KR200325184Y1 - 웨이퍼 에치용 배출장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼의 에치공정을 종료한 웨이퍼를 박스 형상의 케이싱부의 중앙에 구획을 나누어 밀폐시키는 격벽을 형성하고, 격벽에는 복수개의 통공으로 형성된 배출구를 형성하여 스테이지의 안치된 웨이퍼의 부산물을 배출구를 통하여 케이싱부의 하부에 형성된 배출부로 배출하는 배출장치에 있어서, 상기 케이싱부의 전면에는 내부가 투시되도록 투명소재의 투시창을 형성하고, 상기 격벽의 하부에 누출을 방지하는 커버를 형성한 투명소재의 수조 형상으로 하부에 연결되는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 가스켓을 구비한 집수조와, 상기 집수조의 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 상부 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 배면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 하부 가스켓을 구비한 제 1밸브와, 상기 제 1밸브의 하부 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에 정면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에 공정챔버와 연결되는 유입관을 형성한 제 2밸브를 구비한 배출부를 형성한다.

Description

웨이퍼 에치용 배출장치 {Exhausting Device for Etch with Wafer}

본 고안은 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에치공정을 마친 웨이퍼 표면에 잔류하는 케미컬 흄과 부산물 등의 잔류물을 효과적으로 제거하고 웨이퍼의 에치공정이 수행되는 공정챔버 내의 부산물을 효과적으로 배출하는 웨이퍼 에치용 배출장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체의 소자를 제조하기 위하여 포토리스그래피, 에치, 확산, 화학기상증착 등 다양한 단위공정을 진행하며, 이러한 단위공정중 포토리스그래피 공정에 의해 형성된 패턴들을 마스크로 하고, 마스크 아래에 있는 부분과 외부로 노출된 부분들 사이에 서로 다른 화학 반응이 일어남으로써, 마스크로 보호되지 않는 부분들이 공정이 진행됨에 따라 떨어져 나가게 하는 것이 에치공정이다.

일반적인 에치공정은 복수의 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트가 로딩 및 언로딩되는 로드락 챔버와, 웨이퍼를 얼라인하는 얼라인 챔버와, 얼라인된 웨이퍼를 에치하는 공정을 실시하는 공정챔버와, 로드락 챔버에 로딩된 웨이퍼 카세트로부터 각각의 챔버로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시키는 웨이퍼 이송로봇이 구비된 트랜스퍼 챔버를 포함한다.

한편, 공정챔버에서 에치공정을 마친 웨이퍼는 로드락 챔버의 웨이퍼 카세트에 장착되어 Standard Mechanical InterFace Pod(이하, SMIF 파드 라고 함) 내에 보관되어 외기와 밀봉된 상태로 후속공정을 실시하기 위하여 운반된다.

이러한, SMIF 파드는 클린 룸(Clean Room)의 시설비 감소, 웨이퍼의 오염방지 등의 목적으로 그 사용이 요구되어지며, 웨이퍼가 점차 대구경화 되어감에 따라 필수적으로 필요하게 된다.

이와 같은 웨이퍼의 에치장치는 공정챔버에서 에치공정을 마친 웨이퍼가 로드락 챔버에 위치한 웨이퍼 카세트에 장착되어 SMIF 파드 내로 곧바로 이송되어 외기와는 밀봉된 상태로 운반됨에 따라 에치공정 진행시에 발생된 케미컬 흄(Chemical fume)이나 부산물(by-product) 등의 잔류물이 웨이퍼 표면 위에 잔류하게 된다.

상기 웨이퍼 표면 위의 잔류물이 부식성이 강한 산 화합물의 경우 SMIF 파드 내에서 SMIF 파드를 구성하고 있는 부재를 부식시켜 파티클(particle)을 발생시키며, 후속 공정에서 발생한 다른 종류의 물질과 반응하여 웨이퍼의 결함을 발생시키거나 반도체 소자의 전기적 품질을 저하시키는 등의 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 에치공정을 마친 웨이퍼를 로보트와 같은 이송수단으로 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 스테이지에 안치되도록 웨이퍼를 이송한 상태로 진공펌프라인에 연결된 내부 공기를 흡입하는 배출장치를 형성하여 웨이퍼에 흡착하여 잔존하는 부산물을 제거하기 위한 에치 공정용 배출장치가 안출된 바 있다.

이런, 종래 기술의 에치 공정용 배출장치는 도 1에서 도시한 바와 같이, 웨이퍼가 탑재되도록 중앙과 좌우측에 홈을 다수개 형성한 스테이지(11)에 웨이퍼가 끼워져서 탑재되고 하부에는 다수개의 통공인 배출구(13)를 형성한 격벽(12)으로 구성된 탑재부(10)와, 상기 탑재부(10)에 형성된 배출구(13)를 PVC 재질의 주름관으로 형성된 배출관(21)을 외부에 형성된 진공펌프라인(미도시됨)과 연결하도록 형성된 배출부(20)로 구성된다.

이와 같은, 종래 기술의 에치공정용 배출장치는 공정챔버에서 에치작업이 완료된 웨이퍼를 로봇과 같은 이송수단으로 웨이퍼의 폭과 일치하도록 형성된 스테이지(11)의 각 홈에 탑재하고, 탑재부(10)의 배출구(13)와 진공펌프라인을 PVC 주름관으로 형성한 배출관(21)으로 연결하여 탑재부(10) 내부에 부산물을 진공펌프라인과 연결된 배출부(20)의 배출관(21)으로 연결하여 진공펌프라인에서 발생되는 흡입력으로 제거하였다.

이때, 탑재부(11)에 탑재된 웨이퍼의 케미컬 흄 및 부산물 등을 배출하기 위해서 격벽(12)에 형성된 배출구(13)는 부산물의 누출을 최소화하기 위해서 제한된 구경으로 두개정도 형성하는 것이 바람직하다.

이렇게, 제한된 구경으로 두개의 배출구(13)에 연결되는 배출관(21)을 진공펌프라인에 연결하기 위해서는 두개의 배출구(13)에서 하나로 합쳐진 형태로 연결되게 되어, 제한된 구경으로 배출되는 배출관(21)의 구경을 확대할 수 없으므로, 협소한 배출관(21)에서 배출하여야 하고, 두 부분으로 분기되어 배출관(21)이 하나로 합쳐지는 부분에서 와류가 발생하므로 진공펌프라인의 흡입량에 비해 배출효율이 감소되는 문제점이 있었다.

또한, 배출관(21) 설치의 편의성을 위해 형성된 플랙시블한 주름관의 주름 틈새에 부산물이 적층되고 이로 인한 부산물의 적층은 흡입시 와류가 발생의 원인이 되어 하부로 흡입되는 흡입량이 감소하게 되고, 와류발생으로 인해 일시적으로 배출관(21) 내부 곡관으로 형성된 부분에서 흡입량이 급격히 줄어들어 집중적으로 부산물이 적층되므로 배출량이 급감하게 되는 문제점이 있었다.

아울러, 배출장치가 형성된 전면이 불투명 소재로 형성하여 내부를 육안으로 관찰할 수 없고, 내부를 관찰하기 위해 전면을 제거하여도, PVC 주름관으로 형성된 배출관이 불투명 소재이므로, 부산물이 관내에 적층된 상태를 육안으로 식별할 수 없어서 청소 시기와 교체시기를 가늠할 수 없으므로, 불분명한 교체와 청소시기에 따라 시기가 지체되면 제품의 품질이 저하되고, 시기가 너무 이르면 불필요한 공정의 손실이 발생하여 원가 상승의 원인이 되며, 교체나 청소 시에도 배출관을 결합한 상태에서 부산물과 잔존가스의 누출을 억제하기 위해 에치공정을 정지하고, 배출관 내에 잔존가스를 모두 배출한 다음에 조립된 배출관을 분리 하여 실시함으로 시간이 많이 소요되고 제조공정의 손실이 발생하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

이에, 공정의 손실을 최소화 하기 위해서 불투명 소재의 배출관을 완벽한 배출의 확인 없이 무리하게 분리하면 인체에 유해한 부산물의 누출에 따라 공정이 오염되어 정화될 때까지 작업이 지연되고, 정화비용으로 인한 막대한 손실이 발생하며, 청소와 교체 작업자가 누출된 부산물에 노출되어 인체가 손상되는 사고가 발생하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 고안의 주목적은 웨이퍼가 안치되는 스테이지가 설치된 격벽에 형성된 배출구의 하부에 넓은 수조형상으로 투명소재의 집수조를 형성하고, 하부에 직경이 큰 복수의 밸브로 진공펌프라인과 연결하여 배출효율을 향상시키며, 하부에 형성된 유입관을 에치작업이 수행되는 공정챔버에 연결하여 복수로 연결된 진공펌프라인에서 웨이퍼와 공정챔버 내에 부산물과 잔류가스를 동시에 배출하므로 배출설비를 축소하고 배출효율을 증대하여 생산성을 향상시키는 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 다른 목적은 웨이퍼의 배출장치 정면에 내부가 표시될 수 있도록 투명의 표시창을 형성하고, 격벽에 형성된 배출구와 연결되어 일차적으로 부산물과 잔류가스를 흡입하여 집산되도록, 상부가 밀폐된 수조 형상의 집수조를 투명하게 형성하여 내부가 육안으로 식별이 가능하며, 집수조에서 모인 부산물을 직경이 큰 배출관을 통하여 배출함으로, 내부에 부산물과 잔존가스의 적층량을 육안으로 확인하여 배출관의 청소와 교체시기가 정확하게 파악하므로 양질의 제품을 일정하게 생산하는 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 상기 집수조의 하부에 설치되어 진공펌프라인에 연결되는 밸브를 상하 형성된 가스켓으로 실링을 인입하여 볼트로 결합한 상태로 밸브의 상부와 하부에 높이를 조절하는 조절부를 형성하여 설치와 분해 시에 높이를 조절하여 간편하게 조립과 분해가 이루어지고, 배출구에서 나오는 부산물이 집산되는 집수조를 하부에 연결된 조절부에서 높이를 조절하면서 설치하여 부산물의 누설을 방지하도록 견고한 압력으로 설치가 가능하므로 설치가 간편하고 견고하게 조립되는 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 일부 절개 정면도.

도 2는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 사시도.

도 3은 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 정면도.

도 4는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치의 구성을 나타내는 구성도.

도 5는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

100 : 배출장치 110 : 케이싱부

111 : 스테이지 112 : 격벽

113 : 배출구 114 : 투시창

120 : 배출부 121 : 집수조

121a : 커버 121b : 가스켓

122 : 제 1밸브 122a : 상부 가스켓

122b : 하부 가스켓 122c : 레버

122d : 제 1배출관 122e : 상부 조절부

122f : 하부 조절부 123 : 제 2밸브

123a : 레버 123b : 제 2배출관

123c : 가스켓 123d : 유입관

124 : 실링 125 : 볼트

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치는 반도체 웨이퍼의 에치공정을 종료한 웨이퍼를 박스 형상의 케이싱부의 중앙에 구획을 나누어 밀폐시키는 격벽을 형성하고, 격벽에는 복수개의 통공으로 형성된 배출구를 형성하여 스테이지의 안치된 웨이퍼의 부산물을 배출구를 통하여 케이싱부의 하부에 형성된 배출부로 배출하는 배출장치에 있어서, 상기 케이싱부의 전면에는 내부가 투시되도록 투명소재의 투시창을 형성하고, 상기 격벽의 하부에 누출을 방지하는 커버를 형성한 투명소재의 수조 형상으로 하부에 연결되는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 가스켓을 구비한 집수조와, 상기 집수조의 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 상부 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 배면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 하부 가스켓을 구비한 제 1밸브와, 상기 제 1밸브의 하부 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에 정면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에 공정챔버와 연결되는 유입관을 형성한 제 2밸브를 구비한 배출부를 형성한 것을 그 기본적 구성상에 특징으로 한다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 종래의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 일부 절개 정면도이고, 도 2는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 사시도이며, 도 3은 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치의 구성을 나타내는 구성도이며, 도 5는 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치를 나타내는 단면도이다.

도 1 내지 도 5에서 도시한 바와 같이 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치(100)는 전면에 투명의 투시창(114)을 형성하고 중앙에 구획을 나누며 통공의 배출구(113)를 형성한 격벽(112)의 상부에 웨이퍼가 안치되는 스테이지(111)를 형성한 케이싱부(110)와, 상기 격벽(112)의 하부에 배출구(113)와 연결되어 부산물이 집산되는 집수조(121)를 형성하고, 집수조(121)의 하단에 부산물을 배출하는 제 1밸브(122)를 결합하며, 제 1밸브(122)의 하단에 공정챔버와 연결된 제 2밸브(123)를 결합한 배출부(120)로 구성된다.

상기 케이싱부(110)는 사각 박스 형상으로 전면에 투명재질로 내부를 육안으로 식별할 수 있는 투시창(114)을 형성하고, 중앙에는 구획을 형성하고 구획 사이에 부산물의 소통을 방지하도록 격벽(112)을 형성하며, 격벽(112)에는 하부로 부산물이 배출되도록 배출구(113)를 복수개 형성하고 격벽(112)의 상부에는 중앙 후면 측과 좌우에 웨이퍼의 폭에 따른 위치로 복수개의 홈을 형성한 스테이지(111)를 설치하여 각 홈에 웨이퍼가 안치될 수 있도록 구성한다.

상기 배출부(120)의 집수조(121)는 격벽(112) 하부에 실리콘 재질로 배출구(113)와 같은 위치에 통공을 형성하여 부산물의 누출을 방지하는 커버(121a)를 형성하고, 커버(121a)의 하부에는 투명재질로 상부는 통공을 배출구(113) 위치에 형성하면서 밀폐되며, 하부에는 라운드 형상으로 중앙에 부산물이 모여서 관으로 배출되도록 형성하고, 하부에는 관의 외주연에 볼트 공을 형성한 가스켓(121b)을 형성하여 제 1밸브(122)와 결합되도록 구성한다.

상기 제 1밸브(122)는 집수조(121)의 가스켓(121b)과 결합되도록 상부에 직경이 큰 관의 외주연에 볼트공을 형성한 상부 가스켓(122a)을 형성하여 볼트(125)로 부산물의 누출을 방지하고 견고하게 조립되도록 테프론 소재의 실링(124)을 삽입한 상태로 결합하며, 상부 가스켓(122a)의 하부에는 관에 간격을 가지도록 절단한 절단부분의 외주연에 나사결합하여 회전에 의해 상하 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)를 형성하고, 중앙에서 후측으로 형성된 제 1배출관(122d)을 진공펌프와 연결하여 집수조(121)에 모인 부산물을 흡입하며, 제 1배출관(122d)과 연결되는 연결부에는 내부 유체의 흐름을 개폐하는 레버(122c)를 형성하고, 중앙에서 하부에 높이를 조절하는 하부 조절부(122f)를 형성하며, 하부 조절부(122f)의 하부에는 제 2밸브(123)와 결합되는 하부 가스켓(122b)을 형성하여 구성한다.

상기 제 2밸브(123)는 제 1밸브(122)의 하부 가스켓(122b)과 결합되도록 상부 관의 외주연에 볼트공을 형성한 가스켓(123c)을 구비하여 볼트(125)로 실링(124)을 삽입한 상태로 결합하고, 중앙에 전면 측으로 진공펌프와 제 2배출관(123b)이 연결되도록 형성하며, 제 2배출관(123b)이 연결되는 연결부에는 내부 유체의 흐름을 개폐하는 레버(123a)를 형성하고, 하부에는 유입관(123d)을 형성하여 공정챔버와 연결되도록 구성한다.

이때, 상기 제 1밸브(123)는 확대된 관과 중앙을 직경이 넓어지도록 볼록한 구형상으로 형성하여 상부 집수조(122)에서 유입되는 유입량을 확대된 관측으로 급격히 속도가 증대되는 원리를 이용하여 배출하므로 배출효율을 향상하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치의 설치 상태와 작동을 살펴보면 다음과 같다.

상기 케이싱부(110)의 중앙에 격벽(112)으로 형성된 상부로 웨이퍼가 안치되는 스테이지(111)가 형성되고 격벽(112)에는 통공을 형성한 배출구(113)를 복수개 형성한다.

상기 배출구(113)의 위치에 통공을 형성한 커버(121a)를 상부에 형성하고, 하부에 투명의 집수조(121)도 배출구(113) 위치에 통공을 형성하여 설치한 상태에서 집수조(121a)의 하부에 형성한 가스켓(121b)과 제 1밸브(122)의 상부에 형성된 상부 가스켓(122a)에 실링(124)을 삽입하여 볼트(125)로 결합한다.

그리고, 제 1밸브(122)의 하단에 형성된 하부 가스켓(122b)과 제 2밸브(123)의 상단에 형성된 가스켓(123c)에 실링(124)을 삽입하고 볼트(125)로 결합하여 조립한다.

이런, 조립이 끝나면 격벽(112)의 하부로 배출구(113)의 위치에 맞추어 커버(121a)와 집수조(121)를 설치하고, 제 1밸브(122)의 제 1배출관(122d)과 제 2밸브(123)의 제 2배출관(123b)에 진공펌프를 연결하며, 제 2밸브(123)의 하부에는 유입관(123d)을 공정챔버와 연결하여 설치한 상태에서 제 2밸브(123)를 케이싱부(110)의 내부 하면에 고정 설치하고, 제 1밸브(122)의 상하에 설치된 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)와 하부 조절부(122f)로 상하 높이를 조절하여서 부산물의 누출을 억제하면서 배출부(120)가 케이싱부(110)의 격벽(112) 하부에 견고하게 고정될 수 있도록 설치한다.

이렇게, 배출장치(100)의 설치가 끝나면 케이싱부(110)의 격벽(112) 상부에 형성된 스테이지(111)로 이송수단에 의해 웨이퍼가 이송되고, 이송이 끝나면 전면에 투시창(114)을 통해 내부를 육안으로 관찰하면서 격벽(112)의 배출구(113)에서 커버(121a)로 누출을 방지하면서 집수조(121)에 모인 부산물과 잔존 가스를 가스켓(121b)으로 결합하여 확대된 관과 중앙으로 볼록의 구형상에 넓은 직경을 가진 제 1밸브(122)와 진공펌프와 연결되어 형성된 제 1배출관(122d)에서 진공펌프의 흡인력으로 부산물과 잔존 가스를 배출한다.

또한, 케이싱부(110)의 하부 내측에 고정된 제 2밸브(123)는 하부에 유입관(123d)으로 공정챔버와 결합하여 공정챔버에서 발생하는 부산물 및 잔존 가스를 제 2밸브(123)와 제 2배출관(123b)로 연결된 진공펌프의 흡인력으로 제거한다.

그리고, 제 1밸브(122)와 제 2밸브(123) 측에 진공펌프의 이상으로 하나가 작동하지 않으면 작동되지 않는 측에 밸브를 레버로 차단하고, 작동되는 측의 밸브에서 안치된 웨이버와 공정챔버의 부산물과 잔존가스를 흡입하여 제거할 수 있도록 한다.

아울러, 육안으로 투시창(114)을 통하여 집수조(122)를 관찰하면서 청소나 교체 시기가 되면 공정챔버에 직접 진공펌프를 연결하고 제 1밸브(122), 제 2밸브(123) 및 상부 배출구(113)를 차단한 상태에서 제 1밸브(122)의 상하에 설치된 높이를 조절하는 상부 조절부(122e)와 하부 조절부(122f)를 조작하여 높이를 축소한 상태에서 간단하게 분리하여 청소 및 교체작업을 실시하므로 에치공정의 중단 없이 교체 및 청소작업을 수행할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 웨이퍼 에치용 배출장치는 웨이퍼가 안치되는 스테이지를 지지하는 격벽에 형성된 배출공의 하부에 넓은 수조형상의 집수조를 형성하고, 집수조와 결합되는 직경이 큰 밸브로 진공펌프와 연결하여 배출효율을 향상시키며, 하부에 형성된 밸브에 연결된 유입관을 에치작업이 수행되는 공정챔버에 연결하여 진공펌프에서 웨이퍼와 공정챔버 내에 부산물과 잔류가스를 동시에 배출하므로 배출설비를 축소하고 배출효율을 증대하여 생산성을 향상시키는 장치를 제공하는 효과가 있다.

또한, 웨이퍼의 배출장치 정면에 내부가 표시될 수 있도록 투명의 표시창을 형성하고, 격벽에 형성된 배출구와 연결되어 일차적으로 부산물과 잔류가스를 흡입하여 집산 되도록 상부가 밀폐된 수조 형상의 집수조를 투명하게 형성하여 내부가 육안으로 식별이 가능하므로, 내부에 부산물과 잔존가스의 적층량을 육안으로 확인하여 배출관의 청소시기와 교체시기를 정확하게 파악하여 양질의 제품을 일정하게 생산하는 장치를 제공하는 효과가 있다.

아울러, 집수조의 하부에 설치되어 진공펌프에 연결되는 밸브를 상하 형성된 가스켓으로 실링을 인입하여 볼트로 결합한 상태로 밸브의 상부와 하부에 높이를 조절하는 조절부를 형성하여 설치와 분해 시에 높이를 조절하여 간편하게 조립과 분해가 이루어지고, 조립된 밸브의 높이를 상승시켜 견고하게 설치가 가능하므로 부산물의 누출을 방지하며, 간편하게 조립하여 조립의 편의성과 누출에 대한 안전성을 향상시키는 장치를 제공하는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 반도체 웨이퍼의 에치공정을 종료한 웨이퍼를 박스 형상의 케이싱부의 중앙에 구획을 나누어 밀폐시키는 격벽을 형성하고, 격벽에는 복수개의 통공으로 형성된 배출구를 형성하여 스테이지의 안치된 웨이퍼의 부산물을 배출구를 통하여 케이싱부의 하부에 형성된 배출부로 배출하는 배출장치에 있어서,

   상기 케이싱부의 전면에는 내부가 투시되도록 투명소재의 투시창을 형성하고,

   상기 격벽의 하부에 누출을 방지하는 커버를 형성한 투명소재의 수조 형상으로 하부에 연결되는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 가스켓을 구비한 집수조와,

   상기 집수조의 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 상부 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에서 배면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에는 관의 외주연측으로 볼트공을 형성한 하부 가스켓을 구비한 제 1밸브와,

   상기 제 1밸브의 하부 가스켓과 실링을 삽입하여 볼트로 결합되는 가스켓을 상부에 형성하고, 중앙에 정면측으로 진공펌프와 연결된 제 1배출관을 형성하며, 제 1배출관의 상부에 내부를 개폐하는 레버를 형성하고, 하부에 공정챔버와 연결되는 유입관을 형성한 제 2밸브를 구비한 배출부를 형성한 것을 특징으로 하는 에치 공정용 배출장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1밸브는 상부에 직경이 큰관의 외주연에 볼트공이 형성된 상부 가스켓으로 집수조 하부에 형성된 가스켓과 결합하고, 하부에도 직경이 큰 관의 외주연에 형성된 하부 가스켓을 제 2밸브의 상부에 형성된 가스켓으로 결합하며, 중앙을 볼록한 구형상으로 넓어진 부분에 중앙에 형성된 제 1배출관이 진공펌프와 결합되어 부산물을 배출하도록 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에치용 배출장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1밸브는 집수조가 결합되는 상부 가스켓과 제 2밸브가 결합되는 하부가스켓 측에 관을 간격이 형성되도록 절단하여 외주연에 나사를 형성하고, 간격이 형성된 부분의 누출을 방지하도록 내부에 나사가 형성되어 결합되는 상부 조절부와 하부 조절부를 형성하며, 상부 조절부와 하부 조절부가 회전하면 부산물의 누출을 방지하도록 밀폐된 상태에서 상하로 제 1밸브의 높이가 조절하여 배출부의 전체 높이가 조절되도록 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에치용 배출장치.