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Die Erfindung betrifft ein Autofokusmodul
für ein
mikroskopbasiertes System. Im besonderen betrifft die Erfindung
ein Autofokusmodul für
ein mikroskopbasiertes System mit einem Objektiv, das einen Abbildungsstrahlengang
definiert, der auf einer Oberfläche
eines Objekts senkrecht steht und auf diese fokussierbar ist, einem
Beleuchtungsstrahlengang, der eine Lichtquelle zur Beleuchtung des
Objekts umfasst, einer Lichtquelle, die ein Messlichtbündel zum Bestimmen
der Fokuslage erzeugt, einem optischen Mittel, das das Messlichtbündel derart
teilt, dass ein außermittig
verlaufendes Messlichtstrahlenbündel entsteht,
einem im Abbildungsstrahlengang des mikroskopbasierten Systems vorgesehenen
ersten dichroitischen Strahlteiler, der das Messlichtstrahlenbündel außermittig
in das mikroskopbasierte System einkoppelt und auf die Oberfläche des
Objekts richtet.
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Die Patentschrift
DE 32 19 503 offenbart eine Vorrichtung
zum selbsttätigen
Fokussieren auf in optischen Geräten
zu betrachtende Objekte. Nach der Reflexion an der Oberfläche eines
Objekts passiert das reflektierte Messlichtstrahlenbündel nach
Reflexion an einem Tellerspiegel eine Blende. Mittels einer vollverspiegelten
Fläche
wird ein Teil des Messlichtstrahlenbündels ausgespiegelt und wird
nach Durchtritt durch eine Spaltblende auf eine Differenzdiode geleitet.
Im fokussierten Zustand befindet sich der Fokus zwischen den beiden
Dioden. Bei Defokussierung wandert der Messspot auf einen der beiden
Dioden, die mit entsprechenden Steuermitteln verbunden sind. Durch
die Steuermittel werden optische oder mechanische Mittel des Mikroskops
verstellt, um dem Messspot wieder zwischen die beiden Dioden zu
verbringen und somit die Fokuslage wieder herzustellen.
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Die Europäische Patentanmeldung
EP-A-O 124 241 offenbart
ein Mikroskop mit einer automatischen Fokuseinrichtung. Das Mikroskop
umfasst eine Speichereinrichtung zum Speichern der Daten von den
Objektiven, die im Mikroskop Verwendung finden. Ebenso ist eine
Kontrolleinrichtung vorgesehen; die die verschiedenen Mikroskopfunktionen überwacht
und regelt. Zu den Aufgaben der Kontrolleinrichtung zähltebenfalls
die Bewegung des Fokussiertisches. Ein CCD-Element ist als Bildaufnahmeeinrichtung
vorgesehen, das von dem jeweils ausgewählten Objektiv ein Bild empfängt und
zusammen mit einer Recheneinheit aus dem optimalen Kontrast die
Bildschärfe
ermittelt. Bei der Ermittlung des optimalen Schärfegrades müssen die Objektivdaten des aktuell
verwendeten Objektivs berücksichtigt
werden. Diese Daten sind wie bereits oben erwähnt in einem Speicher abgelegt.
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Ferner offenbart die deutsche Offenlegungsschrift
DE 41 33 788 ein Verfahren
zur Autofokussierung von Mikroskopen und ein Autofokussystem für Mikroskope.
Das Bild eines Objekts oder einer auf das Objekt eingespiegelten
Struktur wird zwei Bereichen auf einem Detektor oder zwei verschiedenen Detektoren
zugeleitet, wobei in Fokusstellung ein Bild vor einem Detektor und
ein Bild hinter dem anderen Detektor entsteht. Die Bildschärfen auf
den Detektoren.vverden in elektronische Signale umgewandelt, deren
Differenz zur Scharfstellung des Objektivs verwendet wird. Die Abstände des
Bildes oder der jeweiligen Struktur zu den jeweiligen Detektoren
sind einstellbar. Gezielte Offset-Einstellungen sowie „IR-Offset"-Korrektureinstellungen
sind realisierbar.
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Problematisch beider automatischen
Fokuseinstellung bei Mikroskopen, zur Untersuchung von Objekten
mit mehreren Fokusebenen, ist, dass der Autofokus nicht weiß auf welche
Ebene scharf gestellt werden soll. Der Autofokus kann nur auf eine der
Ebenen fokussieren und es kann leicht passieren, dass der Autofokus
die Fokusebene verliert und auf eine andere springt wenn er nachregelt.
Die mehreren Ebenen kommen z.B. in der Halbleiterindustrie bei den
verschiedenen Topologiestufen oder den mehreren Fotolackschichten
zustande. In der herkömmlichen
Mikroskopie oder der konfokalen Mikroskopie gibt es ebenfalls mehrere
Schichten auf die Scharf gestellt werden kann. Bei Proben die mit Deckgläsern versehen
sind. Kann dies die Oberseite des Deckglases mit der Grenzschicht
zur Luft oder die Unterseite des Deckglases mit der Grenzschicht zur
Probe sein.
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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung
besteht entsprechend darin, ein Autofokusmodul für ein mikroskopbasiertes System
zu schaffen, mit dem mehrere Fokusebenen auf einmal detektiert werden können. Hinzu
kommt, dass man auf eine ausgewählte
Fokusebenen letztendlich fokussieren kann.
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Die Aufgabe wird dadurch gelöst durch
ein Autofokusmodul für
ein mikroskopbasiertes System, das dadurch gekennzeichnet ist, dass
ein Detektorelement aus mindestens zwei Detektorzeilen vorgesehen
ist, wobei das optische Mittel ein vom mikroskopbasierten System
remittiertes Messlichtstrahlenbündel
auf das Detektorelement richtet, und dass zwischen dem Detektorelement
und dem optisches Mittel eine Zylinderlinse vorgesehen ist.
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Das Autofokusmodul hat den besonderen Vorteil,
dass zwischen dem Detektorelement und dem optischen Mittel eine
Zylinderlinse vorgesehen ist, die für die Bestimmung der Fokuslage
eine Linie erzeugt, die auf den Detektorelement abgebildet wird.
Hinzu kommt, dass Mittel vorgesehen sind, die das Detektorelement
um eine Achse schwenken, so dass das Detektorelement zu einer durch
die Oberfläche
des Objekts definierten Ebene geneigt ist, bzw. dessen Neigung einstellbar
ist. Ferner kann das Detektorelement ausschließlich nur um eine Achse geschwenkt
oder eingestellt werden, die parallel zur x-Achse eines Koordinatensystems
ist. Die optischen Komponenten des Autofokusmoduls sind in einem Gehäuse zusammengefasst.
Dadurch sind die optischen Elemente in dem Modul vorjustiert und
es kann schnell an ein bestehendes mikroskopbasiertes System angebaut
werden. Das Detektorelement kann als ein 2-dimensionaler Flächensensor
oder aus mindesten zwei parallel zueinander angeordneten linearen Zeilensensoren
ausgebildet sein. Im Autofokusmodul wird als Lichtquelle eine Laserlichtquelle
verwendet, die IR-Licht als Messlicht aussendet. Dies ist von Vorteil,
da dadurch nicht das Objekt beeinflusst wird. Ein Rechner oder ein
Steuersystem sind mit dem mikroskopbasierten System und dem Modul
verbunden, das dazu dient das Detektorelement im Modul und das mikroskopbasierte
System zu steuern. Die Steuerung der Neigung des Detektorelements
ist wichtig, da Mittel vorgesehen sind, die eine Einstellung der Neigung
des Detektorelements vornehmen. Hinzu kommt, dass das Detektorelement
in seiner Neigung während
der Messung verändert
werden kann, dies führt
zu einer Änderung
der Empfindlichkeit der vorgenommenen Messungen.
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Weitere Vorteile und vorteilhafte
Ausführungsformen
sind Gegenstand der nachfolgenden Figurenbeschreibung, bei deren
Darstellung zugunsten der Übersichtlichkeit
auf eine maßstabsgetreue
Wiedergabe verzichtet wurde. Es zeigen im Einzelnen:
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1 eine
teilweise Seitenansicht der Strahlengänge eines optischen Gerätes bzw.
eines mikroskopbasierten Systems, mit dem ein Autofokusmodul verbunden
ist;
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2 eine
Detailansicht des auf den Messsensor treffenden Messlichtstrahlenbündels;
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3 eine
weitere Ausführungsform
des Detektorelements;
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4 das
Autofokusmodul im fokussierten Zustand, wobei der Messstrahl auf
einen Punkt fokussiert ist;
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5 die
Verwendung einer Zylinderlinse, die aus dem Messspot eine scharfe
Linie erzeugt, die auf das Detektorelement abgebildet wird;
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6 die
Linie wird durch Verkippen des Detektorelements in mehrere Punkte
scharf abgebildet, wenn auf dem Objekt mehrere Fokusebenen vorhanden
sind;
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7a einen
(oder mehrere) transparente Filme übereinander, die die unterschiedlichen
Fokusebenen bilden;
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7b eine
Stufenstruktur auf dem Objekt, die klein gegenüber dem Messspot auf dem Objekt ist;
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8a eine
Ausführungsform
eines weiteren optischen Elements, das das Messlichtstrahlenbündels zusätzlich aufweitet;
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und
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8b eine
zusätzliche
Ausführungsform
eines weiteren optischen Elements, das das Messlichtstrahlenbündels zusätzlich aufweitet.
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In 1 ist
ein vertikal verlaufender Abbildungsstrahlengang 10 eines
mikroskopbasierten Systems 1 dargestellt. Das mikroskopbasierte
System 1 umfasst eine Lichtquelle 6, die Licht
in den Beleuchtungsstrahlengang 11 aussendet. Das mikroskopbasierte
System 1 dient zur Beleuchtung eines Objekts 20,
das eine Oberfläche 21 definiert,
die sich in der Fokusebene des mikroskopbasierten Systems 1 befindet.
Das Licht des Beleuchtungsstrahlengangs 11 passiert zunächst ein
Objektiv 2 und trifft auf die Oberfläche 21 des Objekts 20.
Von der Oberfläche 21 des
Objekts 20 wird ein gewisser Teil des Lichts reflektiert
und tritt zunächst
durch eine Objektivpupille 3. Der von der Oberfläche 21 des
Objekts 20 reflektierte Strahl tritt im Abbildungsstrahlengang 10 durch
einen dichroitischen Tellerspiegel 12, der im sichtbaren
Bereich ein 50/50-Verhältnis
und im IR eine hohe Reflexion aufweist. Danach durchtritt das Licht
des Abbildungsstrahlengangs eine Tubuslinse 4 und in der
Zwischenbildebene 5 wird ein Bild des Objektes 20 erzeugt.
Danach gelangt das Licht im Abbildungsstrahlengang 10 zu
einem nicht mit dargestellten Okular.
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Der Beleuchtungsstrahlengang 11 des
mikroskopbasierten Systems verläuft
im dargestellten Fall horizontal. Von einer Lichtquelle 6 tritt
Licht des Beleuchtungsstrahlengangs 11 aus. Nach Verlassen einer
Optik 7 tritt das Licht durch eine Aperturblende 8,
in deren Ebene ein nicht mit eingezeichneter Blendenschieber angeordnet
ist, der mindestens zwei Blenden unterschiedlicher Dimensionierung
enthält. Mit
Hilfe dieses Blendenschiebers kann – manuell oder motorisch – mit Positionsrückmeldung
eine der Messung mit dem mikroskopbasierten System angepasste Aperturblende 8 eingeschoben
werden. Das Licht des Beleuchtungsstrahlengangs 11 durchsetzt sodann
einen zweiten dichroitischen Strahlenteiler 13, der einen
möglichst
hohen Transmissionswert für das
von der Lichtquelle 6 kommende sichtbare Licht und einen
möglichst
hohen Reflexionswert für IR-Strahlen
aufweist. In der Ebene der Leuchtfeldblende 9 befindet
sie eine Marke, deren Funktion weiter unten erläutert wird. Das Licht des Beleuchtungsstrahlengangs 11 trifft
nach Durchtritt durch eine Linse 14 auf den ersten dichroitischen
Strahlenteiler 12, von wo aus die reflektierten Anteile
in Richtung zum Objekt 20 umgelenkt werden.
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Zur Einstellung des Fokus ist ein
Laserautofokus vorgesehen, der in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel
mit all den notwendigen optischen Komponenten zu einem Modul 30 zusammengefasst ist.
Das Modul 30 ist von einem Gehäuse 25 umgeben, das
in 1 symbolisch als
gestrichelter Kasten dargestellt ist. Das Modul 30 kann
beispielsweise in ein bestehendes optisches Beleuchtungssystem,
wie es für
Auflichtmikroskope etwa in dem deutschen Gebrauchsmuster 7917 232
beschrieben ist, eingeschoben werden, wobei an sich bekannte Rastmittel
eine justiergenaue Positionierung des Moduls 30 im Beleuchtungsstrahlengang 11 sicher
stellen.
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Von einer Laserlichtquelle 31,
die in der dargestellten Ausführungsform
als Laserdiode ausgebildet ist, geht ein – vorzugsweise gepulstes – Laserlicht aus.
Zweckmäßigerweise
wird IR-Licht als Messlicht verwendet, weil es das mikroskopische
Bild des Objekts 20 nicht störend beeinflusst. Ein Messlichtbündel 32 wird über eine
ortsfeste Linse 33 und sodann über eine Linse 34,
die in axialer Richtung gemäß dem gestrichelten
Doppelpfeil 35 manuell oder motorisch verschoben werden
kann, auf den zweiten dichroitischen Tellerspiegel 13 geleitet,
der an der optischen Schnittstelle der Strahlengänge des Messlichtbündel 32 und
des Beleuchtungsstrahlengangs 11 angeordnet ist. In der
Zwischenbildebene, in der die Leuchtfeldblende 9 positioniert
ist, wird ein Bild der Laserlichtquelle 31 erzeugt.
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Die Laserlichtquelle 31 wird
auf der Oberfläche 21 des
Objekts 20 in einen Messspot 16 abgebildet. Damit
der Messspot 16 bei Defokussierung auf der Oberfläche 21 des
Objektes 20 auswandert, wird eine Hälfe einer Pupille 37 abgedeckt.
Die geometrische Abdeckung einer Hälfte des Messlichtbündels 32 gelingt
mit Hilfe eines kombinierten optischen Bauteils, beispielsweise
eines Umlenkprismas 38, welches in Höhe der Pupille 37 in
das Messlichtbündel 32 hälftig eingeführt ist.
Das Umlenkprisma 38 enthält eine voll verspiegelte Prismenfläche 19.
Der Teil des Messlichtbündels 32,
der durch die Anordnung des Umlenkprismas 38 in seiner
Ausbreitung nicht behindert wird, ist in der 1 mit dem Bezugszeichen 32a gekennzeichnet.
Mit dem außermittig verlaufenden
Messlichtstrahlenbündel 32a des
beleuchtungsseitigen Messlichtbündels 32 gelangt
also der außermittig
verlaufende Teil 32a entlang – im wesentlichen – parallel
zum Abbildungsstrahlengang 10 des mikroskopbasierten Systems 1 in
die Objektivpupille 3.
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Nach Reflexion an der Oberfläche 21 des Objektes 20 passiert
das remittierte Messlichtstrahlenbündel 32b eine Linse 14 und
nach Reflexion am zweiten dichroitischen Tellerspiegel 13 trifft
das Licht des remittierten Messlichtstrahlenbündels 32b auf die
voll verspiegelte Prismenfläche 19 des
Umlenkprismas 38. Von der voll verspiegelten Prismenfläche 19 des
Umlenkprismas 38 wird sodann das remittierte Messlichtstrahlenbündel 32b herausgespiegelt. Nach
Totalreflexion an einer Prismenfläche 40 sowie nach
Durchtritt durch die Optik 41 wird der Strahl durch eine
nachgeschaltete Zylinderlinse 42 aufgeweitet, bevor er
auf ein Detektorelement 43 fällt. Das Detektorelement 43 kann
als ein 2-dimensionaler Flächensensor,
wie z.B. als CCD oder CMOS Sensor, ausgebildet sein. Das Detektorelement 43 kann verkippt
werden. Dazu sind Verstellmittel 46 und 47 vorgesehen,
die das Detektorelement 43 bezüglich einer durch die Oberfläche des
Objekts 20 definierten Ebene neigen. Die so durch das geneigte
Detektorelement 43 definierte Ebene steht schräg (nicht
senkrecht) zum einfallenden, remittierten Messlichtstrahlenbündel 32b,
so dass das remittierte Messlichtstrahlenbündel 32b im fokussierten
Zustand nur in der Mitte scharf abgebildet wird. Ein Rechner 80 oder ein
Steuersystem ist mit dem mikroskopbasierten System 1 und
dem Modul 30 verbunden. Der Rechner 80 dient dazu
den Detektorelement 43 im Modul und das mikroskopbasierte
System 1 zu steuern und entsprechende Daten aufzunehmen
und auch die Verstellung bzw. Neigung des Detektorelements 43 vorzunehmen.
Ferner kann die Einstellung des Fokus durch den Rechner 80 über einen
Motor 23 vorgenommen werden, der den z-Trieb eines Mikroskoptisches 22 betätigt. Der
Motor 23 empfängt
vom Rechner 80 die entsprechend verarbeiteten Signale vom
Detektorelement 43. Diese Signale dienen zur Steuerung
und Einstellung des Fokus und werden an den Motor 23 gegeben.
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Um zusätzlich noch eine Strahlaufweitung des
Messlichtstrahlenbündels 32 zu
erreichen ist zwischen dem Umlenkprisma 38 und der Linse 34 ein weiteres
optisches Element vorgesehen, das das Messlichtstrahlenbündels 32 zusätzlich aufweitet. Wie
in 8a dargestellt ist,
kann das optische Element ein Axikon 53 sein. Ein erstes
und ein zweites Axikon 53a und 53b ist auf einer
Glasplatte 54 als Träger
aufgebracht. Das erste Axikon 53a wirkt auf das außermittig
verlaufende Messlichtstrahlenbündel 32a und
das zweite Axikon 53b wirkt auf das remittierte Messlichtstrahlenbündel 32b.
Das Ausführungsbeispiel
aus 8b zeigt eine Toruslinse 57 als optisches
Element. Die Toruslinse 57 ist ein Linsenelement, das zu
einem Ring gebogen ist. Die Öffnung des
Rings ist mit einer opaken Blende 58 versehen. Die Wirkung
der Toruslinse 57 ist mit der des Axikons 53 vergleichbar.
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In 2 ist
eine Detailansicht des auf das Detektorelement 43 treffenden
Messlichtstrahlenbündels 32b dargestellt.
Durch die Zylinderlinse 42 wird aus dem Messlichtstrahlenbündel 32b im
Fokus normalerweise eine Linie (siehe 4).
Bei der in 2 gezeigten
Darstellung ist das Detektorelement 43 um eine zur x-Achse
des Koordinatensystems parallele Achse geschwenkt. Die durch die
Koordinatenachsen x-Achse und y-Achse aufgespannte Ebene 44 ist
zur Oberfläche 21 des
Objekts 20 parallel. Durch Verkippen des Detektorelements 43 um
die x-Achse wird die Linie (4)
nur noch in einem Punkt 45 scharf abgebildet (nur eine
im Objekt 20 vorhandene Schärfeebene. Wenn das Objekt 21 in Richtung
der z-Achse verfahren wird, verschiebt sich das Messlichtstrahlenbündels 32b auf
dem Detektorelement 43. Die Richtung der Verschiebung ist
durch den Doppelpfeil Px angedeutet. Durch das Verkippen des Detektorelement 43 erhält man im
Gegensatz zu dem herkömmlichen
Laserautofokus, trotz der Veränderung
der Lage der Oberfläche 21 des
Objekts 20, weiterhin einen Punkt auf dem Detektorelement 43 und
kann im defokussierten Zustand durch Analyse der Lage des Punktes 45 auf
dem Detektorelement 43 den Abstand der Oberfläche 21 des
Objekts 20 zur Fokusebene ermitteln. Ist das Detektorelement 43 bezüglich der
durch die Oberfläche
des Objekts definierten Ebene um einen Winkel geneigt, der durch
Verstellen des Detektorelements um die eine zur x-Achse und eine
zur y-Achse parallele Achse erzielbar ist. Bei einem derart geneigten
Detektorelement 43, läuft
das Messlichtstrahlenbündels 32b entlang
dem Doppelpfeil Px und der oder die Punkte entlang eines Doppelpfeils
Py.
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3 zeigt
eine weitere Ausführungsform des
Detektorelements 43. Das Detektorelements 43 besteht
aus mindestens zwei parallel zueinander angeordneten linearen Zeilensensoren 48 und 49.
Jeder der Zeilensensoren besteht aus einer Vielzahl von linear angeordneten
Photodioden 52.
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4 zeigt
den Laserautofokus für
das mikroskopbasierte System 1 im fokussierten Zustand. In
diesem Beispiel ist die Zylinderlinse 42 weggelassen und
das Detektorelement 43 nicht gekippt. Das remittierte Messlichtstrahlenbündels 32b wird
in diesem Fall auf einen durch die Optik 41 bestimmten einzelnen
Punkt 50 fokussiert.
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5 zeigt
das Ergebnis, wenn die Zylinderlinse 42 hinzugefügt ist.
Das remittierte Messlichtstrahlenbündels 32b wird in
diesem Fall durch die Optik 41 und die Zylinderlinse 42 in
eine einzelne scharte Linie 60 fokussiert. Dabei ist zu
beachten, dass die durch das Detektorelement 43 definierte Ebene
parallel zu der durch die Koordinatenachsen x-Achse und y-Achse
aufgespannte Ebene 44 ist. Die Ebene 44 entspricht
der Oberfläche 21 des
Objekts 20.
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In 6 ist
die Situation dargestellt, dass die Oberfläche 21 des Objekts 20 eine
Struktur aufweist, die ein unterschiedliches Höhenprofil (siehe hierzu 7a und 7b) zeigt. Wie bereits bei der in 2 gezeigten Darstellung
ist der Messsensor 43 um die zur x-Achse des Koordinatensystems
parallele Achse geschwenkt. Die durch die Koordinatenachsen x-Achse
und y-Achse aufgespannte Ebene 44 ist zur Oberfläche 21 des
Objekts 20 parallel. Durch Verkippen des Detektorelements 43 um
die x-Achse erhält
man in vorliegenden Fall auf dem Detektorelement 43 mehrere
Punkte 70, von denen jeder einzelne Punkt für eine spezifische
Oberfläche
auf dem Objekt 20 steht. Somit hat man die Möglichkeit
auf mehrere Ebenen zu fokussieren.
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In 7a und 7b sind zwei Ausführungsbeispiele
für die
Oberflächenstruktur
eines Objekts 20 dargestellt. In 7a ist die Situation dargestellt, dass
ein oder mehrere transparente Filme 61 übereinander auf der Oberfläche 21 des
Objekts 20 angebracht sind. Der Autofokus kann nun auf
die verschiedenen Filme gleichzeitig fokussieren. In dem in 7b gezeigten Beispiel ist
auf der Oberfläche 21 des
Objekts 20 eine Stufenstruktur 62 ausgebildet, die
selbst wiederum auf einem transparenten Film 61 aufgebracht
sein kann. Die Stufenstruktur 62 ist klein gegenüber dem
Messspot auf dem Objekt 20. Somit ergibt sich für den Messspot
eine optimale Fokuslage zum einen auf den oberen Flächen 63 der
Stufenstruktur 62 und zum anderen eine weitere optimale Fokuslage
für die
Gräben 64 der
Stufenstruktur 62. Je nach der Gestalt der Stufenstruktur 62 oder
den Anzahl der verschiedenen Filme 61 ergeben sich mehrere
optimale Fokuslagen, auf die man schart stellen kann. Im der Vielzahl
der Fokuslagen erzeugt jede dieser Fokuslagen bzw. Ebenen einen
Punkt 70 auf dem Detektorelement 43. Durch Analyse
der Lage dieser Punkte 70 zueinander kann man die verschiedenen
Ebenen des Objekts identifizieren und dann die gewünschte Ebene
in den Fokus steuern.
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Die Erfindung wurde in bezug auf
eine besondere Ausführungsform
beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen
und Abwandlungen durchgeführt
werden können,
ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
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- 1
- mikroskopbasiertes
System
- 3
- Objektivpupille
- 4
- Tubuslinse
- 5
- Zwischenbildebene
- 6
- Lichtquelle
- 7
- Optik
- 8
- Aperturblende
- 9
- Leuchtfeldblende
- 10
- Abbildungsstrahlengang
- 11
- Beleuchtungsstrahlengang
- 12
- dichroitischen
Teilerspiegel
- 13
- zweiter
dichroitischer Teilerspiegel
- 14
- Linse
- 16
- Messspot
- 19
- verspiegelte
Prismenfläche
- 20
- Objekt
- 21
- Oberfläche
- 22
- Mikroskoptisch
- 23
- Motor
- 25
- Gehäuse
- 30
- Modul
- 31
- Laserlichtquelle
- 32
- Messlichtbündel
- 32a
- außermittig
verlaufende Messlichtstrahlenbündel
- 32b
- remittierte
Messlichtstrahlenbündel
- 33
- ortsfeste
Linse
- 34
- Linse
- 35
- Doppelpfeil
- 37
- Pupille
- 38
- Umlenkprisma
- 40
- Prismenfläche
- 41
- Optik
- 42
- Zylinderlinse
- 43
- Detektorelement
- 44
- aufgespannte
Ebene
- 45
- fokussierte
Punkt
- 46
- Verstellmittel
- 47
- Verstellmittel
- 48
- linearer
Zeilensensor
- 49
- linearer
Zeilensensor
- 50
- einzelner
Punkt
- 52
- Photodioden
- 53
- Axikon
- 53a
- erstes
Axikon
- 53b
- zweites
Axikon
- 54
- Glasplatte
- 57
- Toruslinse
- 58
- opake
Blende
- 60
- scharfe
Linie
- 61
- transparenter
Film
- 62
- Stufenstruktur
- 63
- oberen
Flächen
- 64
- Gräben
- 70
- Punkt
- 80
- Rechner
- Px
- Doppelpfeil
- Py
- Doppelpfeil