在第1层干燥膜上实行启动加注处理，在第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过基准时中止在第1层干燥膜上的启动加注处理。
这样，在后续的启动加注处理中，通过具有检查作为接受从狭缝喷嘴喷出的涂敷液的基底的预定的第1层干燥膜的膜质状态(膜厚均匀性)的功能，能提高启动加注处理的成品率以及可靠性。
此外，在另外的优选的一方式中，第3工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸比第1工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸的1/2小。如上所述，卷绕在第1层干燥膜上的第2层液膜的长度(旋转方向尺寸)比卷绕在启动加注辊外周面上的第1层液膜的长度(旋转方向尺寸)短得多(通常1/2以下)。
在这种情况下，在优选的一方式中，在第3工序中使卷绕在第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层第1干燥膜。
之后，使用与该第2层第1干燥膜不同的区域，在第1层干燥膜上进一步进行另外的1次量的启动加注处理，在该区域内卷绕涂敷液(第2层第2液膜)。之后，在一并清洗中，同时洗掉第1层干燥膜、第2层第1干燥膜和第2液膜(或第2干燥膜)。
在另外的优选的一方式中，在第3工序中使卷绕在第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层干燥膜。之后，使用该第2层干燥膜进一步进行另外的1次量的启动加注处理，在该区域内卷绕涂敷液(第3层液膜)。之后，在一并清洗中，同时洗掉第1层干燥膜、第2层干燥膜和第3层液膜(干燥膜)第1干燥膜。
此外，在一并清洗(第4工序)中，优选一边使启动加注辊旋转一边仅对启动加注辊的外周面上的附着液膜或干燥膜的区域喷射清洗液。由此，能进一步削减一并清洗的清洗液的使用量。此外，也优选在一并清洗之前，测量附着在启动加注辊外周面上的各液膜或干燥膜的范围和膜厚，基于其测量结果，决定一并清洗的清洗液的使用量，由此，能进一步促进一并清洗的清洗液使用量的削减。
本发明的第3技术方案的启动加注处理方法用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：第1工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；第2工序，使在上述第1工序中卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第1干燥膜；第3工序，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1层第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕涂敷液的一部分；第4工序，使在上述第3工序中卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第2干燥膜；第5工序，为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜上卷绕涂敷液的一部分；第6工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的所有膜。
此外，本发明的第3技术方案的启动加注处理装置用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕涂敷液的一部分，在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第1干燥膜，为了进行另外的1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕涂敷液的一部分，在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第2干燥膜，为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜上卷绕涂敷液的一部分，在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的所有膜。
在上述第3技术方案的启动加注处理方法或处理装置中，在启动加注辊外周面上不进行清洗而进行多次的启动加注处理，每次作为后处理而进行干燥工序，在启动加注辊外周面上形成有第1层第1和第2干燥膜。然后，在第1层第1干燥膜或第1层第2干燥膜上也实施后续的另外的启动加注处理，由此，重叠第1层第1干燥膜或第1层第2干燥膜地卷绕第2层液膜。在此，卷绕在第1层干燥膜上的第2层液膜的长度(旋转方向尺寸)比卷绕在启动加注辊外周面上的液膜的长度(旋转方向尺寸)短得多。由此，在启动加注辊的一周内，也能够使卷绕第2层液膜的次数(启动加注处理次数)多于卷绕第1层液膜的次数(启动加注处理次数)。通过一并清洗同时去除第1层和第2层各液膜(或干燥膜)。
在上述第3技术方案的启动加注处理方法或启动加注处理装置中，也和上述第2技术方案的启动加注处理方法或启动加注处理装置相同地，能够在启动加注辊上不进行清洗处理而大幅度地增加能连续实施的启动加注处理的次数，也能谋求一并清洗中的清洗液的使用量得到更大幅度的削减。
本发明的第4技术方案的启动加注处理装置用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其中，包括：启动加注处理部，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕涂敷液的一部分；膜厚测量部，用于测量卷绕在上述启动加注辊外周面上的涂敷液的液膜或其干燥膜的膜厚分布特性；喷嘴喷出功能判定部，基于由上述膜厚测量部得到的膜厚分布特性的测量结果，判定上述狭缝喷嘴的喷出判断功能是否良好。
根据上述的结构，能够在实施了启动加注处理之后根据卷绕在启动加注辊上的涂敷液的液膜或其干燥膜的膜厚分布特性判定狭缝喷嘴的喷出功能是否良好，所以能提高涂敷处理的成品率以及可靠性。
根据本发明的启动加注处理方法或启动加注处理装置，利用如上述那样的结构和作用，能保障启动加注处理的可靠性并进一步削减清洗液的使用量。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的启动加注处理装置的结构的图。
图2是示意性地表示在实施例中进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图3是以时间轴上的波形表示图2的启动加注处理动作中的启动加注辊的转速的图。
图4是示意性地表示进行第2次启动加注处理时各阶段的图。
图5是示意性地表示启动加注辊在一周内进行最后(第4次)启动加注处理和之后的一并清洗处理时各阶段的图。
图6是以时间轴上的波形表示图2的启动加注处理动作和一并清洗处理中的启动加注辊的转速的图。
图7是用于说明清洗工序中的启动加注处理装置的作用的图。
图8是表示第1实施例的启动加注处理方法的大致顺序的立体图。
图9是表示用于测量第1层抗蚀剂干燥膜的膜厚分布保持特性的主要部分的结构和作用的图。
图10是示意性地表示在第1层抗蚀剂干燥膜上进行第1次启动加注处理时的各阶段的图。
图11是示意性地表示在第1层抗蚀剂干燥膜上进行最后的启动加注处理和之后的一并清洗处理时的各阶段的图。
图12是表示第1实施例的启动加注处理方法的大致顺序的立体图。
图13是示意性地表示一变形例的进行启动加注处理时的各阶段的图。
图14是表示在另一变形例中，在启动加注辊上形成基底膜(第1层抗蚀剂膜)，在该基底膜上实施启动加注处理的方法的图。
具体实施方式
以下、参照附图，说明本发明优选的实施方式。
启动加注处理装置的结构
图1表示本发明的一实施方式的启动加注处理装置的结构。该启动加注处理装置被装入例如在LCD制造处理用的光蚀刻工序中进行非旋转法的抗蚀剂涂敷处理的抗蚀剂涂敷装置(未图示)中，且配置于为了进行抗蚀剂涂敷处理而载置或悬浮输送被处理基板的涂敷台(未图示)的附近。
在图示的启动加注处理装置中，壳体10由在上表面具有狭缝状的开口部12的长条形的框体构成，使收容的启动加注辊14以其顶部经由开口部12在上方露出的方式水平且能旋转地由轴承(未图示)支承。
启动加注辊14例如是由不锈钢构成的圆筒状或圆柱状的辊，具有恒定的外径(例如100～150mm)和覆盖后述的狭缝喷嘴72的全长的长度。壳体10例如也可以由不锈钢制作。
在壳体10内，在从启动加注辊14的顶部(最上部)沿着正旋转方向(图1中的顺时针方向)向底部(最下部)去的中途，优选在旋转角度位置90°～180°的区间内设有清洗机构16的清洗喷嘴。该清洗喷嘴优选由长条形的双流体喷射喷嘴18构成，覆盖启动加注辊14全长的长度地与该启动加注辊14平行配置，经由配管20、22与清洗液供给部24和气体供给部26连接。在配管20、22的中途分别设有开闭阀28、30。
清洗启动加注辊14时，开闭阀28、30被打开，双流体喷射喷嘴18分别以希望的流量自清洗液供给部24和气体供给部26接受清洗液(例如稀释剂)和气体(例如空气或氮气)，在喷嘴内清洗液和气体混合，自狭缝或多孔型的喷出口以喷射流向启动加注辊14的外周面喷射。清洗控制部25控制清洗液供给部24、气体供给部26和开闭阀28、30，特别是在来自后述的主控制部70的指示下，能够单独且任意地控制清洗液和气体的流量。
在开口部12和清洗机构16之间的区间，壳体10的内壁与启动加注辊14的外周面留有不接触程度的微小的间隙地邻近，形成喷雾遮挡部32。在清洗启动加注辊14时，产生在双流体喷射喷嘴18周围的喷雾不会通过喷雾遮挡部32的间隙而向开口部12侧流出，在此被遮挡。
在壳体10内，在以启动加注辊14为中心的喷雾遮挡部32和清洗机构16的相反侧设有喷雾引入部34、吸引口36和强制干燥部38。
优选喷雾引入部34设于从启动加注辊14的顶部沿着旋转方向旋转角度位置为180°～270°的区间内。图示的构成例的喷雾引入部34在该区间内具有形成在壳体10的内壁和启动加注辊14的外周面之间的喷雾引入用的间隙40。
优选强制干燥部38设于从启动加注辊14的顶部沿着旋转方向旋转角度位置为270°～360°的区间内。图示的构成例的强制干燥部38在该区间内具有形成在壳体10的内壁和启动加注辊14的外周面之间的除去液体用的间隙42。
吸引口36经由真空通路44和真空管46例如与具有真空泵或吸气扇(未图示)和捕雾器(mist trap)或过滤器等的抽真空(vacuum)装置48连通。在真空通路44的终端附近设有由排气阀控制部50控制开闭的排气阀52。在打开抽真空装置48，使排气阀52成为打开状态时，喷雾引入部34和强制干燥部38动作，使吸气口36的喷雾引入用的气流和除去液体用的气流分别从外部流向喷雾引入用的间隙40和除去液体用的间隙42中。
在排气阀52关闭时，即使抽真空装置48打开，在吸气口36也达不到真空，喷雾引入部34和强制干燥部38成为停止状态。
在该启动加注处理装置中，用于对启动加注辊14的周围进行强制排气的排气机构45包括像上述那样的喷雾引入部34、吸气口36、强制干燥部38、抽真空装置48、排气阀控制部50和排气阀52。
在壳体10的底部，在启动加注辊14的正下方的位置形成有排出口54。该排出口54经由排液管56与排出箱58连通。
在该启动加注处理装置中，用于使启动加注辊14旋转的旋转机构65包括电动机60、旋转控制部62和编码器64。电动机60优选由伺服电动机构成，其旋转驱动轴例如经由带轮、传动带等传动机构(未图示)与启动加注辊14的旋转轴连接。旋转控制部62不仅能够控制电动机60的基本动作(控制旋转、停止、速度等)，还能够通过编码器64任意地控制电动机60的旋转量和旋转角度位置。
在该启动加注处理装置中设有用于测量启动加注辊14上的抗蚀剂膜的膜厚的膜厚测量部67。膜厚测量部67具有膜厚传感器66和膜厚运算部68。
为了不与狭缝喷嘴72产生干涉，膜厚传感器66被设置或配置在开口部12的附近，从该位置以非接触式即光学式测量正对着的附着在启动加注辊14的外周面上的抗蚀剂膜或其液膜的膜厚。作为另一构成例，也可以例如利用支承臂等可动地支承膜厚传感器66，在狭缝喷嘴72远离壳体10的开口部12时，使膜厚传感器66对位在开口部12之上。
膜厚运算部68输入膜厚传感器66的输出信号，计算启动加注辊14上的抗蚀剂液膜的膜厚测量值。优选启动加注辊14沿轴向以恒定间隔呈一列地配置多个膜厚传感器66，不仅能测量启动加注辊14的旋转方向的抗蚀剂液膜的膜厚分布特性，而且也能测量启动加注辊14的轴向的抗蚀剂液膜的膜厚分布特性。由膜厚测量部67得到的膜厚测量值以及膜厚分布特性测量值被送往主控制部70。
主控制部70包括根据规定的软件而动作的微机，统一控制该启动加注处理装置内的清洗机构16、排气机构45、旋转机构65和膜厚测量部67的动作。在图示的构成例中，主控制部70直接控制抽真空装置48、膜厚传感器66和膜厚运算部68的各动作，并且，通过清洗控制部25、排气阀控制部50和旋转控制部62控制双流体喷射喷嘴18、排气阀52和电动机60的各动作。而且，主控制部70能够通过旋转机构65的旋转控制部62把握并控制启动加注辊14的旋转量和旋转角度位置。
此外，主控制部70一并控制该启动加注处理装置内的整体顺序(sequence)，并且，至少对启动加注处理控制该抗蚀剂涂敷装置所具有的抗蚀剂涂敷处理用的狭缝喷嘴72的一切动作。
即，在该抗蚀剂涂敷装置中，狭缝喷嘴72由喷嘴移动机构74支承，而且能够在预先设定的空间内被搬送、定位于任意的位置。此外，自抗蚀剂供给部76经由抗蚀剂供给管78对狭缝喷嘴72供给抗蚀剂液。在此，在抗蚀剂供给管78上设有开闭阀80。
关于启动加注处理，主控制部70通过喷嘴移动机构74、抗蚀剂供给部76、开闭阀80，控制狭缝喷嘴72的移动、定位和抗蚀剂液喷出动作。
启动加注处理方法的第1实施例
接着，参照图2～图8，说明由该启动加注处理装置能够实施的启动加注处理方法的第1实施例。
在装入有该启动加注处理装置的该抗蚀剂涂敷装置中，在涂敷台上，每当一张基板的涂敷处理结束时，作为下一涂敷处理的预先准备，利用该启动加注处理装置进行1次启动加注处理。
图2表示启动加注辊14的外周面整周被恢复为清洁状态之后进行最初(第1次)启动加注处理时的各阶段。图3以时间轴上的波形表示图2的启动加注处理动作中的启动加注辊14的转速。
在该第1次启动加注处理中，首先，如图1所示，通过喷嘴移动机构74定位狭缝喷嘴72，以使狭缝喷嘴72的喷出口与启动加注辊14的顶部隔开规定的间隙(例如几十～几百μm)地平行相对。在该情况下，不仅清洗机构16停止，排气机构45也停止。
接着，如图2的I所示，在使启动加注辊14静止的状态下，通过抗蚀剂供给部76使狭缝喷嘴72喷出恒定量的抗蚀剂液R。
该抗蚀剂液喷出的动作在恒定时间(图3的t0～t1)内进行。从狭缝喷嘴72的喷出口喷出的抗蚀剂液R到达启动加注辊14的顶部附近而沿旋转方向向周围扩散。
接着，利用旋转机构65在规定的时刻(图3的时刻t1)开始使启动加注辊14旋转动作，如图2的II(卷绕)所示，以使抗蚀剂液R绕到狭缝喷嘴72的背面下端部72a的方式将抗蚀剂液R卷绕在启动加注辊14的外周面上。在此，卷绕抗蚀剂液R时的转速Va优选无法迅速地切断抗蚀剂液R的液膜这样的比较低的速度，例如周向速度选择几十mm/秒。
接着，在规定的时刻(图3的时刻t2)一下子提高启动加注辊14的转速。由此，如图2的III(分离)所示，抗蚀剂液R的液膜被分离，被分开成狭缝喷嘴72侧和启动加注辊14侧。此时，在狭缝喷嘴72上升时，在规定的部位能够更顺畅且可靠地进行抗蚀剂液膜的分离。这样，在狭缝喷嘴72上从喷嘴喷出口到背面下端部72a残留有抗蚀剂液的液膜RF。另一方面，在启动加注辊14的外周面上，残留有像上述那样被卷绕的抗蚀剂液的液膜RM1。该抗蚀剂液膜RM1的旋转方向卷绕的尺寸在旋转角度范围能够设定为例如70°～75°的尺寸。
在该实施例中，在分离出抗蚀剂液膜RM1之后，如图2的IV(自然干燥)所示，仍使启动加注辊14继续旋转。此时，启动加注辊14的转速既可以如图3的实线V所示，维持在刚刚分离了抗蚀剂液膜之后(图3的时刻t3)的速度Vb(例如周向速度几百mm/秒)，或者也可以如假想线(点划线)V’所示，切换成不同的速度(例如周向速度几十mm/秒)。另外，在该自然干燥(IV)期间排气机构45也停止。
在该实施例中，利用在这样卷绕在启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1断开后也使启动加注辊14继续旋转的动作，发挥以下两个重要的效果。
第1效果是能够防止卷绕在启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1的液体下垂。即，在卷绕(II)和分离(III)的动作中，启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1从启动加注辊14的顶部向底部沿旋转方向移动。
假设在此如果停止启动加注辊14的旋转，则在抗蚀剂液膜RM1上持续作用有因重力而旋转方向向下的力，在启动加注辊14外周面上抗蚀剂液膜RM1下垂(扩展)。在使用狭缝喷嘴的非旋转涂敷法中，通常使用20cp以下的低粘度抗蚀剂液，因此，在启动加注辊上容易产生如上述那样的抗蚀剂液膜的液体下垂。
而且，在该实施例中，通过不停止启动加注辊14的旋转而使其继续旋转，实质上抵消作用于抗蚀剂液膜RM1上的重力的作用(引起液体下垂的力)，能够使卷绕在启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1不下垂而扩展地利用表面张力使其停止在规定的区域(分开区域)内。
作为第2效果，通过停止排气机构45、使启动加注辊14继续旋转，能够使卷绕在启动加注辊被14上的抗蚀剂液膜RM1在短时间内高效率地自然干燥。
即，若打开排气机构45、使启动加注辊14旋转，则启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1在强制干燥部38的间隙42中由于逆风而受到大的压力，容易降低膜厚均匀性。特别是若在强制干燥部38的间隙42内施加于抗蚀剂液膜RM1的逆风的压力在轴向上不均匀，则在抗蚀剂液膜RM1表面容易产生沿旋转方向延伸的筋状的凹凸。若停止排气机构45，则在启动加注辊14旋转中其外周面上的抗蚀剂液膜RM1即使通过间隙42时也不会受到逆风的压力，从而可受到与以静止状态被放置在大气中的情况相同的自然干燥。
这样，启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RM1利用自然干燥使膜的内部保持液体状并使膜的表层部成为干燥固化的半干或未干透的状态。若成为这样的半干的状态，则即使停止启动加注辊14旋转，抗蚀剂液膜RM1也不产生液体下垂。
在该实施方式中，为了区别成为自然干燥工序后的半干状态的抗蚀剂液膜RMi(i＝1、2、3...)与自然干燥工序前的完全的液体状态的液膜，将成为自然干燥工序后的半干状态的抗蚀剂液膜RMi称为抗蚀剂干燥膜[RMi]。
上述那样的由启动加注辊14的旋转带来的抗蚀剂液膜RM1的自然干燥(IV)花费恒定的时间(图3的t3～t4)进行。在该期间内，狭缝喷嘴72由喷嘴移动机构74送往涂敷台，在此用于进行一张基板的抗蚀剂涂敷处理。然后，在抗蚀剂涂敷处理结束时，狭缝喷嘴72再次向该启动加注处理装置返回，如图1所示，该喷出口被定位成相对于启动加注辊14的顶部隔开规定的间隙地平行相对。
图4表示进行第2次启动加注处理时的各阶段。如图4的I(喷出)所示，在该第2次启动加注处理中，在避开上次(第1次)启动加注处理中卷绕在启动加注辊14上的第1抗蚀剂干燥膜[RM1]并使启动加注辊14的顶部与狭缝喷嘴72的喷出口相对的状态下，使狭缝喷嘴72喷出恒定量的抗蚀剂液R。
接着，如图4所示，以与在第1次启动加注处理时相同的动作和时刻依次进行抗蚀剂液R的卷绕(II)、分离(III)、自然干燥(IV)的工序。
在这种情况下，也和第1次启动加注处理时相同，利用卷绕(II)和分离(III)工序，在启动加注辊14外周面上以规定的旋转方向尺寸(旋转角度范围70°～75°)卷绕抗蚀剂液R而形成抗蚀剂液膜RM2。然后，使启动加注辊14继续旋转，从分离(III)转为自然干燥(IV)的动作，不产生液体下垂地使抗蚀剂液膜RM2在规定区域内自然干燥。这样，在启动加注辊14外周面上的、与第1抗蚀剂干燥膜[RM1]不同的区域，通常在设定于旋转方向上与下游侧相邻处的分开区域内，作为这次(第2次)启动加注处理附带的残留物，第2抗蚀剂干燥膜[RM2]以规定的旋转方向尺寸(70°～75°)形成。
第3次启动加注处理省略图示，但也以与上述的第1次和第2次启动加注处理相同的顺序和动作进行。作为结果，在与第1和第2抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]不同的区域，通常在设定于旋转方向上与第2抗蚀剂干燥膜[RM2]下游侧相邻处的分开区域内，作为第3次启动加注处理附带的残留物，第3抗蚀剂干燥膜[RM3]以规定的旋转方向尺寸(70°～75°)形成。
另外，在第3次启动加注处理结束时，第3抗蚀剂干燥膜[RM3]如上述那样通过自然干燥而成为半干状态，然而第1和第2抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]还依然保持半干状态。即，第1和第2抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]在启动加注辊14上不接受强制干燥处理、加热处理，所以即使自然干燥的时间为几倍长仍处于半干状态。
在该第1实施例中，自启动加注辊14的外周面遍及全周被恢复成清洁的状态起连续进行规定次数例如4次启动加注处理之后，立即进行启动加注辊14的一并清洗(外周面全周的清洁化)。
图5表示在启动加注辊14一周内进行最后(第4次)启动加注处理和之后的一并清洗处理时的各阶段。图6以时间轴上的波形表示图5的启动加注处理动作和一并清洗处理动作中的启动加注辊14的转速。
如图5所示，在最后(第4次)启动加注处理中，抗蚀剂液R的喷出(I)、卷绕(II)和分离(III)的各工序也与第1次～第3次各启动加注处理时相同，在启动加注辊14外周面上，在旋转方向上位于第3抗蚀剂干燥膜[RM3]的下游侧相邻处的分开区域内卷绕有抗蚀剂液膜RM4。
但是，分离(III)后，跳过自然干燥(IV)的工序，继续启动加注辊14的旋转的状态地进入清洗(V)工序。在该清洗(V)工序中，使清洗机构16和排气机构45动作。
另外，在开始清洗(V)工序之前，主控制部70通过旋转机构65和膜厚测量部67，测量附着在1启动加注辊4上的抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]和抗蚀剂液膜RM4的范围(面积)和膜厚，基于该测量结果，通过运算而决定清洗(V)工序中的清洗液的使用量。例如，可以以附着在启动加注辊14上的所有的抗蚀剂膜(液膜或干燥膜)的总抗蚀剂量(范围×膜厚)为基准值，将清洗液使用量决定为与该基准值(总抗蚀剂量)相等的值。
此外，关于测量抗蚀剂膜，通常是在启动加注辊14上反复进行相同的启动加注处理，所以也可以将附着在各分开区域上的抗蚀剂膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、RM4的范围和膜厚视为相同，仅测量其中一个，例如RM1的范围(面积)和膜厚即可。
作为清洗(V)工序的优选的一方式，主控制部70联动(配合)地控制旋转机构65和清洗机构16，使得双流体喷射喷嘴18仅对启动加注辊14的外周面整周中附着有抗蚀剂膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、RM4的区域喷射清洗液和空气的双流体喷射流。
在此，清洗液的流量以及使用量基于如上述那样的抗蚀剂膜测量而被决定。
这样，利用由双流体喷射喷嘴18喷射的双流体喷射流的强的冲击力，刚刚附着在启动加注辊14外周面上的抗蚀剂液膜RM4自不必说，半干状态的抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]也能容易被洗掉，其中的大部分混入清洗液而向正下方的排出口54落下，剩余的部分成为喷雾ma，飞散在附近。这样，在一并清洗中双流体喷射喷嘴18的周围产生的喷雾ma中的、向上方飞扬的喷雾被喷雾遮挡部32遮挡，几乎不会跑出到壳体10的开口部12一侧。
另一方面，在排气机构45中，排气阀52打开，真空状态从抽真空装置48经由真空管46、真空通路44和吸引口36被供给到喷雾引入部34和强制干燥部38。
如图7所示，喷雾引入部34将在双流体喷射喷嘴18的周围产生的喷雾ma从间隙40的下端吸入到该间隙40中，在间隙40中使喷雾ma沿着启动加注辊14的外周面向旋转方向流动，将从间隙40的上端流出到吸引口36的喷雾ma送往抽真空装置48。
强制干燥部38将空气自上方的大气空间经由开口部12吸入到间隙42中，在间隙42中使空气沿着启动加注辊14的外周向与旋转方向相反的方向流动，利用空气的压力剥落残留在启动加注辊14的外周面上的液体使其液滴化，将从间隙42的下端流出到吸引口36的喷雾mb送往抽真空装置48。这样，利用真空，使向与旋转方向相反的方向流动的空气流同启动加注辊14的外周面碰撞，从而去除液体，利用真空来直接回收因去除液体而产生的喷雾mb，所以干燥效率高，且能防止喷雾飞散。
在自开始上述那样的清洗(V)工序起经过了规定时间时(图6的时刻t5)关闭清洗机构16，停止双流体喷射清洗。之后，在使启动加注辊14连续旋转的状态下仅使排气机构45(喷雾引入部34和强制干燥部38)的动作继续，切换为利用真空的作用来干燥启动加注辊14外周面整周的强制干燥(VI)的工序。然后，经过规定时间后，关闭排气阀52，关闭排气机构45，停止干燥处理，这样，一并清洗处理的整个工序结束。
另外，从使生产节拍一致的观点出发，在一并清洗处理中，合并清洗(V)和强制干燥(VI)的整个处理时间(图6的t3～t6)优选设定为与自然干燥(IV)的处理时间(图3的t3～t4)相同的长度(例如60秒)。在这种情况下，清洗(V)的处理时间(图6的t3～t5)可以例如设定为20秒，强制干燥(VI)的处理时间(图6的t5～t6)可以例如设定为40秒。
如上所述，根据该第1实施例，将启动加注辊14的外周面沿其旋转方向分开成多个(例如4个)区域，按连续的规定次数(4次)的启动加注处理来分配使用各分开区域，在除了最后(第4次)启动加注处理之外的各启动加注处理中，利用在卷绕了抗蚀剂液的液膜RMi之后还使启动加注辊继续旋转的动作，能够防止蚀剂液膜RMi液体下垂，将抗蚀剂液膜RMi保持在各分开(分配)区域内，并且能够使抗蚀剂液膜RMi在短时间内高效率地自然干燥，从而成为半干状态的抗蚀剂干燥膜[RMi]。
这样，在启动加注辊14上，因为能防止抗蚀剂液膜RMi的液体下垂，所以不会弄脏相邻的未使用分开区域，因此，后续的启动加注处理不会受到之前的启动加注处理的影响，能提高启动加注处理的再现性和可靠性。
此外，附着在启动加注辊14上的各抗蚀剂液膜RMi作为通过自然干燥而成的半干状态的抗蚀剂干燥膜[RMi]，或以完全的液状的状态而被清洗，所以容易洗掉，能减轻清洗机构16的负担，减少清洗液的使用量。
而且，在一并清洗中，因为仅对启动加注辊14的外周面中的附着有抗蚀剂膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、RM4的区域喷射适量的清洗液，所以能进一步削减清洗液的使用量。
另外，在图示的例子中，将启动加注辊分开14的外周面分成4份，1次启动加注处理的旋转方向的抗蚀剂液卷绕尺寸为70°～75°。但是，能够为任意的分开数和卷绕尺寸，例如，也可以将每次的旋转方向卷绕尺寸为70°以下，将启动加注辊14的外周面分成5份而连续使用5次。此外，也可以使启动加注处理所使用的顺序在沿着启动加注辊14外周面上的整个一周设定的多个分开区域之间是任意(顺序不同)的，使排列顺序不一致。
图8是以立体图表示上述的第1实施例的启动加注处理方法的大致的顺序。
启动加注处理方法的第2实施例
接着，参照图9～图12，说明能够用该启动加注处理装置实施的启动加注处理方法的第2实施例。
该第2实施例是在启动加注辊14上不插入清洗处理而能够飞跃性地增加连续进行的启动加注处理的次数的方法。在该实施例中，在使用启动加注辊14的外周面而进行一周内的最后(第4次)的启动加注处理中，直到分离卷绕在启动加注辊14上的抗蚀剂液的液膜RM4的工序(图5的III(分离))，经过和第1实施例相同的工艺。
在第2实施例中，之后不是一并清洗(V)，而是与第1次～第3次启动加注处理的情况相同地进行自然干燥(IV)的工序。
作为结果，在启动加注辊14外周面上，在设定于第3抗蚀剂干燥膜[RM3]和第1抗蚀剂干燥膜[RM1]之间的分开区域内，作为第4次启动加注处理附带的残留物，第4抗蚀剂干燥膜[RM4]以规定的旋转方向尺寸(70°～75°)形成。
接着，如图9所示，主控制部70通过旋转机构65和膜厚测量部67，测量附着在启动加注辊14上的所有的抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]的各自的膜厚分布特性。因为上述这样的清洗(V)前的膜厚测量决定清洗液的使用量，所以不需要那么高的精度，但是在该情况下的膜厚分布特性优选以能够与启动加注处理的可靠性(再现性)直接关联的高的精度测量。
即，在该第2实施例中，形成在启动加注辊14外周面上的第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]在后续的启动加注处理中，被使用为接受从狭缝喷嘴72喷出的抗蚀剂液R的基底。该基底膜的膜厚均匀性(平坦度)不仅影响被卷绕在其上的抗蚀剂液膜的均匀性(平坦度)，而且影响残留在狭缝喷嘴72的喷出口侧的抗蚀剂液膜RF的均匀性，甚至影响在抗蚀剂涂敷处理中被涂敷在基板上的抗蚀剂膜的膜厚均匀性。
关于这一点，因为自然干燥(IV)的工序不利用强制干燥对启动加注辊14上的抗蚀剂液膜RMi施加压力，所以通常能够获得膜厚均匀性(平坦度)优异的抗蚀剂干燥膜[RMi]。但是，若存在来自周围的不希望的压力或振动等的外部干扰，或狭缝喷嘴72的喷出功能有异常时，则也有时抗蚀剂干燥膜[RMi]的膜厚均匀性(平坦度)不良。在该实施方式中，为了保证启动加注处理的精度和再现性，像上述那样使旋转机构65和膜厚测量部67动作，检查所有的抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]的膜厚均匀性。
更详细而言，主控制部70基于膜厚分布特性的测量结果，在膜厚均匀性超过规定的基准时，将该抗蚀剂干燥膜[RMi]判定为能够在后续的另外的启动加注处理中使用的良品。但是，膜厚均匀性不超过该基准时，将该抗蚀剂干燥膜[RMi]判定为不能在后续的启动加注处理中使用的不良品。在以下的说明中，第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]都得到了能够使用(良品)的认定。
在图10表示在第2实施例中，在已经形成在启动加注辊14外周面上的第1抗蚀剂干燥膜[RM1]上进行后续例如第5次启动加注处理时的各阶段。
在该第5次启动加注处理中，首先，使第1层第1抗蚀剂干燥膜[RM1]位于启动加注辊14的顶部，通过喷嘴移动机构74定位狭缝喷嘴72，使得狭缝喷嘴72的喷出口与启动加注辊14的顶部隔开规定的间隙(例如几十～几百μm)地平行相对。
接着，如图10的I(喷出)所示，在使启动加注辊14静止的状态下，通过抗蚀剂供给部76使狭缝喷嘴72喷出恒定量的抗蚀剂液R。
该抗蚀剂液喷出的动作在恒定时间(图3的t0～t1)内进行。
从狭缝喷嘴72的喷出口喷出的抗蚀剂液R到达启动加注辊14的顶部即第1层第1抗蚀剂干燥膜[RM1]上之后沿旋转方向向周围扩展。
接着，利用旋转机构65在规定的时刻使启动加注辊14开始旋转，如图10的II(卷绕)所示，通过使抗蚀剂液R旋转到狭缝喷嘴72的背面下端部72a，在第1抗蚀剂干燥膜[RM1]上卷绕抗蚀剂液R。
在此，从狭缝喷嘴72喷出的抗蚀剂液R与第1抗蚀剂干燥膜[RM1]是相同材质，容易附着在该第1抗蚀剂干燥膜[RM1]上，所以卷绕的时间(图3的t1～t2)与卷绕在启动加注辊14外周面上相比进一步缩短。由此，利用分离(III)工序，残留在第1抗蚀剂干燥膜[RM1]一例的抗蚀剂液膜rm1具有比在启动加注辊14外周面上进行分离(III)的情况大的膜厚和短的长度(旋转方向卷绕的尺寸)。另外，残留在狭缝喷嘴72一侧的抗蚀剂液膜RF与在启动加注辊14外周面上进行分离(III)的情况大致相同。
作为一例，在第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]的旋转方向卷绕尺寸是40mm的情况下，在这次(第5次)启动加注处理中，能够使卷绕在第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]上的第2层抗蚀剂液R的液膜rm1的旋转方向卷绕尺寸成为10mm以下。另外，因为在启动加注处理中，卷绕于启动加注辊14一侧的抗蚀剂液膜的膜厚通常是几μm以下，所以即使进行多层重叠的卷绕，也不会对狭缝喷嘴72和启动加注辊14之间的间隙间隔(几十～几百μm)产生实质的影响。
分离(III)工序后，与第1层时的启动加注处理时相同，使启动加注辊14继续旋转，进入到自然干燥(IV)工序，经过规定时间后停止启动加注辊14旋转。其结果，在启动加注辊14的第1层第1抗蚀剂干燥膜[RM1]上，作为第5次启动加注处理所附带的残留物，第2层第1抗蚀剂干燥膜[rm1]以规定的旋转方向尺寸(例如约18°)形成。
后续的第6次和第7次启动加注处理也通过与上述的第5次启动加注处理完全相同的顺序，分别在第1层第2抗蚀剂干燥膜[RM2]和第3抗蚀剂干燥膜[RM3]上进行。
由此，在启动加注辊14的第1层第2抗蚀剂干燥膜[RM2]上，作为第6次启动加注处理所附带的残留物，第2层第2抗蚀剂干燥膜[rm2]以和上述大致相同的旋转方向尺寸(约18°)形成。
此外，在第1层第3抗蚀剂干燥膜[RM3]上，作为第7次启动加注处理所附带的残留物，第2层第3抗蚀剂干燥膜[rm3]以和上述大致相同的旋转方向尺寸(约18°)形成。
在该第2实施例中，如图11所示，在第8次启动加注处理中，在第1层第4抗蚀剂干燥膜[RM4]上刚刚卷绕了第2层抗蚀剂液膜rm4之后，进行启动加注辊14的一并清洗(外周面整周清洁化)。
即，如图11所示，在第8次启动加注处理中，抗蚀剂液R的喷出(I)、卷绕(II)和分离(III)的各工序也与第5次～第7次启动加注处理时相同，在第1层第4抗蚀剂干燥膜[RM4]上卷绕有抗蚀剂液膜rm4。
但是，分离(III)后，跳到自然干燥(IV)工序，在继续启动加注辊14的旋转的状态下进行清洗(V)工序。在该清洗(V)工序中，使清洗机构16和排气机构45动作。
在该情况下，在开始清洗(V)工序之前，主控制部70也通过旋转机构65和膜厚测量部67测量附着在启动加注辊14上的第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]、第2层抗蚀剂干燥膜[rm1]、[rm2]、[rm3]和抗蚀剂液膜rm4的范围(面积)和膜厚，基于其测量结果，通过运算而决定清洗(V)工序的清洗液的使用量。例如，以附着在启动加注辊14上的所有的抗蚀剂膜(液膜或干燥膜)的总抗蚀剂量(范围×膜厚)为基准值，例如可以将清洗液使用量决定为与该基准值(总抗蚀剂量)相等的值。
该第2实施例的一并清洗处理中的清洗(V)和强制干燥(VI)工序也可以分别是基本与上述的第1实施例的一并清洗处理中的清洗(V)和强制干燥(VI)工序相同内容的工艺。
根据该第2实施例，不仅包括了上述的第1实施例中的全部作用效果，而且在第1层抗蚀剂干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]、[RM4]上反复实施后续的启动加注处理之后，一起进行启动加注辊14的一并清洗处理，所以能使清洗液使用量的削减效果倍增。
图12以立体图表示上述的第2实施例的启动加注处理方法的大致顺序。
变形例和其他的实施例
在上述的第2实施例中，也是不仅能够任意地选择在沿着启动加注辊14外周面上整个一周被卷绕的第1层多个抗蚀剂干燥膜[RMi]的个数和卷绕顺序，而且还能够例如如图13所示，任意地选择被卷绕在第1层抗蚀剂干燥膜[RMi]上的第2层抗蚀剂液膜rmi的个数和卷绕顺序。
此外，在第2实施例中，也能够在第1层抗蚀剂干燥膜[RMi]上进行第2层部分的启动加注处理之后，在与该第1层抗蚀剂干燥膜[RMi]不同的区域上的启动加注辊14外周面上进行另外的第1层部分的启动加注处理。
此外，在第2实施例中，如上所述，在1次量的启动加注处理中，形成在第1层抗蚀剂干燥膜上的第2层抗蚀剂液膜rm的旋转方向卷绕尺寸比形成在启动加注辊14外周面上的第1层抗蚀剂液膜RM的旋转方向卷绕尺寸短得多(几分之一以下)。因此，例如如图14所示，首先在启动加注辊14外周面上，为了形成基底膜，优选沿大致整周形成第1层抗蚀剂液膜RM，将其作为与上述相同的自然干燥的抗蚀剂干燥膜[RM]。在该第1层抗蚀剂干燥膜RM即基底膜上，能够在旋转方向上较短地分开而实施相当多(例如10次以上)的启动加注处理。
另外，在启动加注辊14的外周面上用于形成基底膜(第1层抗蚀剂膜)的处理中，也可以使启动加注辊14沿与通常相反的方向旋转，此外，还可以使用例如专属于启动加注处理装置的另外的狭缝喷嘴来代替用于涂敷抗蚀剂的狭缝喷嘴72，。
此外，在启动加注辊14中，也能够在像上述那样被形成的第2层抗蚀剂干燥膜rm上实施后续的启动加注处理，从而卷绕第3层抗蚀剂液膜。而且，也能够重叠4层以上地实施多次启动加注处理。
在一并清洗处理中，清洗液的使用量增加，然而，也能对启动加注辊14的外周面整周喷射清洗液。
启动加注处理装置内的各部的结构或功能也不限定于上述的实施方式。例如，在清洗机构16中，也能够使用或并用双流体喷射喷嘴以外的清洗工具例如刮削器，排气机构45的各部特别是强制干燥部38的结构能够进行各种变形。
在上述的实施方式的启动加注处理装置中，也可以利用测量作为启动加注处理的结果的残留在启动加注辊上的抗蚀剂液膜(或干燥膜)的膜厚分布特性的结构和功能(图9)，检查狭缝喷嘴72一侧的抗蚀剂喷出功能(特别是狭缝长度方向的喷出流的均匀性)，提高抗蚀剂涂敷处理的成品率以及可靠性。
作为本发明的涂敷液，除了抗蚀剂液以外，例如也可以是层间绝缘材料、电介质材料、布线材料等涂敷液，还可以是各种药液、显影液、冲洗液等。本发明的被处理基板不限于LCD基板，也可以是其他的平板显示器用基板、半导体晶圆、CD基板、光掩模、印刷电路板等。

Claims (31)

1.一种启动加注处理方法，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
第1工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第2工序，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜；
第3工序，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第4工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
2.根据权利要求1所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第2工序使在上述第1工序中开始的上述启动加注辊的旋转继续，使上述涂敷液的液膜自然干燥。
3.根据权利要求1或2所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第4工序一边使上述启动加注辊旋转一边仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有液膜或干燥膜的区域喷射清洗液。
4.根据权利要求1或2所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第4工序之前具有第5工序，该第5工序测量附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜的范围和膜厚，基于其测量结果，决定上述第4工序中的清洗液的使用量。
5.一种启动加注处理方法，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
第1工序，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴或非涂敷处理用的另外的狭缝喷嘴相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使该狭缝喷嘴喷出涂敷液并且使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分或全部；
第2工序，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层干燥膜；
第3工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述第1层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第4工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
6.根据权利要求5所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第1工序为了进行1次量的启动加注处理，使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分。
7.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第2工序使在上述第1工序中开始的上述启动加注辊的旋转继续，使上述涂敷液的液膜自然干燥。
8.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第2工序和上述第3工序之间具有第5工序和第6工序，
该第5工序测量上述第1层干燥膜的膜厚分布特性；
该第6工序基于上述膜厚分布特性的测量结果，在上述第1层干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时得出允许实行上述第3工序的判定结果，在上述第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过上述基准时得出应该中止实行第3工序的判定结果。
9.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第3工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸比上述第1工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸的1/2小。
10.根据权利要求9所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第3工序和上述第4工序之间具有第7工序和第8工序，
该第7工序使在上述第3工序中卷绕在上述第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层第1干燥膜；
该第8工序为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层干燥膜避开上述第2层第1干燥膜地位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层干燥膜上的、与上述第2层第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分。
11.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第3工序和上述第4工序之间具有第7工序和第8工序，
该第7工序使在上述第3工序中卷绕在上述第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层干燥膜；
该第8工序为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第2层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第2层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分。
12.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第4工序一边使上述启动加注辊旋转一边仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有液膜或干燥膜的区域喷射清洗液。
13.根据权利要求10所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第4工序之前具有第9工序，该第9工序测量附着在上述启动加注辊外周面上的各液膜或干燥膜的范围和膜厚，基于其测量结果，决定上述第4工序中的清洗液的使用量。
14.根据权利要求5或6所述的启动加注处理方法，其特征在于，
设有用于对上述启动加注辊的周围进行强制排气的排气机构，使上述排气机构在上述第1、第2和第3工序中停止，在上述第4工序中动作。
15.一种启动加注处理方法，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
第1工序，为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于水平配置的圆筒状或圆柱状的启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第2工序，使在上述第1工序中卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第1干燥膜；
第3工序，为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1层第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第4工序，使在上述第3工序中卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第2干燥膜；
第5工序，为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分；
第6工序，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
16.根据权利要求15所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第2工序使在上述第1工序中开始的上述启动加注辊的旋转继续，使上述涂敷液的液膜自然干燥。
17.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第2工序和上述第3工序之间具有第7工序和第8工序，
该第7工序测量上述第1层干燥膜的膜厚分布特性；
该第8工序基于上述膜厚分布特性的测量结果，在第1层干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时得出允许实行上述第3工序的判定结果，在上述第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过上述基准时得出应该中止实行第3工序的判定结果。
18.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第5工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸比上述第1和第3工序中的旋转方向的涂敷液卷绕尺寸的1/2小。
19.根据权利要求18所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第5工序和上述第6工序之间具有第9工序和第10工序，
该第9工序使在上述第5工序中卷绕在上述第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层第1干燥膜；
该第10工序为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜避开上述第2层第1干燥膜地位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜上的与上述第2层第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分。
20.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第5工序和上述第6工序之间具有第9工序和第10工序，
该第9工序使在上述第5工序中卷绕在上述第1层干燥膜上的涂敷液的液膜干燥，作为第2层干燥膜；
该第10工序为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第2层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述第2层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分。
21.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
上述第6工序一边使上述启动加注辊旋转一边仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有液膜或干燥膜的区域喷射清洗液。
22.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
在上述第6工序之前具有第11工序，该第11工序测量附着在上述启动加注辊外周面上的各液膜或干燥膜的范围和膜厚，基于其测量结果，决定上述第6工序中的清洗液的使用量。
23.根据权利要求15或16所述的启动加注处理方法，其特征在于，
设有用于对上述启动加注辊的周围进行强制排气的排气机构，使上述排气机构在上述第1～第5工序中停止，在上述第6工序中动作。
24.一种启动加注处理装置，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；
旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；
清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；
排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；
控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，
为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在利用上述旋转机构卷绕上述涂敷液后使上述启动加注辊还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1干燥膜，
为了进行另外1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
25.根据权利要求24所述的启动加注处理装置，其特征在于，
上述排气机构在使上述涂敷液的液膜干燥时停止。
26.根据权利要求24或25所述的启动加注处理装置，其特征在于，
该启动加注处理装置包括：
膜测量部，用于测量附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜的范围和膜厚；
清洗液使用量决定部，在上述一并清洗前，基于由上述膜测量部得到的测量结果决定在上述膜的一并去除中使用的清洗液的量。
27.根据权利要求24或25所述的启动加注处理装置，其特征在于，
上述清洗机构仅对上述启动加注辊的外周面上的附着有液膜或干燥膜的区域喷射清洗液。
28.一种启动加注处理装置，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；
旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；
清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；
排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；
控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，
使上述涂敷处理用的狭缝喷嘴或非涂敷处理用的另外的狭缝喷嘴相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使该狭缝喷嘴喷出涂敷液并且利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分或全部，
在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层干燥膜，
为了进行1次量的启动加注处理，使上述第1层干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述第1层干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
29.根据权利要求28所述的启动加注处理装置，其特征在于，
该启动加注处理装置具有膜厚测量部，该膜厚测量部用于测量上述启动加注辊上的干燥膜的膜厚，
利用上述膜厚测量部测量上述第1层干燥膜的膜厚分布特性，
基于上述膜厚分布特性的测量结果，在上述第1层干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时实行在上述第1层干燥膜上的启动加注处理，上述第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过上述基准时中止在上述第1层干燥膜上的启动加注处理。
30.一种启动加注处理装置，用于在非旋转法的涂敷处理所用的狭缝喷嘴的喷出口附近形成涂敷液的液膜，以作为涂敷处理的预先准备，其特征在于，包括：
启动加注辊，呈圆筒状或圆柱状，水平地被配置在规定位置；
旋转机构，使上述启动加注辊绕其中心轴线旋转；
清洗机构，为了清洗上述启动加注辊的外周面而喷射清洗液；
排气机构，用于对上述启动加注辊的周围强制地排气；
控制部，控制上述旋转机构、上述清洗机构和上述排气机构的各动作，
为了进行1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第1干燥膜，
为了进行另外的1次量的启动加注处理，使上述狭缝喷嘴的喷出口避开上述第1干燥膜地相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述启动加注辊的外周面上的、与上述第1干燥膜不同的区域上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在停止上述排气机构的状态下，利用上述旋转机构使上述启动加注辊卷绕上述涂敷液后还继续旋转，使卷绕在上述启动加注辊的外周面上的涂敷液的液膜干燥而成为第1层第2干燥膜，
为了再进行另外1次量的启动加注处理，使上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜位于上述启动加注辊的顶部，使上述狭缝喷嘴的喷出口相对于上述启动加注辊的顶部隔开规定的间隙地平行相对，使上述狭缝喷嘴喷出恒定量的涂敷液之后利用上述旋转机构使上述启动加注辊旋转，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜上卷绕上述被喷出的涂敷液的一部分，
在希望次数的上述启动加注处理结束之后，一边利用上述旋转机构使启动加注辊旋转一边使上述清洗机构和上述排气机构动作，通过清洗，一并去除附着在上述启动加注辊外周面上的液膜或干燥膜。
31.根据权利要求30所述的启动加注处理装置，其特征在于，
该启动加注处理装置具有膜厚测量部，该膜厚测量部用于测量上述启动加注辊上的干燥膜的膜厚，
利用上述膜厚测量部测量上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜的膜厚分布特性，
基于上述膜厚分布特性的测量结果，在上述第1层第1干燥膜或上述第1层第2干燥膜的膜厚均匀性超过固定的基准时实行在上述干燥膜上的启动加注处理，在上述第1层干燥膜的膜厚均匀性不超过上述基准时中止在该干燥膜上的启动加注处理。
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