CN1110772A

CN1110772A - 双向真空阀

Info

Publication number: CN1110772A
Application number: CN 94114080
Authority: CN
Inventors: 王德苗; 任高潮; 高汉牧
Original assignee: Zhejiang University ZJU
Current assignee: Zhejiang University ZJU
Priority date: 1994-12-28
Filing date: 1994-12-28
Publication date: 1995-10-25
Anticipated expiration: 2014-12-28
Also published as: CN1035566C

Abstract

一种双向真空阀，其特征是由升降杆3带动的滑块41，其左右两端各布置一组滚动轴承44A和44B，升降杆3上升时，滚动轴承44A推动闭合板2密封真空通道A，滚动轴承44B挤压阀座1的B侧内壁，升降杆3下降时，真空通道A畅通。同现有技术比较，本方案的突出优点是闭合板2能面向大气压反向密封，或者背向大气压正向密封，同时还可用于闭合板2的两侧皆为真空时的密封，可广泛应用于各种真空设备，特别是连续式真空设备中。

Description

本发明涉及一种专门适用高真空设备的阀门，特别涉及一种双向真空阀。

真空阀门专用于高真空设备中，尤其是应用于幕墙玻璃、ITO透明导电玻璃镀膜生产线上，以及半导体器件、太阳能器件、光学器件镀膜用真空设备中。常用于狭长真空通道上的真空阀门是转页式阀门，它由阀座、闭合板、转轴、曲柄、连杆、驱动器组成，闭合板与转轴固定连接，布置在真空通道上方，闭合板密封面上设有密封圈，驱动器通过曲柄、连杆带动转轴、闭合板转动，使真空通道密封，若驱动器反向转动，则密封通道畅通。

转页式真空阀门存在如下缺陷：

1.该阀门只能单向密封，它需要借助大气侧的大气压力才能使密封有效，当其反向为大气压时，则密封无法实现。

2.当闭合板的两侧皆处于真空状态时，容易产生高压强侧向低压强侧串气，造成密封不良。

3.对于闭合板的材质、加工精度、热处理工艺要求甚高，否则闭合板使用过程中容易变形，导致密封性能变差，甚至失效。

本发明的目的在于提供一种密封性能可靠的双向真空阀，其阀座为箱状长方体，阀座内设有一个固定在升降杆上的滑块，该滑块的左右端分别布置一组滚动轴承，升降杆上升时，位于滑块左端的滚动轴承分别压紧闭合板密封面的背面，位于右端的滚动轴承紧压在阀座内壁上，此时真空通道处于密封状态;升降杆下降则真空通道畅通。

实现本发明目的采用的技术措施是：

（1）闭合板采用楔形截面;

（2）位于滑块左端的滚动轴承与楔形闭合板间的相对运动、右端滚动轴承与阀座内壁间的相对运动，所产生的摩擦均为滚动摩擦，使升降杆升降阻力减小，利于操作;

（3）在滑块的左右端同时布置滚动轴承，与闭合板和阀座内壁同时接触，使闭合装置左右受力平衡，特别是通道A处，其外部为大气压、内部为真空时，则闭合板承受很大的外界反向压力，该压力通过闭合板和闭合装置施加在阀座内壁上，而获得平衡，使本阀门具有双向密封的功能。

图1为双向真空阀的结构示意图。

图2为闭合装置的左视图。

图3为轴瓦设有导向槽的双向真空阀的结构示意图。

以下结合附图说明，详细叙述本发明的具体内容。

如图1所示，一种双向真空阀，包括阀座1，闭合板2，升降杆3，闭合装置4，动密封组件5，双连杆6，盖板7，闭合板2下端部设有转轴21，其密封面四周设有密封圈22，转轴21布置在轴瓦23内，轴瓦23通过螺钉固定在真空通道下方阀座1内壁上，升降杆3上端部设有外螺纹，其下端部通过动密封组件5安装在阀座1底部，闭合装置4采用螺母31布置在升降杆3上部，双连杆6的两端分别安装在闭合板2和闭合装置4的端面上，升降杆3上升时，闭合装置4推动闭合板2密封真空通道A，升降杆3下降时，真空通道A畅通，其特征是：

-闭合板2采用截面为直角梯形的楔形板，楔形夹角为15°～25°;

-闭合装置4由滑块41、螺钉42、轴43、滚动轴承44A、44B、垫片45、压板46、柔性垫块47组成，其中滑块41为长方体，其中心处开有一个用于布置升降杆3的通孔，该通孔上部设置一个用于布置螺母31的沉孔，滑块41左端和右端分别开有2～6个用于布置滚动轴承44A和44B的竖向槽和一个与竖向槽成正交的方形槽，轴43布置在该方槽内，滚动轴承44A和44B安装在轴43上，压板46通过螺钉固定在滑块41左右侧端面上，轴43的最佳位置由垫片45调整，柔性垫块47布置在滑块41上;

-双连杆6的两端分别安装在闭合板2和滑块41的端面上。

图3显示，轴瓦23上开有一个用于布置转轴21的斜向槽23A，当楔形闭合板2翻落时，随其转轴21沿斜向槽23A移动，图中虚线表示翻落后闭合板2的最终位置。设有斜向槽的双向真空阀，有助缩小阀座1内部空间的体积。

同现有技术比较，本双向真空阀具有如下优点：

1.密封可靠，应用范围广。在密封面的任意一侧为大气，另一侧为真空时适用，同时在两侧均为真空时也适用，而现有技术只能单向密封。

2.部件之间为滚动摩擦，阻力小，操作灵活。

3.对闭合板的加工工艺要求较低，利于制造。

4.对升降杆3施加较小的推动力，即可实现可靠的密封。

实施例：

一种双向真空阀，其结构如图1所示，阀口尺寸长×宽为500×40mm，闭合板面积为530×60mm，滑块41的长宽高为510×45×53mm，其左端部安装201型轴承4个，右端部安装201轴承2个，闭合板斜度为1∶100，阀座为长方状箱体，其五个面由不锈钢板焊成，盖板通过固定螺钉固定在阀座上。

密封实测结果如下：

（1）用于正向密封：密封面左侧为真空态，右侧为大气态，密封性能优良，检测不出漏率。

（2）用于反向密封：密封面的两侧皆抽气至3×10^-5Pa真空，闭合板封闭真空通道后，于密封面的左室逐渐充入气体，至压强达到一个大气压时，右室真空度仍维持在3×10^-5Pa，证明密封不漏。

Claims

1、一种双向真空阀，包括阀座[1]，闭合板[2]，升降杆[3]，闭合装置[4]，动密封组件[5]，双连杆[6]，盖板[7]，闭合板[2]下端部设有转轴[21]，其密封面四周设有密封圈[22]，转轴[21]布置在轴瓦[23]内，轴瓦[23]通过螺钉固定在真空通道下方阀座[1]内壁上，升降杆[3]上端部设有外螺纹，其下端部通过动密封组件[5]安装在阀座[1]底部，闭合装置[4]采用螺母[31]安装在升降杆[3]上部，双连杆[6]的两端分别安装在闭合板[2]和闭合装置[4]的端面上，升降杆[3]上升时，闭合装置[4]推动闭合板[2]密封真空通道A，升降杆[3]下降时，真空通道A畅通，其特征在于：

-闭合板[2]采用截面为直角梯形的楔形板，楔形夹角为15°～25°；

-闭合装置[4]由滑块[41]、螺钉[42]、轴[43]、滚动轴承[44A]、[44B]、垫片[45]、压板[46]、柔性垫块[47]组成，其中滑块[41]为长方体，其中心处开有一个用于布置升降杆[3]的通孔，该通孔上部设置一个用于布置螺母[31]的沉孔，滑块[41]左端和右端分别开有2～6个用于布置滚动轴承[44A]和[44B]的竖向槽和一个与竖向槽成正交的方形槽，轴[43]布置在该方槽内，滚动轴承[44A]和[44B]安装在轴[43]上，压板[46]通过螺钉固定在滑块[41]左右侧端面上，轴[43]的最佳位置由垫片[45]调整，柔性垫块[47]布置在滑块[41]上；

-双连杆[6]的两端分别安装在闭合板[2]和滑块[41]的端面上。

2、根据权利要求1的双向真空阀，其特征在于：所述的轴瓦[23]上开有一个用于布置转轴[21]的斜向槽[23A]。