CN101443862A - 稀土类永久磁铁的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于，提供一种稀土类永久磁铁的制造方法，所述稀土类永久磁铁在表面具有发挥优良的耐盐水性的含Mg的Al覆膜。为实现其目的，本发明提供一种表面具有蒸镀形成的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁的制造方法，其特征在于，在蒸镀装置的处理室内将蒸镀工序结束后处于160℃以上的高温的磁铁冷却时，以10℃/分钟以上的冷却速度将磁铁急冷到磁铁的温度至少达到60℃。

Description

稀土类永久磁铁的制造方法
技术领域
本发明涉及耐盐水性优良的稀土类永久磁铁的制造方法。更详细地说，涉及表面具有发挥优良的耐盐水性的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁的制造方法。
背景技术
以Nd-Fe-B系永久磁铁为代表的R-Fe-B系永久磁铁及以Sm-Fe-N系永久磁铁为代表的R-Fe-N系永久磁铁等稀土类永久磁铁使用资源丰富且廉价的材料，且具有高的磁特性，因此，特别是R-Fe-B系永久磁铁目前在各种领域被广泛使用。
但是，由于稀土类永久磁铁含有反应性高的稀土类金属：R，故在大气中容易氧化腐蚀，在对表面不进行任何处理而使用时，稍微的酸及碱及水分等存在就会从表面开始腐蚀并产生锈，随之导致磁特性劣化或偏差。另外，在将产生了锈的磁铁组装于磁回路等装置时，锈飞散而可能污染周边部件。
鉴于以上点，为赋予稀土类永久磁铁优良的耐腐蚀性，而通过蒸镀法等气相镀敷法在其表面形成Al覆膜。Al覆膜不仅耐腐蚀性优良，而且与进行部件组装时所需的粘接剂的粘接可靠性优良(在粘接剂达到本质上具有的破坏强度之前，覆膜和粘接剂之间难以产生剥离)，因此，对要求强的粘接强度的稀土类永久磁铁广泛适用，表面具有Al覆膜的稀土类永久磁铁被组装入各种电动机等使用。
各种电动机中，对于装入汽车用电动机的稀土类永久磁铁而言，由于使用环境的温度变化急剧，且在寒冷地域暴露于散布在道路上的防冻剂中包含的氯离子、或在海岸附近暴露于盐水，因此可以说其是处于最严酷的使用环境的磁铁。因此，装入汽车用电动机的稀土类永久磁铁要求即使进行作为最严酷的耐腐蚀性试验的盐水喷雾试验也能够发挥优良的耐腐蚀性，但很遗憾，Al覆膜的耐盐水性未必充分。作为提高表面具有Al覆膜的稀土类永久磁铁的耐盐水性的方法，考虑在Al覆膜的表面层叠形成化学处理覆膜(专利文献1)、或层叠形成金属氧化物覆膜(专利文献2)的方法，但存在制造工序复杂、或其中的耐盐水性不充分的问题。
专利文献3中记载有，通过在大气开放下的热浸镀Al系钢板的镀敷表面形成含有Mg和氧的覆膜，从而即使在盐害环境下也能够得到足够的耐腐蚀性，作为形成这样的覆膜的方法，举出通过将钢板浸渍到含Al和Mg的浴中来进行热浸镀Al后将其放置于大气中来进行表面氧化的方法。但是，该方法由于以下理由而不能应用于稀土类永久磁铁。
·当对磁铁进行500℃以上条件下的热浸镀Al时，磁铁的表面因高热而与Al反应并变质，从而磁特性劣化。
·磁铁表面的变质特别对小型磁铁的磁特性造成很大不良影响。
·热浸镀敷基本上以浸渍→提起来进行，因此在磁铁上残留触点痕迹。
于是，本发明人中的一人在专利文献4中提出在磁铁表面蒸镀形成含有3质量％～10质量％的Mg的Al覆膜的方法作为对稀土类永久磁铁赋予耐盐水性的方法。
专利文献1：特开2000-150216号公报
专利文献2：特开2000-232011号公报
专利文献3：特开2000-282262号公报
专利文献4：特开2005-191276号公报
本发明人中的一人在专利文献4中提出的上述方法作为对稀土类永久磁铁赋予耐盐水性的方法是优良的，与他人达成共识，但至今对稀土类永久磁铁要求耐盐水性的进一步提高。
发明内容
于是，本发明的目的在于，提供一种稀土类永久磁铁的制造方法，该稀土类永久磁铁在表面具有发挥优良的耐盐水性的含Mg的Al覆膜。
本发明人基于以上点反复进行了刻意探讨，其结果发现，在蒸镀装置的处理室内在稀土类永久磁铁的表面形成含有Mg的Al覆膜后将磁铁冷却时，通过可靠地进行磁铁的温度管理，形成于磁铁表面的含Mg的Al覆膜发挥优良的耐盐水性。
基于上述见解，本发明第一方面提供一种稀土类永久磁铁的制造方法，制造表面具有蒸镀形成的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁，其特征在于，在蒸镀装置的处理室内将蒸镀工序结束后处于160℃以上的高温的磁铁冷却时，以10℃/分钟以上的冷却速度将磁铁急冷到磁铁温度至少达到60℃。
另外，本发明第二方面在第一方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，在进行冷却操作之前将磁铁于160℃以上至少保持5分钟。
另外，本发明第三方面在第一方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，通过向处理室内导入氮气来进行急冷。
另外，本发明第四方面在第一方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，通过在大气中放冷来进行急冷。
另外，本发明第五方面在第一方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，作为蒸镀材料，使用含有3质量％～10质量％的Mg的Al丝。
另外，本发明第六方面在第一方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，Al覆膜的组织结构包含以Al为主成分且含Mg的主相、以及含Al和Mg且Mg浓度比主相的Mg浓度高的Mg浓缩相。
另外，本发明第七方面在第六方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，主相为平均结晶粒径100nm～2μm的结晶相，Mg浓缩相是以非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成。
另外，本发明第八方面在第六方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，Mg浓缩相从磁铁界面到膜表面在覆膜的厚度方向分布。
另外，本发明第九方面在第六方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，Mg浓缩相的宽度为10nm～500nm。
另外，本发明第十方面在第六方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，主相含有95质量％以上的Al，Mg浓缩相含有10质量％～25质量％的Mg。
另外，本发明第十一方面在第六方面的基础上，提供一种制造方法，其特征在于，主相含有0.01质量％～5质量％的Mg。
另外，本发明的稀土类永久磁铁，其特征在于，在表面具有Al覆膜，该Al覆膜为蒸镀形成的含Mg的Al覆膜，其组织结构为：包含以平均结晶粒径为100nm～2μm的Al为主成分且含有Mg的主相、以及以非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成的含有Al和Mg且Mg浓度比主相的Mg浓度高的Mg浓缩相，Mg浓缩相从磁铁界面到膜表面在覆膜的厚度方向分布，宽度为10nm～500nm，主相含有95质量％以上的Al，Mg浓缩相含有10质量％～25质量％的Mg。
根据本发明，可提供一种表面具有发挥优良的耐盐水性的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁的制造方法。
附图说明
图1是实施例的含Mg的Al覆膜的组织结构的透射电子显微镜照片。
图2是与上述同样的样品的电子线衍射图像。
图3是可用于实施本发明的蒸镀装置之一例的模式正面图。
符号说明
1  处理室
2  坩锅(熔融蒸发部)
3  支承工作台
4  坩锅支承台
5  被处理物保持部
6  旋转轴
10  含Mg的Al(熔融了的蒸镀材料)
11  含Mg的Al丝
20  供线盘
21  保护管
22  切口窗
23  输送齿轮
30  稀土类永久磁铁
具体实施方式
本发明提供在表面具有蒸镀形成的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁的制造方法，其特征在于，在蒸镀装置的处理室内将蒸镀工序结束后处于160℃以上的高温的磁铁冷却时，将磁铁以10℃/分钟以上的冷却速度急冷到磁铁的温度至少达到60℃。
作为可用于实施本发明的蒸镀装置，例如举出特开2001-32062号公报中记载的将丝状蒸镀材料连续供给到加热的熔融蒸发部并使其蒸发，由此在磁铁的表面形成蒸镀覆膜的蒸镀装置。下面，对以含Mg的Al丝为蒸镀材料，使用特开2001-32062号公报中记载的蒸镀装置实施本发明时的概略进行说明。
图3是可用于实施本发明的蒸镀装置之一例的模式正面图，在与图略的真空排气系统连接的处理室(真空槽)1内的下部，在立设于支承工作台3上的坩锅支承台4上配设有多个使含Mg的Al10蒸发的熔融蒸发部即坩锅(用于使蒸镀材料熔融的容器)2。另外，在处理室1内的上方，以旋转轴6为中心旋转自如地并设有两个由网状部件形成的笼状的被处理物保持部5。在支承工作台3的下方内部，在供线盘20上卷绕保持着作为蒸镀材料的含Mg的Al丝11。将含Mg的Al丝11向供线盘20卷绕的方向设为水平方向是为了防止送出的丝因与丝的进给方向即垂直方向正交而扭曲或偏离。含Mg的Al丝11的前端通过朝向坩锅2的内面的耐热性的保护管21引导向坩锅2的上方。在保护管21的局部设有切口窗22，通过与该切口窗22对应设置的一对输送齿轮23将含Mg的Al丝11以规定的输送速度自如地送向坩锅2内。根据该蒸镀装置，将稀土类永久磁铁30收容于被处理物保持部5内，如箭头所示，使被处理物保持部5旋转，同时边将含Mg的Al丝11连续供给到通过图略的加热装置加热到规定温度的坩锅2，边使含Mg的Al10蒸发，由此可在被处理物保持部5内的稀土类永久磁铁30的表面蒸镀形成含Mg的Al覆膜。
Al丝中包含的Mg量优选3质量％～10质量％。不足3质量％时，在稀土类永久磁铁的表面蒸镀形成的Al覆膜中包含的Mg量减少，难以形成有助于Al覆膜的耐盐水性提高的Mg浓缩相，由此，有可能不能对Al覆膜赋予优良的耐盐水性，另一方面，当超过10质量％时，由于丝的硬度提高，将丝输送到熔融蒸发部内的作业性可能变差，或熔融蒸发部内未熔融的蒸镀材料可能引起飞溅。另外，当处理室内存在氧时，由于在使蒸镀材料熔融的阶段及使蒸镀材料蒸发的阶段将Mg氧化，使Al覆膜中包含的Mg量比蒸镀材料中包含的Mg量减少，因此，在这一点上应留意。
鉴于以上所述，优选含Mg的Al丝含有氢。在使蒸镀材料蒸发时，可向处理室内供给氢，因此，即使不通过其它途径的装置从处理室外部供给氢，也可以使处理室内为还原性氛围气，例如即使在10-3Pa以上这样的氧分压下，也可以防止熔融的阶段及蒸发的阶段的蒸镀材料的氧化。含Mg的Al丝的氢含量优选1ppm～20ppm，更优选2ppm～10ppm。不足1ppm时，有可能不能向处理室内充分供给氢，另一方面，超过20ppm时，在熔融蒸发部氢沸腾而可能引起飞溅。
熔融蒸发部的加热温度优选1300℃～1500℃。不足1300℃时，有可能不能高效地熔融蒸镀材料。当不能高效地熔融蒸镀材料时，Al的蒸气压和Mg的蒸气压的不同(Mg的蒸气压高)，对蒸镀形成的Al覆膜的金属组成造成很大影响，且引起Al覆膜中包含的Mg量与Al丝中包含的Mg量大大不同这样的现象，有时不能蒸镀形成想得到的金属组成的Al覆膜。另一方面，超过1500℃时，由于周边温度过高，丝软化，在图1中的保护管21的内部发生堵塞等，因此，有可能不能将其向熔融蒸发部圆滑地进行连续供给。
含Mg的Al丝向熔融蒸发部送出的速度优选1g/分钟～10g/分钟，更优选2g/分钟～5g/分钟。不足1g/分钟时，有可能不能有效地熔融蒸镀材料，另一方面，超过10g/分钟时，可能在熔融蒸发部内不能熔融的蒸镀材料会引起飞溅。
另外，熔融蒸发部的加热温度和含Mg的Al丝向熔融蒸发部的送出速度优选按照在蒸镀工序时稀土类永久磁铁的温度不超过255℃的方式进行设定。超过255℃时，磁铁表面形成的Al覆膜软化，可能导致膜缺陷。
在以以上那样的条件在稀土类永久磁铁的表面蒸镀形成所希望膜厚(例如0.1μm～50μm)的含Mg的Al覆膜(优选Al覆膜中包含的Mg量为3质量％～20质量％)时，磁铁在处理室内达到160℃以上、典型地达到180℃以上的高温。本发明中，在蒸镀工序结束后在处理室内将处于这样的高温的磁铁冷却时，以10℃/分钟以上的冷却速度将磁铁急冷到磁铁温度至少达到60℃。由此，在磁铁表面形成的含Mg的Al覆膜发挥优良的耐盐水性。急冷操作例如可通过向处理室内导入氮气(优选15℃以下的氮气)来进行，但也可以通过在大气中(优选25℃以下)放冷来进行。也可以将以上组合进行。另外，急冷操作也可以以一定的冷却速度从操作开始进行到操作结束。另外，也可以逐渐提高或降低冷却速度或采用多个冷却速度以多阶段进行。这些情况下，本发明中的“10℃/分钟以上的冷却速度”意味着从操作开始到操作结束的平均冷却速度。另外，冷却速度的上限优选100℃/分钟，更优选50℃/分钟。超过100℃/分钟时，有可能会对磁铁表面形成的Al覆膜的附着性造成影响。
在处理室内，在蒸镀工序结束后将处于160℃以上的高温的磁铁冷却时，通过以10℃/分钟以上的冷却速度将磁铁急冷到磁铁温度至少达到60℃，含Mg的Al覆膜为包含以Al为主成分且含Mg的主相、和含Al和Mg且Mg浓度比主相的Mg浓度高(例如3倍以上)的Mg浓缩相的组织结构，具体而言，为如下组织结构：包含平均结晶粒径100nm～2μm的结晶相的以Al为主成分的主相、以及由非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成的将Mg浓缩后的Mg浓缩相，Mg浓缩相以宽度10nm～500nm从磁铁界面到膜表面沿覆膜的厚度方向连续或者断续地分布，主相含有95质量％以上的Al(固溶0.01质量％～5质量％的Mg)，Mg浓缩相含有10质量％～25质量％的Mg。在后述的实施例中详述，通过在蒸镀工序结束后将磁铁急冷，认为磁铁表面形成的含Mg的Al覆膜发挥优良的耐水性与含Mg的Al覆膜为这种特异的组织结构有关。
实施例
下面，通过实施例对本发明做更详细说明，但并不应解释为本发明限于此实施例。另外，以下的实施例和比较例例如美国专利4770723号公报及美国专利4792368号公报中所记载，使用将公知的铸造坯料粉碎，在微粉碎后进行成形、烧结、热处理、表面加工而得到的17Nd-1Pr-75Fe-7B组成(at％)的42mm×20mm×2mm尺寸的烧结磁铁(以下称作磁铁试验片)进行。另外，蒸镀装置使用使用如下装置，在真空槽内左右平行具有两个图3所示的由直径355mm×长1200mm的不锈钢制的金属网制作的圆筒形筒体，使圆筒形筒体旋转，同时边将丝状蒸镀材料连续向熔融蒸发部供给，边进行蒸镀处理。
(实施例)
对磁铁试验片进行喷砂加工，将前工序的表面加工中产生的试验片表面的氧化层除去。将除去了该氧化层后的磁铁试验片在各圆筒形筒体内各收纳1.5kg，将真空槽内真空排气到1×10-1Pa后，供给Ar气体，使得真空槽内的全压力达到1.0Pa。之后，使圆筒的旋转轴以6.0rpm旋转，同时在偏压电压0.5kV的条件下进行15分钟的辉光放电，将磁铁试验片的表面清洁化。
接着，在Ar气压1.0Pa、偏压电压1.0kV的条件下以丝进给速度3.9g/分钟连续供给作为蒸镀材料的含氢量为5ppm的含有5质量％的Mg的Al丝(以JIS A5356为基准的Al丝)，同时对其进行加热使其蒸发(坩锅温度：1400℃)，进行30分钟蒸镀，在磁铁试验片表面蒸镀形成含Mg的Al覆膜。蒸镀工序结束时的磁铁试验片的温度达到200℃，但不超过255℃(将切削并包裹在Al箔内的日油技研工业社制的255℃的测热笔(thermo crayon)和200℃的测热笔缠绕在一个磁铁试验片上时，只有200℃的测热笔熔融)。蒸镀工序结束后，马上向处理室内导入15℃的氮气，将磁铁试验片急冷，之后将处理室内向大气开放，取出磁铁试验片，在大气中(25℃以下)按照不重叠的方式摆放在Al制的盘(バツト)内放冷，通过放射温度计测定磁铁试验片的温度时，其为43℃。另外，从向处理室内导入氮气到测定磁铁试验片的温度的时间为8分钟。因此，由于将至少达到200℃的磁铁试验片以8分钟冷却到43℃，故磁铁试验片的冷却速度为19.6℃/分钟以上(磁铁试验片达到接近255℃时冷却速度最大为26.5℃/分钟)。
将如上得到的表面具有含Mg的Al覆膜的磁铁试验片投入喷丸加工装置，将作为喷射材料的平均粒径120μm且莫氏硬度为6的球状玻璃珠粉末与由氮气构成的加压气体一起以喷射压0.15MPa喷射5分钟，对含Mg的Al覆膜进行喷丸加工处理。使用荧光X射线膜厚计(セイコ—电子社制SFT-7000)测得的进行了喷丸加工处理的含Mg的Al覆膜的膜厚为11.5μm。另外，使用原子发光分析装置(ICP-AES：岛津制作所社制ICPS-7500)将与磁铁试验片一起收容于圆筒形筒体内的玻璃板(35mm×10mm×1mm)的表面上蒸镀形成的Al覆膜的组成进行测定，Al覆膜中包含的Mg量为5.9质量％。对在表面具有进行了喷丸加工处理的含Mg的Al覆膜的磁铁试验片进行35℃-5％NaCl-pH7.0条件(以JIS Z 2371为基准)的盐水喷雾试验，观察有无生锈时，从试验开始经过500小时后也未观察到生锈时，另外，也未能确认实用上成为问题的磁特性的劣化。
由透射电子显微镜(日立制作所社制HF2100)观察进行了喷丸加工处理的含Mg的Al覆膜的组织结构。图1中表示其照片。另外，图2表示图中a所示的颜色淡的部分和图中b所示的颜色浓的部分的电子线衍射图像。另外，表1表示采用了X射线分析装置(EDX：NORAN社制)的覆膜组成的测定结果。由图1和图2和表1得知，该含Mg的Al覆膜的组织结构，包含含有平均结晶粒径800nm的结晶相的以Al为主成分的主相(图中a所示的部分)、以及由非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成的Mg浓缩后的Mg浓缩相(图中b所示的部分)，Mg浓缩相以宽度10nm～500nm从磁铁界面到膜表面沿覆膜的厚度方向连续或者断续地分布。另外，得知，主相含有96.1质量％的Al(固溶2.5质量％的Mg)，Mg浓缩相含有21.6质量％的Mg，具有如下微细结晶相的混相组织，即，以Al为主成分固溶0.01质量％～5质量％的Mg的微细结晶相或非晶质相和认为包含Al3Mg2的微细结晶相。迄今为止没有有关包含这样的组织结构的含Mg的Al覆膜的报告，得知该覆膜为新的覆膜。
表1
 
Al Mg 0
主相 96.1 2.5 1.4
Mg浓缩相 76.5 21.6 1.9
单位：质量％
(考察)
通过在蒸镀工序结束后将磁铁急冷而形成于其表面的含Mg的Al覆膜发挥优良的耐盐水性，认为与是覆膜为上述那样的特异的组织结构有关。通常，蒸镀工序结束后的磁铁的冷却工序通过在处理室内花费时间逐渐冷却(缓冷却)，将磁铁的温度降低某程度后将处理室对大气开放来进行，但采用这种冷却工序时，覆膜未成为上述那样的特异的组织结构，在35℃-5％NaCl-pH7.0条件(以JIS Z 2371为基准)的盐水喷雾试验中，经过500小时后观察到生锈(毫无疑问，由于经过300小时后未观察到生锈，故作为该覆膜在耐盐水性方面也是优良的)。
覆膜组织结构的差异和耐盐水性的差异的关系认为如下考虑是适合的。即，含Mg的Al覆膜从蒸镀工序开始时到蒸镀工序结束时，在高温下Mg在覆膜中扩散，由此，本来形成了上述那样的特异的组织结构。而且，该组织结构在蒸镀工序之后通过将磁铁急冷未变化而维持，因Mg浓缩相的存在而发挥优良的耐盐水性。认为构成Mg浓缩相的Al3Mg2由于电位低于Al的电位，故推测只要与盐水接触，就分解而生成MgO或Mg(OH)2。由于MgO或Mg(OH)2的耐盐水性较优良，故在覆膜中担当对盐水的阻挡层的功能，有效地防止由盐水引起的磁铁的腐蚀。由于Mg浓缩相从磁铁界面到膜表面沿覆膜的厚度方向连续或者断续地分布，故即使在某位置对盐水的阻挡层被破坏，由于从认为在Mg浓缩相中存在的Al3Mg2依次生成MgO或Mg(OH)2，从而可以再形成阻挡层，结果发挥优良的耐盐水性。另外，使用马卡斯(Marcus)型辉光放电发光分析装置(掘场制作所社制)进行盐水喷雾试验后的覆膜的表面的组成分析时，作为元素可确认Al、Mg、O、H，Mg浓度相对于Al浓度的比例在覆膜表面比在覆膜内部高。该事实可以说是支持MgO或Mg(OH)2在覆膜中担当作为对盐水的阻挡层的功能的上述考虑方法。与之相对，在蒸镀工序结束后将磁铁缓冷时，即使在高温下一旦形成上述那样的特异的组织结构，由于覆膜中的Mg浓缩相的分布不均匀、或Mg浓缩相中包含的Mg量低、或微细结构损失，从而组织结构会变化，结果是耐盐水性降低。
在如上考虑通过在蒸镀工序后将磁铁急冷而形成于其表面的含Mg的Al覆膜发挥优良的耐盐水性的理由时，为使Mg在整个覆膜上更均匀地扩散而作成更稳定的上述那样的特异的组织结构的覆膜，优选将覆膜更长时间地置于高温下、例如在进行冷却操作之间将磁铁于160℃以上至少保持5分钟。将覆膜长时间置于高温下也有可使覆膜的组织结构持久保持一定的效果。在上述实施例中，通过在预备试验中进行25分钟蒸镀，确认了蒸镀工序结束时的磁铁试验片的温度达到160℃(将切削并包裹在Al箔内的日油技研工业社制的160℃的测热笔缠绕在一个磁铁试验片上时，测热笔熔融了)，因此，磁铁试验片于160℃以上至少被保持了5分钟。另外，上述实施例的覆膜形成通过将蒸镀材料简单进行加热使其蒸发来形成覆膜的真空蒸镀法进行，但覆膜形成也可以通过将蒸发的蒸镀材料离子化来形成覆膜的离子镀敷法或溅射法或EB法进行。根据覆膜形成方法，在采用一般的处理条件时，由于可以不使磁铁为高温而形成覆膜、或在短时间内形成覆膜，由此，也有时在蒸镀工序结束时磁铁的温度未达到160℃。这种情况下，只要在蒸镀工序结束之后将磁铁加热到160℃以上即可。在能够防止由于覆膜软化而引起的覆膜产生损伤及产生突起这一点上优选加热温度的上限为300℃。
产业上的可利用性
本发明在可提供在表面具有发挥优良的耐盐水性的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁的制造方法这一点上具有产业上的可利用性。

Claims (12)

1、一种稀土类永久磁铁的制造方法，制造表面具有蒸镀形成的含Mg的Al覆膜的稀土类永久磁铁，其特征在于，在蒸镀装置的处理室内将蒸镀工序结束后处于160℃以上的高温的磁铁冷却时，以10℃/分钟以上的冷却速度将磁铁的温度急冷到至少达到60℃。
2、如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在进行冷却操作之前将磁铁于160℃以上至少保持5分钟。
3、如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，通过向处理室内导入氮气来进行急冷。
4、如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，通过在大气中放冷来进行急冷。
5、如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，作为蒸镀材料，使用含有3质量％～10质量％的Mg的Al丝。
6、如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，Al覆膜的组织结构包含以Al为主成分且含Mg的主相、以及含Al和Mg且Mg浓度比主相的Mg浓度高的Mg浓缩相。
7、如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，主相为平均结晶粒径100nm～2μm的结晶相，Mg浓缩相是以非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成。
8、如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，Mg浓缩相从磁铁界面到膜表面在覆膜的厚度方向分布。
9、如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，Mg浓缩相的宽度为10nm～500nm。
10、如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，主相含有95质量％以上的Al，Mg浓缩相含有10质量％～25质量％的Mg。
11、如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，主相含有0.01质量％～5质量％的Mg。
12、一种稀土类永久磁铁，其特征在于，在表面具有Al覆膜，该Al覆膜为蒸镀形成的含Mg的Al覆膜，其组织结构为：包含以平均结晶粒径为100nm～2μm的Al为主成分且含有Mg的主相、以及以非晶质及/或平均结晶粒径为20nm以下的微细结晶的集合组织构成的含有Al和Mg且Mg浓度比主相的Mg浓度高的Mg浓缩相，Mg浓缩相从磁铁界面到膜表面在覆膜的厚度方向分布，宽度为10nm～500nm，主相含有95质量％以上的Al，Mg浓缩相含有10质量％～25质量％的Mg。
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