KR20040043932A - 게이트 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 공정 장비에서 트랜스퍼 모듈(Transfer module)과 프로세스 챔버(Process chamber)간의 격리에 사용되는 게이트 밸브(Gate valve)에 관한 것이다. 본 발명의 게이트 밸브는 트랜스퍼 모듈과 결합되는 제1면과 상기 프로세스 모듈에 결합되는 제2면 그리고 상기 구동부가 설치되는 제3면을 갖는 밸브 하우징을 갖는다. 이들 제1면과 제2면은 서로 대응되게 경사지게 이루어진다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}

본 발명은 반도체 공정 장비에서 트랜스퍼 모듈(Transfer module)과 프로세스 챔버(Process chamber)간의 격리에 사용되는 게이트 밸브(Gate valve)에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 진공을 사용하는 여러대의 프로세스 챔버가 연결되는 시스템의 트랜스퍼 모듈에는 각 챔버에 대한 격리를 목적으로 프로세스 챔버와의 사이에 게이트 밸브가 사용된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브(10)는 모듈간을 연결하는 밸브 하우징(12)과, 구동부품이 내장된 구동부(14)로 구성되어 있다.

한편, 반도체 제조 공정에 사용되는 유독성 개스(Toxic gas)로 인해 일정 시간 공정이 진행되면 폴리머(Polymer) 등의 오염물질이 게이트 밸브(10)의 블레이드 등에 흡착되기 쉽다. 따라서, 게이트 밸브(10)는 이러한 경우 기밀 유지를 어렵게 하거나 수율을 저하시키는 등 성능저하를 초래하므로 주기적인 청소 및 교체가 수반되어야 한다.

하지만, 기존의 게이트 밸브(10)는 트랜스퍼 모듈(200)과 프로세스 모듈(300)로부터의 분리가 거의 불가능하거나, 모듈의 위치를 이동시킨 후에나 분리가 가능했다. 그 이유는 게이트 밸브(10)의 밸브 하우징(12)이 사각형 구조로 이루어져 있기 때문이다. 또한 모듈과의 정확한 체결을 위해 밸브 하우징에 형성된 락 핀(LOCK PIN; 미도시됨) 때문이다.

이처럼, 모듈(200,300)로부터 게이트 밸브(10)를 분리하는 작업은 그 절차가 몹시 번거롭고 많은 시간이 투입되어야 하는 단점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 모듈의 이동 없이 교체가 가능하도록 그 형태를 개선하여 유지 보수의 곤란성을 해소할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 설비의 게이트 밸브를 제공하는데 있다.

도 1은 일반적인 게이트 밸브를 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브의 사이도;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 게이트 밸브가 모듈들 사이에 설치된 상태를 보여주는 도면;

도 4는 도 3에서 밸브 하우징의 일부는 절개한 도면;

도 5는 모듈들로부터 분리되는 게이트 밸브를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110 : 밸브 하우징

112 : 통로

114 : 전면

116 : 후면

120 : 구동부

130 : 블레이드

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 공정 장비에서 트랜스퍼 모듈(Transfer module)과 프로세스 챔버(Process chamber)간의 격리에 사용되는 게이트 밸브는 트랜스퍼 모듈과 프로세스 모듈 사이에 설치되어 웨이퍼 이동 통로를 형성하는 밸브 하우징과; 상기 밸브 하우징에 결합되어 상기 웨이퍼 이동 통로를 차단하는 블레이드 및, 상기 블레이드를 구동시키기 위한 구동부로 이루어지는 게이트 밸브를 포함한다. 상기 밸브 하우징은 상기 트랜스퍼 모듈과 결합되는 제1면과 상기 프로세스 모듈에 결합되는 제2면 그리고 상기 구동부가 설치되는 제3면을 구비하고, 상기 제1면과 제2면은 서로 대응되게 경사지게 이루어진다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1면과 상기 제2면에는 모듈과의 기밀 유지를 위한 실링이 설치되며, 상기 밸브 하우징은 상기 제1면과 제2면 그리고 제3면이 삼각형 구조로 이루어진다.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 게이트 밸브(100)는 반도체 공정 장비에서 트랜스퍼 모듈(Transfer module;200)과 프로세스 챔버(Process module;300)간의 격리에 사용된다.

상기 게이트 밸브(100)는 각 모듈간을 연결하는 밸브 하우징(110)과, 구동부품이 내장된 구동부(120)로 이루어진다.

도 4를 참조하면, 상기 밸브 하우징(110)은 전면 중앙에 웨이퍼(Wafer) 이동을 위한 통로(112)가 형성되어 있으며, 통로(112)는 중간부분에서 블레이드(130)가 끼워지면서 블레이드(130)에 의해 차단되거나 또는 열리는 구조로 되어 있다. 상기 블레이드(130)는 상기 밸브 하우징(110)에 밑면으로부터 끼워져 통로(112)를 열거나 차단함으로써 각 모듈간을 격리 또는 해제하게 된다. 상기 블레이드(130)는 장비 콘트롤러의 공압신호에 의해 상승,하강 동작하는 구동부(120)에 의해 구동된다.

한편, 상기 밸브 하우징(110)의 전면(114)과 후면(116)은 서로 대응되게 경사지게 형성된다. 상기 전면(114)은 트랜스퍼 모듈(200)과 결합되는 면이고, 상기 후면(116)은 프로세스 모듈(300)과 결합되는 면이다. 물론, 상기 트랜스퍼 모듈(200)은 상기 전면(114)과 대응되게 경사면(222)을 갖는 연결부(220)를 갖으며, 상기 프로세스 모듈(300) 역시 상기 후면(116)과 대응되게 경사면(322)을 갖는 연결부(320)를 갖는다. 한편, 상기 밸브 하우징(110)의 저면(118)에는 상기 구동부(120)가 설치된다. 한편, 상기 전면(114)과 후면(116)에는 각각 기밀을 위한 오링(140)이 부착되어 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 밸브(100)는 밸브 하우징(110)의 형상이 삼각형으로 이루어져 있어, 모듈의 이동 없이 상기 모듈들(200,300)로부터 탈착 및 체결시 가능한 장점을 갖는다. 이러한 삼각형 구조의 밸브 하우징(110)을 갖는 게이트 밸브(100)는 모듈로부터 도 4에 표시된 화살표 방향으로의 분리가 가능하다.

이와 같이, 본 발명의 실시에에 따른 게이트 밸브는 모듈의 이동없이 게이트 밸브를 분리 및 조립할 수 있는 것이다.

이상에서, 본 발명에 따른 게이트 밸브의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명에 의하면, 게이트 밸브의 밸브 하우징의 형태를 개선하여, 게이트 밸브의 교체시 모듈을 이동시키지 않고도 분리 및 조립이 가능하다. 따라서, 게이트 밸브의 유지 보수를 용이하게 할 수 있다.

Claims (3)

1. 반도체 공정 장비에서 트랜스퍼 모듈(Transfer module)과 프로세스 챔버(Process chamber)간의 격리에 사용되는 게이트 밸브에 있어서:

   트랜스퍼 모듈과 프로세스 모듈 사이에 설치되어 웨이퍼 이동 통로를 형성하는 밸브 하우징과;

   상기 밸브 하우징에 결합되어 상기 웨이퍼 이동 통로를 차단하는 블레이드 및,

   상기 블레이드를 구동시키기 위한 구동부로 이루어지는 게이트 밸브를 포함하되;

   상기 밸브 하우징은 상기 트랜스퍼 모듈과 결합되는 제1면과 상기 프로세스 모듈에 결합되는 제2면 그리고 상기 구동부가 설치되는 제3면을 구비하고, 상기 제1면과 제2면은 서로 대응되게 경사진 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1면과 상기 제2면에는 모듈과의 기밀 유지를 위한 실링이 설치되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 밸브 하우징은 상기 제1면과 제2면 그리고 제3면이 삼각형 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.