具体实施方式
下文中,将参照附图来详细描述本发明的实施例。
在此描述的实施例中的组成元件可以用现有的组成元件等来替代,并且包括与其它现有的组成元件的组合的各种变化也是可以的。因此,所描述的本发明的范围不受在此描述的实施例的限制。
<实施例1>
将利用图1以及图2来描述本发明的实施例1。在本实施例中,将描述作为半导体器件的具有分级位线结构的存储阵列的示例。在分级位线结构的情况下,可以缩短作为与多个存储单元连接的局部位线的位线的长度,由此减小位线电容,并且可以增大从存储单元读取的信号的幅值。因此,分级位线结构是优选的示例,但是本发明不限于该示例。
本实施例的结构是与单端读出放大器相关的技术,在该单端读出放大器中,输入单个信号,只有一个信号被放大,并且输出被放大的信号。普通的差分读出放大器比单端读出放大器具有更高的增益,抗噪性也更强。差分读出放大器的高增益还缩短了用于变化放大的输出信号的时间。另一方面,单端读出放大器对噪声及其敏感,为了产生放大的输出,需要更高的输入信号。与位线相连的上述读出放大器是单端读出放大器。
另外,只要晶体管是场效应晶体管(FET)就足够了,除了MOS(金属氧化物半导体)之外,本发明也可以应用于MIS(金属-绝缘体半导体)晶体管和各种其它的FET。NMOS晶体管是第一导电类型晶体管的典型示例,PMOS晶体管是第二导电类型晶体管的典型示例。
此外,在本发明中,通过用于驱动存储单元的公共内部电压(例如,从外部电源降压而得的内部电源电压)、VSS电源或其它电压来控制位线电压。例如,本实施例的特性特征在于:不管存储单元信息是“1”还是“0”,在对存储单元进行存取之后的位线电压从内部电源电压或VSS的预定电势沿着(VSS或内部电源电压的)一个方向转变。在半导体器件的外部电源和内部电源的电压降低到接近1V(接近CMOS型读出放大器操作的操作点的极限的电压)的半导体器件中,位线的控制电压与利用单端读出放大器的读出方案相结合,以在更高速度和稳定性与由于制造条件的变化导致的电路稳定性之间产生增强的协同效应。
<存储单元和读出放大器的结构>
图1是示出了根据本实施例的包括与可变电阻存储单元相对应的读出放大器的可变电阻存储单元的一部分的电路的图示。
图1示出了字线WL、位线BL、存储单元10、读出放大器20、全局位线GBL以及全局位线读出和写入电路30,其中,存储单元10设置在字线WL和位线BL的交叉点。
在该布置中,位线BL连接到构成读出放大器的nMOS晶体管Q1的栅极,读取到位线的信号电压被读出/放大并转换为漏电流。将预充电信号PC输入到位线预充电nMOS晶体管Q2的栅极,并且当PC处于高状态时,位线BL被预充电至接地电势VSS。
通过读出放大器读取选择nMOS晶体管Q3的栅极来接收选择信号RE,并且将全局位线GBL和作为读出放大器的输出节点的nMOS晶体管Q1的漏极选择性地连接。通过读出放大器写入选择nMOS晶体管Q4的栅极来接收选择信号WE,并且将位线BL和全局位线GBL选择性地连接。
只要nMOS晶体管Q3和nMOS晶体管Q1串联连接就足够了,它们的连续顺序不必受限。理想地,由于大量的nMOS晶体管Q3连接到全局位线GBL,因此如图1所示,当强调全局位线GBL的低噪声效应时,nMOS晶体管Q3应该连接到全局位线GBL这一侧。
多个位线BL和多个存储单元通过附图中未示出的多个其它读出放大器而连接到全局位线GBL,并且在读取操作时,nMOS晶体管Q3仅将所选择的存储单元属于的读出反大器连接到全局位线GBL。结果,nMOS晶体管Q1根据读取到位线BL的信号来驱动全局位线GBL,并且全局位线读出和写入电路30锁存传输到全局位线GBL的信号,并输出到外部电路(未示出)。
“通过局部位线,用于首先放大作为数据信号的存储单元10的信息的单端读出放大器(读出放大器20)”连接到分级位线结构。读出放大器20包括:放大器Q1,其是单端读出放大器;选择晶体管Q3,其用于读取,并将放大器的输出连接到全局位线。
选择晶体管Q3是用于连接全局位线和放大器的输出的控制信号,但是控制信号还可以包括用于选择多个局部位线和单个全局位线的地址信号或其它选择信息。通常,由于多个存储单元和读出放大器20连接到局部位线BL来形成存储阵列,因此局部位线BL的布线间距等于或小于全局位线GBL的布线间距。
在写入操作时,nMOS晶体管Q4仅将所选择的存储单元属于的读出放大器连接到全局位线GBL。当全局位线读出和写入电路30从附图未示出的外部电路接收写入数据,并驱动全局位线GBL时,位线BL由nMOS晶体管Q4驱动,这导致数据被写入到存储单元。
存储单元10由选择nMOS晶体管Q5和电阻器元件Rs组成,用于基于电阻值的大小来存储数据。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到位线BL,源极连接到电阻器元件Rs的一端。电阻器元件Rs的另一端连接到电源电势VDD。
附图中未示出的多个存储单元连接到位线BL,结果,例如,在本实施例中,位线BL的寄生电容Cb是10fF。虽然没有具体地限定,但是本实施例的电阻器元件Rs中的高阻状态的电阻分布的下限Rs[H]min是100MΩ,并且低阻状态的电阻分布的上限Rs[L]max是100KΩ。结果,由电阻器元件Rs和位线寄生电容Cb组成的系统的时间常数τ当电阻器元件处于高阻状态时是1μs或更高,并且当电阻器元件处于低阻状态时是1纳秒或更低。
使电流流向存储单元是第一电源(VDD)的自然产生的结果,其中,第一电源是存储单元10的电源并与作为nMOS晶体管Q2的电源的第三电源(VSS)具有不同的电压值,并且关于与前述时间常数的差一致的位线电压,其中,所述时间常数的差至少是根据存储单元信息的差,可以将由nMOS晶体管Q1供给的每个电流之间的差调节成与位线电压相对应。具体来说,当高阻状态的电阻分布的下限Rs[H]min是10MΩ时,通过略微增大第一电源(VDD),可以保持nMOS晶体管Q1供给的电流。例如,这可以通过改变第一电源(VDD)和第三电源(VSS)之间的差分电压的值(相对值)来做到,并且其具有以下效果,即,使得可以提供与存储单元供给的电流值波动一致的最佳读出,其中,该存储单元供给的电流值波动是由于存储单元的写入特性等而导致的。此外,下文描述的与nMOS晶体管Q1连接的第二电源(VSS)和与nMOS晶体管Q6连接的第四电源(VDD)之间的电压值的差具有与前述相同的效果。第三电源和第四电源之间的电压值的差也具有相同的效果。另一方面,使第三电源和第四电源具有相同的电压值,使得可以在由多个存储单元组成的存储阵列中共享布置成网(mesh)的两个电源的电源布线。
因此,在读取的过程中,由于在nMOS晶体管Q5导通且位线BL开始充电和放电之后几纳秒,由电阻器元件的电阻值的大小来产生位线BL的电势中足够的差,因此通过将读出时间段设置在该几纳秒内,可以具有裕度地由nMOS晶体管Q1执行读出放大操作。根据上述的操作原则,可以将与位线BL连接的存储单元的数量设置为不同的数,从而获得根据存储单元的电阻值而计算的寄生电容和读出时间段的计划维持时间。
全局位线预充电pMOS晶体管Q6在其栅极接收预充电信号PC的反相信号/PC,并且当/PC处于低状态时,全局位线GBL被预充电至电源电势VDD。全局位线的寄生电容被表示为Cgb。
<在读取过程中的读出放大器的操作波形>
图2是示出了在读取过程中读出放大器的操作波形的图示。横轴表示时间,竖轴表示电压。图2A示出了读取存储单元的低阻状态的情况,图2B示出了读取高阻状态的情况。
首先,在读取低阻状态的情况下,在预充电释放时间段内PC为低且/PC为高,nMOS晶体管Q2和pMOS晶体管Q6均截止(变为不导通),位线BL和全局位线GBL在分别被预充电至VSS和VDD的状态下而悬浮。换言之,在信息从存储单元输出到位线之前,nMOS晶体管Q2将位线控制成第一预定电势(VSS)。该操作至少具有以下效果,即,清除前面的周期内读取的不同存储单元的历史信息。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高(nMOS晶体管已经变为导通)时,以对应于存储单元10的低阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL,并且当选择信号RE变为高(nMOS晶体管Q3变为导通)时,读出时间段开始,当RE变为低(nMOS晶体管Q3变为不导通)时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线的电势高于nMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的上限,因此nMOS晶体管Q1的漏电流较大,并且由全局位线GBL的寄生电容Cgb充入的电荷被快速抽出。由此,全局位线GBL的电势快速从VDD放电至VSS。
换言之,在对存储单元进行存取之后,nMOS晶体管Q3在预定的时间处于导通状态,nMOS晶体管Q1根据位线电压的转变来供给电流,并且全局位线的电势发生转变。
使导通状态保持预定时间的原因在于,至少位线的电势以根据存储单元信息的不同时间常数而发生转变,并且在非常长的时间之后,对于所有的信息,位线电压达到VDD。换言之,必须在将时间常数的差表示为位线电压的差的时间之内,执行与存储单元信息对应的到全局位线的信号传输操作。在预定时间使nMOS晶体管Q3导通,其表示仅仅在最佳位线电压状态(通过单个读出放大器nMOS晶体管Q1供给电流的状态)的时间内,将作为存储单元信息的电压施加到全部位线,并具有防止在全局位线上的读出放大器误操作的效果。
在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势是VSS,该电势被全局位线读出和写入电路30检测为低,并被读取为低数据。nMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布表示由于诸如在制造时的空间变化、栅极绝缘膜厚度的变化和沟道杂质分布的波动的因素而导致的阈值电压的变化范围。
在读取高阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,PC首先为低且/PC为高,nMOS晶体管Q2和pMOS晶体管Q6均截止,位线BL和全局位线GBL在分别被预充电至VSS和VDD的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元10的高阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL,并且当选择信号RE变为高时,读出时间段开始,当RE变为低时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线的电势保持低于nMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的下限,因此nMOS晶体管Q1的漏电流较小,并且由全局位线GBL的寄生电容Cgb充入的电荷几乎没有被抽出。由于读出时间段的末端的全局位线GBL的电势基本上保持为VDD,因此电势被全局位线读出和写入电路30检测为高并被读取为高数据。
通过预充电信号PC使nMOS晶体管Q2为导通状态的时间段可能与存储单元的导通时间段重叠。这使得在单端读出放大器中提供稳定的读取特性。具体来说,根据存储单元供给的电流和nMOS晶体管Q2供给的电流,位线的第一预定电势受到转变,并且nMOS晶体管Q1根据位线的转变电压来供给电流,由此可以消除前述的悬浮时间段,并可以进行抗噪声读出。另外,通过预充电信号PC的反相信号/PC使pMOS晶体管Q6为导通状态的时间段可以与nMOS晶体管Q1的导通状态的时间段重叠。该重叠的效果与前述的效果相同。
<实施例2>
将利用图3以及图4来描述本发明的实施例2。
图3示出了根据本实施例的包括与可变电阻存储单元对应的读出放大器21的可变电阻存储单元的一部分的电路的图示。所示的基本结构与实施例1的相同,下面仅将描述不同的组件。
<存储单元和读出放大器的结构>
预充电信号PC的反相信号/PC被输入到位线预充电pMOS晶体管Q2的栅极,并且当/PC处于低状态时,位线BL被预充电至电源电势VDD。
存储单元11由选择nMOS晶体管Q5和电阻器元件Rs组成,用于基于电阻值的大小来存储数据。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到位线BL,源极连接到电阻器元件Rs的一端。电阻器元件Rs的另一端连接到接地电势VSS。
<在读取过程中的读出放大器的操作波形>
图4是示出了在读取过程中的读出放大器21的操作波形的图示。由于基本操作与实施例1的相同,因此下面只将描述不同的部分。
首先,在读取低阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,/PC变为高,pMOS晶体管Q2和pMOS晶体管Q6均截止,位线BL和全局位线GBL在被预充电至VDD的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元11的低阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号RE变为高时,读出时间段开始,并且当RE变为低时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线的电势低于nMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的下限,因此nMOS晶体管Q1的漏电流较小,并且由全局位线GBL的寄生电容Cgb充入的电荷几乎没有被抽出。
由于在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势基本上保持为VDD,因此电势被全局位线读出和写入电路30检测为高,被反相电路(未示出)反相并被读取为低数据。
在读取高阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,/PC首先变为高,pMOS晶体管Q2和pMOS晶体管Q6均截止,位线BL和全局位线GBL在被预充电至VDD的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元11的高阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号RE变为高时,读出时间段开始,并且当RE变为低时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线BL的电势保持高于nMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的上限,因此nMOS晶体管Q1的漏电流较大,并且由全局位线GBL的寄生电容Cgb充入的电荷被快速抽出。全局位线GBL的电势由此快速放电至VSS。在读出时间段的末端的全局位线GBL的电势为VSS,该电势被全局位线读出和写入电路30检测为低,被反相电路(未示出)反相并被读取为高数据。
<实施例3>
将利用图5以及图6A和6B来描述本发明的实施例3。
图5示出了根据本实施例的包括与可变电阻存储单元相对应的读出放大器22的可变电阻存储单元的一部分的电路的图示。所示的基本结构与实施例1的基本结构相同,下面仅将描述不同的组件。
<存储单元和读出放大器的结构>
位线BL连接到构成读出放大器22的pMOS晶体管Q1的栅极,pMOS晶体管Q1读出/放大读取到位线的信号电压,并将该信号电压转换成漏电流。读出放大器22读取选择pMOS晶体管Q3在其栅极接收选择信号的反相信号/RE,并且选择性地连接全局位线GBL和作为读出放大器22的输出节点的pMOS晶体管Q1的漏极。全局位线预充电nMOS晶体管Q6在其栅极接收预充电信号PC,并且当PC处于高状态时,全局位线GBL被预充电至接地电势VSS。
<在读取过程中的读出放大器的操作波形>
图6是示出了在读取过程中的读出放大器22的操作波形的图示。由于基本操作与实施例1的相同,因此下面只将描述不同的部分。
首先,在读取低阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,PC变为低,并且nMOS晶体管Q2和nMOS晶体管Q6均截止,位线BL和全局位线GBL在被预充电至VSS的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元12的低阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号RE的反相信号/RE变为低时,读出时间段开始,并且当/RE变为高时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线BL的电势高于pMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的上限,因此pMOS晶体管Q1的漏电流较小,并且由全局位线GBL的寄生电容Cgb充入的电荷几乎没有被抽出。
由于在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势基本上保持为VSS,因此该电势被全局位线读出和写入电路30检测为低,并被读取为低数据。
在读取高阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,PC首先变为低,并且nMOS晶体管Q2和nMOS晶体管Q6均截止,位线BL和全局位线GBL在被预充电至VSS的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元12的高阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号RE的反相信号/RE变为低时,读出时间段开始,当/RE变为高时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线BL的电势保持低于pMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的下限,因此pMOS晶体管Q1的漏电流较大,并且全局位线GBL的寄生电容Cgb被快速充电。全局位线GBL的电势由此快速从VSS充电至VDD。在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势为VDD,该电势被全局位线读出和写入电路30检测为高,并被读取为高数据。
<实施例4>
将利用图7以及图8A和8B来描述本发明的实施例4。
图7示出了根据本实施例的包括与可变电阻存储单元相对应的读出放大器23的可变电阻存储单元的一部分的电路的图示。所示的基本结构与实施例1的基本结构相同,下面仅将描述不同的组件。
<存储单元和读出放大器的结构>
位线BL连接到构成读出放大器23的pMOS晶体管Q1的栅极,pMOS晶体管Q1读出/放大读取到位线的信号电压,并将该信号电压转换成漏电流。预充电信号PC的反相信号/PC被输入到位线预充电pMOS晶体管Q2的栅极,并且当/PC处于低状态时,位线BL被预充电至电源电势VDD。
读出放大器23读取选择pMOS晶体管Q3在其栅极接收选择信号RE的反相信号/RE,并且选择性地连接全局位线GBL和作为读出放大器23的输出节点的pMOS晶体管Q1的漏极。
存储单元13由选择nMOS晶体管Q5和电阻器元件Rs组成,用于基于电阻值的大小来存储数据。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到位线BL,并且源极连接到电阻器元件Rs的一端。电阻器元件Rs的另一端连接到接地电势VSS。
全局位线预充电nMOS晶体管Q6在其栅极接收预充电信号PC,并且当PC处于高状态时,全局位线GBL被预充电至接地电势VSS。
<在读取过程中的读出放大器的操作波形>
图8是示出了在读取过程中的读出放大器23的操作波形的图示。由于基本操作与实施例1的相同,因此下面只将描述不同的部分。
首先,在读取低阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,PC变为低且/PC变为高,pMOS晶体管Q2和nMOS晶体管Q6均截止,并且位线BL和全局位线GBL在分别被预充电至VDD和VSS的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元13的低阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号的反相信号/RE变为低时,读出时间段开始,当/RE变为高时,读出时间段结束。
在读出时间段期间,由于位线BL的电势保持低于pMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的下限,因此pMOS晶体管Q1的漏电流较大,并且全局位线GBL的电势快速从VSS变为VDD。
在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势为VDD,该电势被全局位线读出和写入电路30检测为高,被反相电路(未示出)反相并被读取为低数据。
在读取高阻状态的情况下,在预充电释放时间段内,PC首先变为低且/PC变为高,pMOS晶体管Q2和nMOS晶体管Q6均截止,并且位线BL和全局位线GBL在分别被预充电至VDD和VSS的状态下悬浮。
随后,当单元选择时间段出现时,在字线WL已经变为高时,以对应于存储单元13的高阻状态的时间常数,信号电压被读取到位线BL。当随后选择信号的反相信号/RE变为低时,读出时间段开始,并且当/RE变为高时,读出时间段结束。
在读出时间段内,由于位线BL的电势保持高于pMOS晶体管Q1的阈值电压Vt的分布的上限,因此pMOS晶体管Q1的漏电流较小,并且全局位线GBL的寄生电容几乎没有被充电。由于在读出时间段的末端,全局位线GBL的电势基本上保持为VSS,因此该电势被全局位线读出和写入电路30检测为低,被反相电路(未示出)反相并被读取为高数据。
根据上述的实施例,采用的构造使得当从存储单元读取信号时,位线的电容减小,并且因此甚至通过具有高电阻的可变电阻存储单元都可以进行快速地充电和放电。因此,信号被单个MOS晶体管放大,并且读出放大器的表面积因此显著地降低。通过利用在其中多个读出放大器连接到全局位线的分级位线结构,通过全局读出放大器来进行信息读取和写入控制,在防止芯片面积和电流消耗增大的同时可以保持与DRAM的兼容性。
<修改1>
图9示出了可变电阻存储单元的修改1。由于读出放大器部分的结构与图1中的相同,因此该结构也可以应用于图3、图5和图7所示的电路。
本修改的存储单元14由选择nMOS晶体管Q5和电阻器元件Rs组成,用于基于电阻值的大小来存储数据。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到电源电势VDD,并且源极连接到电阻器元件Rs的一端。电阻器元件Rs的另一端连接到位线BL。当利用本修改的存储单元14时的操作与图1中的基本上相同,并且当存储单元14应用到图3、图5和图7中所示的电路时的操作与当利用图3、图5和图7中所示的存储单元时的操作基本上相同。
<修改2>
图10示出了可变电阻存储单元的修改2。由于读出放大器部分的结构与图1中的相同,因此该结构也可以应用于图3、图5和图7所示的电路。
本修改的存储单元15由浮体(floating-body)nMOS晶体管Q5组成,其中,nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到电源电势VDD,并且源极连接到位线BL。
在nMOS晶体管Q5的浮体中累积空穴的状态下,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt减小,并且“导通”(on)电阻减小。例如,此时的“导通”电流的下限i(H)min为10μA。当在nMOS晶体管Q5的浮体中没有累积空穴时,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt增大,并且“导通”电阻增大。例如,此时的“导通”电流的上限i(L)max为10nA。由于在图1、图3、图5和图7所示的存储单元的操作中流经电阻器元件的电流与本修改中的nMOS晶体管Q5的“导通”电流基本上相等,因此利用与图2A和2B、图4A和4B、图6A和6B、以及图8A和8B所示的相同控制方法,可以进行利用本修改的操作。
<修改3>
图11示出了可变电阻存储单元的修改3。由于读出放大器部分的结构与图1中的相同,因此该结构也可以应用于图3、图5和图7所示的电路。
本修改的存储单元16由nMOS晶体管Q5组成,在nMOS晶体管Q5中,在栅极绝缘膜中设置了电荷捕获区,并且根据在其中电子累积在nMOS晶体管Q5的电荷捕获区中的状态,以及在其中没有电子累积在nMOS晶体管Q5的电荷捕获区中的状态来存储信息。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到电源电势VDD,并且源极连接到位线BL。
在没有电子累积在nMOS晶体管Q5的电荷捕获区中的状态下,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt减小,并且“导通”电阻减小。例如,此时的“导通”电流的下限i(H)min为10μA。当电子累积在nMOS晶体管Q5的电荷捕获区中时,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt增大,并且“导通”电阻增大。例如,此时的“导通”电流的上限i(L)max为10nA。由于在图1、图3、图5和图7所示的存储单元的操作中流经电阻器元件的电流与本修改中的nMOS晶体管Q5的“导通”电流基本上相等,因此利用与图2A和2B、图4A和4B、图6A和6B、以及图8A和8B所示的相同控制方法,可以进行利用本修改的操作。
<修改4>
图12示出了可变电阻存储单元的修改4。由于读出放大器部分的结构与图1中的相同,因此该结构也可以应用于图3、图5和图7所示的电路。
本修改的存储单元17由nMOS晶体管Q5组成,该nMOS晶体管Q5具有在栅极绝缘膜中使用了铁电物质的结构,并且根据铁电膜的极性的方向来存储信息。nMOS晶体管Q5的栅极连接到字线WL,漏极连接到电源电势VDD,并且源极连接到位线BL。
当nMOS晶体管Q5的铁电膜的极化方向处于在其中沟道侧为正的状态时,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt减小,并且“导通”电阻减小。例如,此时的“导通”电流的下限i(H)min为10μA。当nMOS晶体管Q5的极化方向处于在其中沟道侧为负的状态时,nMOS晶体管Q5的阈值电压Vt增大,并且“导通”电阻增大。例如,此时的“导通”电流的上限i(L)max为10nA。由于在图1、图3、图5和图7所示的存储单元的操作中流经电阻器元件的电流与本修改中的nMOS晶体管Q5的“导通”电流基本上相等,因此利用与图2A和2B、图4A和4B、图6A和6B、以及图8A和8B所示的相同控制方法,可以进行利用本修改的操作。
根据上述的修改,当存储单元由电阻器和MOS晶体管组成、由浮体MOS晶体管组成、由在其中电荷捕获区设置在栅极绝缘膜中的MOS晶体管组成、或者由在其中在栅极绝缘膜中使用铁电物质的MOS晶体管组成时,可以通过与实施例中的上述的单端读出放大器的控制方法相同的控制方法来控制存储单元。
在根据如上所述的实施例的读出电路中,通过单个MOS晶体管来放大信号电压,由此防止了芯片面积的增大。因此,读出电路还可以用在具有高的集成度的数据处理系统等中。
虽然以上参照附图详细描述了本发明的实施例,但是本发明的具体构造不受限于实施例,并且本发明还包含没有脱离本发明的预期范围外的范围内的设计等。
例如,在当前的实施例中,如上述构造MOS晶体管的极性,但是也可以形成在其中MOS晶体管的极性全部颠倒的电路。在这种情况下,电源电势和地的关系被颠倒,控制信号的极性也被颠倒。