JP4522726B2 - スリットノズルおよび基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、直線状の吐出口から処理液を吐出するスリットノズルについて、吐出口の幅を長手方向に渡って均一化させる技術に関する。

基板の製造工程において用いられる基板処理装置として、直線状の吐出口を有するスリットノズルから処理液を吐出しつつ、スリットノズルを所定の方向に移動させることによって基板の表面に処理液を塗布するスリットコータが知られている。

スリットコータにおいては、処理液を高精度に均一塗布することが要求される。ここで、スリットノズルの吐出口の開口間隔（スリットノズルの走査方向における吐出口の開口幅）が不均一であれば、スリットノズルの長手方向の位置に応じて、開口間隔の広い箇所や狭い箇所が存在することとなる。その場合、位置毎に吐出される処理液の量が不均一になり、処理液が均一に塗布されないという問題が発生する。そこで、スリットコータでは、スリットノズルの吐出口の開口間隔を高精度に均一化することが求められる。

一方で、スリットノズルはその洗浄容易性を確保するなどの理由から、２つの部材を前後に迎合させ、さらにボルトで締め付けて結合させる構造となっている。したがって、このボルトの締め付け具合によって吐出口の開口間隔が変化するという問題があった。特に、ネジ穴の位置によってボルトの締め付け位置が決定されるため、吐出口の開口間隔を均一にするためには、このネジ穴の位置をいかに決定するかが重要となる。

そこで従来より、吐出口の開口間隔が均一化するように、このネジ穴の位置を決定する技術が提案されている。このような技術が、例えば特許文献１に記載されている。

特開２００２−２３９４３６公報

ここで、スリットノズルの形状、材質および寸法（スリットノズルの特性）などは、処理対象となる基板のサイズや、使用する処理液の種類などによって様々に変更されるものである。

ところが、特許文献１に記載されている技術は、特定の形状、材質および特定範囲の寸法のスリットノズルにのみ有効な技術であって、スリットノズルの特性を変更し、その有効範囲から外れたスリットノズルについては何の基準にもならないばかりでなく、そもそも有効範囲自体が不明確であるという問題があった。すなわち、特許文献１に記載されている技術はある限られた範囲の特性を有するスリットノズルにのみ有効な技術であるという問題があった。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、個々のスリットノズルの特性に影響されることなく、吐出口の開口間隔を均一化できるスリットノズルを提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、略水平方向に伸びる直線状の吐出口から所定の処理液を吐出するスリットノズルであって、略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる締結手段と、前記結合体の長尺方向全幅に渡って設けられ、前記吐出口の開口間隔を調整する調整手段とを備え、前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係るスリットノズルであって、前記調整手段が、前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段を備えることを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係るスリットノズルであって、前記開き調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられていることを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項２の発明に係るスリットノズルであって、前記開き調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられていることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項１の発明に係るスリットノズルであって、前記調整手段が、前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段を備えることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係るスリットノズルであって、前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられていることを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項５の発明に係るスリットノズルであって、前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられていることを特徴とする。
また、請求項８の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のスリットノズルであって、前記締結手段と前記調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする。

また、請求項９の発明は、請求項１の発明に係るスリットノズルであって、前記調整手段が、前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段とを備えることを特徴とする。

また、請求項１０の発明は、略水平方向に伸びる直線状の吐出口から所定の処理液を吐出するスリットノズルであって、略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる複数の締結手段と、前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段とを備え、前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする。

また、請求項１１の発明は、請求項９または１０の発明に係るスリットノズルであって、前記開き調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられ、前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられることを特徴とする。

また、請求項１２の発明は、請求項９または１０の発明に係るスリットノズルであって、前記開き調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられ、前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられることを特徴とする。

また、請求項１３の発明は、請求項９または１０の発明に係るスリットノズルであって、前記開き調整手段および前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の同じ側に設けられることを特徴とする。
また、請求項１４の発明は、請求項９ないし１３のいずれかに記載のスリットノズルであって、前記締結手段と前記開き調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されるともに、前記締結手段と前記閉じ調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする。

また、請求項１５の発明は、請求項１ないし１４のいずれかの発明に係るスリットノズルであって、前記第１本体部と前記第２本体部との間にスペーサを設けることにより前記隙間空間が形成されることを特徴とする。

また、請求項１６の発明は、基板に所定の処理液を塗布する基板処理装置であって、基板を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記基板に向けて、直線状の吐出口から前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、前記保持手段に保持された前記基板と前記スリットノズルとを相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリットノズルが、略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる締結手段と、前記結合体の長尺方向全幅に渡って設けられ、前記吐出口の開口間隔を調整する調整手段とを備え、前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする。
また、請求項１７の発明は、請求項１６に記載の基板処理装置であって、前記締結手段と前記調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする。

また、請求項１８の発明は、基板に所定の処理液を塗布する基板処理装置であって、基板を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記基板に向けて、直線状の吐出口から前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、前記保持手段に保持された前記基板と前記スリットノズルとを相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリットノズルが、略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる複数の締結手段と、前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段とを備え、前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする。
また、請求項１９の発明は、請求項１８に記載の基板処理装置であって、前記締結手段と前記開き調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されるともに、前記締結手段と前記閉じ調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする。

請求項１ないし９および１５ないし１７に記載の発明では、結合体の長尺方向全幅に渡って設けられ、吐出口の開口間隔を調整する調整手段を備えることにより、スリットノズルの長尺方向全体に渡って吐出口の間隔を調整することができる。また、締結手段と調整手段とを独立して設けることにより、組み立て効率が向上する。また、このような構造は、スリットノズルのサイズや材質などの特性に関わらず適用することができる。

請求項２ないし４に記載の発明では、スリットノズルが、吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段を備えることにより、吐出口の開口間隔を開く方向に調節することができる。

請求項５ないし７に記載の発明では、スリットノズルが、吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段を備えることにより、吐出口の開口間隔を閉じる方向に調節することができる。

請求項９ないし１５および１８ないし１９に記載の発明では、スリットノズルが、吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段とを備えることにより、吐出口の開口間隔を開く方向にも閉じる方向にも調節することができる。

請求項１３に記載の発明では、開き調整手段および閉じ調整手段は、所定の配列線の同じ側に設けられることにより、相互拘束面の上下方向の幅が比較的狭くても、開き調整手段および閉じ調整手段を設けることができる。

請求項１ないし１９に記載の発明では、配列線は、結合体における第１本体部と第２本体部との相互拘束面を上下方向に略二分割する直線であることにより、スリットノズルのサイズなどに関わりなく、締結手段の配列線を決定することができる。

請求項１ないし１９に記載の発明では、相互拘束面の上端線と相互拘束面の下端線とがゼロでない角度をなしており、所定の配列線は、この角度を二等分する直線であることにより、締結手段の配列線を容易に決定することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。

＜１． 第１の実施の形態＞
図１は、本発明に係る基板処理装置１の概略を示す斜視図である。図２は、基板処理装置１の本体２の側断面を示すと共に、レジスト液の塗布動作に係る主たる構成要素を示す図である。なお、図１において、図示および説明の都合上、Ｚ軸方向が鉛直方向を表し、ＸＹ平面が水平面を表すものとして定義するが、それらは位置関係を把握するために便宜上定義するものであって、以下に説明する各方向を限定するものではない。以下の図についても同様である。

＜全体構成＞
基板処理装置１は、本体２と制御系６とに大別され、液晶表示装置の画面パネルを製造するための角形ガラス基板を被処理基板（以下、単に「基板」と称する）９０としており、基板９０の表面に形成された電極層などを選択的にエッチングするプロセスにおいて、基板９０の表面に処理液としてのレジスト液を塗布する塗布処理装置として構成されている。したがって、この実施の形態では、スリットノズル４１はレジスト液を吐出するようになっている。なお、基板処理装置１は、液晶表示装置用のガラス基板だけでなく、一般に、フラットパネルディスプレイ用の種々の基板に処理液（薬液）を塗布する装置として変形利用することもできる。

本体２は、基板９０を載置して保持するための保持台として機能するとともに、付属する各機構の基台としても機能するステージ３を備える。ステージ３は直方体形状を有する例えば一体の石製であり、その上面（保持面３０）および側面は平坦面に加工されている。

ステージ３の上面は水平面とされており、基板９０の保持面３０となっている。保持面３０には図示しない多数の真空吸着口が分布して形成されており、基板処理装置１において基板９０を処理する間、基板９０を吸着することにより、基板９０を所定の水平位置に保持する。また、保持面３０には、図示しない駆動手段によって上下に昇降自在な複数のリフトピンＬＰが、適宜の間隔をおいて設けられている。リフトピンＬＰは、基板９０を取り除く際に基板９０を押し上げるために用いられる。

保持面３０のうち基板９０の保持エリア（基板９０が保持される領域）を挟んだ両端部には、略水平方向に平行に伸びる一対の走行レール３１が固設される。走行レール３１は、架橋構造４の両端部の最下方に固設される図示しない支持ブロックとともに、架橋構造４の移動を案内し（移動方向を所定の方向に規定する）、架橋構造４を保持面３０の上方に支持するリニアガイドを構成する。

ステージ３の上方には、このステージ３の両側部分から略水平に掛け渡された架橋構造４が設けられている。架橋構造４は、例えばカーボンファイバ補強樹脂を骨材とするノズル支持部４０と、その両端を支持する昇降機構４３，４４とから主に構成される。

ノズル支持部４０には、スリットノズル４１が取り付けられている。Ｙ軸方向に長手方向を有するスリットノズル４１には、スリットノズル４１にレジスト液を供給するための供給機構７が接続されている。

図３は、スリットノズル４１を構成する主な部材を組み立てる様子を示す斜視図である。なお、図３において、調整ネジ４１５、開き調整用ネジ穴群４１６、および閉じ調整用ネジ穴群４１７は省略している。

スリットノズル４１は、第１本体部４１０、第２本体部４１１、シム板４１２、および複数の固定ボルト４１３から構成される。なお、本実施の形態におけるスリットノズル４１のＺ軸方向の長さは「Ｈ」、Ｙ軸方向の長さは「Ｗ」として以下の説明を行う。一般的なスリットコータでは、Ｗの値として１００ないし３０００（ｍｍ）が想定されるが、もちろんこれに限られるものではない。

第１本体部４１０には、複数の固定ボルト４１３を螺入するための第１ネジ穴群４１４ａが設けられている。また、第１本体部４１０と対向するように配置される第２本体部４１１には、第１ネジ穴群４１４ａと対向する位置に複数の固定ボルト４１３を螺入するための第２ネジ穴群４１４ｂが設けられている。この第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂは、共にＸ軸に沿った方向の略円筒状の穴として設けられ、詳細は図示しないが、その円筒内面には固定ボルト４１３と螺合するためのネジ山およびネジ溝が形成されている。

それぞれ対向する第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂは、第１本体部４１０と第２本体部４１１とが対向して配置された状態では、１つのネジ穴を形成する。以下、この第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂとによって形成されるネジ穴群を固定用ネジ穴群４１４と総称する。

なお、前述のネジ山およびネジ溝は、例えば、第２ネジ穴群４１４ｂにのみ設けられていてもよい。すなわち、第１ネジ穴群４１４ａは固定ボルト４１３を挿入することができるように形成された単なる貫通孔であってもよい。あるいは、第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂのいずれもが単に固定ボルト４１３を挿入することが可能な挿入孔であってもよい。その場合、固定用ネジ穴群４１４は単なる貫通孔となるが、固定ボルト４１３はナットによって別途固定される構造であってもよい。すなわち、第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂから形成される固定用ネジ穴群４１４に固定ボルト４１３が挿入されることによって、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを結合させる構造であれば、一般的などのような構造が採用されてもよい。

シム板４１２は、第１本体部４１０と第２本体部４１１との間に配置される板状の部材であって、固定ボルト４１３が貫通するための複数の穴が設けられている。シム板４１２は、後述するランド４１１ｄ（隙間空間）を避けて配置され、第１本体部４１０と第２本体部４１１との間に、所定の間隔を設けるためのスペーサとして機能する。

固定ボルト４１３は、第１本体部４１０と第２本体部４１１とが対向した状態で、固定用ネジ穴群４１４に螺入されることによって、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを互いに結合する。すなわち、このようにして本発明における結合体が形成される。なお、図３には、複数の固定ボルト４１３として９本の固定ボルト４１３と、それに対応した数のネジ穴を有する第１・第２ネジ穴群４１４ａ，ｂのみを示しているが固定ボルト４１３およびネジ穴の数はこれに限られるものではなく、主にスリットノズル４１の剛性や重量およびＷの値などに応じて適切な数が決定される。

図４は、第１本体部４１０と第２本体部４１１とが締結された状態のスリットノズル４１のＸＺ平面における断面図である。固定ボルト４１３が固定用ネジ穴群４１４に挿入されることにより、図４に示すように、第１本体部４１０、シム板４１２、および第２本体部４１１が一体的な構造物（スリットノズル４１）を形成する。また、スリットノズル４１はランド４１１ｄの下方開口によって、下端部に吐出口４１ａが形成される。本実施の形態における基板処理装置１においては、吐出口４１ａの開口間隔の所望値は「Ｄ」とする。

図３において図示を省略していたが、第１本体部４１０および第２本体部４１１には、さらに調整用ネジ穴群４１６ａ，ｂ，４１７ａ，ｂがＸ軸方向に伸びる穴として設けられている。このうち、調整用ネジ穴群４１６ａと調整用ネジ穴群４１６ｂとはそれぞれ第１本体部４１０および第２本体部４１１の対向する位置に設けられている。したがって、第１本体部４１０と第２本体部４１１とが結合体を形成している状態において、調整用ネジ穴群４１６ａ、調整用ネジ穴群４１６ｂ、およびシム板４１２に設けられた貫通孔は、調整ネジ４１５を挿入するネジ穴（以下、「開き調整用ネジ穴群４１６」と称する）を構成する。同様に、調整用ネジ穴群４１７ａと調整用ネジ穴群４１７ｂとはそれぞれ第１本体部４１０および第２本体部４１１の対向する位置に設けられ、シム板４１２に設けられた貫通孔とともに調整ネジ４１５を挿入するネジ穴（以下、「閉じ調整用ネジ穴群４１７」と称する）を構成する。

なお、図４においては、図示の都合上、互いにＹ軸方向の位置が等しい開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれにも調整ネジ４１５が螺入されるように示している。しかし、実際には、これらのネジ穴は、いずれも使用されない（調整の必要がない場合）か、あるいは選択的に使用されるものであって、同時に調整ネジ４１５が螺入されることはない。

図５は、固定ボルト４１３を配置する際の基準線となる配列線Ｌ０の決定手法を説明する概念図である。第２本体部４１１は、Ｙ軸方向の中心位置を基準とした対称の構造であり、図５では、（−Ｙ）方向片側部分のみを示し、（＋Ｙ）側は省略する。

第２本体部４１１の第１本体部４１０と対向する対向面は、所定の位置に窪みが形成されており、それらの窪みがマニホールド（拡散溝）４１１ｂとランド４１１ｄとを形成する。また、前述の対向面のうち、マニホールド４１１ｂおよびランド４１１ｄを形成しない部分は、第２本体部４１１が第１本体部４１０と結合することにより、シム板４１２を介して相互の拘束応力が作用する「相互拘束面Ｓ」を形成する。相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅは、スリットノズル４１の上端面と相互拘束面Ｓとの交線であり、Ｙ軸方向に沿った直線となる。一方、相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃは、マニホールド４１１ｂの上端線を構成しており、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと角度ψ（°）で傾斜している。なお、「相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃ」には、スリットノズル４１の両端部において、スリットノズル４１の下面を形成する部分は含まないものとする。

マニホールド４１１ｂは、ランド４１１ｄに比べて（−Ｘ）方向に深い溝として形成されており、スリットノズル４１の内部においてレジスト液の流路を形成し、スリットノズル４１の隙間空間の一部を構成している。スリットノズル４１には、中央部付近に設けられた図示しない供給口からレジスト液が供給されるが、マニホールド４１１ｂは、この供給口から供給されたレジスト液をＹ軸方向に拡散させるために設けられている。

本実施の形態におけるスリットノズル４１では、供給されたレジスト液を両端部にすみやかに拡散させるために、マニホールド４１１ｂがスリットノズル４１の両端部に向かって傾斜した状態で形成されている。

ここで、本実施の形態における基板処理装置１では、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと下端線４１１ｃとのなす角度を「ψ（°）」、配列線Ｌ０と相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅとのなす角度を「固定ボルト配置角度θ（°）」とすると、ψ＝２θとなるように配列線Ｌ０を決定する。これにより、配列線Ｌ０は、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと下端線４１１ｃとのなす角度ψを二等分する直線となる。図５に示すように、配列線Ｌ０は、結合体における相互拘束面Ｓを上下方向に略二分割する線となる。

本実施の形態における第２本体部４１１において、第２ネジ穴群４１４ｂは、配列線Ｌ０上に配列するように設けられている。また、スリットノズル４１では、第２ネジ穴群４１４ｂと対向する位置に第１ネジ穴群４１４ａが設けられる。したがって、第１ネジ穴群４１４ａも配列線Ｌ０上に設けられる。すなわち、本実施の形態におけるスリットノズル４１では、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを固定ボルト４１３によって結合させた場合、固定用ネジ穴群４１４が配列線Ｌ０上に配列するため、複数の固定ボルト４１３も配列線Ｌ０上に配列する。

このように、本実施の形態における基板処理装置１のスリットノズル４１は、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと下端線４１１ｃとのなす角度ψを二等分する直線として配列線Ｌ０を決定する。そして、その配列線Ｌ０上に第１ネジ穴群４１４ａと第２ネジ穴群４１４ｂとを配列させることにより、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと下端線４１１ｃとのなす角度ψが「０」でない場合に、スリットノズル４１のサイズなどにかかわらず、固定用ネジ穴群４１４の位置を決定することができる。なお、より詳細には、第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂの各ネジ穴の中心が配列線Ｌ０上に配置されるように、第１ネジ穴群４１４ａおよび第２ネジ穴群４１４ｂの位置を決定することが好ましい。

図６は、第２本体部４１１に設けられる調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂを示す図である。図６は、第２本体部４１１のうち、図５に示した部分とほぼ同じ部分を示している。

調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂは、それぞれ第２ネジ穴群４１４ｂとほぼ同様の構造を有しており、前述のように調整ネジ４１５が挿入可能とされている。また、調整用ネジ穴群４１６ｂは直線Ｌ１上に配列するように設けられ、調整用ネジ穴群４１７ｂは直線Ｌ２上に配列するように設けられている。

すなわち、スリットノズル４１は、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを締結するための締結手段（固定ボルト４１３および固定用ネジ穴群４１４）と、スリットノズル４１の吐出口４１ａの開口間隔を調整する調整手段（調整ネジ４１５、開き調整用ネジ穴群４１６、および閉じ調整用ネジ穴群４１７）とを別々に独立して設けている。これにより、固定ボルト４１３の配置位置にかかわらず開口間隔の調整が可能でるため、スリットノズル４１の特性（材質やサイズなど）に左右されることなく、吐出口４１ａの開口間隔を調整することができる。したがって、どのようなスリットノズル４１であっても長手方向の開口間隔を均一化することができる。

また、スリットノズル４１の組み立ては、複数の固定ボルト４１３をそれぞれ単純に同じトルクで締め付けることにより行う。また、吐出口４１ａの開口間隔の調整は調整ネジ４１５を締めることで、組み立てとは別途行う。これにより、スリットノズル４１の組み立て効率が向上する。

本実施の形態におけるスリットノズル４１では、開き調整用ネジ穴群４１６が配列する直線Ｌ１は、固定ボルト配置角度θを二等分する直線として決定されている。すなわち、調整用ネジ穴群４１６ｂおよびこれと対向するように設けられる調整用ネジ穴群４１６ａは、配列線Ｌ０に対して上側（配列線Ｌ０と相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅとの間）に設けられる。

このように、開き調整用ネジ穴群４１６が設けられていることにより、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを締結して組み立てたとき、Ｙ軸方向において吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」より狭い位置では、開き調整用ネジ穴群４１６に調整ネジ４１５を挿入して締めることにより、当該位置における開口間隔を開くように調整することができる。

また、閉じ調整用ネジ穴群４１７が配列する直線Ｌ２は、相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃから所定の距離となる直線として決定されている。すなわち、調整用ネジ穴群４１７ｂおよびこれと対向するように設けられる調整用ネジ穴群４１７ａは、配列線Ｌ０に対して下側（配列線Ｌ０と相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃとの間）に設けられる。

このように、閉じ調整用ネジ穴群４１７が設けられていることにより、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを締結して組み立てたとき、Ｙ軸方向において吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」より広い位置では、閉じ調整用ネジ穴群４１７に調整ネジ４１５を挿入して締めることにより、当該位置における開口間隔を閉じるように調整することができる。

一般に、固定ボルト４１３を同じトルクで締めて第１本体部４１０と第２本体部４１１とを締結した場合、各部材の加工精度のバラツキなどによって、Ｙ軸方向における吐出口４１ａの開口間隔が均一とはならない。しかし、本実施の形態における基板処理装置１では、複数の開き調整用ネジ穴群４１６および複数の閉じ調整用ネジ穴群４１７が、配列線Ｌ０の上下両側に分かれて配列していることにより、吐出口４１ａの開口間隔の広い狭いにかかわらず、吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」となるように調整することができる。

また、直線Ｌ１，Ｌ２は、いずれもスリットノズル４１の長手方向全体に渡って規定され、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７は、いずれもスリットノズル４１の長尺方向全体に渡って設けられている。これにより、本実施の形態における基板処理装置１のスリットノズル４１は、長尺方向（Ｙ軸方向）全体に渡って吐出口４１ａの開口間隔調整をすることができる。したがって、例えば、中央部にのみ開口間隔を調整する機構を設けて調整する場合に比べて、さらに高精度に開口間隔を均一化させることができる。

なお、本実施の形態における基板処理装置１では、毎回組み立てた状態の個々のスリットノズル４１について、Ｙ軸方向の所定間隔毎に、吐出口４１ａの開口間隔を測定する。そして、得られた測定値に応じて開口間隔が「Ｄ」となるように、調整ネジ４１５を螺入する位置および締め付けトルクを決定して調整を行う。しかし、吐出口４１ａの開口間隔を調整する手法はこれに限られるものではなく、例えば、スリットノズル４１による塗布結果に応じて開口間隔を調整するようにしてもよい。すなわち、実際に塗布されたレジスト膜厚の値に応じて調整を行ってもよい。また、所定のトルクで固定ボルト４１３を締めた場合の開口間隔の値を予め何度も測定しておき、平均値や再現性に応じて、以後は毎回測定することなく調整を行うようにしてもよい。すなわち、調整の手法はどのような手法が採用されてもよい。

以上のような構造により、スリットノズル４１は、供給機構７により供給されたレジスト液を、先端に形成されたスリット状（直線状）の吐出口４１ａからステージ３に保持された基板９０の表面の所定の領域（以下、「レジスト塗布領域」と称する。）に吐出する。これにより、基板処理装置１は基板９０にレジスト液を塗布する。ここで、レジスト塗布領域とは、基板９０の表面のうちでレジスト液を塗布しようとする領域であって、通常、基板９０の全面積から、端縁に沿った所定幅の領域を除いた領域である。

図１に戻って、昇降機構４３，４４は、スリットノズル４１の両側に分かれて、ノズル支持部４０によりスリットノズル４１と連結されている。昇降機構４３，４４は主にＡＣサーボモータ４３ａ，４４ａおよび図示しないボールネジからなり、制御系６からの制御信号に基づいて、架橋構造４の昇降駆動力を生成する。これにより、昇降機構４３，４４は、スリットノズル４１を並進的に昇降させる。また、昇降機構４３，４４は、スリットノズル４１のＹＺ平面内での姿勢を調整するためにも用いられる。さらに、ＡＣサーボモータ４３ａ，４４ａは、その回転量を検出して制御系６に出力する機能を有している。

架橋構造４の両端部には、ステージ３の両側の縁側に沿って、それぞれ固定子（ステータ）５０ａと移動子５０ｂおよび固定子５１ａと移動子５１ｂを備える一対のＡＣコアレスリニアモータ（以下、単に、「リニアモータ」と略する。）５０，５１が、それぞれ固設される。また、架橋構造４の両端部には、それぞれスケール部と検出子とを備えたリニアエンコーダ５２，５３が、それぞれ固設される。リニアエンコーダ５２，５３は、リニアモータ５０，５１の位置を検出する。これらリニアモータ５０，５１とリニアエンコーダ５２，５３とが主として、架橋構造４が走行レール３１に案内されつつステージ３上を移動するための走行機構５を構成する。すなわち、走行機構５は、スリットノズル４１を基板９０の表面に沿った略水平方向に相対的に移動させる。このときリニアエンコーダ５２，５３からの検出結果に基づいて、制御系６がリニアモータ５０の動作を制御することにより、ステージ３上における架橋構造４の移動、つまりはスリットノズル４１による基板９０の走査が制御される。

本体２の保持面３０において、保持エリアの（−Ｘ）方向側には、開口３２が設けられている。開口３２はスリットノズル４１と同じくＹ軸方向に長手方向を有し、かつ該長手方向長さはスリットノズル４１の長手方向長さとほぼ同じである。また、図１および図２において図示を省略するが、開口３２の下方の本体２の内部には、待機ポットと、ノズル洗浄機構と、プリ塗布機構とが設けられている。これらの機構は、例えば、基板９０へのレジスト液の塗布に先立って行われる、レジスト液供給処理、エアー抜き処理、あるいはプリディスペンス処理などの予備的処理に際し用いられる。

ノズル支持部４０には、スリットノズル４１の上方となる位置に、スリットノズル４１にレジスト液を供給する供給機構７が設けられている。供給機構７は、図示しないバッファタンクに貯留されているレジスト液をスリットノズル４１に供給する機能を有し、詳細は図示しないが、主にポンプ、配管、およびバルブから構成される。

制御系６は、プログラムに従って各種データを処理する演算部６０、プログラムや各種データを保存する記憶部６１を内部に備える。また、前面には、オペレータが基板処理装置１に対して必要な指示を入力するための操作部６２、および各種データを表示する表示部６３を備える。

なお、具体的には、データを一時的に記憶するＲＡＭ、読み取り専用のＲＯＭ、および磁気ディスク装置などが記憶部６１に該当する。あるいは、可搬性の光磁気ディスクやメモリーカードなどの記憶媒体、およびそれらの読み取り装置などであってもよい。また、操作部６２には、ボタンおよびスイッチ類（キーボードやマウスなどを含む。）などが該当する。もしくは、タッチパネルディスプレイのように表示部６３の機能を兼ね備えたものであってもよい。表示部６３には、液晶ディスプレイや各種ランプなどが該当する。

以上が本実施の形態における基板処理装置１の構成および機能の説明である。

＜動作説明＞
次に、基板処理装置１における塗布処理動作を簡単に説明する。なお、以下の基板処理装置１の動作は、特に明示しないかぎり、制御系６の制御に基づいて行われるものである。

基板処理装置１では、オペレータまたは図示しない搬送機構により、所定の位置に基板９０が搬送されると、ステージ３が保持面３０上の所定の位置に基板９０を吸着して保持する。続いて、制御系６からの制御信号に基づいて、昇降機構４３，４４が、ノズル支持部４０をＺ軸方向に移動させ、スリットノズル４１を適正姿勢に調整する。なお、適正姿勢とは、スリットノズル４１とレジスト塗布領域との間隔がレジスト液を塗布するために適切な間隔となるスリットノズル４１のＹＺ平面における姿勢である。

さらに、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（−Ｘ）方向に移動させ、スリットノズル４１を吐出開始位置に移動させる。ここで、吐出開始位置とは、レジスト塗布領域の一辺にスリットノズル４１がほぼ沿う位置である。

スリットノズル４１が吐出開始位置まで移動すると、制御系６が制御信号を走行機構５のリニアモータ５０，５１に与える。その制御信号に基づいて、リニアモータ５０，５１が架橋構造４を（−Ｘ）方向に移動させることでスリットノズル４１が基板９０の表面を走査する。

このとき、供給機構７がスリットノズル４１にレジスト液を供給し、スリットノズル４１がレジスト塗布領域にレジスト液を吐出する。これにより、基板９０の表面上にレジスト液の層（薄膜）が形成される。

スリットノズル４１が吐出終了位置まで移動すると、制御系６が制御信号を昇降機構４３，４４、走行機構５および供給機構７に与える。その制御信号に基づいて、昇降機構４３，４４および走行機構５がスリットノズル４１を待機位置に移動させるとともに、供給機構７がレジスト液の供給を停止することにより、スリットノズル４１からのレジスト液の吐出が停止する。

このスリットノズル４１の移動動作と並行して、ステージ３は基板９０の吸着を停止し、リフトピンＬＰが基板９０を持ち上げた後、オペレータまたは搬送機構が基板９０を保持面３０から取り上げ、次の処理工程に搬送する。

さらに、基板処理装置１は、他に処理すべき基板９０が存在するか否かを判定し、処理すべき基板９０が存在する場合には前述の処理を繰り返す。一方、処理すべき基板９０が存在しない場合には、処理を終了する。

以上のように、本実施の形態における基板処理装置１のスリットノズル４１は、吐出口４１ａの開口間隔を調整する開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７が、第１本体部４１０と第２本体部４１１が結合した結合体の長尺方向全幅に渡って設けられていることにより、スリットノズル４１の長尺方向全体に渡って吐出口４１ａの開口間隔を調整することができる。したがって、スリットノズル４１の吐出口４１ａの開口間隔を均一化させることができる。

また、固定用ネジ穴群４１４（締結手段）と、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７（調整手段）とを独立して設けることにより、組み立て効率が向上する。また、このような構造は、スリットノズル４１のサイズや材質に関わらず適用することができる。

また、スリットノズル４１は、吐出口４１ａの開口間隔を開く方向に調整する開き調整用ネジ穴群４１６と、吐出口４１ａの開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整用ネジ穴群４１７とを備えていることにより、吐出口４１ａの開口間隔を開く方向にも閉じる方向にも調節することができる。

また、配列線Ｌ０が、スリットノズル４１の結合体における第１本体部４１０と第２本体部４１１との相互拘束面Ｓを上下方向に略二分割する直線として規定されていることにより、スリットノズル４１のサイズなどの特性に関わりなく、組み立て後の吐出口４１ａの開口間隔のバラツキを抑制するように、固定ボルト４１３の配列線Ｌ０を決定することができる。したがって、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７による調整を最小限にすることができる。

さらに、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃとがゼロでない角度ψ°をなしている場合において、配列線Ｌ０は、角度ψ°を二等分する直線であることにより、固定ボルト４１３の配列線Ｌ０を容易に決定することができる。

＜２． 第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、開き調整用ネジ穴群４１６と閉じ調整用ネジ穴群４１７とが、それぞれＹ軸方向の同じ位置に対を形成するように設けられていたが、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７の配置は、このような配置に限られるものではない。

図７は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における第２本体部４１１を示す図である。第２の実施の形態における第２本体部４１１においても、配列線Ｌ０、直線Ｌ１、および直線Ｌ２は、第１の実施の形態における第２本体部４１１と同様に規定されている。

ただし、本実施の形態における調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂは、第２ネジ穴群４１４ｂの各ネジ穴に対して交互に設けられている。すなわち、第２の実施の形態における調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂの設けられる間隔は、第１の実施の形態における調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂの間隔よりも広くなっている。

このように、調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂ（すなわち、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７）が配置されることにより、Ｙ軸方向の同じ位置に複数のネジ穴を設ける必要がないため、相互拘束面ＳのＺ軸方向の幅が比較的狭い場合であっても、調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂをそれぞれ設けることができる。

なお、本実施の形態における基板処理装置１では、固定用ネジ穴群４１４の隣り合う２つのネジ穴の間には開き調整用ネジ穴群４１６または閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれかしか設けられていない。しかし、第１の実施の形態における開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７のＹ軸方向の位置を互いにずらして配置してもよい。その場合、相互拘束面ＳのＺ軸方向の幅が狭くても、調整間隔を開けることなくそれらのネジ穴群を配置することができる。

＜３． 第３の実施の形態＞
上記実施の形態では、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれもが設けられている例について説明した。しかし、これらのネジ穴群のうちのいずれか一方のみであっも吐出口の開口間隔を調整することは可能である。

図８は、このような原理に基づいて構成した第３の実施の形態における第２本体部４１１を示す図である。第３の実施の形態における第２本体部４１１は、閉じ調整用ネジ穴群４１７を構成する調整用ネジ穴群４１７ｂが設けられていない。このような構造により、本実施の形態におけるスリットノズル４１では、吐出口４１ａの開口間隔を開く方向にしか調整することはできない。なお、配列線Ｌ０および直線Ｌ１は、上記実施の形態における第２本体部４１１と同様に規定されている。

本実施の形態におけるスリットノズル４１を構成する各部材は、加工精度のバラツキが生じた場合であっても、吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」以下となるように予め設計・製造されている。すなわち、第１本体部４１０、第２本体部４１１およびシム板４１２などを組み立てた場合に、吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」より大きくなることがないようにされている。

スリットノズル４１の各部材がこのように製造されていれば、吐出口４１ａの開口間隔の調整は、当該開口間隔を開く方向に調整できれば十分である。すなわち、本実施の形態におけるスリットノズル４１のように、開き調整用ネジ穴群４１６のみを備えた構造であっても、開口間隔を所望値「Ｄ」となるように均一化させることができる。したがって、相互拘束面ＳがＺ軸方向に狭く、固定用ネジ穴群４１４の上下両側に調整用ネジ穴群を設けるスペースが十分にない場合であっても、吐出口４１ａの開口間隔を所望値に均一化させることができる。なお、予め吐出口４１ａの開口間隔が所望値「Ｄ」より大きくなるように各部材を製造し、スリットノズル４１には閉じ調整用ネジ穴群４１７のみを設ける構造としてもよい。

＜４． 第４の実施の形態＞
上記実施の形態では、開き調整用ネジ穴群４１６が配列線Ｌ０の上側に設けられており、閉じ調整用ネジ穴群４１７が配列線Ｌ０の下側に設けられている例について説明した。しかし、開き調整用ネジ穴群４１６が配列線Ｌ０の下側に設けられ、閉じ調整用ネジ穴群４１７が配列線Ｌ０の上側に設けられてもよい。

図９は、このような原理に基づいて構成した第４の実施の形態における第２本体部４１１を示す図である。なお、配列線Ｌ０および直線Ｌ１，Ｌ２は上記実施の形態と同様に規定されている。

図９に示すように、第４の実施の形態における閉じ調整用ネジ穴群４１７を構成する調整用ネジ穴群４１７ｂは、配列線Ｌ０の上側に規定される直線Ｌ１上に配列している。また、開き調整用ネジ穴群４１６を構成する調整用ネジ穴群４１６ｂは、配列線Ｌ０の下側に規定される直線Ｌ２上に配列している。

図１０は、第４の実施の形態における開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７の構造を説明する図である。

第１本体部４１０に設けられる調整用ネジ穴群４１６ａ，４１７ａは、円筒内面に螺旋状のネジ山およびネジ溝を有する円筒孔として設けられており、図１０に示すように、調整ボルト４１５が螺入される。

一方、第２本体部４１１に設けられる調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂは、調整ボルト４１５と螺合するネジ山およびネジ溝を有しない円筒孔（いわゆるバカ穴）として設けられており、調整ボルト４１５が単に挿入される構造となっている。このような構造により、本実施の形態における調整ボルト４１５は、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを締結する機能を発揮することはない。しかし、調整ボルト４１５が締結機能を備えていない場合であっても、第１本体部４１０と第２本体部４１１とは、固定ボルト４１３によって互いに締結されているため、一体的にスリットノズル４１を構成する。

また、調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂは、貫通孔ではなく、相互拘束面Ｓ側にのみ開口部を有しており、当該開口部から調整ボルト４１５が挿入される。

さらに、本実施の形態における調整ボルト４１５の足の長さは、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７の深さより長くなるように設計されている。すなわち、調整用ネジ穴群４１６ｂの底部に調整ボルト４１５が突き当たるまで、調整ボルト４１５を挿入した場合でも、調整ボルト４１５の足が第１本体部４１０側に余るようにされている。

このような構造により、調整ボルト４１５が調整用ネジ穴群４１６ｂ，４１７ｂの底部に当たっている状態で、さらに、その調整用ボルト４１５を締めることにより、第２本体部４１１が（−Ｘ）方向に押されることとなる。すなわち、当該調整ボルト４１５を締め付ける動作は、調整ボルト４１５が配置されている位置において、第１本体部４１０と第２本体部４１１とを離間させる方向に調整することに相当する。

したがって、このような構造の調整用ネジ穴群を配列線Ｌ０の上側に設ければ、配列線Ｌ０の上側において第１本体部４１０と第２本体部４１１とを離間させることから、吐出口４１ａを閉じる方向に調整する機能を発揮する。すなわち、これらの調整用ネジ穴群は閉じ調整用ネジ穴群４１７となる。一方、図１０に示す構造を配列線Ｌ０の下側に設ければ、配列線Ｌ０の下側において第１本体部４１０と第２本体部４１１とを離間させることから、吐出口４１ａを開く方向に調整する機能を発揮する。すなわち、これらの調整用ネジ穴群は開き調整用ネジ穴群４１６となる。

以上のように、第４の実施の形態における基板処理装置１のように、開き調整用ネジ穴群４１６を配列線Ｌ０の下側に設け、閉じ調整用ネジ穴群４１７を上側に設けた場合でも、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。

なお、図１０に示す構造を用いた場合であっても、第３の実施の形態において説明したように、開き調整用ネジ穴群４１６または閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれか一方を用いて調整を行うように構成することもできる。

＜５． 第５の実施の形態＞
上記実施の形態では、調整ボルト４１５の配列位置を規定する直線Ｌ１，Ｌ２上には、開き調整用ネジ穴群４１６または閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれか一方が設けられる例について説明したが、開き調整用ネジ穴群４１６または閉じ調整用ネジ穴群４１７の配列はこれに限られるものではない。

図１１は、このような原理に基づいて構成した第５の実施の形態における第２本体部４１１を示す図である。なお、配列線Ｌ０および直線Ｌ１は上記実施の形態と同様に規定されている。

本実施の形態における調整用ネジ穴群４１６ｂは、図４に示すように、調整ボルト４１５と螺合する構造であり、調整ボルト４１５が螺入されることによって、その位置において第１本体部４１０と第２本体部４１１とを近接させる方向に調整するものである。したがって、このような構造の調整用ネジ穴を配列線Ｌ０の上側に規定される直線Ｌ１上に配列することにより、これらは開き調整用ネジ穴群４１６を構成する。

一方、調整用ネジ穴群４１７ｂは、図１０に示すように、調整ボルト４１５とは螺合しない構造であり、調整ボルト４１５が挿入されることによって、その位置において第１本体部４１０と第２本体部４１１とを離間させる方向に調整するものである。したがって、このような構造の調整用ネジ穴群を配列線Ｌ０の上側の直線Ｌ１上に配列することにより、これらは閉じ調整用ネジ穴群４１７を構成する。

このように、本実施の形態におけるスリットノズル４１では、第２本体部４１１の直線Ｌ１上に配列する調整用ネジ穴の構造を交互に異なるものとすることにより、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれもが直線Ｌ１上に配列するように構成することができる。

これにより、例えば、相互拘束面ＳのＺ軸方向の幅が比較的狭く、配列線Ｌ０の両側に調整用ネジ穴群を設けることが困難な場合であっても、吐出口４１ａの開口間隔について、開き調整および閉じ調整のいずれの調整も可能な構成とすることができる。

なお、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７のいずれもが配列線Ｌ０の下側に配列（例えば、上記実施の形態における直線Ｌ２上に配列）するように構成してもよい。

＜６． 変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。

例えば、第２本体部４１１の表面（第１本体部４１０と対向する面）には、マニホールド４１１ｂのみが形成されていてもよい。すなわち、ランド４１１ｄはシム板４１２の厚み分として形成されてもよい。

また、マニホールド４１１ｂおよびランド４１１ｄは、第１本体部４１０にも設けられていてもよい。すなわち、第１本体部４１０と第２本体部４１１とがほぼ同一形状の部材であってもよい。

また、相互拘束面ＳのＺ軸方向の幅が十分にある場合には、固定用ネジ穴群４１４、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７をそれぞれＹ軸方向の同じ位置に設けてもよい。図１２は、このような原理に基づいて構成した第２本体部４１１を示す図である。

また、配列線Ｌ０、直線Ｌ１および直線Ｌ２を規定する手法は、上記実施の形態における手法に限られるものではない。すなわち、配列線Ｌ０と相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅとの間に直線Ｌ１が規定され、配列線Ｌ０と相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃとの間に直線Ｌ２が規定されていればよい。さらに、開き調整用ネジ穴群４１６および閉じ調整用ネジ穴群４１７は、それぞれ直線上に配列されていなくてもよい。

また、マニホールド４１１ｂは、略水平方向に設けられていてもよい。その場合には、配列線Ｌ０は、相互拘束面Ｓの上端線４１１ｅと相互拘束面Ｓの下端線４１１ｃとの距離が等しい直線として規定されるのが好ましい。

本発明に係る基板処理装置の概略を示す斜視図である。 基板処理装置の本体の側断面を示すと共に、レジスト液の塗布動作に係る主たる構成要素を示す図である。 スリットノズルを構成する主な部材を組み立てる様子を示す斜視図である。 第１本体部と第２本体部とが締結された状態のスリットノズルのＸＺ平面における断面図である。 固定ボルトを配置する際の基準線となる配列線の決定手法を説明する概念図である。 第１の実施の形態における第２本体部に設けられる調整用ネジ穴群を示す図である。 第２の実施の形態における第２本体部を示す図である。 第３の実施の形態における第２本体部を示す図である。 第４の実施の形態における第２本体部を示す図である。 第４の実施の形態における調整ボルトおよび調整用ネジ穴群を示す図である。 第５の実施の形態における第２本体部を示す図である。 変形例における第２本体部を示す図である。

符号の説明

１ 基板処理装置
３ ステージ
３０ 保持面
３１ 走行レール
４１ スリットノズル
４１ａ 吐出口
４１０ 第１本体部
４１１ 第２本体部
４１１ｂ マニホールド
４１１ｃ 下端線
４１１ｄ ランド
４１１ｅ 上端線
４１２ シム板
４１３ 固定ボルト
４１４ 固定用ネジ穴群
４１５ 調整ネジ
４１６ 開き調整用ネジ穴群
４１７ 閉じ調整用ネジ穴群
４１６ａ，４１６ｂ，４１７ａ，４１７ｂ 調整用ネジ穴群
４３，４４ 昇降機構
４３ａ，４４ａ サーボモータ
５ 走行機構
６ 制御系
９０ 基板
Ｌ０ 配列線
Ｌ１，Ｌ２ 直線
Ｓ 相互拘束面

Claims (19)

1. 略水平方向に伸びる直線状の吐出口から所定の処理液を吐出するスリットノズルであって、
   略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、
   前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、
   所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる締結手段と、
   前記結合体の長尺方向全幅に渡って設けられ、前記吐出口の開口間隔を調整する調整手段と、
   を備え、
   前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、
   前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とするスリットノズル。
2. 請求項１に記載のスリットノズルであって、
   前記調整手段が、
   前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段を備えることを特徴とするスリットノズル。
3. 請求項２に記載のスリットノズルであって、
   前記開き調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられていることを特徴とするスリットノズル。
4. 請求項２に記載のスリットノズルであって、
   前記開き調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられていることを特徴とするスリットノズル。
5. 請求項１に記載のスリットノズルであって、
   前記調整手段が、
   前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段を備えることを特徴とするスリットノズル。
6. 請求項５に記載のスリットノズルであって、
   前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられていることを特徴とするスリットノズル。
7. 請求項５に記載のスリットノズルであって、
   前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられていることを特徴とするスリットノズル。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載のスリットノズルであって、
   前記締結手段と前記調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とするスリットノズル。
9. 請求項１に記載のスリットノズルであって、
   前記調整手段が、
   前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、
   前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段と、
   を備えることを特徴とするスリットノズル。
10. 略水平方向に伸びる直線状の吐出口から所定の処理液を吐出するスリットノズルであって、
    略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、
    前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、
    所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる複数の締結手段と、
    前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、
    前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段と、
    を備え、
    前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、
    前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とするスリットノズル。
11. 請求項９または１０に記載のスリットノズルであって、
    前記開き調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられ、
    前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられることを特徴とするスリットノズル。
12. 請求項９または１０に記載のスリットノズルであって、
    前記開き調整手段は、前記所定の配列線の下側に設けられ、
    前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の上側に設けられることを特徴とするスリットノズル。
13. 請求項９または１０に記載のスリットノズルであって、
    前記開き調整手段および前記閉じ調整手段は、前記所定の配列線の同じ側に設けられることを特徴とするスリットノズル。
14. 請求項９ないし１３のいずれかに記載のスリットノズルであって、
    前記締結手段と前記開き調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されるともに、
    前記締結手段と前記閉じ調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とするスリットノズル。
15. 請求項１ないし１４のいずれかに記載のスリットノズルであって、
    前記第１本体部と前記第２本体部との間にスペーサを設けることにより前記隙間空間が形成されることを特徴とするスリットノズル。
16. 基板に所定の処理液を塗布する基板処理装置であって、
    基板を保持する保持手段と、
    前記保持手段に保持された前記基板に向けて、直線状の吐出口から前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、
    前記保持手段に保持された前記基板と前記スリットノズルとを相対的に移動させる移動手段と、
    を備え、
    前記スリットノズルが、
    略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、
    前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、
    所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる締結手段と、
    前記結合体の長尺方向全幅に渡って設けられ、前記吐出口の開口間隔を調整する調整手段と、
    を備え、
    前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、
    前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする基板処理装置。
17. 請求項１６に記載の基板処理装置であって、
    前記締結手段と前記調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする基板処理装置。
18. 基板に所定の処理液を塗布する基板処理装置であって、
    基板を保持する保持手段と、
    前記保持手段に保持された前記基板に向けて、直線状の吐出口から前記所定の処理液を吐出するスリットノズルと、
    前記保持手段に保持された前記基板と前記スリットノズルとを相対的に移動させる移動手段と、
    を備え、
    前記スリットノズルが、
    略水平方向に伸びる長尺の第１本体部と、
    前記第１本体部と対向するように配置され、前記第１本体部と互いに結合して略水平方向に伸びた長尺の結合体を形成する第２本体部と、
    所定の配列線上に配置され、前記第１本体部と前記第２本体部とを互いに結合させる複数の締結手段と、
    前記吐出口の開口間隔を開く方向に調整する開き調整手段と、
    前記吐出口の開口間隔を閉じる方向に調整する閉じ調整手段と、
    を備え、
    前記結合体において、前記第１本体部と前記第２本体部との対向面の一部に所定の処理液の流路となる隙間空間が形成されて、当該隙間空間の下方開口によって前記スリットノズルに前記吐出口が形成され、
    前記結合体における前記第１本体部と前記第２本体部との相互拘束面の上端線が略水平方向に沿った直線であり、前記上端線と前記相互拘束面の下端線とが、前記結合体における中央部から両端部に向かってゼロでない角度をなしており、前記所定の配列線は、前記角度を二等分する直線であることを特徴とする基板処理装置。
19. 請求項１８に記載の基板処理装置であって、
    前記締結手段と前記開き調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されるともに、
    前記締結手段と前記閉じ調整手段とが前記結合体の長尺方向と直交する方向から見て互い違いになるように千鳥状に配置されることを特徴とする基板処理装置。

Images