JPWO2015083467A1 - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

本発明の目的は、被クリーニング体の搬送性を向上させることができるクリーニング装置を提供することにあり、被クリーニング体Ｓ表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置１であって、被クリーニング体Ｓ下面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、クリーニングローラ２の前後に近設される搬送ローラ３Ａ、３Ｂとを備え、これら搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径がクリーニングローラ２の外径よりも小さく設定されている。クリーニングローラ２の前後に生じていた空間が狭められ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることが可能となる。

Description

本発明は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置に関し、より詳細には、被クリーニング体が、例えばフィルム、シート、ガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ、ＰＣＢＡなど）、プラスチック板などの薄物である場合に適するクリーニング装置に関する。

被クリーニング体の表面にクリーニングローラを接触させつつ回転させながら、被クリーニング体の表面に付着する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングシステムが近年開発されている。

このようなクリーニングシステムに関して、出願人は、例えば下記の特許文献１〜４記載の発明を先に出願している。特許文献１〜４記載のクリーニングシステムによれば、クリーニングローラの表面から塵埃を取り除くためのメンテナンス作業を定期的に行う必要がなくなり、クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作を長期に亘って安定して継続できるようになった。

また、このようなクリーニングローラを２連配置し、各クリーニングローラに帯電させる電荷の符号を逆とするシステム構成にすることで、マイナスに帯電させた一方のクリーニングローラで、被クリーニング体の表面に付着するプラス帯電性の塵埃を除去し、プラスに帯電させた他方のクリーニングローラで、マイナス帯電性の塵埃を除去することが可能となり、除去できる異物の範囲を広げることも可能となった。

さらに、被クリーニング体の上面だけでなく、被クリーニング体の下面に付着した塵埃を除去することができるクリーニングシステムを構成することも可能となった。

図７は、被クリーニング体の上下面にそれぞれクリーニングローラが２連配置された従来のクリーニングシステムを構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
クリーニングシステム６１は、被クリーニング材Ｓの表面（上面及び下面）上に付着する塵埃を静電気力を利用して取り除くクリーニング部６２と、被クリーニング材Ｓをクリーニング部６２に向けて搬送する搬入部６３と、クリーニング部６２でクリーニングされた後の被クリーニング材Ｓを搬出する搬出部６４とを備えている。

搬入部６３は、１対のローラ６３Ａ、６３Ｂに搬送ベルト６３Ｃが巻き掛けられた構成となっており、搬送ベルト６３Ｃ上の被クリーニング材Ｓがクリーニング部６２に向けて搬送されるように構成されている。
搬出部６４は、１対のローラ６４Ａ、６４Ｂに搬送ベルト６４Ｃが巻き掛けられた構成となっており、クリーニング部６２から搬出された被クリーニング材Ｓがクリーニング部６２から離れる方向に搬送されるように構成されている。

搬入部６３と搬出部６４との間にクリーニング部６２が配設され、クリーニング部６２は、被クリーニング材Ｓの表面（上面）上に対し外周面を接触させながら回転するクリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂと、被クリーニング材Ｓの表面（下面）に対し外周面を接触させながら回転するクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄとを備えている。クリーニング部６２は、クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂとクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄとの間に被クリーニング材Ｓを挟みつつ被クリーニング材Ｓを搬出部６４側に搬送するように構成されている。

クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂの上側には、各クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂの表面に接触しながら回転する転写ローラ７２Ａ、７２Ｂと、各転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの表面に接触しながら回転する帯電制御ローラ７３Ａ、７３Ｂと、転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの連れ回り方向と逆方向に回転して転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの表面に付着している塵埃を掻き取るブラシローラ７４Ａ、７４Ｂと、ブラシローラ７４Ａ、７４Ｂに接触しながら回転する金属ローラ７５Ａ、７５Ｂと、金属ローラ７５Ａ、７５Ｂの近傍に配置された塵埃掻き取り用のブレード７６Ａ、７６Ｂとが設けられている。

帯電制御ローラ７３Ａ、７３Ｂの芯金には外部電源７７が接続され、被クリーニング体Ｓの表面（上面）上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂおよび転写ローラ７２Ａ、７２Ｂに対して付与できる構成になっている。金属ローラ７５Ａ、７５Ｂにも外部電源７８Ａ、７８Ｂが接続され、転写ローラ７２Ａ、７２Ｂとの間に電位差を生じるように電圧が印加される構成になっている。金属ローラ７５Ａ、７５Ｂの表面近傍には、塵埃を吸い込むエアバキューム手段の吸込み口７９Ａ、７９Ｂが設けられている。

また、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄの下側には、上側と同様に、転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄと、帯電制御ローラ７３Ｃ、７３Ｄと、ブラシローラ７４Ｃ、７４Ｄと、金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄと、ブレード７６Ｃ、７６Ｄとが設けられている。

帯電制御ローラ７３Ｃ、７３Ｄの芯金には外部電源７７が接続され、被クリーニング体Ｓの表面（下面）上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄおよび転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄに対して付与できる構成になっている。金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄにも外部電源７８Ｃ、７８Ｄが接続され、転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄとの間に電位差を生じるように、電圧が印加される構成になっている。金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄの表面近傍には、塵埃を吸い込むエアバキューム手段の吸込み口７９Ｃ、７９Ｄが設けられている。

また、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄの軸部には、駆動ベルト８０を介して駆動ローラ８１の回転力が伝達され、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄが回転駆動される構成になっている。

図７に示したクリーニングシステム６１によって、被クリーニング体Ｓの上面だけでなく、被クリーニング体Ｓの下面に付着した塵埃も静電気力を利用して除去することが可能となった。一方で、被クリーニング体Ｓの下側に複数のクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄを備えたシステムとした場合、従来のクリーニングシステム６１では、搬入部６３とクリーニングローラ７１Ｃとの間、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄどうしの間、及びクリーニングローラ７１Ｄと搬出部６４との間に、装置の構成や配置のレイアウト上、必然的に空間が生じやすいものとなっていた。

そのため、被クリーニング体Ｓが特にフィルムやシート等の薄物で剛性が低いものである場合、被クリーニング体Ｓの搬入や搬出時に、被クリーニング体Ｓがこれらの空間内に落ち込んで、被クリーニング体Ｓに弛みや位置ずれが生じる虞や下側のクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄに巻き込まれる虞があり、被クリーニング体Ｓの搬送性が低下する虞があるという課題があった。

特許第４８８６０９７号公報 特許第５０４４０６１号公報 特許第５０１５３６５号公報 特表２０１０−１０９７５５号公報

課題を解決するための手段及びその効果

本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、被クリーニング体の搬送性を向上させることができるコンパクトなクリーニング装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために本発明に係るクリーニング装置（１）は、被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、前記被クリーニング体の下面に接触させるクリーニングローラと、該クリーニングローラの前後に近設される搬送ローラとを備え、これら搬送ローラの外径が前記クリーニングローラの外径よりも小さく設定されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（１）によれば、前記クリーニングローラの前後に、前記クリーニングローラの外径よりも小さい外径の前記搬送ローラが近設されるため、前記クリーニングローラの前後に生じる空間が前記搬送ローラによって埋められる（狭められる）。その結果、前記被クリーニング体が剛性の低い薄物であったとしても、前記クリーニングローラの前後に生じていた空間に前記被クリーニング体が落ち込む虞がなくなり、前記被クリーニング体の搬入及び搬出を精度良く行うことができ、搬送性を向上させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（２）は、上記クリーニング装置（１）において、前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置していることを特徴としている。

上記クリーニング装置（２）によれば、前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置しているので、前記搬送ローラと前記被クリーニング体との接触点を通る前記搬送ローラの接線と、前記クリーニングローラと前記被クリーニング体との接触点を通る前記クリーニングローラの接線とが同一平面上に位置することとなる。したがって、前記被クリーニング体の水平状態を保った状態で前記被クリーニング体を前記クリーニングローラに搬送することができ、前記被クリーニング体の搬送をより精度良く行うことができ、安定したクリーニング性能を発揮することができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（３）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（３）によれば、前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されているので、前記被クリーニング体が、特に薄物で剛性の低いシートやフィルム状のものであったとしても、前記クリーニングローラの前後で前記被クリーニング体に弛み等を生じることなく被クリーニング体を搬送することができ、前記被クリーニング体の搬送性を向上させる効果を高めることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（４）は、上記クリーニング装置（１）〜（３）のいずれかにおいて、前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（４）によれば、前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されているので、前記被クリーニング体の搬送速度や搬送方向を変える場合、前記クリーニングローラの回転速度や回転方向を制御するだけで良く、換言すれば、前記搬送ローラの駆動を個別に制御する必要がなく、前記クリーニングローラと前記搬送ローラの周速度を容易に同期させることができ、また、装置のコンパクト化を図ることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（５）は、上記クリーニング装置（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記搬送ローラが金属材料で構成されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（５）によれば、前記搬送ローラが金属材料で構成されているので、前記搬送ローラの撓みを少なくすることができ、搬送精度を高めることができる。また、前記搬送ローラの外径を小さくしてもローラの剛性を発揮することができ、装置のコンパクト化を図ることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（６）は、上記クリーニング装置（１）〜（５）のいずれかにおいて、前記クリーニングローラに接触して該クリーニングローラの表面に存在する塵埃を除去するブラシ体と、該ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（６）によれば、前記クリーニングローラに前記ブラシ体を接触させているので、前記クリーニングローラの表面に存在する塵埃を前記ブラシ体で除去することが可能となり、前記クリーニングローラと前記ブラシ体との間に転写ローラが設けられていた従来の装置よりも前記塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラ表面の清浄度を高めることができる。
また、前記ブラシ体によって掻き取られ異物が静電気力により前記金属ローラに吸着され、該金属ローラに吸着した塵埃が前記ブレード体によって前記金属ローラから掻き取られるようになっているので、前記クリーニングローラによる異物の吸着除去動作が安定して継続できるとともに、構造のコンパクト化を図ることができる。

本発明の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を正面上方から見た斜視図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を背面上方から見た斜視図である。 図２におけるIV−IV線要部断面図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を２連配置した場合における要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 従来のクリーニングシステムを構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。

以下、本発明に係るクリーニング装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。

クリーニング装置１は、搬入部６３と搬出部６４との間に配設されている。クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面（この場合、下面）Ｓ１にクリーニングローラ２の表面を接触させつつ回転させながら、被クリーニング体Ｓに対して相対移動させ、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１上に付着している塵埃（例えば、導体あるいは誘電体などの微小な塵埃）を、クリーニングローラ２に付与された静電気力を利用して取り除くものである。

クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、クリーニングローラ２の前後に近設された搬送ローラ３Ａ、３Ｂとを備え、さらにクリーニングローラ２に接触してクリーニングローラ２表面の塵埃を除去するブラシローラ４と、ブラシローラ４に接触しながら回転してブラシローラ４から塵埃を受取る金属ローラ５と、金属ローラ５に付着した塵埃を除去するブレード６とを含んで構成されている。

クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５は、それぞれ左右の側板部１１、１２（図２、３を参照）に回転可能に軸支され、搬送ローラ３Ａ、３Ｂは、それぞれ左右の取付板１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ（図２、３を参照）に回転可能に軸支されている。また、クリーニング装置１には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５に電荷を付与するための図示しない電荷付与機構が設けられている。

クリーニングローラ２は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷（プラス又はマイナスの電荷）を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ２表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。

搬送ローラ３Ａ、３Ｂは、被クリーニング体Ｓを搬送するためのローラであり、鉄やステンレスなどの金属材料で構成されている。搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径は、クリーニングローラ２の外径よりも小さく設定されており、装置のコンパクト化及びクリーニングローラ２の前後の空間をできるだけ埋める（狭くする）という観点から、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径は、クリーニングローラ２の半径以下に設定することが好ましい。

また、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａとの水平方向における軸（中心軸）間距離Ｗ１が、クリーニングローラ２の半径Ｒ１と搬送ローラ３Ａの半径ｒ１との合計値よりも小さく（Ｗ１＜Ｒ１＋ｒ１）なるように、搬送ローラ３Ａがクリーニングローラ２の近傍に配設されている。

同様に、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ｂとの水平方向における軸間距離Ｗ２が、クリーニングローラ２の半径Ｒ１と搬送ローラ３Ｂの半径ｒ２との合計値よりも小さく（Ｗ２＜Ｒ１＋ｒ２）なるように、搬送ローラ３Ｂがクリーニングローラ２の近傍に配設されている。なお、半径ｒ１と半径ｒ２は同じ大きさに設定されている（ｒ１＝ｒ２）。

また、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周面上部とクリーニングローラ２の周面上部とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ３Ａ、３Ｂ及びクリーニングローラ２が配設されている。換言すれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂと被クリーニング体Ｓとの接触点を通る搬送ローラ３Ａ、３Ｂの接線と、クリーニングローラ２と被クリーニング体Ｓとの接触点を通るクリーニングローラ２の接線とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ３Ａ、３Ｂ及びクリーニングローラ２が配設されている。

搬送ローラ３Ａ、３Ｂは金属材料で構成されている。そのため、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径が小さくても剛性を発揮することができ、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの撓みを小さくすることができ、装置のコンパクト化を図ることが可能となっている。

また、図２、３に示すように、クリーニングローラ２両端の回転軸には、プーリー７Ａ、７Ｂが配設され、搬送ローラ３Ａ両端の回転軸には、プーリー８Ａ、８Ｂが配設され、搬送ローラ３Ｂ両端の回転軸には、プーリー９Ａ、９Ｂが配設されている。

一端側のプーリー７Ａ、８Ａ、９Ａには丸ベルト１０Ａが巻き掛けられ、他端側のプーリー７Ｂ、８Ｂ、９Ｂには丸ベルト１０Ｂが巻き掛けられている。プーリー７Ａ、７Ｂは、そのピッチ円直径がクリーニングローラ２の外径と一致するように構成されている。またプーリー８Ａ、８Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ａの外径と一致するように構成され、プーリー９Ａ、９Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ｂの外径と一致するように構成されている。

上記構成によって、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２と同じ周速度で、同一方向に回転駆動されるように構成されている。

また、クリーニングローラ２の斜め下方には、クリーニングローラ２の表面に接触しながら相互に逆方向に回転し、クリーニングローラ２の表面の塵埃を除去するブラシローラ４が設けられている。

ブラシローラ４は、クリーニングローラ２との間に電位差を生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。ブラシローラ４は、芯金４ａに合成樹脂製のブラシ部（毛部）４ｂを有するものである。なお、ブラシ部４ｂの断面外形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形形状、波曲線形状、又は曲線と直線とが組み合わされて構成された形状のものなどが採用され得る。

ブラシローラ４の斜め下方には、ブラシローラ４に対し連れ回り方向に接触しながら回転する金属ローラ５が配設されている。この金属ローラ５も、クリーニングローラ２との間で所定の電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。この金属ローラ５は、ブラシローラ４から塵埃を取り除くものである。

金属ローラ５の近傍には、金属ローラ５の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード６が配設され、ブレード６の先端部によって金属ローラ５の表面上に付着する塵埃が掻き取られ、図示しない塵埃回収部に回収される構成になっている。ブレード６は、例えば、合成樹脂製（例えば、熱硬化性ウレタン樹脂）の弾性体などで形成されている。

図２は、実施の形態に係るクリーニング装置１を正面上方から見た斜視図であり、図３は、クリーニング装置１を背面上方から見た斜視図である。また、図４は、図２におけるIV−IV線要部断面図である。なお、図４では図を見易いものとするため、部材断面のハッチングを省略している。

クリーニング装置１は、一体構造としてユニット化されており、ユニット上部に配設されたクリーニングローラ２及び搬送ローラ３Ａ、３Ｂと、ユニット内部に配設されたブラシローラ４、金属ローラ５及びブレード６とを備えている。

また、クリーニング装置１は、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５が回転可能に支持される左右の側板部１１、１２と、搬送ローラ３Ａが回転可能に支持される左右の取付板１３Ａ、１３Ｂと、搬送ローラ３Ｂが回転可能に支持される左右の取付板１４Ａ、１４Ｂと、側板部１１、１２が互いに連結される連結部材１５、１６などを含んで構成されている。取付板１３Ａ、１４Ａは側板部１１に固定され、取付板１３Ｂ、１４Ｂは側板部１２に固定されている。

側板部１１、１２は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂製）の材質で構成され、側板部１１、１２には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５の各回転軸を取り付けるための取付孔（いずれも図示せず）が所定の位置にそれぞれ形成されている。

これら各取付孔には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５の回転軸が挿着される軸受（図示せず）がそれぞれ組み込まれ、図示しないこれら各軸受の外輪部に電極部（図示しない）が電気的に接触して通電可能な状態で組み込まれている。これら電極部に通電するための通電コネクタが設けられ、外部から所定の電圧が印加される構成になっている。

図示しない前記電極部から前記軸受を介して、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各取付孔に組み込まれた前記軸受及び前記電極部を含んで電荷付与機構が構成されている。

側板部１１に挿着されたクリーニングローラ２の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車１７Ａとアイドル歯車１８とが装着され、ローラ駆動用歯車１７Ａには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車（図示せず）が歯合されるようになっている。

また、側板部１１に挿着された金属ローラ５の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成された金属ローラ用歯車１９Ａが装着されている。金属ローラ用歯車１９Ａは、アイドル歯車１８と歯合されており、金属ローラ５は、クリーニングローラ２の回転駆動に伴って回転駆動されるようになっている。

また、図３に示すように側板部１２に挿着されたクリーニングローラ２の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車１７Ｂが装着され、ローラ駆動用歯車１７Ｂには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車（図示せず）が歯合可能に構成されている。

また、側板部１２に挿着された金属ローラ５の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成された金属ローラ用歯車１９Ｂが装着され、ブラシローラ４の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたブラシローラ用歯車２０が装着されている。ブラシローラ用歯車２０は、金属ローラ用歯車１９Ｂと歯合されており、ブラシローラ４は、金属ローラ５の回転駆動に伴って回転駆動されるようになっている。

また、図４に示すように、クリーニングローラ２は、芯金（芯棒）２ａと、芯金２を覆う円筒状の内層部２ｂと、内層部２ｂを覆う薄膜円筒状の外層部２ｃとを含んで構成されている。内層部２ｂには、導電性を有する弾性部材（例えば、カーボン（導電材）を含むポリエステル系ウレタン等）が用いられ、外層部２ｃには、ウレタン樹脂、アクリル混合ウレタンあるいはフッ素混合ウレタンなどの材料が用いられ、被クリーニング体Ｓ表面に付着する塵埃を静電気により吸着する電荷を帯電し得るようになっている。なお、外層部２ｃの厚さは、帯電特性などの観点から２μｍ〜５００μｍが好ましく、より好ましくは、５μｍ〜５０μｍである。

また、図４に示すように、ブレード６はブレード取付部２１に固定されている。ブレード６の下側には、このブレード６により剥離された塵埃が収集される異物回収部（図示せず）が取り付けられている。

上記実施の形態に係るクリーニング装置１を用いた場合、搬入部６３から搬送されてきた被クリーニング体Ｓは、クリーニング装置１の搬送ローラ３Ｂによって搬入部６３とクリーニング装置１との空間内に落ち込むことなく、クリーニングローラ２まで精度良く搬送されることとなる。

そして、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１に付着している塵埃にクリーニングローラ２が接触すると、塵埃が被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１から除去され、クリーニングローラ２の表面に吸着される。クリーニングローラ２が回転して、クリーニングローラ２の表面に吸着されている塵埃がブラシローラ４と接触すると、塵埃はブラシローラ４によってクリーニングローラ２から掻き取られ、塵埃は金属ローラ５の表面に吸着される。そして、金属ローラ５の回転に伴い、金属ローラ５の表面に付着している塵埃はブレード６によって掻き取られる。

また、クリーニングローラ２上を通過した被クリーニング体Ｓは、クリーニング装置１の搬送ローラ３Ａによってクリーニング装置１と搬出部６４との空間内に落ち込むことなく、搬出部６４まで精度良く搬送されることとなる。

上記実施の形態に係るクリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２の前後に、クリーニングローラ２の外径よりも小さい外径の搬送ローラ３Ａ、３Ｂが近設されているため、クリーニングローラ２の前後に生じる空間が小径の搬送ローラ３Ａ、３Ｂによって埋められる（狭められる）。その結果、クリーニングローラ２の前後における被クリーニング体Ｓの搬入及び搬出を精度良く行うことができ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることができる。

また、クリーニング装置１によれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周面上部とクリーニングローラ２の周面上部とが同一平面上に位置しているので、被クリーニング体Ｓが剛性の低い薄物であっても、その搬送を精度良く行うことができる。

また、クリーニング装置１によれば、プーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂ、及び丸ベルト１０Ａ、１０Ｂを含んで構成された動力伝達機構により、搬送ローラ３Ａ、３Ｂが、クリーニングローラ２と同じ周速度で回転駆動されるように構成されているので、被クリーニング体Ｓが、特に薄物で剛性の低いシートやフィルム状のものであったとしても、クリーニングローラ２の前後で被クリーニング体Ｓに弛みや位置ずれ等が生じることなく被クリーニング体Ｓを搬送することができ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させる効果を高めることができる。

また、クリーニング装置１によれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されているので、被クリーニング体Ｓの搬送速度や搬送方向を変える場合、クリーニングローラ２の回転速度や回転方向を制御するだけで良い。したがって、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの駆動を個別に制御する必要がなく、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周速度を容易に同期させることができ、また、装置のコンパクト化を図ることができる。

また、クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２にブラシローラ４を接触させているので、クリーニングローラ２表面に存在する塵埃をブラシローラ４で効率良く除去することが可能となる。転写ローラが設けられていた従来の装置（図７参照）よりも塵埃の除去効率を高めることができ、また、塵埃除去効率の低下を抑えることができ、クリーニングローラ２表面の清浄度を高めることもできる。

また、クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２の表面に静電気力で付着している異物がブラシローラ４によって掻き取られ、ブラシローラ４により掻き取られた異物が静電気力により金属ローラ５に吸着され、金属ローラ５に吸着した塵埃がブレード６によって金属ローラ５から掻き取られる構造になっている。したがって、クリーニングローラ２による異物の吸着除去動作が安定して継続できるとともに、従来使用されていた転写ローラを用いない構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。

図５は、実施の形態に係るクリーニング装置を２連配置した場合のレイアウトを模式的に示した側面図である。なお、図１に示したクリーニング装置１と同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

図５に示すように、搬入部６３と搬出部６４との間にクリーニング装置１Ａ、１Ｂが２連配置され、各クリーニング装置１Ａ、１Ｂでは、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂに対して、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂの外周面に帯電される電荷の符号が逆となるように帯電制御が行われるようになっている。

このようにすれば、マイナスに帯電させたクリーニングローラ２Ａで、被クリーニング材Ｓの下面Ｓ１に付着するプラス帯電性の塵埃を除去し、プラスに帯電させたクリーニングローラ２Ｂで、マイナス帯電性の塵埃を除去することができ、除去できる塵埃の範囲を広げることが可能となる。

また、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂの間には、クリーニング装置１Ａの搬送ローラ３Ａとクリーニング装置１Ｂの搬送ローラ３Ｂが位置するので、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂ間の空間が隣接する搬送ローラ３Ａ、３Ｂによって埋められる（狭められる）。そのため、被クリーニング材Ｓがシートやフィルムなどの剛性の低い薄物であっても、このような被クリーニング材Ｓがクリーニングローラ２Ａ、２Ｂ間に落ち込むことがなくなり、クリーニング装置１Ａからクリーニング装置１Ｂへの被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることが可能となる。

なお、上記した実施の形態に係るクリーニング装置１では、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂとの周速度を同期させる手段として、プーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂを使用したが、図６に示すように、別の実施の形態に係るクリーニング装置１Ｃでは、上記したプーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂに代えて、ギア（歯車）やローラを適用することができる。

ギア（歯車）やローラを適用する場合、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂとの回転方向を一致させる必要がある。そのため、図６に示すように、クリーニングローラ２の回転軸に装着されたギア（又はローラ）３０と、搬送ローラ３Ａの回転軸に装着されたギア（又はローラ）３１Ａとの間に、アイドルギア（又はアイドルローラ）３２Ａが介装され、また、ギア（又はローラ）３０と、搬送ローラ３Ｂの回転軸に装着されたギア（又はローラ）３１Ｂとの間に、アイドルギア（又はアイドルローラ）３２Ｂが介装された構成になっている。

ギア３０は、そのピッチ円直径がクリーニングローラ２の外径と一致するように構成されている。また、ギア３１Ａ、３１Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径とそれぞれ一致するように構成され、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの他端側のギア（図示せず）のピッチ円直径も搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径と一致するように構成されている。

上記構成によっても、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ３Ａ、３Ｂをクリーニングローラ２と同じ周速度で、同一方向に回転駆動させることが可能となる。

また、上記実施の形態では、クリーニング装置１又はクリーニング装置１Ａ、１Ｂを被クリーニング体Ｓの下側に配設し、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１をクリーニングする場合について説明したが、クリーニング装置１又はクリーニング装置１Ａ、１Ｂを被クリーニング体Ｓの下側Ｓ１に配設し、クリーニング装置１、クリーニング装置１Ａ、１Ｂ又は別のクリーニング装置を上側に配設して、被クリーニング体Ｓの上下面を同時にクリーニングするシステム構成とすることも可能である。

フィルム、シート、ガラス基板、プリント基板、プラスチック板など半導体装置搭載用として多く使用される基板等の表面に存在している塵埃を除去するクリーニング装置であって、半導体装置分野などに広く利用可能である。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ クリーニング装置
２、２Ａ、２Ｂ クリーニングローラ
３Ａ、３Ｂ 搬送ローラ
４ ブラシローラ
５ 金属ローラ
６ ブレード
７Ａ、７Ｂ プーリー
８Ａ、８Ｂ プーリー
９Ａ、９Ｂ プーリー
１０Ａ、１０Ｂ 丸ベルト
１１、１２ 側板部
１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ 取付板
１５、１６ 連結板
１７Ａ、１７Ｂ クリーニングローラ用歯車
１８ アイドル歯車
１９Ａ、１９Ｂ 金属ローラ用歯車
２０ ブラシローラ用歯車
２１ 取付部

Claims (6)

1. 被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、
   前記被クリーニング体の下面に接触させるクリーニングローラと、
   該クリーニングローラの前後に近設される搬送ローラとを備え、
   これら搬送ローラの外径が前記クリーニングローラの外径よりも小さく設定されていることを特徴とするクリーニング装置。
2. 前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置していることを特徴とする請求項１記載のクリーニング装置。
3. 前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
4. 前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
5. 前記搬送ローラが金属材料で構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
6. 前記クリーニングローラに接触して該クリーニングローラの表面に存在する塵埃を除去するブラシ体と、
   該ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、
   該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、
   前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載のクリーニング装置。

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