CN100522611C - 丝网印刷装置的遮片重叠方法、丝网印刷装置 - Google Patents

丝网印刷装置的遮片重叠方法、丝网印刷装置 Download PDF

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Abstract

本发明的丝网印刷装置,包括具有印刷用开口部的遮片(7)和相对于遮片(7)移动可能地保持作为被印刷物的基板W的基板支撑装置(3),通过该基板支撑装置(3)的运作,使基板W和遮片(7)重叠而进行印刷。本发明的丝网印刷装置的遮片重叠方法,是在重叠遮片(7)和基板W之前,拍摄基板W的电路图和与该电路图相对应的遮片(7)的印刷用开口部,根据这些图像数据求取电路图和印刷用开口部的偏差(位置误差),根据该误差对基板支撑装置(3)进行驱动控制,而使遮片和基板重叠。

Description

丝网印刷装置的遮片重叠方法、丝网印刷装置
技术领域
本发明涉及一种利用丝网遮片(screen mask)在基板上涂敷膏状焊料等糊剂的丝网印刷装置及该丝网印刷装置的遮片重叠方法。
背景技术
日本专利公开公报特开2001—38875号已经公开了一种丝网印刷装置,该丝网印刷装置是通过在安装于基座上的基板上重叠丝网遮片(以下称遮片),用刮板(squeegee)扩展供给至遮片上的膏状焊料、导电糊剂或电阻糊剂等糊剂,从而经遮片上所形成的开口部而将糊剂涂敷(印刷)到基板上的规定位置。
这种丝网印刷装置,对分别印在遮片及基板上的基准标记(fiducialmark)(简称标记)进行图像识别,根据该识别结果,在相互定位的状态下重叠遮片和基板。
上述以往的装置,以分别印在遮片及基板上的标记为基准,根据对该标记的图像识别为两者定位,但这是以标记被正确地印在遮片及基板上为前提的。亦即,当标记和电路图的位置关系有偏差(位置误差)时,或由于遮片的延伸等变形而引起标记和印刷用开口部的位置关系产生偏差(位置误差)时,即使以标记为基准对遮片和基板进行相互定位而加以重叠,也难以准确地使对应的电路图和印刷用开口部相对应。
因此,希望即使在基板的标记本身产生印刷偏差等时,也能实现在准确地使电路图和印刷用开口部相对应的状态下重叠遮片和基板。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作,目的在于通过使遮片和基板在更准确的定位状态下而重叠,从而确实地防止印刷偏差。
为实现此目的,本发明提供一种丝网印刷装置的遮片重叠方法,对包括具有印刷用开口部的遮片,用来保持作为被印刷物的基板的保持单元,以及使上述遮片与保持单元相对移动的驱动单元,通过上述驱动单元的运作而使被保持在上述保持单元上的基板和上述遮片重叠而进行印刷的丝网印刷装置的上述遮片和基板进行重叠,该遮片重叠方法,在重叠遮片和基板之前,拍摄基板的电路图和与该电路图相对应的上述遮片的印刷用开口部,根据这些图像数据求取上述电路图和印刷用开口部的图像的位置误差,根据该误差控制上述驱动单元,使上述遮片和基板重叠。
此外,本发明提供的丝网印刷装置,包括具有印刷用开口部的遮片、用来保持作为被印刷物的基板的保持单元、使上述遮片与保持单元相对移动的驱动单元,拍摄被保持在上述保持单元上的基板的电路图的第1摄像单元、拍摄与该第1摄像单元所拍摄的电路图相对应的上述遮片的印刷用开口部的第2摄像单元、合成由上述第1摄像单元拍摄的电路图的图像数据和由第2摄像单元拍摄的印刷用开口部的图像数据,生成上述电路图和印刷用开口部处于重叠状态的图像数据的合成图像生成单元,根据该合成图像生成单元所生成的图像数据来显示图像的显示单元、输入使该显示单元所显示的图像中的电路图或印刷用开口部的图像予以移动的信息的输入单元、按照该输入单元所输入的信息变更电路图或印刷用开口部在画面上的图像位置的图像位置变更单元,根据基于由上述合成图像成生单元生成的图像数据的电路图或印刷用开口部的图像位置和由上述图像位置变更单元变更后的上述图像位置之差,求取基板和遮片的位置误差的误差运算单元,通过根据该误差运算单元求得的误差来控制上述驱动单元,使上述遮片和基板重叠的控制单元。
附图说明
图1是本发明所涉及的丝网印刷装置的整体结构图。
图2是丝网印刷装置的控制系统的方框图。
图3是在图2的控制系统控制下的一例印刷操作的流程图。
图4是用来说明合成图像的显示状态及修正值的运算方法的模式图。
具体实施方式
下面,参照附图对本发明的实施例进行说明。
图1示意的是本发明所涉及的丝网印刷机的实施例。该丝网印刷机包括:具有基台1的印刷机主体2、以夹紧的状态支撑基板W的基板支撑装置3和相对于该基板支撑装置3搬送基板W的搬送带(图示省略)。
上述基板支撑装置3,未详细图示,其包括升降(Z轴方向的移动)并旋转(绕Z轴的旋转)可能地支撑基板W的R—Z平台3A、在基板的搬送方向(X轴方向,在图1中与纸面正交的方向)及与其正交的方向(Y轴方向)移动可能地支撑该R—Z平台3A的X—Y平台3B,通过该平台3A、3B的相互运作来使基板W移动。亦即,在本实施例中,由该基板支撑装置3构成了本发明的保持单元及驱动单元。
在R—Z平台3A上,装载了用来从下方识别后述的金属遮片7的遮片识别相机24(第2摄像单元)及其照明装置(图示省略)。该遮片识别相机24,具有CD区域传感器等的摄像元件,可拍摄印在金属遮片7的下表面上的基准标记(以下简称标记)和在该金属遮片7上形成的印刷用开口部。
上述印刷机主体2,设有从俯视看前方侧(图1中的左侧)予以开放的“コ”状框架2b,该框架2b通过竖立设置在基台1的四角上的支柱2a予以支撑。而且,相对于该框架2b固定有具有印刷用开口部的金属遮片7(mask sheet;以下简略为遮片7),并在该遮片7的上方设置有刮板装置5。另外,遮片7,其四周受框部件8保持,通过该框部件8而被固定在框架2b上。
上述刮板装置5包括,分别被固定在左右两侧(图1中与纸面正交方向的两侧)的框架2b上沿Y轴方向延伸的一对导轨部件5a、以跨越该导轨部件5a的状态予以安装且通过未图示的驱动单元的运作而沿着上述导轨部件5a移动的梁部件5b、向上述遮片7供给膏状焊料的焊料供给装置(图示省略)、用来在遮片7上扩展膏状焊料的一对刮板22、22、分别驱动上述刮板22、22升降的升降单元10,如后所述,通过在印刷时一边让刮板22、22沿Y轴方向往复移动,一边让该刮板22、22交替地沿着遮片7的表面滑动,从而使焊料在遮片7上予以扩展。
此外,在印刷机主体2上,于刮板装置5的侧面(图1中的右方),还设有用来从上方识别被支撑在基板支撑装置3上的基板W的基板识别相机25(第1摄像单元)及其照明装置(图示省略)。该基板识别相机25,具有CCD区域传感器等的摄像元件,可拍摄印在基板W的上表面上的基准标记(以下简称标记)和在该基板W上形成的电路图。
另外,基板支撑装置3的上述R—Z平台3A,通过X—Y平台3B的运作可移动至与刮板装置5相对应的位置(图1的实线位置;称为作业位置)和从该作业位置向X轴方向退避的位置(图1的点划线位置;摄像位置),上述基板识别相机25,可在R—Z平台3A被配置在该摄像位置上时,对该平台3A所支撑的基板W进行识别。
图2是丝网印刷装置的控制系统的方框图。如该图所示,丝网印刷装置具有包括执行逻辑运算的众所周知的CPU、预先存储用来控制该CPU的各种程序等的ROM、以及在装置运作过程中临时存储各种数据的RAM等的控制装置30,上述刮板装置5、基板支撑装置3(R—Z平台3A,X—Y平台3B)的各控制器26~28、遮片识别相机24以及基板识别相机25等全部与该控制装置30相连接。
上述控制装置30,作为其功能结构包含有主控制单元31、图像处理单元32、误差运算单元33及误差存储单元34等。
主控制单元31,对丝网印刷装置的运作进行总括性控制,为了依照预先存储的程序来执行指定的印刷操作,而通过上述各控制器26至28对刮板装置5等进行驱动控制。特别是,在对批量生产(productionlot)的首块基板W施行印刷处理前,为了执行用来取得基板W和遮片7的定位用的数据的预备处理,而对基板支撑装置3等进行驱动控制。
图像处理单元32,对遮片识别相机24及基板识别相机25所拍摄的图像数据施行指定的处理,在预备处理时,根据遮片识别相机24及基板识别相机25所拍摄的图像数据,制作遮片7(印刷用开口部)和基板W(电路图)的合成图像,即以标记为基准将遮片7和基板W予以重叠的假想图像(初始图像数据),同时对应于通过操作后述的输入单元36而输入的矢量信息,生成使上述合成图像变化后的图像(更新图像数据)。具体而言,就是根据矢量信息生成使基板W的图像相对于遮片7的图像移动后的状态(图像位置变更后的状态)的图像。另外,这样的图像处理,可基于众所周知的按照外部输入信息来变更(切换)图像显示位置的图像处理技术来进行,在本实施例中,是依照预先存储的程序,通过图像处理装置32对主控制单元31进行控制而得以执行。亦即,在本实施例中,本发明的合成图像生成单元及图像位置变更单元由主控制单元31及图像处理装置32所构成。
误差运算单元33,根据在图像处理单元32生成的初始图像数据和使基板W的图像相对于遮片7的图像移动后的最终的更新图像数据,运算基板W的图像的位移量。
误差存储单元34,将在上述误差运算单元33算出的位移量作为遮片7与基板W的偏差(位置误差)而加以存储,并更新在存储误差运算单元33算出的误差。
另外,上述控制装置30,还与CRT等显示单元35及键盘等输入单元36相连接。
显示单元35,向操作者显示印刷操作中的各种运作情况所涉及的信息等,在预备处理时,根据在图像处理单元32生成的图像数据来显示遮片7和基板W的合成图像。
输入单元36,对控制装置30输入各种信息,在预备处理时,通过该输入单元36,输入使显示单元35所显示的基板W的图像进行移动的矢量信息。
下面,根据图3的流程图对上述控制装置30所控制的一例印刷操作进行说明。
印刷操作开始后,首先,将基板支撑装置3设置在可接收基板W的初始位置上,计数值设为初值“1”后,基板W从搬送带被搬入基板支撑装置3而予以夹紧(步骤S1、S2)。
接着,通过该基板支撑装置3(R—Z平台3A,X—Y平台3B)的运动,将基板W设置到基板识别相机25的摄像位置上,通过基板识别相机25拍摄印在基板W上的标记,根据该标记进行基板W的识别(位置识别)(步骤S3)。
然后,判断计数值是否为“1”,即基板W是否为批量生产的首块基板W(步骤S4)。此处,若判断计数值为“1”时,则进入步骤S5,之后在步骤S5至S12中执行为取得定位用数据的预备处理。
在该预备处理中,首先,通过移动基板支撑装置3,用上述基板识别相机25拍摄以上述标记为基准而被预先定位的基板W上的多个区域的电路图(步骤S5)。在本实施例中,基板识别相机25依次拍摄在基板W的对角线方向上相互分离的2处的电路图。
基板识别相机25对基板W的拍摄结束后,基板支撑装置3被设置到作业位置上,通过用遮片识别相机24拍摄印在遮片7上的标记,根据该标记进行对遮片7的识别(位置识别)(步骤S6)。
接着,通过移动基板支撑装置3,用遮片识别相机24依次拍摄包含有与在步骤S5中所拍摄到的电路图相对应的印刷用开口部的2个区域(步骤S7)。此时,根据在步骤S6中识别出的遮片7的位置,对基板支撑装置3(X—Y平台3B)进行驱动控制。
然后,根据在步骤S5、S7中取得的基板W及遮片7的图像数据,在图像处理单元32中制作以遮片7及基板W的各标记为基准的重叠状态的假想图像(合成图像),并在显示单元35显示该假想图像,同时也显示进行“修正处理”的要求。例如,在本实施例中,如图4(上侧的图)所示,在显示单元35的画面上分别显示有上述两处的合成图像(设为图像40A、40B)(步骤S8、S9)。另外,在该图中则省略了表示要求“修正处理”的显示。
此处,所谓的“修正处理”是指,通过操作者的操作,在画面上对遮片7和基板W的偏差进行修正的处理。亦即,画面上显示的合成图像,由于是如上所述以遮片7及基板W的各标记为基准而对印刷用开口部和电路图进行了重叠的图像,若基板W上的标记和电路图的位置关系以及遮片7的标记和印刷用开口部的位置关系都在适当范围内,则印刷用开口部和电路图完全对应(重叠)的图像可作为合成图像而显示。然而,在因标记的印刷失误等引起基板W的标记和电路图的位置关系有偏差时,则如图4所示,在合成图像上,印刷用开口部的图像7a和电路图的图像Wa以偏离的状态而显示出来。上述“修正处理”,是通过操作者操作输入单元36而让基板W的图像移动,来对这种偏差进行假想修正。具体而言,是由操作者分别针对图像40A、40B而输入矢量信息,即使基板W移动的方向及移动量(大小),并在确认对应于该输入而被更新的图像(根据更新图像数据的重新显示)的同时,使印刷用开口部的图像7a和电路图的图像Wa在画面上相一致。此时,按照需要反复进行上述输入操作及图像确认。
在步骤S10中,判断修正处理是否已结束,若判断为已结束,则在误差运算单元33对基板W和遮片7的误差进行运算(步骤S11),将其运算结果更新存储到误差存储单元34中(步骤S12)。例如在修正处理后,操作者操作输入单元36而进行了表示修正作业已结束的输入时,则在步骤S10判断为“YES”。
另外,在步骤S11中,如图4(下侧的图)所示,求取图像40A中的基板W的图像中心的X—Y方向变化量(O1→O1’)和图像40B中的基板W的图像中心的X—Y方向变化量(O2→O2’)的平均值,作为基板W和遮片7在X—Y轴方向的误差,此外,还求取连接各图像40A、40B修正前的基板W的图像中心的虚线(O1—O2)和连接修正后的基板W的图像中心的虚线(O1’—O2’)所成的角度θ,作为基板W和遮片7在R轴方向(围绕Z轴转动的方向)的误差。
这样,当步骤S5至S12的预备处理结束后,基板支撑装置3移动至作业位置,并相对于遮片7进行了基板W的X、Y、R轴方向的定位后,就可以通过R—Z平台3A的运作而抬起基板W,由此,基板W可对着遮片7从其下方与其重叠(步骤S13)。基板W的定位,是根据在步骤S3、S6取得的标记图像而相对于遮片7进行了基板W的基本定位后,通过根据误差存储单元34中存储的误差数据修正基板W的位置来进行的。另外,基本的定位操作及其位置修正亦可同时进行。
基板W被重叠到遮片7上后,刮板装置5开始运作,由此而开始印刷处理(步骤S14)。具体而言,上述刮板22、22被设置到指定的作业开始位置后,通过升降装置10的运作,将刮板22、22(一侧的刮板22)设置在指定的高度位置,即顶端(下端)与遮片7抵接的高度位置。然后,由焊料供应装置向遮片7供给膏状焊料后,刮板22、22沿Y轴方向往复移动,同时交替地沿着遮片7的表面滑动,由此,膏状焊料通过遮片7的印刷用开口部而被涂敷在基板W上。
然后,在步骤S15中判断印刷处理是否已结束,此处若判断为已结束,则刮板22、22复位至上升端位置,同时也将基板支撑装置3复位至初始位置,之后搬出基板W(步骤S16)。
基板W被搬出后,判断指定数N的基板W的处理是否已结束(步骤S17),此处,若判断为没有结束,则在上述计数值被增值后(步骤S18),转入到步骤S2,而将下一块基板W搬入基板支撑装置3。
另外,在步骤S4中,若判断出计数值不为“1”,即基板W不是批量生产的首块基板W时,则跳过步骤S5至S12的处理,经过步骤S19的标记识别处理后,转入到步骤S13。亦即,若步骤S4中判断为“NO”,则通过基板支撑装置3的运作将基板W复位至作业位置,利用装载在基板支撑装置3上的遮片识别相机24,来拍摄印在遮片7上的标记(步骤S19)。然后,根据步骤S3、S19取得的标记图像,相对于遮片7进行基板W的基本定位后,根据误差存储单元34中存储的误差数据修正基板W的位置,在该状态下将基板W重叠到遮片7上。
这样,通过最终在步骤S17中判断指定数N的基板W的处理已经结束,则本流程图结束。
如上所述,在本丝网印刷装置中,预先求取以标记为基准对基板W和遮片7进行了相互定位后的电路图与印刷用开口部的具体偏离(位置误差)(预备处理:图3的步骤S5至S12),在印刷处理时,由于是在以基准标记为基准而定位基板W和遮片7的基础上,根据上述预备处理求得的误差进行基板W与遮片7的位置修正,因此,即使在因标记的印刷失误而引起该标记与电路图的位置关系有误差时,或由于遮片自身的延伸等变形而引起标记和印刷用开口部的位置关系产生误差时,也可以在准确地使对应的电路图和印刷用开口部相对应的状态下使基板W和遮片7重叠。因此,与仅根据标记的图像识别来相互定位基板与遮片的以往的丝网印刷装置相比,可以更加准确地重叠基板W与遮片7,其结果,具有可以更为可靠地防止产生印刷偏差的效果。
特别是,在上述的预备动作中,由于在画面上显示以标记为基准而重叠了电路图的图像和印刷用开口部的图像的假想图像,通过操作者一边查看画面一边操作输入单元36而在画面上移动电路图图像Wa,则可由该位移量等求取上述误差,因此,根据操作者的目视判断,可得到可靠性较高的值来作为误差值。亦即,即使由于遮片7的变形而引起印刷用开口部产生不均一的位置偏差时,也可根据操作者的目视判断,既考虑到与相邻印刷用开口部的平衡,又将印刷用开口部和电路图重叠在一起。因此,具有可依据具体的偏差情况,准确地进行将基板W重叠至遮片7时相互的位置修正的效果。
此外,在本丝网印刷装置中,由于是通过在批量生产的初始印刷处理前执行预备处理来存储误差数据,对属于同一批量生产的基板W,可根据该存储的误差数据进行遮片7和基板W的位置修正,因此,还具有可合理地执行印刷处理的效果。亦即,虽然也可考虑对批量生产的各基板分别执行预备处理,但这种情况下,每块基板的印刷处理都需要时间。另一方面,在因遮片7的变形而引起的标记与印刷用开口部的位置关系产生误差时,上述的误差会成为各基板W的共同的误差值。此外,基板W上的标记的印刷误差一般多以生产批量为单位而发生,这种情况下,在同一批量生产中,上述误差成为各基板W的共同的误差值的倾向较强。因此,如上所述,只要在批量生产的印刷处理前执行一次预备处理来更新存储上述误差,即可防止各基板W的印刷偏差,而另一方面,又可以在与以往相同的时间内对各基板施以印刷处理,其结果,可以使质量与生产效率两者兼得。
另外,以上说明的丝网印刷装置,是本发明的丝网印刷装置的一个实施例,其具体结构可在不偏离本发明主旨的范围内做适当变化。例如,可采用以下形态。
①用其他方法能把握基板W与遮片7的基本位置关系时,亦可省略图3中的步骤S3、S6的处理。
②在实施例中,是用基板识别相机25拍摄基板W上的多个区域的电路图,用遮片识别相机24拍摄与上述区域相对应的遮片7的多个区域,当然,拍摄区域也可以是单个的。此时,在图3的步骤S11的处理(误差的运算处理)中,根据基板W的图像中的多个坐标位置的变化量,来求取基板W和遮片7的误差即可。
③在实施例中,是通过操作者操作输入单元36,将被显示的基板W的图像在画面上移动,使位置误差在误差运算单元33中得以计算,但亦可不进行上述由操作者进行的操作,而直接由合成图像数据计算误差。
④在实施例中,是通过在批量生产的首块基板W的印刷处理前执行预备处理(图3的步骤S5至S12的处理),对批量生产只求取一次上述误差数据,当然,亦可在批量生产中执行多次预备处理,在批量生产中更新一次至多次误差数据。
产业上的利用可能性
如上所述,本发明所涉及的丝网印刷装置,可通过使具有印刷用开口部的遮片和用来保持作为被印刷物的基板的保持单元进行相对地移动,而使被保持在保持单元上的基板与上述遮片重叠,特别是对于准确地对作为被印刷物的基板与遮片进行重叠很有实用价值。

Claims (5)

1.一种丝网印刷装置的遮片重叠方法,对包括具有印刷用开口部的遮片,用来保持作为被印刷物的基板的保持单元,以及使上述遮片与保持单元相对移动的驱动单元,通过上述驱动单元而使被保持在上述保持单元上的基板和上述遮片重叠而进行印刷的丝网印刷装置的上述遮片和基板进行重叠,其特征在于:
在重叠上述遮片和基板之前,拍摄上述基板的电路图和与该电路图对应的上述遮片的印刷用开口部,根据这些图像数据生成重叠了上述电路图的图像和与该电路图对应的印刷用开口部的图像的合成图像的同时,在画面上显示该合成图像,通过提供使电路图或印刷用开口部的图像移动的信息而使电路图或印刷用开口部的图像在显示画面上移动,以使电路图与印刷用开口部在该画面上相一致,根据该移动前后的图像位置之差,求取电路图和印刷用开口部的图像的位置误差,根据该误差控制上述驱动单元,使上述遮片和基板重叠。
2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置的遮片重叠方法,其特征在于:
在拍摄作为上述电路图的基板上的多个区域的电路图的同时,还拍摄包含分别对应于上述区域中的电路图的印刷用开口部的上述遮片的区域,求取各区域的电路图和与其对应的印刷用开口部的位置误差,根据上述各区域的位置误差求取基板与遮片的最终的位置误差,根据该最终的位置误差控制上述驱动单元。
3.一种丝网印刷装置,包括具有印刷用开口部的遮片,用来保持作为被印刷物的基板的保持单元,以及使上述遮片与保持单元相对移动的驱动单元,其特征在于还包括:
拍摄被保持在上述保持单元上的基板的电路图的第1摄像单元;
拍摄与该第1摄像单元拍摄的电路图相对应的上述遮片的印刷用开口部的第2摄像单元;
合成由上述第1摄像单元拍摄的电路图的图像数据和由第2摄像单元拍摄的印刷用开口部的图像数据,生成上述电路图和印刷用开口部处于重叠状态的图像数据的合成图像生成单元;
根据该合成图像生成单元所生成的图像数据显示图像的显示单元;
输入使该显示单元所显示的图像中的电路图或印刷用开口部的图像予以移动的信息的输入单元;
按照该输入单元所输入的信息、变更电路图或印刷用开口部在画面上的图像位置的图像位置变更单元;
根据基于由上述合成图像成生单元生成的图像数据的电路图或印刷用开口部的图像位置和由上述图像位置变更单元变更后的上述图像位置之差,求取基板和遮片的位置误差的误差运算单元;
通过根据该误差运算单元求得的误差来控制上述驱动单元,使上述遮片和基板重叠的控制单元。
4.根据权利要求3所述的丝网印刷装置,其特征在于:
还包括用来更新存储上述误差运算单元求得的误差所涉及的数据的存储单元,
上述控制单元,根据存储在上述存储单元中的误差数据控制上述驱动单元。
5.根据权利要求3所述的丝网印刷装置,其特征在于,上述输入单元是键盘。
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