JP5651226B1 - 基板の端面をクリーニングする装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の表裏面に対する端面をクリーニングする装置を提供する。【解決手段】装置１は、前面２２に基板５の端面５ａが通過する溝２４が形成されたガイド部２７を含むガイドユニット２１と、ガイド部２７の後面２３により先端５１の位置が制御されるブラシ５０とを有する。溝２４はガイド部２７を貫通する開口２５を含み、開口２５を介してブラシ５０の先端５１が溝２４を通過する基板５の端面５ａに接する。ガイドユニット２１は、ブラシ５０の少なくとも先端５１を収納する凹部７０と、凹部７０から塵埃を吸引する吸引口７３とを含む。【選択図】 図１

Description

本発明は、基板の端面をクリーニングする装置に関するものである。

特許文献１には、基板の両面から塵埃を除去する作業を従来よりも短時間で行える装置を提供することが記載されている。特許文献１の装置は、基板搬送する搬送手段と、搬送手段により搬送される基板を挟むように上下に配置された一対の回転ブラシローラであって、基板の搬送方向と交差する方向にそれぞれ延びる一対の回転ブラシローラとを有する。搬送手段は、基板を搬送するための第１のコンベアであって、一対の回転ブラシローラよりも上流側に配置された第１のコンベアと、基板を搬送するための第２のコンベアであって、一対の回転ブラシローラよりも下流側に配置された第２のコンベアとを備える。第１のコンベアと第２のコンベアとは、一対の回転ブラシローラが基板に接触可能な隙間をあけて配置されている。

特開２０１０−２０７６８７号公報

引用文献１に記載された装置は、基板の表裏面をクリーニングするのに適している。さらに、基板の表裏面に対する端面をクリーニングする装置が求められている。

本発明の一形態は、前面に基板の端面が通過する溝が形成されたガイド部を含むガイドユニットと、ガイド部の後面に先端が当たることにより先端の位置が制御されるブラシとを有し、溝はガイド部を貫通する開口を含み、開口を介してブラシの先端が溝を通過する基板の端面に接する装置である。ガイド部の後面により先端の位置が制御されるブラシにより、溝に開いた開口を介して、溝を通過する基板の端面をクリーニングできる。したがって、溝に沿って基板の端面を通過および支持させながら、ブラシにより、基板の表面または裏面に搭載された回路や回路素子に影響を与え難い状態で、基板の端面から塵埃などの不要物を除去できる。

ガイドユニットは、ブラシの少なくとも先端を収納する凹部と、凹部から塵埃を吸引する吸引口とを含むことが望ましい。凹部によりブラシに除去された塵埃が拡散するのを抑制し、吸引口から塵埃を回収または除去できる。

ガイドユニットは、凹部内のガイド部の後面に吸引口に繋がる溝を含むことがさらに好ましい。ブラシの先端に付いた塵埃などを裏面の溝を介して吸引口から回収または除去できる。このため、基板に塵埃が再付着することを抑制できる。

ブラシは回転するもの、前後、上下、左右に移動するものであってもよい。回転軸は、ガイド部の後面に平行なものであってもよい。ガイド部の後面に対して垂直な回転軸を含むブラシは、ガイド部の溝を通過する基板の端面に対して上下異なる方向から接するので基板の端面を効率よくクリーニングできる。回転軸がガイド部の後面または前面に対して平行なブラシは、回転軸の位置を制御することによりブラシの先端の位置を制御できる。これに対し、回転軸がガイド部の後面に垂直なブラシは、回転軸の位置が制御できず、ブラシの先端の位置を制御し難い。この装置においては、ブラシの先端の位置をガイド部の後面に当てたり、押し付けたりすることにより制御できる。また、クリーニングの経過によりブラシの先端が摩耗する場合でも、ブラシの先端の位置をガイド部の後面を基準に制御できる。このため、ガイド部の溝を通過する基板の端面にブラシの先端を安定して接触させることができ、安定したクリーニング効果が得られる。

ガイドユニットは、ガイド部の基板の端面が通過する溝の裏面（後面）から回転軸方向に突き出た支持部であって、ブラシの先端側の中央部分の凹んだ部分が挿入された状態で回転軸の周りにブラシが回転する支持部を含むことが望ましい。回転ブラシの位置をさらに安定して制御できる。回転ブラシの典型的なものは、回転丸型ブラシである。

このクリーニング装置は、さらに、ブラシをガイド部の後面に向けて加圧するユニットと、ブラシの先端をガイド部の後面から離した状態でブラシの位置を固定するユニットとを有することが望ましい。基板の端面のクリーニングが必要なときは、ブラシをガイド部の後面に向けて加圧することによりブラシの先端の位置をガイド部の後面により制御できる。また、基板の端面のクリーニングが不要なときは、固定するユニットによりブラシが基板の端面に接触しない状態で退避できる。

このクリーニング装置は、基板の両端面が通過する位置に、表面の溝が向かい合うように配置された複数のガイドユニットと、複数のガイドユニットのガイド部の後面により先端の位置が制御されるように配置された複数のブラシとを有することが望ましい。さらに、クリーニング装置は、複数のガイドユニットのガイド部前面の溝を両端がそれぞれ通過するように基板を搬送するユニットを有することが望ましい。基板を搬送しながら両端を同時にクリーニングできる。

基板クリーニング装置の概略構成を示す図。 端面クリーニング装置のガイドブロックおよびブラシの近傍の構成を拡大して示す断面図であり、図２（ａ）は図１のIIａ、図２（ｂ）は図１のIIｂ断面図、図２（ｃ）はブラシを後方に退避させた様子を示す図１のIIａ断面図。 端面クリーニング装置の基板の通路に沿った構成を示す平面図。 ガイドブロックの下部ブロックの概略構成を示す斜視図。 下部ブロックの構成を示す図であり、図５（ａ）は正面図、図５（ｂ）は水平方向の断面図、図５（ｃ）は背面図、図５（ｄ）は側面図、図５（ｅ）は縦方向の断面図、図５（ｆ）は中心からずれた位置における縦方向の断面図。 ガイドユニットのガイド部にブラシをセットして基板の端面をクリーニングする様子を示す断面図であり、図６（ａ）はガイド部の凹部にブラシをセットする様子を示す図、図６（ｂ）は凹部にブラシの先端をセットした様子を示す図、図６（ｃ）は基板の端面をクリーニングしている様子を示す図。 ブラシの異なる例を示す図であり、図７（ａ）は先端を本体に接着固定したブラシを示す図、図７（ｂ）は先端を本体に埋め込んだブラシを示す図。

図１に、基板クリーニング装置１０の概略構成を示している。この基板クリーニング装置１０は、基板５を搬送するラインの途中に設置可能な装置であり、搬送中の基板（プリント配線板）５の表裏面、両端面をクリーニングすることができる。基板クリーニング装置１０は、ハウジング１１と、ハウジング１１の内部に配置された端面クリーニング装置２０と、両面クリーニング装置３０とを含む。基板５は、ハウジング１１の入力ポート１２から端面クリーニング装置２０、両面クリーニング装置３０を通過して出力ポート１３から排出される。両面クリーニング装置３０は、基板５の表面２および下面（裏面）３をそれぞれクリーニングするためのクリーニングローラー３１および３２と、基板５を搬送するコンベア３３とを含む。

端面クリーニング装置（端面クリーナ）２０は、基板５の一方の端面５ａの近傍を支持して導くガイドブロック（ガイドユニット）２１と、ガイドブロック２１に端面５ａが沿って移動するように導くコンベアユニット４０とを含む。ガイドブロック２１は、前面（表面）２２に、基板５の端面５ａが通過する溝２４が形成されている。端面クリーニング装置２０は、ガイドブロック２１により先端５１の位置が制御されるブラシ５０をさらに有する。溝２４はガイドブロック２１を貫通して開いた開口２５を含み、開口２５を介してブラシ５０の先端５１が溝２４を通過する基板５の端面５ａに接し、端面５ａをクリーニングする。

コンベアユニット４０は、溝２４の前後で基板５の端を上下で挟んで移動するローラ４１ａおよび４１ｂ、４２ａおよび４２ｂと、これらのローラ４１ａから４２ｂを駆動するモーター４４と、駆動ベルト４５とを含む。モーター４４の位置、駆動ベルト４５のアレンジはさまざまであり、本例に限定されない。ガイドブロック２１は、下部のローラ４１ｂおよび４２ｂと溝２４とを含む下部ブロック２１ａと、上部のローラ４１ａおよび４２ａを支持する上部ブロック２１ｂとを含む。

端面クリーニング装置２０は、さらに、ブラシ５０により基板５から除去された塵埃をガイドブロック２１から吸引除去するためのポンプ（真空ポンプ）６１と、吸引ホース６２とを含む。

図２に、端面クリーニング装置２０のガイドブロック２１およびブラシ５０の近傍の構成を拡大して縦方向の断面により示している。図３に、端面クリーニング装置２０の基板５の通路に沿った構成を平面図により示している。端面クリーニング装置２０は、一対のガイドブロック２１が、搬送路を通過する基板５の両端面５ａおよび５ｂをクリーニングするように対峙（対面）して配置され、それぞれのガイドブロック２１にはクリーニング用のブラシ５０が装着されている。端面クリーニング装置２０は、さらに、それらガイドブロック２１およびブラシ５０を支持するプレート６５と、プレート６５同士の距離を調整できる適当な接続機構６６とを含む。端面クリーニング装置２０の左右の構成は共通するので、具体的な構成は、主に左側に示したガイドブロック２１を中心に説明する。

端面クリーニング装置２０は、プレート（台盤）６５の上に配置された、ガイドブロック２１と、ガイドブロック２１に装着されるブラシ５０と、ブラシ５０を回転するモーター５６と、モーター５６およびブラシ５０を支持する支持プレート８０と、支持プレート８０を介してブラシ５０をガイドブロック２１の方向に加圧するバネ（加圧ユニット）８２と、支持プレート８０の位置をガイドブロック２１から離した位置で固定する退避ユニット８５とを含む。加圧ユニット８２はバネに限らず、他の弾性的な力を付与する機構や、エアーシリンダーなどの加圧機構であってもよい。

図２（ａ）および（ｂ）、および図３に示すように、ローラ４１ａおよび４１ｂ、４２ａおよび４２ｂを含む基板搬送ユニット（コンベアユニット）４０により、端面クリーニング装置２０において基板５が搬送路（移動経路、移動路、通路）９を搬送され、搬送された基板５は両端面５ａおよび５ｂが両側のガイドブロック２１の前面２２に設けられた溝２４を通過する。ガイドブロック２１には裏側からブラシ５０が挿入され、溝２４の方向に支持プレート８０を介してバネ８２により加圧された状態で中心軸（回転軸）５５を中心に回転する。溝２４はガイドブロック２１の前方の壁を貫通する開口２５を含み、開口２５から基板５の方向に突き出たブラシ５０の先端５１が回転しながら両端面５ａおよび５ｂに当たり、基板５の両端面５ａおよび５ｂをクリーニングする。

図２（ｃ）に示すように、端面５ａおよび５ｂのクリーニングが不要なときは、退避ユニット８５により支持プレート８０を介してブラシ５０をガイドブロック２１の後方に退避する。退避ユニット８５は支持プレート８０側に設けられたピン８５ａと、台盤プレート６５の側に設けられた突起８５ｂとを含み、ピン８５ａを台盤プレート６５の上のガイドブロック２１から離れた位置の突起８５ｂに引っかけることにより支持プレート８０をガイドブロック２１から離れた位置に固定できる。支持プレート８０をガイドブロック２１から離した状態で、ブラシ５０を交換したり、基板５の種類や汚れなどの状態に応じてブラシ５０の種類を交換したりすることができる。

図４に、ガイドブロック２１の下部ブロック２１ａを抜き出して斜視図により概略構成を示している。図５に、下部ブロック２１ａの正面図（ａ）、水平方向の断面図（ｂ）、背面図（ｃ）、側面図（ｄ）、縦方向の断面図（ｅ）、および、中心からずれた位置における縦方向の断面図（ｆ）を示している。

下部ブロック２１ａは、全体が凸字型のブロックであり、前面（表面）２２の中央部分が基板５の通路９の方向（前方）に突き出たガイド部２７となっている。ガイド部２７は、通路９を挟むように突き出たガイド壁２９ａおよび２９ｂを含む。下側のガイド壁２９ａの上端２８ａおよび上側のガイド壁２９ｂの下端２８ｂは基板５が通過する通路９を挟んで対称な形状であり、上端２８ａおよび下端２８ｂにより、ガイド部２７の前面（表面）２２ａに基板５の端部（端面）５ａが通過する溝２４が形成されている。溝２４は、両端２４ｂおよび２４ｃが中心２４ａに対して上下方向に広く、中心２４ａには通路９の方向に沿って延びた平坦な部分２４ｆが形成されている。

溝２４の中心２４ａの幅（高さ）ｈ１は、２〜６ｍｍ程度が好ましく、２〜４ｍｍ程度がさらに好ましい。また、中心部の平坦な部分２４ｆの長さは１０〜３０ｍｍ程度が好ましく、１５〜２５ｍｍ程度がさらに好ましい。さらに、両端２４ｂおよび２４ｃは、中心部の平坦な部分２４ｆからの開き角θが３０〜８０度であることが望ましく、４０〜７０度であることがさらに望ましい。

上側のガイド壁２９ｂおよび下側のガイド壁２９ａは、溝２４の中央部分からガイド部２７の後面（裏面、背面）２３の方向に突き出た突起７１により接続されている。本例のガイド壁２９ａおよび２９ｂは、下部ブロック２１ａの前面２２が突き出たものであり、下部ブロック２１ａと一体になっている。上側のガイド壁２９ｂおよび下側のガイド壁２９ａが、裏面側に突き出た突起７１により一体となったプレートをガイド部２７のユニットとして提供し、ガイドブロック２１に取り付けることも可能である。

下部ブロック２１ａのガイド部２７、すなわち、ガイド壁２９ａおよび２９ｂの裏側（後側）は円筒状の凹部７０となっており、凹部７０には、クリーニング用のブラシ５０が、その先端５１が凹部７０の底面、すなわち、ガイド部２７の後面２３に当たるように収納される。ガイド壁２９ａおよび２９ｂにより形成される溝２４は、ガイド部２７を貫通し、凹部７０に向かって開いた開口２５を含む。ブラシ５０の先端５１は開口２５から溝２４の内部に突き出て、溝２４を通過する基板５の端面５ａに当たりクリーニングする。ガイド部２７の開口２５は、溝２４の中心の突起７１を除き、円筒状の凹部７０の内部で、溝２４と同じ形状になるように設けられている。

具体的には、下部ブロック２１ａの前面２２のうち、ガイド部２７のガイド壁２９ａおよび２９ｂの前面２２ａが、基板５が通過する溝２４の上面となる。一方、下部ブロック２１ａの表面２２のうちの他の部分の表面２２ｂが、溝２４の下面（底面）に対応する表面となっている。ブラシ５０の先端５１が当たり、先端５１の位置を制御するガイド壁２９ａおよび２９ｂの後面２３は、溝２４の底面となる前面２２ｂより基板の通路９の側に位置し、ブラシ５０の先端５１は、溝２４の底面２２ｂから通路９の側に突き出る。このため、ブラシ５０の先端５１は、ガイド部２７のガイド壁２９ａおよび２９ｂの後面２３に位置が制御された状態で溝２４を通過する基板５の端面５ａに当たり、端面５ａをクリーニングする。この例では、下部ブロック２１ａの他の部分に対してガイド部２７を前面に突き出して溝２４を形成しているが、溝２４の形状および形成の仕方はこれに限らない。下部ブロック２１ａの前面に溝２４を形成してもよく、下部ブロック２１ａをガイド部２７のみで形成してもよい。

溝２４の幅（上面２２ａと下面２２ｂとの距離）Ｗ１は１〜５ｍｍ程度が好ましく、２〜４ｍｍ程度がさらに好ましい。ガイド壁２９ａおよび２９ｂの裏面２３と溝の下面２２ｂとの距離Ｗ２は０．５〜２ｍｍ程度が好ましく、０．５〜１．５ｍｍ程度であることがさらに好ましい。

下部ブロック２１ａは、さらに、凹部７０の下面に開いた吸引孔７３を含む。吸引孔７３は、吸引ホース６２と接続され、ブラシ５０により凹部７０に持ち込まれた塵埃を外部に排出する。この例では、吸引孔７３は、凹部７０の後面２３の側から下側に延びている。ブラシ５０は、溝２４に入る基板５を下側に抑える向きに回転し、基板５の先端が溝２４の内部でばたつくのを防止する。したがって、ブラシ５０により掻き取られた塵埃は、まず下側に排出され、吸引孔７３を通して排出される。このため、基板５に対する塵埃の再付着を抑制できる。

下部ブロック２１ａは、さらに、円筒状の凹部７０の底面になるガイド部２７の後面（裏面）２３に半径方向に延び、吸引孔７３に繋がる、深さ０．５〜２ｍｍ程度の排出用の溝７４を含む。ブラシ５０の先端５１は、ガイド部２７の後面２３に当たりながら回転し、排出用の溝７４に達すると先端５１が排出用の溝７４の中でフリーになり、先端５１に付いた塵埃が排出用の溝７４に放出される。端面クリーニング用には腰の強いブラシ５０が使用されることが多いので、先端５１が後面２３に当たった状態から排出用の溝７４でフリーになると塵埃は放出されやすく、さらに排出用の溝７４は吸引され負圧になりやすいので放出された塵埃は直ちに回収される。

下部ブロック２１ａは、さらに、円筒状の凹部７０の底面になる後面２３の開口２５の上下に沿って広がった深さＷ３が０．５〜２ｍｍ程度の凹み７５を含む。ブラシ５０の先端５１は、ガイド部２７の後面２３に当たりながら回転し、凹み７５に達すると先端５１がフリーになり、ガイド部２７を貫通する開口２５から先端５１が基板５の側に突出する。したがって、ブラシ５０の先端５１が、基板５の端面５ａに対してほぼ垂直に突き出た（伸びた）状態であたり、基板５から塵埃を除去しやすい。また、開口２５の前後でブラシ５０の先端５１がガイド部２７に当接しない、または当接し難い状態で回転する。このため、ブラシ５０の先端５１に付いた塵埃が再付着し難く、ブラシ５０で掻き取った塵埃を回収し易い。

下部ブロック２１ａは、さらに、下側のローラ４１ｂおよび４２ｂを支持し、下部ブロック２１ａの裏側から駆動するシャフト（不図示）を挿入するための貫通孔７９を含む。

下部ブロック２１ａの円筒状の凹部７０に装着されるブラシ５０は、図４に示すように回転丸型ブラシであり、回転軸５５が凹部７０の底面であるガイド部２７の後面２３に垂直になるようにセットされる。ブラシ５０の先端５１は、ナイロン、アクリル等の樹脂製の無数の毛で構成されており、全体が円筒状に纏められている。先端５１の中心部分５２は空洞となっており、凹部７０の底面（後面）２３から後方に突き出た突起７１に中心部分５２を位置合わせすることにより、突起７１がブラシ５０の回転軸５５の方向に延びた支持部となる。このため、ブラシ５０は凹部７０の内部において、より安定した状態で回転する。

この例においては、突起７１が、基板５が通過する溝２４の中心部に対応する位置に設けられており、ブラシ５０は、基板５の端部５ａを中心として回転する。したがって、溝２４の導入側の開口２５と、排出側の開口２５とで上下逆向きにブラシ５０の先端５１が基板５の端部５ａに当たり、上下双方から基板５の端部５ａをクリーニングする。上述したように、基板５の先端のばたつきを抑えるために、導入方向の開口２５においては基板５に対しブラシ５０の先端５１が上から下に当たるようにブラシ５０を回転することが望ましい。このため、基板５の排出側の開口２５においては、ブラシ５０の先端５１は、端部５ａに下から上に当たるように回転する。ブラシ５０の回転軸５５は、溝２４の中心から前後および上下にシフトしていてもよい。

図６に、ガイドユニット２１のガイド部２７にブラシ５０をセットして基板５の端面５ａをクリーニングする様子を拡大して示している。図６（ａ）に示すように、ガイド部２７の前面２２ａには基板５の端面５ａが通過する溝２４が設けられており、ガイド部２７の後方にはブラシ５０の先端５１を収納する円筒状の凹部７０が設けられている。図６（ｂ）に示すように、凹部７０にブラシ５０の先端５１をセットすると、先端５１は、ガイド部２７の後壁（後面）２３に当たり、先端５１の位置が制御された状態で先端５１が溝２４に突き出る。図６（ｃ）に示すように、ブラシ５０が回転し、溝２４を通過する基板５の端面５ａをクリーニングする。

ブラシ５０はバネ８２により後壁２３に向けて加圧されており、クリーニングすることにより先端５１が摩耗してブラシ５０の長さが変化しても、一定の押し当て量が維持される。このため、ブラシ５０は、摩耗した先端５１が後壁２３に当たるように位置が制御され、常にブラシ５０の先端５１は所定の長さだけ溝２４の内部に突き出た状態で回転し、基板５の端面５ａをクリーニングする。

ブラシ５０の先端５１はガイド部２７の後壁２３に当たり位置が精度よく制御される。このため、先端５１が溝２４に突出する量（長さ）を精度よく制御でき、また、機械的に先端５１の位置が決まるので、ブラシ５０の先端５１が基板５に接触する長さおよび位置の精度は極めて高く信頼性が高い。このため、毛が固めのブラシ５０を用いても、基板５に損傷を与えたり、基板５の上の回路や回路要素に損傷を与える可能性はほとんどない。また、固めのブラシ５０を使用することにより、先端５１が後壁２３に当たることで先端５１の位置が制御されるので、先端５１の位置精度は向上する。このため、この端面クリーニング装置２０においては、塵埃のみならず、固めのブラシ５０を用いることにより基板切断等によって生じたバリの除去にも対応できる。

さらに、凹部７０には後面２３の中央、すなわち、溝２４から後方に突き出た突起７１が設けられており、丸型ブラシ５０の中央部分（中心部分）５２が凹み、突起７１が挿入されるようになっている。したがって、ブラシ５０の先端５１は、中央部分５２が突起７１にガイドされながら回転する。このため、ブラシ５０は、回転軸５５を中心として、先端５１も含めて安定して回転する。したがって、基板５に損傷が発生する可能性をさらに低減できる。

また、後面２３の開口２５の上下には深さＷ３の凹み７５が設けられており、先端（毛先）５１がフリーになり、立った状態で基板５の端面５ａに当たる。したがって、先端５１で端面５ａを掃くようにクリーニングでき、塵埃の除去効率を向上できる。凹み７５の深さＷ３は、溝２４に先端５１が突き出る長さＷ２と同等であることが望ましい。

ブラシ５０の先端５１を収納する凹部７０には、吸引溝（排出用の溝）７４および吸引溝７４に繋がった吸引孔７３が設けられている。したがって、ブラシ５０により掻き取られた塵埃は、これらの吸引機構により凹部７０から排出され、基板５への再付着を抑制できる。また、塵埃が基板５の表面２または裏面３に再付着しても、端面クリーニング装置２０の下流に配置された両面クリーニング装置３０により除去できる。したがって、端面クリーニング装置２０は、両面クリーニング装置３０の上流に配置することが望ましい。

図７に、端面クリーニング装置２０に装着可能なブラシ５０の異なる例のいくつかを示している。ブラシ５０は、図７（ａ）に示すように先端（毛の部分）５１を本体５３に接着固定したものであってもよく、図７（ｂ）に示すように先端５１を本体５３に埋め込んだものであってもよい。先端５１の材質は、ワイヤブラシのような強度の高い固いものであってもよく、刷毛、布などの柔らかいものであってもよい。ブラシ５０の交換は、図２（ｃ）に示したように、ブラシ５０を退避した状態で簡単に行うことができる。また、強度あるいは硬度の異なるブラシを備えた端面クリーニング装置２０を基板５の搬送方向に順番に並べて基板の端面をクリーニングしてもよい。

以上に説明したように、この基板クリーニング装置１０は、搬送中の基板５の両面をクリーニングする両面クリーニング装置３０の上流に端面クリーニング装置２０を含む。したがって、基板５を搬送させながら、基板５の両面に加え、両端面（サイド面）５ａおよび５ｂの塵埃を除去できる。

なお、上記では、基板クリーニング装置１０に内蔵された端面クリーニング装置２０を例に説明しているが、端面クリーニング装置２０は、ガイドブロック２１を中心に、複数のローラを含む搬送ユニット、ブラシ５０などがユニット化されており、基板を搬送するコンベアなどの既存の設備に後付けすることも容易である。

１０ 基板クリーニング装置
２０ 端面クリーニング装置
２１ ガイドユニット
４０ コンベアユニット
５０ ブラシ

Claims (9)

1. 前面に基板の端面が通過する溝が形成されたガイド部を含むガイドユニットと、
   前記ガイド部の後面に先端が当たることにより前記先端の位置が制御されるブラシとを有し、
   前記溝は前記ガイド部を貫通する開口を含み、前記開口を介して前記ブラシの先端が前記溝を通過する基板の端面に接する装置。
2. 請求項１において、前記ガイドユニットは、前記ブラシの少なくとも先端を収納する凹部と、
   前記凹部から塵埃を吸引する吸引口とを含む、装置。
3. 請求項２において、前記ガイドユニットは、前記凹部内の前記ガイド部の後面に前記吸引口に繋がる溝を含む、装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記ブラシは前記ガイド部の後面に対して垂直な回転軸を含む、装置。
5. 請求項４において、前記ガイドユニットは、前記ガイド部の基板の端面が通過する前記溝から前記回転軸方向に突き出た支持部であって、前記ブラシの先端側の中央部分の凹んだ部分が挿入された状態で前記回転軸の周りに前記ブラシが回転する支持部を含む、装置。
6. 請求項４または５において、前記ブラシは、回転丸型ブラシである、装置。
7. 請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記ブラシを前記ガイド部の後面に向けて加圧するユニットと、
   前記ブラシの先端を前記ガイド部の後面から離した状態で前記ブラシの位置を固定するユニットとを有する装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかにおいて、基板の両端面が通過する位置に、前記前面の溝が向かい合うように配置された複数の前記ガイドユニットと、前記複数のガイドユニットの前記ガイド部の後面により先端の位置が制御されるように配置された複数の前記ブラシとを有する装置。
9. 請求項８において、前記複数のガイドユニットの前記ガイド部の前記前面の溝を両端がそれぞれ通過するように基板を搬送するユニットを有する装置。

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