KR20060069287A - 게이트 밸브 장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법 - Google Patents

게이트 밸브 장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법 Download PDF

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KR20060069287A
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Abstract

반송실측을 대기 개방하지 않고 밀봉 부재를 교환하는 것이 가능한 게이트 밸브 장치를 제공한다.
처리 챔버(4)의 반입 개구에 장착되어서, 진공 상태의 반송실(6)측과의 사이를 개폐하는 게이트 밸브 장치(12)에 있어서, 반입 개구를 개폐하도록 착석 가능하게 된 밸브체(44)와, 밸브체의 표면에 착탈 가능하게 설치되어서 반입 개구의 주위의 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉 부재(66)와, 밀봉 부재의 외주에 밀봉 부재로부터 소정의 간격을 두고 둘러싸도록 하여 설치된 유지 보수용 밀봉 부재(68)와, 하우징에 설치되고, 밸브체를 착석시켰을 때에 밀봉 부재가 노출된 상태에서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 된 유지 보수용 개구972)와, 유지 보수용 개구의 외측을 착탈 가능하게 기밀하게 폐쇄하는 유지 보수용 개폐 덮개(72)와, 밸브체를 반입 개구와 상기 유지 보수용 개구와의 사이에서 이동시켜서 착석시키는 밸브체 구동 기구(46)를 구비한다.

Description

게이트 밸브 장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법{GATE VALVE APPARATUS, PROCESSING SYSTEM AND METHOD OF EXCHANGING A SEAL MEMBER}
도 1은 본 발명에 따른 게이트 밸브 장치를 이용한 처리 시스템의 일례를 도시하는 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 게이트 밸브 장치의 제 1 실시예의 설치 상태를 도시하는 확대 단면도,
도 3은 게이트 밸브 장치의 평면도,
도 4는 밸브체와 밸브체 구동 장치의 장착 상태를 도시하는 전방으로부터의 사시도,
도 5는 밸브체와 밸브체 구동 장치의 장착 상태를 도시하는 후방에서 본 사시도,
도 6은 게이트 밸브 장치의 제 1 실시예의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도,
도 7은 밀봉 부재의 교환 방법의 흐름을 도시하는 공정도,
도 8은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 2 실시예의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도,
도 9는 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 3 실시예를 나타내는 단면도,
도 10은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 4 실시예를 나타내는 단면도,
도 11은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 5 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도,
도 12는 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 6 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도,
도 13은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 7 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도,
도 14는 본 발명의 게이트 밸브 장치가 반송실내에 일체적으로 내장되었을 때의 상태를 도시하는 개략 단면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2 : 처리 시스템 4, 4A∼4D : 처리 챔버
6 : 반송실 12, 12A∼12D : 게이트 밸브
14 : 반송 기구 36 : 하우징
37 : 반출입구 44, 44A, 44B : 밸브체
46 : 밸브체 구동 기구 48 : 밸브체 지지 부재
66 : 밀봉 부재 68 : 유지 보수용 밀봉 부재
70 : 접촉 회피 단부 72, 72A, 72B : 유지 보수용 개구
74, 74A, 74B : 유지 보수용 개폐 덮개
80 : 공급 급기계 88 : 공극 진공 배기계
94 : 이동 궤적 W : 반도체 웨이퍼(피처리체)
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실행하는 처리 챔버에 사용되는 게이트 밸브 장치, 이 처리 챔버를 복수 구비한 처리 시스템 및 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서는, 반도체 웨이퍼에 각종의 처리, 예컨대 건식 에칭, 스퍼터링, CVD(Chemical Vapor Deposition) 등의 각종 프로세스가 반복 실행된다. 상기 각종의 처리의 대부분은 진공 분위기하에서 실행되고, 이러한 종류의 처리를 실행하는 처리 챔버에 대하여 웨이퍼의 반출입을 실행하는 반입 개구는, 처리시에는 게이트 밸브 장치에 의해 기밀성이 높은 상태에서 밀봉된다.
이러한 종류의 게이트 밸브 장치는, 예컨대 특허 문헌 1 등에 있어서 개시되어 있다. 예컨대 진공 흡인 가능하게 이루어진 처리 챔버의 측벽에 웨이퍼가 통과할 수 있는 정도의 크기의 근소한 폭의 반입 개구를 형성하고, 이 반입 개구에 게이트 밸브 장치를 장착한다. 그리고, 프로세스시에는 이 게이트 밸브 장치의 O링 등이 장착된 밸브체로 상기 반입 개구를 기밀에 폐쇄한 상태에서 프로세스 처리를 실행하게 된다.
그런데, 상기 각종 프로세스 중에는, 부식성 가스를 이용하는 처리가 있고, 또한 프로세스에 부식성 가스를 이용하지 않아도 처리 챔버내에 부착된 각종의 불필요한 막이나 오물 등을 분리하기 위해서 정기적으로 혹은 부정기적으로 부식성 가스인 에칭 가스를 이용하여 클리닝 프로세스가 실행된다. 이 경우, 상기 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재가 조금씩이지만 상기 부식성 가스에 그 때마다 노출되어서 열화할뿐만 아니라, 착석면에 접촉 또는 가압됨으로써, 물리적으로 마모되거나 감소되거나 하는 등이 생겨서 열화하므로, 이 밀봉 부재를 정기적 혹은 부정기적으로 교환하는 것이 실행된다.
그런데, 상기 처리 챔버는 일반적으로는 1개의 공통의 반송실의 주위에 각각 게이트 밸브 장치를 거쳐서 복수개 연결하도록 하여 설치하고, 이른바 클러스터 툴화되어 있다. 상기 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 작업은, 일반적으로는 이것에 연설되는 처리 챔버내를 대기 개방하여 유지 보수 작업을 실행할 때에 동시에 실행되지만, 상기한 바와 같이 처리 챔버내가 대기 개방되고, 게다가 게이트 밸브 장치는 밀봉 부재교환을 위해서 개방되므로, 공통의 반송실내도 대기 개방되게 된다. 또한, 이 때, 다른 처리 챔버는 별도의 게이트 밸브 장치에 의해 폐쇄되어 있다. 이 경우, 유지 보수 작업 종료 후 및 밀봉 부재의 교환 후에, 다시 반송실내 및 처리 챔버내를 진공 흡인하여 소정의 감압 분위기로 복귀시키지만, 한번 대기 개방하면 공기중의 수분이나 각종 불순한 가스가 내벽면 등에 부착되므로, 이러한 부착된 수분이나 불순한 가스를 대략 완전히 분리할 때까지 많은 진공 흡인 시 간을 필요로 하고, 장치의 가동률의 저하나 처리 효율의 저하를 야기하고 있었다.
따라서, 상기 불비를 해소하기 위해서, 예컨대 특허 문헌 2 등에 개시되어 있는 바와 같이, 2개의 밸브체를 갖는 게이트 밸브 장치가 제안되어 있다. 구체적으로는 게이트 밸브 장치에 독립적으로 동작할 수 있는 2개의 구동 장치를 설치하여 이것들에 각각 밸브체를 설치하고, 처리 챔버내의 유지 보수시나 부식성 가스에 노출되는 밸브체측의 밀봉 부재를 교환할 때에는, 다른쪽 밸브체로 공통의 반송실측의 개구부를 기밀하게 밀봉하고, 처리 챔버내를 대기 개방해도 반송실내는 진공 상태를 유지할 수 있도록 되어 있다.
그러나, 상기한 바와 같이 2개의 밸브체에 대하여 구동 장치를 각각 설치한 종래의 게이트 밸브 장치에 있어서는, 밸브체뿐만 아니라 구동 장치도 각각 2조 설치하지 않으면 안되고, 전체적으로 구조 자체가 복잡화하고, 또한 장치 자체도 대형화하여 바람직하지 못하다는 문제점이 있었다.
또한, 밀봉 부재를 교환하기 위해서는, 게이트 밸브 장치를 구획하는 구획벽 등을 분해하거나 하지 않으면 안되고, 교환 작업 자체가 대규모 작업으로 되어, 교환 작업도 장시간을 필요로 하는 문제점이 있었다.
또한, 밀봉 부재의 교환시에는 게이트 밸브 장치내는 반드시 대기 개방하지 않으면 안되고, 그 만큼 게이트 밸브 장치내가 오염되거나, 교환 작업후에 진공 흡인하는 시간이 길어지거나 하는 문제점도 있었다. 바꾸어 말하면, 처리 챔버내를 대기 개방하지 않으면 밀봉 부재를 교환할 수 없다.
본 발명은 이상과 같은 문제점에 착안하여, 이것을 효과적으로 해결하기 위해서 창안된 것이다.
본 발명의 제 1 목적은 밸브체를 1개만 설치해도 반송실 및 처리 챔버를 대기 개방하지 않고 밀봉 부재를 교환하는 것이 가능한 게이트 밸브 장치, 처리 시스템, 밀봉 부재의 교환 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 제 2 목적은 밸브체를 2개 설치함으로써, 반송실과 처리 챔버를 격리한 상태에서, 밀봉 부재를 교환하는 것이 가능한 게이트 밸브 장치, 처리 시스템, 밀봉 부재의 교환 방법을 제공하는 것이다.
청구항 1에 따른 발명은 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 챔버의 반입 개구에 장착되어서, 진공 상태의 반송실측으로부터 상기 피처리체를 통과시키는 동시에, 상기 반입 개구를 개폐하는 게이트 밸브 장치에 있어서, 상기 반입 개구를 개폐하도록 착석 가능하게 이루어진 밸브체와, 상기 밸브체의 표면에 착탈 가능하게 설치되어서 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석하는 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉 부재와, 상기 밀봉 부재의 외주에 상기 밀봉 부재로부터 소정의 간격을 두고 둘러싸도록 하여 설치된 유지 보수용 밀봉 부재와, 상기 밸브체를 착석시켰을 때에 상기 밀봉 부재가 노출된 상태에서 상기 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 이루어진 유지 보수용 개구와, 상기 유지 보수용 개구를 착탈전 마개에 기밀하게 폐쇄하는 유지 보수용 개폐 덮개와, 상기 밸브체를 상기 반입 개구와 상기 유지 보수용 개구의 사이에서 이동 시켜서 착석시키는 밸브체 구동 기구를 구비하도록 구성한 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치이다.
이와 같이, 밸브체에 프로세스시에 이용하는 밀봉 부재와, 그 외주에 유지 보수용 밀봉 부재를 설치하고, 밀봉 부재의 교환은 유지 보수용 개구에 밸브체를 착석시켜서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 밀봉한 상태에서 실행하도록 했기 때문에, 게이트 밸브 장채내 및 반송실내를 대기에 노출시키지 않고 밀봉 부재를 교환할 수 있고, 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있다.
이 경우, 예컨대 청구항 2에 규정하는 바와 같이, 상기 밸브체의 표면 또는 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석하는 착석면에는 상기 밸브체를 상기 반입 개구의 착석면에 착석시켰을 때에 상기 유지 보수용 밀봉 부재의 접촉을 피하기 위한 접촉 회피단부가 형성되어 있다.
또한, 예컨대 청구항 3에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석된 상기 밸브체의 사이에 형성되는 공극 내를 대기압으로 복귀시키는 공극 급기계가 설치되어 있다.
또한, 예컨대 청구항 4에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석된 상기 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 진공 흡인하기 위한 공극 배기계가 설치된다.
또한, 예컨대 청구항 5에 규정하는 바와 같이, 상기 밸브체 구동 장치는 상 기 피처리체의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 회전 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와, 상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 밸브체를 장작하여서 전진 및 후퇴시키는 밸브체 이동 수단으로 이루어진다.
또한, 예컨대 청구항 6에 규정하는 바와 같이, 상기 밸브체 구동 장치는 상기 피처리체의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 직선 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와, 상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 밸브체를 장착하여 전진 및 후퇴시키는 밸브체 이동 수단으로 이루어진다.
청구항 7에 따른 발명은, 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 챔버의 반입 개구에 장착되어서, 진공 상태의 반송실측으로부터 상기 피처리쳬를 통과시키는 동시에, 상기 반입 개구를 개폐하는 게이트 밸브 장치에 있어서, 상기 반입 개구를 개폐하도록 착석 가능하게 이루어진 제 1 및 제 2 밸브체와, 상기 제 1 및 제 2 각 밸브체의 표면에 착탈 가능하게 각각 설치되어서 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석되는 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉 부재와, 상기 제 1 및 제 2 밸브체 중 적어도 한쪽의 밸브체의 밀봉 부재의 외주에 상기 밀봉 부재로부터 소정의 간격을 두어 둘러싸도록 하여 설치된 유지 보수용 밀봉 부재와, 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 착석시켰을 때에 상기 밀봉 부재가 노출된 상태에서 상기 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 이루어진 적어도 1개의 유지 보수용 개구와, 상기 유지 보수용 개 구의 외측을 착탈 가능하게 기밀하게 폐쇄하는 유지 보수용 개폐 덮개와, 상기 제 1 및 제 2 밸브체를 상기 반입 개구와 상기 유지 보수용 개구의 사이에서 선택적으로 이동시켜서 착석시키는 밸브체 구동 장치를 구비하도록 구성한 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치이다.
이와 같이, 제 1과 제 2의 2개의 밸브체를 설치하고, 적어도 한쪽의 밸브체에 밀봉 부재 이외에 유지 보수용 밀봉 부재를 설치하도록 하고, 밀봉 부재의 교환은 유지 보수용 개구에 유지 보수용 밀봉 부재를 갖는 밸브체를 밀착시켜서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 밀봉하고, 이것과 동시에 다른쪽 밸브체에 의해 처리 챔버로 통하는 반입 개구를 기밀하게 밀봉한 상태에서 실행하도록 했기 때문에, 게이트 밸브 장치내, 반송실내 및 처리 챔버내를 대기에 노출하지 않고 밀봉 부재를 교환할 수 있으며, 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있다.
이 경우, 예컨대 청구항 8에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 표면 또는 상기 반입 개구의 주위의 착석면에는, 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 상기 반입 개구의 착석면에 밀착시켰을 때에 상기 유지 보수용 밀봉 부재의 접촉을 피하기 위한 접촉 회피 단부가 형성되어 있다.
또한, 에컨대 청구항 9에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 밀착한 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 대기압으로 복귀시키는 공극 급기계가 설치 된다.
또한, 예컨대 청구항 10에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석된 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 진공 흡인하기 위한 공극 진공 배기계가 설치된다.
또한 예컨대 청구항 11에 규정하는 바와 같이, 상기 밸브체 구동 장치는 상기 피처리체의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 직선 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와, 상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 제 1 및 제 2 밸브체를 장착해서 서로 다른 방향으로 전진 및 후퇴시키는 제 1 및 제 2 밸브체 이동 수단으로 이루어진다.
또한 예컨대 청구항 12에 규정하는 바와 같이, 상기 밸브체 구동 장치에는 상기 밸브체의 동작을 억제하기 위한 록 기구가 설치되어 있다.
또한 예컨대 청구항 13에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개는 투명판으로 이루어진다.
이에 의하면, 유지 보수용 개폐 덮개가 투명판으로 이루어지므로, 밀봉 부재의 열화의 정도를 시인하는 것이 가능하다.
또한 예컨대 청구항 14에 규정하는 바와 같이, 상기 유지 보수용 개폐 덮개는 내부를 시인하기 위한 시인 윈도우를 갖는다.
또한 예컨대 청구항 15에 규정하는 바와 같이, 상기 게이트 밸브 장치의 전 체는 하우징에 의해 그 주위가 둘러싸인다.
청구항 16에 따른 발명은 진공 흡인 가능하게 이루어진 반송실과, 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위해서 상기 반송실의 주위에 설치한 복수의 처리 챔버와, 상기 반송실과 상기 각 처리 챔버의 사이에 개설된 상기 어느 것에 기재된 게이트 밸브 장치와, 상기 반송실내에 설치되어서 상기 각 처리 챔버를 향해서 상기 피처리체를 반출입시키기 위해서 굴신 및 선회 가능하게 이루어진 반송 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 피처리체의 처리 시스템이다.
청구항 17에 따른 발명은, 상기 어느 것에 기재된 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 방법에 있어서, 반입 개구의 착석면에 밸브체를 착석시켜서 기밀하게 밀봉하는 밀봉 공정과, 상기 처리 챔버내를 대기 개방하여 상기 처리 챔버내를 유지 보수하는 유지 보수 공정과, 상기 유지 보수 공정 후에 상기 처리 챔버내를 진공 흡인하여 진공 분위기로 이행시키는 진공 흡인 공정과, 상기 진공 흡인 공정을 실행하고 있는 동안에, 상기 처리 챔버와 진공 상태의 반송실내의 차압이 소정값 이하로 되었을 때에, 상기 밸브체를 유지 보수용 개폐 덮개에 밀착시켜서 기밀하게 밀봉한 상태로 상기 유지 보수용 개폐 덮개를 제거하여 상기 밀봉 부재를 교환하는 빌몽 부재 교환 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 밀봉 부재의 교환 방법이다.
청구항 18에 따른 발명은, 상기 어느 것에 기재된 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 방법에 있어서, 유지 보수용 개구의 착석면에 제 1 및 제 2 밸브체 중 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 착석시켜서 기밀하게 밀봉하는 동시에, 반입 개구의 착석면에 다른쪽 밸브체를 밀착시켜서 기밀하게 밀봉하는 밀봉 공정 과, 상기 유지 보수용 개폐 덮개를 제거하여 상기 밀봉 부재를 교환하는 밀봉 부재 교환 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 밀봉 부재의 교환 방법이다.
볼 발명의 게이트 밸브 장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법에 의하면, 다음과 같이 우수한 작용 효과를 발휘할 수 있다.
청구항 1∼6, 12∼14에 따른 발명에 의하면, 밸브체에 프로세스시에 사용하는 밀봉 부재와, 그 외주에 유지 보수용 밀봉 부재를 설치하고, 밀봉 부재의 교환은, 유지 보수용 개구에 밸브체를 밀착시켜서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 밀봉한 상태에서 실행하도록 했기 때문에, 반송실내를 대기에 노출시키지 않고 밀봉 부재를 교환할 수 있고, 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있다. 또한, 장치 전체의 구조가 간단화되고, 소형화할 수 있다.
청구항 7∼11, 15에 따른 발명에 의하면, 제 1과 제 2의 2개의 밸브체를 설치하고, 적어도 한쪽의 밸브체에 밀봉 부재 이외에 유지 보수용 밀봉 부재를 설치하도록 하며, 밀봉 부재의 교환은 유지 보수용 개구에 유지 보수용 밀봉 부재를 갖는 밸브체를 착석시켜서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 밀봉하고, 이것과 동시에 다른쪽 밸브체에 의해 처리 챔버로 통하는 반입 개구를 기밀하게 밀봉한 상태에서 실행하도록 했기 때문에, 반송실과 처리 챔버를 격리한 상태에서, 밀봉 부재를 교환할 수 있고, 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있다. 또한, 장치 전체의 구조가 간단화되고, 소형화할 수 있다.
청구항 12에 따른 발명에 의하면, 밸브체 구동 장치에 록 기구를 갖게 했기 때문에, 안전성을 향상시킬 수 있다.
청구항 13에 따른 발명에 의하면, 유지 보수용 개폐 덮개가 투명판으로 이루어지기 때문에, 밀봉 부재의 열화의 정도를 시인할 수 있다.
이하에, 본 발명에 따른 게이트 밸브장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법의 일실시예를 첨부 도면에 기초하여 상세히 설명한다.
<제 1 실시예>
도 1은 본 발명에 따른 게이트 밸브 장치를 이용한 처리 시스템의 일례를 도시하는 평면도, 도 2는 본 발명에 따른 게이트 밸브 장치의 제 1 실시예의 설치 상태를 도시하는 확대 단면도, 도 3은 게이트 밸브 장치의 평면도, 도 4는 밸브체와 밸브체 구동 장치의 장착 상태를 도시하는 전방으로부터의 사시도, 도 5는 밸브체와 밸브체 구동 장치의 장착 상태를 도시하는 후방으로부터의 사시도, 도 6은 게이트 밸브 장치의 제 1실시예의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도, 도 7은 밀봉 부재의 교환 방법의 흐름을 도시하는 공정도이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 이 처리 시스템(2)은 복수, 도시예에서는 4개의 처리 챔버(4A, 4B, 4C, 4D)와, 상기 처리 챔버(4A∼4D)에 대하여 공통으로 이루어진 육각형상의 반송실(6)과, 2개의 로드록실(8A, 8B)을 주로 갖고 있다. 구체적으로는, 상기 각 처리 챔버(4A∼4D)는 각각 진공 흡인 가능하게 이루어지고 있는 동시에, 처리 챔버(4A∼4D)내에는 피처리체인 반도체 웨이퍼(W)를 탑재하기 위한 탑 재대(10A, 10B, 10C, 10D)가 설치되어 있고, 여기에 웨이퍼(W)를 탑재한 상태에서 각종 처리(프로세스)를 실시하도록 되어 있다. 또한, 이 각종 처리는 일반적으로 진공 분위기하에서 실행되지만, 처리 태양에 따라 대략 상압에서 실행되는 경우도 있다. 상기 각 처리 챔버(4A∼4D)는 본 발명에 따른 게이트 밸브 장치(12A, 12B, 12C, 12D)를 거쳐서 상기 반송실(6)의 각 변에 접합되어 있다.
또한 상기 각 반송실(6)내도 진공 흡인 및 대기압 복귀가 가능하게 이루어져 있다. 그리고, 이 반송실(6)내에는 웨이퍼(W)를 반송하기 위해서 굴신 및 선회 가능하게 된 반송 기구(14)가 설치되어 있고, 개방된 각 게이트 밸브 장치(12A∼12D)를 거쳐서 각 처리 챔버(4A∼4D)에 대하여 웨이퍼(W)를 반입·반출할 수 있도록 되어 있다.
또한, 상기 2개의 로드록실(8A, 8B)은 게이트 밸브 장치(16A, 16B)를 거쳐서 반송실(6)에 연결되어 있다. 이 로드록 실(8A, 8B)내도 진공 흡인 및 대기압 복귀가 가능하게 되어 있다. 또한 이러한 로드록실(8A, 8B)은 게이트 밸브 장치(18A, 18B)를 거쳐서 로드 모듈(20)에 접속되어 있고, 이 로드 모듈(20)에는 웨이퍼(W)를 복수매 수용하는 카세트를 설치하는 포트(22)가 설치된다. 그리고, 상기 로드 모듈(20)내에는 굴신 및 선회 가능하게 이루어진 반송 아암 기구(24)가 안내 레일(26)을 따라 주행 가능하게 설치되어 있고, 상기 포트(22)에 탑재된 카세트내에서 웨이퍼(W)를 내부에 취입하여, 각 로드록실(8A, 8B)내에 반입할 수 있도록 되어 있다. 또한 로드록실(8A, 8B)내의 웨이퍼(W)는 반송실(6)내의 반송 기구(14)에 의해 취입되고, 상술한 바와 같이 각 처리 챔버(4A∼4D)내로 반입된다. 또한, 웨이퍼의 반출시에는, 상기한 반입 경로와는 역의 경로를 통해 반출된다.
다음에, 도 2도 참조하여 반송실(6)과 각 처리 챔버(4A∼4D)의 사이에 개설되는 본 발명의 게이트 밸브 장치(12A∼12D)에 대하여 설명한다. 이러한 게이트 밸브 장치(12A∼12D)는 동일한 구조이기 때문에, 이것들을 대표하여 도 2에는 게이트 밸브 장치(12)로서 나타내고, 또한 처리 챔버(4A∼4D)를 대표하여 처리 챔버(4)로서 나타내고 있다.
도 2에도 도시하는 바와 같이, 처리 챔버(4)를 구획하는 측벽(28)에는 웨이퍼(W)를 통과시켜서 반출입시키는 가늘고 긴 반입 개구(30)가 형성되고, 또한 반송실(6)을 구획하는 측벽(32)에도 개구(34)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 게이트 밸브 장치(12)는 이 외각을 형성하는 예컨대 알루미늄으로 이루어지는 대략 직방체 형상의 하우징(36)을 갖고 있고, 이 단면형상은 대략 정방형으로 이루어져 있다. 이 하우징(36)의 일측에는 처리 챔버(4)내에 연통하는 가늘고 긴 반출입구(37)가 형성되고, 이 반대측에는 반송실(6)내에 연통하는 가늘고 긴 개구(38)가 형성되어 있다. 이 하우징(36)과 상기 처리 챔버(4) 및 반송실(6)의 접합면에는 O링(40, 42)이 개재되어서 기밀성을 유지하도록 되어 있다. 그리고, 상기 하우징(36)내에 본 발명이 특징으로 하는 밸브체(44)가 밸브체 구동 장치(46)에 장착하여 설치되어 있고, 필요에 따라 상기 반출입구(37)에 착석하여 이것을 기밀하게 밀봉할 수 있도록 되어 있다. 여기서 상기 반출입구(37)와 반입 개구(30)는 일체적으로 연통되어 있기 때문에, 상기 반출입구(37)를 개폐함으로써 반입 개구(30)도 개폐되게 된다.
구체적으로는, 도 4 및 도 5에도 도시하는 바와 같이, 밸브체 구동 장치(46) 는 U자 형상으로 형성된 밸브체 지지 부재(48)를 갖고 있고, 이 밸브체 지지 부재(48)의 양단으로부터는 각각 외측으로 지지축(50)이 연장되어 있다. 그리고, 이 지지축(50)이 하우징(36)의 길이 방향의 측벽에 기밀하게 관통하도록 하여 회전 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 이 지지 축(50)의 관통부에는 도시하지 않는 예컨대 자성 유체 밀봉 등이 개재되어 있고, 그 밀봉성을 유지한 채 지지축(50)의 회전을 허용하도록 되어 있다.
그리고, 이 밸브체 지지 부재(48)에 신축할 수 있는 예컨대 에어 실린더로 이루어지는 2개의 밸브체 이동 수단(52)을 병행으로 설치하고, 이 밸브체 이동 수단(52)의 선단에 판형상의 상기 밸브체(44)를 장착하고 있다. 따라서, 이 밸브체 이동 수단(52)을 신축함으로써, 상기 밸브체(44)를 전진 및 후퇴할 수 있도록 되어 있다. 상기 밸브체 이동 수단(52)의 신축 구동은 여기서는 압축 공기로 실행하도록 되어 있고, 그 때문에 상기 밸브체 지지 부재(48)에는 상기 각 밸브체 이동 수단(52)에 연통되는 가스 유로(56)가 형성되어 있으며, 이 가스 유로(56)는 한쪽 지지축(50)을 거쳐서 외부에 인출되어 있다. 그리고, 가스 유로(56)가 형성되는 지지축(50)에는 압축 공기로 작동하는 요동 액추에이터(58)가 장착되어 있고, 이 요동 액추에이터(58)에는 밸브체 이동 수단(52)을 신축시키는 신축용 가스 급배 포트(60)와 밸브체 지지 부재(48)를 소정의 각도만큼 정역 방향으로 회전시키는 회전용 가스 급배 포트(62)가 설치되어 있으며, 필요에 따라 밸브체 이동 수단(52)의 신축 및 밸브체 지지 부재(48)의 회전을 실행할 수 있도록 되어 있다.
이 경우, 후술하는 바와 같이 밸브체 지지 부재(48)는 웨이퍼의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이에서 회전 이동한다. 또한, 상기 밸브체 이동 수단(52)의 주위는, 이것을 둘러싸도록 하여 신축 가능하게 이루어진 금속제의 벨로즈(64)가 설치되어 있고, 상기 밸브체 이동 수단(52)의 신축을 허용하면서 신축 공기가 외측으로 누출되지 않도록 되어 있다.
그리고, 상기 밸브체(44)의 전면에는, 처리 챔버(4)내를 밀봉하기 위해서 예컨대 O링으로 이루어지는 밀봉 부재(66)가 가늘고 긴 링형상으로 설치된다. 이 밀봉 부재(66)는 종래 장치에도 이용된 밀봉 부재이고, 도 2에도 도시하는 바와 같이, 반출입구(37)의 주위의 착석면과 기밀하게 접촉하여 이 반출입구(37)를 확실하게 밀봉할 수 있도록 되어 있다. 또한, 밸브체(44)에는 상기 밀봉 부재(66)의 외주에 이것보다 소정의 간격(L1)을 두고 밀봉 부재(66)를 둘러싸도록 하여 예컨대 O링으로 이루어지는 본 발명이 특징으로 하는 유지 보수용 밀봉 부재(68)가 설치된다. 즉, 밀봉 부재(66, 68)가 동심 형상으로 2중으로 설치되도록 되어 있다. 여기서, 상기 소정의 간격(L1)은 예컨대 5∼20㎜ 정도이다. 이 경우, 상기 반출입구(37)의 주위의 착석면에는, 도 2에도 도시하는 바와 같이, 밸브체(44)를 반출입구(36)에 착석시켰을 때에 상기 유지 보수용 밀봉 부재(68)와의 접촉을 피하기 위한 단면 오목부 형상의 접촉 회피 단부(70)가 반출입구(37)의 둘레 방향을 따라 가늘고 긴 링 형상으로 형성되어 있고, 이 유지 보수용 밀봉 부재(68)의 불필요한 열화(마모나 감소)를 방지하고 있다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 하우징(36)의 천정부에는 상기 밸브체(44)의 내측의 밀봉 부재(66)를 교환하기 위한 가늘고 긴 유지 보수용 개구 (72)가 설치되어 있다. 구체적으로는 이 유지 보수용 개구(72)는 이 주위의 착석면에 상기 밸브체(44)를 착석시켰을 때에 상기 밀봉 부재(66)만이 노출된 상태에서 외측의 상기 유지 보수용 밀봉 부재(68)가 착석면에 접촉하여 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 설정되어 있다. 환언하면, 상기 유지 보수용 개구(72)는 상기 반출입구(37)의 크기보다 근소한 폭만큼 넓게 형성되어 있고, 이 유지 보수용 개구(72)를 유지 보수용 밀봉 부재(68)로 기밀하게 밀봉하는 한편, 내측의 밀봉 부재(66)를 유지 보수용 개구(72)내로 노출시키도록 되어 있다. 그리고, 이 유지 보수용 개구(72)에는 그 외측으로부터 예컨대 유지 보수용 개폐 덮개(74)가 O링(76)을 거쳐서 기밀하게 장착되어 있다. 이 경우, 이 유지 보수용 개폐 덮개(74)는 복수개의 볼트(78)에 의해 착탈 가능하게 장착되어 있다. 그래서, 이 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 예컨대 아크릴 수지판 등으로 이루어지는 투명판을 이용하면, 이것을 제거하지 않고 밀봉 부재(66)의 열화의 정도를 외측으로부터 시인할 수 있다. 이 경우, 유지 보수용 개폐 덮개(74)의 일부에 내부를 시인할 수 있는 투명한 시인 윈도우를 설치하도록 할 수도 있다.
그래서, 상기 밸브체(44)를 상기 유지 보수용 개구(72)에 착석시켰을 때에, 상기 유지 보수용 개폐 덮개(74)와 착석된 밸브체(44)의 사이에 형성되는 근소한 공극(82)(도 6E 참조)내를 대기압 복귀시키기 위해서 공극 급기계(80)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 여기서는 도 2에 도시하는 바와 같이, 이 공극 급기계(80)는 상기 유지 보수용 개구(72)를 구획하는 구획벽에 상기 공극(82)[유지 보수용 개구(72)의 부분에 대응]과 외부를 연통하는 유로(84)를 설치하고, 이 유로(84)에 개폐 밸브(86)를 개설하여 필요에 따라, N2 가스나 청정 공기 등을 공급할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 공극 급기계(80)로서, 상기 유로(84)와 개폐 밸브(86)의 구성을 대신하여, 예컨대 수동, 혹은 자동으로 동작하는 릴리프 밸브를 상기 유지 보수용 개폐 덮개(74)에 관통시켜서 설치하도록 할 수도 있다.
또한, 상기 공극(82)내를 진공 흡인하기 위한 공극 진공 배기계(88)가 설치된다. 구체적으로는, 이 공극 진공 배기계(88)는 상기 유지 보수용 개구(72)를 구획하는 구획벽에, 상기 공극(82)과 외부를 연통하는 유로(90)를 설치하고, 이 유로(90)에 개폐 밸브(92)를 개설하여 필요에 따라 공극(82)내의 분위기를 진공 배기할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상기 공극 진공 배기계(88)로는, 상기 유로(90)와 개폐 밸브(92)의 구성을 대신하여, 예컨대 상기 공극(82)내와 하우징(36)의 내부를 연통하도록, 상기 유지 보수용 개구(72)를 구획하는 구획벽내에 자동적으로 개폐 동작하는 에어 오퍼레이션 밸브를 내장하도록 할 수도 있다.
또한, 2개의 유로(84, 90) 중 한쪽만을 설치하고, 이것에 도시하지 않는 3방 밸브 등을 개설하여 이 3방 밸브를 전환함으로써, N2 가스나 청정 공기의 공급와 진공 배기를 선택적으로 가능하도록 할 수도 있다.
다음에, 이상과 같이 구성된 게이트 밸브 장치(12)의 밀봉 부재(66)의 교환 방법에 대하여 도 6 및 도 7도 참조하여 설명한다. 또한, 도 6은 앞서 설명한 게이트 밸브 장치(12)의 주요 부품만을 간소화하여 도시하고 있다.
먼저, 전술한 바와 같이, 이 게이트 밸브 장치(12)의 밸브체(44)의 방향을 변경하기 위해서는, 도 5에 도시하는 밸브체 구동 기구(46)의 회전용 가스 급배 포트(62)에 대하여 압축 공기를 공급, 혹은 배기함으로써 밸브체지지 부재(48)를 소망하는 각도만큼 정역 회전시키고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 밸브체(44)를 상방을 향하거나, 혹은 가로 방향을 향하게 한다. 또한, 밸브체(44)를 전진, 혹은 후퇴시키기 위해서는, 신축용 가스 급배 포트(60)에 대하여 압축 공기를 공급, 혹은 배기함으로써, 예컨대 에어 실린더로 이루어지는 밸브체 이동 수단(52)을 신축시킨다.
또한, 이 밸브체 구동 장치(46)는 각각의 정지 위치에 있어서 록되도록 도시하지 않는 록기구가 설치되어 있고, 특히 후술하는 밀봉 부재 교환시의 안전성을 확보하도록 되어 있다. 또한, 여기서 유지 보수용 개구(72)의 근방에 하우징(36)의 구획벽을 기밀하게 관통하여 예컨대 수동에 의해 하우징 내부의 방향으로 이동할 수 있는 갈고리형 부재(도시하지 않음)를 설치하고, 이 갈고리형 부재로 상기 밸브체를 상기 유지 보수용 개구(72)의 착석면에 가압하여 기밀하게 착석시키도록 할 수도 있다. 이에 의하면, 이 착석 수단이 록 기구의 기능을 갖는 것으로 되고, 또한 유지 보수용 개구(72)를 폐쇄할 때에, 이 착석 수단을 수동으로 구동시키면 된다.
그런데, 통상의 동작시에 있어서, 웨이퍼(W)를 반송실(6)로부터 처리 챔버(4)로 이동시키는 경우, 혹은 역으로 처리 챔버(4)로부터 반송실(6)로 이동시키는 경우에는, 도 6D에 도시하는 바와 같이, 밸브체(44)를 후퇴시킨 채로 밸브체 지지 부재(48)를 상측 방향을 향하게 해 둔다. 이로써, 반출입구(37)는 개방되어서 웨 이퍼(W)의 이동 궤적(94)은 차단되지 않는 상태로 되고, 웨이퍼(W)는 이 이동 궤적(94)을 따라 반송되게 된다. 여기서 반송실(6)내는 항상 진공 상태로 유지되고 있고, 반송실(6)내와 처리 챔버(4)내를 연통할 때에는, 양자의 차압을 소정값 이하로 하고나서 연통을 실행한다.
이에 대하여, 성막 등의 프로세스 처리를 실행할 때에는, 도 6A에 도시하는 바와 같이, 밸브체 지지 부재(48)를 가로 방향을 향해서 밸브체(44)를 전진시키고, 이 밸브체(44)를 반출입구(37)에 착석시킨다. 이로써, 밸브체(44)에 설치하고 있는 내측의 밀봉 부재(66)는 착석면에 접촉하여 반출입구(37)는 기밀하게 밀봉되게 된다. 이로써, 처리 챔버(4)내는 밀폐 상태로 되고, 이 상태에서 처리 챔버(4)내에서는 소정의 처리나 클리닝 처리 등이 실행된다. 이 때, 밀봉 부재(66)의 외측에 설치한 유지 보수용 밀봉 부재(68)는 착석면에 설치한 오목부 형상의 접촉 회피 단부(70)를 향해 비접촉 상태로 되어 있고, 이 결과 이 유지 보수용 밀봉 부재(68)는 쓸모없게 변형되는 경우는 없기 때문에, 이 변형에 의한 열화를 방지할 수 있다. 또한, 이 접촉 회피 단부(70)를 설치하지 않고, 전체에 단부가 없는 평탄한 착석면으로 할 수도 있다.
다음에, 상기 밀봉 부재(66)의 교환 방법에 대하여 도 7에 도시하는 흐름도도 참조하여 설명한다.
여기서는, 이 밀봉 부재(66)의 교환은 처리 챔버(4)내의 유지 보수를 실행할 때에 더불어 실행하는 것으로 한다. 이 경우에도, 반송실(6)내는 진공 흡인되어서 소정의 감압 분위기(진공 상태)로 유지되어 있고, 이것에 상시 연통되어 있는 게이 트 밸브 장치(12)내도 감압 분위기로 유지되어 있다.
우선, 도 6A에 도시하는 바와 같이, 처리 챔버(4)의 유지 보수에 앞서, 반출입구(37)에 밸브체(44)를 착석시켜서 이것을 기밀하게 밀봉한다(S1). 이로써, 처리 챔버(4)내는 반송실(6)내와의 연통이 차단되고, 밀폐 상태로 된다. 그리고, 이 상태에서 처리 챔버(4)내를 대기 개방하여 예컨대 전극의 교환이나 내부 부품의 교환 등의 필요한 유지 보수 작업을 실행한다(S2).
다음에, 상기 유지 보수 작업을 종료하여 처리 챔버를 다시 조립하면, 대기압으로 되어 있는 처리 챔버(4)내의 진공 흡인을 개시하여 서서히 감압시켜 간다(S3). 여기에서 처리 챔버(4)내의 진공 흡인 중에 있어서는, 도시하지 않는 압력계에 의해 이 처리 챔버(4)내와 반송실(6)내의 차압이 검출되어 있고, 이 차압이 소정값 이하로 되는지 아닌지 비교되어 있다(S4).
그리고 상기 차압이 소정값 이하로 되면(S4의 YES), 파티클의 권상의 우려가 거의 생기지 않게 되기 때문에, 도 6B에 도시하는 바와 같이 밸브체(44)를 후퇴시킨다. 이로써, 반출입구(37)는 개방되기 때문에, 처리 챔버(4)내와 반송실(6)내는 모두 감압 분위기의 상태에서 연통된 상태로 복귀한다. 그리고, 도 6C 및 도 6D에 도시하는 바와 같이, 밸브체 지지 부재(48)를 서서히 예컨대 90도 회전 이동하여 밸브체(44)를 유지 보수용 개구(72)를 향한다(S5). 또한, 이 때에도, 처리 챔버(4)내는 벽면 등에 부착되어 있는 수분이나 불필요한 가스를 제거하기 위해서 계속하여 진공 흡인이 장시간에 걸쳐 실행되고 있다.
다음에, 도 6E에 도시하는 바와 같이, 밸브체(44)를 전진시킴으로써, 이것을 유지 보수용 개구(72)에 착석시켜서 유지 보수용 개구(72)를 밀봉하여 기밀하게 폐쇄한다(S6). 이 경우, 유지 보수용 개구(72)는 먼저 반출입구(34)보다도 조금 크게 형성되어 있기 때문에, 외측의 유지 보수용 밀봉 부재(68)가 착석면과 접촉하여 밀봉되게 되고, 이것에 대하여 내측의 열화되고 있는 밀봉 부재(66)는 유지 보수용 개구(72)내에 대하여 노출된 상태로 되어 있다.
또한, 이 때, 이 착석되어 있는 밸브체(44)와 상기 유지 보수용 개폐 덮개(74)의 사이에는 조금이기는 하지만, 이 부분의 구획벽의 두께에 상당하는 밀폐된 공극(82)이 형성되지만, 여기서 갑자기 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 제거하면, 이 공극(82)내의 진공이 한번에 파괴되므로 입자 등의 비산의 원인으로 되어 바람직하지 않다. 여기서, 상기 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 제거하기에 앞서서, 도 2에 도시하는 공극 급기계(80)를 작동하여 상기 공극(82)내에 예컨대 N2 가스 등을 공급하여 공극(82)내를 대기압 상태로 한다. 또한, 공극 급기계(80)로서 릴리트 밸브를 설치하지 않는 경우에는, 이것을 수동으로 완화함으로써 공극(82)내를 대기압 상태로 하면 된다.
이렇게 하여, 공극(82)내가 대기압 상태로 되면, 도 2 및 도 3에 도시하는 볼트(78)를 느슨하게 함으로써, 도 6D에 도시하는 바와 같이 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 제거한다(S7). 이로써, 유지 보수용 개구(72)가 외측을 향해서 개방된 상태로 된다.
다음에, 유지 보수 작업원이 유지 보수용 개구(72)에 노출되어 있는 열화된 밀봉 부재(66)를 새로운 밀봉 부재와 교환하게 된다(S8). 이 때, 유지 보수 작업원은 새로운 밀봉 부재를 장착할 때에 밸브체(44)를 강하게 가압하게 되지만, 밸브체 구동 장치(46)는 록 기구가 작동하여 록 상태로 되어 있기 때문에, 작업의 안전성을 확보할 수 있다.
이와 같이 하여, 밀봉 부재(66)의 교환 작업이 종료하면, 다시 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 볼트(78)에 의해 장착 고정한다(S9). 이 때의 상태는, 도 6E에 도시하는 바와 같은 상태로 된다. 여기서는, 전술한 바와는 역으로, 공극(82)내는 대기압 상태로 되어 있고, 게다가 그 상태로 밸브체(44)를 후퇴시키면 조금이기는 하지만 수분 등을 포함한 대기가 처리 챔버(4)내나 반송실(6)내로 확산하기 때문에 바람직하지 않다. 따라서, 밸브체(44)를 후퇴시키기에 앞서서, 도 2에 도시하는 공극 진공 배기계(88)를 구동하고, 이 공극(82)내의 대기압 분위기를 진공 흡인한다. 그리고, 어느 정도의 시간만큼 진공 흡인하면, 이 밸브체(44)를 후퇴시켜서 유지 보수용 개구(72)로부터 이간시킨다(S10). 이 때의 상태는 도 6D에 도시하는 상태로 된다. 이로써 밀봉 부재(66)의 교환 작업은 종료하게 된다.
이렇게 하여, 상기 밀봉 부재(66)의 교환 작업은 반송실(6)내 및 처리 챔버(4)내의 진공을 유지한 채로, 즉 진공을 파괴하지 않고 실행할 수 있다. 따라서, 처리 챔버(4)와 비교하여 대용량의 반송실(6)내의 진공 상태를 유지할 수 있기 때문에, 이 처리 시스템의 가동률을 대폭으로 향상시킬 수 있다.
또한, 이 밀봉 부재(66)의 교환 작업은 수 10분 정도면 종료하는 것에 반하여, 한번 대기 개방한 처리 챔버(4)내의 수분 등을 제거하는 진공 흡인 운전, 이른 바 '건조 운전'은 몇 시간∼10 수시간으로도 미치므로, 상기 건조 운전중에 밀봉 부재(66)의 교환 작업을 실행함으로써, 그 만큼 전체 처리 시스템의 정지 시간을 짧게 할 수 있고, 이 점보다도 처리 시스템의 가동률을 향상시킬 수 있다.
또한, 밀봉 부재(66)의 교환시에 게이트 밸브 장치를 대폭 분해하지 않고 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 제거하기만 함으로써, 밀봉 부재(66)의 교환 작업을 실행할 수 있기 때문에, 그 만큼 작업성이 향상되고, 이 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있다.
또한 밸브체 및 이 구동계는 1개 설치하기만 함으로써 장치 전체의 구조가 간단화하고, 또한 그 사이즈도 작기 때문에 장치 전체를 소형화할 수 있다.
<제 2 실시예>
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 2 실시예에 대하여 설명한다.
도 8은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 2 실시예의 동작을 설명하기 위한 동작 설명도이다. 또한, 도 6에 도시하는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다. 또한 도 8에서는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다.
앞의 제 1 실시예의 경우에는, 반출입구(37)의 착석면에 오목부 형상의 접촉 회피 단부(70)를 형성하여 밸브체(44)의 착석시에 유지 보수용 밀봉 부재(68)와의 접촉을 피하도록 했지만, 이 제 2 실시예에서는 이 접촉 회피 단부(70)를 밸브체(44)의 표면의 주연부에 설치하고 있다. 또한 다른 구성은 제1 실시예와 동일하 다. 구체적으로는, 밸브체(44)를 조금 두껍게 형성하고, 그 주연부를 단부 형상으로 형성함으로써, 여기에 접촉 회피 단부(70)를 형성하고 있다. 그리고, 유지 보수용 밀봉 부재(68)를 이 접촉 회피 단부(70)에 설치하고 있다. 이 경우, 밸브체(44)의 중심측의 돌기부의 주변부에 밀봉 부재(66)를 설치하고, 이 돌기부는 도 8E 및 도 8F에 도시하는 바와 같이 유지 보수용 개구(72)내에 수납되는 크기로 형성된다.
따라서, 도 8A에 도시하는 바와 같이, 밸브체(44)를 반출입구(37)에 착석시켰을 때에는 밀봉 부재(66)가 접촉하여 밀봉되고, 이 때에는 접촉 회피 단부(70)에 설치한 유지 보수용 밀봉 부재(68)는 비접촉 상태로 된다. 이에 대하여, 밸브체(44)를 유지 보수용 개구(72)에 착석시켰을 때에는 유지 보수용 밀봉 부재(68)가 착석면에 접촉하여 밀봉되고, 다른쪽 밀봉 부재(66)는 유지 보수용 개구(72)내에 노출 상태로 되어 교환되게 된다.
<제 3 실시예>
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 3 실시예에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 3 실시예를 도시하는 단면도이다. 또한, 앞서 설명한 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다. 또한 도 9에는 게이트 밸브 장치의 주요 부분만을 도시하고 있다.
앞의 제 1 및 제 2 실시예에서는 밸브체 구동 기구(46)의 밸브체 지지 부재 (48)는 회전 가능하도록 했지만, 이 제 3 실시예에서는, 이 밸브체 지지 부재(98)를 로드 형상으로 형성하고, 이것을 상하 방향으로 이동할 수 있는 구조로 하고 있다. 그리고, 이 밸브체지지 부재(94)의 선단부에 전진 및 후퇴 가능하게 된 밸브체(44)를 설치하고 있다. 또한, 하우징(36)을 상측 방향으로 길게 연장시켜서 단면 장방 형상으로 형성하고, 이 하우징(36)의 천정부를 관통하여 상기 로드 형상의 밸브체지지 부재(98)를 외부로 인출하고 있다. 또한, 이 밸브체지지 부재(98)의 관통부에는, 금속제의 신축 가능한 벨로즈(100)를 설치하고 있고, 게이트 밸브 장치내의 기밀성을 유지하면서 로드 형상의 밸브체 지지 부재(98)를 상하 이동할 수 있도록 되어 있다.
또한, 상기 하우징(63)의 상부 측벽에 유지 보수용 개구(72) 및 유지 보수용 개폐 덮개(74)를 설치하고 있다. 이 경우, 유지 보수용 개구(72)는 반출입구(37)에 대하여 상하 방향으로 직선 형상으로 배열되도록 형성되어 있다.
이 제3 실시예의 경우에는, 제 1 및 제 2 실시예에서는 밸브체 지지 부재(48)를 회전 이동시켰지만, 여기서는 밸브체지지 부재(98)를 상하 방향으로 이동시켜서, 밸브체(44)를 반출입구(37)와 유지 보수용 개구(72)에 선택적으로 향하도록 되어 있다. 또한, 웨이퍼(W)를 반송할 때에는, 밸브체(44)는 상방에 위치시켜서 대기 상태로 한다.
이 제 3 실시예의 경우에는, 회전 기구가 불필요하게 되어 직선 운동 기구만으로 구성할 수 있기 때문에, 장치 구조를 보다 간단화할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 유지 보수용 개구(72)를 처리 챔버(4)의 상방측에 위치시킨 이유는, 일반적으로 처리 챔버(4)의 상방측의 쪽이 빈 스페이스가 많아서 밀봉 부재 교환 작업을 실행하기 용이하기 때문이고, 경우에 따라서는, 하우징(36)을 하측 방향으로 연장시켜서 처리 챔버(4)의 하방측에 위치하도록 유지 보수용 개구(72)를 설치하도록 할 수도 있다.
(제 4 실시예)
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 4 실시예에 대하여 설명한다.
도 10은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 4 실시예를 도시하는 단면도이다. 도 10에서는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다. 또한, 도 9를 포함하여 앞서 설명한 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 이 제 4 실시예에서는 도 9에 도시하는 제 3 실시예에 있어서의 하우징(36)을 하측 방향으로 적어도 밸브체(44)의 직경 이상의 길이만큼 길게 연장하고, 그래서 로드 형상의 밸브체 지지 부재(98)를 하우징(36)의 바닥부를 관통시켜서 설치하고 있다.
이 경우, 웨이퍼(W)를 반송실(6)과 처리 챔버(4)의 사이에서 반송할 때에는, 밸브체(44)를 하우징(36)내의 가장 하부에 위치시켜서 웨이퍼(W)의 이동 궤적(94)을 차단하지 않도록 하고 있다.
<제 5 실시예>
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 5 실시예에 대하여 설명한다.
도 11은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 5 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도이다. 도 11에서는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다. 또한, 앞서 설명한 실시예와 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다. 이 제 5 실시예는, 앞서 설명한 제 1 및 제 2 실시예를 변형한 것이다. 우선, 하우징(36)의 단면 형상을 대략 정방형으로부터 대략 정육각 형상으로 변경하고 있다. 그리고, 회전 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재(48)의 단면 형상은 대략 이등변 삼각형상으로 이루어져 있고, 그 이등변 부분에 2개의 밸브체, 즉 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)를 각각 별개로 전진 및 후퇴 가능하게 장착하고 있다. 여기서는, 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)의 회전 중심에 대한 설치 개방각(θ)은 대략 60도가 되도록 설정되어 있다. 이 경우, 밸브체 이동 수단(52)도 제 1 및 제 2 각 밸브체(44A, 44B)에 대응시켜서 독립하여 제어 가능하게 설치되어 있다.
또한, 이 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)는 모두 도 8에 도시하는 제 2 실시예에서 설명한 밸브체, 즉 밸브체측에 접촉 회피 단부(70)를 형성한 것이 이용되고 있다. 또한, 단면 6각형의 하우징(36)에는, 이 반출입구(37)의 양측에 인접하는 변에 각각 가늘고 긴 개구를 형성함으로써 제 1 및 제 2의 2개의 유지 보수용 개구(72A, 72B)를 설치하고 있다. 그리고, 이 유지 보수용 개구(72A, 72B)에 제 1 및 제 2 유지 보수용 개폐 덮개(74A, 74B)를 각각 도시하지 않는 볼트로 착탈 가능하게 설치하고 있다. 또한, 이러한 제 1 및 제 2 유지 보수용 개구(72A, 72B)의 개소에도 도 2에 있어서 설명한 바와 같은 공극 진공 배기계(88)나 공극 급기계(80) 등이 설치되는 것은 물론이다.
이 제 5 실시예의 경우에는, 웨이퍼(W)를 통과시킬 때에는, 도 11A 또는 도 11D에 도시하는 바와 같이, 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)를 모두 후퇴시킨 상태에서, 양쪽 밸브체(44A, 44B)를 상측에, 혹은 하측을 향하도록 하여, 웨이퍼(W)의 이동 궤적(94)을 차단하지 않도록 위치시켜 둔다. 또한, 밸브체 지지 부재(48)를 회전시킬 때에는, 도 11B에 도시하는 바와 같이 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)를 모두 후퇴시켜서 내벽과 간섭하지 않도록 한다.
또한 프로세스 처리시에는, 도 11E 또는 도 11C에 도시하는 바와 같이, 제 1 밸브체(44A) 혹은 제 2 밸브체(44B)를 반출입구(37)에 착석시켜서 여기를 밀봉하고, 처리 챔버(4)내를 밀폐 상태로 한다. 즉, 여기서는 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)는 모두 등가적으로 동일한 기능을 갖고 있다. 또한, 도11C에서는 제 1 밸브체(44A)가 제 1 유지 보수용 개구(72A)에 착석하고 있고, 도 11E에서는 제 2 밸브체(44B)가 제 2 유지 보수용 개구(72B)에 착석하고 있지만, 프로세스 처리시에는 양쪽 밸브체(44A, 44B)는 모두 착석시킬 필요는 없고, 후퇴시켜 둔다.
다음에, 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)의 내측의 밀봉 부재(66)를 교환하는 경우에 대하여 설명한다.
우선, 제 1 밸브체(44A)의 내측 밀봉 부재(66)를 교환하는 경우에는, 도 11C에 도시하는 바와 같이 제 2 밸브체(44B)를 반출입구(37)에 착석시켜서 이것을 밀봉하고, 다른쪽에서 제 1 밸브체(44A)를 상방의 제 1 유지 보수용 개구(72A)에 착석시켜서 이것을 밀봉한다. 그리고, 이 상태에서 제 1 유지 보수용 개폐 덮개 (74A)를 제거하여 제 1 밸브체(44A)의 밀봉 부재(66)를 새로운 밀봉 부재와 교환하게 된다.
또한, 제 2 밸브체(44b)의 내측의 밀봉 부재(66)를 교환하는 경우에는, 도 11E에 도시하는 바와 같이 제 1 밸브체(44A)를 반출입구(37)에 착석시켜서 이것을 밀봉하고, 다른쪽에서 제 2 밸브체(44B)를 하방의 제 2 유지 보수용 개구(72B)에 착석시켜서 이것을 밀봉한다. 그리고, 이 상태에서 제 2 유지 보수용 개폐 덮개(74B)를 제거하여 제 2 밸브체(44B)의 밀봉 부재(66)를 새로운 밀봉 부재와 교환하게 된다.
이 경우에는, 처리 챔버(4)내에서 프로세스 처리를 실행하고 있을 때라도, 혹은 대기 개방하여 유지 보수를 실행하고 있을 때에도, 처리 챔버(4)내의 압력 상태에 관계없이 밀봉 부재(66)의 교환을 실행할 수 있다.
특히 처리 챔버(4A∼4D) 사이의 크로스 콘테미네이션을 피하기 위해서, 복수의 처리 챔버가 반송실(6)에 대하여 동시에 개방되어 있는 상태가 발생하는 것을 회피하는 요청이 있는 경우에는, 반송실(6)과 처리 챔버(4)를 연통시키지 않고, 게다가 게이트 밸브 장치를 포함하여 모두 진공 상태를 유지할 수 있기 때문에, 밸브체를 2개 이용한 이 제 5 실시예는 특히 유효적으로 상기 요청에 대응할 수 있다.
<제 6 실시예>
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 6 실시예에 대하여 설명한다.
도 12는 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 6 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도이다.
도 12에서는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다. 또한, 도 11에 설명한 제 5 실시예와 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다.
이 제 6 실시예는, 도 11에 도시하는 제 5 실시예의 변형 예이고, 제 1 및 제 2의 2개의 밸브체(44A, 44B) 중 어느 한쪽, 도시예에서는 제 1 밸브체(44A)는 접촉 회피 단부(70)와 유지 보수용 밀봉 부재(68)를 설치한 밸브체를 이용하고, 다른쪽 밸브체, 도시예에서는 제 2 밸브체(44B)로서 접촉 회피 단부(70)를 설치하지 않는 도 2에 도시한 평판 형상의 밸브체이며 유지 보수용 밀봉 부재(68)를 설치하지 않고 1개의 밀봉 부재(66)만을 설치한 밸브체를 이용하고 있다. 그리고, 도 12B에 도시하는 바와 같이 프로세스 처리시나 클리닝 처리시에는 단지 제 1 밸브체(44A)로 반출입구(37)를 밀봉한다.
그리고, 도 12C에 도시하는 바와 같이, 제 1 밸브체(44A)의 밀봉 부재(66)를 교환하기 위해서, 이것을 유지 보수용 개구(74A)에 착석시킬 때에, 제 2 밸브체(44B)를 반출입구(37)에 착석시켜서 이것을 밀봉한다. 따라서, 본 실시예의 경우에는, 제 2 밸브체(44B)의 밀봉 부재(66)는 거의 열화하지 않기 때문에, 교환할 필요가 없고, 따라서 하우징(36)에는 도 11의 제 5실시예에서 설치한 제 2 유지 보수용 개구(72B)는 설치할 필요가 없기 때문에, 이 설치는 생략하고 있다. 또한, 밸브체 지지 부재(48)를 회전시킬 때에는, 도 12A에 도시하는 바와 같이 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)를 모두 후퇴시킨다. 이 제 6 실시예의 경우에도, 앞서 설명한 제 5 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다.
<제 7 실시예>
다음에 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 7 실시예에 대하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 게이트 밸브 장치의 제 7 실시예의 동작을 도시하는 동작 설명도이다. 도 13에서는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다. 또한, 도 11 및 도 12에 도시하는 구성 부분에는 게이트 밸브 장치의 주요 부품만을 도시하고 있다. 또한, 도 11 및 도 12에 도시하는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여서 그 설명을 생략한다.
이 제 7 실시예는, 주로 도 11에 도시하는 제 5 실시예와 도 12에 도시하는 제 6 실시예를 조합한 것이고, 또한 하우징(36)의 좌측 절반을 각형으로 하지 않고, 그대로 반송실(6)측으로 개방 상태로 접속하도록 하고 있다. 여기에서의 제 1 및 제 2 밸브체(44A, 44B)는 제 5 실시예에서 이용한 2개의 밸브체(44A, 44B)와 동일한 구성의 것을 이용하고 있다. 또한, 여기에서는 하우징(36)에, 도 12에 도시하는 제 6 실시예와 같이, 한쪽 제 1 유지 보수용 개구(74A)를 설치하고, 다른쪽의 제 2 유지 보수용 개구는 설치하지 않고 있다. 이 제 7 실시예의 경우에도, 도 12에 도시한 제 6 실시예와 동일한 작용 효과를 발휘할 수 있다.
또한, 이상의 각 실시예에서는, 게이트 밸브 장치를 반송 실(6)과 처리 챔버(4)의 사이에 개재시키도록 한 경우를 예로 들어서 설명했지만, 이 게이트 밸브 장치의 기능을 반송실내에 일체적으로 내장하도록 할 수도 있다. 예컨대, 도 14에 도시하는 바와 같이, 반송실(6)의 구획벽의 일부가 앞서 설명한 하우징(36)과 동일한 기능을 갖고 있고, 여기서는 하우징을 없애고 있다. 그리고 이 반송실(6)의 단부내에 상기 밸브체(44)나 밸브체 지지 부재(48) 등이 수용되고, 이 단부의 선단이 직접적으로 처리 챔버(4)의 측벽(28)에 접속된다. 따라서, 반입 개구(30)를 구획하는 측벽(28)의 외측면이 착석면으로 되고, 상기 밸브체(44)는 이 외측면인 착석면에 직접적으로 착석하도록 되어 있다. 이 경우, 접촉 회피 단부(70)는, 예컨대 측벽(28)의 외측면에 형성되게 된다.
또한, 여기서는 피처리체로서 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 유리 기판, LCD 기판 등에도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 물론이다.
본 발명에 의하면, 밸브체에 프로세스시에 이용하는 밀봉 부재와, 그 외주에 유지 보수용 밀봉 부재를 설치하고, 밀봉 부재의 교환은 유지 보수용 개구에 밸브체를 착석시켜서 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 밀봉한 상태에서 실행하도록 했기 때문에, 게이트 밸브 장채내 및 반송실내를 대기에 노출시키지 않고 밀봉 부재를 교환할 수 있고, 교환 작업을 신속하게 실행할 수 있는 효과가 있다.

Claims (18)

  1. 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 챔버의 반입 개구에 장착되어서 진공 상태의 반송실측으로부터 상기 피처리체를 통과시키는 동시에, 상기 반입 개구를 개폐하는 게이트 밸브 장치에 있어서,
    상기 반입 개구를 개폐하도록 착석 가능하게 이루어진 밸브체와,
    상기 밸브체의 표면에 착탈 가능하게 설치되어서 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석되는 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉 부재와,
    상기 밀봉 부재의 외주에 상기 밀봉 부재로부터 소정의 간격을 두어 둘러싸도록 하여 설치된 유지 보수용 밀봉 부재와,
    상기 밸브체를 착석시켰을 때에 상기 밀봉 부재가 노출된 상태에서 상기 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 기밀하게 밀봉 할 수 있는 크기로 이루어진 유지 보수용 개구와,
    상기 유지 보수용 개구를 착탈 가능하게 기밀하게 폐쇄하는 유지 보수용 개폐 덮개와,
    상기 밸브체를 상기 반입 개구와 상기 유지 보수용 개구와의 사이에서 이동시켜서 착석시키는 밸브체 구동 기구를 구비하도록 구성한 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브체의 표면 또는 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석하는 착석면에는 상기 밸브체를 상기 반입 개구의 착석면에 착석시켰을 때에 상기 유지 보수용 밀봉 부재의 접촉을 피하기 위한 접촉 회피 단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석된 상기 밸브체와의 사이에 형성되는 공극내를 대기압으로 복귀시키는 공극 급기계가 설치되는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석한 상기 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 진공 흡인하기 위한 공극 진공 배기계가 설치되는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브체 구동 장치는 상기 피처리체의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 회전 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와,
    상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 밸브체를 장착하여 전진 및 후퇴시키는 밸브체 이동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브체 구동 장치는,
    상기 피처리체의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 직선 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와,
    상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 밸브체를 장착하여 전진 및 후퇴시키는 밸브체 이동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  7. 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위한 처리 챔버의 반입 개구에 장착되어서, 진공 상태의 반송실측으로부터 상기 피처리체를 통과시키는 동시에, 상기 반입 개구를 개폐하는 게이트 밸브 장치에 있어서,
    상기 반입 개구를 개폐하도록 착석 가능하게 이루어진 제 1 및 제 2 밸브체 와,
    상기 제 1 및 제 2 각 밸브체의 표면에 착탈 가능하게 각각 설치되어서 상기 반입 개구를 상기 밸브체로 개폐할 때에 착석하는 착석면에 기밀하게 접촉되는 밀봉 부재와,
    상기 제 1 및 제 2 밸브체 중 적어도 한쪽 밸브체의 밀봉 부재의 외주에 상기 밀봉 부재로부터 소정의 간격을 두고 둘러싸도록 하여 설치된 유지 보수용 밀봉 부재와,
    상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 착석시켰을 때에 상기 밀봉 부재가 노출된 상태에서 상기 유지 보수용 밀봉 부재에 의해 기밀하게 밀봉할 수 있는 크기로 이루어진 적어도 1개의 유지 보수용 개구와,
    상기 유지 보수용 개구의 외측을 착탈 가능하게 기밀하게 폐쇄하는 유지 보수용 개폐 덮개와, 상기 제 1 및 제 2 밸브체를 상기 반입 개구와 상기 유지 보수용 개구의 사이에서 선택적으로 이동시켜서 착석시키는 밸브체 구동 장치를 구비하도록 구성한 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 표면 또는 상기 반입 개구의 주위의 착석면에는, 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 상기 반입 개구의 착석면에 착석시켰을 때에 상기 유지 보수용 밀봉 부재의 접촉을 피하기 위한 접촉 회피 단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브장치.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석한 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 대기압으로 복귀시키는 공극 급기계가 설치되는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  10. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개 또는 상기 유지 보수용 개구를 구획하는 구획벽에는, 상기 유지 보수용 개폐 덮개와 상기 유지 보수용 개구의 착석면에 착석한 상기 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체의 사이에 형성되는 공극내를 진공 흡인하기 위한 공극 진공 배기계가 설치되는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 밸브체 구동 장치는,
    상기 피처리쳬의 이동 궤적을 차단하는 위치와 차단하지 않는 위치의 사이를 이동할 수 있도록 직선 이동 가능하게 이루어진 밸브체 지지 부재와,
    상기 밸브체 지지 부재에 설치되는 동시에, 그 선단에 상기 제 1 및 제 2 밸브체를 각각 장착하여 서로 다른 방향으로 전진 및 후퇴시키는 제 1 및 제 2 밸브체 이동 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  12. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 밸브체 구동 장치에는, 상기 밸브체의 작동을 억제하기 위한 록 기구가 설치되는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  13. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개는 투명판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  14. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개는 내부를 시인하기 위한 시인 윈도우를 갖는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  15. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 게이트 밸브 장치의 전체는 하우징에 의해 그 주위가 둘러싸여져 있는 것을 특징으로 하는
    게이트 밸브 장치.
  16. 진공 흡인 가능하게 이루어진 반송실과,
    피처리체에 대하여 소정의 처리를 실시하기 위해서 상기 반송실의 주위에 설치한 복수의 처리 챔버와,
    상기 반송실과 상기 각 처리 챔버의 사이에 개설된 제 1 항 또는 제 7 항에 기재된 게이트 밸브 장치와,
    상기 반송실내에 설치되어서 상기 각 처리 챔버를 향해서 상기 피처리체를 반출입시키기 위해서 굴신 및 선회 가능하게 이루어진 반송 기구를 구비한 것을 특징으로 하는
    피처리체의 처리 시스템.
  17. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 방법에 있어서,
    반입 개구의 착석면에 밸브체를 착석시켜서 기밀하게 밀봉하는 밀봉 공정과,
    상기 처리 챔버내를 대기 개방하여 상기 처리 챔버내를 유지 보수하는 유지 보수 공정과,
    상기 유지 보수 공정 후에 상기 처리 챔버내를 진진공 흡인하여 진공 분위기로 이행시키는 진공 흡인 공정과,
    상기 진공 흡인 공정을 실행하고 있는 동안에, 상기 처리 챔버와 진공 상태의 반송실내의 차압이 소정값 이하로 되었을 때에, 상기 밸브체를 유지 보수용 개폐 덮개에 착석시켜서 기밀하게 밀봉한 상태에서 상기 유지 보수용 개폐 덮개를 분리하여 상기 밀봉 부재를 교환하는 밀봉 부재 교환 공정을 갖는 것을 특징으로 하는
    밀봉 부재의 교환 방법.
  18. 제 7 항 또는 제 8 항에 기재된 게이트 밸브 장치의 밀봉 부재의 교환 방법에 있어서,
    유지 보수용 개구의 착석면에 제 1 및 제 2 밸브체내의 유지 보수용 밀봉 부재가 설치된 밸브체를 착석시켜서 기밀하게 밀봉하는 동시에, 반입 개구의 착석면에 다른쪽 밸브체를 착석시켜서 기밀하게 밀봉하는 밀봉 공정과,
    상기 유지 보수용 개폐 덮개를 분리하여 상기 밀봉 부재를 교환하는 밀봉 부재 교환 공정을 갖는 것을 특징으로 하는
    밀봉 부재의 교환 방법.
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