CH664835A5

CH664835A5 - Vorrichtung zum selbsttaetigen fokussieren auf in optischen geraeten zu betrachtende objekte.

Info

Publication number: CH664835A5
Application number: CH2854/83A
Authority: CH
Inventors: Burkhard Dr Dipl-Phys Neumann; Guenter Reinheimer
Original assignee: Leitz Ernst Gmbh
Priority date: 1982-05-25
Filing date: 1983-05-25
Publication date: 1988-03-31
Also published as: ATA177883A; DE3219503A1; AT388458B; JPH0259963B2; GB2122045B; GB8312404D0; JPS58217909A; GB2122045A; FR2527788A1; DE3219503C2; FR2527788B1; US4595829A

Description

BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten mit Hilfe eines Beleuchtungsstrahlenbündels zu betrachtende Objekte gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine Vorrichtung dieser Art ist durch die DE-PS 2 102 922 bekannt.

Es ist weiterhin aus der AT-PS 353 497 eine Vorrichtung zum automatischen Fokussieren des Gerätes auf unterschiedliche Objektebenen bekannt, bei der zwischen dem Objektiv und den fotoelektrischen Empfängern ein optisches Raster mit strahlaufspaltenden Eigenschaften eingesetzt ist, welches in Richtung der optischen Achse des Objektives definiert verschiebbar sowie senkrecht zu dieser Achse oszillierbar ist, wobei anstelle des optischen Rasters auch ein dickenvariabler, aber ansonsten ortsfester Doppelkeil treten kann. Während es bei der letztgenannten Einrichtung nachteilig ist, dass es sich um ein «passives» System handelt, bei dem die Bewertung der Bildschärfe allein aus dem Bild-«Angebot» in der betreffenden Zwischenbildebene erfolgt, haftet der

2

s

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

DE-PS 2 102 922 der Nachteil an, dass bei gewollter Einstellung einer anderen Objektebene als Fokusebene der Durchmesser des Spots auf dem Objekt vergrössert wird und dass der Spot auf der Objektoberfläche vom Zentralpunkt auswandert. Dabei kann es geschehen, dass der ausgewanderte Spot aufgrund einer differenzierten Objektoberflächentopo-grafie nunmehr ein Objektdetail beaufschlagt, dass eine andere z-Lage (z-Richtung verläuft in Richtung der optischen Achse des Objektivs des optischen Gerätes) aufweist. Eine definierte Offseteinstellung ist bei derart strukturierten Objekten mit Hilfe der bekannten Vorrichtung nicht immer durchführbar. Als weiterer Nachteil kommt hinzu, dass aufgrund der Spot-Vergrösserung bei Defokussierung eine Verschiebung des Intensitätsschwerpunktes bei Hell/Dunkel-Ob jektivstrukturkanten eintritt. Daraus ergibt sich eine Erschwerung einer definierten Offseteinstellung, da der Offset von der Lage des Intensitätsschwerpunktes des Spots abhängt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Laserautofokussierungs-Anordnung anzugeben, mit der unabhängig von der jeweiligen Objektstruktur und der verwendeten Messlicht-Wellenlänge sowie dem jeweils eingesetzten Objektiv bzw. dem jeweils vorhandenen optischen Gerät eine optimale automatische Fokussierung, ein definiert einstellbarer Offset sowie eine automatische Kompensation der chromatischen Fehler der Objektive der jeweiligen optischen Geräte realisiert werden kann.

Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäss Anspruch 1 gelöst.

Zur Verwendung als nachrüstbares Zusatz-System für ein optisches Gerät kann die Vorrichtung zweckmässigerweise so getroffen sein, dass sie als in den Beleuchtungsstrahlenbündel des optischen Gerätes, insbesondere in einen Mikroskopauflichtilluminator, zwischen dessen Lichtquelle und einem im Abbildungsstrahlengang des optischen Gerätes angeordneten, teildurchlässigen Strahlenteiler einschiebbares Modul ausgebildet ist, welches über einen Teilerspiegel in das Beleuchtungsstrahlenbündel optisch angekoppelt ist. Zusätzlich ist es möglich, einen mindestens zwei Aperturblenden unterschiedlicher Dimensionierungen tragenden Blendenschieber zwischen dem Teilerspiegel und der Lichtquelle für das Beleuchtungsstrahlenbündel des optischen Gerätes vorzusehen. Ausserdem kann zusätzlich in der Leuchtfeldblendenebene eine Marke angeordnet sein. Dabei ist es zweckmässig, dass die Marke aus zwei sich kreuzenden Flüssigkristallamellen mit in ihrem zentrisch angeordneten Kreuzungsbereich einstellbarer Lichtschwächungscharakteristik besteht. Alternativ ist es auch möglich, dass sie aus einer Glasscheibe besteht, auf der lediglich im Peripherbe-reich zum Zentrum weisende, vorzugsweise sich diametral gegenüberliegende Strichmarkierungen vorgesehen sind.

Nach einer vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vor der Differenzdiode eine Spaltblende angeordnet und derart ausgerichtet, dass der Spalt senkrecht zum Spalt der Differenzdiode sowie in Richtung des - nach Massgabe des jeweils vorliegenden Defokussie-rungsbetrages - wandernden Fleckes des abgebildeten Laser-Spots verläuft. Dabei ist es zweckmässig, dass die Breite des Spaltes dem Bild des Laser-Spots entspricht. Es ist indes auch möglich, die Geometrie des Spaltes derart zu bemessen, dass er sich - ausgehend von einem engen Zentralteil - nach beiden Diodenhälften der Differenzdiode hin symmetrisch bezüglich der Achse des Spaltes erweitert.

Mit Vorteil kann zusätzlich eine sichtbares Licht aussendende, justierbare Hilfslichtquelle vorgesehen sein, die über ein optisches Glied, den teildurchlässigen Strahlenteiler und eine Tubuslinse in die im Abbildungsstrahlengang vorhandene Zwischenbildebene abgebildet wird.

664835

Nach einer besonders zweckmässigen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist als Lichtquelle für das Messstrahlenbündel eine - vorzugsweise gepulstes - Laserlicht im IR-Bereich, vorzugsweise bei 903 nm, emittierende Laserdiode vorgesehen.

Es ist weiterhin möglich, Mittel zum motorischen Verstellen der Linse nach Massgabe des vorgegebenen Offsets vorzusehen. Auch können Mittel zur automatischen Kompensation chromatischer Fehler der j eweils in Wirkstellung befindlichen Objektive in Abhängigkeit der jeweils verwendeten Wellenlänge bzw. des jeweils verwendeten Wellenlängenbereichs des Messlichtstrahlenbündels vorgesehen sein. Dabei können diese Mittel mechanische, optische und/oder optoelektronische Kennungs-Bauglieder umfassen, die im Zusammenwirken mit einer Steuereinheit und dem Linsen-verstellmotor ein Hinfahren in eine optimale, wellenlängen-und objektivspezifische Kompensationsposition bewirken.

Die Erfindung ist nachstehend anhand eines schematischen Ausführungsbeispiels näher beschrieben. Es zeigen

Fig 1 : eine ausschnittsweise Seitenansicht der Strahlengänge eines optischen Gerätes, und zwar des zunächst horizontal verlaufenden Beleuchtungsstrahlengangs, der anschliessend mit dem vertikal verlaufenden Abbildungsstrahlengang zusammenfällt, und des erfindungsgemässen modularen Einschubs (strichlinierter Kasten), der aus Gründen einer übersichtlicheren Darstellung durch Umklappen um 90° nach oben in die Zeichenebene gelegt wurde;

Fig. 2 : eine mit Strichmarkierungen versehene Marke ;

Fig. 3 : eine aus sich kreuzenden Flüssigkristallamellen bestehende Marke;

Fig. 4; Detailansicht der Differenzdiode mit Spaltblende.

In Fig. 1 ist ein vertikal verlaufender Abbildungsstrahlengang A dargestellt. Mit 1 ist ein Objekt bezeichnet, dessen Oberfläche sich in der Fokusebene befindet. Das Abbildungsstrahlenbündel passiert zunächst ein Objektiv 2. Nach Verlassen der Objektivpupille 3 tritt das Bündel A durch einen dichromatischen Teilerspiegel Ti, der im sichtbaren Bereich ein 50/50-Verhältnis und im IR eine hohe Reflexion aufweist. Nach Durchtritt durch eine Tubuslinse 4 wird in der Zwischenbildebene 5 ein Bild des Objektes 1 erzeugt. Danach gelangt das Bündel A zum nicht mit dargestellten Okular Ok.

Der Beleuchtungsstrahlengang des optischen Gerätes verläuft im dargestellten Fall horizontal. Von einer Lichtquelle 6 tritt das Bündel B nach Verlassen einer Optik 7 durch die Aperturblende 8, in deren Ebene ein nicht mit eingezeichneter Aperturblendenschieber angeordnet ist, der mindestens zwei Blenden unterschiedlicher Dimensionierung enthält. Mit Hilfe dieses Blendenschiebers kann - manuell oder motorisch - mit Positionsrückmeldung eine der Messung angepasste Aperturblende eingeschoben werden. Das Bündel B durchsetzt sodann einen dichromatischen Strahlenteiler T2, der einen möglichst hohen Transmissionswert für das von der Lichtquelle 6 kommende sichtbare Licht und einen möglichst hohen Reflexionswert für IR-Strahlen aufweist. In der Ebene der Leuchtfeldblende 9 befindet sich eine Marke, deren Funktion weiter unten erläutert wird. Das Bündel B trifft nach Durchtritt durch eine Linse 11 auf den ersten dichromatischen Strahlenteiler Ti, von wo aus die reflektierten Anteile in Richtung zum Objekt 1 umgelenkt werden.

In dem strichlinierten Kasten ist der Laserautofokus als Modul Mo enthalten. Er kann - wie aus Fig. 1 ersichtlich -beispielsweise in Richtung des Pfeiles 12 in ein bestehendes optisches Beleuchtungssystem, wie es für Auflichtmikroskope etwa in dem DE-Gbm 7917 232 beschrieben ist, einge3

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

664 835

4

schoben werden, wobei an sich bekannte Rastmittel eine justiergenaue Positionierung des Moduls Mo im Beleuchtungsstrahlengang B sicherstellen.

Von einer Laserlichtquelle, die in der gezeigten Form als Laserdiode LD ausgebildet ist, geht ein - vorzugsweise gepulstes - Licht aus. Zweckmässigerweise wird IR-Messlicht verwendet, weil es das mikroskopische Bild nicht störend beein-flusst. Das Messlichtbündel M wird über eine ortsfeste Linse 13 und sodann über eine Linse 14, die in axialer Richtung gemäss dem gestrichelten Doppelpfeil 15 manuell oder motorisch verschoben werden kann, auf den dichromatischen Teilerspiegel T2 geleitet, der an der optischen Schnittstelle beider Strahlengänge M und B angeordnet ist. In der Zwischenbildebene, in der die Leuchtfeldblende 9 positioniert ist, wird ein Bild der Laserlichtquelle LD erzeugt.

Damit der Messspot 16 bei Defokussierung auf der Oberfläche des Objektes 1 auswandert, wird eine Hälfte der Pupille 17 abgedeckt. Die geometrische Abdeckung einer Hälfte des Messlichtbündels M gelingt mit Hilfe eines kombinierten optischen Bauteils, beispielsweise eines Umlenkprismas 18, welches in Höhe der Pupille 17 in den Messstrahlengang M hälftig eingeführt wird. Es enthält eine vollver-spiegelte Prismenfläche 19. Der Teil des beleuchtungsseitigen Messlichtbündels, der durch die Anordnung des Umlenkprismas 18 nicht behindert wird, ist in der Fig. 1 mit einer ersten Schraffur gekennzeichnet. Der aussermittig verlaufende Teil des beleuchtungsseitigen Messlichtbündels ist mit dem Bezugszeichen Mb versehen. Das Messlicht gelangt also entlang Mb, d.h. aussermittig und - im wesentlichen -parallel zur optischen Achse dieses modularen Teilsystems, in die Objektivpupille 3.

Nach Reflexion an der Oberfläche des Objektes 1 passiert das remittierte Messlichtstrahlenbündel Mr, das durch eine andere Schraffur gekennzeichnet ist, nach Reflexion an T2 diejenige Pupillenhälfte von 17, die vom primären Messlichtbündel Mb nicht beleuchtet wird. Es wird sodann mittels der vollverspiegelten Fläche 19 des Umlenkprismas 18 aus dem beleuchtungsseitigen Messstrahlengang M herausgespiegelt und nach Totalreflexion an der Prismenfläche 20 sowie nach Durchtritt durch eine Optik 21 auf die Differenzdiode geleitet, die aus zwei Dioden Di und D2 besteht. Anstelle des dargestellten Umlenkprismas 18 - wie auch der anderen aufgeführten einzelnen optischen, mechanischen und optoelektronischen Bauteile - sind auch gleichwirkende Bauelemente verwendbar.

In Fig. 4 sind beide Dioden, deren elektronische Verknüpfung untereinander sowie zu den Versorgungs- und Steuerungsbauteilen der Einfachheit halber nicht dargestellt wurden, in Detailansicht gezeigt. Zwischen beiden Dioden befindet sich ein schmaler Spalt 22. Vor der Differenzdiode Di, D2 ist eine Spaltblende 23 angeordnet. Sie trägt zur Reduzierung der Defokussierung bei Lichtstreuung an bestimmten Objektbereichen, wie Strukturkanten, bei. Sie besteht aus zwei Blendenhälften, zwischen denen ein Blendenspalt 24 freigehalten wird. Wie ersichtlich, verläuft der Blendenspalt 24 senkrecht zum Diodenspalt 22 und hat vorzugsweise eine Breite, die dem Durchmesser des Bildes 16' des Messspots 16 entspricht. In Fig. 4 liegt das Bild 16' des Messspots 16 exakt in symmetrischer Lage bezüglich beider Dioden Di und D2. Sie werden von gleichgrossen Anteilen von Lichtintensität beaufschlagt. Das Gesamtsystem befindet sich im fokussierten Zustand. Im Defokussierungs-fall ist das Bild 16' des Spots 16 aus der Zentrallage in Richtung des Doppelpfeiles 25 ausgewandert. Nicht mit dargestellte Mittel steuern nach Massgabe der Deplazierung von 16' das Objekt - genauer: den Objekttisch 26 - in Richtung des Doppelpfeiles 27 bis zur völligen Wiederherstellung des Fokusfalles. Natürlich kann anstelle einer Objekttischverstellung in z-Richtung auch eine z-Verstellung des Objektives

2 vorgenommen werden.

Die Breite des Blendenspaltes 24 kann variabel sein. Ebenso ist es möglich, den Blendenspalt - ausgehend von einem zentralen, engen Bereich - derart auszubilden, dass er sich zu beiden Einzeldioden Di und D2 hin stetig aufweitet, wobei jedoch immer symmetrische Flächen-Verhältnisse bezüglich einer in dem Diodenspalt 22 senkrecht auf der Zeichenebenen stehenden, gedachten Symmetrieebene gegeben sein müssen.

In der Zwischenbildebene, in der die Leuchtfeldblende 9 angeordnet ist, befindet sich eine Marke 10a bzw. 10b, mit deren Hilfe die Lage des unsichtbaren Messspots 16 ermittelt wird. Sie kann aus einer sandwichartigen Doppelglasplatte

3 la bestehen, die in ihrem Innern zwei sich im Plattenzentrum kreuzende Flüssigkristallamellen 28,29 aufweist, welche je nach angelegter Spannung (nicht mit dargestellt) den zentralen Kreuzungsbereich 30 für das Beleuchtungslicht undurchlässig machen können. Diese Marke 10a (Fig. 3) hat den Vorteil, dass sie - obwohl ortsfest gehaltert - bei Bedarf ein- oder ausgeschaltet werden kann.

Als Alternative zur Marke 10a kann eine Marke 10b (Fig. 2) vorgesehen sein, die aus einer Glasplatte 31b besteht, auf der nach Art eines Uhrenzifferblattes Strichmarkierungen 32 angebracht sind, deren nicht vorhandene Verlängerungen zum Zentrum weisen. Sie stellen also eine Hilfe für die Kennung der Position des Messspots 16 dar. Die Marke 10a bzw. 10b liegt bewusst im Beleuchtungsstrahlengang B, damit ihre Abbildung auf die Oberfläche des Objektes 1 ohne zusätzliche Lichtquelle erfolgen kann.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich, kann die Lagemarkierung des Messspots 16 auf optischem Wege mittels einer kleinen, sichtbares Licht emittierenden Hilfslichtquelle 33 vorgenommen werden, die - wie durch die beiden sich kreuzenden Doppelpfeile 34 angedeutet - hinsichtlich ihrer Lage justierbar ist und die über eine Optik 35, den Teilerspiegel Ti sowie dieTubuslinse 4 in die Zwischenbildebene 5 abgebildet wird. Hier überlagern sich die Bilder des Objektes 1 und der Hilfslichtquelle 33 und können vom Beobachter mit dem nicht dargestellten Okular Ok betrachtet werden.

Wie bereits erwähnt, kann die Linse 14 parallel zur optischen Achse des Messlichtbündels M, also axial bzw. longitudinal, definiert verschoben werden, und zwar manuell oder motorisch mit Positionsrückmeldung. Aufgrund dieser Linsentranslation sind bei der erfindungsgemässen Einrichtung die folgenden Zusatzfunktionen realisierbar:

Erstens können definierte Defokussierungen («Offset») eingestellt werden, um bei strukturierten Objekten mit in z-Richtung unterschiedlich hohen Objektdetails in verschiedenen Höhenebenen mikroskopische Beobachtungen durchführen zu können, und zweitens können - bei Verwendung eines im Infraroten liegenden Messlichtbündels - die von Objektiv zu Objektiv unterschiedlichen Fokusdifferenzen zwischen dem infraroten und dem sichtbaren Licht korrigiert werden.

Die in axialer (longitudinaler) Richtung erfolgende Verschiebung der Linse 14 zur Realisierung einer definierten Defokussierung hat im Vergleich zur transversalen Verschiebung der Differenzdiode den Vorteil, dass der Messpunkt auf dem Objekt im ausgeregelten Zustand des Laserautofokus nicht ausgewandert ist. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, dass der Messspot 16 einen minimalen Durchmesser aufweist und dadurch die Lage des Intensitätsschwerpunktes von Objektstrukturen unabhängig wird.

Um einen automatischen Fokusausgleich bei Verwendung verschiedener Objektive (eines Objektivrevolvers) herbeizuführen, die trotz optimaler Korrektur im Sichtbaren mit individuellen chromatischen Abbildungs-Fehlern im Infraroten

5

1«

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

behaftet sind, kann mit Hilfe an sich bekannter Codier-Mittel, wie beispielsweise Lichtschranken, die am Objektivrevolver angebracht sind, eine Zuordnung bzw. eine Positionsmeldung des gerade in Wirkstellung befindlichen Objektivs an eine nicht dargestellte elektronische Steuerzentrale erfolgen, von der Signale ausgehen, die die Linse 14 in eine Korrigierposition fahren. Bei Verwendung eines anderen Objektivs, dessen Wirkstellung mit Hilfe der jeweiligen Codier-Mittel wiederum der Steuerzentrale «gemeldet» wird, gibt die Zentrale (Mikroprozessor) dem nicht mit dargestellten Verstellmotor für die Linse 14 einen Befehl zum Axialverschieben nach Massgabe des objektivbedingten Korrektionsbetrages. Auf diese Weise ist beim Wechseln der

5 664835

Objektive jeweils eine optimale Schärfe im sichtbaren (Beob-achtungs-)Bereich gewährleistet.

Mit der erfindungsgemässen Autofokussier-Vorrichtung können solche optischen Geräte ausgerüstet werden - sei es, s dass sie in diese inkorporiert sind oder dass sie als Modul in bzw. an diese adaptierbar sind - bei denen es darauf ankommt, «Objekte» im weitesten Sinne des Wortes, beispielsweise mikroskopische Präparate, Glasplatten, Halbleiterscheiben, gedruckte Schaltungen, Dias, Informations-lo Speicher, z.B. Bildplatten usw. in Scharfstellposition zu fahren. Dabei muss zumindest ein Teilbereich dieses Objektes für den Messstrahlengang reflektierend ausgebildet sein.

B

1 Blatt Zeichnungen

Claims

664835 PATENTANSPRÜCHE

1. Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten mit mindestens einem Objektiv, insbesondere Auflichtmikroskopen, mit einem Beleuchtungsstrahlenbündel (B) zu betrachtende Objekte, in der mittels eines aus-sermittig verlaufenden, separaten beleuchtungsseitigen Messstrahlenbündels (Mb) ein Messlichtpunkt auf der Objektoberfläche (1) erzeugt und dieser mittels des remittierten, ebenfalls aussermittig verlaufenden Messstrahlenbündels (Mr) nach Ausblendung aus dem Beleuchtungsstrahlenbündel (B) auf einer fotoelektrischen Einrichtung abgebildet wird derart, dass deren Signale bei Auswanderung der Objektebene (1) aus der Fokusebene des optischen Gerätes eine Steuereinrichtung erregen, die die Objektebene in die Fokusebene zurückführt, dadurch gekennzeichnet, dass sie enthält:

a) eine Lichtquelle (LD) zum Erzeugen von Laserlicht für das Messstrahlenbündel (M),

b) ein optisches Bauelement (18) zur geometrischen Abbiendung einer Hälfte des beleuchtungsseitigen Messstrahlenbündels (M) und Weiterleitung der anderen Hälfte (Mb)

sowie gleichzeitig zur geometrischen Ausblendung des remittierten Messstrahlenbündels (Mr) aus dem Messstrahlenbündel (M),

c) ein in Strahlenrichtung definiert verschiebbares Linsensystem (14),

d) eine als Differenzdiode (Di, D2) ausgebildete fotoelektrische Einrichtung und e) einen das beleuchtungsseitige Messstrahlenbündel (Mb) in das Beleuchtungsstrahlenbündel (B) des optischen Gerätes einleitenden bzw. das remittierte Messstrahlenbündel (Mr) aus dem Beleuchtungsstrahlenbündel (B) des optischen Gerätes ausspiegelnden Teilerspiegel (T2).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (LD) moduliertes Laserlicht abgibt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Teilerspiegel (T2) dichromatisch ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass vor der Differenzdiode (Di, D2) eine Spaltblende (23) angeordnet und derart ausgerichtet ist, dass deren Spalt (24) senkrecht zum Spalt (22) der Differenzdiode (Di, D2) und damit in Richtung des - nach Massgabe des jeweils vorliegenden Defokussierungsbetrages - wandernden Fleckes des abgebildeten Laser-Spots (16') verläuft.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite des Spaltes (24) der Spaltblende (23) der Grösse des Bildes des Laser-Spots (16') entspricht.

6. Vorrichtung neh Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Spalt (24) der Spaltblende (23) - ausgehend von einem engen Zentralteil - nach beiden Diodenhälften (Di, D2) der Differenzdiode (Di, D2) hin symmetrisch bezüglich der Achsen des Spaltes (24) erweitert.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (LD) Laserlicht im IR-Bereich - vorzugsweise bei 903 nm -emittiert.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (LD) gepulstes Laserlicht emittiert.

9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zum motorischen Verstellen des Linsensystems (14) nach Massgabe des vorgegebenen Offsets vorgesehen sind.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur automatischen Kompensation chromatischer Fehler der jeweils in Wirkstellung befindlichen Objektive (2) in Abhängigkeit der jeweils verwendeten Wellenlänge bzw. des jeweils verwendeten Wellenlängenbereichs des Messstrahlenbündels (M ; Mb) vorgesehen sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass diese Mittel mechanische, optische und/oder optoelektronische Kennungs-Bauglieder umfassen, die im Zusammenwirken mit der Steuereinrichtung und einem Ver-stellmotor für das Linsensystem (14) ein Hinfahren in eine optimale, weilenlängen- und objektiv-spezifische Kompensationsposition bewirken.

12. Zusatz zu optischen Geräten mit einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, und einem Auflichtilluminator, insbesondere für Mikroskope, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung als in das Beleuchtungsstrahlenbündel (B) des Auflichtilluminators für optische Geräte zwischen dessen Lichtquelle (6) und einen im Abbildungsstrahlengang (A) des optischen Gerätes angeordneten, teildurchlässigen Strahlenteiler (Ti) einschiebbares Modul (Mo) ausgebildet ist, welches über den Teilerspiegel (T2) in das Beleuchtungsstrahlenbündel (B) optisch angekoppelt ist.

13. Zusatz nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein mindestens zwei Aperturblenden (8) unterschiedlicher Dimensionierungen tragender Blendenschieber zwischen dem Teilerspiegel (T2) und der Lichtquelle (6) für das Beleuchtungsstrahlenbündel (B) des optischen Gerätes vorgesehen ist.

14. Zusatz nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass in der Ebene einer Leuchtfeldblende (9) eine Marke (10a; 10b) angeordnet ist.

15. Zusatz nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Marke (10a) zwischen einer Doppelglasplatte (31a) aus zwei sich kreuzenden Flüssigkristallamellen (28,29) mit in ihrem zentrisch angeordneten Kreuzungsbereich (30) einstellbarer Lichtschwächungscharakteristik besteht.

16. Zusatz nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Marke (10b) aus einer Glasplatte (31b) besteht, auf der lediglich im Peripherbereich zum Zentrum weisende, vorzugsweise sich diametral gegenüberliegende Strichmarkierungen (32) vorgesehen sind.

17. Zusatz nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine sichtbares Licht aussendende, justierbare Hilfslichtquelle (33) vorgesehen ist, die über ein optisches Glied (35), den teildurchlässigen Strahlenteiler (Ti) und eine Tubuslinse (4) in die im Abbildungsstrahlengang (A) vorhandene Zwischenbildebene (5) abgebildet wird.