KR20190120061A - 게이트 밸브의 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 밸브체의 진동을 억제하면서 단시간에 개방 동작시키는 게이트 밸브의 제어 방법을 제공한다.
[해결 수단] 본 발명은, 챔버의 개구부에 마련한 게이트 밸브의 제어 방법으로서, 상기 개구부를 막도록 개폐하는 밸브체와, 상기 개구부의 가장자리에 마련되어 상기 밸브체가 눌리는 밸브 시트와, 상기 밸브체와 상기 밸브 시트의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 시일재를 찌부러뜨려 상기 밸브체가 상기 밸브 시트에 눌린 폐쇄 위치로부터 상기 밸브체를 개방 동작시킬 때에, 상기 밸브체를 열어 찌부러뜨려져 있던 상기 시일재가 떼어지기 직전 또는 직후의 위치에 있어서 상기 밸브체를 소정의 시간만큼 일시 정지시키는 것을 특징으로 한다.

Description

게이트 밸브의 제어 방법{CONTROL METHOD OF GATE VALVE}
본 발명은, 진공 챔버의 개구부에 마련된 게이트 밸브를 열 때의 진동을 억제하는 방법에 관한 것이다.
반도체 소자, 태양 전지, 액정 등의 제조에 있어서의 각종 프로세스에서는, 웨이퍼(실리콘 등의 반도체 기판)나 유리 기판 등에 진공 증착, 스퍼터링, CVD(화학 기상 성장) 등에 의해 박막을 형성하는 수단이나, 박막으로부터 불필요 부분을 제거하는 에칭 수단 등이 있다.
예를 들면, 스퍼터링 장치에서는, 기판이 배치된 진공 챔버 내에 아르곤(Ar) 등의 불활성 가스를 도입하고, 소정의 진공도로 고주파 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키고, 재료인 타깃에 충돌시킴으로써, 방출된 재료를 당해 기판에 부착시켜 박막을 형성한다.
또한, 드라이 에칭 장치에서는, 박막이 형성된 기판에 대하여, 박막의 필요 부분을 레지스트로 마스크한 다음에, 진공 챔버 내에서 플라즈마를 발생시켜 불필요 부분을 제거하고, 불필요해진 레지스트를 제거한다.
반도체 제조 장치에서는, 복수의 챔버를 구비하고, 프로세스마다 처리를 행하는 챔버에 기판을 반송한다. 챔버 사이는 게이트 밸브로 구분되고, 기판을 반송할 때에 게이트 밸브를 개폐한다. 또한, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 2개의 진공 공간에 배치되는 진공 밸브의 제어 방법의 발명도 개시되어 있다.
기판을 반송할 때에 게이트 밸브의 개폐에 수반되어 진동 등이 있으면, 챔버내에서 파티클이 발생하는 경우가 있고, 그에 의해 기판이 오염될 우려가 있다. 또한, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 처리 챔버로의 진동을 억제하여 처리 챔버 내에서 파티클을 발생시키지 않는 게이트 밸브의 발명도 개시되어 있다.
일본공개특허 특개2006-52846호 공보 일본등록특허 제3433207호 공보
특허문헌 1에 기재된 발명은, 진공 밸브의 유연한 시일의 열화를 감소시키면서, 폐색 상태에 있어서 양호한 시일링을 달성하는 것을 목적으로 하고 있지만, 진공 밸브를 열 때에 파티클이 발생할 가능성이 있다.
또한, 특허문헌 2에 기재된 발명은, 게이트 밸브를 밀봉하는 밸브체를 지지하고 있는 밸브 로드를 틸팅시킴으로써, 밸브체를 시일하거나 떼어내지만, 눌러 찌부러뜨려진 시일 부재를 단시간에 떼어내려고 하면 밸브체가 진동할 가능성이 있다.
그래서, 본 발명은, 밸브체의 진동을 억제하면서 단시간에 개방 동작시키는 게이트 밸브의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 챔버의 개구부에 마련한 게이트 밸브의 제어 방법으로서, 상기 개구부를 막도록 개폐하는 밸브체와, 상기 개구부의 가장자리에 마련되어 상기 밸브체가 눌리는 밸브 시트와, 상기 밸브체와 상기 밸브 시트의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고, 상기 시일재를 찌부러뜨려 상기 밸브체가 상기 밸브 시트에 눌린 폐쇄 위치로부터 상기 밸브체를 개방 동작시킬 때에, 상기 밸브체를 열어 찌부러뜨려져 있던 상기 시일재가 떼어지기 직전 또는 직후의 위치에 있어서 상기 밸브체의 진동이 억제되도록 상기 밸브체를 일시 정지시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 게이트 밸브의 제어 방법은, 상기 밸브체를 상기 일시 정지 후, 개방 위치에서 정지할 때까지의 동안에 추가로 일시 정지시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서, 상기 게이트 밸브는, 하나의 챔버와, 그것과 기압이 상이한 다른 챔버와의 사이에 개재되고, 상기 하나의 챔버와 상기 다른 챔버의 기압차를 조정하고 나서 상기 밸브체를 여는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명인 게이트 밸브는, 상기 제어 방법에 의해 상기 밸브체를 여는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 게이트 밸브의 밸브체를 단시간에 개방 동작시켜도, 시일재의 박리에 수반되는 밸브체 자체 및 게이트 밸브 전체의 진동을 최소한으로 억제하고, 챔버 내에 파티클이 발생하여 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은, 본 발명인 게이트 밸브가 설치되는 반도체 제조 장치의 개관을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 본 발명인 게이트 밸브의 개관을 나타내는 사시도이다.
도 3은, 본 발명인 게이트 밸브의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는, 본 발명인 게이트 밸브의 동작을 설명하는 단면도이다.
도 5는, 본 발명인 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체를 일시 정지하지 않았을 때의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 6은, 본 발명인 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체를 일시 정지했을 때의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 7은, 본 발명인 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체의 일시 정지를 2회 했을 때의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 8은, 본 발명인 게이트 밸브를 2개의 챔버 사이에 배치했을 때의 제어를 설명하는 단면도이다.
이하에, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 동일 기능을 가지는 것은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략하는 경우가 있다.
[실시예 1]
먼저, 본 발명인 게이트 밸브가 설치되는 반도체 제조 장치에 대하여 설명한다. 도 1은, 복수의 챔버 사이에 게이트 밸브가 설치된 반도체 제조 장치의 개관을 나타내는 사시도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 반도체 제조 장치(100)는, 복수의 챔버(110)를 구비하고, 프로세스마다 각 챔버(110)에 기판을 반송하여 처리가 행해진다. 예를 들면, 복수의 챔버(110)가 일직선으로 배열된 인라인형이나, 복수의 챔버(110)가 반송실의 둘레에 별 형상으로 배치된 클러스터형 등이 있고, 챔버(110)의 수가 많아져도 장소를 차지하지 않는 클러스터형이 주류이다.
클러스터형의 반도체 제조 장치(100)에 있어서는, 반송실이 되는 트랜스퍼 챔버(110a)의 둘레에, 진공 예비실이 되는 로드 록 챔버(110b)나 처리실이 되는 프로세스 챔버(110c) 등이 배치된다.
트랜스퍼 챔버(110a)와 로드 록 챔버(110b) 및 프로세스 챔버(110c)와의 사이에는 게이트 밸브(200)가 개재된다. 또한, 로드 록 챔버(110b)의 입구에는 도어 밸브(120)가 마련된다. 또한, 트랜스퍼 챔버(110a), 로드 록 챔버(110b) 및 프로세스 챔버(110c)에는, 각각 진공 펌프(130)가 배기 밸브(140)를 개재하여 장착된다.
미리, 트랜스퍼 챔버(110a) 및 프로세스 챔버(110c)는, 배기 밸브(140)를 여는 것으로 진공 펌프(130)에 의해 소정의 압력까지 감압된다. 기판은, 도어 밸브(120)를 여는 것으로 외부로부터 로드 록 챔버(110b)에 반입된다. 그리고, 로드 록 챔버(110b)는, 배기 밸브(140)를 여는 것으로 진공 펌프(130)에 의해 트랜스퍼 챔버(110a)와 동일한 압력까지 감압된다.
기판은, 게이트 밸브(200)를 여는 것으로 로드 록 챔버(110b)로부터 트랜스퍼 챔버(110a)에 이송되고, 추가로 프로세스에 따라 각 프로세스 챔버(110c)에 이송된다. 기판은, 어떤 프로세스 챔버(110c)에서 처리를 마치면, 트랜스퍼 챔버(110a)에 반송되고, 또 다른 프로세스 챔버(110c)에 이송된다.
게이트 밸브(200)는, 기판을 하나의 챔버(110)로부터 반출하고, 인접하는 다른 챔버(110)에 반입할 때에 열고, 기판이 이송되면 닫는다. 게이트 밸브(200)는, 하나의 챔버(110)로부터 다른 챔버(110)로, 기체나 파티클 등이 이동하지 않도록 밀폐한다.
다음에, 본 발명인 제어 방법이 실시되는 게이트 밸브에 대하여 설명한다. 도 2는, 게이트 밸브의 개관을 나타내는 사시도이다. 도 3은, 게이트 밸브의 구조를 나타내는 단면도이다. 도 4는, 게이트 밸브의 동작을 설명하는 단면도이다. 또한, 정면측을 앞, 배면측을 뒤로 하고, 도 3 및 도 4에 있어서는, 우측이 앞이 된다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브(200)는, 챔버(110)와 연결되는 개구부(220)를 막는 밸브체(300)와, 개구부(220)의 가장자리에 마련되어 밸브체(300)가 눌리는 밸브 시트(230)와, 밸브체(300)와 밸브 시트(230)의 사이를 밀봉하는 시일재(400)를 가진다. 게이트 밸브(200)로서는, 직사각 형상의 개구부(220)에 대하여, 밸브체(300)가 상하로 이동하는 각형 등이 있다.
밸브체(300)는, 게이트 밸브(200)의 프레임체(210) 내에 수용된다. 프레임체(210)의 상부에는, 정면(및 배면)에 개구부(220)가 뚫리고, 프레임체(210)의 하부에는, 밸브체(300)를 열었을 때에 저장하는 저장부(240)를 가진다. 프레임체(210)의 하측에는, 밸브체(300)를 개폐 동작시키는 구동부(250)를 마련한다.
개구부(220)는, 예를 들면, 가로로 긴의 구멍 등 기판을 통과시키기에 필요한 폭과 높이로 뚫려 있으면 된다. 구동부(250)는, 예를 들면, 액추에이터 등으로 밸브체(300)를 상하로 이동시키는 승강 기구를 구비하고 있으면 된다. 저장부(240)는, 밸브체(300)를 하강시켰을 때에, 개구부(220)가 개방되도록, 프레임체(210) 내에 공간이 확보되어 있으면 된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 중공인 프레임체(210)의 전후로 뚫은 개구부(220)를 챔버(110)의 출입구에 맞닿게 한다. 밸브체(300)는, 구동부(250)로부터 프레임체(210) 내에 연장되는 밸브 로드(310)에 지지되고, 개구부(220)를 막는 위치에 배치된다. 개구부(220)의 가장자리에 마련된 밸브 시트(230)와, 밸브체(300)의 가장자리가, 일부 겹치도록, 밸브체(300)를 개구부(220)보다 큰 사이즈로 한다.
밸브체(300)의 가장자리에는, 개구부(220)를 둘러싸도록 고리 형상의 시일재(400)가 장착되고, 개구부(220)를 닫을 때에는, 시일재(400)를 찌부러뜨리도록 하여 밸브체(300)가 밸브 시트(230)에 눌린다. 예를 들면, 밸브체(300) 및 밸브 시트(230)가 금속제일 때, 시일재(400)를 고무 등의 수지제로 하면, 챔버(110)의 기밀성이 유지된다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 게이트 밸브(200)의 개방 동작은, (a) 밸브 시트(230)로부터 시일재(400)를 떼어내기 위한 밸브체(300)의 후퇴 동작과, (b) 개구부(220)를 개방하기 위한 밸브체(300)의 하강 동작 등으로 이루어진다.
시일재(400)는 밸브 시트(230)에 대하여 흡착되어 있으므로, 밸브체(300)를 후방으로 이동시켜 시일재(400)를 강한 힘으로 한번에 떼어내면, 밸브 로드(310)의 하단(下端)을 지지점으로 하여 밸브체(300)가 진동하고, 추가로 그것이 전해져 게이트 밸브(200)도 진동한다. 또한, 시일재(400)의 떼어냄과, 밸브체(300) 및 게이트 밸브(200)의 진동에 수반되어, 큰 소리도 발생한다.
또한, 폐쇄 위치는, 시일재(400)가 밸브 시트(230)에 눌려 있는 상태에 있어서의 밸브체(300)의 위치, 개방 위치는, 시일재(400)가 밸브 시트(230)로부터 떼어져 후퇴한 상태에 있어서의 밸브체(300)의 위치로 한다. 또한, 찌부러뜨림량은, 개방 위치에 있어서의 시일재의 두께와, 폐쇄 위치에 있어서의 시일재(400)의 두께의 차분으로 한다.
밸브체(300)가 진동한 상태에서 하강시키면, 밸브 로드(310)를 승강시키는 구동부(250)에 부담이 걸려, 밸브체(300)를 저장부(240)에 수용하기 어려워지고, 추가로 게이트 밸브(200)에 진동을 전달하게 된다.
밸브체(300)나 게이트 밸브(200)가 진동하면, 프레임체(210) 내의 파티클이 떠올라, 챔버(110) 내에 침입할 우려도 생긴다. 특히, 챔버(110) 내의 기압이 낮으면 파티클이 들어가기 쉬워지고, 챔버(110) 내에 ?재된 기판이 오염되어 제품의 품질을 열화시킬 가능성이 있다.
밸브체(300)의 진동을 억제하기 위하여, 밸브 시트(230)로부터 시일재(400)을 떼어낸 후, 밸브체(300)가 폐쇄 위치로부터 개방 위치로 후퇴 이동할 때까지의 동안에, 밸브체(300)를 약간의 시간만큼 일시 정지시키는 제어를 행한다. 또한, 밸브체(300)의 일시 정지는, 1회의 후퇴 이동에 대해, 복수 회(예를 들면, 2회) 행해도 된다.
다음에, 본 발명인 게이트 밸브의 제어 방법에 대하여 설명한다. 도 5는, 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체를 일시 정지하지 않았을 때의 결과를 나타내는 그래프이다. 도 6은, 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체를 일시 정지했을 때의 결과를 나타내는 그래프이다. 도 7은, 게이트 밸브의 제어 방법에 있어서 밸브체의 일시 정지를 2회 했을 때의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5∼도 7은, 게이트 밸브(200)를 개방 동작시켰을 때의 밸브체(300)의 위치를 시계열로 나타낸 것이며, 게이트 밸브(200)의 정면으로부터 레이저광을 쐬는 등하여, 밸브체(300)의 표면에 있어서의 거리와, 프레임체(210)의 표면에 있어서의 거리를 측정하고, 그 차분을 밸브체(300)의 상대 위치(500)로 한 것이다.
밸브체(300)의 폐쇄 위치(510)는, 시일재(400)의 찌부러뜨림량(530)이 0.2mm인 상태에서 밸브 시트(230)에 눌린 위치이고, 밸브체(300)의 개방 위치(520)는, 폐쇄 위치로부터 2.0mm 떨어진 위치이다. 밸브체(300)를 폐쇄 위치(510)로부터 개방 위치(520)에 이동시킨 후, 밸브체(300)를 하강시켜 저장부(240)에 수용할 때까지가 나타내어져 있다.
도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 밸브체(300)를 폐쇄 위치(510)로부터 개방 위치(520)까지 이동시켰을 때, 시일재(400)의 찌부러뜨림량(530)의 범위에서는 밸브체(300)가 밸브 시트(230)에 흡착되어 있고, 밸브체(300)의 이동 방향과 반대측으로 당겨진 상태이다. 또한, 밸브체(300)는, 찌부러뜨림량(530)이 없어지는 위치에 도달하기 전에 빨리 시일재(400)로부터 떼어지거나, 또는 찌부러뜨림량(530)을 초과하여 늦게 시일재(400)로부터 떼어지지만, 어느 쪽이든 시일재(400)에 의해 가압된 상태가 된다.
밸브체(300)가 밸브 시트(230)로부터 떼어지면 힘차게 멀어져 가므로, 그 휨에 의해 개방 위치(520)까지 온 밸브체(300)는 진동(540)한 상태가 된다. 또한, 진동(540)의 폭은 약 0.4mm가 된다. 그 후, 밸브체(300)의 하강에 수반되어 시일재(400)의 부분이 계측되고, 추가로 밸브체(300)가 수납됨으로써 안쪽의 프레임체(210)의 내벽이 계측되어 있다.
도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 밸브체(300)의 폐쇄 위치(510)로부터 개방 위치(520)까지의 이동 시간을 느리게 한 경우, 밸브체(300) 자체의 이동 속도를 다소 바꿔도, 시일재(400)에 의해 가압된 휨의 영향이 크기 때문에, 진동(540)의 폭은 0.2mm보다 커진다.
도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 밸브체(300)를 폐쇄 위치(510)로부터 여는 방향으로 이동시켜, 시일재(400)의 찌부러뜨림량(530)이 없어지는 위치에 도달하기 전에 밸브체(300)를 소정의 시간(예를 들면, 약 200∼300밀리초)만큼 일시 정지(550)시키고, 그 후, 밸브체(300)의 이동을 재개했을 때의 밸브체(300)의 진동(540)의 폭은 0.2mm보다 작아진다.
또한, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 밸브체(300)를 폐쇄 위치(510)로부터 여는 방향으로 이동시켜, 시일재(400)의 찌부러뜨림량(530)을 초과하여 떼어진 후에 밸브체(300)를 소정의 시간(예를 들면, 약 200∼300밀리초)만큼 일시 정지(550)시키고, 그 후, 밸브체(300)의 이동을 재개했을 때의 밸브체(300)의 진동(540)의 폭도 0.2mm보다 작아진다.
즉, 밸브체(300)가 시일재(400)의 찌부러뜨림량(530)이 없어지는 위치 부근까지 와서, 시일재(400)가 떼어지기 직전 또는 직후의 위치에 있어서, 밸브체(300)를 일시 정지(550)시킴으로써, 밸브체(300)의 진동(540)이 크게 억제된다.
도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 먼저 밸브체(300)를 시일재(400)가 떼어지기 직전에 일시 정지(550)시키고, 그 후, 밸브체(300)가 개방 위치(520)에 도달하기 직전에 추가로 일시 정지(550a)시켰을 때에는, 밸브체(300)가 개방 위치(520)에 도달함으로써 생기는 진동(540)도 억제된다.
또한, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 먼저 밸브체(300)를 시일재(400)가 떼어진 직후에 일시 정지(550)시키고, 그 후, 밸브체(300)가 개방 위치(520)에 도달하기 직전에 추가로 일시 정지(550a)시켰을 때에도, 밸브체(300)가 개방 위치(520)에 도달함으로써 생기는 진동(540)이 억제된다.
즉, 시일재(400)가 떼어지기 직전 또는 직후의 위치에 있어서의 밸브체(300)의 일시 정지(550)에 의해, 시일재(400)의 흡착에 수반되는 밸브체(300)의 휨에 의해 진동(540)이 커지는 것을 억제하고, 개방 위치(520)의 직전에 있어서의 밸브체(300)의 일시 정지(550a)에 의해, 밸브체(300)의 정지에 수반되는 진동(540)의 발생 자체를 억제한다.
[실시예 2]
도 8은, 본 발명인 게이트 밸브를 2개의 챔버 사이에 배치했을 때의 제어를 설명하는 단면도이다. 하나의 챔버와 인접하는 다른 챔버에 기압차가 있으면, 기압이 낮은 쪽에 기체가 유입되고, 파티클이 들어가기 쉬워진다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 챔버(110a)와 챔버(110c)가 게이트 밸브(200a)를 개재하여 연결 마련되어 있는 경우에, 예를 들면, 챔버(110a)와 챔버(110c)의 사이에, 통기로(600)를 연결하고, 통기로(600)의 도중에 밸브(610)를 마련한다.
챔버(110a)로부터 챔버(110c)에 기판을 이송할 때에, 챔버(110a)와 챔버(110c)의 기압이 상이한 경우에는, 밸브(610)를 열어 통기로(600)를 통하게 함으로써, 챔버(110a)와 챔버(110c)의 기압차를 없앤 다음에, 밸브체(300)를 열면 된다.
이와 같이, 반도체 제조 장치(100)에 있어서, 게이트 밸브(200)의 밸브체(300)를 단시간에 개방 동작시켜도, 시일재(400)의 박리에 수반되는 밸브체(300) 자체 및 게이트 밸브(200) 전체의 진동을 최소한으로 억제하고, 챔버(110) 내에 파티클이 발생하여 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예를 서술하였지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
100 : 반도체 제조 장치
110 : 챔버
110a : 트랜스퍼 챔버
110b : 로드 록 챔버
110c : 프로세스 챔버
120 : 도어 밸브
130 : 진공 펌프
140 : 배기 밸브
200 : 게이트 밸브
210 : 프레임체
220 : 개구부
230 : 밸브 시트
240 : 저장부
250 : 구동부
300 : 밸브체
310 : 밸브 로드
400 : 시일재
500 : 상대 위치
510 : 폐쇄 위치
520 : 개방 위치
530 : 찌부러뜨림량
540 : 진동
550 : 일시 정지
550a : 일시 정지
600 : 통기로
610 : 밸브

Claims (4)

  1. 챔버의 개구부에 마련한 게이트 밸브의 제어 방법으로서,
    상기 개구부를 막도록 개폐하는 밸브체와,
    상기 개구부의 가장자리에 마련되어 상기 밸브체가 눌리는 밸브 시트와,
    상기 밸브체와 상기 밸브 시트의 사이를 밀봉하는 시일재를 가지고,
    상기 시일재를 찌부러뜨려 상기 밸브체가 상기 밸브 시트에 눌린 폐쇄 위치로부터 상기 밸브체를 개방 동작시킬 때에, 상기 밸브체를 열어 찌부러뜨려져 있던 상기 시일재가 떼어지기 직전 또는 직후의 위치에 있어서 상기 밸브체의 진동이 억제되도록 상기 밸브체를 일시 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브체를 상기 일시 정지 후, 개방 위치에서 정지할 때까지의 동안에 추가로 일시 정지시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 게이트 밸브는, 하나의 챔버와, 그것과 기압이 상이한 다른 챔버와의 사이에 개재되고,
    상기 하나의 챔버와 상기 다른 챔버의 기압차를 조정하고 나서 상기 밸브체를 여는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 제어 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 제어 방법에 의해 상기 밸브체를 여는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
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