CN101829660B - 基板输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供基板输送装置，该基板输送装置(1)包括：输送基板(100)的输送装置(10)；一对旋转刷辊(21、31)，隔着由输送装置(10)所输送的基板(100)地上下配置，且沿与基板(100)的输送方向(A)交叉的方向分别延伸。输送装置(10)包括：用于输送基板(100)的第1输送装置(11)，其配置在一对旋转刷辊(21、31)的上游侧；用于输送基板(100)的第2输送装置(12)，其配置在一对旋转刷辊(21、31)的下游侧。第1输送装置(11)和第2输送装置(12)隔有供一对旋转刷辊(21、31)能够与基板(100)接触的间隙(13)地配置。

Description

基板输送装置

技术领域

本发明涉及一种在输送基板的同时具有将灰尘从被输送的基板的表面去除的功能的装置。

背景技术

在印刷线路板(printed wiring board)等基板的制造过程中，在该基板表面附着有焊渣(solder residue or filings)、尘埃、污垢(trash、rubbish、dust)等灰尘时，有可能成为在之后的工序处理中附着灰尘的部位的电阻值下降等的问题的主要原因。在该情况下，基板的功能有可能被损坏。在最近的以微小电力进行动作的半导体装置用的基板的情况下，因该灰尘的附着而引起电阻值的降低尤其容易成为问题。因此，在那样的半导体装置用等基板的组装作业中，通常编入有去除附着在该基板上的灰尘的工序。

在日本国2005-218923号公报中公开有用于去除附着在印刷布线基板等基板上的灰尘的基板灰尘去除装置。该基板灰尘去除装置包括基板输送用的输送装置(conveyer)和2个旋转刷辊(rotational brush roller)，该2个旋转刷辊以互相接近地排列的方式配置在基板的一侧的表面，该基板搭载于该输送装置上并被该输送装置输送。上述2个旋转刷辊沿横过基板的方向配置，分别朝向2个旋转刷辊之间的内方向互相相反的方向旋转。在2个旋转刷辊的上部配置具有吸尘口的灰尘去除部件，通过吸尘口吸引并排除悬浮在2个旋转刷辊之间的灰尘和附着于该2个旋转刷辊上的灰尘。

在这样的基板灰尘去除装置中，只去除基板的一侧的表面的灰尘。因此，在欲从基板的两表面去除灰尘的情况下，需要使基板两次通过该基板灰尘去除装置。而且还需要在中途使基板上下翻转。即，首先，从基板的上表面去除灰尘，之后，使基板翻转，将另一侧的面作为上表面而去除灰尘。

到目前为止一直需求一种能在更短时间内进行从基板的两表面去除灰尘的作业的装置。

发明内容

本发明的一技术方案是具有从被输送的基板的表面去除灰尘的功能的装置。该装置既可以是输送基板的系统(system)的一部分，或者，装置本身也可以是输送基板的系统主体。该装置具有用于输送基板的输送部件和一对旋转刷辊，该一对旋转刷辊是以隔着由输送部件所输送的基板的方式上下配置的一对旋转刷辊，且分别沿与基板的输送方向交叉的方向延伸。输送部件包括第1输送装置和第2输送装置，该第1输送装置用于输送基板，且相对于一对旋转刷辊配置在基板输送方向的上游侧，该第2输送装置用于输送基板，且相对于一对旋转刷辊配置在基板的输送方向的下游侧。第1输送装置和第2输送装置隔有供一对旋转刷辊能够与基板接触的间隙地配置。

为了通过1次处理从基板的两表面去除灰尘，一般考虑将一对旋转刷辊以隔着基板的方式上下配置。可是，需要一边输送基板，一边使用以隔着该基板上下配置的一对旋转刷辊进行从基板的两表面去除灰尘的作业。因此，在被上下配置的一对旋转刷辊的附近如何输送基板成为问题。

例如，在使用通过支承基板的下表面来输送基板那样的输送装置的情况下，无法使旋转刷辊与基板的下表面接触。

此外，使用隔着基板上下配置的一对旋转刷辊从基板的两表面去除灰尘的情况下，优选一对旋转刷辊的旋转方向(旋转刷辊和基板相接触的接触部分上的分力的方向)成为与基板的输送方向相反的方向。因此，难以由旋转刷辊的旋转(动力)获得有助于输送基板的力。

也有人考虑把持基板的端部，从除了基板的端部之外的区域(典型的是中央部分)去除灰尘，但是，若把持基板的端部，则无法去除所把持的部分的灰尘。

在上述本发明的一技术方案的装置中，将独立的第1输送装置和第2输送装置配置在一对旋转刷辊的上游和下游(前后)。根据这样的构成，能够在第1和第2输送装置之间确保间隙，能将该间隙限定成一对旋转刷辊能够与基板接触的间隙(能够接触这样程度的间隙，或限定在能够接触的范围内的间隙)。

因此，通过将一对旋转刷辊隔着间隙地相对地上下配置，能使一对旋转刷辊分别接触基板的两侧(正反)的整个表面。而且，因为由包括隔着狭小的间隙配置的第1和第2输送装置在内的输送部件输送基板，所以即使旋转刷辊沿与基板输送方向相反的方向旋转，也能输送基板。因此，采用该装置，能够由一对旋转刷辊从输送中的基板的两表面并列(并行，同时)地去除灰尘。

因此，采用该装置，仅通过1次处理，即，使基板仅通过装置1次，就能够从基板的两表面去除灰尘。因此，能够以短时间从基板去除灰尘。

在该装置中，优选还具有从一对旋转刷辊的位置的基板的输送方向的下游侧朝向基板的输送方向的上游侧喷射空气的部件。优选喷射空气的部件配置在一对旋转刷辊的附近。在该装置中，优选还具有从一对旋转刷辊的位置的基板的输送方向的上游侧吸引空气的部件。优选吸引空气的部件配置在一对旋转刷辊的附近。

因为设有喷射空气的部件，所以能够将由一对旋转刷辊从基板去除的灰尘从一对旋转刷辊的下游侧朝向上游侧吹跑。因此，能抑制被去除了的灰尘再次附着在基板上。此外，利用被喷射的空气，能够容易去除由旋转刷辊难以去除的部分，例如，刻在该基板表面的槽内和/或设置于该基板的通孔内所附着的灰尘等。因此，能够更加良好地去除基板表面的灰尘。

而且，通过相对于一对旋转刷辊的位置，在基板输送方向的上游侧设置吸引空气的部件，能够去除(吸引而回收)被吹跑到上游侧的灰尘。因此，能进一步抑制灰尘再次附着于被去除了灰尘后的清洁的基板上。

在该装置中，优选还具有用于去除基板所带的静电的一对部件。该情况下，用于去除上述的静电的部件，以分别面对基板的上表面和下表面的方式配置在一对旋转刷辊的基板输送方向的下游侧。在由旋转刷辊清扫基板表面而去除灰尘时，容易产生静电。上述的去除静电的部件能够去除产生的静电。因此，能抑制由静电造成的灰尘的再附着。此外，能抑制因静电而在印刷线路板等基板中产生问题。

而且，优选第1输送装置包括一对第1辅助辊，该一对第1辅助辊相对于一对旋转刷辊，位于基板输送方向的上游侧，分别按压基板的两端。更优选第1输送装置包括直径大于一对第1辅助辊的直径的一对第2辅助辊。一对第2辅助辊配置在一对第1辅助辊的基板输送方向的上游侧。

在该装置中，在第1输送装置和第2输送装置的间隙(狭窄的空间)中，一对旋转刷辊分别接触基板的两表面。因此，在基板与旋转刷辊接触的部分，基板仅受到来自旋转刷辊的力。特别是在基板插入一对旋转刷辊之间时，想要以使基板的两端成为不太上浮的状态按压基板的两端直到上述间隙的跟前，即，一对旋转刷辊的跟前。因此，优选在旋转刷辊的附近，以与旋转刷辊和其周围的装置不产生干涉的方式，利用小径的辅助辊分别按压基板的两端。

另一方面，辅助辊的直径越小，辅助辊的曲率越大，在取入一定厚度的基板时，辅助辊与基板之间产生比较大的阻力。因此，根据情况，也有可能因辅助辊与基板产生干涉而无法输送基板。

在该装置上不但设置一对第1辅助辊，而且还在一对第1辅助辊的基板输送方向的上游侧，设置直径大于一对第1辅助辊的直径的第2辅助辊。在供给基板的方向(上游侧)，直径大(曲率半径大，曲率小)的一对第2辅助辊比小径的第1辅助辊先接触基板，按压住基板，使基板的姿势稳定。然后，在第2辅助辊的下游侧，直径小的第1辅助辊良好地按压基板的两端直到一对旋转刷辊的跟前，能将基板顺利地引导到旋转刷辊。

在该装置中，优选还具有用于分别驱动一对旋转刷辊旋转的一对电动机(motor)，和用于通过检测一对电动机各自的转速或驱动电流，检测一对旋转刷辊是否分别与基板接触的部件。

在该装置中，通过使旋转刷辊接触基板表面来扫掉灰尘。因此，会因旋转刷辊与基板摩擦而产生磨耗。若旋转刷辊产生磨耗，则可能造成旋转刷辊与基板的接触不良。若旋转刷辊与基板的接触不良，则基板表面的灰尘的去除效率降低。为了抑制这样的情况，始终将旋转刷辊与基板维持(保持，keep)良好的接触状态是重要的。在DC电动机(direct current motor，直流电动机)的情况下，能够用电流检测由刷辊和基板的接触阻力带来的载荷变动。在AC电动机(alternating currentmotor，交流电动机)的情况下，能够借助编码器(encoder)等检测由刷辊和基板的接触阻力带来的转速的变化。

因此，采用该装置，通过检测一对电动机各自的转速或驱动电流，能够检测一对旋转刷辊是否分别与基板接触。因此，能够将旋转刷辊和基板控制成始终良好地接触，或迅速地察觉到旋转刷辊和基板接触不充分的情况。此外，由于能自动监视旋转刷辊和基板的接触，所以能够不卸下旋转刷辊而进行检查地获知旋转刷辊的更换时机。

附图说明

图1是从正面观察的状态下表示本发明的一实施方式的装置的概略构成的图。

图2是从侧方观察的状态下表示图1的装置的概略构成的图。

图3是从侧方观察的状态下表示图1的装置的概略构成的图，是表示取下了上侧的旋转刷辊单元(rotational brushroller unit)后的状态的图。

图4是从正面观察的状态下表示图1的装置的旋转刷辊附近的概略构成的图。

图5是从上方观察的状态下表示图1的装置的旋转刷辊附近的概略构成的图。

图6是进一步放大表示图4的一部分的图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的一实施方式。图1在从正面(相对于输送方向为横向)透视的状态下表示本发明的一实施方式的装置的内部的概略构成。图2在从侧方(输送方向的上游侧)透视的状态下表示图1的装置的内部的概略构成。

该装置1是输送基板的同时，具有从被输送的基板100的表面去除灰尘的功能的装置。在本例中，将该装置1称为基板输送装置。该基板输送装置1例如是在印刷线路板等基板100的组装作业中所使用的基板输送装置。典型的该装置1是在去除附着于基板100上的灰尘的工序中，能够一边输送基板100一边分别去除基板100的上表面100a和下表面100b的灰尘的基板输送装置。此外，通过将该基板输送装置1装入输送基板100的系统(system)、例如输送装置系统(conveyer system)中，能够将去除灰尘的功能编入输送的系统。

本例的基板输送装置1是在基板100的组装作业后或中途，以从组装完毕的基板100或组装中的基板100去除灰尘为目的的装置。即，该基板输送装置1也能称为基板灰尘去除装置或基板除尘装置。

如图1和图2所示，该基板输送装置1具有作为用于输送基板100的输送部件的输送装置10和一对旋转刷辊单元20和30，该一对旋转刷辊单元20和30以隔着由输送装置10所输送的基板100的方式上下配置。旋转刷辊单元20和30分别具有旋转刷辊21和31。

此外，该基板输送装置1具有空气喷射装置40、空气吸引装置50、接受灰尘用的容器(接受容器、pan)60、一对静电去除装置71和72、检测装置80。空气喷射装置40是相对于一对旋转刷辊21和31的位置，从基板100输送方向A的下游侧向上游侧喷射空气的部件(means、unit)。空气吸引装置50是相对于一对旋转刷辊21和31的位置，从基板100输送方向A的上游侧吸引空气的部件。接受灰尘用的容器(接受容器、pan)60收集被去除的灰尘的一部分。一对静电去除装置71和72是用于去除基板100上所带的静电的一对部件(除电部件、unit ormeans of removing electricity)。检测装置80是用于检测一对旋转刷辊21和31是否分别与基板100接触的部件。

另外，在图1中，纸面右侧是基板100输送方向A的上游侧，纸面左边是基板100输送方向A的下游侧。此外，在图2中，纸面前侧是基板100输送方向A的上游侧，纸面里侧是基板100输送方向A的下游侧。以后，只要不特别记载，所谓上游侧(上游)和下游侧(下游)是指相对于输送方向A的方向。

图3是在从侧方观察的状态下表示图1的装置1的概略构成的图。但是，图3表示将图1的装置1取下了上侧的旋转刷辊单元20后的状态。图4在从正面观察的状态下表示图1的装置1的旋转刷辊21和31附近的概略构成。图5在从上方观察的状态下表示图1的装置的旋转刷辊21和31附近的概略构成。图6进一步放大表示图4的旋转刷辊21和31附近的状态。

输送装置10包括用于分别输送基板100的第1输送装置11和第2输送装置12。本例的第1和第2输送装置11和12分别是带式输送机型(belt conveyer type)的输送装置。第1输送装置11配置在一对旋转刷辊21和31的上游侧。第2输送装置12配置在一对旋转刷辊21和31的下游侧。第1输送装置11和第2输送装置12隔有间隙13地配置，该间隙13被限定为一对旋转刷辊21和31与基板100能够接触的程度。间隙13的宽度(间隔)优选为旋转刷辊21和31的直径的1/3～2/3的范围，更优选为旋转刷辊21和31的直径的1/3～1/2的范围。例如，若旋转刷辊21和31的直径是20mm，则间隙13最好是8～10mm左右。第1和第2输送装置11和12分别具有使左右一对带(belt)14a、14b、14c、14d分别沿相同方向以相同速度同步地在一对基板引导构件15a、15b、15c、15d的内侧循环的构造。还具有使载置在该左右一对带14a、14b、14c、14d上的基板100沿带14a、14b、14c、14d的循环方向以与带14a、14b、14c、14d相同的速度输送的构造。

详细地说，如图4～图6所示，第1输送装置11包括：一对上游侧带(本例中环带(endless belt))14a和14b；一对上游侧的基板引导构件(输送装置框架)15a和15b；上游侧的基板支承构件17a和17b；一对第1辅助辊91a和91b；一对第2辅助辊92a和92b。一对上游侧带(本例中环带(endless belt))14a和14b借助多个带轮(滑轮、pulley)(也包括与电动机(motor)连接的驱动用的带轮)16分别架设在与基板100的两端相对应的位置。一对上游侧的基板引导构件(输送装置框架)15a和15b以分别引导(guide)基板100的两端的方式沿着基板100的输送路径设置。上游侧的基板支承构件17a和17b以分别支承基板100的与下表面100b的两端相对应的位置的方式沿着基板100的输送路径设置。一对第1辅助辊91a和91b在一对旋转刷辊21和31的上游侧，分别按压基板100的两端。一对第2辅助辊92a和92b在一对第1辅助辊91a和91b的上游侧，分别按压基板100的两端。另外，图4中附图标记19a表示上游侧的基板支承构件17a和17b从上游侧的基板引导构件(输送装置框架)15a和15b向旋转刷辊21和31侧突出的部分。

第2辅助辊92a和92b的截面直径分别大于第1辅助辊91a和91b的截面直径。第1辅助辊91a和91b的截面直径优选小于20mm，第2辅助辊92a和92b的截面直径优选20mm以上。第1辅助辊91a和91b的截面直径更优选10～20mm左右，更进一步优选15～20mm左右。第2辅助辊92a和92b的截面直径优选20～40mm左右，更优选25～35mm左右。

此外，在本例中，如后述那样，一对旋转刷辊21和31比基板100的宽度长、左右延伸到基板100的外侧。因此，如图5和图6所示，一对上游侧基板引导构件15a和15b的前端部分(旋转刷辊21和31侧的部分)18a呈前端变窄(楔(taper))状。此外，一对上游侧基板支承构件17a和17b的前端部分(旋转刷辊21和31侧的前端部分)19a也呈前端变窄(楔(taper))状。因此，各自的前端部分18a和19a不易与一对旋转刷辊21和31产生干涉。而且，支承基板100的下侧表面100b的基板支承构件17a和17b的前端19a向旋转刷辊21和31的方向呈楔状突出。因此，在前端19a不与旋转刷辊21和31产生干涉的状态下，能由基板支承构件17a和17b将基板100支承到旋转刷辊21和31的附近。

第2输送装置12包括：一对下游侧带(本例中是环带)14c和14d；一对下游侧基板引导构件(输送装置框架)15c和15d；下游侧基板支承构件17c和17d；一对第3辅助辊93a和93b。一对下游侧带(本例中是环带)14c和14d借助多个带轮16分别架设在与基板100的两端相对应的位置。一对下游侧基板引导构件(输送装置框架)15c和15d以分别引导基板100的两端的方式沿着基板100的输送路径设置。下游侧基板支承构件17c和17d以分别支承基板100的与下表面100b的两端相对应的位置的方式沿着基板100的输送路径设置。一对第3辅助辊93a和93b在一对旋转刷辊21和31的下游侧，分别按压基板100的两端。

此外，在本例中，一对旋转刷辊21和31比基板100的宽度长，左右延伸到基板100的外侧。因此，如图5和图6所示，一对下游侧基板引导构件15c和15d的前端部分(旋转刷辊21和31侧的前端部分)18b呈前端变窄(楔)状。一对下游侧基板支承构件17c和17d的前端部分(旋转刷辊21和31侧的前端部分)19b也呈前端变窄(楔)状。因此，不易与一对旋转刷辊21和31产生干涉。而且，基板支承构件17c和17d的前端19b向旋转刷辊21和31的方向呈楔状突出。因此，在前端19b不与旋转刷辊21和31产生干涉的状态下，能由基板支承构件17c和17d将基板100支承到旋转刷辊21和31的附近。

如图2～图6所示，旋转刷辊单元20包括：旋转刷辊21；支承旋转刷辊21的空心的管23；罩构件(cover)24。罩构件24连接旋转刷辊21和空心的管(pipe)23，并覆盖旋转刷辊21。旋转刷辊单元30包括：旋转刷辊31；支承旋转刷辊31的空心的管(pipe)33；分别连接旋转刷辊31和空心的管(pipe)33，并覆盖旋转刷辊31的罩构件(cover)34。

旋转刷辊21被与旋转轴21a的端部相连接的旋转机构22驱动而旋转。在管23上安装有罩构件24。旋转刷辊21以在罩构件24的内部能旋转的方式被罩构件24支承。因此，从装置1卸下管23时，罩构件24和旋转刷辊21一起被卸下。

旋转刷辊31被与旋转轴31a的端部相连接的旋转机构32驱动而旋转。在管33上安装有罩构件34。旋转刷辊31以在罩构件34的内部能旋转的方式被罩构件34支承。因此，从装置1卸下管33时，罩构件34和旋转刷辊31一起被卸下。

旋转机构22和32分别包括：用于驱动旋转刷辊21和31旋转的电动机26和36；用于将电动机26和36的驱动力传递到旋转刷辊21和31的齿轮机构27和37。在本例中，旋转机构22和32分别包括：带齿轮(gear)的电动AC电动机(电动交流电动机，electric alternating current motor)26和36；将该电动机26和36的输出轴的旋转力分别传递到旋转刷辊21和31的旋转轴21a和31a的齿轮机构27和37。该例子中，一体表示电动机和传递机构，但是上述机构能采用公知的各种构成。

图2中的附图标记25和35表示支承管23和33的环(ring)。旋转机构22和32以及环25和35固定在装置主体上。旋转刷辊单元20和30在使环25和35支承管23和33的状态下，通过与后述的连接构件52a和52b连接，能够装卸地安装于装置主体(参照图2)。此外，在将管23和33与连接构件52a和52b连接时，旋转刷辊21和31也与旋转机构22和32连接，旋转刷辊21和31被驱动而旋转。

管23和33通过分别安装于装置主体，分别沿与基板100的输送方向A交叉的方向，在本例中，正交的方向(横过的方向)延伸配置。旋转刷辊21和31分别沿着管23和33被支承。因此，通过管23和33分别安装于装置主体，旋转刷辊21和31也沿与基板100的输送方向A交叉的方向，在本例中，正交的方向(横过的方向)延伸配置。旋转刷辊21和31比作为灰尘去除的对象的基板100的宽度长，旋转刷辊21和31以旋转刷辊21和31从基板100的一端到另一端向左右延伸的方式被安装在装置1上。

因此，旋转刷辊单元20和30借助管23和33相对于装置1的主体能够装卸。通过将旋转刷辊单元20和30安装在装置主体上，一对旋转刷辊21和31以隔着由输送装置10所输送的基板100的方式能够旋转地上下配置。

如在图4中用箭头标记A1和A2所示，在本例中，旋转刷辊21和31分别被电动机26和36驱动，使得旋转刷辊21和31的旋转方向(旋转刷辊21和31与基板100相接触的接触部分的分力的方向)与基板100的输送方向A成为相反方向。另外，旋转刷辊21和31的旋转方向不限定于此。

空心的管23和33分别在与旋转刷辊21和31相对应的位置，且比旋转刷辊21和31的旋转轴21a和31a向上游侧稍许偏离的位置形成有细长的吸引口(吸尘口)23a和33a。细长的吸引口(吸尘口)23a和33a形成为沿着管23和33以及旋转刷辊21和31的长度方向延伸。空心的管23和33分别是旋转刷辊21和31的支承构件，并且，如后述那样，兼用作空气吸引装置50的一部分。

如图4所示，连接管23和旋转刷辊21的罩构件24，其一端(上端)被插入管23的吸引口23a。罩构件24的另一端(下端)朝向基板100输送方向的下游侧扩宽，从上方覆盖旋转刷辊21。此外，连接管33和旋转刷辊31的罩构件34其一端(下端)也插入管33的吸引口33a。罩构件34的另一端(上端)朝向基板100输送方向的下游侧扩宽，从下方覆盖旋转刷辊31。罩构件24和34如后述那样，分别兼用作空气吸引装置50的一部分。

空气喷射装置40配置在一对旋转刷辊21和31的附近，是自一对旋转刷辊21和31的位置的基板100下游侧朝向上游侧喷射空气的装置。如图4所示，本例的空气喷射装置40包括连接压缩空气源(例如，空气压缩机(air compressor)，未图示)与一对旋转刷辊21和31的下游侧附近的管(tube)41。在管41的前端安装有细长形状的喷嘴金属构件(nozzle/nozzle metalfittings)42。喷嘴金属构件42形成细长的喷射口43，沿着旋转刷辊21的长度方向被设置在旋转刷辊21的下游侧且在第2输送装置12的上游侧。喷嘴金属构件42以其喷射口43被配置于被输送的基板100的上表面100a附近的方式安装在管41的前端。喷射口43的宽度优选1mm以下，最好是10～500μm。

在该装置1中，来自空气喷射装置40的压缩空气从位于一对旋转刷辊21和31的下游侧附近的喷射口43喷出。由此，空气从一对旋转刷辊21和31的位置的下游侧朝向上游侧喷射。而且，能够从相对于一对旋转刷辊21和31的位置的下游侧朝向上游侧吹跑由一对旋转刷辊21和31从基板100去除的灰尘。此外，在基板100的上表面100a，用激光(laser)等刻(engrave)有槽(未图示)，或设有通孔(through-hole)(未图示)的情况下，能够利用空气吹跑并去除附着于其上表面100a的槽内和/或通孔内的灰尘。

空气吸引装置50被配置在一对旋转刷辊21和31的附近，是至少从一对旋转刷辊21和31的位置的上游侧吸引空气的装置。如图2和图3等所示，本例的输送装置1的空气吸引装置50能够利用管道(管，duct)54与外部的脱尘装置(例如，内置有真空泵(vacuum pump)的吸引装置)51连接。空气吸引装置50具有：能够装卸地安装有上侧的旋转刷辊单元20的管23的空心的第1连接构件52a；能够装卸地安装有下侧的旋转刷辊单元30的管33的空心的第2连接构件52b；与第1和第2连接构件52a和52b连通的回收部53。回收部53和脱尘装置51由管道54连接。

因此，利用该空气吸引装置50，能够通过使脱尘装置51的真空泵工作，使管23和33的内部成为负压，将被去除到旋转刷辊21和31的附近的灰尘和/或附着于旋转刷辊21和31的灰尘与空气一起经由罩构件24和34，回收到管23和33中。被回收的灰尘收集在回收部53和/或脱尘装置51中。罩构件24和34的旋转刷辊21和31的位置的上游侧的部分较宽广地打开。这样，通过从旋转刷辊21和31的上游侧回收灰尘，抑制灰尘再一次附着于基板100上。旋转刷辊21和31随着使用而磨耗。在本例中，分别使进行空气吸引的管23和33支承旋转刷辊21和31，将管23和33分别能够装卸地安装在连接构件52a和52b上来使用。因此，旋转刷辊21和31的维护(维持，管理，maintenance)，例如更换、清扫等较为容易。此外，有时在管23和33的内部积存有灰尘，但是，因为管23和33(旋转刷辊单元20和30)是能够装卸的，所以也容易清扫管23和33的内部。

如图1所示，收集被去除的灰尘的一部分的灰尘接受用的容器60被配置在旋转刷辊31的下方。容器60能够装卸。从基板100去除的、向下方落下的灰尘，被该容器60回收。

此外，如图1所示，一对静电去除装置(apparatus forremoving static electricity)71和72是用于去除基板100所带的静电的装置。一对静电去除装置71和72分别面向基板100的上表面100a和下表面100b地配置在一对旋转刷辊21和31的下游侧。因此，能够利用一对静电去除装置71和72，分别去除基板100的上表面100a和下表面100b所带的静电。

在该基板输送装置1中，旋转刷辊21和31一边旋转一边以高速与基板100接触。因此，有时基板100成为带静电的状态。此外，由于来自空气喷射装置40的送风(air blow)，有时在基板100表面也会成为带静电的情况。利用一对静电去除装置71和72，能够去除基板100所带的静电。因此，能抑制因被基板100所带的静电吸引而使悬浮在基板100周围的灰尘再次附着在基板100上。此外，能抑制在除尘后的工序中，静电对基板100造成不良影响。

检测装置(探测器/传感器)80是用于检测一对旋转刷辊21和31是否分别与基板100接触的装置。由检测装置80所检测到的是否接触(检测结果)被显示于显示面板(参照图1～图3)89。在本例中，由于电动机26和36是AC电动机，所以检测装置80包括转速监视器(monitor)81，该转速监视器81借助电动机26和36分别附带的编码器(encoder)检测电动机26和36的转速。在旋转刷辊21和31与基板100接触时，AC电动机26和36的转速降低。因此，通过由监视器81检测旋转刷辊21和31的转速，能够检测(detect)(感知(sense))到基板100与旋转刷辊21和31是否接触。即，由监视器81检测到以下的情况时，判断为接触不良(未接触，或者接触不充分)，该情况为，在与旋转刷辊21和31良好地同基板100接触着的情况的规定转速相比，转速增加的情况，或者，基板100的通过而转速未降低到规定的数值的情况。在上述情况下，显示面板89显示接触不良的内容，并响警报。另外，也可以设为以下的系统，即，在被判断为接触不良的情况下，使旋转刷辊21和/或31向基板100侧移动，自动增加按压量。

另外，在电动机是DC电动机的情况下，由于旋转刷辊21和31与基板100接触，所以DC电动机的载荷增加。因此，检测装置80只要检测DC电动机的驱动电流即可。即，DC电动机的驱动电流在与旋转刷辊21和31同基板100良好地接触着的情况的规定的驱动电流相比、增加了的情况下，判断为接触不良即可。这样，在电动机是DC电动机的情况下，检测装置80能够监视各电动机的驱动电流。通过使用这样的检测装置80，能够检测旋转刷辊21和31与基板100的接触不良，所以能进行与上述相同的控制。

采用该基板输送装置1，如以下那样地去除附着在基板100表面的灰尘。首先，基板100被第1输送装置11输送到一对旋转刷辊21和31的附近。在一对旋转刷辊21和31的上游侧，基板100的两端首先与一对第2辅助辊92a和92b接触，与一对第1辅助辊91a和91b相比，该一对第2辅助辊92a和92b的曲率小(曲率半径大)。因为第2辅助辊92a和92b相对于基板100的厚度，曲率半径足够大，所以顺利地登上基板100。然后，基板100被带式输送机(带、输送带)14a和14b一边按压一边向下游引导。

之后，基板100被送入配置在第2辅助辊92a和92b下游侧的直径小的第1辅助辊91a和91b。此时，基板100被第2辅助辊92a和92b压到带14a和14b上。因此，即使是小径的第1辅助辊91a和91b，也能够顺利地(圆滑地，smooth)、不与基板100产生干涉地登上基板100。而且，因为第1辅助辊91a和91b直径小，所以即使配置在包括管23和33的旋转刷辊单元20和30的附近，也能防止在配置上与旋转刷辊单元20和30产生干涉。因此，由于小径的第1辅助辊91a和91b，使得基板100能够被带14a和14b一边按压一边输送直到一对旋转刷辊21和31跟前。这样，能使基板100在稳定的状态下压入旋转刷辊21和31之间。

在基板100到达第1输送装置11和第2输送装置12之间的间隙13时，基板100的两表面100a和100b经由间隙13分别与一对旋转刷辊21和31接触。然后，利用上述一对旋转刷辊21和31，基板100的两表面100a和100b的灰尘分别被并行去除。即，上侧的旋转刷辊21与基板100的上表面100a接触，从该上表面100a扫掉灰尘。与此同时，经由(通过)第1输送装置11和第2输送装置12之间的间隙13，下侧的旋转刷辊31与基板100的下表面100b接触，也从该下表面100b扫掉灰尘。

被一对旋转刷辊21和31从基板100去除的灰尘，通过与空气吸引装置50连接的吸引用的管23和33被回收。因此，能防止灰尘再次附着于基板100。即，被上侧的旋转刷辊21去除的灰尘，经由罩构件24，从上游侧通过上侧的吸引管23被回收。被下侧的旋转刷辊31去除的灰尘，经由罩构件34，通过下侧的吸引管33被回收。

而且，由空气喷射装置40从旋转刷辊21下游侧朝向上游侧喷射空气。因此，附着在刻于基板100的上表面100a的槽内和/或通孔内的灰尘等也被吹跑，由吸引用的管23或33回收。

这样，能够利用该基板输送装置1高效率地从基板100去除灰尘。而且，被去除的灰尘难以再次附着于去除后的清洁(clean)的基板100。

通过了一对旋转刷辊21和31之后的基板100，由第2输送装置12更进一步向下游侧输送。基板100的两端被夹入小径的第3辅助辊93a和93b与输送带(带)14c和14d之间，向下游侧输送。因为第3辅助辊93a和93b直径也较小，所以与上游侧的第1辅助辊91a和91b相同地，即使配置在旋转刷辊单元20和30的附近，也能防止在配置上与旋转刷辊单元20和30产生干涉。因此，由于小径的第3辅助辊93a和93b，使得基板100能被带14c和14d一边按压一边输送直到一对旋转刷辊21和31稍微靠后的位置。由此，能使基板100在稳定的状态下从旋转刷辊21和31之间取出。

因此，在旋转刷辊21和31前后，由第1输送装置11和第2输送装置12能够稳定地支承并输送基板100。因此，即使利用旋转刷辊21和31，一边物理性地擦拭基板100的两表面100a和100b、一边去除灰尘，基板100也不会摆动(moving like aflap)或偏离正常的位置或振动。因此，能够不使基板100的品质变差地从基板100高效率地去除灰尘。

而且，在下游的一对静电去除装置71和72的附近，基板100因旋转刷辊21和31而所带的静电被去除。之后，基板100由第2输送装置12更进一步向下游输送，从该基板输送装置1卸载(unload、搬出)。

另外，在该基板输送装置1中，也可以只驱动一方的旋转刷辊21或31。由此，也能够只进行基板100的一侧的表面100a或100b的除尘作业。

如上所述，该基板输送装置1在第1输送装置11和第2输送装置12之间设置间隙13，在该间隙13中相对峙(相对)地配置一对旋转刷辊21和31。因此，能够经由间隙13，使基板100的两表面100a和100b分别与一对旋转刷辊21和31同时接触。然后，从上述表面100a和100b分别同时并行去除灰尘。因此，采用该基板输送装置1，能够通过1次经过(one pass)(1次通过(1次操作、作业))，从基板100的两表面100a和100b去除灰尘。因此，采用该装置1，能以短时间高效率地进行从基板100的两表面100a和100b去除灰尘的作业。

另外，本发明的装置还可以在除了设有静电去除装置(除电装置)71和72之外，用具有防止带电功能的刷辊作为旋转刷辊。或者，也可以代替设有静电去除装置(除电装置)71和72，用具有防止带电功能的刷辊作为旋转刷辊。

此外，本发明的装置也可以在一对旋转刷辊的基板的输送方向的上游侧，以分别面对基板的上表面和下表面的方式配置用于去除基板所带的静电的一对部件(静电去除装置)，能够在除尘前去除基板所带的静电。

而且，本发明的装置还可以具有按照所输送的基板的宽度，使第1和第2输送装置的宽度变宽或变狭地进行调整的部件(调整部件)。调整部件例如能够通过具有引导部件(guidemeans)和固定部件的结构来实现，该引导部件是能够使左右任一方的基板引导构件(输送装置框架)左右移动的导轨(guide rail)等，该固定部件是将一方的基板引导构件能解除固定地固定在引导部件的任意部位的螺栓(bolt、外螺纹构件)等。在该情况下，优选使另一方的基板引导构件(输送装置框架)成为固定的构造。

使用上述构成的情况下，通过使一方的基板引导构件沿着引导部件适当移动，重新固定在引导部件的任意部位，能够按照所输送的基板的宽度，使能循环地支承在左右一对基板引导构件的内侧的一对带之间的距离变宽或变狭地进行调整。通过按照所输送的基板的宽度调整一对带之间的距离，能够在更加稳定的状态下输送基板。

此外，本发明的装置还可以具有使旋转刷辊分别沿上下方向升降的升降部件。升降部件例如能够作为包括支承框架、引导部和固定部件的结构，该支承框架以使旋转刷辊分别能旋转的方式支承旋转刷辊，该引导部使支承框架相对于装置主体，在上下方向上能升降地支承支承框架，该固定部件是能够将沿着引导部在上下方向上适当升降的支承框架能解除固定地固定在引导部的任意部位的螺栓等。通过应用这样的构成，能实现使旋转刷辊分别在上下方向上升降。

在使用上述构成的情况下，由于能够将旋转刷辊分别可靠地按压于基板表面，所以能够利用旋转刷辊更好地去除附着于基板表面的灰尘。此外，在所输送的基板的表面安装有半导体装置等各种电子零件的情况下，优选与安装在该表面的电子零件的高度相对应地使用升降部件使旋转刷辊升降(调整基板与旋转刷辊之间的间隔)。能够抑制安装在基板表面的电子零件与旋转刷辊抵接而损伤。

由本发明的装置输送的基板不限定于印刷线路板。本发明的装置能够广泛地有效利用于对包括陶瓷基板等在内的各种基板进行输送和去除灰尘。

Claims (4)

1.一种基板输送装置，该基板输送装置是具有从所输送的基板（100）的表面（100a、100b）去除灰尘的功能的装置（1），其中，

该基板输送装置（1）包括：

输送装置（10），输送上述基板（100）；

一对旋转刷辊（21、31），隔着由上述输送装置（10）所输送的上述基板（100）地上下配置，且分别沿与上述基板（100）的输送方向（A）交叉的方向延伸，

该基板输送装置的特征在于，

上述输送装置（10）包括：

第1输送装置（11），其用于仅分别按压上述基板（100）的两端地输送上述基板（100），且配置在上述一对旋转刷辊（21、31）的上述基板（100）输送方向（A）的上游侧；

第2输送装置（12），其用于仅分别按压上述基板（100）的两端地输送上述基板（100），且配置在上述一对旋转刷辊（21、31）的上述基板（100）输送方向（A）的下游侧，

上述第1输送装置（11）和上述第2输送装置（12）隔有供上述一对旋转刷辊（21、31）能够与上述基板（100）接触的间隙（13）地配置，

上游侧的上述第1输送装置（11）包括：

一对第1辅助辊（91a、91b），用于在上述一对旋转刷辊（21、31）的上述基板（100）输送方向（A）的上游侧，仅分别按压上述基板（100）的两端；

一对第2辅助辊（92a、92b），配置在上述一对第1辅助辊（91a、91b）的上述基板（100）输送方向（A）的上游侧，直径大于上述一对第1辅助辊（91a、91b）的直径，仅分别按压上述基板（100）的两端。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，

该基板输送装置（1）还包括：

空气喷射装置（40），配置在上述一对旋转刷辊（21、31）的附近，从上述一对旋转刷辊（21、31）的位置的上述基板（100）输送方向（A）的下游侧向上游侧喷射空气；

空气吸引装置（50），配置在上述一对旋转刷辊（21、31）的附近，从上述一对旋转刷辊（21、31）的位置的上述上游侧吸引空气。

3.根据权利要求1所述的基板输送装置，

该基板输送装置（1）还包括：

一对静电去除装置（71、72），以分别面对上述基板（100）的上表面（100a）和下表面（100b）的方式配置在上述一对旋转刷辊（21、31）的上述基板（100）输送方向（A）的下游侧，用于去除上述基板（100）所带的静电。

4.根据权利要求1～3任一项所述的基板输送装置，

该基板输送装置（1）还包括：

一对电动机（26、36），用于分别驱动上述一对旋转刷辊（21、31）旋转；

检测装置（80），用于通过检测上述一对电动机（26、36）各自的转速或驱动电流，检测上述一对旋转刷辊（21、31）是否分别与上述基板（100）接触。

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