CN100383918C - 门阀装置、处理系统及密封部件的更换方法 - Google Patents

门阀装置、处理系统及密封部件的更换方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种不向大气开放搬送室也能更换密封部件的门阀装置。在安装于处理腔室(4)的搬入开口、开闭与真空状态的搬送室(6)之间的门阀装置(12)中，包括：可开闭搬入开口而装配的阀体(44)；可装卸地安装于阀体的表面、与搬入开口周围的装配面气密接触的密封部件(66)；以距离该密封部件规定的间隔而包围设置在密封部件的外周的维护用密封部件(68)；维护用开口(72)，在装配阀体时、在密封部件露出状态下，成为由维护用密封部件可气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的外侧的维护用开闭盖(74)；和能够使阀体在搬入开口与维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构(46)。

Description

门阀装置、处理系统及密封部件的更换方法
技术领域
本发明涉及在对半导体晶片等被处理体进行规定处理的处理腔室中所使用的门阀装置、以及具有多个该处理腔室的处理系统、和门阀装置的密封部件的更换方法。
背景技术
一般地，在半导体设备的制造工序中，反复对半导体晶片进行各种处理，例如干式蚀刻、溅射、CVD(化学气相沉积)等工序。上述各种处理大多在真空气氛下进行，对于进行这种处理的处理腔室进行晶片搬出搬入的搬入开口，在处理时由门阀进行高气密性的密封。
这种门阀装置，例如在专利文献1等中有所揭示。例如，在能够抽真空的处理腔室的侧壁上形成晶片能够通过的大小的宽度的搬入开口，在该搬入开口处安装门阀装置。而且，在进行工序时，由安装有该门阀装置的O形环等阀体来使上述搬入开口气密性地关闭，在该状态下进行工序处理。
然而，在上述各种工序中，有使用腐蚀性气体的处理，而且，即使在工序中不使用腐蚀性的气体，为了去除在处理腔室内粘附的各种不需要的膜和污染物等，也通过腐蚀性(蚀刻性)气体进行定期或不定期的清洗处理。在这种情况下，对于上述门阀装置的密封部件来说，虽然是逐渐的，但还是会受到上述腐蚀性气体的影响而性能恶化，不仅如此，而且还会因与装配面的接触或者推压所产生物理磨损而导致性能恶化，所以必须对该密封部件进行定期或者不定期的更换。
然而，上述处理腔室一般是在一个共同的搬送室的周围，分别通过门阀装置连接有多个来设置，即工具集中化。上述门阀装置的密封部件的更换操作，一般是使与其相连设置的处理腔室向大气开放，在进行维护操作的同时进行。但是，如上所述，由于处理腔室内向大气开放，且为了进行密封部件的更换而使得门阀装置也向大气开放，所以共同搬送室也就向大气开放。其中，此时其它的处理腔室则由别的门阀装置而关闭，在这种情况下，在维护操作结束后或密封部件更换后，虽然能够对搬送室内及处理腔室内分别抽真空而回到规定的减压气氛，但是一旦向大气开放后，则由于空气中的水分及不纯气体等会粘附于内壁面，所以，为了将这些粘附的水分及不纯气体去除就需要延长抽真空的时间，从而会引起装置利用率下降与生产能力的下降。
因此，为了解决上述问题，例如专利文献2所述，提出了具有两个阀体的门阀装置的方案。具体地说，在门阀装置内设置具有各自独立动作的两个驱动机构的阀体，在处理腔室内维护时或对暴露于腐蚀性气体的阀体一侧的密封部件进行更换时，由另一个阀体将共同搬送室一侧的开口部气密性地密封，即使是处理腔室内向大气开放，搬送室内也能够维持真空状态。
专利文献1：(日本专利)特开平8-60374号公报
专利文献2：(日本专利)特表2003-503844号公报
发明内容
但是，在上述相对于两个阀体分别设置驱动机构的现有技术的门阀装置中，不仅是阀体、就连驱动机构也必须分别设置成两组。所以，存在有全体的结构复杂化，且装置本身也大型化等所不希望出现的问题。
此外，在更换密封部件时，必须分解划分门阀装置的划分壁等，从而使得更换操作本身的工作量增大，且更换操作的时间延长。
而且，在密封部件的更换时，门阀装置内必须向大气开放，此时，还产生对门阀装置内造成污染、更换操作后抽真空的时间延长等问题。即，如果不使处理腔室向大气开放，则不能进行密封部件的更换。
本发明是鉴于上述问题、为有效地解决上述问题而提出的。
本发明的第一目的在于，提供一种即使是设置一个阀体也能够在搬送室和处理腔室不向大气开放的情况下进行密封部件的更换的门阀装置、处理系统以及密封部件的更换方法。
本发明的第二目的在于，提供一种通过设置两个阀体而能够在搬送室与处理腔室相隔离的状态下进行密封部件的更换的门阀装置、处理系统以及密封部件的更换方法。
在本发明第一方面中的门阀装置，其特征在于：是安装在用于对被处理体实施规定处理的处理腔室的搬入开口、使所述被处理体从真空状态的搬送室通过、并开闭所述搬入开口的门阀装置，其中，包括：能够开闭所述搬入开口而安装的阀体；可装卸地设置于所述阀体的表面，在由所述阀体开闭所述搬入开口时气密地与装配的装配面接触的密封部件；在该密封部件的外周、以距所述密封部件规定的间隔而包围设置的维护用密封部件；维护用开口，形成为在装配所述阀体时、在所述密封部件露出的状态下，通过所述维护用密封部件而能够气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的维护用开闭盖；和能够使所述阀体在所述搬入开口与所述维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构。
这样，由于在阀体上设置有工艺时的密封部件与在其外周的维护用密封部件，密封部件的更换能够在由维护用密封部件将阀体装配于维护用开口的状态下进行，所以能够在门阀装置内以及搬送室不暴露于大气的状态下进行密封部件的更换，使得更换操作能够迅速地进行。
在这种情况下，例如在本发明第二方面中，在所述阀体的表面或者由所述阀体开闭所述搬入开口时而装配的装配面上，形成有接触回避台阶部，在将所述阀体装配于所述搬入开口的装配面时，用于避免所述维护用密封部件的接触。
而且，例如在本发明第三方面中，在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙供气体系，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的所述阀体之间所形成的空隙内恢复成大气压。
而且，在本发明第四方面中，在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙真空排气系统，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的所述阀体之间所形成的空隙内抽成真空状态。
而且，例如在本发明第五方面中，所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与阀体移动装置所构成，其中，所述阀体支撑部件可旋转移动，使得能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间移动；所述阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，并在其前端安装有所述阀体而使其前进以及后退。
而且，例如在本发明第六方面中，所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与阀体移动装置所构成，其中，所述阀体支撑部件可直线移动，使得能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间移动；所述阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，并在其前端安装有所述阀体而使其前进以及后退。
在本发明第七方面中的门阀装置，其特征在于：是安装在用于对被处理体实施规定处理的处理腔室的搬入开口、使所述被处理体从真空状态的搬送室通过、并开闭所述搬入开口的门阀装置，其中，包括：可开闭所述搬入开口而安装的第一以及第二阀体；可装卸地设置于所述第一及第二阀体的表面，在由所述第一以及第二阀体开闭所述搬入开口时可气密地与装配的装配面接触的密封部件；在所述第一以及第二阀体中的至少一个阀体的密封部件的外周、以距该密封部件规定的间隔而包围设置的维护用密封部件；至少一个维护用开口，形成为在装配设置有所述维护用密封部件的阀体时、在所述密封部件露出的状态下，通过所述维护用密封部件而能够气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的外侧的维护用开闭盖；和能够使所述第一以及第二阀体在所述搬入开口与所述维护用开口之间选择性地移动而安装的阀体驱动机构。
这样，设置有第一以及第二两个阀体，至少一个阀体上除了密封部件之外还设置有维护用密封部件。由于密封部件的更换能够在由维护用密封部件将具有维护用密封部件的阀体装配于维护用开口的状态下由维护用密封部件所密封，同时由另一阀体将与处理腔室相连通的搬出搬入口气密地密封的状态下进行，所以，能够在门阀装置内以及搬送室不暴露于大气的状态下进行密封部件的更换，更换操作能够迅速地进行。
在这种情况下，例如在本发明第八方面中，在设置有维护用密封部件的阀体的表面或者在所述搬入开口的周围的装配面上，形成有接触回避台阶部，在将设置有所述维护用密封部件的所述阀体装配于所述搬入开口的装配面上时，用于避免所述维护用密封部件的接触。
而且，例如在本发明第九方面中，在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙供气体系，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的设置有所述维护用密封部件的阀体之间所形成的空隙内恢复成大气压。
而且，例如在本发明第十方面中，在划分所述维护用开闭盖或所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙真空排气系统，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的设置有所述维护用密封部件的阀体之间所形成的空隙内抽成真空状态。
而且，例如在本发明第十一方面中，所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与第一以及第二阀体移动装置所构成，其中，所述阀体支撑部件能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间直线移动；所述第一以及第二阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，可使安装于其前端的第一以及第二阀体在相互不同方向前进以及后退。
而且，例如在本发明第十二方面中，在所述阀体驱动机构上安装有用于抑止所述阀体的动作的锁定机构。
而且，例如在本发明第十三方面中，所述维护用开闭盖由透明板构成。
由此，由于维护用开闭盖是透明板，所以能够观察与确认密封部件的恶化程度。
而且，例如在本发明第十四方面中，所述维护用开闭盖具有用于目视确认其内部的观察窗。
而且，例如在本发明第十五方面中，所述阀体驱动机构具有由手动将向着所述维护用开口的所述阀体装配于所述维护用开口的装配面的装配装置。
而且，例如在本发明第十六方面中，所述门阀装置全体的周围由框体所包围。
本发明第十七方面中的被处理体的处理系统，其特征在于，包括：能够抽成真空的搬送室；用于对被处理体实施规定的处理的、设置在所述搬送室的周围的处理腔室；设置在所述搬送室与所述处理腔室之间的、如第一至第十六方面中的任一个所述的门阀装置；设置在所述搬送室内、用于将所述被处理体向所述各处理腔室搬出搬入而能够伸缩与旋转的搬送机构。
本发明第十八方面中的密封部件的更换方法，其特征在于：是更换本发明任意方面中所述的门阀装置的密封部件的更换方法，其中，包括：密封工序，将阀体装配于搬入开口的装配面并气密地密封；维护工序，使所述处理腔室内对大气开放，对所述腔室内进行维护；抽真空工序，在所述维护工序之后对所述处理腔室内抽真空，达到真空气氛；和密封部件更换工序，在所述抽真空工序进行之间，在所述处理腔室与真空状态的搬送室内的压力差达到规定值以下时，在所述阀体装配于维护用开闭盖并密封的状态下将所述维护用开闭盖取下，更换所述密封部件。
本发明第十九方面中的密封部件的更换方法，其特征在于：在上述门阀装置的密封部件的更换方法中，包括：密封工序，将第一以及第二阀体内的设置有维护用密封部件的阀体装配于维护用开口的装配面并气密地密封，同时将另一阀体装配于搬入开口的装配面并气密地密封；密封部件更换工序，将所述维护用开闭盖取下，更换所述密封部件。
根据本发明的门阀装置、处理系统以及密封部件的更换方法，能够发挥以下的优异作用与效果。
根据发明第一～第六、第十二～第十五方面，由于在阀体上设置有工艺时使用的密封部件与在其外周的维护用密封部件，密封部件的更换能够在由维护用密封部件将阀体装配于维护用开口的状态下进行，所以能够在门阀装置内及搬送室不暴露于大气的状态下进行密封部件的更换，更换操作能够迅速地进行。
根据发明第七～第十一、第十六方面，由于设置有第一及第二两个阀体，至少一个阀体上除了密封部件之外还设置有维护用部件。由于密封部件的更换能够在由维护用密封部件将具有维护用密封部件的阀体装配于维护用开口的状态下进行。所以，能够在门阀装置内及搬送室不暴露于大气的状态下进行密封部件的更换，更换操作能够迅速地进行。
根据发明第十二方面，由于在阀体驱动机构有锁定机构，所以能够提高安全性。
根据发明第十三方面，由于维护用开闭盖是透明板，所以能够观察与确认密封部件的恶化程度。
附图说明
图1是表示使用本发明的门阀装置的处理系统的一例的平面图。
图2是表示本发明的门阀装置的第一实施例的安装状态的放大截面图。
图3是门阀装置的俯视图。
图4是从前方表示阀体与阀体驱动机构的安装状态的立体图。
图5是从后方表示阀体与阀体驱动机构的安装状态的立体图。
图6是用于说明门阀装置的第一实施例动作的动作说明图。
图7是表示密封部件的更换方法的工序图。
图8是用于说明本发明的门阀装置的第二实施例动作的动作说明图。
图9是表示本发明的门阀装置的第三实施例的截面图。
图10是表示本发明的门阀装置的第四实施例的截面图。
图11是表示本发明的门阀装置的第五实施例的截面图。
图12是表示本发明的门阀装置的第六实施例的截面图。
图13是表示本发明的门阀装置的第七实施例的截面图。
图14是表示将本发明的门阀装置向搬送室内一体组合装配时的状态的简要截面图。
符号说明
2                   处理系统
4、4A～4D           处理腔室
6                   搬送室
12、12A～12D        门阀装置
14                  搬送机构
36                  框体
37                  搬出搬入口
44、44A、44B       阀体
46                 阀体驱动机构
48                 阀体支撑部件
66                 密封部件
68                 维护用密封部件
70                 接触回避台阶部
72、72A、72B       维护用开口
74、74A、74B       维护用开闭盖
80                 空隙供气系统
88                 空隙真空排气系统
94                 移动轨迹
W                  半导体晶片(被处理体)
具体实施方式
以下，基于附图，对本发明的门阀装置、处理系统以及密封部件的更换方法加以详细叙述。
第一实施例
图1是表示使用本发明的门阀装置的处理系统的一例的平面图；图2是表示本发明的门阀装置的第一实施例的安装状态的放大截面图；图3是门阀装置的上面图(俯视图)；图4是从前方表示阀体与阀体驱动机构的安装状态的立体图；图5是从后方表示阀体与阀体驱动机构的安装状态的立体图；图6是用于说明门阀装置的第一实施例动作的动作说明图；图7是表示密封部件的更换流程的工序图。
如图1所示，该处理系统2主要包括：多个(例如4个)处理腔室4A、4B、4C、4D，相对于上述处理腔室4A～4D成为共通的六边形的搬送室6，以及两个负载锁定室8A、8B。具体地说，上述各处理腔室4A～4D能够分别被抽成真空，同时，在处理腔室4A～4D内分别设置有装载作为被处理体的晶片W的装载台10A、10B、10C、10D，这里，在装载有晶片W的状态下来进行各种处理(工序)。其中，该各种处理一般是在真空气氛下进行的，但根据处理的样式也有在大体常压下进行的情况。上述各处理腔室4A～4D经由本发明的门阀装置12A、12B、12C、12D而分别与上述搬送室6的各边相接。
此外，上述各搬送室6内也可以进行抽真空以及大气压恢复。而且，在该搬送室6内，设置有用于搬送晶片W而能够曲折以及旋转的搬送机构14，经由开放的各门阀装置12A～12D而能够向各处理腔室4A～4D搬入、搬出晶片W。
而且，上述两个负载锁定室8A、8B，经由门阀装置16A、16B而与搬送室6相连接。该负载锁定室8A、8B内也能够抽成真空以及恢复到大气压。而且，这些负载锁定室8A、8B经由门阀装置18A、18B而与负载模块20相接。在该负载模块20上，配置有设置了收容多个晶片W的盒体的端口22。而且，在上述负载模块20内，沿着导轨26可自由行走地设置有可伸缩旋转的搬送臂机构24，从装载在上述端口22上的盒体内将晶片W装入内部，通过这样能够将其搬入负载锁定室8A、8B内。而且，负载锁定室8A、8B内的晶片W由搬送室6内的搬送机构14而放入，能够如上上述搬入各处理腔室4A～4D。而且，在搬出晶片时，可以通过与上述搬入路径相反的路径搬出。
接着，参照图2对设置于搬送室6与各处理腔室4A～4D之间的本发明的门阀装置12A～12D加以说明。由于这些门阀装置12A～12D都是同样的结构，作为代表而用图2表示作为门阀装置12，而且以处理腔室4A～4D作为代表而表示作为处理腔室4。
如图2所示，在划分处理腔室4的侧壁28上，形成有使晶片W通过而搬出搬入的细长的搬入开口30，此外，在划分搬送室6的侧壁32上也形成开口34。而且，上述门阀装置12，例如具有形成该外壳的、由Al所构成的大体呈长方体形状的框体36，其截面大体为正方形。在该框体36的一侧形成有与处理腔室4内相连通的细长的搬出搬入口37，在相反的一侧形成有与搬送室6相连通的细长的开口38。在该框体36与上述处理腔室4以及搬送室6的接合面上，分别由O形环40、42来保持气密性。而且，在上述框体36内的门阀驱动机构46上安装设置有具有本发明特征的阀体44，可以根据需要装配于上述搬出搬入口37，从而使其得到气密性的密封。这里，由于上述搬出搬入口37与搬入开口30一体连接，所以通过上述搬出搬入口37的开闭也可以使搬入开口30开闭。
具体地，如图4及图5所示，阀体驱动机构46具有形成
Figure C20051013400200161
字型的阀体支撑部件48，支撑轴50从该阀体支撑部件48的两端分别向外侧延伸。而且，该支撑轴50以与框体36的长度方向的侧壁气密贯通的方式而可旋转移动地支撑。其中，在该支撑轴50的贯通部内存在有未图示的磁流体密封等，使得在维持该密封性的状态下，允许支撑轴50的旋转。
而且，在该阀体支撑部件48上并排设置有能够伸缩的、例如由气缸所构成的两个阀体移动装置52，在该阀体移动装置52的前端安装有板状的上述阀体44。所以，通过该阀体移动装置52的伸缩，能够使上述阀体44前进以及后退。上述阀体移动装置52的伸缩驱动，在这里是由压缩空气进行的，因此，在上述阀体支撑部件48上形成与上述阀体移动装置52相连通的气体流路56，该气体流路56通过一方的支撑轴50而向外部引出。而且，在形成气体流路56的支撑轴50上，安装有由压缩空气动作的转动装置58，该转动装置58上设置有使阀体移动装置52伸缩的伸缩用气体供排端口60、和使阀体支撑部件48以规定的角度向着正反方向旋转的旋转用气体供排端口62，可以根据需要进行阀体移动装置52的伸缩以及阀体支撑部件48的旋转。
这种情况下，如后所述，阀体支撑部件48在遮断晶片的移动轨道与不遮断该移动轨道的位置之间旋转移动。而且，上述阀体移动装置52的周围设置有包围其而可伸缩的金属制的波纹管64，容许上述阀体移动装置52的伸缩、且使压缩空气不向外泄漏。
而且，在上述阀体44的前面，设置有用于密封处理腔室4内的例如由O形环所构成的细长环状的密封部件66。该密封部件66是在现有技术装置中也使用的密封部件，如图2所示，能够与搬出搬入口37的周围的装配面气密地接触，可靠地将搬出搬入口37密封。而且，在该阀体44上，在上述密封部件66的外周设置有例如由O形环所构成的、具有本发明特征的维护用密封部件68，其从上述密封部件66隔开规定的间隔L1而包围该密封部件66。即，密封部件66、68设置有同心状的双重结构。这里，上述规定的间隔L1例如为5～20mm。在这种情况下，如图2所示，在上述搬出搬入口37周围的装配面上，沿着搬出搬入口37的圆周方向而形成有细长状的、截面为凹状部的接触回避台阶部70，以用于在将阀体44装配到搬出搬入口36时、避免与上述密封部件68相接触，从而，防止该维护用密封部件68的不必要的恶化(磨耗及弹力减弱)。
如图2及图3所示，在上述框体36的顶部，设置有用于更换上述阀体44的内侧密封部件66的细长的维护用开口72。具体地说，该维护用开口72被设定为这样的大小，使得当在其周围的装配面上装配上述阀体44时，在只有上述密封部件66露出的状态下，外侧的上述维护用密封部件68与装配面接触而得到气密性密封。即，上述维护用开口72形成仅比上述搬出搬入口37的大小稍大的尺寸，使得由维护用密封部件68对该维护用开口72气密性地密封，而密封部件66从维护用开口72内露出。而且，在该维护用开口72上，经由O形环76而气密性地从其外侧安装有例如由丙烯酸树脂板等形成的维护用开闭盖74。在这种情况下，该维护用开闭盖74通过多个螺栓78可装卸地被安装。而且，如果使用例如丙烯酸树脂等透明板来构成该维护用开闭盖74，则在不将其取下的情况下也能够从外侧目视确认密封部件66的恶化程度。在这种情况下，也可以是在维护用开闭盖74的一部分上设置能够目视确认其内部的透明的观察窗口。
而且，在将上述阀体44装配于上述维护用开口72时，设置有将上述维护用开闭盖74与装配的阀体44之间形成的很小的空隙82(参照图6(E))内恢复为大气压的空隙供气系统80。具体地说，在这里如图2所示，该空隙供气系统80是在划分上述维护用开口72的划分壁上，设置使上述空隙82(与维护用开口72的一部分相对应)与外部连通的流路84，在该流路84上中途设置有开闭阀86，能够根据需要来供给N2气体或者洁净的空气等。其中，作为上述空隙供气系统80，还可以是在上述维护用开闭盖74上贯通设置例如手动或者自动工作的安全阀，以取代上述流路84与开闭阀86的结构。
而且，还设置有用于将上述空隙82内抽成真空的空隙真空排气系统88。具体地说，该空隙真空排气系统88是在划分上述维护用开口72的划分壁上，设置使上述空隙82与外部相连通的流路90，在该流路90上中途设置有开闭阀92，能够根据需要而将空隙82内的气氛进行真空排气。其中，作为上述空隙真空排气系统88，还可以是例如在划分上述维护用开口72的划分壁上埋入自动进行开闭的气动阀门，使上述空隙82内与框体36的内部相连通，来取代上述流路90与开闭阀92的结构。
此外，还可以是仅设置两个流路84、90中的一个，在其上设置未图示的三通阀等，通过该三通阀的切换而能够选择性地供给N2或洁净空气，或者进行真空排气。
接着，参照图6及图7对以上结构的门阀装置12的密封部件66的更换方法加以说明。其中，图6是仅简化地表示了前面说明的门阀装置12的主要部件。
首先，如上所述，为了改变该门阀装置12的阀体44的方向，对图5所示的阀体驱动机构46的旋转用气体供排端口62供给压缩空气或排气，由此使阀体支撑部件48正转或反转所希望的角度。如图6所示，使阀体44向上方、或向横向。而且为使阀体44前进或后退，可以通过对伸缩用供排端口60供给压缩空气或排气，例如由气缸使阀体移动装置52伸缩。
其中，该阀体驱动机构46，设置有未图示的锁定机构，锁定在各自的停止位置，特别是能够确保后述的密封部件更换的安全性。而且，在这里，也可以在维护用开口72的附近设置气密地贯通框体36的划分壁、例如能够通过手动向框体内部方向移动的爪状部件(未图示)，由该爪状部件将上述阀体推压到上述维护用开口72的装配面上而气密性地装配。由此，使该装配装置具有锁定机构的功能，而且，还可以是在关闭维护用开口72时，通过手动来移动该装配装置。
首先，在通常的动作中，在晶片W从搬送室6向处理腔室4移动的情况下，或者相反在从处理腔室4向搬送室6移动的情况下，如图6(D)所示，在使阀体44后退的同时使阀体支撑部件48向上方移动。由此，能够成为搬出搬入口37开放而不遮断晶片W的移动轨迹94的状态，晶片W沿着该移动轨迹94而搬送。这里，搬送室6内始终维持真空状态，搬送室6内与处理腔室4内连通时，在两者的压力差为规定值以下时连通。
对于此，在进行成膜等工序处理时，如图6(A)所示，阀体支撑部件48使阀体44向横方向前进，将该阀体44装配于搬出搬入口37。由此，设置于阀体44的内侧的密封部件66与装配面接触，使搬送出入口37成为气密性地密封。由此，处理腔室4内成为密封状态，在这种状态下，在处理腔室4内进行规定的处理及清洗处理等。此时，设置于密封部件66的外侧的维护用密封部件68成为与装配面上设置的凹部状的接触回避台阶部70接近且非接触的状态，其结果是，由于该维护用密封部件68没有无用的变形，所以能够防止因该变形引起的恶化。其中，也可以是不设置接触回避台阶部70，成为全体无台阶部的平坦装配面。
接着，参照图7所示的流程图对上述密封部件66的更换方法加以说明。
这里，该密封部件66的更换，是在进行处理腔室4内的维护的同时进行的。在这种情况下，搬送室6内被抽成真空，维持为规定的减压气氛(真空状态)，且与其始终连通的阀门装置12内也维持为减压气氛。
首先，如图6(A)所示，先进行处理腔室4的维护，将阀体44装配于搬出搬入口37并使其气密性地密封(S1)。由此，处理腔室4内与搬送室6内的连通被隔断，成为密封状态。而且，在该状态下，处理腔室4内向大气开放，例如进行电极的更换及内部部件的更换等必要的维护操作(S2)。
接着，结束上述维护操作，使处理腔室再次组合，同时开始成为大气压的处理腔室4内的抽真空操作，缓慢地进行减压(S3)。这里，在处理腔室4内的抽真空中，由未图示的压力计检测出处理腔室4内与搬送室6内的压力差，比较该压力差是否在规定值以下(S4)。
而且，当上述压力差在规定值以下时(S4的YES(是))，因为几乎不会发生颗粒的卷扬(飞散)，所以如图6(B)所示，阀体44后退。由此，搬出搬入口37开放，处理腔室4内与搬送室6内在共同减压气氛的状态下恢复到连通状态。而且，如图6(C)及图6(D)所示，阀体支撑部件48缓慢地例如旋转移动90度，使阀体44向着维护用开口72(S5)。其中，此时，处理腔室4内也是长时间抽真空，以去除壁面等所粘附的水分及不需要的气体。
接着，如图6(E)所示，通过使阀体44前进，而使其装配于维护用开口72，对维护用开口72进行气密性的关闭(S6)。在这种情况下，由于维护用开口72形成仅比前面的搬出搬入口34稍大的尺寸，所以外侧的维护用密封部件68与装配面接触成为密封，与此相比，内侧恶化的密封部件66则成为对于维护用开口72内而露出状态。
而且，此时，在该装配的阀体44与上述维护用开闭盖74之间形成很小的、相当于该部分的划分壁厚度的密闭空隙82，这里，若突然取下维护用开闭盖74，则因为该空隙82内的真空被迅速破坏而成为颗粒飞散的原因，所以不希望这样。因此，首先，在取下维护用开闭盖74之前，使图2所示的空隙供气系统80动作，向上述空隙82内供给例如N2等气体，使空隙82成为大气压状态。其中，在作为空隙供气系统80而未设置安全阀的情况下，也可以通过手动使其缓慢地动作而使空隙82内成为大气压状态。
这样，若空隙82内成为大气压状态，则通过松动图2及图3所示的螺栓78，而如图6(F)所示，将维护用开闭盖74取下(S7)。由此，使维护用开口72成为向外侧开放的状态。
接着，维护操作者将露出维护用开口72的恶化的密封部件66更换为新的密封部件(S8)。此时，维护操作者在安装新的密封部件时强力推压阀体44，但由于阀体驱动机构46是由锁定机构动作而处于锁定状态，所以能够确保操作安全性。
这样，在密封部件66的更换结束之后，能够再次通过螺栓78而将维护用开闭盖74安装固定(S9)。此时的状态为图6(E)所示的状态。这里，与上述相反，空隙82内成为大气压状态，而且，若阀体44就这样后退，则少量的含有水分等的大气向处理腔室4内及搬送室6内扩散，这是所不希望的。因此，在使阀体44后退之前，先驱动图2所示的空气真空排气系统88，将该空隙82内的大气压状态抽成真空。而且，在进行了一定时间的抽真空后，使该阀体44后退而从维护用开口72离开(S10)。此时的状态是如图6(D)所示的状态，由此，结束了密封部件66的更换操作。
这样，上述密封部件66的更换操作，能够在搬送室6内及处理腔室4内维持真空的状态下、即在不破还真空的情况下进行。所以，由于与处理腔室4相比，能够维持大容量的搬送室6内的真空状态，所以能够使该处理系统的效率大幅度提高。
而且，该密封部件66的更换操作，能够在数十分钟左右完成，与其相对，因为对一度向大气开放的处理腔室4内的水分等进行去除的抽真空运行、即抽空运行需要数小时到十几小时的时间，所以通过在上述空运行时间内进行密封部件66的更换操作，就能够使上述处理系统的全体停止时间缩短，从这一点上也能够使处理系统的工作效率提高。
而且，在密封部件66的更换时，由于不对门阀装置进行大幅度地分解，而是仅将维护用开闭盖74取下就能够进行密封部件66的更换，从这一点来讲也能够提高操作性，并迅速进行该更换操作。
而且，由于仅分别设置一个阀体及驱动系统，所以能够使装置全体的结构简化，而且其尺寸也小，能够使装置全体小型化。
第二实施例
以下，对本发明门阀装置的第二实施例加以说明。
图8是用于说明本发明的门阀装置的第二实施例动作的动作说明图。其中，对与图6所示构成部分相同的构成部分标注相同的符号，并省略其说明。此外，在图8中仅表示门阀装置的主要部分。
在上述第一实施例的情况下，是在搬出搬入口37的装配面上形成凹部状的接触回避台阶部70，以避免在阀体44装配时与维护用密封部件68的接触，但是，在该第二实施例中，是将接触回避台阶部70设置于阀体44的表面周缘部。其中，其它结构都与第一实施例相同。具体地说，阀体44形成得稍厚，使其周缘部形成台阶状，由此形成接触回避台阶部70。而且，维护用密封部件68设置于该接触回避台阶部70。在这种情况下，在阀体44的中心侧突出的周边部设置密封部件66，如图8(E)及图8(F)所示，该突出部形成为能够收存于维护用开口72内的大小。
所以，如图8(A)所示，在阀体44装配于搬出搬入口37时，密封部件66接触密封，此时，在接触回避台阶部70上设置的维护用密封部件68成为非接触状态。与此相对，当阀体44装配于维护用开口72时，维护用密封部件68与装配面接触密封，而另一密封部件66成为从维护用开口72内露出的状态而被更换。
第三实施例
接着，对本发明的门阀装置的第三实施例加以说明。
图9是表示本发明的门阀装置的第三实施例的截面图。其中，对与上面说明的构成部分相同的构成部分标注相同的符号，并省略其说明。此外，在图9中仅表示门阀装置的主要部分。
在上述第一及第二实施例中，阀体驱动机构46的阀体支撑部件48是能够旋转的，而在第三实施例中，该阀体支撑部件98形成为棒状，是能够使其上下方向移动的结构。而且，在该阀体支撑部件98的前端部上设置有能够前进以及后退的阀体44。此外，框体36向上方延长而形成截面长方形，使上述棒状的阀体支撑部件98贯通该框体36的顶部而向外部引出。此外，在该阀体支撑部件98的贯通部，设置有金属制的可伸缩的波纹管100，能够在维持门阀装置内的气密性的同时使棒状的阀体支撑部件98上下动作。
而且，在上述框体63的上部的侧壁上，设置有维护用开口72以及维护用开闭盖74。在这种情况下，维护用开口72相对于搬出搬入口37在上下方向呈直线状配置而形成。
在该第三实施例的情况下，在第一以及第二实施例中是使阀体支撑部件48旋转运动，而这里是使阀体支撑部件98上下运动，使得阀体44可选择地邻近搬出搬入口37和维护用开口72。而且，在搬送晶片W时，阀体44位于上方而处于待机状态。
在该第三实施例的情况下，由于是不需要旋转机构而仅由直线运动机构所构成，所以能够使结构更为简化。
还其中，使上述维护用开口72位于处理腔室4的上方侧的理由是，由于一般处理腔室4的上方侧的空间较大，易于进行密封部件的更换操作。也可以根据情况使框体36向下方延伸而位于处理腔室4的下侧来设置维护用开口72。
第四实施例
接着，对本发明的门阀装置的第四实施例加以说明。
图10是表示本发明的门阀装置的第四实施例的截面图。在图10中仅表示了装置的主要部件。其中，具有与图9中包含的已经说明的部分相同结构的部分标注同一符号，省略其说明。在该第四实施例中，图9所示的第三实施例中的框体36向下方延伸至少阀体44直径以上的长度，且棒状的阀体支撑部件98贯通框体36的底部而设置。
在这种情况下，当在处理腔室4与搬送室6之间搬送晶片W时，阀体44位于框体36内的最下部，使得不遮断晶片W的移动轨迹94。
第五实施例
接着，对本发明的门阀装置的第五实施例加以说明。
图11是表示本发明的门阀装置的第五实施例的截面图。在图11中仅表示了门阀装置的主要部件。其中，对与上面说明的实施例相同的构成部分标注相同的符号，并省略其说明。在该第五实施例中，是上述说明的第一以及第二实施例的变形例。首先，框体36的形状从大体正方形变为大体正六边形。而且，可旋转的阀体支撑部件48的截面形状为大体等腰三角形，在其两腰部分别安装有能够前进以及后退的两个阀体、即第一以及第二阀体44A、44B。这里，将相对于第一以及第二阀体44A、44B的旋转中心的安装张开角θ设定为大致60度。在这种情况下，阀体移动装置52也可以对应于第一以及第二阀体44A、44B而独立控制来设置。
此外，该第一及第二阀体44A、44B共同使用图8所示的第二实施例中说明的阀体，即在阀体侧形成接触回避台阶部70的阀体。而且，在截面为六边形的框体36上，通过在该搬出搬入口37的两侧相邻的边上分别形成又细长的开口来设置第一以及第二两个维护用开口72A、72B。而且，该维护用开口72A、72B上由未图示的螺栓而可装卸地安装有第一以及第二维护用开闭盖74A、74B。其中，在这些第一以及第二维护用口72A、72B处，当然也可分别设置如图2所说明那样的空隙真空排气系统88以及空隙供气系统80等。
在该第五实施例的情况下，当晶片W通过时，如图11(A)或者图11(D)所示，在第一以及第二阀体44A、44B共同后退的状态下，设置第一以及第二阀体44A、44B向着上侧或者下侧，使得不遮断晶片W的移动轨迹94。其中，在阀体支撑部件48旋转时，如图11(B)所示，第一以及第二阀体44A、44B共同后退，对内壁不产生干涉。
此外，在工序处理时，如图11(E)或者图11(C)所示，第一阀体44A或者第二阀体44B装配于搬出搬入口37，并将其密封，使处理腔室4内成为密封状态。即，在这里，第一以及第二阀体44A、44B共同具有等价的相同功能。其中，在图11(C)中，第一阀体44A装配于第一维护用开口72A，在图11(E)中，第二阀体44B装配于维护用开口72B，但在工序处理时，两阀体44A、44B没有必要共同装配，可以后退。
接着，对更换第一以及第二阀体44A、44B的内侧密封部件66的情况加以说明。
首先，在更换第一阀体44A的内侧的密封部件66的情况下，如图11(C)所示，第二阀体44B装配于搬出搬入口37并将其密封，而第一阀体44A装配于上方的第一维护用开口72A并将其密封。而且，在该状态下，能够取下第一维护用开闭盖74A，将第一阀体44A的密封部件66更换为新的密封部件。
此外，在更换第二阀体44B的内侧的密封部件66的情况下，如图11(E)所示，第一阀体44A装配于搬出搬入口37并将其密封，而第二阀体44B装配于下方的第二维护用开口72B并将其密封。而且，在该状态下，能够取下第二维护用开闭盖74B，将第二阀体44B的密封部件66更换为新的密封部件。
在这种情况下，当在处理腔室4内进行工序处理时，或者在大气开放进行维护时，也能够与处理腔室4内的压力状态无关，进行密封部件66的更换。
特别是，为了避免处理腔室4A～4D之间的交叉污染，要求避免发生多个处理腔室相对于搬送室6同时开放的状态，在这种情况下，因为搬送室6与处理腔室4不连通，且包含该门阀装置而全部维持为真空状态，所以使用两个阀体的第五实施例能够特别有效地与上述要求相对应。
第六实施例
接着，对本发明的门阀装置的第六实施例加以说明。
图12是表示本发明的门阀装置的第六实施例的截面图。在图12中仅表示了装置的主要部分。其中，对于与图11说明的第五实施例相同的构成部分标注相同的符号，并省略其说明。
该第六实施例是图11所示的第五实施例的变形例。第一以及第二的两个阀体44A、44B中的一个，在图示例中使用的第一阀体44A是设置有接触回避台阶部70与维护用密封部件68的阀体，而另一阀体是在图示例中作为第二阀体44B而未设置接触回避台阶部70的图2所示的平板状的阀体，使用的是未设置维护用密封部件68而仅设置一个密封部件66的阀体。而且，如图12(B)所示，在工艺处理时或者清洗处理时，专门由第一阀体44A密封搬出搬入口37。
此外，如图12(C)所示，为了更换第一阀体44A的密封部件66，在将其装配于维护用开闭盖74A上时，将第二阀体44B装配于搬出搬入口37并将其密封。所以，在本实施例的情况下，由于第二阀体44B的密封部件66几乎没有恶化，所以没有更换的必要。因此，在框体36中就没有必要设置在图11的第五实施例中设置的第二维护用开口72B，因此将该设置省略。其中，在使阀体支撑部件48旋转时，如图12(A)所示，第一以及第二阀体44A、44B共同后退。在该第六实施例的情况下，也能够得到与前面说明的第五实施例同样的作用效果。
第七实施例
接着，对本发明门阀装置的第七实施例加以说明。
图13是表示本发明的门阀装置的第七实施例的截面图。在图13中仅表示了装置的主要部分。其中，在图11以及图12所示的结构部分中仅表示了门阀装置的主要部件。此外，对于与图11以及图12所示构成部分相同的构成部分标注相同的符号，并省略其说明。
在该第七实施例中，主要是图11所示的第五实施例与图12所示的第六实施例的组合，此外，框体36的左半部分不是角形，而是原封不动地以开放状态连接于搬送室6一侧。这里，第一以及第二阀体44A、44B可以使用与第五实施例中使用的两个阀体44A、44B相同结构的阀体。此外，这里，在框体36中，与图12所示的第六实施例同样，设置一方的第一维护用开口74A而不设置另一方的第二维护用开口。在该第七实施例的情况下，也能够得到与图12所示的第六实施例同样的作用效果。
其中，在以上的各实施例中，是以在搬送室6与处理腔室4之间设置门阀装置的情况为例而进行的说明，但是也可以将该门阀装置的功能一体组装在搬送室内。例如，如图14所示，搬送室6的划分壁的一部分具有与前面说明的框体36同样的功能，在这里没有框体。而且，在该搬送室6的端部内收容有上述阀体44以及阀体支撑部件48等，该端部的前端直接连接于处理腔室4的侧壁28。所以，划分搬入开口30的侧壁28的外侧面成为装配面，上述阀体44直接装配于作为该外侧面的装配面上。在这种情况下，接触回避台阶部70例如形成于侧壁28的外侧面。
此外，这里虽然作为被处理体是以半导体晶片为例进行的说明，但是并不局限于此，本发明当然也可以适用于玻璃基板、LCD基板等。

Claims (19)

1.一种门阀装置，
是安装在用于对被处理体实施规定处理的处理腔室的搬入开口、使所述被处理体从真空状态的搬送室侧通过、并开闭所述搬入开口的门阀装置，其中，该门阀装置包括：
能够开闭所述搬入开口而安装的阀体；和
可装卸地设置于所述阀体的表面，在由所述阀体开闭所述搬入开口时气密地与装配的装配面接触的密封部件，其特征在于，该门阀装置还包括：
在该密封部件的外周、以距所述密封部件规定的间隔而包围设置的维护用密封部件；
维护用开口，形成为在装配所述阀体时、在所述密封部件露出的状态下，通过所述维护用密封部件而能够气密地密封的大小；
可装卸地气密堵塞所述维护用开口的维护用开闭盖；和
能够使所述阀体在所述搬入开口与所述维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构。
2.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：
在所述阀体的表面或者由所述阀体开闭所述搬入开口时而装配的装配面上，形成有接触回避台阶部，在将所述阀体装配于所述搬入开口的装配面时，用于避免所述维护用密封部件的接触。
3.根据权利要求1或2所述的门阀装置，其特征在于：
在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙供气体系，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的所述阀体之间所形成的空隙内恢复成大气压。
4.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：
在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙真空排气系统，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的所述阀体之间所形成的空隙内抽成真空状态。
5.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：
所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与阀体移动装置所构成，其中，
所述阀体支撑部件可旋转移动，使得能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间移动；
所述阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，并在其前端安装有所述阀体而使其前进以及后退。
6.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：
所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与阀体移动装置所构成，其中，
所述阀体支撑部件可直线移动，使得能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间移动；
所述阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，并在其前端安装有所述阀体而使其前进以及后退。
7.一种门阀装置，
是安装在用于对被处理体实施规定处理的处理腔室的搬入开口、使所述被处理体从真空状态的搬送室侧通过、并开闭所述搬入开口的门阀装置，其特征在于：该门阀装置包括：
可开闭所述搬入开口而安装的第一以及第二阀体；
可装卸地分别设置于所述第一及第二阀体的表面，在由所述阀体开闭所述搬入开口时可气密地与装配的装配面接触的密封部件；
在所述第一以及第二阀体中的至少一个阀体的密封部件的外周、以距该密封部件规定的间隔而包围设置的维护用密封部件；
至少一个维护用开口，形成为在装配设置有所述维护用密封部件的阀体时、在所述密封部件露出的状态下，通过所述维护用密封部件而能够气密地密封的大小；
可装卸地气密堵塞所述维护用开口的外侧的维护用开闭盖；和
能够使所述第一以及第二阀体在所述搬入开口与所述维护用开口之间选择性地移动而安装的阀体驱动机构。
8.根据权利要求7所述的门阀装置，其特征在于：
在设置有维护用密封部件的阀体的表面或者在所述搬入开口的周围的装配面上，形成有接触回避台阶部，在将设置有所述维护用密封部件的阀体装配于所述搬入开口的装配面上时，用于避免所述维护用密封部件的接触。
9.根据权利要求7或8所述的门阀装置，其特征在于：
在划分所述维护用开闭盖或者所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙供气体系，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的设置有所述维护用密封部件的阀体之间所形成的空隙内恢复成大气压。
10.根据权利要求7所述的门阀装置，其特征在于：
在划分所述维护用开闭盖或所述维护用开口的划分壁上，设置有空隙真空排气系统，将在所述维护用开闭盖与装配于所述维护用开口的装配面上的设置有所述维护用密封部件的阀体之间所形成的空隙内抽成真空状态。
11.根据权利要求7所述的门阀装置，其特征在于：
所述阀体驱动机构由阀体支撑部件与第一以及第二阀体移动装置所构成，其中，
所述阀体支撑部件能够在遮断所述被处理体的移动轨迹的位置与不遮断移动轨迹的位置之间直线移动；
所述第一以及第二阀体移动装置设置于所述阀体支撑部件，可使分别安装于其前端的第一以及第二阀体在相互不同方向前进以及后退。
12.根据权利要求1或7所述的门阀装置，其特征在于：
在所述阀体驱动机构上安装有用于抑止所述阀体的动作的锁定机构。
13.根据权利要求1或7所述的门阀装置，其特征在于：
所述维护用开闭盖由透明板构成。
14.根据权利要求1或7所述的门阀装置，其特征在于：
所述维护用开闭盖具有用于目视确认其内部的观察窗。
15.根据权利要求1或7所述的门阀装置，其特征在于：
所述阀体驱动机构具有由手动将向着所述维护用开口的所述阀体装配于所述维护用开口的装配面的装配装置。
16.根据权利要求1或7所述的门阀装置，其特征在于：
所述门阀装置全体的周围由框体所包围。
17.一种被处理体的处理系统，包括：
能够抽成真空的搬送室；和
用于对被处理体实施规定的处理的、设置在所述搬送室的周围的多个处理腔室，其特征在于，该被处理体的处理系统还包括：
夹设在所述搬送室与所述各处理腔室之间的、如权利要求1至13中任一项所述的门阀装置；
设置在所述搬送室内、用于将所述被处理体向所述各处理腔室搬出搬入而能够伸缩与旋转的搬送机构。
18.一种密封部件的更换方法，其特征在于：
是更换权利要求1～6中任一项所述的门阀装置的密封部件的更换方法，其中，包括：
密封工序，将阀体装配于搬入开口的装配面并气密地密封；
维护工序，使所述处理腔室内对大气开放，对所述腔室内进行维护；
抽真空工序，在所述维护工序之后对所述处理腔室内抽真空，达到真空气氛；和
密封部件更换工序，在所述抽真空工序进行之间，在所述处理腔室与真空状态的搬送室内的压力差达到规定值以下时，在所述阀体装配于维护用开闭盖并气密地密封的状态下将所述维护用开闭盖取下，更换所述密封部件。
19.一种密封部件的更换方法，其特征在于：
在权利要求7～16中任一项所述的门阀装置的密封部件的更换方法中，包括：
密封工序，将第一以及第二阀体内的设置有维护用密封部件的阀体装配于维护用开口的装配面并气密地密封，同时将另一阀体装配于搬入开口的装配面并气密地密封；
密封部件更换工序，将所述维护用开闭盖取下，更换所述密封部件。
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